CN1790037A - 阵列板的检查方法及其检查设备 - Google Patents

Abstract

提供一种阵列板检查方法及其检查设备，其即使在从栅线的两端施加电位时，也能够检测栅线的断开故障。检查设备10内的写电路11从阵列板1上的多个信号线中选择出信号线Dc，并且在写期间，写电路11向信号线Dc施加一个写电位VD。进一步，在写期间，栅驱动电路12向所选栅线G1的一端施加驱动电位VGH，而栅驱动电路13向所选栅线G1的另一端施加保持电位VGL，从而导通开关晶体管Trc1。在写期间之后，检查设备10再次导通开关晶体管Trc1，并且积分电容器18测量保存在保持电容器Cc1内的电荷量。确定单元16根据测得的电荷量确定栅线G1的断开故障。

Description

阵列板的检查方法及其检查设备

技术领域

本发明涉及阵列板检查方法及其检查设备，更特别地，涉及检查用作液晶面板和有机电致发光面板(organic electro luminescencepanel)或类似物的阵列板的方法。

背景技术

如图5所示，用作液晶面板的阵列板1具有多个按行布置的栅线G，多个按列布置的信号线D和多个象素PI，其中每个象素PI布置在栅线G和信号线D的相交处。象素PI包括开关晶体管(薄膜晶体管)Tr，保持电容器C和象素电极(未显示)。

如果开关晶体管Tr导通，则将写电位VD从信号线D输入到象素电极和保持电容器C的一端。将公共电位Vcom输入到与象素电极相对布置的相对电极(未显示)和保持电容器C的另一端，从而用象素电极和相对电极的电位差驱动位于象素电极和相对电极之间的液晶元件(未显示)。保持电容器C保持施加在象素电极和相对电极之间的电位达预定的时间周期。

在制造这种阵列板1的列阵步骤(array step)中，检查是否存在故障，例如象素故障和栅线G的断开故障。这些检查是通过图5所示的检查设备100执行的。检查设备100具有一个栅驱动电路101，其通过向栅线G的一个末端施加驱动电位VGH导通开关晶体管Tr，一个写电路102，其用于在信号线D中施加写电位VD，一个读电路103，其用于读出保存在保持电容器C内的电荷量，和一个切换元件104，其用于将信号线D连接到写电路102或读电路103上。

检查设备100在保持电容器C中写入电荷(写操作)，并通过阅读已写入的电荷(读操作)，检查设备100检查是否存在故障。根据写操作，栅线G在写操作期间向所选栅线G施加驱动电位VGH，并导通连接所选栅线G的开关晶体管Tr。此外，写电路102连接到由切换元件104选择的信号线D，并且写电路102向该信号线D施加写电位VD。借此，将电荷保存在位于所选栅线G和所选信号线D交叉处的象素PI的保持电容器C内。在写操作之后，栅驱动电路101停止施加驱动电位VGH，且写电路102停止施加写电位VD。随后，检查设备100开始读操作。

根据读操作，栅驱动电路101再次导通开关晶体管Tr。此时，读电路103通过切换元件104与所选信号线D相连，并在写操作一开始时读出保存在保持电容器C内的电荷。根据读出的电荷量，确定是是否存在故障。

象素故障的确定是根据读出电荷量是否等于预先测得的正常情况下的电荷量。另一方面，栅线G断开故障的确定是根据，读出电荷量是否等于0。当图5所示栅线G10在栅驱动电路101和开关晶体管Tr10之间的点P10处断开时，即使驱动电路101向栅线G10施加了驱动电位VGH，电位VGH仍然不能施加到开关晶体管Tr10的栅。因此，甚至在写操作期间，开关晶体管Tr10也不导通，从而电荷不能保存在保持电容器C10内。这种情况下，可以确定栅线G10是断开的，因为读操作读出的电荷量为0。

