CN1775641A

CN1775641A - 基板传送装置

Info

Publication number: CN1775641A
Application number: CNA2005101233194A
Authority: CN
Inventors: 郑准模
Original assignee: SAM-FA MACHINERY Co Ltd
Current assignee: SAM-FA MACHINERY Co Ltd
Priority date: 2004-11-17
Filing date: 2005-11-17
Publication date: 2006-05-24
Anticipated expiration: 2025-11-17
Also published as: KR100527241B1; TWI308129B; TW200619115A; CN1775641B

Abstract

本发明公开了一种基板传送装置，更具体地，本发明公开一种基板传送装置，其能够通过控制一个气体喷射单元和一个气体抽吸单元而容易地在使基板更加平展的状态下传送浮在一个基板支撑板上的基板。所述基板传送装置包括：一个用于传送基板的基板传送单元；一个基板支撑板，其包括多个用于浮起所述基板的气体喷射单元以及多个用于使所述基板保持平展的气体抽吸单元；以及一个换气单元，其分别地导管连接至所述气体喷射单元和所述气体抽吸单元，用于所述气体喷射单元的气体喷射和所述气体抽吸单元的气体抽吸。

Description

基板传送装置

技术领域

本发明涉及一种基板传送装置，更具体地，本发明涉及一种基板传送装置，该基板传送装置能够通过控制一个气体喷射单元和一个气体抽吸单元而容易地在使基板更加平展的状态下传送浮在基板支撑板上的基板。

背景技术

特别地，15英寸和更大的屏幕，以及12.1英寸的笔记本电脑，近来正发展成为使用薄膜晶体液晶显示(thin-film transistor liquid crystaldisplay，TLT-LCD)的平板显示器，该液晶平板显示器具有优秀的色彩再现功能和很薄的膜。

大尺寸的基板用于制造所述TLT-LCD平板显示器。在传送基板的工序中使用了基板传送装置。在基板传送装置中，一个通过空气而浮起所述基板的传统装置安装有多个具有微小直径的气体喷射单元以及一个位于基板支撑板上的气体排出单元。因此，存在成本过高的问题，并且不能通过使多个气体喷射单元执行气浮操作以及使所述气体排出单元排放气体而使薄的基板在所述基板支撑板上保持平展。

发明内容

因此，提出本发明来解决在现有技术中出现的上述问题，本发明的一个目的在于提供一种基板传送装置，该基板传送装置包括：一个用于传送基板的基板传送单元；一个基板支撑板，其包括多个通过气体来浮起所述基板的气体喷射单元以及多个使所述基板保持平展的气体抽吸单元；以及一个换气单元，其分别地导管连接至所述气体喷射单元和所述气体抽吸单元，以进行所述气体喷射单元的气体喷射以及所述气体抽吸单元的气体抽吸。

另外，所述基板传送装置的所述基板支撑板可以由铝合金制造。

另外，根据本发明的所述气体喷射单元可以包括一个形成有预先设定深度的凹槽以及一个沿厚度方向穿透所述凹槽的预定部分而形成的穿孔。

另外，本发明的所述气体抽吸单元可以包括一个位于所述气体喷射单元之间、沿厚度方向穿透而形成的穿孔。

另外，所述气体喷射单元的凹槽填充有多孔材料，并且所述多孔材料可以与所述槽的下部间隔开一个预先设定的距离。在此，所述多孔材料可以是聚乙烯、陶瓷、碳或类似材料。

另外，所述换气单元使用一个旋涡鼓风机，所述旋涡鼓风机装备有一个气体排放箱和一个气体抽吸箱。此外，所述换气单元包括一个气体分配单元，该气体分配单元导管连接至气体喷射单元每个穿孔的一端，并且单导管连接至所述换气单元的所述气体排放箱。在此例子中，所述换气单元包含一个气体收集单元，该气体收集单元导管连接至所述气体抽吸单元每个穿孔的一端，并且单导管连接至所述换气单元的所述气体抽吸箱。

另外，所述换气单元装备有一个以上的旋涡鼓风机。所述换气单元包括一个气体分配单元，该气体分配单元导管连接至所述气体喷射单元每个穿孔的一端，并且单导管连接至所述鼓风机之一的气体排放箱。在此例子中，所述换气单元包含一个气体收集单元，该气体收集单元导管连接至所述气体抽吸单元每个穿孔的一端并且单导管连接至所述旋涡鼓风机之一的所述气体抽吸箱。

