CN1836113A - 具有由瓷砖制成之气垫轴承与导轨的装置 - Google Patents
具有由瓷砖制成之气垫轴承与导轨的装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1836113A CN1836113A CNA2004800158880A CN200480015888A CN1836113A CN 1836113 A CN1836113 A CN 1836113A CN A2004800158880 A CNA2004800158880 A CN A2004800158880A CN 200480015888 A CN200480015888 A CN 200480015888A CN 1836113 A CN1836113 A CN 1836113A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- parts
- guide rail
- described device
- ceramic tile
- tackiness agent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 28
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 25
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 24
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims description 9
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 8
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 8
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 8
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 7
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 5
- 238000010276 construction Methods 0.000 claims description 4
- 208000034189 Sclerosis Diseases 0.000 claims description 3
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 3
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 claims description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 2
- 230000027455 binding Effects 0.000 claims 1
- 238000009739 binding Methods 0.000 claims 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims 1
- 239000004576 sand Substances 0.000 claims 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 11
- 239000011435 rock Substances 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 7
- 229920000297 Rayon Polymers 0.000 description 4
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 4
- 239000010438 granite Substances 0.000 description 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 4
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 3
- 238000007373 indentation Methods 0.000 description 3
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 description 3
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 3
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000008676 import Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 1
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/02—Sliding-contact bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/02—Sliding-contact bearings