同时，近年来，液晶面板的尺寸做得更大，并且已经制造出大于35英寸的液晶面板。超过35英寸的液晶面板从栅线的两侧获得驱动电位VGH，从而驱动液晶元件。因为大尺寸液晶面板栅线比传统的更长，所以栅线的电阻和寄生电容更大。因此，如果驱动电位只是从栅线的一端施加到液晶面板，则从施加了驱动电位的一端到另一端，电位缓慢升高到驱动电位需要一定的时间。为了避免这种信号延迟，驱动电位是从栅线的两端施加的。

如果在最终的液晶面板中，驱动电路是从栅线的两端施加的，则甚至在列阵步骤的检查象素故障中，也需要从栅线的两端施加驱动电位。在通过使用检查设备100影响大尺寸阵列板1的图像检查的实例中，驱动电位只是从栅线G的一端施加。这种情况下，由于信号的延迟，在写操作时，保存在保持电容器内的电荷量将随着保持电容器距离栅驱动电路101的距离的加大而降低。因此，即使象素正常，在写期间保存的电荷量也会降低，从而有可能将正常的象素判定为象素故障。如果使写时间比传统的情况更长，则可以解决这个问题，但是在这种情况下，可能不能检查开关晶体管Tr的性能故障。最后，有必要通过从栅线的两端施加驱动电位来影响象素故障的检查。

然而，如果驱动电位是从栅线的两端施加的，则不可能检查栅线的断开故障。这是因为，如果从图5中栅线G10的相对末端施加驱动电位VGH，则即使栅线在点P10处断开，所有连接栅线G10的开关晶体管Tr也是导通的，并且电荷保存在每个保持电容器C中。

在图像检查中，向栅线的两端施加驱动电位的方法也是可能的，并且在检查栅线的断开故障中，只向栅线的一端施加驱动电位的方法也是可能的。然而，这种情况下，在检查断开故障时，应当分离连接栅线一端的探头，从而工作量增加。此外，还有可能通过不分离探头而是从一个探头施加驱动电位，将电流检测电路连接到另一个探头，并测量流过栅线的电流来检查断开故障。然而，这种情况下，需要一个用于将探头的连接从栅驱动线路转换到电流检测电路的开关电路。在阵列板1上大约需要1000个栅线G，因此难以安装该开关电路以容纳所有这些栅线。

[专利文献1]JP-A-2002-229056

[专利文献2]JP-A-7-5408

[专利文献3]JP-A-4-249289

发明内容

[本发明待解决的问题]

本发明提供了一种阵列板检查方法及其检查设备，其即使在从栅线的两端施加电位时也能够检测栅线的断开故障。

[解决问题的方法]

根据本发明的阵列板检查方法，该阵列板包括多个按行布置的栅线，多个按列布置的信号线和多个每一个都位于栅线和信号线交叉处的象素，该象素包括开关晶体管和保持电容器，其中开关晶体管具有连接于栅线的控制端(control terminal)和一侧连接于信号线的连续端(continuity terminal)，保持电容器与开关晶体管连续端的另一侧相连，该阵列板检查方法包括如下步骤：从多个信号线中选择出一个信号线；向所选信号线施加写电位；从多个栅线中选择出一个栅线；通过向所选栅线的一个末端施加第一电位并向所选栅线的另一端施加低于第一电位的第二电位，导通布置在所选信号线与所选栅线交叉处的开关晶体管；通过所选信号线测量保存在保持电容器内的电荷量，并根据测得的电荷量确定所选栅线的断开故障。

在根据本发明的阵列板检查方法中，向所选栅线的一个端施加第一电位，向另一端施加低于第一电位的第二电位。

在这种情况下，如果栅线没有断开，则栅线的电位从施加了第一电位的末端向施加了第二电位的末端逐渐降低。

结果，保存在与该栅线相连的多个象素的保持电容器内的电位从位于施加了第一电位的末端一侧的保持电容器向位于施加了第二电位的末端一侧的保持电容器逐渐降低。另一方面，如果栅线断开，则在从施加了第一电位的末端到断开部分之间的范围内，栅线的电位成为第一电位，在从断开部分到施加了第二电位的末端之间的范围内，栅线的电位成为第二电位。

