CN1616928A - 光学定位测量装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种发送无谐波扫描信号的光学定位测量装置。该装置由设有包括比例刻度标记的比例刻度的比例尺和一个相对于比例尺可在至少一个测量方向上移动的扫描单元构成，所述比例－刻度标记利用比例尺的刻度周期周期性设置在测量方向上。扫描单元包括一个光源，至少一个由利用扫描－刻度周期沿测量方向周期性设置的扫描刻度标记组成的周期性扫描刻度，其中，比例刻度周期和扫描刻度周期彼此不同，还包括一个检波器设置，借助于该设置在比例尺和扫描单元相对移动的情况下，测定至少一个周期性扫描信号，该信号从利用带状图案周期P周期性游标带状图案的扫描中在检波器结构的检波平面上产生。比例刻度或者扫描刻度各自由两个以上与测量方向垂直相邻的分度轨组成，其中，每个分度轨中的刻度标记各自具有与其额定位置确定的和不变的偏移距离。与偏移距离相邻的分度轨不同，从而通过所选择的偏移距离从扫描信号中滤除不希望的谐波部分。
Description
本发明涉及一种发送无谐波扫描信号的光学定位测量装置。
在光学基础上公知的增量式定位测量装置中，通常是对带有周期性比例刻度的比例尺借助于同样周期性扫描刻度进行扫描。后者与例如像光源和检波装置等其他组件共同设置在一扫描单元内，扫描单元可相对于比例尺在至少一个测量方向上移动。理想情况下存在精确正弦形的扫描信号，在合适的后续电子装置中借助于公知的内插补法可以对该信号做进一步处理-确切地说是进一步划分。然而，通常所检波的扫描信号实际产生的形状或多或少与理想的正弦形有所不同。这种情况可能是极其不同的原因造成的，例如比例尺面和/或者扫描面上刻度周期与理想比例不同，刻度标记的边缘不清晰等等。实际产生的扫描信号因此在实践上带有谐波，特别是在内插补的方式下，这些谐波会对信号的进一步处理产生不利影响。因此，原则上争取将扫描信号所含的谐波尽可能降到最低限度。
从现有技术中已经公开了大量滤除谐波的解决办法。例如在这种关系上可以参阅由DE 195 08 700 C1或者US 5,068,530公开的用于滤除谐波的措施。这些文献中提出，为消除特别是干扰的第三和第五谐波，将扫描刻度的刻度标记以与刻度标记各自等距的额定位置确定的偏移距离设置在扫描板上。所需的偏移距离始终从各自所要消除的谐波中产生。
如果在该滤除原理的基础上要从扫描信号中滤除大致两个主导谐波-例如第三和第五谐波，那么在DE 195 08 700 C1中依据图4提出，扫描板上在单个刻度标记之间和刻度标记组之间均具有所需的偏移距离。在测量方向的扫描板上因此包括刻度标记与原始额定位置两个确定的偏移距离。
然而这种滤除原理特别是在利用游标扫描的情况下不再能够用于确定的增量式扫描。在这里是指比例刻度和扫描刻度具有略微不同刻度周期的扫描原理，从而在一个检波平面上，根据由光源发射的射线束利用两个刻度的交替作用，产生带有确定带状图案周期P的空间周期性游标带状图案。该带状图案周期P在这种情况下一般明显大于比例尺-和扫描刻度的刻度周期TPM，TPA。如果现在在这样一种定位测量装置上将依据所提及的DE 195 08 700 C1图4的滤除原理用于滤除第三和第五谐波，那么由此对比例尺-和扫描刻度之间用于扫描所要求的固定相位关系产生一种干扰。不可能再产生一种相位正确的游标带状图案。
原则上可以通过例如按所提及的US 5,068,530图4中所公开的滤波方案回避这一问题。它是将扫描板上的扫描刻度与测量方向垂直-也就是在刻度标记的纵向上-分解成多个分度轨(Teilspuren)。因此，该方案中在刻度标记的纵向上，而不是像上面提及的测量方向上具有为滤除所要求的偏移距离。原则上可以利用这种滤除进行游标扫描。然而此方面的问题在于，在测量工作中或者在安装时，比例尺和扫描单元可能产生环绕一个轴线垂直在比例尺上扭转。下面这种扭转也称为莫尔条纹扭转。
