CN1716521A - 预测保养日期的方法以及仪器 - Google Patents

Abstract

本发明是关于一种预测保养日期的方法以及仪器。该预测保养日期的方法，包括下列步骤：获得一个或多个参数的探测值和应保养值之间的差值，判断差值是否接近预设的应保养值。如果任何一个差值超过其相应的预设值，则该方法进一步包括执行或推荐开始保养的步骤。如果没有差值超过其相应的预设值，则该方法也包括根据差值和表示参数每单位时间变化的变动量值预测工具保养日期的步骤。本发明还提出了以这种方式预测保养日期的仪器，该仪器包括一控制器，一资料库和一连接单元。

Description

预测保养日期的方法以及仪器

技术领域

本发明涉及一种半导体的制造系统，特别是涉及一种整体保养的排程系统的预测保养日期的方法以及仪器。

背景技术

在半导体生产行业中使用的设备是极其昂贵和复杂的。工程师们为了确保生产设备的稳定性和可靠性，必须依循标准操作程序(SOPs)进行预防保养(PM)。由于设备的数量和种类很多，所以利用人工管理设备保养的效率很低。而且，人工管理容易发生人为疏失，而发生设备应保养而未保养的情况，导致设备的损坏、影向生产进度，进而降低了企业的竞争力。

为了对所有的设备执行各种定期或不定期的保养计划，管理人员常利用纸本或个人电脑上的应用软体进行排程规划。同时，工程师根据保养计划进行保养。保养时工程师会依标准操作程序上所定义的保养项目与表格进行保养。当工程师完成保养后，他将在PM表上记录资料，并将PM表送给管理人员检查和签名。最后，工程师将PM表放到文件夹中储存并做为日后的参考记录。当保养项目的结果失败时，工程师将填写一份PM OCAP表进行异常处理的追踪与处置。

许多不想要的特征和上述人工过程有关。没有和其他电脑处理资讯的系统结合，很容易得到影响保养品质的矛盾资料。而且，人工过程很费时间。大部分设备有一个界面，PC使用者能够用该界面和设备交互得到设备的参数。设备的参数是决定是否进行保养的关键因素。保养设备需要工程师接近设备、记录参数的时间，而且进一步需要校正人工资料错误的时间，比如，这些错误可能是工程师在记录时造成的。而且，当保养的周期和保养项目的规定发生了变化，管理人员就需要更新保养计划和PM表；否则，保养计划上的资料和PM表可能相互矛盾。对于管理人员来说，因这样一个变化重新人工制定所有保养计划的效率也是很低的。许多时间和精力由于生产的需要被投入到人工调整新的保养中。例如，当一个管理人员想执行一个新的保养计划时，所有的工程师们必须在进行保养时立即更新保养状况。人工管理会在原始计划和实际结果间引起矛盾。

为了确保所有保养都被执行，任何需要不定期保养的设备必须有效的进行管理。保养可能被遗忘，并且保养计划可能没有被执行。在这些情况下，设备的可靠性和稳定性是得不到保证的。

而且，人工管理和书面工作浪费了人力和纸张。用人工管理的职工在记录保养资料时花费了太多的精力，浪费了太多的纸张。而且，纸本文件难以保存，查询和分析。纸本文件资料不能有效的用来改进以后的保养参数。一个工具被检测后，检测者得到参数，并判断该工具是否需要保养。因此，这种不规则的工具保养是没有排程(Schedule)的。

在现有技术中存在着根据不规则工具即时参数的变化决定保养日期的需求。参数资讯收集的自动控制、保养日期的计算和将保养日期登入到保养时程中的进一步的需求也存在。

由此可见，上述现有的预测保养日期的方法在方法与操作上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决预测保养日期的方法存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般方法又没有适切的方法能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。

有鉴于上述现有预测保养日期的方法存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新的预测保养日期的方法以及仪器，能够改进一般现有的预测保养日期的方法，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经反复试作及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。

发明内容

本发明的目的在于，克服现有的预测保养日期的方法存在的缺陷，而提供一种新的预测保养日期的方法以及仪器，其中一个以网路为基础的、使用者界面友好的、强大的全设备管理系统(TEMS)已经被发明，所要解决的技术问题是使该系统和其他电脑资讯系统结合，可以简化保养的过程。通过电子化的保养流程控管与跨资讯系统间的整合，落实保养的实施与获得最佳的保养品质；依设备保养特性的不同，建立完整的保养管理机制，使设备达到最佳的可靠性、稳定性。藉由该系统的应用，设备的非周期性保养日期可以藉由每天或几天一次的检测中进行预测与调整，从而更加适于实用。

本发明的另一目的在于，克服现有的预测保养日期的方法存在的缺陷，而提供一种新的预测保养日期的方法以及仪器，所要解决的技术问题是使其可以降低保养的问题，一个关于预防保养的强大的、使用者界面友好的管理系统得到了发展。该系统结合其他资讯系统的资料，应用专业的知识和手法。该系统提供预防保养的动态预测与自动预警的方式来改善管理效率，使所有的设备保养均能落实，确保设备的可靠性和稳定性。通过电子化的保养管理与资料储存，简化保养作业流程，减少人力与纸张的耗费；并藉由系统的整合与分析，提供管理报表与预警机制，提升保养资料的应用价值。与自动化连线系统连结，自动地收集相关设备参数，工程师不需特地前往工厂纪录设备相关参数，而能节省抄表时间的浪费与避免资料抄写错误发生。与设备保养作业规范系统连结，即时获得正确的设备预防保养资讯(OI、保养表格)，确保资料的一致性与达到最佳的保养品质。，从而更加适于实用。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种预测保养日期的方法，适用于根据工具的参数预测该工具的保养日期，其包括以下步骤：获得上述参数的探测值和上述参数的保养值的差值；判断上述差值是否小于或等于预设值；如果上述差值小于或等于上述预设值，运行保养程式；以及如果上述差值大于上述预设值，则根据上述差值和变动量值预测上述保养日期，该变动量值表示的是参数在每单位时间的变化。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的预测保养日期的方法，其中：藉由把目前的日期(a)加到被上述变动量值相除的上述差值(b)上以预测上述保养日期；以及将上述保养日期储存到保养排程中。