因此，以断开部分为界，保存在每个保持电容器内的电荷量不同。

明确地讲，位于从施加了第一电位的末端到断开部分之间的每个保持电容器的电荷量大于位于从断开部分到施加了第二电位的末端之间的每个保持电容器的电荷量。而且，位于从施加了第一电位的末端到断开部分之间的每个保持电容器的电荷量相同，并且位于从断开部分到施加了第二电位的末端之间的每个保持电容器的电荷量也相同。因此，如果测量每个保持电容器中保存的电荷量，就有可能检查是否发生断开故障。

下面的方法是优选的，即确定步骤通过比较已测得的电荷量与预先在没有断开栅线时在阵列板上测得的正常电荷量来确定断开故障。

在这种情况下，如果测得的电荷量等于预先在没有断开栅线时在阵列板上测得的正常电荷量，则能够确定没有发生断开故障。因此，如果测量与测得正常电荷量的保持电容器位于相同位置的保持电容器的电荷量，并比较测得的电荷量与正常电荷量，则有可能确定断开故障。因此，如果测量与每个栅线相连的保持电容器中至少一个的电荷量，则能够确定每个栅线的断开故障。

如下的方法是优选的，即当测得的电荷量高于正常电荷量时，则确定步骤确定断开故障发生于施加了第二电位的末端一侧的任何部分，而不是所选栅线中邻近所选信号线的一侧；而当测得的电荷量低于正常电荷量时，则断开故障发生于施加了第一电位的末端一侧的任何部分，而不是所选栅线中邻近所选信号线的一侧。

在这种情况下，由所选栅线或所选信号线指定测量电荷量的保持电容器，然而，如果所指定的保持电容器的位置更靠近施加了第一电位的末端一侧而不是断开的部分，则测得的电荷量高于正常电荷量。另一方面，如果所指定的保持电容器更靠近施加了第二电位的末端一侧而不是断开的部分，则测得的电荷量低于正常电荷量。因此，如果每个栅线通过每个栅线测量至少一个保持电容器的电荷量，则不仅有可能确定该栅线的断开故障，而且如果栅线断开达一定程度，还能够指定断开的部分。

如下方法是优选的，即选择信号线的步骤从多个信号线中选出位于中心的信号线。

在多个与栅线相连的保持电容器中，由位于中心部分的信号线指定的保持电容器，其没有断开时的电荷量(即正常电荷量)与断开时的电荷量之差是最大的。因此，容易确定栅线的断开故障。

优选地，根据本发明的阵列板检查方法可以包括如下的步骤：从多个信号线中选择一个信号线；在写期间向所选信号线施加写电位；在写期间，通过向从多个栅线中选择出的栅线的两端施加相同的电位导通位于所选栅线与所选信号线交叉处的开关晶体管；在读期间，再次导通开关晶体管，并通过所选信号线测量保存在保持电容器内的电荷量；并根据测得的电荷量确定象素故障。

在这种情况下，如果在写期间向栅线的两端施加相同的电位，则有可能检查象素故障。

根据本发明的阵列板检查设备，该阵列板包括多个按行布置的栅线，多个按列布置的信号线和多个每一个都位于栅线和信号线交叉处的象素，该象素包括开关晶体管和保持电容器，其中开关晶体管具有连接于栅线的控制端和一侧连接于信号线的连续端，保持电容器与开关晶体管连续端的另一侧相连，该阵列板检查设备可以包括：用于从多个信号线中选出一个信号线并向所选信号线施加一个写电位的写装置；用于从多个栅线中选出一个栅线并向所选栅线施加一个电位，并借此导通位于所选栅线和所选信号线交叉处的开关晶体管的驱动装置；用于通过所选信号线测量保存在保持电容器内的电荷量的电荷量测量装置，和用于根据测得的电荷量确定所选栅线断开故障的确定装置，该驱动装置包括：用于向所选栅线的一个末端施加第一电位的第一栅驱动单元，和用于向所选栅线的另一个末端施加低于第一电位的第二电位的第二栅驱动单元。