本发明的目的在于，为游标原理基础上的光学定位测量装置提供一种滤除谐波的可能性。除了从扫描信号中尽可能消除极具干扰的谐波外，值得追求的还有包括滤除谐波在内的信号产生对比例尺和扫描单元环绕一个轴线垂直在比例尺上的扭转尽可能高的不敏感性。
该目的通过具有权利要求1所述特征的光学定位测量装置得以实现。
依据本发明光学定位测量装置具有优点的实施方式来自在从属于权利要求1的权利要求中所列举的措施。
依据本发明，在该光学定位测量装置中具有用于滤除谐波的那些刻度，它与测量方向垂直分解成两个以上的分度轨内并在不同的分度轨内具有滤除谐波所需的偏移距离。因此，在每个分度轨内各自的刻度标记具有与本身的额定位置确定的偏移距离，其中，相邻分度轨的偏移距离不同，从而通过所选择的偏移距离从扫描信号中把不希望的谐波部分滤除。在这种情况下，依据本发明既可以构成比例刻度也可以构成扫描刻度并承担相应的滤波功能。
事实证明，特别是考虑到扫描单元可能相对于比例尺环绕一个轴线垂直在比例尺上扭转的情况下，依据本发明的滤除方案用于消除游标扫描时不希望的谐波部分是特别具有优点的。即使在安装时或者测量工作中这种失调的情况下，由于依据本发明的措施，仍然存在所需的滤波效果。
最好确定用于消除第三和第五谐波的分度-偏移距离并为各自的分度轨组合成适当产生的偏移距离。
附图说明
下面借助附图中依据本发明定位测量装置的实施例对本发明的其他优点以及细节进行说明。其中：
图1示出依据本发明光学定位测量装置第一方案的扫描射线行程；
图2示出依据本发明光学定位测量装置第二方案的扫描射线行程；
图3是用于说明依据本发明措施的第一示意图；
图4是依据本发明定位测量装置扫描刻度第一实施方式的分图；
图5是依据本发明定位测量装置扫描刻度另一实施方式的分图；
图6是带有在借助图5所述原理基础上扫描刻度的扫描板总图；
图7是依据本发明定位测量装置的扫描刻度在与用于扫描的检波元件结合下另一实施方式的分图。
现借助附图1的示意图介绍依据本发明定位测量装置第一方案原理上的扫描射线行程。该装置在这个实施例中设计成以透射光工作的线性定位测量装置。该定位测量装置主要包括比例尺10以及相对于比例尺10在测量方向x上移动的扫描单元20。测量方向x在这种情况下与符号平面垂直定向。
比例尺10和扫描单元20可以彼此相对在测量方向x上移动设置在数控机床上，以测定两个彼此移动的物体，例如工具和工件的相对位置。可从定位测量装置产生的扫描信号中产生的定位信息然后再以公知的方式由数控机床的控制装置继续用于控制和调整目的。
比例尺10在所示的实施例中包括例如由玻璃制成的透明刻度载体，上面设置在测量方向x上延伸的刻度10.1。刻度10.1由在延伸方向上周期性设置的比例刻度标记组成。比例刻度标记作为刻度载体上不透光的窄刻度线构成，它们之间设置透光的分度区。比例刻度标记的周期性下面用TPM表示。在依据本发明定位测量装置可能的实施中选择TPM＝20μm。
在扫描单元20的侧面具有一个前置视准装置的光源21，以在发射的射线束在比例尺10或刻度10.1的方向上继续传播之前对其进行视准。在刻度10.1受由光源21施加的发射光束之后，光束随后在扫描单元10的侧面上到达设置在扫描板23上的扫描刻度23.1上。扫描板23由透明的刻度载体组成，上面设置有在测量方向x上延伸的扫描刻度23.1。扫描刻度23.1包括扫描刻度标记的周期性设置，其中，扫描刻度标记在本实施例中也作为刻度载体上不透光的窄刻度线构成，处于它们之间的是透光的分度区。扫描刻度23.1侧面上的刻度标记设置利用下面称为扫描刻度周期的参数TPA完成。
如已经提到的那样，本定位测量装置用到所谓的游标-扫描原理，这就要求不同的比例刻度周期和扫描刻度周期TPM，TPA。因此，在比例刻度周期TPM＝20μm的情况下，依据本发明定位测量装置的一实施例中选择扫描刻度周期TPA＝20.3846μm。
在这样选择比例刻度周期和扫描刻度周期TPM，TPA的情况下，根据利用比例刻度和扫描刻度10.1，23.1射线束在检波平面上的交替作用，产生一个带状图案周期P＝1.06mm的空间周期的游标带状图案。在该检波平面中，在扫描单元10的侧面上定位一个检波器结构24，它在比例尺10和扫描单元20相对移动的情况下，用于从周期性调制的游标带状图案的扫描中产生至少一个周期性扫描信号。