- F16C29/025—Hydrostatic or aerostatic
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2322/00—Apparatus used in shaping articles
- F16C2322/39—General buildup of machine tools, e.g. spindles, slides, actuators
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finishing Walls (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Invalid Beds And Related Equipment (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
本发明涉及一种具有至少两个彼此可相向移动的部件(09，10)的装置(01)，至少一个气垫轴承元件(14)设置在第一部件(10)上，且与设置在第二部件(09)上的导轨(15)相互配合。因而，第一部件(10)因气垫轴承元件(14)与导轨(15)之间存在的空气间隙，而被无接触地导引及/或支撑在第二部件(09)上。导轨(15)系由并排接合在第二部件(09)上的瓷砖(20)制成。
Description
[技术领域]
本发明涉及一种装置，该装于其两部件之间设有气垫轴承，且正如权利要求1的前序部分所述，该两部件彼此可相向移动。
[背景技术]
通常，具有气垫轴承的装置，例如，大多系被用于测量设备，但并不仅限于此用途。气垫轴承容许对彼此可相向移动之部件的高精度导引。因为不接触的轴承，故轴承元件之间也不存在表面摩擦。存在于气垫轴承元件自身与相应定位的导轨之间的气体间隙一般在3微米到10微米之间。
该位于气垫轴承与导轨之间的微小间隙宽度，需要相当高的加工制造品质，同时需要保持较低的制造公差。这些导轨关于其平面度尤其是其峰谷之间的高度的要求也非常高。为获得如此高精度的导轨，因而从现有技术可以得知，应该使用例如天然硬度的岩石原材料，尤其是花岗岩材料。
例如，第DE 101 40 174 A1号德国专利公报，揭示出一种相同的测量设备，其上具有导轨之所有部件均系由花岗岩材料制成。而导轨则通过合适的机械加工，例如碾磨与抛光，自天然岩石块中切割而成。
这种加工程序的一个缺点在于，利用天然硬度的岩石作为原始原料存在一些主要的缺陷。例如，适当尺寸及数量的花岗岩石块，因为在中欧地区无法得到，而必须从第三世界国家进口。天然硬度岩石的加工非常复杂且时机应精确。而且，天然硬度岩石仅仅能够作为石块固体材料加工，这样就巨大的限制了设计之思想特别是将被加工的部件的尺寸。
因此，与现有的技术相对的是，本发明的目的，是试图提供一种具有气垫轴承的新颖装置，该新颖装置可以避免所知道的现有技术的缺点。
[发明内容]
本发明的目的可以通过如权利要求1所教示的装置达到。而本发明较佳的实施例则是从属权利要求的目的。
本发明的装置系基于这样的基本理念，即气垫轴承的导轨不再由固体材料例如花岗岩制成，而是由合适材料的瓷砖并排接合成单一部件作为承载体而形成。这种设计的一个优点尤其在于，部件自身支持导轨的事实，能够被独立地的导轨材料构造，因而例如可被设计为钢制结构。此外，导轨的尺寸，尤其是其最大长度，不再受支持元件最大长度的限制，例如，正如该部件系由具有由天然硬度的岩石制成的部件一样。替代的导轨可以通过增加附加的瓷砖而被最终设计为任何所需要的长度。结果是，对设计工程师而言，在设计一般的装置时，可以得到一个非常宽的设计选择范围。
最终，被选择用来制造形成导轨的瓷砖的材料是无关紧要的，其仅仅依赖于具有合适表面品质的材料。例如，瓷砖由适当的表面淬火材料或者花岗岩制成是非常可以想到的。陶瓷材料被证明是尤其适合的制造用来形成导轨的瓷砖材料。特别地，已经知道被称为Stettalit的陶瓷材料(陶瓷编号：C221，根据VDE0335，第三部分)是一种用于形成导轨的优良材料。自大宗产品例如用在电厨炉上的耐热开关以及座体内的保险丝中，Stettalit作为一种原始材料而被知道，从而能够以非常有利的价格得到。因为其材料特性(开口多孔性：0％，密度：2.78千克每立方分米，挠曲强度：大约140MPa，硬度：5根据Moh’s测量)，高精度的导轨能够通过该材料制造得到。Stettalit也能够利用标准工具而被更好地加工，因此其工具是较容易的且因而制造较为便宜。
实质上，瓷砖是如何连接至装置的相应部件是无关紧要的。例如，合适的机械紧固技术，尤其是钳位铁轨，是可以利用的。由于是例如由陶瓷制成的瓷砖，与是例如由钢结构制造的支持元件，两者具有完全不同的物理性质，用来将瓷砖固定到该部件上的粘胶接合尤其是合适的。
尽管瓷砖与支持元件具有不同的膨胀系数，为能够永久地与精确地将两者连接在一起，粘合剂应该具有最低可能的流量(低流动性)。
两部件结构粘合剂，被证明特别适合用来作为在产生所需要的粘胶接合过程中的粘合剂。这些粘合剂具有非常低的流量以及非常高的剪切力，其冲击强度以及剥离强度，在一非常宽的温度范围之上。例如，3M公司，供应一种特别适当的这种两部件结构粘合剂，其品牌名称为Scotch-Weld(刻痕焊接)9323B/A。
为能够产生具有最高可能性强度的粘胶接合，在使用胶合剂之前，如果以一种适当的方式，例如碾磨相应粘胶合表面，而加工支持元件的粘合表面，是非常有利的。因而粘合表面的峰谷高度范围大约在50微米与100微米之间。
