CN1816962A - 带有位置测量系统的平面直接驱动装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种平面直接驱动装置，其具有被动单元(1)，主动单元(3)，轴承单元和位置测量系统，该位置测量系统包括实物量具和扫描实物量具并提供位置信号的测量传感器。根据本发明，位置测量系统由移动部件(7)和准静止部件(8)组成，两个部件的一个由实物量具构成并且另一个由测量传感器构成，其中两个部件设置在轴承间隙(4)的外面并且与滑动面(2)隔开。

Description

带有位置测量系统的平面直接驱动装置

技术领域

本发明涉及一种平面直接驱动装置(也称作平面电动机)，此装置包括用于控制转子运动的位置测量系统。这种直接驱动装置包括带有平的滑动面的被动单元，其中集成了磁通量范围。这个被动单元构成电动机的定子。另外设有带有用于产生可变磁通量的线圈的至少一个主动单元(转子)，该主动单元能够在被动单元的滑动面上运动。此外，直接驱动装置还包括轴承单元，它能够支持主动和被动单元之间低摩擦的二维运动。

背景技术

例如从DE 195 13 325 A1中已知霍尔位移测量传感器装置应用于线性和平面传动装置中。为此，多个霍尔传感器集成到主动单元中，用于测量由于主动和被动单元之间的相对运动而产生的磁场变化。在被动单元的滑动面上的齿部因此构成实物量具，通过传感器对其进行扫描。因此，平面驱动装置的定位精度受到限制，因为其测量精度直接依赖于齿部以及齿部的精确度。通过运用这种熟知的定位测量方法，定位精度范围可以达到20-40微米。还有一个问题在于，定位精度也受环境条件特别是被动单元的温度的影响。很大部分的被动单元的滑动面由金属材料(特别是低碳钢材料)构成，这种材料有相对较大的温度系数。由于周围温度的改变并且同样由于运行产生的内热导致滑动面显著的膨胀性能，所以实物量具本身经受与期望的定位精度主要相关的长度膨胀。当这样的直接驱动装置应用于具有高精度要求的定位任务时，这样误差是不可忍受的。在多种技术领域中的不断小型化要求更高的定位精度，其不能通过现在已知的集成的位置测量系统得到。

例如当使用外部测量系统，例如利用激光干涉仪或者玻璃量尺时，能够取得高的测量精度。然而为此必须通过主动单元携带大且重的位移测量基准器或者要求耦合到外面的实物量具上。这样的设计特别是在平面驱动装置中存在问题，因为主动单元在大的活动面上二维任意地行驶。同样光学测量方法的使用在实际中是受到限制的，因为测量光的光路经常被其他元件(例如其他在滑动面上移动的主动单元，电缆和类似物)干扰。

从DE 202 10 305 U1中已知与之相关的高速直线电动机的定位台，其中使用一种位置测量系统，其由固定在原始部分的读出头和安装在转子上的测试条组成。在这种情况下存在的问题是，轴承间隙必须被增大，以便在运动时不损坏测试条。因此最大的驱动力显著地减小。此外读出头固定地设置在原始部分的确定位置，所以仅仅在粘附测试条的区域具有精确的位置指示。在测试条检测的运动范围之外该位置测量系统是没用的。

发明内容

因此本发明的任务在于，提供一种改进的平面直接驱动装置，其包括位置测量系统，所述位置测量系统比至今已知的集成位置测量系统具有更高的定位精度并且同时避免外部的位置测量系统的缺点。特别地通过本发明应该可以将具有高精度的直接驱动装置的主动单元关于规定的固定点定位在被动单元上。在这种情况下同样可以给出主动单元的结构，其允许移动部件的简单和精确的定位。最后部分的任务在于，提供准静止部件的简单安装性，所述部件与主动单元一起作用，使得除了高的定位精度之外还允许工具架或者工件夹具广泛的标准化。