优选地，驱动装置进一步包括一个选择单元，其用于从第一和第二电位中选择出从第二驱动装置施加到所选栅线另一个末端的电位；并且当选择装置选择了第一电位时，确定装置进一步根据测得的电荷量确定象素故障。

附图说明

图1的电路图图解了根据本发明实施例的作为检查方法的检查目标的阵列板及其检查设备的结构。

图2的时限图显示了当通过使用图1所示的检查设备检查栅线的断开故障时的操作。

图3显示了在图2所示的检查步骤中在写操作期间保存在多个位于所选栅线上的保持电容器内的电荷量。

图4的时限图显示了当通过使用图1所示的检查设备检查象素故障时的操作。

图5的电路图显示了传统阵列板和传统检查设备的结构。

具体实施方式

下文，将参考附图详细地说明本发明的实施例。附图中相同或相应的部分给予相同的指代数字和标记，并省略其解释。

1.构造

参考图1，阵列板1具有多个按行布置的栅线G1-Gy(y是自然数)，多个按列布置的信号线D1-Dx(x是自然数)和多个象素PI，其每一个位于栅线G1-Gy和信号线D1-Dx的交叉处。在本说明书中，位于栅线Gy与信号线Dx交叉处的象素称作PIxy。栅线G1-Gy的一个末端连接焊垫PL1-Ply，其另一个末端连接焊垫PR1-PRy。

象素PIxy可以包括一个开关晶体管Trxy，一个保持电容器Cxy和一个象素电极(未显示)。开关晶体管Trxy由N沟道型薄膜晶体管(TFT)构成，并且开关晶体管Trxy的栅连接相应的栅线Gy，其源极连接相应的信号线Dx。保持电容器Cxy的一端连接相应开关晶体管的源极/漏极，其另一端连接施加了公共电位Vcom的共用电位线(未显示)。通过驱动所选栅线Gy和信号线Dx，有可能操作任意的象素PIxy。

为了检查该阵列板1，检查设备10与之相连。检查设备10可以包括写电路11、栅驱动电路12和13、选择电路131、电荷量测量电路14、切换元件15和确定单元16。

写电路11连接由切换元件15选择的信号线Dx，从而在写期间向信号线Dx施加写电位VD。

在写期间或者在读期间，栅驱动电路12和13可以通过向所选栅线Gy的两端施加不同的电位导通与栅线Gy相连的象素PIxy的开关晶体管Trxy。栅驱动电路12连接焊垫PL1-PLy，从而向所选栅线Gy施加驱动电位VGH。另一方面，栅驱动电路13连接焊垫PR1-PRy，并且当选择电路131选择了低于驱动电位VGH的保持电位VGL时，在写期间，栅驱动电路13可以向栅线Gy施加保持电位VGL。

电荷量测量电路14连接由读导线17选择的信号线Dx，从而在写期间测量保存在象素PIxy的保持电容器Cxy内的电荷量。电荷量测量电路14是一个集成电路，其可以包括一个微分放大器电路19和一个积分放大器电路18。确定单元16接收电荷量测量电路14的输出，从而确定栅线断开故障和象素故障。

2.检查方法

接着，下面说明栅线断开故障的检查方法。该检查方法可以包括用于将电荷写入象素PIxy的保持电容器Cxy内的写操作，用于读出已写入电荷的读操作，和用于根据所读出的电荷确定是否存在断开故障的确定步骤。根据使用检查设备10的检查方法，有可能通过从栅线的两端施加不同的电位从而容易地确定断开故障。下面将解释其细节。

