CN1705620A - 光纤母材的制造方法、光纤母材、光纤、光纤母材的制造装置 - Google Patents

Abstract

本发明的光纤母材的制造方法，包括下述各步骤。即：将管(23)保持为悬吊状态的管保持步骤；以将杆(27)插入管(23)内的状态进行保持的杆保持步骤；利用环状的加热炉(15)将所保持的管(23)和杆(27)沿着其轴向依次加热的加热步骤；使所加热的管(23)和杆(27)沿着其轴向依次熔融粘接而进行一体化的一体化步骤；随着管(23)和杆(27)的一体化的进行、检测管(23)的倾斜的变化的检测步骤；和，在使管(23)和杆(27)一体化的过程中、矫正上述管(23)的倾斜、以便抵消上述检测的倾斜的变化的矫正步骤。

Description

光纤母材的制造方法、光纤母材、光纤、光纤母材的制造装置

技术领域

本发明涉及利用所谓管中杆法制造光纤母材的制造方法、制造装置及利用该制造方法制造的光纤母材和光纤。

背景技术

光纤在包括通信在内的各种领域中被广泛使用。这样的光纤通过对圆柱状的光纤母材进行拉丝加工来制造。该光纤母材可以利用MCVD(Modified Chemical Vapor Deposition：改进的化学气相沉积)法、OVD(Outside Vapor-phase Deposition：外界蒸气相沉积)法、VAD(Vapor-phase Axial Deposition：蒸气相轴向沉积法)和管中杆法制造。

其中，管中杆法是使用环状的加热炉、通过使石英管和包含芯部的石英杆一体化来制造光纤母材的方法，具体地说，利用管保持部将管保持在悬吊状态，使得管的轴向与加热炉的中心轴同轴，同时，利用杆保持部保持该杆，使得该杆位于管的内部，与管的内周面有一定间隔，并且位于管的中心。管保持部和杆保持部可以一起移动，通过移动这些保持部，可以将管和杆依次送入环状的加热炉内。这样，通过加热熔融粘接，管和杆在其轴向依次成为一体，其结果是，制成了光纤母材(例如参照特开平7-10580号公报)。

这样，在利用管中杆法制造光纤母材时，通过使管缩径变形，消除管和杆之间产生的间隙，使管和杆成为一体。因此，存在着光纤母材的芯部容易产生偏心这样的一般问题。

另外，从光纤母材的生产性观点来看，管和杆尺寸大。这样，光纤母材的芯部产生偏心。即，由于管尺寸大，所以该管的重量非常重。当保持作为这样重物的管时，管保持部受到向下的负荷，产生挠曲。而且，由于该管保持部不是固定的结构，而是移动的结构，所以该挠度比较大。因此，在利用管保持部保持管的最初阶段，可调整管的位置，对管的位置进行调整，使得在管保持部挠曲的状态下，管的轴与加热炉的轴一致。

然而，当管和杆的一体化进行时，管保持部受的负载小，在管保持部上产生的挠曲小。于是，管的轴与加热炉的轴偏离，杆偏离管的中心。其结果是，当加热熔融粘接这些管和杆时，从管和杆之间的间隙小的部分依次使它们成为一体。另外，由于管偏离加热炉的中心轴，所以施加在管上的热量在周方向不均匀，使得在与杆成为一体之前管的壁厚不均匀。其结果是，光纤母材的芯部偏心，拉丝该光纤母材所得到的光纤芯子也偏心。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的是在使管和杆成为一体而制造光纤母材时，制造光纤母材时，抑制光纤母材的芯部的偏心。

本发明涉及一种光纤母材的制造方法，它包括下述步骤：将石英管保持为悬吊状态的管保持步骤；以将包含芯部的石英杆插入上述管内的状态进行保持的杆保持步骤；利用中心轴方向为铅直方向的环状加热炉将上述保持的管和杆沿着其轴向依次加热的加热步骤；使上述加热的管和杆沿着其轴向依次熔融粘接而进行一体化的一体化步骤；随着上述管和杆的一体化的进行、检测上述管的倾斜的变化的检测步骤；和，在使上述管和杆一体化的过程中、矫正上述管的倾斜、以便抵消上述检测的倾斜的变化的矫正步骤。

当进行管和杆的一体化时，保持管的管保持部受到的负荷小。因此，上述管保持部上产生的挠曲小，管的倾斜产生变化。

当上述管的倾斜产生变化时，矫正管的倾斜以抵消该倾斜的变化。其结果是，可在保持上述管的姿势为一定的条件下，使管和杆成为一体。

上述管保持步骤，可以进行上述管的定位，使得上述保持的管的中心轴与上述加热炉的中心轴同轴。

这样，即使在管和杆成为一体的过程中，管保持部的挠曲小，也可使管的轴和加热炉的中心轴始终一致。其结果是，可抑制光纤母材的芯部的偏心。

上述管的定位可以通过从多个方向实施下述这样的位置调整来进行，即，使用在下端安装重锤的线，在上述管的侧方位置上，将该线垂下，进行使上述管的轴向与上述线的延伸方向一致的位置调整。

重锤一般是观察建筑物的柱子的倾斜等比较大的物体的垂直性所使用的，其精度高，这是已知的。因此，利用重锤进行管的位置调整，可以高精度地使管的轴向为铅直方向。

上述管的定位，可以通过从多个方向实施下述这样的位置调整来进行，即，使用在上述管的侧方位置上在铅直方向互相离开配置的多个激光位移计，使激光从各激光位移计照射在管上，使该各激光位移计测量的至上述管的距离互相一致。

激光位移计由对于被测定物表面倾斜地照射激光的激光光源和来自被测定物表面的反射光入射的受光部构成。由于当被测定物的表面位置变化时，反射光的光轴平行移动，因此通过检测受光器的入射点位置，可以判明表面的位移量。

通过利用激光位移计测定管的位移量，可用机械的方法进行管的定位。与利用手动测定位移量的情况比较，可以进行高精度的定位。

在管中杆法中，为了提高光纤母材的收率，使用由管有效部分和分别与其上端及下端接合的上侧和下侧引管构成的管。另外，使用由杆有效部分和分别与其上端及下端接合的上侧和下侧引杆构成的杆。在使上述管和杆成为一体的一体化物中，切出与上述各有效部分对应的部分，将它作为光纤母材。