前述的预测保养日期的方法，其中所述的变动量值由统计方法得到。

前述的预测保养日期的方法，其中所述的变动量值藉由储存的资料计算得到。

前述的预测保养日期的方法，其中所述的变动量值从相应参数的探测值的资料计算得到，该参数探测值从预测保养日期之前、经过一段期间后的工具上获得。

前述的预测保养日期的方法，其中所述的获得，所述的判断和所述的执行是自动进行的。

前述的预测保养日期的方法，其中所述的期间为多天。

前述的预测保养日期的方法，其中所述的变动量值由前面保养日期的预测中获得的资料计算得到。

前述的预测保养日期的方法，其中所述的变动量值从相应参数的探测值的资料计算得到，该参数探测值从经过一段时间后的工具上得到。

前述的预测保养日期的方法，其中所述的变动量值由使用者即刻输入的资料计算得到。

前述的预测保养日期的方法，其中所述的变动量值由储存的资料和使用者即刻输入的资料计算得到。

本发明的目的及解决其技术问题还采用以下的技术方案来实现。依据本发明提出的一种预测保养日期的方法，适用于预测工具的保养日期，其包括以下步骤：获取工具的多个参数的多个探测值与该些参数的多个保养值之间的多个差值；判断每个上述差值是否小于或等于相应的每个参数的预设值；如果预设的上述差值的数目小于或等于它们相应的上述预设值，则执行保养程式；以及如果预设的上述差值的数目不小于或等于它们相应的上述预设值，则根据每个参数的上述差值和多个变动量值预测上述保养日期；其中每个变动量值表示的是上述工具每单位时间相应的其中的一个参数的变化。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的预测保养日期的方法，其中：预设的数目等于1；以及将上述保养日期储存在保养排程中。

前述的预测保养日期的方法，其中每个上述变动量值从相应参数的探测值的相应资料中计算得到，该相应的参数探测值是从保养日期预测之前、经过一段期间后的工具上获得。

前述的预测保养日期的方法，其中所述的变动量值从储存的资料中计算得到。

前述的预测保养日期的方法，其中所述的期间是多天。

前述的预测保养日期的方法，其中所述的变动量值从使用者即刻输入的资料计算得到。

前述的预测保养日期的方法，其中所述的变动量值由统计方法决定。

前述的预测保养日期的方法，其中每个上述变动量值表示的是相应参数每单位时间的变化。

本发明的目的及解决其技术问题还采用以下的技术方案来实现。依据本发明提出的一种预测保养日期的仪器，适用于预测工具的保养日期，其包括：一资料库，由表示每单位时间上述工具参数变化的变动量值组成；以及一控制器，具有操作性的与上述资料库连接，设定用来根据上述变动量值和参数保养值与参数探测值之间的差值预测上述工具的保养日期；其中的上述控制器，当上述差值小于或等于预设值时，其设定为用于提供建议上述工具进行保养程式。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的预测保养日期的仪器，上述的仪器进一步由一连接单元组成，该连接单元连接于上述工具和上述仪器之间，该连接单元设定用来从上述工具中获取上述参数探测值。

前述的预测保养日期的仪器，上述的仪器进一步由连接到上述控制器的制造资讯主导装置-设备资讯主导装置单元，以将上述保养日期储存到保养时程中。

前述的预测保养日期的仪器，其中所述的控制器设定用来根据多个变动量值和多个参数的保养值与多个参数的探测值之间的多数个差值，预测上述工具的上述保养日期。

本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。由以上技术方案可知，为了达到前述发明目的，本发明的主要技术内容如下：

本发明提供了两种预测保养日期的方法，以及利用上述方法的仪器。第一种方法是在保养排程程序中引进了一个变动量，该变动量是藉由在几天内获得的一个工具的参数计算得到的，或者是使用者自己输入的。然后该方法即可根据目前获得的参数和变动量，应用统计的方法，预测及调整设备的非周期性保养日期。

除了不止一个参数追踪决定保养日期外，第二种方法与第一种方法相似。每个参数有自己的变动量。保养日期藉由与每个参数的变动量计算而确定。

本发明的第三实施例提供了一个自动化系统以获得工具的资讯和使用该资讯对保养日期进行最好的预测。自动化系统系应用本发明第一实施例与第二实施例中所述的方法计算保养日期。自动化系统由一连接单元，一控制器和一资料库组成。

此处叙述的任何特征或综合特征，如果该特征包括在任何综合特征中并不相互矛盾，以及该特征从上下文、本说明书与熟悉此技艺者的知识中是明显的，则都包括在本发明的范围内。为了概述本发明，此处叙述了本发明的某些特点、优点和新颖性特征。当然，并不能理解为本发明的任何特定的实施例都必须包含这些特点、优点和新颖性特征。在下述的详细说明和申请专利范围中，本发明的独特的优点和特点是很明显的。