这个和进一步的任务通过本发明实现，其中位置测量系统由移动部件和准静止部件装配而成，它们中一个通过实物量具构成并且另一个通过测量传感器构成。准静止部件在这种情况下设置在轴承间隙外面的预定的固定点并且基本平行于滑动面但是与滑动面垂直隔开。因为例如能够是实物量具的准静止部件同样不必集成到滑动面或者轴承间隙中，所以它对由磁通量产生的驱动力没有不利的影响。此外准静止组件比它例如安装在滑动面上时更好受到保护免于损害。

此外本发明的特征在于，移动部件如此设置在主动单元上，使得它在准静止部件的到达时与之获得测量接合。在使用光学或磁性测量部件时不要求机械的测量接合。对于位置测量系统的功能，两个部件互相足够近地定位就足够了。只要存在该功能的测量接合，运用由测量传感器提供的位置信号就能控制或者调节主动单元。对此能够使用已知的控制和调节系统。因此在规定的测量面中可以非常精确地定位主动单元。由用作位置测量系统的部件的实物量具限定的测量面为此设置在该区域中或者移动到作为主动单元的零件的区域中，其中必须进行高精度的定位。除了该区域之外，能够以较小精度定位主动单元，其中优选地动用全测量系统或者直接驱动装置以传统的方式步进驱动工作。

根据本发明的第一实施形式位置测量系统的准静止部件固定在合适的台座元件上，其与被动单元连接，所以可以取得准静止部件的持久的固定位置。可以在被动单元的滑动面上的确定固定点上设置多个具有准静止部件的台座元件。这些台座元件例如涉及用于执行不同工作任务的工具模块。主动单元能在它的固定点或者工具模块之间任意地移动，其中每次在固定的测量点附近能够动用高精度的位置测量系统。

在第二实施形式中，准静止部件集成在固定模块中，该固定模块在被动单元的平面中的位置通过至少一个在被动单元上固定的机械固定设备确定，并且至少一个吸持磁铁集成在固定模块中，其将固定模块保持在被动单元的滑动面上。机械固定设备优选地构成为固定销，从而不具有特别工具的固定模块能够放置在被动单元的滑动面上的规定位置并且在那里通过在滑动面平面中已有的固定销而以高精度设置。为了在运行期间避免固定模块的滑动并且为了能接收相应的力，吸持磁铁建立到被动单元的稳定连接。

在另一个变化的实施形式中，准静止部件不与被动单元固定地连接，而是固定于第二主动单元，其相对于被动单元和第一主动单元可运动。对于确定的任务，能够以高精度确定在多个运动单元之间的相对位置是足够的。在这种情况下不取决于或者不以同样的精度取决于在被动单元的滑动面上的主动单元的绝对位置。同样在这种情况下，位置测量系统提供相应的位置信号是足够的，只要用于执行规定的任务的主动单元必须互相运动到附近的范围。与之相关应该提到，同样在使用传统全位置测量系统或者在步进驱动中直接驱动装置的重复精度比仅仅位于约30-40μm的定位精度更高。因此在滑动面上能够限定固定点，其能以高精度即大约2-3μm的重复精度被第二运动单元开动。关于这些固定点，那么在上述的测量面中上述集成的位置测量系统能使用高定位精度。

特别有利的是，对于主动单元的线圈系统垂直偏移的位置测量系统的移动部件设置在从外面可进入的区域中。主动单元为此具有多层结构，从而移动部件和它的通道不会妨碍本来的驱动元件的最佳设计。这种多层结构还能够这样拓宽，即，工件夹具再一次对于移动部件垂直偏移地安装，其适合于直接驱动装置的各种任务或者要运动的工件/工具。此外这种设计还具有下面的优点，实物量具或者测量传感器固定在要被定位的工件/工具的附近范围，从而倾斜测量误差明显地减小。定位测量在工件的附近范围进行，该工件的位置是最为关注的。更高阶的测量误差因此对测量结果仅仅产生非常小的影响。