在制造光纤母材时，通过利用管保持部保持上述上侧引管，可将上述管保持在悬吊状态。

当上述管有效部分和上侧引管在一直线正确接合时，该管的重心处于引管的中心轴上。在这种情况下，即使在哪个方向(周方向的方向)上保持管等，随着管和杆作成一体，管的重心位置在一个平面上移动。因此，管保持部的挠曲的返回方向为一定的方向。

但是，上述管有效部分和上侧引管通常是在对接的状态下，通过焊接接合的。由于这样，在两者之间，有可能产生弯曲。当在管有效部分和上侧引管之间产生弯曲时，管的重心偏离上侧引管的中心轴。这时，假定将管保持在穿过上述管有效部分的中心轴和上侧引管的中心轴的二个轴上的平面、与因保持管的管保持部的挠曲而使管有效部分从铅直方向倾斜的方向为不同的方向上。在这种情况下，随着一体化的进行，管保持部的挠曲返回方向不是一定的方向。即，由于管(有效部分)的倾斜变化的方向不是一定的方向，在矫正步骤中，矫正管的倾斜的变化困难。其结果是，由于管倾斜的变化，使其中心轴和加热炉及杆的轴互相偏移，容易导致光纤母材的芯部偏心。

因此，上述制造方法，还包括判定上述管有效部分和上侧引管的弯曲情况的管判定步骤。而且，上述管保持步骤是保持上述管的步骤，它可根据上述管判定步骤的判定结果，使得包含上述管有效部分的中心轴和上侧引管的中心轴的二轴的平面、与因保持管的管保持部的挠曲而使上述管有效部分相对于铅直方向倾斜的方向平行。

当管有效部分和上侧引管之间产生弯曲时，上述上侧引管由管保持部保持，使得穿过各个中心轴上的平面与因管保持部的挠曲而使上述管有效部分从铅直方向倾斜的方向平行。即，使管的弯曲方向与管保持部的挠曲方向一致。这样，随着一体化的进行，管的重心位置的移动范围大致保持在一个平面上，管保持部的挠曲返回方向为一定的方向。其结果是，容易在矫正步骤中矫正管的倾斜，抑制光纤母材的芯子的偏心。

本发明者，经过反复研究发现，光纤母材的芯子发偏心的原因之一是受到加热管和杆的环状加热炉内的周方向的温度分布不均匀的影响。即，在管中杆法中，使用碳电阻加热炉或高频感应加热炉作为加热炉，但例如由于该加热炉的加热器的安装状态等的结构原因或加热器随时间推移品质变差的不均匀等时间的原因，有时使加热炉内的周方向的温度分布不均匀。

该加热炉内的周方向的温度分布不均匀性，使得管的熔融状态在周方向上不均匀。其结果是，管的缩径变形在周方向不均匀，光纤母材的芯部产生偏心。具体地说，芯部相对于炉的中心轴在温度最高的位置的方向产生偏心。

因此，上述制造方法，还可以包括测定上述加热炉内的周方向的温度分布的测定步骤。而且，上述杆保持步骤可以是将上述杆保持为与上述加热炉的中心轴大致同轴的状态的步骤；上述管保持步骤可以是根据上述测定步骤的测定结果、将上述管保持为相对于上述加热炉的中心轴向上述加热炉内的温度最高位置的方向倾斜的状态的步骤。

通过测定上述加热炉内周方向的温度分布，确定在该加热炉内温度最高的周方向的位置。

如果确定了在加热炉内温度最高的周方向的位置，则以相对于加热炉的中心轴向温度最高的位置的方向倾斜的姿势来保持该管。与此相对，可以与上述加热炉的中心轴大致同轴的姿势来保持该杆。这样，在上述加热炉内温度最高的周方向位置上，管的内周面和杆的周面的间隔比较大。

利用加热炉加热用这个姿势保持的上述管和杆，使管和杆成为一体，来制造光纤母材。

如上所述，光纤母材的芯部容易相对于加热炉的中心轴向温度最高的位置的方向偏心。这里，在该温度最高的周方向的位置上，管的内周面和杆的周面的间隔大。因此，当使管和杆成为一体时，可以抑制该杆所包含的芯部向该温度最高的周方向位置偏心。其结果是，可抑制光纤母材芯部的偏心。

上述杆保持步骤是将(第一)杆保持为与上述加热炉的中心轴大致同轴的状态的步骤；上述管保持步骤是将(第一)管保持为与上述加热炉的中心轴大致同轴的状态的步骤。在这种情况下，上述制造方法，可以还包含下述步骤：在上述一体化步骤之后、在使上述第一管和第一杆一体化而成的一体化物上、测量上述芯部相对于上述加热炉的中心轴的偏心方向的测量步骤；将与上述第一杆不同的第二杆保持为与上述加热炉的中心轴大致同轴的状态的第二杆保持步骤；根据测量步骤的测量结果、将与第一管不同的第二管保持为相对于上述加热炉的中心轴向上述一体化物的芯部偏心方向倾斜的状态的第二管保持步骤；利用上述加热炉加热上述保持的第二管和第二杆的第二加热步骤；和，使上述加热的第二管和第二杆一体化的第二一体化步骤。

使第一管和第一杆成为一体，在该一体化物上，测量芯部相对于加热炉的中心轴的偏心方向。这样，当用该加热炉使管和杆成为一体时，可以把握芯部的偏心倾向。这与间接地确认加热炉内的温度分布等同。

由时间原因引起的加热炉内的温度分布不均匀性，不会急剧变化。另外，由结构原因引起的加热炉内的温度分布的不均匀性，如果是相同的加热炉就不变化。因此，使第一管和第一杆一体化时的芯部的偏心倾向与使第二管和第二杆一体化时的芯部的偏心倾向相互相同。另外，所谓“相同的加热炉”，例如加热器交换前后的加热炉不是相同的加热炉。这是因为加热器安装状态不同而使温度分布产生不均匀性。

因此，以相对于加热炉的中心轴向上述一体化物的芯部的偏心方向倾斜的姿势保持第二管。与此相对，第二杆以与上述加热炉的中心轴大致同轴的姿势来保持。这样，在上述一体化物的芯部的偏心方向位置，管的内周面和杆的周面的间隔较大。

利用加热炉加热以该姿势保持的第二管和第二杆，由此使第二管和第二杆成为一体，制造光纤母材。在这样制造的光纤母材中，在使第一管和第一杆成为一体时，在芯部偏心的方向上，可抑制芯部的偏心。其结果是，可抑制光纤母材的芯部的偏心。