经由上述可知，本发明是关于一种预测保养日期的方法以及仪器。该预测保养日期的方法，包括下列步骤：获得一个或多个参数的探测值和应保养值之间的差值，判断差值是否接近预设的应保养值。如果任何一个差值超过其相应的预设值，则该方法进一步包括执行或推荐开始保养的步骤。如果没有差值超过其相应的预设值，则该方法也包括根据差值和表示参数每单位时间变化的变动量值预测工具保养日期的步骤。本发明还提出了以这种方式预测保养日期的仪器，该仪器包括一控制器，一资料库和一连接单元。

借由上述技术方案，本发明预测保养日期的方法以及仪器至少具有下列优点：

执行本发明的全设备管理系统TEMS(请参阅图27所示)的制程流程代替保养的人工过程(请参阅图26所示)有多个优点。第一个优点是与TEMS结合的其他电脑资讯系统可以确保资料的一致性和获得高品质的保养。和设备的自动化系统结合，该系统可以直接从设备的本身获得参数。这节约了工程师的时间，否则其必须到设备处记录设备的参数；同时消除了人工传输资料的错误。

综上所述，本发明特殊的预测保养日期的方法以及仪器，其中一个以网路为基础的、使用者界面友好的、强大的全设备管理系统(TEMS)已经被发明。该系统和其他电脑资讯系统结合，简化了保养的过程。通过电子化的保养流程控管与跨资讯系统间的整合，落实保养的实施与获得最佳的保养品质；依设备保养特性的不同，建立完整的保养管理机制，使设备达到最佳的可靠性、稳定性。藉由该系统的应用，设备的非周期性保养日期可以藉由每天或几天一次的检测中进行预测与调整。本发明另提供一种特殊的预测保养日期的方法以及仪器，其中为了降低保养的问题，一个关于预防保养的强大的、使用者界面友好的管理系统得到了发展。该系统结合其他资讯系统的资料，应用专业的知识和手法。该系统提供预防保养的动态预测与自动预警的方式来改善管理效率，使所有的设备保养均能落实，确保设备的可靠性和稳定性。通过电子化的保养管理与资料储存，简化保养作业流程，减少人力与纸张的耗费；并藉由系统的整合与分析，提供管理报表与预警机制，提升保养资料的应用价值。与自动化连线系统连结，自动地收集相关设备参数，工程师不需特地前往工厂纪录设备相关参数，而能节省抄表时间的浪费与避免资料抄写错误发生。与设备保养作业规范系统连结，即时获得正确的设备预防保养资讯(OI、保养表格)，确保资料的一致性与达到最佳的保养品质。其具有上述诸多的优点及实用价值，并在同类方法中未见有类似的设计公开发表或使用而确属创新，其不论在方法上或功能上皆有较大的改进，在技术上有较大的进步，并产生了好用及实用的效果，且较现有的预测保养日期的方法具有增进的多项功效，从而更加适于实用，而具有产业的广泛利用价值，诚为一新颖、进步、实用的新设计。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

图1是本发明的预测保养日期的方法的缩略的流程图。

图2是本发明的预测保养日期的仪器的标准元件的图表。

图3是本发明全设备管理系统(TEMS)结构的标准元件的图表。

图4是表示制造资讯主导装置(FIM)系统和TEMS的连结的图表。

图5是藉由TEMS自动安排定期保养的处理流程。

图6是加入新的定期保养的TEMS功能的荧幕截面图(Screenshot)。

图7是修改定期保养时程的TEMS功能的荧幕截面图。

图8是安排定期保养的TEMS执行的荧幕截面图。

图9是PM排程的设备配置。

图10是记录保养日期的TEMS执行的荧幕截面图。

图11是显示定期保养的预测规则的TEMS执行的荧幕截面图。

图12是藉由TEMS自动预测不定期保养时程的制程流程。

图13是设定不定期保养配置的TEMS执行的荧幕截面图。

图14是记录和显示不定期保养的参数目前值的TEMS执行的荧幕截面图。

图15是不定期保养预测规则的TEMS执行的荧幕截面图。

图16是不定期保养的显示时程的TEMS执行的荧幕截面图。

图17是由管理保养记录的定期保养系统产生的TEMS执行的荧幕截面图。

图18是由管理保养记录的不定期保养系统产生的TEMS执行的荧幕截面图。

图19是异常保养记录的TEMS实施例的荧幕截面图。

图20是日常保养记录的TEMS执行的荧幕截面图。

图21是下载保养项目文件的TEMS执行的荧幕截面图。

图22是修复保养记录的TEMS执行的荧幕截面图。

图23是失去控制行为程序(OCAP)的TEMS执行的荧幕截面图。

图24是同意会签的各层级的设定的TEMS执行的荧幕截面图。

图25是通知系统中的使用者登录上网当其他使用者在等待他或她的同意时的TEMS执行的荧幕截面图。

图26是现有的保养执行的人工管理的制程流程。

图27是藉由TEMS对保养进行自动管理的制程流程。

图28是TEMS系统的结构。

图29是FIM-EIM和TEMS之间在定期保养中的连接的荧幕截面图。

图30是在TEMS系统中临时停止一次保养的完整的制程流程。

图31是PM表和PM OCAP表之间的关系。

图32是从FIM-EIM系统和TEMS系统中如何决定保养日期的天数和极值。

图33是FIM-EIM和TEMS之间在不定期保养中的连接的荧幕截面图。

S100、S102、S104、S106：步骤  200：控制器

204：资料库                   206：连接单元

202：制造资讯主导装置-设备资讯主导装置

具体实施方式

为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的预测保养日期的方法以及仪器其具体实施方式、方法、步骤、结构、特征及其功效，详细说明如后。