主动单元与位置测量系统的解耦以及同时移动部件与工件夹具连接也可以是模块化的解决方案，其中主动单元能运输不同的工件夹具，它们每个能传输特有的、适合的位置测量系统的移动部件。

有利的是正交光栅板作为实物量具使用，而光学或者磁性传感器特别适合用作测量传感器。同样可以使用光栅薄膜作为实物量具。

优选地主动单元具有与其滑动面平行设置的夹具框架，其中安装板可卸下地定位。在这种情况下位置测量系统的移动部件设置在一个平面中，其位于主动单元的线圈系统和安装板之间。优选地移动部件位于安装板的底面上。通过主动单元的这种设计，可以在实物量具和滑动面之间保持非常小的平行偏移，例如小于50μm。因此提高位置测量系统的精确度。

在进一步构造的实施形式中，安装板通过专门的校准设备固定在夹具框架中，以便在安装板更换时也能保证高的重复精度。这些校准设备例如由在夹具框架中的永磁铁和在安装板中对着永磁铁的铁销构成。校准设备产生的磁力明确地指定安装板在夹具框架中的位置，当校准设备例如根据三点原理设置时。校准设备还能够通过由弹簧力加载的推力球和连通的凹槽或者其他合适的系统构成。

应该注意的是，通过根据本发明在平面直接驱动装置中使用所述的位置测量系统，比例如在使用霍尔传感器测量系统或者在直接驱动装置在微步进驱动中的控制中具有更高的精度。相对于通过支持照相机图片分析的部分应用的定位指示，这里使用的系统具有显著的优点，因为必须加工非常少的数据并且因此能够进行直接驱动装置的快速调节。

此外对于本发明主要的是，被动单元本身或者在其上面构成的滑动面不再集成在测量链中。因此也取消通常要求的调节工作。

最后在直接驱动装置和定位测量装置之间设定的连结可以显著减小成本，因为为了制造位置测量系统能够使用商业通用的部件，其中实物量具能够设计得比整个可使用的滑动面更小。

对于主动单元在各个固定点之间的运动，此外可以使用一种传统的全测量系统，因为对这种运动不存在高的精度要求。同样在固定点之间可以进行驱动装置的步进驱动，其中在沿着规定的路径运动时能够使用相对于绝对精度的高重复精度。

附图说明

从参考附图的下面优选的实施形式的说明中给出其他的优点、特征和改造。其中：

图1示出根据本发明的包括一个被动单元和两个主动单元的平面直接驱动装置的简化侧视图；

图2示出在使用根据本发明的直接驱动装置情况下具有多个工作模块的生产单元的俯视原理图；

图3示出具有位置测量系统的平面直接驱动装置的变化的实施形式的简化的总侧视图；

图4示出设置在根据图3的直接驱动装置的被动单元上的固定模块的部分剖切透视图，其中位置测量系统表示为测量接合；

图5示出根据图4的固定模式的底板的仰视图；

图6示出在图3中所示的直接驱动装置的主动单元的侧视图；

图7示出根据图6的主动单元的夹具框架的俯视图；

图8示出根据图6的主动单元的安装板的侧视图。

具体实施方式

在图1中所示的平面直接驱动装置包括被动单元1，其在它的上面具有滑动面2。在滑动面2上例如构成有成十字形分布的齿部，其由能磁化的齿和不能磁化的齿槽组成。一般技术人员已知这种直接驱动装置的通常结构，所以这里不对平面电动机的功能方式进行详细地说明。

此外直接驱动装置具有第一主动单元3，其在合适的电流馈电时能够沿至少两个运动方向在滑动面2上移动。为了不管在主动单元3和被动单元1之间的磁性引力而进行运动，需要轴承单元，通过它在直接驱动装置的运行期间保持轴承间隙4。优选地在滑动面2和主动单元3之间产生空气间隙的空气轴承(未示出)适合于此。