在气垫轴承的导轨制造过程中，本发明瓷砖的使用将获得这样一种结果，即在相邻的瓷砖之间存在一个过渡区域。通过对瓷砖进行合适的高精度的制造及安装，该过渡区域最终可以产生，因此获得的结合处不会干扰气垫轴承的功能。但是，以这样一种高精度的方式，制造瓷砖并将其安装到支持元件上，是非常困难的。根据本发明的较佳实施例，一种可硬化的填充材料，因而被提供用来填充到相邻瓷砖之间的过渡区域内。在导轨的制造过程中，瓷砖首先被固定，例如通过永久粘合到支持元件上，然后两相邻瓷砖之间的接合处被尚未硬化的填充材料充满。当填充材料硬化之后，其表面能够同瓷砖材料一起被加工，从而在其附近产生具有适当表面品质，特别是适当平面度的导轨。研磨与抛光已经被证明是非常适合加工瓷砖与/或填充材料表面的加工方式。
导轨的峰谷之间的高度最好不大于(小于或等于)1微米。导轨的平面度最好是，每200毫米远距离其偏移距离不大于(小于或等于)2微米。
为产生用来支持导轨的第二部件的支持结构，最终这些材料可以自任何具有足够硬度与稳定性，而且能够以一种合适的方式被永久接合到用来形成导轨的瓷砖上的材料中选择。特别的，钢部件的焊接结构已经被证明尤其适合制造支持导轨的第二部件。生产这些钢结构十分便宜，尤其是其能够在相对较短的时间内制造，且没有任何主要工具成本，特别是没有任何器具与钢模成本。更进一步，钢结构容许设计工程师利用多种不同的构造方法。关于与装置所要求的利用，例如作为测量设备，相适应的在温度变化时的合适钢度、结构稳定性，以及合适的动力强度，该钢结构的必须被优化处理。
用来产生焊接结构的钢部件因而更适宜通过激光切削(剪裁厚板)的方式制造。通过激光切削，钢原材料仅仅受到相关的次要的热压力，因此仅仅具有相关的次要变形压力。
激光焊接应该是更适宜作为连接不同钢部件的焊接技术。高精度的焊接接合能够通过激光焊接产生，而且，钢部件再次也仅仅是受到相关的次要热压力。
为进一步降低支持导轨的第二部件在焊接后因变形压力而产生的变形，根据本发明更好的实施例，焊接后可以对第二部件进行低压力退火处理。
在第二部件进行焊接及/或退火之后，接下来最好也对钢结构进行表面处理。通过喷沙处理或某些相似方法，钢结构粘附的水垢或者其它不希望的表面物质能够被去除干净。而且，也可以采取表面防腐蚀处理，例如镀铬处理。
为了在焊接前能够以最少的耗费而使预装前的钢部件精确组装，在钢结构表面设置舌片与凹槽元件，是十分有利的。于是钢结构在焊接前能够通过该等舌片与凹槽元件精确的配合而被组装。
实质上，本设计被用于何种具有气垫轴承的创造性装置上是无关紧要的。在测量设备尤其是相同的测量设备上，使用气垫轴承上的创造性导轨结构，是特别有利的。该等测量设备至少具有一个测量头，该测量头系可移动地安装到机械上，且能够利用适当的驱动元件，进行远程控制而予以调整。测量头适合于测量工件，且具有适合如此测量的刻度。
根据本发明的较佳实施例，测量设备被设计为具有至少两垂直连接机构与一个水平横梁的入门结构。过去能够制造相对较小尺寸的这种入门式测量设备，因为所需要的部件利用天然的原材料而无法得到足够的尺寸。通过使用创造性的设计理念，测量设备尤其是入门式测量设备，现在能够以任何所希望的尺寸予以制造。
本创造的装置的具体实施例通过以下示意性的图示予以图解，并作为一个具体例子而详细地予以说明。
[附图说明]
本发明的图示如下：
图1是一种测量设备的装置的立体组合图。
图2是图1所示测量设备的水平横梁的立体图。
图3是图2所示水平横梁上的空气轴承的导轨设计。
图中部件的标号如下：
装置、测量设备01， 固定表面 02， 轴承驱动装置 03、04
入门 05， 移动方向箭头06、12、13
垂直连接机构 07、08，水平横梁 09， 载体架 10
心轴套筒 11， 气垫轴承元件14， 导轨 15
焊接结构部件 16，钢部件 17，导引柱 18、19
瓷砖 20，粘合表面 21，粘合剂 22
过渡区域 23
[具体实施方式]
图1显示了一种测量设备的本创造性装置01的立体图。测量设备01具有一用于将待测量的工件定位其上的固定表面02，该固定表面02例如可以由花岗岩石块制成。作为一种替换物，固定表面02也可以由配置有陶瓷瓷砖的钢结构部件形成。两个轴承及驱动装置03、04组接在固定表面02的一侧，其中轴承及驱动装置03、04的实际功能元件被一基体所覆盖。一入门05支撑在两轴承及驱动装置03、04之内，且能够在固定表面02上经由适当的驱动方式根据箭头06指示的方向水平移动。
入门05由两个垂直的连接机构07、08以及一个水平横梁09组成。载体架10支撑在水平横梁09的最上端面，且其上设置有一垂直的心轴套筒11。一测量设备01的测量头设置在垂直的心轴套筒11的下侧，定位在固定表面02上的工件能够通过该测量头予以测量。载体架10能够根据箭头12指示的移动方向通过驱动工具(图未示)在固定表面02上的水平横梁上水平移动。经由插入与缩进垂直的心轴套筒11，测量头能够根据箭头13指示的运动方向垂直移动。结果，测量头也可以通过在水平面上移动入门05与载体架10而被自由地定位，且可以通过伸出与缩进垂直的心轴套筒11而定位其高度。因此，测量头最终能够接近被固定表面02与入门05横断面的尺寸所限定之空间里的全部点。
为支撑测量设备01的彼此可相向移动的部件，设置有气垫轴承元件14，这些气垫元件14与相应的导轨15相互配合，用于彼此可相向移动之部件的非接触轴承与导引，压缩空气以一种适当的气压沿着气垫轴承元件14(请参图3)圆形的环形内侧流动，并经由具有大约几微米的间隙以确保气垫轴承元件14悬置在导轨15之上。测量设备01中可移动的部件通过这种方式在没有接触的情形下被导引与支撑。