现在详细叙述本发明的较佳实施例和相应图式中显示的实例。在本文的其他地方，相近或相同的标号在图式和说明书中用来指示相同或相近的部分。需要指出的是，图式是简化的形式，而不是精确的比例。关于此处的公开，仅仅是为了方便和简单明了，方向性的辞汇(如顶部，底部，左边，右边，向上的，向下的，上面的，在…之上，下面的，在…下面，后面和前面)与相应的图式结合运用。这些方向性辞汇不应该以任何方式解释为对本发明范围的限制。

尽管此处公开的是特定的实施例，但其应该理解为是藉由实例描述这些实施例，而不是对实施例进行限制。尽管是论述可仿效的实施例，下述详细叙述的目的应该理解为包含所有实施例的修正，替代物和可能落入到附属的权利要求定义的发明的范围和精神的等价物。其应该理解和鉴别为此时描述的方法步骤和结构没有包含半导体生产设备排程保养的完整的制程流程。本发明可以与现有技术中应用的不同排程和统计技术进行结合使用，此处包括很多现有成熟的方法步骤对理解本发明很有必要。通常，本发明在综合保养排程系统的领域中具有实用性。然而为了例举的需要，下述说明是关于半导体生产设备的综合保养排程系统。特别是请参阅图1所示，是根据本发明第一实施例预测保养日期的方法的简短的流程图，下述实例1列表说明了该方法的简单应用。在实施例的图1中，得到了参数的保养值与参数的探测值之间的差值(S100)，其中参数的探测值从一个工具上得到。参数可能是回圈晶片的数量或RF功率-小时(RF watt-hours)的数量，但是并不限定于此。该工具是可能需要保养的任一设备。该差值等于保养值减去探测值。差值算出后，进行比较(S102)以决定差值是否大于或等于预设值。现在，在实例1中，2003/4/2上的差值(S100)取决于1100减去100得到1000，该值不小于或等于零。同样，2003/4/3上的800的差值不小于或等于零。

实例1：预测一不定期保养

目前值型式：累计形式

参数最大值：1100

参数最小值：900

保养项目：1000片的回圈晶片

日期

参数值

目前值

变动量

预测PM日

备注

	(a)	(b)	(c)	(d)
						2003/4/1	10000	0	NA	NA	保养日
2003/4/2	10100	100	100	2003/4/10
						2003/4/3	10300	300	150	2003/4/7	(900-300)/150＝4
2003/4/4	10450	450	150	2003/4/7	(900-450)/150＝3
						2003/4/5	10550	550	137.5	2003/4/7	(900-550)/137.5＝2.5
2003/4/6	10750	750	150	2003/4/7	(900-750)/150＝1
						2003/4/7	10900	900	150	2003/4/7	(900-900)/150＝0
2003/4/8	11050	1050	150	2003/4/8	在这种情况下，目前值＜最大值，预测日为今天。
						2003/4/9	11090	0			保养日

公式1-1：变动量＝[∑(目前值(n)-目前值(n-1))]/(日期(1)-日期(7))；

n＝1-7

公式1-2：预测日＝日期+[(最小参数值-目前值)/变动量]

公式1-3：目前值(n)＝参数值(n)-参数值(last PM)

比如，当差值小于或等于预设值时，保养程序(S106)需要立即进行。比如，如果预设值是零，一旦参数的探测值达到了保养值，工具就需要进行保养。如果差值大于预设值，则进行保养日期计算(S104)，其中所述的保养日期是藉由将差值除以多样性或变动量值后加到目前的日期中来进行预测的。由于在列举的实施例中，差值是除以变动量值的，变动量的值表示的是每单位时间参数的变化。变动量值最少可以藉由两种方式的其中一种设定。一种方式包括从相应的参数探测值的资料计算变动量值，其中参数的探测值是从保养日期预测前的经过一段时间的工具中获得的。由于目前较佳的资料是储存资料，时间的周期为几天。储存的资料可以从上述几天的工具中所得的参数中获得，和/或从先前保养的日期预测中所得的参数中获得。另一种方法包括从使用者立即输入的资料中计算变动量值。另一种方法包括从与使用者立即输入的资料相关联的储存资料中计算变动量值。一个统计方法用于上述所有决定变动量值的方法。例如，如果保养没有立即进行，保养日期可以储存在保养时程中。在实例1中，用公式1-1计算变动量值(c栏)，用公式1-2计算预测的保养日期(d栏)，用公式1-3计算目前值(b栏)。

根据本发明的第二实施例，图1也应用于一种藉由追踪多项参数以预测保养日期的方法。当应用多个参数时，每个参数有自己的相关的探测值、保养值、预设值和变动量值。探测值是从工具中获取的参数值。保养值通常是不允许超过探测值的参数值。参数的保养值和参数的探测值之间的差值(S100)由所有被追踪的参数计算得到。预设值决定差值的中断点。进行比较(S102)用来决定预先设定的差值的数量是否少于或等于其相应的预设值。在列举的实施例中，预先设定的数是一个因此比较(S102)用来决定每个差值是否少于或等于其预设值。如果这些差值中的任何一个小于或等于其相应的预设值，保养程序(S106)就尽快执行。如果所有的差值大于它们各自的预设值，于是根据各个参数的差值和变动量值来运行保养日期计算(S104)以预测保养日期。差值除以变动量值，其中每个变动量值表示的是每单位时间相应参数的变化。