关于振动特征和加速特征有利的是，将包括铁芯和可能的永磁铁(未示出)的相对重的线圈系统设置在主动单元的下面区域(平面I)，同样尽可能靠近滑动面2，在该平面中产生驱动力。在主动单元的平面I上面的中间区域(平面II)中设有辅助元件5，例如用于供电所必需的电线和连接元件。在主动单元3的第三平面(平面III)中设有测量部件空间6。在测量部件空间6中存在在第一主动单元3上的位置测量系统的移动部件7。在示出的例子中，移动部件7涉及正交光栅，其用作实物量具。如果位置测量系统监测仅仅在一个方向上的位置变换，那么正交光栅例如能通过玻璃量尺(Glasmassstab)代替。虽然移动部件7固定在第一主动单元3的对面，但是其通过主动单元可以相对被动单元移动。

为了位置测量系统能够产生可分析的位置信号，要求第二部件，其在这里表示为准静止部件8。在图1中示出的实施形式中，准静止部件8是测量传感器，与移动部件7的相反，该准静止部件被看作为静止的。只要移动部件7进入测量传感器8的检测范围，就能够从中产生依据第一主动单元3的运动的位置信号。通过测量面9确定局部测量区域，在该局部测量区域中能够使用用于确定位置的位置测量系统，测量面在示出的例子中基本上相应于正交光栅7的面积。更精确的说，测量面9通过这样的区域确定，其中位置测量系统的两个部件7、8都处于功能性的测量接合中，即，提供可分析的位置信号。

对一般技术人员来说是明显的，这里所述位置测量系统在使用高精度的实物量具和合适的测量传感器的情况下的测量精度基本上比例如通过滑动面2的作为实物量具齿的扫描能达到的精度高。

在变化的实施形式中也可以选择“顶—上—布置”(“Kopf-über-Anordnung”)。

在图1示出实施形式中，准静止部件8固定在第二主动单元10上，其在自身方面能在被动单元1上移动。第二主动单元10例如以与第一主动单元3类似的方式构成。

在使用中位置测量系统因此用于确定在第一主动单元3和第二主动单元10之间的相对位置。为了得到精确的定位，第二主动单元10例如能够运动到预定的固定点，其在直接驱动装置的预先的校准期间被精确地确定。如上已经说明的，在固定点重新启动时重复精度是相当大的。接着第一主动单元3将向第二主动单元10的附近移动，直到位置测量系统的两个部件7、8获得测量接合。然后使用由位置测量系统提供的位置信号进行移动的主动单元的继续定位控制，使得能够进行第一主动单元3相对于第二主动单元10或者基于其的固定点的高精度定位。在这种情况下当然可以在被动单元上设有多个固定点，以最后在滑动面的区域中限定多个测量面9。

在图1中示出的主动单元3、10还具有第四功能平面(平面IV)，其能设置在位置测量系统的各部件的上方。该平面涉及各个工件夹具11。工件夹具11根据使用情况负担相应的工件或者必需的工具。工件夹具11能够与原来的主动单元可解开地连接，以能在变换的任务中更换。以下情况下是实用的：位置测量系统的各个部件7、8与工件夹具11连接并且与之更换。以这种方式，每个工件夹具与一个期望的适应各个精确度要求的实物量具关联。因此测量的位置与工件架相关而不与主动单元相关。因此在更换工件架之后不要求测量系统的新的校准。

在图2中示出具有多个工作模块20的生产单元的简化俯视图，其中使用根据本发明的直接驱动装置的变化的实施形式。多个准静止部件8在这种情况下通过台座元件或者工作模块20与被动单元1固定地连接。明显的是在被动单元上能够定位多个工作模块20。在示出的例子中，使用三个工作模块20和一个可移动的主动单元3。工作模块20的位置例如通过装配销21设定。因此也可以确定用于准静止部件8的固定点。在很多情况下，不取决于或者不以高精度取决于每个准静止部件8相对于被动单元1的绝对位置，因为对于定位任务来说，相对于移动部件7精确确定准静止部件8之间的位置是重要的，其中所述移动部件7重新给出移动的主动单元3的实际位置，且准静止部件8例如能够标识夹具的位置。