参考图2，首先，写电路11可以从多个信号线D1-Dx中选择位于中心的信号线Dc。此时，写电路11可以指示相应于信号线Dc的切换元件15将信号线Dc与写电路11相连。写电路11连接信号线Dc，然后，写电路11可以向信号线Dc施加写电位DV，从而将信号线Dc的电位DATA提高到写电位VD。

随后，在写期间t1-d2，栅驱动电路12和13可以从多个栅线G1-Gy中选择栅线G1，从而向所选栅线G1施加不同的电位。明确地讲，栅驱动电路12可以向栅线G1的焊垫PL1施加驱动电位VGH，栅驱动电路13可以向栅线G1的焊垫PR1施加保持电位VGL。借此，与栅线G1的焊垫PL1相连的末端的电位VPL提高到驱动电位VGH，而与栅线G1的焊垫PR1相连的末端的电位VPR保持在保持电位VGL。结果在写期间，栅线G1的电位从焊垫PL1侧向焊垫PR1侧逐渐降低。由于该电压降，与栅线G1相连的多个晶体管TR11-TRx1的导通电阻(on-resistance)从焊垫PL1侧向焊垫PR1侧逐渐增加。因此，如图3的实线L1所示，在写期间，保存在每个保持电容器C11-Cx1内的电荷量变为最高，然后其逐渐向焊垫PR1侧降低，并且在保持电容器Cx1处为最低。

在时间t2，栅驱动电路12可以向焊垫PL1施加保持电位VGL。结果，整个栅线G1的电位保持在保持电位VGL，并且开关晶体管Tr11-Trx1关闭。

在从时间t2经过预定时间之后的时间t3，检查设备10开始读操作。在时间t3，栅驱动电路12可以施加驱动电位VGH，并可以再次将保持电位VGL提高到驱动电位VGH。另一方面，栅驱动电路13可以将电位VPR保持在保持电位VGL。借此，导通连接栅线G1的晶体管TR11-Trx1。

此外，在读期间，也就是在时间t3-t4，切换元件15可以将电荷量测量电路14连接到信号线Dc。电荷量测量电路14可以测量(读出)已写入保持电容器Cc1内的电荷。

在读操作之后，检查设备10可以开始确定操作。接收到由电荷量测量电路14测得的电荷量之后，确定单元16可以确定栅线G1是否由断开故障。与检查目标的阵列板相同配置的检查设备10可以预先在栅线没有断开故障时测量阵列板保持电容器Cx1的电荷量，并可以将测得的电荷量作为正常电荷量Qc保存在确定单元16的存储器(未显示)内。确定单元16可以比较电荷量测量电路14测得的电荷量与正常电荷量Qc。

如果栅线G1中没有断开故障，则测得的电荷量等于正常电荷量Qc。这种情况下，确定单元16可以确定栅线G1没有断开。

另一方面，当测得的电荷量高于正常电荷量Qc时，确定单元16可以确定栅线G1在焊垫PL一侧的任何位置断开，而不是在靠近栅线G1的一侧。例如，在图1中，如果断开部分是位于焊垫PR1位置的点P1，而不是靠近信号线Dc的一侧，则栅线G1中从焊垫PL1到点P1的电位将变成驱动电位VGH。另一方面，栅线中从焊垫P1到点PR1的电位变成驱动电位VGL。在这种情况下，保存在每个保持电容器内的电荷量如图3的虚线L2所示：也就是说，从焊垫PL1到点P1，保存在每个保持电容器内的电荷量是电荷量Q1，从点P1到焊垫PR1，保存在每个保持电容器内的电荷量是电荷量Q2。当栅线G1在点P1断开时，电荷量测量电路14测得的电荷量是电荷量Q1，且其高于正常电荷量Qc。因此，确定单元16可以确定栅线G1在焊垫PR1侧的任何位置断开，而不是在靠近信号线Dc的一侧。

同样的方式，在图1中，如果断开部分是焊垫PL1一侧的点P2，而不是在靠近信号线Dc的一侧，则保持电容器Cc1电荷量将是Q2。因此，确定单元16可以确定栅线G1在焊垫PL1一侧的任何位置断开，而不是在靠近信号线Dc的一侧。