变动量值可能由上述设定所决定，但是应用在多参数的上下文中。如本发明所述，变动量值由考虑先前的测量参数的统计方法所决定，其中该参数是来自于储存的资料和/或输入的目前值。每个变动量值都可以藉由相应的参数的探测值计算，这些参数从S104预测保养日期的计算前、经过一段时间后的工具上所获得。正如目前较佳的资料是储存的资料，时间的周期为几天。储存的资料可以从上述经过几天后的工具上获得的参数而获得和/或从先前保养日期计算中获得的参数中而获得。对于输入的目前值，使用者即刻输入的资料可以用于计算变动量值。测量的值可能包括由使用者输入的目前的探测值以及先前测量的储存的资料的综合。变动量值也可以从与使用者即刻输入的资料结合的储存的资料计算得到。一旦计算出保养日期，最好保存在保养时程中。

执行本发明的全设备管理系统TEMS(请参阅图27所示)的制程流程代替保养的人工过程(请参阅图26所示)有多个优点。第一个优点是与TEMS结合的其他电脑资讯系统可以确保资料的一致性和获得高品质的保养。和设备的自动化系统结合，该系统可以直接从设备的本身获得参数。这节约了工程师的时间，否则其必须到设备处记录设备的参数；同时消除了人工传输资料的错误。

和标准操作程序(SOP)系统结合，该系统可以确保PM表上资料和SOP资料的一致性，由此达到了保养的品质。动态的预测和管理保养计划可以改善管理的效率和确保保养被执行。专业的方法和设备的参数的自动收集结合后，TEMS能够提供一个解决方案以进行动态预测和管理保养计划，并能够改善管理的效率。

执行TEMS可以改善设备的生产效率。和定期保养、不定期保养、异常保养、设备维修、日常保养以及设备的记录参数结合，保养管理系统可以监测和管理保养的状态，因此降低了设备的损坏，藉由扩展生产的最大量改善了设备的生产效率。

保养的电脑管理和资料储存降低了纸本的费用，节约了员工的时间。TEMS支援监测报告和警告报告的结合和分析储存在管理系统的保养资料的特征，因此改善了保养资料的应用值。

本发明提出的全设备管理系统能够监测和控制所有设备的状态和保持设备一直运行良好。由于激烈的竞争，半导体生产设备被迫确保有效、经济的制程工具的排程、使用和保养。由于TEMS的代替，审核保养行为和快速查询设备中所有工具的所有保养历史纪录成为可能。快速的将管理系统复制到新设备也成为可能，其中较旧设备的管理资料可以被新设备利用。从较旧的设备上获取的资料可以使新工厂快速、更有效的启动。

请参阅图3所示，TEMS的子系统包括一个设备管理系统(EMS)，预防保养管理(PMM)，零件管理系统(PMS)，统计的程序控制(SPC)系统，警报监测系统(AMS)，摄像监视器系统(CMS)，故障排除管理系统(TMS)，关键性能指示器(KPI)系统和成本分析系统(CAS)。请参阅图4所示，TEMS也可以快速的获得规范(OI)资讯和从其他OI系统(如制造资讯主导装置(FIM))获取预防保养(PM)项目资讯，以确保保养的有效性。藉由有效的执行和管理的预防保养以确保设备的可靠性和稳定性，这样降低了意外的错误发生和从而保证了产品的品质。

设备管理系统(EMS)的功能包括管理和设定设备的基本资料，如设备的名称，设备的位置等等。这个子系统也设定与设备相关的资料，如设定特殊设备的保养极值(tolerance)或停止/开始设备保养的排定的计划。

预防保养管理(PMM)系统具有很多功能。其藉由修正和显示设备的保养的排程计划以管理保养的排程计划。其也记录和显示定期保养(请参阅图17所示)，不定期保养(请参阅图18所示)，异常保养、设备维修、日常保养以及失去控制的行为程序(OCAP)。PMM不但适用于记录或查询不定期保养的设备参数，而且适用于每周或每月查询设备的保养的报告。比如，PM表能够从PDA上传或下载。设备的规范(OI)也可以进行查询，如同在资讯主导装置-设备资讯主导装置(FIM-EIM)系统上一样。许多工具需要定期保养。定期保养有一个保养的固定周期(如每周，每月等等。)和应进行的保养的极值。请参阅图5所示，是用于自动排程定期保养的制程流程。随着保养的周期和极值，该TEMS系统可以预测需要下一次保养的设备指定部分。在列举的实施例中，预测定期保养的公式如下：

公式2：预测的PM日＝最后一次的PM日+极值+使用者的标准

其中极值在FIM-EIM系统和TEMS系统中进行定义。FIM-EIM系统中的极值对于全公司是标准值，TEMS系统中的极值较FIM-EIM系统中的极值严格。使用者的标准包括特别对于指定使用者的项目。例如，如果预测日指向周末，系统就将依据EQ.设定功能的“假期设定”的值安排周五或周一为保养日。