最后，可以进一步地在所述气体排放箱和所述气体分配单元的所述导管上装备一个气体净化单元，并且所述气体净化单元是一个超低洩漏空气过滤器(ulpa filter)。

一部分本发明的其它优点、目的以及特征在后续描述中阐明，一部分对于本领域内的普通技术人员来说通过检验后续内容或通过实践本发明将变得明晰。

附图说明

通过下面结合附图所作的详细说明，本发明的以上以及其它目的、特征与优点将更加明显，在所述附图中：

图1是一示意性的立体图，图示根据本发明一个具体实施方式的基板传送装置；

图2是一个俯视图，图示在图1中示出的基板支撑板；

图3是一个放大截面图，图示根据图1中所示的本发明一个具体实施方式的基板支撑板；

图4是一个放大截面图，图示根据图1中所示的本发明另一具体实施方式的基板支撑板；

图5是一个后视图，图示根据图1中所示的本发明一个具体实施方式的旋涡鼓风机；

图6是一个示意性立体图，图示根据本发明另一具体实施方式的基板传送装置。

具体实施方式

在下文中，将参考附图详细描述本发明的优选具体实施方式。通过参考结合附图详细说明的具体实施方式，本发明的内容和特征、以及用于实现所述内容和特征的方法变得明晰。然而，本发明并不限于在下文中所披露的具体实施方式，而是能够以多种形式实施。在所述描述中限定的内容——例如详细构造和元件——仅仅是用来帮助本领域的普通技术人员理解本发明，而本发明仅由所附权利要求书而限定范围。在本发明的整个说明书中，在各图中用相同的附图标记来表示相同的元件。

如图1和2所示，一个基板传送装置包括：一个基板支撑板110，其包括多个用于浮起一个基板100的气体喷射单元120以及多个用于防止所述薄基板100发生弯曲并使所述基板100保持平展的气体抽吸单元130；以及一个换气单元160，分别导管连接至所述用于喷射气体的气体喷射单元120和所述用于抽吸气体的气体抽吸单元130。

所述基板100由所述气体喷射单元120内喷射的气体浮起。所述基板100还可以带有一些弯曲，所述弯曲将通过使得所述气体抽吸单元130抽吸所述弯曲部分的气体而保持平展。在此，所述气体喷射单元120和所述气体抽吸单元130能够结合成一个整体并通过装备有所述换气单元160而控制气浮，所述换气单元160导管连接至所述气体喷射单元120和所述气体抽吸单元130，以控制在所述基板100上的气体喷射和抽吸。

通常地，所述基板支撑板110是板形的且由铝合金制造，籍此能够减轻所述基板支撑板110的重量并增加耐用性。

如图3中所详细图示的，所述气体喷射单元120包括凹槽122和穿孔124，所述凹槽122形成有预先设定的深度，而所述穿孔124沿厚度方向穿透所述凹槽122的一个预先设定部分。所述气体抽吸单元130由穿孔132构成，所述穿孔132沿厚度方向穿透，其位于所述气体喷射单元120之间，从而能够实现气体流动。

由于槽122填充有多孔材料126，所以所述气流能够得以控制。另外，有利地，通过使得所述多孔材料126与所述槽122的下部隔开一个预先设定的距离，从而使得在气体经过之前把气体的压力固定地维持住，然后再经过所述的多孔材料126。

图4示出一个具体实施方式，使得所述凹槽122的由所述多孔材料126填充的部分有所不同。

所述多孔材料126可以由聚乙烯、陶瓷、碳或类似材料制造。

如图5中所示，所述换气单元160能够通过一个设备而一体地控制所述气体喷射单元120和所述气体抽吸单元130，其能够使用一个旋涡鼓风机。所述旋涡鼓风机装备有一个气体排放箱164和一个气体抽吸箱166，并且供应压力略高的空气。另外，所述旋涡鼓风机装备有一个风扇168，并且通过使一个马达162高速旋转所述风扇168来供应空气。

如图1中所示，为了简化所述气体喷射单元120和所述气体排放箱164之间、以及所述气体抽吸单元130和所述空气抽吸箱166之间的连接线路的导管连接结构，有利地，设置一个气体分配单元152，该气体分配单元152导管连接至气体喷射单元120每个穿孔124的一端，并且单导管地连接至所述换气单元160的气体排放箱164；并且还设置一个气体收集单元150，该气体收集单元150导管连接至气体抽吸单元130每个穿孔132的一端，并且单导管地连接至所述换气单元160的气体抽吸箱166。

另外，如图6中所图示的，所述基板传送单元装备有并使用多个的旋涡鼓风机。所述基板传送装置包括所述气体分配单元152，该气体分配单元152导管连接至气体喷射单元120每个穿孔124的一端，并且单导管连接至旋涡鼓风机160和160’之一160的气体排放箱164。另外，设置有气体收集单元150，该气体收集单元150导管连接至气体抽吸单元130每个穿孔的一端，并且单导管连接至所述旋涡鼓风机160和160’中的另一个160’的气体抽吸箱164。在此，可以在所述气体分配单元152和所述气体排放箱164的导管上设置一个空气净化单元170，并且该气体净化单元是一个超低洩漏空气过滤器。