另外，使第二管相对于加热炉的中心轴倾斜时的倾斜量，可根据使第一管和第一杆成为一体的一体化物的芯部的偏心量，适当地设定。

若使上述杆有效部分与上侧和/或下侧引杆在大的弯曲状态下熔融粘接，则在将该杆插入管内时，杆与管内壁碰撞摩擦，产生损伤。这种损伤形成光纤母材的亮点(光纤母材的亮点导致光纤的损失不良)。另外，若杆弯曲大，则不能使杆与管在同轴的位置，导致光纤母材芯部的偏心。

因此，上述制造方法，还可包括在上述杆保持步骤之前、判定上述杆的弯曲量是否在规定的弯曲量以下的杆判定步骤。

通过判定杆的弯曲量是否在规定的弯曲量以下，可以选择区别满足该条件的杆。通过使用满足条件的杆，当将杆插入管内时，可防止杆与管内壁碰撞擦伤。另外，可抑制光纤母材的芯部的偏心。在此，所谓“弯曲量”是指每单位长度的杆中心相对于连结杆两端中心的直线的偏移量。上述规定的弯曲量可以为1mm/m。

上述制造方法，可以还包括修正步骤，该修正步骤是：基于上述杆判定步骤的判定结果，在上述杆的弯曲量比上述规定的弯曲量大的情况下，修正上述杆和上述上侧引杆和/或上述下侧引杆的熔融粘接状态，使得该弯曲量在上述规定的弯曲量以下。

由于废弃比规定的弯曲量大的杆是不经济的，因此通过修正该杆而成为满足条件的杆，可以有效地利用材料。

上述杆与上述上侧引杆和/或上述下侧引杆，它们的轴大致水平地熔融粘接接合。

当以互相立起的状态将杆有效部分和各引杆熔融粘接为一体时，即使它们的弯曲量实际上较大，由于自重造成的拉伸，表观上看弯曲量小。在这种情况下，在使杆和管成为一体的过程中，因杆的消耗而重量减轻时，弯曲状态变得显著。即，杆的弯曲量加大。由于该弯曲状态变得显著，所以杆偏离管的中心，光纤母材的芯部的偏心加大。

因此，杆有效部分和各引杆的熔融粘接是使这些杆的轴大致水平地进行的。在这种情况下，如果事前考虑挠曲的影响，则可以把握将杆有效部分和各引杆进行熔融粘接的杆的正确弯曲量。由于可以把握杆的正确弯曲状态，所以可以以最优的状态将杆插入管内。例如，可以按照在与管的弯曲状态的关系中偏心最小的方向，与弯曲方向一致地将杆插入管中。

利用上述制造方法制成的本发明的光纤母材的芯部的偏心小。

另外，由于光纤母材的芯部的偏心小，所以用上述制造方法制成的光纤母材拉丝而成的光纤的芯的偏心也小。

本发明的光纤母材的制造装置，是通过将石英管和石英杆加热熔融粘接作成一体的装置，

该制造装置具有：保持上述管、使该保持的管在其轴向移动的管保持部；依次在其轴向加热由上述管保持部移动的管的环状加热炉；和，检测由上述管保持部移动的管的倾斜的变化的检测装置。

由于检测装置检测管的倾斜，根据该检测结果，可用手动或机械方法，矫正管的倾斜。

检测装置可以直接检测管的倾斜的变化。另外，通过检测管保持部的位移，可以间接地检测管的倾斜的变化。例如，作为检测装置，可以举出：设置在管保持部上的水准仪、检测至设置在管保持部上的靶的距离变化的激光位移计、和检测管保持部倾斜的角度检测器等。

即使利用上述检测装置可以客观地检测管的倾斜的变化，但由于用手动矫正该管的倾斜的过程中包含着人的因素，所以精确的矫正是困难的。

上述制造装置还可以具有下述这样的位移装置，该位移装置是：根据上述检测装置的检测结果，矫正保持于上述管保持部的管的倾斜，以便与上述管的倾斜的变化相抵消。

附图说明

图1是表示光纤母材的制造装置的立体图。

图2是表示光纤母材的制造装置的正面剖面图。

图3是表示杆的轴向长度与径向偏移量及外径变动的关系的图。

图4是表示在与图3不同的方向上、杆的轴向长度与径向偏移量及外径变动的关系的图。

图5是表示三维坐标中的轴向长度与合成偏移量的关系的图。

图6是图1的VI方向矢向图。

图7是图1的VII方向矢向图。

图8是表示利用铅锤进行管的保持情况下的制造装置的立体图。

图9是表示使管相对于加热炉的中心轴成为倾斜姿势的状态的立体图。

图10是表示实施例1-1的光纤母材的芯偏心变化的测定结果的图。

图11是表示比较例1-1的光纤母材的芯偏心变化的测定结果的图。

图12是表示比较例1-2的光纤母材的芯偏心变化的测定结果的图。

图13是将实施例1-1及比较例1-1、1-2的光纤母材的芯部的偏心换算为光纤的芯偏心并进行比较的图。

图14是表示比较例2-1的光纤母材的芯偏心变化的测定结果的图。

图15是表示实施例2-1的光纤母材的芯偏心变化的测定结果的图。

图16是将实施例2-1及比较例2-1的光纤母材的芯部的偏心换算为光纤的芯偏心并进行比较的图。

具体实施方式

(制造装置)

图1和图2表示光纤母材的制造装置10。该制造装置10是利用管中杆法制造光纤母材30的装置。具体地说，使在光纤中作为包层的管23和在光纤中作为芯子或作为芯子及包层的杆27一体化从而制造光纤母材30的装置。

上述制造装置10具有：在Z方向(图1和图2中的上下方向)延伸的支柱11；安装在该支柱11上的管保持部12；和，在该管保持部12的上方位置安装于上述支柱11上的杆保持部14。

如后所述，上述管保持部12将管23保持为悬吊状态。该管保持部12通过管位置调整部13安装在上述支柱11上。上述管保持部12可与上述管位置调整部13一起沿着支柱11的垂直壁11a在Z方向移动。

上述管23由管有效部分22和与该管有效部分22的上端熔融粘接的上侧引管20和与其下端熔融粘接的下侧引管21构成。在上侧引管20的外周面的全周上作出凹槽20a。另外，包括管有效部分22和上侧及下侧引管20、21在内的管23的总重量为100～200kg。