请参阅图6所示，是加入新的定期保养的TEMS功能的荧幕截面图。如果新设备加到需要保养的FIM-EIM(制造资讯主导装置-设备资讯主导装置)系统中，该系统会发送一封电子邮件通知管理人员将定期保养加到TEMS系统，并设定保养的起始日期。如果设备的型式从需要保养的FIM-EIM(制造资讯主导装置-设备资讯主导装置)系统中移走，TEMS会自动除去保养日期。请参阅图29所示，是ADT-13的按季的PM2从FIM-EIM系统中移走的情况，TEMS系统自动的在PM排程的计划中停止预测时程。

请参阅图7所示，是定期保养修改排程的TEMS的荧幕截面图，而图8显示了定期保养的排程显示。当管理人员由于例如是生产需要而修改或取消已排定保养时，TEMS系统的“修改排程功能”将自动检测修改的保养日期，看看其是否在允许的极值内，并如同图24相关论述的一样决定会签的级别。请参阅图24所示，是“会签级别的设定”功能，其用于定义各种会签级别(如，对理事会经理、理事会领导的会签等等…)。如果会签的事件发生，该系统将为每个功能在y指定-会签者(assigning-cosigner)荧幕上显示会签的级别(该指定-会签者(assigning-cosigner)荧幕可以在图30的步骤3中看到)。请参阅图9所示，是PM排程的设备配置，使用者可以设定这些值；该系统将藉由这些设定值预测和重新安排下一次PM日。使用者可以临时停止PM排程和重新启动PM(临时停止PM的例子在图30中进行了阐述)。当设备需要花时间修理或由于其他问题需要停止时，管理人员也可以停止已排定的保养，当问题解决后，再重新启动已排定的保养。

请参阅图10所示，是TEMS记录保养日期的荧幕截面图。TEMS会自动连接到FIM-EIM系统，以得到供工程师保养和记录的保养项目。工程师记录保养资料后，TEMS利用该资料决定工具性能是否可接受。如果保养结果显示不可接受的工具性能，TEMS会产生一个PM OCAP的记录，用于工程师通知使用者和管理人员如同图24所论述的进行会签。请参阅图31所示，是有一个失败项目的执行的PM表，该系统为这个PM表产生了PM OCAP记录。

TEMS可以根据指定给系统的规则预测下一次保养日期。请参阅图32所示，是该系统如何从FIM-EIM以及TEMS中决定周期天数和极值的值。请参阅图11所示，是这样一个预防保养预测规则的TEMS荧幕截面图。TEMS也根据上一次的保养日期和周期预测下一次保养日期。期间的资料可以来自TEMS预防保养管理(PMM)系统中的使用者设定，来自FIM-EIM系统的使用者设定，或FIM-EIM系统的预定设定(请参阅图32所示)。

然而对于一些工具，例如，由于工具使用的变化，保养不能以定期的方式排程。于是，不定期保养的执行可以根据设备的监测参数是否超过图12所示的流程表中其规范(OI)的规格。请参阅图33所示，是FIM-EIM系统和TEMS系统之间不定期项目的关系。监测参数(如图33中的目前值)可以藉由电脑中运行的程式或使用者更新。该OI储存在FIM-EIM系统中。

请参阅图13所示，是设定不定期保养的配置的TEMS。不定期保养的过程包括收集设备的参数，预测不定期保养的日期，以及记录保养资料。和定期保养执行一样，TEMS也可以管理列举在FIM-EIM系统中从不定期设备保养中加入或移走的工具族。管理人员能够设定关于不定期保养的基本资讯，如每天的变化，变化的方向，设备参数收集的型式。

请参阅图14所示，是记录和显示不定期保养参数目前值的TEMS执行。如果收集型式设定为“自动”，与设备相连的TEMS可以藉由每天运行的程式自动的收集和保存设备的参数。对于其他收集型式，使用者可以人工记录或使用个人数位助理(PDA)记录设备参数的目前值，计算不定期保养，并更新TEMS-PMM资料库。输入的参数值可有三种型式的目前值：1)累计的型式，其中设备参数的值不能重设至零；这种情况下，设备参数的所有历史纪录资料收集在资料库内，目前值在资料库中计算并储存。(请参照例1)目前值＝参数值(last PM)-参数值(current)。2)转换的型式，其中设备参数的目前值必须藉由预计算转换；在这种型式中，从设备收集的列资料必须与工程值进行计算。比如，可以将温度从°F转换到℃。目前值＝设备参数的值乘以工程值。3)重设的型式，其中设备参数的目前值须重设至零。在这种型式中，设备参数在执行的保养后须重设至零。目前值＝设备的参数的值。如果收集的型式是“自动”，于是自动收集设备参数的程式将根据上述目前值的型式将实际值转换到TEMS。

请参阅图15所示，是不定期保养的预测规则的TEMS执行的荧幕截面图。每个不定期保养日期的预测系在FIM-EIM系统中藉由使用设备参数的目前值计算保养日期的日常运行程式更新，以及基于参数的定义的较上限和较下限规格计算保养日期。当资料倾向于参数变化的方向时，如参数每天增加，而参数在下一天下降，保养已被执行，设备参数的目前值已被重置。