图2是水平横梁09设计的放大示意图。水平横梁09从焊接的结构部件16得到其机械强度，该焊接结构部件16系通过激光焊接若干个经由激光切割加工的钢部件17而产生。每个钢部件17具有一个舌片与凹槽连接结构，以容许将预组装的钢部件17在经由激光焊接前而连接在一起。
为了获得最小的温度变形，焊接结构部件16在钢部件17上设有若干个凹槽。
为形成导轨15，焊接结构部件16在其顶端设有两个棱形的导引柱18、19。陶瓷瓷砖20被接合到各自的外侧与各自的顶侧(请参图3)，以形成导轨15。导引柱18、19之上的导轨15之间相互系以直角方式结合，因而产生这种结果，即载体架10能够在水平方向及垂直方向上被精确地导引。
图3是导轨15设计的放大示意图。粘合剂22被使用在焊接结构部件16的粘合表面21上，用以安装陶瓷瓷砖20，然后瓷砖20被接合到由粘合剂22形成的粘层上。当粘合剂22硬化之后，相邻陶瓷瓷砖20之间的过渡区域23被一种可硬化的填充材料充满，所述的瓷砖20与填充材料的表面，可以通过合适的修整加工，例如沿着导轨15进行研磨与抛光处理，以获得所需要的峰谷高度与平面度。
Claims (20)
1、一种装置，具有至少两个彼此可相向移动的部件(09，10)，其中至少一个气垫轴承元件(14)设置在第一部件(10)上，而与设置在第二部件(09)上的导轨(15)相互配合；该第一部件(10)因气垫轴承元件(14)与导轨(15)之间具有的空气间隙，而以一种非接触方式被导引与/或支撑在第二部件(09)上；其特征在于，导轨(15)由并排设置在第二部件(09)上的瓷砖(20)制成。
2、根据权利要求1所述的装置，其特征在于，瓷砖(20)系由陶瓷材料制成，特别是由根据VDE0335第三部件的陶瓷编号为C221的Stettalit材料制成。
3、根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，瓷砖(20)设置在利用粘合剂(22)的第二部件(09)的粘合表面(21)上。
4、根据权利要求3所述的装置，其特征在于，粘合剂(22)具有较低的流动性。
5、根据权利要求3或4所述的装置，其特征在于，一种两部件结构粘合物用作粘合剂(22)。
6、如权利要求3、4或5所述的装置，其特征在于，在使用粘合剂(22)之前，第二部件(09)的粘合表面(21)的峰谷高度大约在50微米到100微米之间。
7、根据权利要求1至6任何之一所述的装置，其特征在于，在相邻的陶瓷(20)过渡区域(23)填充有一种可硬化的填充材料(23)。
8、根据权利要求1至7任何之一所述的装置，其特征在于，在粘合剂(22)与/或填充材料(23)硬化之后，对陶瓷(20)与/或填充材料(23)形成导轨(15)的面积区域进行表面处理，特别是进行研磨或抛光处理。
9、根据权利要求1至8任何之一所述的装置，其特征在于，导轨(15)具有一峰谷之间的高度不大于(小于或等于)1微米。
10、根据权利要求1至9任何之一所述的装置，其特征在于，导轨(15)的平面度不大于(小于或等于)2微米每200毫米。
11、根据权利要求1至10任何之一所述的装置，其特征在于，第二部件(09)被加工为一种具有若干钢部件(17)的焊接结构。
12、根据权利要求11所述的装置，其特征在于，钢部件(17)通过激光切割方式产生。
13、根据权利要求11或12所述的装置，其特征在于，钢部件(17)经由激光焊接而接合在一起。
14、根据权利要求11至13任何之一所述的装置，其特征在于，在焊接钢部件(17)之后，对第二部件(09)上进行低压力退火处理。
15、根据权利要求11至14任何之一所述的装置，其特征在于，在焊接或退火之后，对第二部件(09)的表面进行表面处理，特别在通过喷砂处理及/或防腐蚀涂层。
16、根据权利要求11至15任何之一所述的装置，其特征在于，在将被接合在一起的钢部件(17)上设置有用来预组装的舌片与凹槽。
17、根据权利要求1至16任何之一所述的装置，其特征在于，装置(01)是一种测量装置，特别是一种具有可移动式安装的用于测量工件的测量头的测量设备。
18、根据权利要求17所述的装置，其特征在于，测量设备(01)具有至少两个垂直连接机构(07，08)与一个支持在垂直连接机构(07，08)之上的水平横梁(09)，因而垂直连接机构(07，08)并同水平横梁(09)，在用来固定待测量工件的固定表面(02)上形成一入门(05)。
19、根据权利要求18所述的装置，其特征在于，垂直连接机构(07，08)的垂直长度大约在0.5至5米之间，特别是1.2米。
20、根据权利要求18或19所述的装置，其特征在于，水平横梁(09)在两垂直连接机构(07，08)之间的跨度大约在0.5至5米之间，特别是1.5米。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE10326712.3 | 2003-06-11 | ||
| DE10326712A DE10326712A1 (de) | 2003-06-11 | 2003-06-11 | Vorrichtung mit Tragluftlagerung |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN1836113A true CN1836113A (zh) | 2006-09-20 |
Family
ID=33495020