上述管保持部12作成由在与支柱11的垂直壁11a垂直的方向上延伸的一对固定片构成的大致的叉子形状。设置于上侧引管20上的凹槽20a嵌入该一对固定片之间，与它固定住，这样，管23在Z方向保持为悬吊状态。当保持管23时，该管保持部12为悬吊状态。如上所述，因为管23是重物，所以上述管保持部12在保持管23的状态下，受到向下的负菏，产生挠曲。

上述管位置调整部13可使管23的位置在X方向(图1中的从纸面的左前方朝着右后方的方向)和Y方向(图1中的从纸面的左后方朝着左前方的方向)上移动。与此同时，上述管位置调整部13可以调整上述管23相对于Z方向的倾斜角θ。

就上述杆保持部14来说，其基端部为安装在支柱11的垂直壁11a上的安装部14a，同时，其前端部为把持杆27的上端的把持部14b。杆27由杆有效部分26和与该杆有效部分26的上端熔融粘接的上侧引杆24和与其下端熔融粘接的下侧引杆25构成。

通过把持部14b把持上侧引杆24，上述杆27在上述管23的内部保持为悬吊状态。

该杆保持部14可以沿着支柱11的垂直壁11a在Z方向移动。另外，杆保持部14可以调整所保持的杆27在XY平面内的移动以及该杆27相对于Z轴的倾斜角θ。

利用管保持部12和杆保持部14，将管23和杆27保持为规定的姿势。另外，通过管保持部12和杆保持部14向Z方向的下方移动，管23和杆27可以分别向下方移动。这时，上述管及杆保持部12、14的移动速度可以分别改变。因此，可以调整上述管23和杆27的移动速度(向后述的加热炉15的送进速度)。与此同时，可以将管保持部12的移动速度和杆保持部14的移动速度设定为互不相同的速度。由此，可使上述管23的送进速度和杆27的送进速度互不相同。

上述制造装置10还具有加热炉15。该加热炉15配置在上述管保持发12的下方位置上，上述加热炉15大致为圆筒形状，具有上述管23及杆27通过的插通孔15a，加热炉15具有加热管23和杆27的图中省略的加热器。该加热炉15可由碳电阻加热炉或高频感应加热炉构成。

当利用上述管及杆保持部12、14而管23和杆27向下方移动时，该管23及杆27，在从其下端朝着上端在轴向上依次通过上述加热炉15的插通孔15a内。这样，管23和杆27可以从其下端朝着上端依次被加热。

如图1所示，4个温度传感器18、18…，在其周方向以大致相等的间隔配置于上述加热炉15上。利用各温度传感器18测定加热炉15内的温度。根据各温度传感器18的测定结果，测定加热炉15内的周方向的温度分布。另外，根据需要，也可配置比4个多的温度传感器18。在种情况下，优选温度传感器18以大致相等的间隔配置在加热炉的周方向。

如图2所示，上述制造装置10还具有配置在上述加热炉15的下方位置的滚子16、16…。该滚子16、16…分别在夹住加热炉15的中心轴的两侧位置上配置各2个。该各滚子16可以Y轴作为旋转中心转动。穿过上述加热炉15而一体化的管23和杆27的一体化物(光纤母材30)，由4个滚子16、16…夹住，向下方拉出。各滚子16、16的旋转速度可以改变，由此，可以调整光纤母材30从加热炉15拉出的速度。通过调整光纤母材30从加热炉15拉出的速度，可使光纤母材30的外径为规定的直径(目标外径)。

上述制造装置10具有图中省略的真空泵。该真空泵与封闭盖29连接(参见图2)。封闭盖29安装在上述上侧引管20的上端，将其上端开口封闭。在制造光纤母材30时，通过驱动该真空泵，使上述管23内减压。

如图1所示，上述制造装置10合计具有4个激光位移计17。激光位移计17之中的二个，配置在与由管保持发12保持的管23(管有效部分22)的上部位置相对应的位置上，其余的二个配置在与管有效部分22的下部位置相对应的位置上。配置在上部位置或下部位置的二个激光位移计17、17之中的一个激光位移计17，配置在相对于管有效部分22的X方向的侧方位置上，另一个激光位移计17配置在相对于管有效部分22的Y方向的侧方位置上。各激光位移计17检测至管有效部分22外周面的距离。如后所述，各激光位移计17的检测结果用于将管23保持在管保持部12中时。

而且，上述制造装置10还具有别的激光位移计19。该激光位移计19安装在上述管位置调整部13上。靶标12a立设在管保持部12的前端部。该激光位移计19与管保持部12作成一体，在Z方向移动，同时检测至上述靶标12a的距离L。利用该检测结果，检测管保持部12的倾斜度(挠度)。该管保持部12的倾斜度，与由管保持部12保持的管23(有效部分22)的倾斜度相当。另外，通过将上述激光位移计19安装在管保持部12上，检测至垂直壁11a的距离，也可以检测管保持部12的倾斜度。

如后面详述的那样，上述管位置调整部13，在使管23和杆27成为一体的过程中，矫正在管保持部12上保持的管23的倾斜，以便抵消该激光位移计19所检测的管23的倾斜的变化。

(光纤母材的制造方法)

大致进行划分时，光纤母材的制造方法由4个工序构成：(1)杆的轴偏移修正；(2)管的弯曲判定；(3)管及杆的保持；(4)管及杆的一体化。以下说明各工序。

(杆的轴偏移修正)

作为上述杆27(杆有效部分26)来说，可以使用这样的杆，即：将利用VCD法堆积玻璃微粒子而成的玻璃微粒子堆积体进行烧结并进行拉伸所得到的杆；或，利用MCVD法在包层管的内面上形成芯玻璃而作成实心的杆。杆有效部分26的直径为φ45～50mm左右，长度为2500mm左右。

如上所述，该杆27由杆有效部分26和与该杆有效部分26接合的上侧及下侧引杆24、25构成。该杆27具体地如下这样制成。即，分别使杆有效部分26和下侧引杆25在水平方向放倒的状态下，使上述杆有效部分26的下端和下侧引杆25的上端互相对接。在该状态下，利用加热源加热该对接部分，将杆有效部分26和下侧引杆25熔融粘接。同样，将上述杆有效部分26和上侧引杆24熔融粘接。这样，如果制成杆27，则检测该杆27的弯曲量。即，在杆27的一个端部上设定始点I，同时，在另一个端部设定终点E，在其上，进行以下的基准轴线设定和偏移量检测。