请参阅图16所示，是不定期保养的显示时程的TEMS功能。TEMS藉由回顾日常参数和找出两个最接近目前时间之间的期间参数的变化方向。TEMS将自动连接到FIM-EIM系统，获得给工程师进行保养和记录的保养项目。与定期保养相似，TEMS利用工程师记录的保养资料决定工具性能是否可接受。如果保养结果显示不可接受的工具性能，TEMS会产生PM OCAP(预防保养失去控制作业程序)记录，用于工程师通知使用者和管理人员进行会签。TEMS于是根据指定给该系统的规则预测下一次保养日期。

其他的保养型式包括异常保养，维修保养，日常保养，以及PM OCAP保养。请参阅图19所示，是异常保养记录中的TEMS实施例的荧幕截面图。当设备发生不同于正常的情况，就进行异常保养，这就是工程师需要藉由定义在FIM-EIM系统中的下述过程和记录的维修日期以修理设备。请参阅图22所示，是修复保养记录的TEMS荧幕截面图的实施例。如果下述异常保养的标准过程不能解决问题，工程师必须记录保养的全过程和在修正保养记录描述遇到的问题。修正的保养资料系被储存作为以后的参考。

请参阅图20所示，是日常保养记录的TEMS执行的荧幕截面图。日常保养不同于定期保养，因为日常保养需要每天进行，而定期保养在保养可能进行的范围内有一天或多天的极值。在一个保养记录中，日常保养结合特定部门所有设备的所有项目。请参阅图21所示，是下载保养项目文件的TEMS执行的荧幕截面图。日常保养记录可以藉由下载到PDA或以网路为基础的界面存取。完成记录后，资料将送到管理人员进行会签。请参阅图23所示，是失去控制作业程序(OCAP)的执行。如果任何预防保养的结果失败，TEMS会自动建立新的PM的OCAP，并将失败的项目储存到PM的OCAP中。TEMS通知工程师保养失败项目的设备，并将任何矫正的行为资料记录到PM的OCAP中。

TEMS也包括会签的过程，以确保该管理部门确认所有行为。在一个较佳的实施例中，每个行为在TEMS中有一个会签的过程。使用者可以会签文件和查询文件的会签历史纪录。请参阅图24所示，是同意会签者的层级的设定的TEMS窗口执行。为了满足每个工厂的需求，TEMS支援依据使用者需求的会签过程的设定。设定完会签过程的流程后，该系统在接下来的会签过程的流程中会询问使用者设定合适的会签者。TEMS从历史纪录资料中产生一系列可能的签名者，且该历史纪录资料对于每一个使用者相关的以前的会签者和请求者而言是独一无二的。使用者也可以保存每次选择的会签者的设定时间。请参阅图25所示，是当其他使用者在等待他或她的同意时，通知登录系统中的使用者的TEMS执行的荧幕截面图。使用者每次登录到TEMS中，TEMS会藉由友好的操作界面通知任何会签文件状态的使用者。除此以外，会签的子系统可以追踪和查询PM表的历史纪录。

TEMS也可以结合在PC伺服器中执行每天/周/月报告的程式将提供总结资讯的电子邮件送给管理人员。当设备保养日期迟缓或当保养日期很快将过期，程式也会将通知送给合适的管理人员。保养状态的资讯也会送给管理人员。当会签者花太多的时间签署送给的文件时，该资讯也会送去通知会签者。

TEMS的另一功能支援两种型式的可以下载的保养项目的文件：1)保养的日常项目和2)不定期保养的参数。工程师利用这个功能下载所需的保养项目到PDA以保持和记录资料，并且将保养资料上传到网路伺服器的资料库中。除此以外，在FIM-EIM系统中叙述了保养表格和保养项目。工程师也须追踪这些保养项目并记录结果。

请参阅图2所示，是有标准元件的图表，表示的是根据本发明的第三实施例预测保养日期的仪器。该仪器由一连接单元206，一资料库204，一FIM-EIM(制造资讯主导装置-设备资讯主导装置)单元202，以及控制器200组成，其可以设定为至少与一个工具相连。为了获得参数的探测值，连接单元206将一个工具连接到仪器。参数的探测值也可以包括多数的参数探测值，在这种情况下，连接单元206将允许从工具中获得多数的探测值。同时，该至少一个工具也可以由多数的工具组成。在列举的实施例中，连接单元206是系统自动连接设备，通过的设备参数可以自动的收集和储存到图28所示的TEMS系统中。

资料库204储存了表示工具每单位时间参数变化的变动量值。当许多参数被监测时，变动量值可能由多数的变动量值组成，其中每个参数与自己的变动量值相对应以及多数的变动量值储存在资料库204内。资料库204也储存了工具的至少一个参数的探测值。如果只有一个参数用于保养的追踪，资料库204将保存对于该参数的一部分或所有探测值，其中此参数具有对于该工具的已记录的历史纪录。如果多个参数用于衡量保养，资料库204将会对已追踪的参数包含一个探测值的历史纪录。资料库204也可能含有每个参数的预设值。每个参数的保养值也储存在资料库204内。

控制器200根据资料库204中的变动量值和示例中与图1结合描述的探测值和保养值之间的差值为工具预测保养日期。例如，如果保养值减去探测值小于或等于预设值，工具就需要保养。当多数参数为保养目的而被追踪时，差值可能包括多数的差值。控制器200利用差值或多数差值来预测保养日期。对于这个过程，控制器200从连接单元206获得探测值和从资料库204获得储存的探测值来计算保养日期。控制器200也从连接单元206获取新的探测值并储存在资料库204中。