可移动的主动单元3能在加工过程期间开动各个期望的工作模块20。移动部件7总是一起运动，从而在每个工作模块上实现具有高精度的定位。在变化的实施形式中也能够在被动单元1的滑动面2上设置多个可移动的主动单元。

在图3中示出平面直接驱动装置的变化的实施形式的简化的总侧视图。被动单元1在这里放在台座30上，其中使用合适的水平调节器31，以便能够将被动单元1的滑动面调整到正好水平。直接驱动装置在这种结构中仅具有唯一的主动单元3，其可在被动单元1的滑动面2上滑动。在变化的实施形式中同样可以存在多个主动单元，如上所述的。

最后在被动单元的边缘设置有至少一个、通常多个工作模块20，其在这里表示为固定模块。可移动的主动单元3的供电通过柔性连接管线32进行，其例如从在被动单元上延伸的供电电桥33中出来。

在图4中示出固定模块20和主动单元3的部分剖切的详细侧视图。固定模块20具有底板22，其通过装配销21固定在位置固定的止动带23上。在底板、装配销和止动带之间的连接以高配合精度实现，其一方面允许固定模块的简单更换并且另一方面以相当高的精度规定了固定模块在被动单元1的滑动面2的平面中的位置。底板22可以在外形尺寸方面标准化并且可以装备成不同的结构，从而能提供不同类型的固定模块，其关于外廓尺寸是兼容的。在止动带上设置有多个固定模块，其在变化的加工任务中能被更换为其他固定模块。

为了将没有特别工具的固定模块20固定在被动单元上，在底板22中设置至少一个吸持磁铁24，其吸引在被动单元1的滑动面2上的全部固定模块，从而获得持久的位置，该位置同样保持在进行加工过程中。

在被动单元1的边缘接线匣25设置在止动带23的邻近的周围或者设置为止动带的集成的零件，通过接线匣可以向单独的固定模块供应工作电压，电气控制信号，液压或者气压或者类似介质。优选地在固定模块和接线匣25之间设有可解开的插入连接，其允许快速的供应连接并且在更换固定模块时保持灵活性。

此外在固定模块20上固定传感器臂26，在其上通过从固定模块伸出的端设置测量传感器27。测量传感器27在位置测量系统中构成准静止部件。在向固定模块20运动的主动单元3达到足够近的时候，测量传感器27与用作测量系统的移动部件的实物量具34测量接合，其中实物量具固定在主动单元3上。

图5示出前述固定模块20的底板22的仰视图。在这里示出的实施形式中，在底板的底面中加工三个凹坑28，其中根据需要能够最多使用三个电磁铁，其用作吸持磁铁24。在要求更换固定模块20时，电磁铁从供电中分开，使得固定模块能够轻松地从被动单元中取下。而且在底板22的后部区域设置两个钻孔29，其中在运行状态下接合装配销21。

图6示出主动单元3关于图4的侧视图。在驱动机构35中设置有线圈系统(未示出)，其是用于产生驱动力所必需的。在驱动机构35的底面存在主动滑动面36，其以已知的方式与被动单元1的滑动面2共同作用，以便实现直接驱动。在驱动机构35的侧面固定定距块37，其支承夹具框架38。夹具框架优选地由不可磁化的材料制成并且与主动滑动面36平行延伸。