在基准轴线设定时，设定偏移量检测所必要的基准轴线。基准轴线是在杆27的径向的一个方向上连接始点I及终点E在宽度方向的中心点的线。

在偏移量检测中，在从始点I至终点E的每个规定间隔中，测定杆27的宽度方向的中心点。由此，得到以基准轴线作为横轴、以偏移量Dx作为纵轴的图3的中央的曲线Cx。利用该曲线Cx，可以视觉地且定量地把握从径向的一个方向看杆27时的中心点位置相对于基准轴线的偏移倾向及其程度、即弯曲的发生倾向及弯曲量。另外，在图3中，上侧的曲线表示杆27的宽度方向的一侧的外形位置沿着长度方向的推移，下侧曲线表示杆27的宽度方向的另一侧的外形位置沿着长度方向的推移。即，图3的中央的曲线Cx是上侧曲线和下侧曲线的中心的轨迹。

其次，与上述同样，进行从与上述一个方向垂直的径向的另一个方向看杆27时的偏移量Dy的测定。由此，如图4中央的曲线Cy所示，可以视觉地且定量地把握从径向的另一方向看杆27时的中心点位置相对于基准轴线的偏移倾向及其程度。

在测定了偏移量Dx、Dy之后，根据该偏移量Dx、Dy，利用下式计算合成偏移量Q。

Q＝{(Dx)²+(Dy)²}^1/2

如图5所示，设定以杆27的轴向长度L为Z轴、以偏移量Dx为X轴、以偏移量Dy为Y轴的三维坐标。在该三维坐标中，通过作出各测定位置上的合成偏移量Qi(i为测定位置)，得到用曲线连接这些偏移量的合成曲线Cp。在图5中，除了合成曲线Cp以外，还表示了由偏移量Dx和偏移量Dy构成的四角形(图5中用虚线表示的四角形)、和通过该四角形的角的X坐标面的曲线Cx及Y坐标面的曲线Cy。

利用上述合成曲线Cp、曲线Cx、曲线Cy，可以三维地可靠地把握杆27的弯曲的发生状况、其倾向(方向)及其量。在杆27的每单位长度的偏移量即弯曲量大于1mm/m的情况下，可以再加热上述杆27的杆有效部分26和上侧引杆24和/或下侧引杆25的熔融粘接部分，修正杆27的弯曲，使上述弯曲量成为1mm/m以下。

(管的弯曲判定)

作为上述管23(管有效部分22)来说，可以使用由OVD等法制造的管。管有效部分22的外径为φ180mm左右，内径为φ50mm左右，长度为2000mm左右。

如上所述，该管23由管有效部分22和与该管有效部分22接合的上侧及下侧引管20、21构成。如图6和图7所示，管有效部分22和上侧引管，由于端面彼此对接地熔融粘接，所以在管有效部分22和上侧引管20之间有时产生弯曲。在图6中，为了容易理解，夸张地表示管有效部分22和上侧引管20之间的弯曲。在管有效部分22和上侧引管20之间产生的弯曲，导致光纤母材30的芯部的偏心。另外，管有效部分22和下侧引管21之间的弯曲，对于光纤母材30的芯子的偏心没有影响。

为了抑制芯部的偏心，使上侧及下侧引管20、21与管有效部分22熔融粘接作成管23之后，测定该管23的弯曲度。弯曲度的测定方法，利用哪种方法都可以。作为一个例子，虽然图中没有详细表示，但可以这样来进行，即，放置上述管23，使管有效部分22为水平，一边利用滚子支承管有效部分22的下侧，一边转动管23，每次转动90度。然后，利用千分表测定上侧引管20的4个点的位移。利用该4个点的位移，可以判定管有效部分22和上侧引管20之间的弯曲方向。

如果根据上述测定结果判明管有效部分22和上侧引管20之间的弯曲方向、即包含管有效部分22的中心轴C1和上侧引管20的中心轴C2的二个中心轴的平面A(参见图6、7)，则在上侧引管20的上面设置表示该平面A的标记28(参见图1)。另外，当管有效部分22的中心轴C1和上侧引管20的中心轴C2完全一致时，可在上侧引管20上面的任意位置上设置标记28。

(管和杆的保持)

如上那样，分别完成管23和杆27的准备。在下一个工中，分别将管23和杆27保持在制造装置10中。

首先，将上侧引管20的凹槽20a嵌入管保持部12内，使管23成为悬吊状态。这时，由于管23为重物，管保持部12受到向下的负荷，在Y方向产生挠曲。其次，利用设置在上侧引管20上的标记28，设定管23的朝向，使上述平面A与管保持部12的挠曲方向(Y方向)平行。

其次，利用激光位移计17，在X方向上的上部和下部二个点、Y方向上的上部和下部二个点等共计4个点上，测定至管有效部分22的外周面的距离。然后，利用管位置调整部13，调整管23的倾斜度，使该测定值的在上下之间的差最小。即，调整管23的倾斜度，使管有效部分22的轴向成为铅直方向。在使管有效部分22的轴向成为铅直方向后，调整管23的X方向和Y方向的位置调整。这样，使管有效部分22的中心轴与加热炉15的中心轴一致。这样，完成了管23的保持。

其次，利用杆保持部14把持上侧引杆24的上端部分，利用该杆保持部14分别调整上述杆27的X、Y方向位置及其倾斜度，使得上述杆27与加热炉15的中心轴大致为同轴。再将杆27插入管23内。这样，完成杆27的保持。

在此，在保持管23时，虽然利用了激光位移计17，但不是仅限于此。例如，利用铅锤代替激光位移计17也可以。即，如图8所示，沿着管23的长度方向，将在一端上安装着重锤31的线32垂下，使管有效部分22的轴向与线32的延伸方向一致。具体地说，在X方向上的上部和下部的二个点、Y方向上的上部和下部的二个点等共计4个点上测定管有效部分22和线32的距离。这样，利用管位置调整部13，调整管有效部分22的倾斜度，使上下的测定值互相相同。这样，可使管有效部分22的轴向与加热炉15的轴向一致。

另外，同时使用激光位移计17和铅锤从而使管23位置铅直也可以。例如，在利用激光位移计17使管有效部分22的位置铅直后，利用铅锤，确认管有效部分22的位置是否铅直。这时，根据需要，微调管有效部分22的倾斜度。这样，可以更高精度地进行管23的定位。