FIM-EIM(制造资讯主导装置-设备资讯主导装置)单元202为定义保养日期和表格提供了几个规则，如预先设定的保养日期和保养表格。FIM-EIM单元202有一个树形子系统，该子系统包括一个设备资讯系统，一个预防保养规范(PM OI)和PM表格系统。FIM-EIM单元202与控制器200相连以将保养日期储存到保养时程中。FIM-EIM单元202也可以寻找出从控制器200处接收的预测日期的矛盾排程，并尽力有效的安排保养日期和次数。本发明根据已知的参数利用统计方法预测工具上发生的变化。因此，保养日期可以被预测，因而保养时程可以相应的被制定。

综上所述，本领域的技术人员将能够理解本发明的方法可以容易保养排程的形成、特别是对于半导体生产设备的保养排程的形成。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的方法及技术内容作出些许的更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (23)

1、一种预测保养日期的方法，适用于根据工具的参数预测该工具的保养日期，其特征在于其包括以下步骤：

获得上述参数的探测值和上述参数的保养值的差值；

判断上述差值是否小于或等于预设值；

如果上述差值小于或等于上述预设值，运行保养程式；以及

如果上述差值大于上述预设值，则根据上述差值和变动量值预测上述保养日期，该变动量值表示的是参数在每单位时间的变化。

2、根据权利要求1所述的预测保养日期的方法，其特征在于其中：

藉由把目前的日期(a)加到被上述变动量值相除的上述差值(b)上以预测上述保养日期；以及

将上述保养日期储存到保养排程中。

3、根据权利要求1所述的预测保养日期的方法，其特征在于其中所述的变动量值由统计方法得到。

4、根据权利要求1所述的预测保养日期的方法，其特征在于其中所述的变动量值藉由储存的资料计算得到。

5、根据权利要求4所述的预测保养日期的方法，其特征在于其中所述的变动量值从相应参数的探测值的资料计算得到，该参数探测值从预测保养日期之前、经过一段期间后的工具上获得。

6、根据权利要求5所述的预测保养日期的方法，其特征在于其中所述的获得，所述的判断和所述的执行是自动进行的。

7、根据权利要求5所述的预测保养日期的方法，其特征在于其中所述的期间为多天。

8、根据权利要求4所述的预测保养日期的方法，其特征在于其中所述的变动量值由前面保养日期的预测中获得的资料计算得到。

9、根据权利要求1所述的预测保养日期的方法，其特征在于其中所述的变动量值从相应参数的探测值的资料计算得到，该参数探测值从经过一段时间后的工具上得到。

10、根据权利要求1所述的预测保养日期的方法，其特征在于其中所述的变动量值由使用者即刻输入的资料计算得到。

11、根据权利要求1所述的预测保养日期的方法，其特征在于其中所述的变动量值由储存的资料和使用者即刻输入的资料计算得到。

12、一种预测保养日期的方法，适用于预测工具的保养日期，特征在于其包括以下步骤：

获取工具的多个参数的多个探测值与该些参数的多个保养值之间的多个差值；

判断每个上述差值是否小于或等于相应的每个参数的预设值；

如果预设的上述差值的数目小于或等于它们相应的上述预设值，则执行保养程式；以及

如果预设的上述差值的数目不小于或等于它们相应的上述预设值，则根据每个参数的上述差值和多个变动量值预测上述保养日期；

其中每个变动量值表示的是上述工具每单位时间相应的其中的一个参数的变化。

13、根据权利要求12所述的预测保养日期的方法，其特征在于其中：

预设的数目等于1；以及

将上述保养日期储存在保养排程中。

14、根据权利要求12所述的预测保养日期的方法，其特征在于其中每个上述变动量值从相应参数的探测值的相应资料中计算得到，该相应的参数探测值是从保养日期预测之前、经过一段期间后的工具上获得。

15、根据权利要求14所述的预测保养日期的方法，其特征在于其中所述的变动量值从储存的资料中计算得到。

16、根据权利要求14所述的预测保养日期的方法，其特征在于其中所述的期间是多天。

17、根据权利要求12所述的预测保养日期的方法，其特征在于其中所述的变动量值从使用者即刻输入的资料计算得到。

18、根据权利要求12所述的预测保养日期的方法，其特征在于其中所述的变动量值由统计方法决定。

19、根据权利要求12所述的预测保养日期的方法，其特征在于其中每个上述变动量值表示的是相应参数每单位时间的变化。

20、一种预测保养日期的仪器，适用于预测工具的保养日期，其特征在于其包括：

一资料库，由表示每单位时间上述工具参数变化的变动量值组成；以及

一控制器，具有操作性的与上述资料库连接，设定用来根据上述变动量值和参数保养值与参数探测值之间的差值预测上述工具的保养日期；

其中的上述控制器，当上述差值小于或等于预设值时，其设定为用于提供建议上述工具进行保养程式。

21、根据权利要求20所述的预测保养日期的仪器，其特征在于上述仪器进一步由一连接单元组成，该连接单元连接于上述工具和上述仪器之间，该连接单元设定用来从上述工具中获取上述参数探测值。

22、根据权利要求21所述的预测保养日期的仪器，其特征在于上述仪器进一步由连接到上述控制器的制造资讯主导装置-设备资讯主导装置单元，以将上述保养日期储存到保养时程中。

23、根据权利要求20所述的预测保养日期的仪器，其特征在于其中所述的控制器设定用来根据多个变动量值和多个参数的保养值与多个参数的探测值之间的多数个差值，预测上述工具的上述保养日期。

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