为了以后能够获得高的测量精度，夹具框架38在它固定在主动单元3上之后再一次进行精加工，因此夹具框架38的上面尽可能地平行于主动滑动面36。因为在直接驱动装置的运行期间在主动滑动面36和被动单元1的滑动面2之间存在高的平行度(特别在使用空气轴承时)，所以夹具框架38同样与被动单元非常精确地对准。通过在被动单元上设置的固定模块20，其同样以高精度对准被动单元，从而在测量传感器27和实物量具34(见图4)之间的测量接合时在传感器和实物量具之间存在高的平行度，从而减小由于平行偏移产生的误差。

图7示出夹具框架38的俯视图。夹具框架具有支座部分39，其在装配时放置在定距块37上并且用螺丝拧紧到其上。此外设有中央框架凹坑40，其中可放置安装板41(见图8)。为了能够快速并且不需费力微调而将安装板对准到框架凹坑40中，在示出的实施形式中在夹具框架38的三个位置上设置永磁铁42。其与可磁化的校准销43共同作用，校准销安装在安装板41上。

图8示出安装板41的侧视图。安装板优选地由不可磁化材料制成并且适合于专门的使用目的。优选地使安装板的外廓尺寸标准化，其中例如使用根据DIN 32561-T4的工件夹具作为安装板。以这种方式可以让不同的制造者大量生产工件或者工具架，因为仅仅安装板的外廓尺寸必须根据标准设计，以便能够用在根据本发明的平面直接驱动装置上。在安装板41的顶面上可能实现的结构以这种方式是多种多样的。

可以理解，如此设计夹具框架38的外廓尺寸，使得它能最佳地容纳安装板41。如从图8中可见，在安装板中设置校准销43，其建立到夹具框架的力接合连接。与测量传感器一起构成位置测量系统的实物量具34优选地安装在安装板41的底面上。作为实物量具，例如粘附在安装板底面上的正交光栅测量尺存在问题。

应该注意，在被动单元上能够同时处理多个主动单元。同样多个固定模块可以设置在被动单元的边缘区域或者为其专门规定的区域中。对于一般技术人员来说同样可以理解，在另一个变化的实施形式中实物量具能够构成准静止部件，而测量传感器作为可移动部件连接到主动单元上。

本发明的其他变化和实施例是可以的。

附图文字

1被动单元

2滑动面

3第一主动单元

4轴承间隙

5辅助元件

6测量部件空间

7移动部件

8准静止部件

9测量面

10第二主动单元

11工件夹具

20工作模块/固定模块

21装配销

22底板

23止动带

24吸持磁铁

25接线匣

26传感器臂

27测量传感器

28凹坑

29钻孔

30台座

31水平调节器

32柔性连接管线

33供电电桥

34实物量具

35驱动机构

36主动滑动面

37定距块

38夹具框架

39支座部分

40框架凹坑

41安装板

42永磁铁

43校准销

Claims (21)

1.一种平面直接驱动装置，包括：

被动单元(1)，其包括具有磁通量区域的平坦滑动面(2)；

主动单元(3)，具有用于产生可变磁通量的线圈架；

轴承单元，其在保持轴承间隙(4)的情况下允许在主动单元和被动单元之间的无摩擦的二维运动；

位置测量系统，其包括实物量具和测量传感器，该测量传感器扫描实物量具且提供位置信号；

其特征在于，

位置测量系统由移动部件(7)和准静止部件(8)组成，两个部件的一个由实物量具构成并且另一个由测量传感器构成，其中两个部件都设置在轴承间隙(4)的外面并且与滑动面(2)隔开；

准静止部件(8)设置在预定的固定点上，相对于滑动面(2)基本上平行地偏移；

移动部件(7)如此地固定在主动单元(3)上，使得它在准静止部件(8)到达时与之到达测量接合；

只要位置测量系统的两个部件(7、8)存在测量接合，就使用由测量传感器提供的位置信号控制或者调整主动单元(3)的定位控制。

2.如权利要求1所述的平面直接驱动装置，其中准静止部件(8)设置在主动单元(3)的线圈架所必需的相对于滑动面(2)垂直偏移的运动空间的外面。

3.如权利要求1或2所述的平面直接驱动装置，其中准静止部件(8)固定在台座元件上并且在被动单元(1)的对面具有持久的固定位置。

4.如权利要求1或2所述的平面直接驱动装置，其中准静止部件(8)固定在第二主动单元(10)上，其相对于被动单元(1)和第一主动单元(3)是运动的并且可移动到预定的固定点上。