(管和杆的一体化)

如以上那样，分别保持管23和杆27。在下一个工序中，使管23和杆27一体化。

首先，利用封闭盖29封闭上述上侧引管20的上端开口，利用真空泵使管23内减压。在这种状态下，使管保持部12和杆保持部14分别以规定的速度向下方移动。

由此，上述管23和杆27，沿其轴向穿过加热炉15的插通孔15a内，利用加热炉15从其下端朝着上端依次加热该管23和杆27。管23和杆27从其下端朝着上端依次熔融，通过使管23内部减压，熔融的管23由于其内外压力差而缩径。其结果是，管23和杆27沿着其轴向依次熔融粘接而成为一体。

在此，当进行管23和杆27的一体化时，管保持部12受到的向下的负荷小，管保持部12的挠曲也小。由此，管23相对于加热炉15的中心轴的倾斜量产生变化。

因此，在制造光纤母材30的过程中，利用激光位移计19检测管23的姿势的变化。然后，管位置调整部13矫正管23的姿势，以抵消该检测的管23的姿势的变化。

这时，如上所述，上述平面A和管保持部12的挠曲方向(Y方向)平行。由此，随着一体化的进行，管23的重心位置大致在平面A上移动。即，管23只在Y方向改变倾斜度。因此，管位置调整部13可以只矫正管23的在Y方向的倾斜。

这样，在使管23和杆27一体化的过程中，管23的中心轴始终与加热炉15的中心轴一致。

在此，利用激光位移计19测量在使管23和杆27一体化的过程中的管23姿势的变化，但不是仅限于此。例如，将水准仪安装在管保持部12上，利用它测量管23的姿势变化也可以。另外，利用角度检测器，检测管保持部12的倾斜，测量管23的姿势变化也可以。

使管23和杆27一体化而成的一体化物，由滚子16拉出。由此，上述一体化物延伸至规定的外径。这样，完成了光纤母材30。利用图中省略的拉丝装置，对光纤母材30进行拉丝加工，成为光纤。

如上所说明的那样，采用上述光纤母材的制造方法，在管23和杆27一体化的过程中，利用激光位移计17检测上述管23的倾斜的变化，根据该检测值，使管23移动，从而使上述管23的中心轴和加热炉的轴一致。因此，可以制造芯部的偏心量小的光纤母材30。

另外，通过保持上述管23，使平面A和管有效部分22从铅直方向倾斜的方向成为平行，可以在一体化过程中，使管23的倾斜变化的方向成为一定方向。管位置调整部13，只矫正一个方向的倾斜，可以使管23位于与加热炉15同轴的位置上。

另外，测定杆27的弯曲量，当弯曲量大时，预先修正杆有效部分26和上侧引杆24和/或下侧引杆25的熔融粘接状态。由此，当将杆27插入管23内时，可以防止杆27与管23的内壁接触擦伤。另外，可以抑制光纤母材30的芯部的偏心。而且，即使杆27的弯曲量大，由于修正该杆27之后来使用，所以可有效地利用材料。

另外，通过使杆有效部分26和上侧引杆24及下侧引杆25的杆轴大致水平地使它们熔融粘接，可以把握正确的弯曲量。由此，在管23和杆27的一体化过程中，杆27的弯曲量不会大。这样，可以抑制光纤母材30的芯部的偏心。

(考虑了加热炉温度分布的管的保持)

<其1>

如果利用上述制造方法制造光纤母材30，通常可抑制其芯部的偏心。然而，根据条件不同，芯部的偏心比较大的情况也有。其原因之一是加热炉15的周方向温度分布不均匀。即，由于加热炉15内的周方向的温度分布不均匀，管23的熔融状态在周方向不均匀，其结果是，相对于加热炉15的中心轴，芯部向温度最高的位置的方向偏心。因此，当温度分布不均匀比较大时，可以如下这样制造光纤母材30。由此，可以减小芯部的偏心。

即，按照上述的顺序，将管23和杆27保持为其各中心轴与加热炉的中心轴同轴的状态。然后，利用安装在上述加热炉15上的各温度传感器18，测定加热炉15内的温度，根据其测定结果，测出加热炉15内的周方向的温度分布。然后，利用管位置调整部13，使上述管23处于相对于上述加热炉15的中心轴向该加热炉15内的温度最高位置的方向上倾斜的姿势。由此，如图9所示，杆27的中心轴Z1，与加热炉15的中心轴大致为同轴，与此相对，管23(有效部分22)的中心轴C1相对于加热炉15的中心轴而倾斜(在图中表示下述这样的情形：加热炉15内的温度最高位置的方向为X方向的正(+)侧，使管23的中心轴C1相对于加热炉15的中心轴向X方向的正侧倾斜)。其结果是，管23的内周面和杆27的周面的间隙，在X方向的正侧位置上比较大。另外，在图中，为了容易理解，比实际夸张地表示了管23的倾斜。

在这个状态下，进行管23和杆27的一体化。在该一体化过程中，利用激光位移计19，检测管23的倾斜的变化，矫正管23的倾斜，以抵消该变化。由此，管23可以保持当初的姿势。另外，在这种情况下，管23的中心轴和加热炉15的中心轴不必一致。

采用这种制造方法，在加热炉15内温度高的周方向位置上使管23和杆27的间隙增大的状态下，进行管23和杆27的一体化。虽然芯部容易向加热炉15内温度最高位置的方向偏心，但在该位置，管23和杆27的间隙加大。因此，抑制芯部的偏心。

另外，随着管23和杆27的一体化，管保持部12的挠曲减小，与此相伴，管23的姿势产生变化，但利用激光位移计19测量管23的倾斜量的变化，与其相适应，将管23的姿势维持为当初的姿势。这样，可以在光纤母材30的整个轴向上抑制芯部的偏心。

<其2>

“其2”的制造方法是着眼于因加热炉15内的温度分布不均匀性引起的芯部的偏心具有再现性这点的制造方法。这是因为，随着时间的推移引起的加热炉15内的温度分布不均匀性，不会急剧变化，因结构原因引起的加热炉15内的温度分布不均匀性，若是相同的加热炉15，则不会变化。即，在“其2”的制造方法中，使管23和杆27一体化而制造光纤母材30，测量该光纤母材30的芯部的偏心方向及偏心量。然后，在制造如下这样的光纤母材30时，根据该测量结果，可以以相对于加热炉15的中心轴倾斜的姿势来保持管23。以下，具体地说明“其2”的制造方法。

首先，利用管保持部12保持管23，同时，利用杆保持部14保持杆27，分别使管23和杆27定位，使它们与加热炉15的中心轴大致同轴，这一点与上述制造方法相同。

在这个状态下，使上述管23和杆27进行一体化。在管23和杆27一体化的过程中，管位置调整部13矫正管23的姿势，以便维持管23和加热炉15的中心轴的同轴状态。这样，完成使管23和杆27一体化而成的光纤母材30(第一光纤母材)。

然后，在该完成了的第一光纤母材30中，测量芯部的偏心状态。具体地说，测量芯部相对于加热炉15的中心轴的偏心方向和偏心量。

其次，利用管保持部12保持别的管23，同时，利用杆保持部14保持别的杆27。然后，分别利用管位置调整部13和杆保持部14调整管23和杆27的姿势，使得这些管23和杆27相对于加热炉15的中心轴大致同轴。

然后，在上述第一光纤母材30中，根据所测出的芯部的偏心方向，使管23成为相对于上述加热炉15的中心轴向其偏心方向倾斜的姿势(参见图9)。这时，可根据第一光纤母材30中的芯部的偏心量，适当调整管23的倾斜量。例如，如果芯部的偏心量为0.1mm级别，则可以设定管23的倾斜量为0.1mm/m(每1m管长的倾斜量)级别。

在这种状态下，使管23和杆27一体化，制造光纤母材30。在使管23和杆27一体化的过程中，管位置调整部13矫正由管保持部12保持的管23的姿势，以便抵消由激光位移计19检测的管23的姿势变化。

这样，利用“其2”的制造方法，与加热炉15的中心轴大致同轴地保持管23和杆27，制造光纤母材30，由此，可以把握利用上述加热炉15使管23和杆27一体化时的芯部的偏心倾向。

其次，以相对于加热炉15的中心轴倾斜的姿势保持管23，以便抑制其芯部的偏心倾向，从而制造光纤母材30。由此，可以抑制新制造的光纤母材30的芯部的偏心。

例如，在更换加热炉15的加热器的前后，加热炉15内的温度分布会产生变化。因此，在刚刚更换加热器后，利用所制造的光纤母材30，把握芯部的偏心倾向，接着，根据它们的偏心倾向，以倾斜的姿势保持管23，从而制造光纤母材30也可以。

另外，加热炉15的温度分布，由于加热器随时间推移而劣化，所以其也随时间变化。因此，确认前面刚制造的光纤母材30的芯部的偏心倾向之后，可以微调接下来制造时的管23的倾斜方向及倾斜量。

另外，“其2”的光纤母材制造方法中所使用的装置，与图1、2所示的制造装置10大致相同。但是，由于不需要测量加热炉15内的温度分布，所以作为监视加热炉15内的温度的温度传感器，至少具有一个温度传感器18即可。

实施例

下面，具体地说明所实施的实施例。

(实施例1)

对于管的弯曲，说明实际进行的实施例。

首先，作为实施例1-1，利用上述的制造装置10，制造了光纤母材30。这时所使用的管23的外径为179.4mm、内径为54.1mm，杆27的外径为51.4mm。管23的内周面和杆27的周面的平均间隙为1.35mm。作为制造条件，管23的送进速度和杆27的送进速度都为14.4m/min。

在实施例1-1中，与管23的朝向一致地保持在上述管保持部12上，使标记28与管保持部12的挠曲方向一致，同时，在管23和杆27一体化的过程中，矫正了管23的倾斜。

另外，作为比较例1-1，使用上述的制造装置10，并且使用相同形状的管23和杆27，制造了光纤母材30。制造条件与实施例1-1时相同，在比较例1-1中，将管23保持在管保持部12上，使标记28与管保持部12的挠曲方向不一致。另外，在一体化过程中，不进行管23的倾向的矫正。

而且，作为比较例1-2，采用上述的制造装置10，使用相同形状的管23和27，制造光纤母材30。制造条件与实施例1-1时相同，但在比较例1-2中，将管23保持在管保持部12上，使标记28与管保持部12的挠曲方向不一致。另外，在一体化过程中，矫正管23的倾斜。

图10～12分别表示在实施例1、比较例1-1及1-2中制造的光纤母材30的剖面，从制造开始至结束的芯部的偏心量的变化。

如图11所示，在不考虑管23的弯曲地保持该管23、而且在一体化过程中不矫正管23的倾斜的情况下，芯部在X方向及Y方向的偏心大。

另外，如图12所示，在不考虑管23的弯曲地保持该管23、但在一体化过程中矫正管23的倾斜的情况下，虽可以抑制芯部在一个方向(Y方向)的偏心，但在另一个方向(X方向)偏心大。

与此相对，如图10所示，在考虑管23的弯曲地保持该管23的同时、在一体化过程中矫正管23的倾斜的情况下，可以抑制芯部的偏心。

图13是将在实施例1-1及比较例1-1、1-2中制造的光纤母材30的芯部的偏心换算成光纤的芯部偏心的结果进行比较的图。由此可看出，实施例1-1的芯偏心量与各比较例的芯偏心量相比而大幅度地减小。

因此，在考虑管23的弯曲后进行保持的同时，在一体化过程中，矫正管23的倾斜，由此可以抑制芯部的偏心。

(实施例2)

关于加热炉的温度分布，说明实际所进行的实施例。首先，作为比较例2-1，利用上述制造装置10制造了光纤母材30。这时所使用的管23的外径为180mm、内径为54mm，杆27的外径为50mm。管23的内周面和杆27的周面的平均间隙为2.32mm。另外，作为制造条件，玻璃处理量(每单位时间进行一体化的管23和杆27的总玻璃量)为360ml/min。另外，玻璃处理量可通过调整管23和杆27向加热炉15中的送进速度来调整。作为管23的送进速度和杆27的送进速度之比的速度比设定为0.90。

另外，在比较例2-1中，保持管23和杆27，使两者成为一体，以使相对于加热炉15的中心轴分别大致同轴。另外，在一体化过程中，矫正管23的姿势，以维持管23和加热炉15的中心轴的同轴状态。