由于上述操作，即使在通过向栅线的两端施加电位来检查断开故障时，如果向两端施加不同的电位，则也有可能检查是否存在断开故障。在这种情况下，如果电位的检查是关于与所选栅线相连的多个象素中至少一个象素内的保持电容器，则能够检查断开故障。而且，当栅线断开时，有可能在一定程度上指定哪里发生了断开。

同时，根据本实施例，检查是通过选择栅线G1执行的，然而，对于另外的栅线G2-G7，也能够执行相同的检查。此外，根据本实施例，通过选择位于中心的信号线Dc测量位于栅线G1中心的保持电容器Cc1的电荷量，然而，也能够通过测量位于栅线G1上的任意保持电容器Cx1的电荷量执行上述检查。这种情况下，如果通过从多个信号线D1-Dx中选择位于中心的信号线Dc执行检查，则最容易确定是否存在断开故障，因为多个信号线D1-Dx中，信号线Dc正常时与信号线Dc断开时，保持电容器Cc1具有最大的保存电荷量差(Q1或Q2)。

上述检查设备10检查栅线G1-Gy的断开故障，还检查象素故障。

在检查象素故障的情况下，如图4所示，在写期间，t1-t2，施加给栅线两端的电位相等。在写期间，选择电路131选择驱动电位VGH。因此，栅驱动电路12和13在写期间可以向栅线Gy施加驱动电位VGH。其它的操作与断开故障的检查相同。同时，检查设备10预先测量保存在正常象素的保持电容器内的电荷量，并将其保存在确定单元16中作为正常电荷量。确定单元16通过比较测得的电荷量与正常电荷量确定象素故障。

借此，在检查象素故障时，不会像只从栅线Gy的一端施加驱动电位那样产生信号延迟。因此，由于信号延迟保存在保持电容器内的电荷量不会分散。而且，写的时间周期能够更短(5-10μs)，因此，能够提高象素故障的检查精度。

如上所述，检查设备10还能够通过与检查栅线断开故障的设备相同的结构检查象素故障。因此，即使检查设备10在检查象素故障之后检查断开故障，也不需要执行例如切换设备的操作，从而不增加工作量。

同时，即使由根据本实施例的电荷量测量电路测得的电荷量包括所选栅线与所选信号线的耦合电容的电荷量以及保持电容器的电荷量，也有可能获得与上述断开故障的检查结果相同的结果。

同时，根据本实施例的检查设备10不仅能够检查用作液晶面板的阵列板，还能够以相同的方法检查用作有机电子发光面板的阵列板。

根据本实施例，阵列板1的开关晶体管被定义为N沟道型TFT，然而，其也可以是P沟道型TFT。

根据本实施例的栅线检查方法，在写期间，驱动电位VGH施加到栅线的一端，保持电位VGL施加到其另一端，然而，还可以通过向两端施加不同的电位，检查栅线的断开故障。

此外，根据本发明的栅线检查方法，电荷量的测量是通过在写操作完成之后立即关闭开关晶体管Trxy，并在读操作开始时再次导通开关晶体管，然而，电荷量的测量也可以通过在将电荷保存到保持电容器Cxy之后导通开关晶体管。在这种情况下，在写电路11停止施加写电位VD之后，切换元件15立即将电荷量测量电路14连接到信号线Dx。

上面说明了根据本发明的实施例，然而，上述实施例只是用于实践本发明的示例。因此，本发明不仅限于上述的实施例，并且能够在不背离本发明范围的前提下实现各种修改。

[工业应用]

根据本发明的阵列板检查方法及其检查设备能够实践用于检查用作液晶面板或有机电发光面板的阵列板。

Claims (10)

1.一种阵列板检查方法，该阵列板包括多个按行布置的栅线，多个按列布置的信号线和多个象素，每一个象素都位于栅线和信号线交叉处，该象素包括开关晶体管和保持电容器，其中开关晶体管具有连接于栅线的控制端和一侧连接于信号线的端，保持电容器连接于开关晶体管的另一侧的端，该阵列板检查方法包括如下步骤：