检波器结构24最好由大量单个的矩形检波元件组成，利用它们的矩形纵侧面彼此相邻设置在测量方向x上；这种检波器结构有时也称为结构化的光电检波器。在扫描游标带状图案时提供同相位扫描信号的那些检波元件相互导电连接。通常这样构成检波元件的空间结构，使带状图案周期P内始终设置三个或者四个检波元件。按照这种方式，特别是可以确保一种对污染不敏感的所谓单一扫描。每个带状图案周期P选择的检波元件的数量，取决于要分析多少个相位不同的扫描信号。例如，四个以各90°相移的扫描信号需要在一个带状图案周期P内设置四个检波元件，而三个以各120°相移的扫描信号需要在一个带状图案周期P内设置三个检波元件等等。
下面详细介绍用于在这种定位测量装置上滤除谐波的措施之前，先简单介绍一下可选择的扫描射线行程，它同样可在依据本发明的定位测量装置上实现并在图2中示意示出。图2实施例与上述方案的区别主要在于扫描板223或扫描刻度223.1在扫描射线行程的结构上。现在是将扫描刻度223.1设置在视准装置222的后面，从而由光源221发射的射线束首先击中扫描刻度223.1，然后到达比例刻度100.1，最后从利用扫描刻度和比例刻度223.1，100.1在检波平面上光束的交替作用中产生周期性游标带状图案。在该检波平面中也定位检波器结构224，它原则上与上述情况结构相同。
此外，带有比例尺100和扫描单元200的依据本发明的定位测量装置的实施例结构与上面详细介绍的图1的实施例相同。
在这里还要提及的是，下面介绍的措施不仅可以如上述那样与透射光系统相结合下使用，而且不言而喻，在本发明的范围内也可以在反射光中工作的定位测量装置上实现。此外，相同部分也适用于需要时同样依据本发明可以实现的旋转的测量结构。
为在这种扫描射线行程下实现所要求的滤除谐波，或者在比例刻度的侧面上，或者在扫描刻度的侧面上需要采取下面将要介绍的一定措施。在这种情况下，下面以借助于扫描刻度的滤除谐波为例详细说明所依据的原理。不言而喻，这种措施也可以类似地转移到比例刻度上。
为滤除谐波，在本发明的第一方案中将用于滤除的刻度标记-即或者是比例刻度标记或者是扫描刻度标记-沿其纵向分解成两个以上的刻度标记段，从而与测量方向x垂直最后产生多个由单个刻度标记段构成的分度轨。在用于滤除的比例刻度或者扫描刻度各自的分度轨中，各自的刻度标记或刻度标记段具有与其通过所需的比例刻度周期或者扫描刻度周期TPM，TPA预先规定的额定距离确定的偏移距离ΔVn。通过这些在相邻分度轨中不同的偏移距离ΔVn，从扫描信号中滤除或去除不希望的谐波部分。因此，取代依据前面所讨论的现有技术滤除方案中带有滤除所需偏移距离ΔVn的复合刻度标记，依据本发明将刻度标记沿其纵向分成两个以上的刻度标记段。
图3示出了这一原理，其中，出于便于观察的原因，首先仅将一个扫描刻度的单个刻度标记30沿其纵向y分成具有相同长度或高度h的两个刻度标记段31.1，31.2。在相邻的测量方向x上，在扫描板上将大量这种刻度标记设置在扫描刻度周期TPA的光栅内，也就是说，刻度标记30因此具有宽度TPA/2。线条L表示通过扫描刻度周期TPA预先规定的非偏移刻度标记30中心的额定位置。在所示的实施例中，上部的刻度标记段311或其中心以分度偏移距离-ΔTV3从该额定位置L向左偏移设置，而下部的刻度标记段31.2或以分度偏移距离+ΔTV3向右偏移设置。分度偏移距离+/-ΔTV3划分成两个刻度标记段31.1，31.2，这种选择的作用是从扫描信号中滤除第三谐波。与此类似，扫描刻度中的其他刻度标记也可沿其纵向y分成各两个这种刻度标记段，从而每个刻度标记段最后产生一个带有相应分度偏移距离+/-ΔTV3的分度轨。
各自分度轨中具有的相应分度偏移距离+/-ΔTVk可以说明从扫描信号中所要去除的确定谐波k。这些分度偏移距离总体上从下列关系式中产生：
ΔTVk＝(1/2*l/k*TPM/2) (公式1)
其中k＝2，3，5，7，...