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CNA2004800158880A Pending CN1836113A (zh) | 2003-06-11 | 2004-06-11 | 具有由瓷砖制成之气垫轴承与导轨的装置 |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20060251344A1 (zh) |
| EP (1) | EP1633989A1 (zh) |
| JP (1) | JP2007524043A (zh) |
| KR (1) | KR20060027803A (zh) |
| CN (1) | CN1836113A (zh) |
| BR (1) | BRPI0411252A (zh) |
| CA (1) | CA2526537A1 (zh) |
| DE (1) | DE10326712A1 (zh) |
| WO (1) | WO2004111475A1 (zh) |
| ZA (1) | ZA200509264B (zh) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006326789A (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Konica Minolta Opto Inc | ガイド装置及び工作機械 |
| US10364842B2 (en) * | 2016-10-04 | 2019-07-30 | New Way Machine Components, Inc. | Long travel air bearing linear stage |
| CN112828485B (zh) * | 2020-12-31 | 2023-03-24 | 南昌航空大学 | 一种用于止推顶箔微激光点焊的装置 |
| US12092157B1 (en) | 2023-10-19 | 2024-09-17 | Wuxi Xivi Science And Technology Co., Ltd. | Magnetic preloading air bearing and linear platform having same |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3012487C2 (de) * | 1980-03-31 | 1983-02-10 | Jürgen 1000 Berlin Schulz | Maschinenelement, Verfahren zur Herstellung und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
| JPS61171920A (ja) * | 1984-12-19 | 1986-08-02 | Inoue Japax Res Inc | 転動摺動用基材 |
| DE4022487A1 (de) * | 1990-07-14 | 1992-01-16 | Volker Dr Sc Techn Guyenot | Grundkoerper einer linearen laengsfuehrung bzw. eines aerostatischen lagers sowie verfahren zu seiner herstellung |
| DE9318777U1 (de) * | 1993-12-08 | 1994-03-10 | Carl Zeiss Jena Gmbh, 07745 Jena | Koordinatentischanordnung, insbesondere für Meßgeräte und Maschinen |
| JP3153111B2 (ja) * | 1995-09-18 | 2001-04-03 | 株式会社ミツトヨ | 手動操作型三次元測定機 |
| JPH10103354A (ja) * | 1996-09-27 | 1998-04-21 | Nippon Steel Corp | 静圧気体軸受け |
| US6296990B1 (en) * | 1998-05-14 | 2001-10-02 | Asm Lithography, B.V. | Gas bearing and lithographic apparatus including such a bearing |
| DE10140174B4 (de) * | 2001-08-22 | 2005-11-10 | Leica Microsystems Semiconductor Gmbh | Koordinaten-Messtisch und Koordinaten-Messgerät |
-
2003
- 2003-06-11 DE DE10326712A patent/DE10326712A1/de not_active Withdrawn
-
2004
- 2004-06-11 CA CA002526537A patent/CA2526537A1/en not_active Abandoned
- 2004-06-11 WO PCT/DE2004/001194 patent/WO2004111475A1/de not_active Application Discontinuation
- 2004-06-11 EP EP04738646A patent/EP1633989A1/de not_active Withdrawn
- 2004-06-11 CN CNA2004800158880A patent/CN1836113A/zh active Pending