从多个信号线中选择出一个信号线；

向所选信号线施加写电位；

从多个栅线中选择出一个栅线；

通过向所选栅线的一端施加第一电位并向所选栅线的另一端施加低于第一电位的第二电位，导通位于所选信号线和所选栅线交叉处的开关晶体管；

通过所选信号线测量保存在保持电容器内的电荷量，以及

根据测得的电荷量确定所选栅线的断开故障。

2.根据权利要求1的阵列板检查方法，其中确定步骤通过比较测得的电荷量与预先在栅线没有断开时在阵列板上测得的正常电荷量来确定断开故障。

3.根据权利要求2的阵列板检查方法，其中当测得的电荷量高于正常电荷量时，确定步骤确定断开故障发生在施加了第二电位的末端的一侧的任何部分，而不是在所选栅线中的靠近所选信号线的一侧；并且当测得的电荷量低于正常电荷量时，确定步骤确定断开故障发生在施加了第一电位的末端的一侧的任何部分，而不是在所选栅线中的靠近所选信号线的一侧。

4.根据权利要求1-3中任何一个的阵列板检查方法，其中选择信号线的步骤从多个信号线中选择出位于中心的信号线。

5.根据权利要求1-4中任何一个的阵列板检查方法，进一步包括如下步骤：

从多个信号线中选择出一个信号线；

在写期间向所选信号线施加写电位；

在写期间，通过向从多个栅线中选择出的栅线的两端施加相同的电位导通位于所选栅线与所选信号线交叉处的开关晶体管；

在读期间再次导通该开关晶体管，并通过所选信号线测量保存在保持电容器内的电荷量；以及

根据测得的电荷量确定象素故障。

6.一种阵列板检查设备，该阵列板包括多个按行布置的栅线，多个按列布置的信号线和多个象素，每一个象素都位于栅线和信号线交叉处，该象素包括开关晶体管和保持电容器，其中开关晶体管具有连接于栅线的控制端和一侧连接于信号线的连续端，保持电容器与开关晶体管的连续端的另一侧相连，该阵列板检查设备包括：

写装置，其用于从多个信号线中选择出一个信号线并向所选信号线施加写电位；

驱动装置，其用于从多个栅线中选择出一个栅线并向所选栅线施加一个电位，借此导通位于所选栅线和所选信号线交叉处的开关晶体管；

电荷量测量装置，其用于通过所选信号线测量保存在保持电容器内的电荷量，以及

确定装置，其用于根据测得的电荷量确定所选栅线的断开故障，该驱动装置包括：

第一栅驱动单元，用于向所选栅线的一端施加第一电位，和

第二栅驱动单元，用于向所选栅线的另一端施加低于第一电位的第二电位。

7.根据权利要求6的阵列板检查设备，其中确定装置通过比较测得的电荷量与预先在栅线没有断开时在阵列板上测得的正常电荷量确定断开故障。

8.根据权利要求7的阵列板检查设备，其中当测得的电荷量高于正常电荷量时，确定装置确定断开故障发生在施加了第二电位的末端的一侧的任何部分，而不是在所选栅线中靠近所选信号线的一侧；并且当测得的电荷量低于正常电荷量时，确定装置确定断开故障发生在施加了第一电位的末端的一侧的任何部分，而不是在所选栅线中靠近所选信号线的一侧。

9.根据权利要求6-8中任何一个的阵列板检查设备，其中写装置从多个信号线中选择出位于中心的信号线。

10.根据权利要求6的阵列板检查设备，其中驱动装置进一步包括一个选择单元，其用于从第一电位和第二电位中选择出从第二驱动装置向所选栅线的另一端施加的电位；并且

当选择装置选择第一电位时，该确定装置进一步根据测得的电荷量确定象素故障。

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