公式(1)中正确地代入比例刻度的周期性或最终可从中推导出扫描信号周期性的比例刻度周期TPM。在上面介绍的游标系统中，扫描刻度周期TPA仅与该周期略有不同。
事实证明，实践中很多情况下完全可以将滤除不希望的谐波部分限制在特别干扰的第三和第五谐波上(k＝3，5)，特别是将第二谐波(k＝2)的滤除优选地限制在大致产生三个以120°相移的扫描信号这种情况上。
下面借助图4介绍在本发明的基础上滤除第三和第五谐波的过程。该图示出将扫描刻度侧面上的单个刻度标记40沿其纵向分成各自具有长度或高度h的四个刻度标记段41.1-41.4。与测量方向x垂直相邻，在相应的扫描板上因此具有高度h的四个分度轨，其中刻度标记具有与其额定位置确定的偏移距离ΔVn。额定位置也是通过表示单个不偏移刻度标记段41.1-41.4中心位置的线条L预先规定。
为确定单个分度轨中滤除第三和第五谐波所需的偏移距离ΔVn，借助于公式(1)首先测定k＝3和k＝5的各自分度偏移距离。这些偏移距离因此依据下列公式得出：
ΔTV3＝(1/2*1/3*TPM/2) (公式2.1)
ΔTV5＝(1/2*1/5*TPM/2) (公式2.2)
在四个分度轨中，现在将各自的刻度标记或刻度标记段41.1-41.4以图4中示出的与其额定位置的偏移距离ΔV1-ΔV4偏移设置，其中，额定位置也从预先规定的扫描刻度周期TPA中产生。在这种情况下，偏移距离ΔV1-ΔV4如图4所示从分度偏移距离ΔV3和ΔV5的线性组合中推导产生。在相邻的分度轨中，也具有不同偏移距离ΔV1-ΔV4的刻度标记或刻度标记段41.1-41.4。
单个刻度标记段或单个分度轨的高度h最好这样选择，使其能够取得尽可能短周期的滤波效果。这意味着，即使在扫描板相对于比例尺可能会莫尔条纹扭转的情况下也尽可能获得滤波效果。
在考虑前面实施例的基础上，现借助图5介绍依据本发明用于滤除谐波的另一方案。该图与前两个图类似，将单个刻度标记50分成多个分度轨，最终再次从扫描信号中去除第三和第五谐波。与上个实施例的区别是，现在是将刻度标记沿纵向分成总计九个刻度标记段51.1-51.9，各自九个分度轨具有各自的高度h。因此在相邻的y-方向上，也就是与测量方向x垂直设置高度h的九个分度轨，它们也具有与其本身的额定位置确定的偏移距离ΔVn，在该实施例中采用n＝1...9。
如上面的实施例那样，首先测定滤除第三和第五谐波的分度偏移距离(k＝3，5)。这些分度偏移距离与上面两个公式(2.1)和(22)中所列参数ΔTV3和ΔTV5相同。在九个分度轨中，各自的刻度标记或刻度标记段51.1-51.9以图5中示出的与其额定位置或线条L的偏移距离ΔV1-ΔV9偏移设置，其中，额定位置也从预先规定的扫描刻度周期TPA中产生。偏移距离ΔV1-ΔV5也如图5所示从分度偏移距离ΔTV3和ΔTV5的线性组合中推导产生。在相邻的分度轨中，具有不同偏移距离ΔV1-ΔV9的刻度标记或刻度标记段51.1-51.9。
因为对这两个所要滤波的谐波(k＝3，5)仅产生四个不同的偏移距离ΔV1-ΔV4，所以三个偏移距离ΔV2，ΔV3和ΔV4在整个长度上出现两次，而偏移距离ΔV1则出现三次。与此同时，两端上各自具有用于相应分度轨内刻度标记段51.1-51.9的相同的偏移距离ΔV1。与测量方向x垂直，因此多段设置具有不同偏移距离的分度轨。
通过分成多于上个实施例的分度轨，可以在提高对莫尔条纹扭转不敏感性的同时取得再次得到提高的滤波效果。同时通过将相同偏移的刻度标记段51.1和51.9设置在两端，在比例尺和扫描单元在刻度线方向上移动时产生不敏感性。
图4所示刻度标记的构成因此是去除第三和第五谐波所需的滤波基本单元。图5的方案体现该滤波基本单元的进一步发展，它最终相当于基本单元在y-方向上的多段设置。
图6以顶视图示出在借助图5所述思路的基础上带有扫描刻度的复合扫描板的视图。在此方面可以明显看出总共九个分度轨311.1-311.9，它们具有前面讨论过的用于滤除第三和第五谐波的偏移距离。
最后借助图7阐述依据本发明定位测量装置的另一方案，其中，该图是与用于扫描的检波元件相结合下用于滤除谐波的扫描刻度的分图。
该实施例的扫描刻度标记71，72，73各自包括也是彼此相邻设置在y-方向上的三个分度轨。仅示意示出相邻刻度标记段71.1-71.3，72.1-72.3，73.1-73.3之间单个分度轨中的偏移距离。为选择这些偏移距离，可以再次采用上述几个
实施例中所述思路。
图7中同时示出两个单个检波元件75，76方式下的一部分检波器结构与扫描部件重叠。通过在检波平面上定位周期性设置的检波器元件75，76，如所述那样对那里产生的周期性带状图案进行扫描。
特别是现在从图7的实施例中可以明显看出，选择从单个分度轨中产生的用于滤除谐波的扫描刻度的总宽度bGES，大于单个检波器元件75，76在其纵向上的长度l。通过这种措施，保证检波器元件与-该实施例中-y-方向上滤波的扫描刻度标记相对位置方面附加不敏感性，这一点例如降低安装时的调整费用。在这种情况下，单个检波器元件的长度l最好这样选择，使其长度l相当于整数的倍数(i＝1，2，3...)或者为至少取得所需的滤波效果从分度轨中产生的那些宽度bmin。在图7的实施例中，检波器元件75，76的长度l相当于两个分度轨(i＝1)产生的宽度bmin。因此在该实施中为滤除需要至少两个分度轨。
这一点类似于上述图5的实施例表明，所属的检波器元件具有相当于四个分度轨宽度bmin的长度l，因为在这种情况下，为滤除第三和第五谐波需要至少四个具有相应偏移距离的分度轨等。
通过检波器元件长度l的这种选择，确保在安装时以及在测量工作中，在相应的刻度标记与检波器元件校准方面存在一定的公差，但与此同时保证所追求的滤波效果。
不言而喻，上述大量的单项措施同样均可以与依据本发明构成的定位测量装置的该方案进行组合。
此外，在前面阐述的依据本发明原理的基础上，存在一系列其他的实施方式和结构方案。
例如在与依据图1扫描射线行程的结合下，检波器结构和扫描刻度可以作为唯一的检波器单元构成。在这种情况下，扫描刻度可以直接设置在平面的光电检波器元件上。
此外，在比例尺侧滤除的优点是，所属扫描刻度标记的长度和滤波比例刻度标记的宽度可与借助图7所述思路相类似彼此确定。所以在这种情况下为取得比例尺和扫描单元之间相应的安装公差，扫描板上刻度标记的长度必须类似于与检波器元件相结合下的思路进行选择；也就是说，一方面要小于用于滤除分度轨的总宽度，另一方面至少要这样大小，使该长度相当于至少为滤除所需的分度轨的宽度或者其整数的倍数(i＝1，2，3...)。
此外需要提及的是，依据本发明既可以构成线性的也可以构成旋转的定位测量装置。在后者的情况下，也可以使用与上面所讨论的矩形形状不同的几何形状的检波器元件。
在所使用的刻度结构方面同样存在各种各样的实施可能性。因此，这些刻度结构既可以作为振幅阵也可以作为相阵构成。
此外，在本发明的范围内还存在相应定位测量装置的其他结构方案。
Claims (13)
1.光学定位测量装置，该装置由下列部件构成：
-具有比例刻度的比例尺，带有利用比例刻度周期(TPM)周期性设置在测量方向(x)上的比例刻度标记，
-相对于比例尺可在至少一个测量方向(x)上移动的扫描单元，其中包括
-一个光源，
-至少一个周期性扫描刻度，由利用扫描刻度周期(TPA)沿测量方向(x)周期性设置的扫描刻度标记构成，其中，比例刻度周期(TPM)和扫描刻度周期(TPA)彼此不同，以及
-一个检波器结构，借助于该设置在比例尺和扫描单元相对移动的情况下，测定至少一个周期性扫描信号，该信号从利用带状图案周期P周期性游标带状图案的扫描中在检波器设置的检波平面上产生，其特征在于，
比例刻度(10.1)或者扫描刻度(23.1)各自包括两个以上与测量方向(x)垂直相邻的分度轨(311.1，...311.9)，并且每个分度轨(311.1，...311.9)中的刻度标记各自具有与其额定位置确定的和不变的偏移距离(ΔVn)，其中，与偏移距离(ΔVn)相邻的分度轨(311.1，...311.9)不同，从而通过所选择的偏移距离(ΔVn)从扫描信号中滤除不希望的谐波部分。
2.按权利要求1所述的光学定位测量装置，其特征在于，扫描单元(20)单个元件的结构这样构成，使由光源(21)发射的射线首先击中比例刻度(10.1)，然后到达扫描刻度(23.1)，从而根据利用扫描刻度(23.1)光束的交替作用，在检波平面上产生周期性游标带状图案。
3.按权利要求1所述的光学定位测量装置，其特征在于，扫描单元(200)单个元件的结构这样构成，使由光源(221)发射的射线首先击中扫描刻度(223.1)，然后到达比例刻度(100.1)，从而根据利用比例刻度(100.1)光束的交替作用，在检波平面上产生周期性游标带状图案。
4.按权利要求2或3所述的光学定位测量装置，其特征在于，检波器结构(24；224)由大量彼此相邻设置在测量方向(x)上的矩形检波元件(75，76)组成，其中，提供同相位扫描信号的那些检波元件(75，76)各自相互导电连接。
5.按权利要求4所述的光学定位测量装置，其特征在于，沿测量方向(x)在所扫描的游标带状图形的带状图形周期内部始终设置三个或者四个检波元件(75，76)。
6.按前述权利要求至少之一所述的光学定位测量装置，其特征在于，具有在分度轨内各自产生的偏移距离(ΔVn)，它们从至少两个分度偏移距离(ΔTVk)的线性组合中产生。
7.按权利要求6所述的光学定位测量装置，其特征在于，分度偏移距离ΔTVk为滤除k次谐波依据
ΔTVk＝+/-(*1/k*TPM/2)
选择，其中k＝2，3，5，7，......
8.按权利要求6所述的光学定位测量装置，其特征在于，带有不同偏移距离(ΔVn)的分度轨与测量方向(x)垂直多倍设置。
9.按权利要求4所述的光学定位测量装置，其特征在于，选择从用于与测量方向(x)垂直滤除谐波的分度轨中产生的总宽度(bGES)大于与测量方向(x)垂直的检波元件的长度(1)。
10.按权利要求9所述的光学定位测量装置，其特征在于，检波元件的长度(1)相当于为至少取得所要求的滤波效果从分度轨或者从其整数的倍数(i＝1，2...)中产生的那些宽度(bmin)。
11.按权利要求1所述的光学定位测量装置，其特征在于，比例刻度包括多个分度轨，它们为滤除谐波具有刻度标记的适当偏移距离，其中，扫描刻度标记的长度小于比例尺上用于滤波的分度轨的总宽度。
12.按权利要求11所述的光学定位测量装置，其特征在于，在比例刻度上，扫描刻度标记的长度相当于至少为取得所要求的滤波效果所需的分度轨的宽度或者其整数的倍数(i＝1，2，3...)。
13.按权利要求2所述的光学定位测量装置，其特征在于，检波器结构和扫描刻度以唯一检波器单元的方式构成，在该检波器单元中，扫描刻度直接设置在平面的光电检波元件上。
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