图14表示在比较例中制造的光纤母材30的剖面中的从制造开始至结束的芯部的偏心量的变化。从该图中可看出，在比较例中，芯部有向X方向的负侧偏心的倾向。

其次，作为实施例2-1，使用与上述比较例时相同的制造装置10，使用相同形状的管23和杆27，制造了光纤母材30。由于制造装置10相同，因此，制造实施例时的加热炉15内的温度分布，与制造比较例2-1时相同。

在实施例2-1中，根据上述比较例2-1的光纤母材30中的芯部的偏心状态，将管23保持为相对于加热炉15的中心轴向X方向的负侧倾斜的姿势，倾斜量为0.3mm/m。另外，将杆27保持为与加热炉15的中心轴大致同轴的姿势。在这种状态下，使管23和杆27一体化，制造了光纤母材30。另外，在一体化过程中，矫正该管23的姿势，将管23的姿势维持为当初所保持的姿势。

图15表示在实施例2-1中制造的光纤母材30的剖面中的从制造开始至结束的芯部的偏心量的变化。从该图中可看出，在比较例2-1中，芯部有向X方向的负侧偏心的倾向，但在实施例2-1中，抑制了该倾向，芯部的偏心量小。

其次，图16是比较在实施例2-1及比较例2-1中制造的光纤母材30的芯部的偏心换算为光纤的芯偏心的结果的图。如该图所示，实施例2-1的芯偏心量，与比较例2-1的芯偏心量相比，大幅度地减小。

因此，通过将管23保持为相对于加热炉15的中心轴适当倾斜的姿势，可以消除因加热炉15内的温度分布不均匀性引起的芯部偏心。

Claims (15)

1.一种光纤母材的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

将石英管保持为悬吊状态的管保持步骤；

以将包含芯部的石英杆插入所述管内的状态进行保持的杆保持步骤；

利用中心轴方向为铅直方向的环状加热炉将所述保持的管和杆沿着其轴向依次加热的加热步骤；

使所述加热的管和杆沿着其轴向依次熔融粘接而进行一体化的一体化步骤；

随着所述管和杆的一体化的进行、检测所述管的倾斜的变化的检测步骤；和

在使所述管和杆一体化的过程中、矫正所述管的倾斜、以便抵消所述检测的倾斜的变化的矫正步骤。

2.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于：

所述管保持步骤，进行所述管的定位，使所述保持的管的中心轴与所述加热炉的中心轴同轴。

3.如权利要求2所述的制造方法，其特征在于：

所述管的定位，通过从多个方向实施下述这样的位置调整来进行，即，使用在下端安装重锤的线，在所述管的侧方位置，将该线垂下，使所述管的轴向与所述线的延伸方向一致。

4.如权利要求2所述的制造方法，其特征在于：

所述管的定位，通过从多个方向实施下述这样的位置调整来进行，即，使用在所述管的侧方位置上沿铅直方向互相离开地配置的多个激光位移计，使激光从各激光位移计照射在管上，使该各激光位移计测量的至所述管的距离互相一致。

5.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于：

所述管由有效部分和与该有效部分的上端接合的引管构成，所述管，通过将所述引管保持在管保持部，保持为悬吊状态；

还包括判定所述有效部分和引管的弯曲情况的管判定步骤；

所述管保持步骤是保持所述管的步骤，根据所述管判定步骤的判定结果，使包含所述有效部分的中心轴和引管的中心轴这二个轴的平面与通过保持所述管的管保持部的挠曲使所述有效部分相对于铅直方向倾斜的方向平行。

6.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于：

还包括测定所述加热炉内的周方向的温度分布的测定步骤；

所述杆保持步骤是将所述杆保持为与所述加热炉的中心轴大致同轴的状态的步骤；

所述管保持步骤是根据所述测定步骤的测定结果将所述管保持为相对于所述加热炉的中心轴朝所述加热炉内的温度最高位置的方向倾斜的状态的步骤。

7.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于：

所述杆保持步骤是将所述杆保持为与所述加热炉的中心轴大致同轴的状态的步骤；

所述管保持步骤是将所述管保持为与所述加热炉的中心轴大致同轴的状态的步骤；

还包括下述步骤：

在所述一体化步骤之后、在使所述管和杆一体化而成的一体化物上、测量所述芯部相对于所述加热炉的中心轴的偏心方向的测量步骤；

将第二杆保持为与所述加热炉的中心轴大致同轴的状态的第二杆保持步骤；

根据测量步骤的测量结果、将第二管保持为相对于所述加热炉的中心轴向所述一体化物的芯部偏心方向倾斜的状态的第二管保持步骤；

利用所述加热炉加热所述保持的第二管和第二杆的第二加热步骤；和

使所述加热的第二管和第二杆一体化的第二一体化步骤。

8.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于：

所述杆由有效部分、与该有效部分的上端熔融粘接接合的上侧引杆和与该有效部分的下端熔融粘接接合的下侧引杆构成；

还包括在所述杆保持步骤之前、判定所述杆的弯曲量是否是规定的弯曲量以下的杆判定步骤。

9.如权利要求8所述的制造方法，其特征在于：所述规定的弯曲量为1mm/m。

10.如权利要求8所述的制造方法，其特征在于：

还包括修正步骤，该修正步骤是：根据所述杆判定步骤的判定结果，在所述杆的弯曲量比所述规定的弯曲量大的情况下，修正所述杆和所述上侧引杆和/或所述下侧引杆的熔融粘接状态，使该弯曲量为所述规定的弯曲量以下。

11.如权利要求8所述的制造方法，其特征在于：将所述杆与所述上侧引杆和/或所述下侧引杆熔融粘接接合，使它们的轴大致水平。

12.一种利用权利要求1所述的制造方法制成的光纤母材。

13.一种将利用权利要求1所述的制造方法制成的光纤母材拉丝而成的光纤。

14.一种光纤母材的制造装置，该光纤母材是通过将石英管和石英杆加热熔融粘接一体化进行而成的光纤母材，其特征在于，包括：

保持所述管、使该保持的管沿着其轴向移动的管保持部；

将由所述管保持部移动的管沿着其轴向依次加热的环状加热炉；和

检测由所述管保持部移动的管的倾斜的变化的检测装置。

15.如权利要求14所述的制造装置，其特征在于：

还包括：根据所述检测装置的检测结果、矫正由所述管保持部保持的管的倾斜、以便抵消所述管的倾斜的变化的移动装置。

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