- 2004-06-11 US US10/560,698 patent/US20060251344A1/en not_active Abandoned
- 2004-06-11 KR KR1020057023605A patent/KR20060027803A/ko not_active Application Discontinuation
- 2004-06-11 JP JP2006515674A patent/JP2007524043A/ja active Pending
- 2004-06-11 BR BRPI0411252-0A patent/BRPI0411252A/pt not_active Application Discontinuation
-
2005
- 2005-11-16 ZA ZA200509264A patent/ZA200509264B/en unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP1633989A1 (de) | 2006-03-15 |
| JP2007524043A (ja) | 2007-08-23 |
| BRPI0411252A (pt) | 2006-07-25 |
| WO2004111475A1 (de) | 2004-12-23 |
| ZA200509264B (en) | 2008-03-26 |
| US20060251344A1 (en) | 2006-11-09 |
| KR20060027803A (ko) | 2006-03-28 |
| DE10326712A1 (de) | 2005-01-05 |
| CA2526537A1 (en) | 2004-12-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Uhlmann et al. | Surface formation in creep feed grinding of advanced ceramics with and without ultrasonic assistance | |
| CN102773733A (zh) | 一种精锻叶片型面定位装夹的方法及其夹具 | |
| CN103668185A (zh) | 耐磨性高的汽车模具的激光修复工艺 | |
| CN102764956A (zh) | 一种钢模板的生产工艺 | |
| CN102706315A (zh) | 平台台面的平面度测量装置及测量方法 | |
| CN1836113A (zh) | 具有由瓷砖制成之气垫轴承与导轨的装置 | |
| CN104245349A (zh) | 用于利用水射流装置制造表面结构的方法 | |
| CN101949116B (zh) | 一种采用激光修补钢轨的方法 | |
| CN110733148A (zh) | 一种风电叶片腹板模具粘接挡边的安装方法 | |
| US4466190A (en) | Coordinate measuring machine | |
| CN101284357B (zh) | 上端底板的制造方法 | |
| CN108466173A (zh) | 一种气浮精密运动平台 | |
| CN100457359C (zh) | 复合钢板的爆炸焊接制造方法及其在直线电动机上的应用 | |
| US20050241262A1 (en) | Method and device for the production of a precise concrete prefabricated part | |
| CN212044359U (zh) | 一种玻璃检测用定位夹具 | |
| MXPA05013353A (en) | Device comprising a floating bearing system and guide track consisting of tiles | |
| CN103668180A (zh) | 与模具磨损部位结合紧密的汽车模具的激光修复工艺 | |
| CN103668181A (zh) | 熔合率高的汽车模具的激光修复工艺 | |
| CN109202544A (zh) | 片簧的精密再加工方法 | |
| Abdulqader | Product qualification and performance assessment of HSRM prestressed concrete railroad ties through laboratory testing | |
| WO2019220373A1 (en) | Grinding wheel | |
| CN201979355U (zh) | 无碴轨道板用新型加工磨床 | |
| Huang et al. | A new integrated polishing process design for plastic mold steel to mirror-like surface | |
| CN210588760U (zh) | 一种抛光打磨固定装置 | |
| Ghionea et al. | Applicative CAD/CAM methodology for parameterization the rolling surface of railway wheels |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |