CN1824397A - 带材清洗装置以及带材清洗方法 - Google Patents

带材清洗装置以及带材清洗方法 Download PDF

Info

Publication number
CN1824397A
CN1824397A CNA2006100080389A CN200610008038A CN1824397A CN 1824397 A CN1824397 A CN 1824397A CN A2006100080389 A CNA2006100080389 A CN A2006100080389A CN 200610008038 A CN200610008038 A CN 200610008038A CN 1824397 A CN1824397 A CN 1824397A
Authority
CN
China
Prior art keywords
band
cleaning
foreign matter
cleaning device
matting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CNA2006100080389A
Other languages
English (en)
Inventor
楢林哲之
国本慎治
厚海裕之
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
Original Assignee
Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsui Mining and Smelting Co Ltd filed Critical Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
Publication of CN1824397A publication Critical patent/CN1824397A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
    • B08B3/12—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration by sonic or ultrasonic vibrations
    • B08B3/123—Cleaning travelling work, e.g. webs, articles on a conveyor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B11/00—Cleaning flexible or delicate articles by methods or apparatus specially adapted thereto
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B13/00—Accessories or details of general applicability for machines or apparatus for cleaning
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/041—Cleaning travelling work
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26—DRYING
    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B21/00—Arrangements or duct systems, e.g. in combination with pallet boxes, for supplying and controlling air or gases for drying solid materials or objects
    • F26B21/001—Drying-air generating units, e.g. movable, independent of drying enclosure
    • F26B21/002—Drying-air generating units, e.g. movable, independent of drying enclosure heating the drying air indirectly, i.e. using a heat exchanger

Abstract

本发明提供了一种能够提高带材洗净度的带材清洗装置以及带材清洗方法。在带材清洗装置(1)的清洗部(41)中，在浸泡槽(411)内，为埋没第2导向轮(46)以及第3导向轮(47)，存留有浸泡水(411b)，以此浸泡搬送中的带材(100)。另外，在该浸泡槽(411)内，与第4导向轮(48)相向设置有超声波清洗机构(4132)。

Description

带材清洗装置以及带材清洗方法
技术领域
本发明涉及一种清洗如TAB带或者COF带等电子部品封装用薄膜载带的带材清洗装置以及带状材料清洗方法。
背景技术
近年，作为带状材料，熟知的例如用于平板显示器以及打印机等的TAB带及COF带等电子部品封装用薄膜载带。
该电子部品封装用薄膜载带，在制造以及检查时会附着空气中的灰尘、与卷盘的摩擦生成的粉末以及从各装置上产生的金属粉等异物。附着在带材上的这些异物是造成印刷电路板和半导体芯片接触不良的原因，需要去除。
于是，专利文献1公开了一种将带材搬送的同时在中途将其浸泡在清洗槽中的清洗液中，通过对该清洗液施加超声波振动去除附着在带材上的异物的清洗装置。
专利文献1特开2003-24888号公报
但是，在现有的清洗装置中，通过超声波振动从带材上去除的异物残留在清洗液中，因此，虽然从带材上除去了异物，但是在带材上又重新附着上了异物，洗净度不好。
发明内容
本发明是借鉴现有课题而产生的，其目的在于提供一种能够提高带材洗净度的带材清洗装置以及带材清洗方法。
因此，本发明的发明人等经过潜心研究的结果，为解决现有技术的缺陷，提供了一种如下所述的带材清洗装置以及带材清洗方法。
本发明的带材清洗装置：
本发明的带材清洗装置，其特征在于，包括：带材搬送机构；浸泡搬送中的所述带材的浸泡槽；为经过该浸泡槽浸泡后的所述带材喷射经过施加超声波振动的清洗液，去除附着在该带材上的异物的超声波清洗机构。
上述构成中，在浸泡时，附着在带材上的异物膨胀，附着力减弱。另外由于对经过了浸泡槽的带材进行异物的去除，可以防止从带材上除去的异物重新附着在带材上。
另外，本发明的带材清洗装置，其特征在于，所述搬送机构，具有在搬送线中的利用所述超声波清洗机构进行喷射的位置固定所述带材的固定机构。
通过上述构成，即使利用超声波清洗机构向带材喷射清洗液，带材也不会摇动，因此，能够容易地从带材上将异物除去。
另外，本发明的带材清洗装置，其特征在于，包括：在利用超声波清洗机构清洗前，去除附着在所述浸泡槽中经过浸泡的所述带材上的异物的前清洗机构。
通过上述构成，减少了利用超声波清洗机构清洗时附着在带材上的异物的量，能够容易地从带材上将异物除去。
另外，本发明的带材清洗装置，其特征在于，所述搬送机构具有将经过所述浸泡槽浸泡的所述带材向上方引导的多个导向机构，所述前清洗机构对通过该多个导向机构搬送到上方的带材上附着的异物进行去除。
通过上述构成，与将经过浸泡的带材向水平方向搬送时相比，使前清洗机构的清洗距离变长。因此，进一步减少了在利用超声波清洗机构清洗时附着在带材上的异物数量，能够更容易地从带材上将异物除去。
再有，本发明的带材清洗装置，将通过所述多个导向机构向上方搬送的所述带材的倾斜角度优选设置为10°～170°。
这里，带材的倾斜角度小于10°或者超过170°时，与将带材向水平方向搬送时相比，利用前清洗机构的带材的清洗距离基本相同，异物的去除处理性基本不变，不优先考虑。
另外，本发明的带材清洗装置，其特征在于，所述搬送机构，具有将在所述浸泡槽中经过浸泡的所述带材向水平方向引导的多个导向机构，所述前清洗机构，将附着在通过该多个导向机构水平方向搬送的带材上的异物除去。
上述构成，与将经过浸泡的带材向上方引导时相比，能够将装置的高度降低。
另外，本发明的带材清洗装置，其特征在于，所述搬送机构在所述多个导向机构中，位于所述超声波清洗机构处的导向机构兼作所述固定机构，所述超声波清洗机构向通过该导向机构固定在所述搬送线上的所述带材喷射所述清洗液。
通过上述构成，能够减少部件的数量。
另外，本发明的带材清洗装置，其特征在于，在利用所述超声波清洗机构清洗后，具有去除附着在所述带材上的异物的后清洗机构。
通过上述构成，即使利用超声波清洗机构清洗后仍残留异物，也能除去。
另外，本发明的带材清洗装置，其特征在于，具有对利用所述超声波清洗机构或者所述后清洗机构清洗后的所述带材进行干燥的干燥机构。
通过上述构成，与将带材的清洗和干燥分别进行的场合相比，能够缩短从带材的清洗到干燥所需时间。
另外，本发明的带材清洗装置，其特征在于，在所述干燥机构前，具有去除附着在清洗后的所述带材上的清洗液的除水机构。
通过上述构成，由于干燥时的清洗液的量减少了，使干燥时间得到缩短。
另外，本发明的带材清洗装置是清洗重叠有隔离带的所述带材的装置，其特征在于，所述搬送机构，包括：边分离所述隔离带，边向搬送线输送所述带材的带材供给机构；边向通过所述干燥机构干燥的清洗完后的所述带材重叠另外的隔离带，边进行收纳的带材收纳机构。
通过上述构成，可以很好地进行从带材上的隔离带的分离以及防止清洗后的带材表面(例如带材表面上的布线图)损伤。
另外，本发明的带材清洗装置，其特征在于，具有对通过所述带材收纳机构收纳的清洗完后的所述带材，进行无尘捆包的无尘捆包室。
通过上述构成，可以防止清洗、干燥完后的带材在捆包时附着异物。
另外，本发明的带材清洗装置，其特征在于，所述带材为电子部品封装用薄膜载带，而所述带材清洗装置为，用于去除附着在该电子部品封装用薄膜载带上的异物的清洗装置。
通过上述构成，对于电子部品封装用薄膜载带，可以得到与所述带材清洗装置具有的功能相同的功能。
本发明的带材清洗方法：
本发明的带材清洗方法，作为一种将带材边搬送边清洗的带材清洗方法，其特征在于，包括：浸泡所述带材的浸泡工序；向经过浸泡的所述带材喷射施加了超声波振动的清洗液，去除附着在该带材上的异物的超声波清洗工序。
通过上述构成，在浸泡工序时，附着在带材上的异物膨胀，附着力减弱。另外，由于对完成浸泡工序的带材进行超声波清洗工序，可以防止从带材上除下的异物再附着在带材上。
另外，本发明的带材清洗方法，其特征在于，在所述超声波清洗工序中，在设置在搬送线上的喷射位置固定所述带材，喷射所述清洗液。
通过上述构成，即使在超声波清洗工序向带材喷射清洗液，带材也不摇动，能够容易地从带材上将异物除去。
另外，本发明的带材清洗方法，其特征在于，在所述超声波清洗工序前，设有去除附着在经过浸泡的所述带材上的异物的前清洗工序。
通过上述构成，在超声波清洗工序中附着在带材上的异物的量减少了，能够容易地从带材上将异物除去。
另外，本发明的带材清洗方法，其特征在于，在所述前清洗工序中，将经过浸泡的所述带材向上方搬送。
通过上述构成，与将经过浸泡的带材向水平方向搬送时相比，使在前清洗工序中的清洗距离变长。因此在超声波清洗工序附着在带材上的异物数进一步减少了，能够更容易地从带材上将异物除去。
再有，本发明的带材清洗方法，将在所述前清洗工序中向上方搬送的所述带材的倾斜角度优选设置为10°～170°。
这里，带材的倾斜角度小于10°或者超过170°时，与将带材向水平方向搬送时相比，在前清洗工序中的带材的清洗距离基本相同，因此，异物的去除处理性基本不变，不优先考虑。
另外，本发明的带材清洗方法，其特征在于，在所述前清洗工序中，将经过浸泡的所述带材向水平方向搬送。
通过上述构成，与将经过浸泡的带材向上方搬送时相比，能够减少搬送区域。
另外，本发明的带材清洗方法，其特征在于，在所述超声波清洗工序后，设有去除附着在所述带材上的异物的后清洗工序。
通过上述构成，即使在超声波清洗工序中清洗后的带材上仍有残留异物，也能除去。
另外，本发明的带材清洗方法，其特征在于，在所述超声波清洗工序或者所述后清洗工序的任一工序后，设有对清洗完后的所述带材进行干燥的干燥工序。
通过上述构成，与将带材的清洗和干燥分别进行相比，能够缩短从带材的清洗到干燥所需时间。
另外，本发明的带材清洗方法，其特征在于，在所述干燥工序前，设有去除附着在清洗完后的所述带材上的清洗液的除水工序。
通过上述构成，由于干燥工序时的清洗液的量减少了，干燥时间得到缩短。
另外，本发明的带材清洗方法是清洗重叠了隔离带的所述带材的方法，其特征在于，包括：设置在所述浸泡工序前的，边分离所述隔离带边将所述带材向搬送线输送的供给工序；设置在所述干燥工序后的，边向被干燥的清洗完后的所述带材重叠另外的隔离带，边进行收纳的收纳工序。
通过上述构成，可以很好地进行从带材上的隔离带的分离以及防止清洗后的带材表面(例如带材表面上的布线图形)损伤。
另外，本发明的带材清洗方法，其特征在于，在所述收纳工序后，设有将收纳的所述带材在无尘状态下捆包的无尘捆包工序。
通过上述构成，可以防止清洗、干燥完后的带材在捆包时附着异物。
另外，本发明的带材清洗方法，其特征在于，所述带材为电子部品用薄膜载带，而所述带材清洗方法为，去除附着在该电子部品用薄膜载带上的异物的方法。
通过上述构成，对于电子部品封装用薄膜载带，可以得到与所述带材清洗方法具有的作用相同的作用。
本发明的带材清洗装置，通过将带材浸泡在液体(纯水或者纯水和清洗液的混合液)中，使附着在带材上的异物膨胀，或者吸收水分使附着力减弱，因此能够利用超声波清洗机构容易地将异物除去。另外对经过了浸泡槽的带材利用超声波清洗机构进行异物的去除，可以防止从带材上除去的异物再附着到带材上。从而能够提高带材的洗净度。
另外，本发明的带材清洗装置，即使利用超声波清洗机构向带材喷射清洗液，通过固定机构使得带材不产生摇动。因此可以从带材上容易地将异物除去。从而能够进一步提高带材的洗净度。
另外，本发明的带材清洗装置，通过预先利用前清洗机构去除异物，使得在利用超声波清洗机构清洗时附着在带材上的异物数量减少。因此从带材上可以更容易地将异物除去。从而能够进一步提高带材的洗净度。
另外，本发明的带材清洗装置，通过将经过浸泡的带材利用多个导向机构向上方搬送，与将带材向水平方向搬送时的场合相比，使利用前清洗机构的带材的清洗距离变长。因此在利用超声波清洗机构清洗时，附着在带材上的异物数量进一步减少了，可以更容易地将异物除去。因而能够进一步提高带材的洗净度。
另外，本发明的带材清洗装置，通过将向上方搬送的带材的倾斜角度设置为10°～170°，与向水平方向搬送时相比充分确保了利用前清洗机构的带材的清洗距离变长，能够确实可靠地得到高洗净度。
另外，本发明的带材清洗装置，通过将经过浸泡的带材利用多个导向机构向水平方向搬送，与将带材向上方搬送时相比，降低了装置的高度。因而能够缩小设置空间。
另外，本发明的带材清洗装置，通过将位于超声波清洗机构侧的导向机构兼作固定机构，减少了部件的数量。因而能够降低制造成本并提高带材的洗净度。
另外，本发明的带材清洗装置，即使在利用超声波清洗机构清洗后仍然残留有异物，也可以通过后清洗机构将异物除去。因而能够进一步提高带材的洗净度。
另外，本发明的带材清洗装置，通过将带材的清洗和干燥在同一个装置上进行，与将带材的清洗和干燥分别进行时相比，缩短了从带材的清洗到干燥所需的时间。因而能够提高带材的生产率。
另外，本发明的带材清洗装置，通过将附着在清洗后的带材上的清洗液预先利用除水机构去除，使干燥时的清洗液的残余量减少了。通过其可以缩短干燥时间，从带材的清洗到干燥所需的时间也得到进一步缩短。因而能够进一步提高带材的生产率。
另外，本发明的带材清洗装置，为边供给带材边隔离带分离，边重叠隔离带边收纳清洗后的带材。因此，可以很好地进行从带材上的隔离带的分离以及防止清洗后的带材表面(例如带材表面上的布线图)损伤。因而能够提高重叠了隔离带的带材的生产率。
另外，本发明的带材清洗装置，通过具备无尘捆包室，可以防止在捆包清洗、干燥完后的带材时附着异物。因而能够提高带材的品质。
另外，本发明的带材清洗装置，作为电子部品封装用薄膜载带用的清洗装置，在清洗电子部品封装用薄膜载带时，能够得到与所述带材清洗装置所具有的效果相同的效果。
另外，本发明的带材清洗方法，通过将带材浸泡在液体(纯水或者纯水和清洗液的混合液)中，使附着在带材上的异物膨胀润滑或者吸收水分而附着力减弱，因此能够在超声波清洗工序时容易地将异物除去。另外由于对经过了浸泡工序的带材进行超声波清洗工序，可以防止从带材上除去的异物再附着到带材上。因而能够提高带材的洗净度。
另外，本发明的带材清洗方法，在超声波清洗工序中即使向带材喷射清洗液，也使带材不产生晃动，可以从带材上容易地将异物除去。因而能够进一步提高带材的洗净度。
另外，本发明的带材清洗方法，通过预先利用前清洗工序将异物除去，使得在超声波清洗工序时，附着在带材上的异物数量减少了，可以更容易地从带材上去除异物。因而能够进一步提高带材的洗净度。
另外，本发明的带材清洗方法，通过将经过浸泡的带材向上方搬送，与将带材向水平方向搬送时相比，确保在前清洗工序中的带材的清洗距离变长。因此在超声波清洗工序时，附着在带材上的异物数量进一步减少了，可以从带材上更容易地将异物除去。因而能够进一步提高带材的洗净度。
另外，本发明的带材清洗方法，通过将经过浸泡向上方搬送的带材的倾斜角度设置为10°～170°，与向水平方向搬送时相比，由于充分确保了在前清洗工序中的带材的清洗距离变长，能够确实可靠地得到高洗净度。
另外，本发明的带材清洗方法，通过将经过浸泡的带材向水平方向搬送，与将带材向上方搬送时相比，降低了搬送区域的高度。因而能够缩小搬送区域。
另外，本发明的带材清洗方法，即使在超声波清洗工序清洗后的带材上异物仍有残留，也可通过后清洗工序将其去除。因而能够进一步提高带材的洗净度。
另外，本发明的带材清洗方法，通过对清洗完后的带材接着进行干燥，与将带材的清洗和干燥分别进行时相比，缩短了从带材的清洗到干燥所需的时间。因而能够提高带材的生产率。
另外，本发明的带材清洗方法，通过将附着在清洗完后的带材上的清洗液预先利用除水工序去除，干燥工序时的清洗液的残余量减少了。由于利用其可以缩短干燥时间，从带材的清洗到干燥所需的时间也得到进一步缩短。因而能够进一步提高带材的生产率。
另外，本发明的带材清洗方法，边供给带材边分离隔离带，边重叠其他的隔离带边收纳清洗后的带材。因此，可以有效地进行带材的隔离带的分离以及防止清洗后的带材表面(例如带材表面上的布线图)损伤。因而能够提高重叠了隔离带的带材的生产率。
另外，本发明的带材清洗方法，通过设有无尘捆包工序，可以防止在捆包清洗、干燥完后的带材时附着异物。因而能够提高带材的品质。
另外，本发明的带材清洗方法，其构造是作为电子部品封装用薄膜载带用的清洗方法，在清洗电子部品封装用薄膜载带时，能够得到与所述带材清洗方法所具有的效果相同的效果。
附图说明
图1为本发明的第1具体实施方式的带材清洗装置示意图。
图2为上述具体实施方式的带材清洗装置的俯视图。
图3为图1的要部放大图。
图4为本发明的第2具体实施方式的带材清洗装置要部示意图。
图5为本发明的第3具体实施方式的带材清洗装置要部示意图。
图6为本发明的第4具体实施方式的带材清洗装置的要部示意图。
附图标记
1  带材清洗装置
3  带材供给机构
5  带材收纳机构
24 捆包室
43 暖风加热器
47 第3导向轮
48 第4导向轮
100 带材
110 搬送线
110a 喷射位置
200 带材清洗装置
240 导向轮
241 导向轮
300 带材清洗装置
348 导向轮
400 带材清洗装置
411 浸泡槽
422 吹拂器
448 固定机构
4131 前清洗机构
4132 超声波清洗机构
4133 后清洗机构
α倾斜角度
具体实施方式
下面，参照附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。
第1具体实施方式：
图1为根据本发明第1具体实施方式的带材清洗装置1的示意图。该清洗装置1是用于TAB带的薄膜载带100的清洗装置。其中在具体实施方式中，以下将薄膜载带100简称为带材100进行说明。
所述带材清洗装置1，装置1整体设置在净化房R内，包括：设置在净化房R的地板F上的净化室2；依次排列设置在净化室2内的地板F上的带材供给机构3、带材清洗机构4、带材收纳机构5；设置在净化室2外的地板F上的控制装置(省略图示)。另外，也可以不设置净化室2，直接在净化房R内分别设置带材供给机构3、带材清洗机构4、带材收纳机构5以及所述控制装置构成带材清洗装置。
如图2所示，净化室2包括：在一排连续设置的三个收纳室21～23和；与一端的收纳室23的侧面邻接的捆包室24。
三个收纳室21～23以分别独立状态收容带材供给机构3、带材清洗机构4和带材收纳机构5。带材供给机构3的收纳室21的侧面设置为可以开启，以便操作者可以进行带材100的安装等。
另外，捆包室24，设置为使操作者可以进行清洗完后的带材100的捆包作业的大小。为使操作者可以进出，侧面设置为可以开启。再有，该捆包室24具有比其他的收纳室21～23更高的防尘功能。
另外，所述带材供给机构3，是将清洗前的带材100向带材清洗机构4输送的装置。该带材供给机构3包括：设置在收纳室21内的地板F上的支撑体(省略图示)；设置在该支撑体的上部通过回转轴31可拆卸的带材供给卷盘33；设置在所述支撑体的下部，通过另外的回转轴32可拆卸的隔离带卷取卷盘34；配置在所述支撑体上的两个导向轮35、36；与双方的回转轴31、32连接的驱动机构(省略图示)。
带材供给卷盘33，通过回转轴31可旋转地支撑在所述支撑体上。并且该卷盘33上卷有：端部连接有引带的带材100；和重叠在该带材100的布线图面100a侧的隔离带101。
另外，隔离带卷取卷盘34，通过回转轴32可旋转地支撑在所述支撑体上。并且该卷盘34能够将卷在带材供给卷盘33上的隔离带101卷出，清洗前设为空的状态。
另外，多个导向轮35、36，包括：在双方的卷盘33、34之间设置在所述支撑体上的用于缠绕隔离带的导向轮35；比带材供给卷盘33更靠近带材清洗机构4一端并设置在所述支撑体上的用于供给带材的导向轮36。
隔离带卷取用导向轮35，向从带材供给卷盘33出来的隔离带101给与牵引力的同时，将该隔离带101向隔离带卷取卷盘34引导。
另外，带材供给用导向轮36，向从带材供给卷盘33出来的带材100给与牵引力的同时，将该带材100向带材清洗机构4引导。
另外，所述驱动机构，使上端的回转轴31向带材100的供给方向A旋转，使得带材供给卷盘33将带材100输送至带材清洗机构4。
再有，所述驱动机构，使下端的回转轴32向隔离带101的取出方向B(与供给方向A相反的方向)旋转，使得隔离带卷取卷盘34能够从带材供给卷盘33将隔离带101分离并缠绕。
另外，所述带材清洗机构4是将从带材供给机构3传送来的带材100清洗，然后除水以及使其干燥的装置。该带材清洗机构4包括：设置在收纳室22内的地板F上的清洗部41；设置在清洗部41的上端的除水部42；与除水部42相邻，设置在收纳室22内的本发明的干燥机构，即暖风加热器43；在收纳室22内呈略U字形配置的多个导向轮44～49。
多个的导向轮44～49，包括：在除水部42的带材供给机构3侧设置的第1导向轮44、45；在该导向轮44、45的下方，在清洗部41内的下部设置的第2导向轮46；在第2导向轮46的带材收纳机构5侧水平设置的第3导向轮47；在清洗部41内，在从第3导向轮47向带材供给机构3侧斜上方设置的第4导向轮48；在第4导向轮48的上方，与除水部42相邻设置的第5导向轮49。
第1导向轮44、45，将从带材供给用导向轮36传送来的带材100夹持的同时朝第2导向轮46方向向下引导。
另外，第2导向轮46，将从第1导向轮44、45传送来的带材100朝第3导向轮47方向水平引导。
另外，第3导向轮47，将从第2导向轮46传送来的带材100朝第4导向轮48方向向斜上方引导。
另外，第4导向轮48，将从第3导向轮47传送来的带材100朝第5导向轮49方向向上引导。
另外，第5导向轮49，将从第4导向轮48传送来的带材100向带材收纳机构5水平方向引导。
另外，所述清洗部41包括：设置在地板F上的浸泡槽411；与浸泡槽411连接的循环系统412；设置在浸泡槽411内的清洗部本体413。
浸泡槽411，如图3所示，内部具有收纳空间411a。另外，在浸泡槽411的上面，在与带材供给机构3以及除水部42的重合部分，设有使带材100通过的穿插口(省略图示)。
并且，在所述收纳空间411a内，为埋没第2导向轮46以及第3导向轮47存留有浸泡水411b，利用其浸泡搬送中的带材100。其中，用于浸泡水411b的液体，是纯水或者纯水与清洗剂的混合物，其可以根据带材100的种类适当改变。
另外，在浸泡槽411的底面，设有排水口以及进水口(省略图示)，该排水口和进水口连接有循环系统412。
循环系统412，包括：通过排水管412a与浸泡槽411的所述排水口连接的泵412b；连接在泵412b的出口侧的过滤器412c；连接在过滤器412c的出口侧的杀菌机构412d，杀菌机构412d的出口侧通过进水管412e与浸泡槽411的所述进水口连接。
并且，循环系统412利用泵412b将浸泡槽411内的浸泡水411b抽上来，利用过滤器412c过滤，将灰尘等异物除去，接着利用杀菌机构412d进行杀菌，使浸泡水411b循环。
另外，所述清洗部本体413，包括：在第3导向轮47和第4导向轮48之间设置的一对前清洗机构4131、4131；与第4导向轮48相对设置的超声波清洗机构4132；在第4导向轮48的上方设置的一对后清洗机构4133、4133。
前清洗机构4131、4131，隔着穿过第3导向轮47和第4导向轮48间的带材100而相向设置，包括：用于存储清洗液的存储箱(省略图示)；与该箱连接，向带材100的两面喷射所述清洗液的喷嘴4131a。
另外，超声波清洗机构4132，包括：用于存储清洗液的存储箱(省略图示)；与该箱连接，向带材100的布线图形面100a喷射膜状清洗液的喷嘴4132a；为该清洗液施加超声波振动的振动板4132b；使该振动板4132b产生超声波振动的超声波发生器(省略图示)。
另外，后清洗机构4133、4133，隔着穿过第4导向轮48的带材100而相向的位置上设置，包括：用于存储清洗液的存储箱(省略图示)；与该存储箱连接，向带材100的两面喷射所述清洗液的喷嘴4133a。
另外，除水部42，包括：在浸泡槽411上设置的收纳部421；在收纳部421内设置的本发明的除水机构的两组吹拂器422、422。
收纳部421，在内部具有收纳空间421a，在上下面，面向浸泡槽411的所述穿插口，分别设有使带材100通过的穿插口(省略图示)。
另外，吹拂器422、422，隔着带材100，相向设置，包括：存储压缩空气的存储箱(省略图示)；与该箱连接，向带材100的两面吹拂空气的喷嘴422a。
另外，暖风加热器43隔着穿过第5导向轮49的带材100，相向设置，包括：暖风加热器本体43a；向带材100的两面分别吹拂暖风的吹风口43b。
另外，如图1所示，所述带材收纳机构5是收纳经过清洗、除水以及干燥后的带材100的装置。该带材收纳机构5包括：设置在收纳室23内的地板F上的支撑体(省略图示)；通过回转轴51可拆卸地设置在该支撑体的下部的隔离带供给卷盘53；通过另外的回转轴52可拆卸地设置在所述支撑体的上部的带材卷取卷盘54；配置在所述支撑体上的多个导向轮55～57；与两个回转轴51、52连接的驱动机构(省略图示)。
隔离带供给卷盘53，通过回转轴51可以旋转地支撑在所述支撑体上，在该卷盘53上卷有与所述隔离带101不同的隔离带102。
另外，带材卷取卷盘54，可旋转地支撑在所述支撑体上。并且，在该卷盘54上，将经过了暖风加热器43传送过来的带材100，与卷取在隔离带供给卷盘53上的隔离带101重叠缠绕，清洗前设置为空的状态。
另外，多个的导向轮55～57，包括：在两个卷盘53、54之间，在隔离带供给卷盘53侧设置的隔离带供给用导向轮55；在带材卷取卷盘54侧设置的隔离带卷取用导向轮56；在带材卷取卷盘54的上方设置的带材卷取用导向轮57。
隔离带供给用的导向轮55，向从隔离带供给卷盘53出来的隔离带102施加牵引力的同时，将该隔离带102向隔离带卷取用导向轮56引导。
另外，隔离带卷取用导向轮56，向从隔离带供给用导向轮55传送来的隔离带102进一步施加牵引力的同时，将该隔离带102向带材卷取卷盘54引导。
另外，带材卷取用导向轮57，向穿过暖风加热器43后传送过来的带材100施加牵引力的同时，将该带材100向带材卷取卷盘54引导。
另外，所述驱动机构使下端的回转轴51向隔离带102的供给方向C旋转。使得隔离带供给卷盘53向带材卷取卷盘54输送隔离带102。
再有，所述驱动机构使上端的回转轴52向带材100以及隔离带102的卷取方向D旋转。使得带材卷取卷盘54将带材100和卷在隔离带供给卷盘53上的隔离带101重叠缠绕。
另外，所述带材卷取用导向轮57，与所述带材供给用导向轮36以及收纳室22内的多个的导向轮44～49，构成带材100的搬送线110。
该搬送线110，在收纳室22内呈略U字状，从第3导向轮47向第4导向轮48，将带材100向斜上方搬送时的带材100的倾斜角度设置为45°。
再有，上述导向轮36、44～49、57和所述带材供给机构3以及所述带材收纳机构5的驱动机构，和设置在两个机构3、5上的卷盘33、34、53、54构成带材100的搬送机构。
另外，所述控制装置分别与带材供给机构3的驱动机构、带材收纳机构5的驱动机构、循环系统412、清洗部本体413、吹拂器422、422以及暖风加热器43等连接，控制这些机构的动作。
基于上述构成，下面对带材100的清洗方法进行说明。首先，操作者从带材供给卷盘33将带材100和隔离带101拽出，将隔离带101的端头固定到隔离带卷取卷盘34上。
对拽出的带材100，在端头连接引带(省略图示)的一端，将该引带顺次穿过各导向轮36、44、45、46～49、57。然后，从隔离带供给卷盘53将隔离带102拽出，并穿过两个导向轮55、56，与所述引带重叠并连接到带材卷取卷盘54上。
接着，打开所述控制装置，启动带材供给机构3的驱动机构以及带材收纳机构5的驱动机构，将带材100向搬送方向A搬送的同时，启动连接在该控制装置上的所述各机构以及所述各设备，顺序执行如下所述工序。
供给工序：
带材供给卷盘33向搬送方向A旋转，带材100被拽出，从带材供给用导向轮36进入搬送线110。另外与此同时，隔离带卷取卷盘34也向卷取方向B旋转，，隔离带101从带材100上分离并通过隔离带卷取用导向轮35被缠绕到隔离带卷取卷盘34上。
浸泡工序：
从带材供给机构3进入到搬送线110上的带材100，如图3所示，通过第1导向轮44、45被搬送至下方，进入浸泡槽411的浸泡水411b中，并通过第2导向轮46向前方(带材收纳机构5侧)改变方向，到第3导向轮47为止，水平搬送的同时被浸泡。
前清洗工序：
搬送来的带材100通过第3导向轮47被向后方(带材供给机构3一侧)折返，到第4导向轮48为止，向斜上方搬送的同时，通过前清洗机构4131、4131向搬送中的带材100的两面喷射清洗液。
超声波清洗工序：
搬送来的带材100通过第4导向轮48被固定的同时，通过超声波清洗机构4132向布线图形面100a喷射清洗液。
后清洗工序：
经过了超声波清洗机构4132的带材100，到第5导向轮49为止，向上方搬送的同时，在浸泡槽411内，通过后清洗机构4133、4133向带材100的两面喷射清洗液。
除水工序：
经过了后清洗机构4133、4133的带材100，进入除水部42的收纳部421，通过两组的吹拂器422、422向带材100的两面吹拂压缩空气。
干燥工序：
经过了吹拂器422、422的带材100通过第5导向轮49向右方(带材收纳机构5侧)改变方向，在暖风加热器43内水平搬送。此时，从吹出口43b、43b向带材100的两面吹拂暖风。
收纳工序：
经过了暖风加热器43的带材100，如图1所示，通过带材卷取用导向轮57被输送到带材卷取卷盘54。与此同时，隔离带供给卷盘53向供给方向C旋转，隔离带102通过两个导向轮55、56被输送到带材卷取卷盘54。
然后，带材卷取卷盘54，通过向卷取方向D旋转，使经过清洗、干燥的带材100与从隔离带供给卷盘53输送来的隔离带102重叠并缠绕到卷盘54上。
无尘捆包工序：
带材100在与隔离带102重叠的状态下，全部缠绕到卷取卷盘54上后，操作者将该卷取卷盘54从回转轴52上拆下运往捆包室24(参照图2)，执行捆包作业。
如上所述，在带材100的清洗中，在清洗前，在浸泡工序将带材100浸泡在浸泡水411b中。这样，由于附着在带材100上的异物发生膨胀或者吸收水分，相对于带材的异物的附着力被减弱。
因此，在超声波清洗工序中，可以通过超声波清洗机构4132容易地将异物从带材100上除去。另外，通过超声波清洗机构4132的异物的去除方法与现有技术不同，由于是对经过浸泡的带材100进行的，因此可以防止从带材100上除去的异物重新附着在带材100上。因而，本具体实施方式的带材清洗装置1以及带材清洗方法，能够提高带材100的洗净度。
其中，为浸泡搬送中的带材100，配置在浸泡槽411内的第2导向轮46和第3导向轮47间的距离110L(参照图3)，优先设置为附着在带材100上的异物在浸泡水411b中能够充分膨胀或者吸收水分的适当距离(300mm～2000mm)。
另外，在超声波清洗工序中，在向带材100喷射清洗液时，由于带材100通过第4导向轮48被固定在搬送线110的喷射位置110a，不会有任何摇动。因此，可以从带材上更容易地将异物除去，能够进一步提高带材100的洗净度。
其中，超声波清洗机构4132，将喷嘴4132a的前端和带材100的布线图面110a间的距离，一般优选设置为1mm～50mm，进一步优选设置为10mm～30mm。
这里，如果喷嘴4132a的前端和带材100的布线图面110a间的距离太近，当布线图形面100a中含有内部引线时，由于喷嘴4132a的喷射压力，内部引线可能会弯曲，故不推荐。另一方面，如果喷嘴4132a的端头和带材100的布线图形面110a间的距离太远，从喷嘴4132a喷射出来的清洗液，由于不能充分到达布线图面100a而使洗净度降低，故不推荐。
因此，通过将喷嘴4132a的前端和带材100的布线图面110a间的距离设置为所述适当距离，防止内部引线弯曲的同时，可以防止带材100的洗净度降低。例如，为防止具有元器件孔的3层构成带上的内部引线弯曲，通过将喷嘴4132a的前端和带材100的布线图面110a间的距离设置在10mm～30mm的范围内来解决。
另外，在超声波清洗工序前，在前清洗工序中，由于通过前清洗机构4131、4131向带材100喷射清洗液，在此时已经对附着在带材100上的异物进行去除。
因此，在超声波清洗工序中，与没有前清洗工序时相比，附着在带材100上的异物数量减少了，异物的去除处理变得更容易，可以进一步提高带材100的洗净度。
另外，在前清洗工序中，将经过浸泡的带材100向斜上方搬送。这样与将经过浸泡的带材100向水平方向搬送时相比，由于前清洗机构4131、4131的清洗距离4131L变长，可以更多地去除附着在带材100上的异物。
因此，在超声波清洗工序中，由于附着在带材100上的异物数量变得更少了，异物的去除处理变得更容易，可以进一步提高带材100的洗净度。
在本具体实施方式中，在前清洗工序，虽然将向上方搬送的带材100的倾斜角度α设置为45°，但倾斜角度不必限定为该角度，优选设置为10°～170°的范围，进一步优选设置为10°～89°或者91°～170°的范围。
这里，当带材100的倾斜角度低于10°或者超过170°时，无法确保前清洗机构4131、4131的设置场所，另外，与将带材100向水平方向搬送时相比，前清洗机构4131、4131的清洗距离基本相同，因此异物的去除处理性基本不变，故不予考虑。
另外，当带材100的倾斜角度为90°时，与倾斜角度为10°～89°或者91°～170°时相比，由于第4导向轮48和带材100形成点接触，导向轮48很难将带材100固定到搬送线110，不能充分发挥作为导向轮48的作用，故不予考虑。
因此，通过将带材100的倾斜角度设置在10°～170°的范围内，与将带材100向水平方向搬送的场合相比，前清洗机构4131、4131的清洗距离4131L，具体地说，是从前清洗机构4131、4131喷射到带材100上的清洗液流下的距离4131L确保足够长度，能够确实可靠地得到高洗净度。
另外，在本具体实施方式的带材清洗装置1中，使带材100倾斜的两个导向轮47、48中，将超声波清洗机构侧的导向轮48兼作本发明的固定机构。这样，在减少部件数量，确保足够的前清洗机构4131、4131清洗距离的同时，即使有清洗液从超声波机构4132喷射也可以防止带材100的摇动。因此，本具体实施方式的带材清洗装置1，能够降低制造成本并提高带材100的洗净度。
另外，超声波清洗工序完后的带材100，在后清洗工序中，通过后清洗机构4133、4133喷射清洗液。因此，在进行了超声波清洗工序后，即使在带材100上仍残留异物，或者在超声波清洗工序与第4导向轮48接触，造成在带材100的布线图面100a和背面上重新附着上异物，也可以将这些异物除去。因而能够进一步提高带材100的洗净度。其中在超声波清洗工序中，只要能够去除到附着在带材100上的异物数不至于导致带材100的品质降低的程度，可以不执行该后清洗工序。
另外，对于后清洗工序完后的带材100，进入干燥工序前在除水工序中，通过吹拂器被吹拂压缩空气。这样可以吹飞附着在带材100上的清洗液，到干燥工序时清洗液的量变少。因此，与没有除水工序时相比，能够缩短带材100的干燥时间，可以进一步提高带材100的生产率。
另外，在本具体实施方式中，由于在带材100的清洗后接着还通过暖风加热器43进行干燥，与带材100的清洗和干燥分别进行的场合相比，能够缩短带材100的生产所需时间。从而可以提高带材100的生产率。
其中，暖风加热器43，为了蒸发附着在带材100上的清洗液，优选设置为：全长(沿带材100的搬送方向的长度)为500mm～3000mm，暖风温度为60℃～140℃。
另外，本具体实施方式中，供给带材100的同时将隔离带101分离，并且向清洗、干燥后的带材100重叠另外的隔离带102并进行收纳。因此能够圆滑地进行从带材100的隔离带101的分离，以及防止清洗后的带材表面100a(如在带材表面110a上的布线图)损伤。因而，如本具体实施方式所述，可以提高重叠了隔离带并作为产品的带材100的生产率。
再有，本具体实施方式中，通过具备无尘状态的捆包室24，可以防止清洗、干燥完后的带材100在捆包时附着异物。因而，可以提高带材100的品质。
第2具体实施方式：
图4为本发明的第2具体实施方式的带材清洗装置200的局部示意图。在本具体实施方式中，与第1具体实施方式相同的部分标有相同的标记，以不同的部分为中心进行说明。
本具体实施方式的带材清洗装置200，具有将通过浸泡槽411浸泡后的带材100向水平方向折返引导的三个导向轮47、240、241，前清洗机构4131、4131清洗通过这些导向轮47、240、241搬送到水平方向的带材100。
通过上述构成，与将经过浸泡的带材100向上方搬送相比，可以将带材100的搬送区域，换言之，可以将清洗装置200的高度200h，比在第1具体实施方式中记述的清洗装置1的高度1h(参照图3)控制到更低。因而，本具体实施方式的带材清洗装置200，能够缩小设置空间。
再有，超声波清洗机构4132侧的导向轮241，兼作本发明的固定机构，从而能够减少部件数量。因而，本具体实施方式的清洗装置200，和第1具体实施方式的带材清洗装置1一样，可以降低制造成本并提高带材100的洗净度。
第3具体实施方式：
图5为本发明的第3具体实施方式所示带材清洗装置300的局部示意图。在本具体实施方式中，与第1具体实施方式相同的部分标有相同的标记，以不同的部分为中心进行说明。
在本具体实施方式的带材清洗装置300中，本发明的固定机构由沿着搬送线100a上下分离设置的三个导向轮348构成。
通过上述构成，与第1具体实施方式的导向轮48以及第2具体实施方式的导向轮241相比，由于增加了导向轮的数量，可以确保与带材100的接触距离变长，能够将带材100稳定地固定在搬送线100a上。
因此，即使从超声波机构4132向带材100喷射清洗液，也可以可靠地防止带材100的摇动。因而，本具体实施方式的带材清洗装置300，能够提高带材100的洗净度。
再有，位于最下侧的导向轮348，由于是构成将经过浸泡的带材100向斜上方搬送的两个导向机构之一(超声波清洗机构4132侧)，因此与所述各具体实施方式一样，可以降低制造成本并提高带材100的洗净度。
第4具体实施方式：
图6为本发明的第4具体实施方式中的带材清洗机构400的局部示意图。在本具体实施方式中，与第1具体实施方式相同的部分标有相同的标记，以不同的部分为中心进行说明。
在本具体实施方式的带材清洗装置400中，本发明的固定机构448呈传送带形状构成，包括：沿着搬送线110上下分离设置的一对滑轮448a、448a；挂在两个滑轮448a、448a上的环状传动带448b。
上述构成中，该固定机构448与第1具体实施方式的导向轮48以及第2具体实施方式的导向轮241相比，带材100的接触面积及接触距离更大，能够将带材100安定地固定在搬送线110上。
因此，即使从超声波机构4132向带材100喷射清洗液，也可以可靠防止带材100的摇动。从而，本具体实施方式的带材清洗装置400，能够提高带材100的洗净度。
再有，该固定机构448，由于是构成将经过浸泡的带材100向斜上方搬送的两个导向机构之一(超声波清洗机构4132侧)，因此与所述各具体实施方式一样，可以降低制造成本并提高带材100的洗净度。
其中，在具体实施方式中，关于清洗TAB带、COF带、BGA带、CSP带等电子部品封装用薄膜载带的情况进行了记述，但关于在具体实施方式中记述的隔离带以及如FPC等宽卷状带材适用本发明时，也可以得到与在具体实施方式中记述的效果同样的效果。另外，带材清洗装置，可以根据所清洗的带材的种类改换清洗液的类型，也可以改变搬送机构、各清洗机构、除水机构、干燥机构的构成，以及它们的控制方法。
另外，在具体实施方式中，对在净化室2内设置了一台带材清洗装置1的情况进行了记述，但能设置的带材清洗装置1的数量不限于此，例如也可以在净化室2内，将多台带材清洗装置1并排设置。再有，在具体实施方式中，将超声波清洗机构4132设置在了浸泡水411b的上方，也可以将包括该超声波清洗机构4132、如图4所示，另外的超声波清洗机构500(以双点划线图示)或者与所述超声波清洗机构4132同样的机构，将喷嘴插入浸泡水411b中设置。
以下，通过列举实施例以及比较例对本发明进行详细说明。但是，本发明并不仅仅限于以下实施例。
实施例1：
带材100的清洗：
使用在第1具体实施方式中记述的带材清洗装置1。但是，为了明确与比较例的效果的差别，没有使用前清洗机构4131、4131。在本实施例中使用的带材100的种类以及带材清洗装置1的各种条件如下所示。
(1)作为清洗对象的带材100：使用了两层结构的COF用薄膜载带。该带由厚度为38μm的基本薄膜层，和厚度为8μm的铜层构成。
(2)搬送机构：将搬送速度设置为3m/min。
(3)浸泡槽411：使用纯水，水温设置为25℃。
(4)超声波清洗机构4132：使用Kaizyo(株)制产品(超声波发生器型号：68101，振动板型号：6879BK)。并且设定振动频率：950kHz、水流量：25L/分、喷射压力：0.2MPa。
(5)后清洗机构4133、4133：设定水流量：4L/分、喷射压力：0.2MPa。
(6)暖风加热器43：全长2000mm，温度设定为100℃±5℃。
残余在清洗后的带材100上的异物数的测定：
将附着在出厂前的带材卷取卷盘54上卷取的带材100最外面的异物数，使用实体显微镜(光学显微镜)在10倍的放大倍数下观察，统计50μm以上大小的异物。
实施例2：
带材100的清洗：
使用在第2具体实施方式中记述的带材清洗装置200。其他条件与
实施例1相同设置。
残余在清洗后的带材100上的异物数的测定：
用与实施例1同样的方法测定异物数。
实施例3：
带材100的清洗：
如图4所示，使用具有Kaizyo(株)制型号为6281A的振动板501的超声波清洗机构500(以双点划线图示)。具体地，在第2具体实施方式中记述的带材清洗装置200上，将浸泡水411b中设置了与搬送的带材100上下相对的将喷嘴502插入浸泡水411b中的超声波清洗机构500。其他条件与实施例2相同设置。
残余在清洗后的带材100上的异物数的测定：
用与实施例1同样的方法测定异物数。
比较例：
带材100的清洗：
记载在专利文献1中的带材清洗装置上，使用了与实施例3相同的超声波清洗机构5。
残余在清洗后的带材100上的异物数的测定：
用与实施例1同样的方法测定异物数。
<实施例和比较例的比较>
表1中，列出在各实施例和比较例中最终附着在带材100上的异物数的统计结果。其中异物数为在1m范围内的平均值。表1中，“白”被认为是由带材100或者卷盘产生的塑料类有机物。“黑”是被认为相当于隔离带102的导电性涂料成分的无机物。“线”可能是由操作者的防尘服等产生的线状物质。“金属”可能是在制造工序以及检查工序中使用的设备产生的铁以及铝等。
表1
Figure A20061000803800381
从表1可以清楚地看出，本发明的带材清洗装置与现有的带材清洗装置相比，有着优异的去除附着在带材100上的异物的能力。
如上所述，本发明的带材清洗装置以及带材清洗方法，能够提高带材的洗净度，可以在该技术领域充分利用。

Claims (25)

1、一种带材清洗装置，其特征在于，包括，
带材搬送机构；
浸泡搬送中的所述带材的浸泡槽；
对在该浸泡槽中经过浸泡的所述带材喷射施加了超声波振动的清洗液，以去除附着在该带材上的异物的超声波清洗机构。
2、如权利要求1所述带材清洗装置，其特征在于，
所述搬送机构包括固定机构，以使所述带材固定在搬送线上的由所述超声波清洗机构喷射的喷射位置上。
3、如权利要求1或2中的任一项所述带材清洗装置，其特征在于，
具有在利用超声波清洗机构清洗之前，去除附着在在所述浸泡槽中经过浸泡的所述带材上的异物的前清洗机构。
4、如权利要求3所述带材清洗装置，其特征在于，
所述搬送机构具有将在所述浸泡槽中经过浸泡的所述带材向上方引导的多个导向机构，所述前清洗机构去除附着在通过该多个导向机构搬送到上方的带材上的异物。
5、如权利要求4所述带材清洗装置，其特征在于，
将通过所述多个导向机构向上方搬送的所述带材的倾斜角度设置为10°～170°。
6、如权利要求3所述带材清洗装置，其特征在于，
所述搬送机构具有将在所述浸泡槽中经过浸泡的所述带材向水平方向引导的多个导向机构，所述前清洗机构去除附着在通过该多个导向机构搬送到水平方向的带材上的异物。
7、如权利要求4至6中的任一项所述带材清洗装置，其特征在于，
所述搬送机构，在所述多个导向机构中位于所述超声波清洗机构处的导向机构兼作所述固定机构，所述超声波清洗机构，向通过该导向机构固定在所述搬送线上的所述带材喷射所述清洗液。
8、如权利要求1至7中的任一项所述带材清洗装置，其特征在于，
具有在利用所述超声波清洗机构清洗后，去除附着在所述带材上的异物的后清洗机构。
9、如权利要求1至8中的任一项所述带材清洗装置，其特征在于，
具有使通过所述超声波清洗机构或者所述后清洗机构清洗后的所述带材干燥的干燥机构。
10、如权利要求9所述带材清洗装置，其特征在于，
在所述干燥机构之前，具有去除附着在清洗后的所述带材上的清洗液的除水机构。
11、如权利要求9或10中的任一项所述带材清洗装置，为清洗重叠了隔离带的所述带材的装置，其特征在于，
所述搬送机构，包括：
边分离所述隔离带，边向搬送线输送所述带材的带材供给机构；
边向通过所述干燥机构干燥的经过清洗的所述带材上重叠另外的隔离带，边进行收纳的带材收纳机构。
12、如权利要求11所述带材清洗装置，其特征在于，
具有对通过所述带材收纳机构收纳的经过清洗的所述带材进行无尘捆包的无尘捆包室。
13、如权利要求1至12中的任一项所述带材清洗装置，其特征在于，
所述带材为电子部品封装用薄膜载带，所述带材清洗装置为去除附着在该电子部品封装用薄膜载带上的异物的清洗装置。
14、一种带材清洗方法，为将带材边搬送边清洗的带材清洗方法，其特征在于，包括：
浸泡所述带材的浸泡工序；
向经过浸泡的所述带材喷射施加了超声波振动的清洗液，以去除附着在该带材上的异物的超声波清洗工序。
15、如权利要求14所述带材清洗方法，其特征在于，
所述超声波清洗工序中，在设置在搬送线上的喷射位置固定所述带材，喷射所述清洗液。
16、如权利要求14或15中的任一项所述带材清洗方法，其特征在于，
在所述超声波清洗工序前，设有去除附着在经过浸泡的所述带材上的异物的前清洗工序。
17、如权利要求16所述带材清洗方法，其特征在于，
在所述前清洗工序中，将经过浸泡的所述带材向上方搬送。
18、如权利要求17所述带材清洗方法，其特征在于，
在所述前清洗工序中，将向上方搬送的所述带材的倾斜角度设置为10°～170°。
19、如权利要求16所述带材清洗方法，其特征在于，
在所述前清洗工序中，将经过浸泡的所述带材向水平方向搬送。
20、如权利要求14至19中的任一项所述带材清洗方法，其特征在于，
在所述超声波清洗工序后，设有去除附着在所述带材上的异物的后清洗工序。
21、如权利要求14至20中的任一项所述带材清洗方法，其特征在于，
在所述超声波清洗工序或者所述后清洗工序的任一工序后，设有对经过清洗的所述带材进行干燥的干燥工序。
22、如权利要求21所述带材清洗方法，其特征在于，
在所述干燥工序前，设有去除附着在经过清洗的所述带材上的清洗液的除水工序。
23、如权利要求21或22中的任一项所述带材清洗方法，所述带材清洗方法为清洗重叠了隔离带的所述带材的方法，其特征在于，包括：
设置在所述浸泡工序之前，边分离所述隔离带边将所述带材向搬送线输送的供给工序；
设置在所述干燥工序之后，边向被干燥的经过清洗的所述带材重叠另外的隔离带，边进行收纳的收纳工序。
24、如权利要求23所述带材清洗方法，其特征在于，
在所述收纳工序后，设有将收纳的所述带材在无尘状态下捆包的无尘捆包工序。
25、如权利要求14至24中的任一项所述带材清洗方法，其特征在于，
所述带材为电子部品用薄膜载带，所述带材清洗方法是去除附着在该电子部品用薄膜载带上的异物的方法。
CNA2006100080389A 2005-02-25 2006-02-23 带材清洗装置以及带材清洗方法 Pending CN1824397A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005051866 2005-02-25
JP2005051866 2005-02-25

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN1824397A true CN1824397A (zh) 2006-08-30

Family

ID=36935329

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNA2006100080389A Pending CN1824397A (zh) 2005-02-25 2006-02-23 带材清洗装置以及带材清洗方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20060231118A1 (zh)
KR (1) KR20060094921A (zh)
CN (1) CN1824397A (zh)
TW (1) TW200631681A (zh)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102560518A (zh) * 2010-12-10 2012-07-11 自贡佳源炉业有限公司 一种线材、带材超声波清洗烘干机
CN102806215A (zh) * 2012-07-18 2012-12-05 深圳市兴业卓辉实业有限公司 非织造无尘擦拭布/纸洁净方法及设备
CN102992009A (zh) * 2012-10-14 2013-03-27 昆山特力伯传动科技有限公司 自清洁传送带系统
CN103157612A (zh) * 2013-03-20 2013-06-19 济南大学 一种光纤插头清洗机
CN101675184B (zh) * 2007-05-01 2015-11-25 新日铁住金株式会社 钢板的酸洗方法及钢板的连续酸洗装置
CN106111584A (zh) * 2016-06-20 2016-11-16 安庆市鑫顺塑业有限公司 一种塑料薄膜清洗装置
CN106276350A (zh) * 2016-06-20 2017-01-04 安庆市鑫顺塑业有限公司 一种薄膜清洗装置
CN106269666A (zh) * 2016-08-19 2017-01-04 温州泰昌铁塔制造有限公司 钢索清污处理系统以及钢索清污方法
CN107470263A (zh) * 2017-08-08 2017-12-15 永兴特种不锈钢股份有限公司 一种超声波清洗器
CN108712968A (zh) * 2016-03-11 2018-10-26 精工爱普生株式会社 印刷装置
CN108472966B (zh) * 2015-12-22 2020-05-01 精工爱普生株式会社 液体喷出装置

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8956466B2 (en) * 2011-08-01 2015-02-17 Texwipe (a division of Illinois Tool Works Inc.) Process for preparing sorptive substrates, and integrated processing system for substrates
TWI487908B (zh) * 2013-04-26 2015-06-11 China Steel Corp Non - crystalline thin strip ductility automatic test device
CN107282502A (zh) * 2017-07-19 2017-10-24 来奇偏光科技(中国)股份有限公司 光学膜片清洗装置
CN110838563A (zh) * 2019-11-01 2020-02-25 东莞市吉力泰光电科技有限公司 一种oled模组的返修工艺及装置

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2967119A (en) * 1958-09-08 1961-01-03 Lipsner Smith Corp Ultrasonic process and apparatus
US6890388B2 (en) * 2002-01-07 2005-05-10 International Business Machines Corporation Apparatus and method for using an acoustic-jet for cleaning hard disk drive heads in manufacturing

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101675184B (zh) * 2007-05-01 2015-11-25 新日铁住金株式会社 钢板的酸洗方法及钢板的连续酸洗装置
CN102560518A (zh) * 2010-12-10 2012-07-11 自贡佳源炉业有限公司 一种线材、带材超声波清洗烘干机
CN102806215A (zh) * 2012-07-18 2012-12-05 深圳市兴业卓辉实业有限公司 非织造无尘擦拭布/纸洁净方法及设备
CN102806215B (zh) * 2012-07-18 2015-05-20 深圳市兴业卓辉实业有限公司 非织造无尘擦拭布/纸洁净方法及设备
CN102992009A (zh) * 2012-10-14 2013-03-27 昆山特力伯传动科技有限公司 自清洁传送带系统
CN103157612A (zh) * 2013-03-20 2013-06-19 济南大学 一种光纤插头清洗机
CN108472966B (zh) * 2015-12-22 2020-05-01 精工爱普生株式会社 液体喷出装置
CN108712968A (zh) * 2016-03-11 2018-10-26 精工爱普生株式会社 印刷装置
CN108712968B (zh) * 2016-03-11 2021-02-05 精工爱普生株式会社 印刷装置
CN106111584A (zh) * 2016-06-20 2016-11-16 安庆市鑫顺塑业有限公司 一种塑料薄膜清洗装置
CN106276350A (zh) * 2016-06-20 2017-01-04 安庆市鑫顺塑业有限公司 一种薄膜清洗装置
CN106269666A (zh) * 2016-08-19 2017-01-04 温州泰昌铁塔制造有限公司 钢索清污处理系统以及钢索清污方法
CN107470263A (zh) * 2017-08-08 2017-12-15 永兴特种不锈钢股份有限公司 一种超声波清洗器

Also Published As

Publication number Publication date
KR20060094921A (ko) 2006-08-30
TWI346010B (zh) 2011-08-01
TW200631681A (en) 2006-09-16
US20060231118A1 (en) 2006-10-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1824397A (zh) 带材清洗装置以及带材清洗方法
CN1265425C (zh) 基片处理装置
CN1263546C (zh) 免淘米制造装置
CN1668382A (zh) 液体喷洒单元、用其喷洒液体的方法及化学制剂
CN1685080A (zh) 基板处理装置和基板处理方法
CN1260778C (zh) 基片加工方法
CN1894780A (zh) 基板附着物除去方法及基板干燥方法、以及使用该方法的基板附着物除去装置及基板干燥装置
CN1712333A (zh) 基板翻转装置及方法、基板运送装置及方法、基板处理装置及方法
CN1167516C (zh) 拒水涂布装置
CN1833314A (zh) 基片处理装置、基片处理方法和基片固定装置
CN1900358A (zh) 用于将金属无电镀沉积到半导体衬底上的装置
CN1334961A (zh) 金属研磨液材料、金属研磨液、其制造方法及使用它的研磨方法
CN1435732A (zh) 化学处理装置
CN1808704A (zh) 基板处理装置及其处理方法
CN1892423A (zh) 基板处理装置
CN1655324A (zh) 基板处理装置
CN1200562A (zh) 干燥装置以及干燥方法
CN1078835C (zh) 抛光方法和抛光装置
CN1302341C (zh) 基片处理方法和基片处理装置
CN1262888C (zh) 基片处理装置、液处理装置和液处理方法
CN1916771A (zh) 液体处理方法和液体处理装置
CN1328608A (zh) 防止用在造纸机中的帆布带受到污染的方法
CN1280872C (zh) 电镀装置
CN1697597A (zh) 基板原材的表面处理装置
CN1292454C (zh) 等离子体处理方法以及设备

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Open date: 20060830