5.如权利要求1或2所述的平面直接驱动装置，其中准静止部件(8)集成在固定模块(20)中，该固定模块在被动单元(1)的平面中的位置由至少一个在被动单元(1)上固定的机械固定设备(21，23)确定，并且此外至少一个吸持磁铁(24)集成在固定模块(20)中，其将固定模块保持在被动单元(1)的滑动面(2)上。

6.如权利要求5所述的平面直接驱动装置，其中机械固定设备包括在被动单元(1)边缘上的固定的止动带(23)和在止动带(23)和固定模块(20)中接合的多个固定销(21)，并且吸持磁铁(24)包括一个或多个电磁铁。

7.如权利要求1-6中任一项所述的平面直接驱动装置，其中多个准静止部件(8)设置在多个互相隔开的固定点上。

8.如权利要求7所述的平面直接驱动装置，其中固定点由多个工作模块(20)构成，工作模块固定在被动单元(1)上。

9.如权利要求1-8中任一项所述的平面直接驱动装置，其中平面直接驱动装置包括在共同的被动单元(1)上可移动的多个主动单元(3、10)，它们每个包括移动部件(7)和/或准静止部件(8)。

10.如权利要求1-9中任一项所述的平面直接驱动装置，其中相对于主动单元(3)的线圈系统垂直偏移的移动部件(7)设置在从外面可进入的区域中。

11.如权利要求10所述的平面直接驱动装置，其中移动部件(7)相对于在主动单元(3)上安装的工件夹具(11)垂直偏移地固定。

12.如权利要求11所述的平面直接驱动装置，其中移动部件(7)与工件夹具(11)构成一个结构单元，其可卸下地与主动单元(3)连接。

13.如权利要求1-12中任一项所述的平面直接驱动装置，其中主动单元(3)具有相对于它的主动滑动面(36)平行设置的夹具框架(38)，其中可卸下地设置有安装板(41)，其中移动部件(7)设置在主动单元(3)的线圈系统和安装板(41)之间的平面中。

14.如权利要求13的平面直接驱动装置，其中移动部件(7)由平面的实物量具(34)构成，其固定在安装板(41)的底面上。

15.如权利要求14的平面直接驱动装置，其中实物量具(34)是正交光栅板，其相对于主动单元(3)的主动滑动面(36)的平行偏差小于50μm。

16.如权利要求13-15中任一项所述的平面直接驱动装置，其中在夹具框架(38)和在安装板(41)中存在校准设备(42、43)，其通过磁性吸引力共同作用，以将安装板(41)定位在夹具框架(38)的预定位置中。

17.如权利要求16的平面直接驱动装置，其中校准设备由多个永磁铁(42)和在对面的可磁化的校准销(43)构成，它们分别安装在夹具框架或者安装板中。

18.如权利要求1-17中任一项所述的平面直接驱动装置，其中光学的或者磁阻的传感器用作测量传感器。

19.如权利要求1-18中任一项所述的平面直接驱动装置，其中此外还包括全测量系统，只要位置测量系统的两个部件(7、8)没有在测量接合中，就可以借助该全测量系统控制主动单元(3、10)的运动。

20.如权利要求1-19中任一项所述的平面直接驱动装置，其中只要位置测量系统的两个部件(7、8)没有在测量接合中，主动单元(3、10)的运动就以步进驱动实现。

21.如权利要求1-20中任一项所述的平面直接驱动装置，其中轴承单元由空气轴承构成。

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