在下文中，将简单地解释根据本发明一个具体实施方式而如上述构造的基板传送装置的工作方式。

根据本发明的所述基板传送装置通过单个导管将气体从换气单元160的气体排放箱164传送至气体分配单元152，并且将气体供应至装备在所述基板支撑板110上的多个气体喷射单元120，所述基板支撑板110相应地导管连接至所述气体分配单元152，然后所述气体喷射单元120执行气浮。

在此例子中，所述气体喷射单元120包括形成有预定深度的凹槽122以及沿厚度方向穿透所希望部分而形成的穿孔124。所述多孔材料126与所述槽122的下部间隔开一预先设定的距离。相应地，气体首先沿着所述穿孔124聚集在所述槽122和所述多孔材料126的下部。此时，所述基板100通过经由所述多孔材料126而浮起——如果气体的压力大致相同的话。

在浮起的情况下，所述基板100变得弯曲，不会保持平展，然后进行抽吸，使所述弯曲的部分平展。多个形成在所述基板支撑板110上的气体抽吸单元130包括沿厚度方向穿透所述基板支撑板110的穿孔132。所述浮起基板100的弯曲部分可受到抽吸。此时，所抽吸的气体聚集至所述气体收集单元150，该气体收集单元150相应地导管连接至多个气体抽吸单元130；而且所抽吸的气体排放至所述换气单元160的所述气体抽吸箱166，所述换气单元160单导管连接至所述气体收集单元150。

与传统的基板传送装置相比较，在根据本发明的基板传送装置中，通过控制所述气体喷射单元和所述气体抽吸单元，能够在维持所述基板更平展地浮在所述基板支撑板上的状态下传送所述基板，因为在将所述基板浮起在所述基板支撑板上的情况下，该基板能够由一个或两个换气单元控制。

另外，根据本发明，所述旋涡鼓风机能够通过减小所述车间的规模来减小安装车间设施的尺寸以及降低用于车间设施的成本，其原因在于因为其低振动设计，防振设施不是必需的。

另外，所述旋涡鼓风机能够防止所述气体喷射单元的多孔材料堵塞，并通过使用位于所述气体分配单元和所述气体排放箱之间的超低洩漏空气过滤器过滤器来去除灰尘，从而除去所述基板上的灰尘。

尽管已经为说明的目的而描述了本发明的优选具体实施方式，但是本领域的普通技术人员可以理解，在不脱离所附权利要求中所披露的范围和主旨的情况下可以进行各种修改、增加和替换。

Claims

1.一种基板传送装置，包括：

一个用于传送基板的基板传送单元；

一个基板支撑板，其包括多个用于气浮所述基板的气体喷射单元以及多个用于使所述基板保持平展的气体抽吸单元；以及

一个换气单元，其分别地导管连接至所述气体喷射单元和所述气体抽吸单元，从而集成所述气体喷射单元和所述气体抽吸单元，并控制所述气体喷射单元的气体喷射和所述气体抽吸单元的气体抽吸；

其中所述气体喷射单元包括：

一个形成有预定深度的凹槽；

一个沿厚度方向穿透一个预先设定部分而形成的穿孔；以及

一个填充在所述凹槽内的多孔材料。

2.如权利要求1所述的基板传送装置，其中，所述多孔材料与所述凹槽的下部间隔开一个预先设定的距离并且被填入。

3.如权利要求2所述的基板传送装置，其中，所述多孔材料可以是聚乙烯、陶瓷、碳或类似材料。

4.如权利要求3所述的基板传送装置，其中，所述换气单元是一个装备有一个气体排放箱和一个气体抽吸箱的旋涡鼓风机。

5.如权利要求3所述的基板传送装置，其中，所述换气单元包括另一个旋涡鼓风机。

6.如权利要求4所述的基板传送装置，其中，所述换气单元包含气体分配单元，该气体分配单元导管连接至每个气体喷射单元的穿孔的一端，并且单导管地连接至所述旋涡鼓风机的所述气体排放箱。

7.如权利要求5所述的基板传送装置，其中，所述换气单元包含气体分配单元，该气体分配单元导管连接至每个气体喷射单元的穿孔的一端，并且单导管连接至所述旋涡鼓风机之一的所述气体排放箱。

8.如权利要求6所述的基板传送装置，其中，所述换气单元包含气体收集单元，该气体收集单元导管连接至所述气体抽吸单元的所述穿孔，并且单导管地连接至所述旋涡鼓风机的气体抽吸单元。

9.如权利要求7所述的基板传送装置，其中，所述换气单元包含气体收集单元，该气体收集单元导管连接至每个气体抽吸单元的穿孔的一端，并且单导管地连接至所述旋涡鼓风机之一的所述气体抽吸箱。

10.如权利要求8或9所述的基板传送装置，其中，所述换气单元进一步包括一个气体净化单元，该气体净化单元位于所述气体排放箱和所述气体分配单元之间的导管上。

11.如权利要求10所述的基板传送装置，其中，所述气体净化单元是一个超低洩漏空气过滤器。