CN1614374A - 压力传感器 - Google Patents

Abstract

本发明的课题在于压力传感器主体和连接件的连接部分的气密性的进一步提高。压力传感器包括具有压力送入孔(12)的外壳(10)；压力检测元件(22)，该压力检测元件(22)由具有压电电阻效应的半导体元件形成；保持件(30)，该保持件(30)固定上述压力检测元件(22)；连接件壳体(70)，该压力传感器由将上述压力检测元件(22)和上述保持件(30)以气密方式接合进而形成内部空间(72)的压力传感器主体构成，在保持件(30)上，设置有具有电极焊盘的电路衬底(40)，设置于上述连接件壳体(70)上的连接件(80)与上述电极焊盘通过具有弹性的、富有导电性的弹簧状体(50)而连接。上述保持件(30)通过导向架(90)和密封件(95)，支承于上述外壳(10)上。

Description

压力传感器

技术领域

本发明涉及压力传感器，本发明特别是涉及具有接纳压力检测元件的外壳与连接件壳体的压力传感器，是提高气密性的压力传感器的结构。

背景技术

作为过去的压力传感器，人们提出有各种类型，比如，包括有专利文献1所示的那样的压力传感器。在通过图9所示的剖视图对该压力传感器进行描述时，该压力传感器101由外壳110、传感元件120、保持件130、电路衬底140、弹簧状体150、连接件壳体170和连接件180构成，在该压力传感器101中，在由上述外壳110和连接件壳体170形成的容器内部，接纳有由传感元件120、保持件130形成的压力传感器主体。

在上述外壳110的底部，具有送入流体的流体送入孔112，在该流体送入孔112的顶部，形成有圆形的外壳底部113，该外壳110包括环状的槽114；周壁116，该周壁116从该槽114的外周直立；卡扣部117，该卡扣部117以较小厚度设置于周壁116的顶端部；外壳内部空间118，该外壳内部空间118在主体的内侧，由外壳底部113和周壁116形成，外壳110的流体送入孔112和外壳内部空间118连通。

另外，上述传感元件120具有检测压力的功能，其由头121、压力检测元件122和台座123构成，该压力检测元件122由半导体元件形成，在该半导体元件中，按照在半导体衬底的顶面，形成桥的方式设置多个具有压电电阻效应的电阻，该台座123以气密的方式固定于头121的顶面上，在头121和台座123的中间部设置有到达压力检测元件122的底部的传感元件开口124。

在上述压力检测元件122中，半导体衬底的平面形状呈矩形状，中间部以较小的厚度形成，形成伴随压力而变形的隔膜部，在上述隔膜部的顶面，呈桥状而形成多个压电电阻元件，由此，形成作为应变仪的压力检测部，并且在周边部的厚度较大部上，设置有采用集成电路制造技术而制造的放大电路、运算处理电路等的电路。在保持件130的中心部，设置有保持件开口132，在保持件130的顶面134上，电路衬底140通过粘接剂等而固定。另外，电路衬底140具有电路衬底开口141，该电路衬底开口141呈圆盘状，传感元件120的压力检测元件122位于该电路衬底开口141的中间处。

此外，弹簧状体150的一端151固定于保持件180的底端181上，另一端侧向下方折曲，形成弯曲部153。连接件壳体170为以插入方式固定连接件180的树脂制壳体，在其顶部形成插座部171。另外，密封环195插入作为密封环接纳用槽的槽114中，防止来自外部的水、湿气等侵入连接件壳体170的内部空间172中。密封环196嵌于外壳的螺纹部119的顶部，其与管之间保持气密性。

按照上述公知技术，连接压力传感器主体和连接件的部分的结构简单，装配工时减少，制造成本降低，但是，为了保持压力传感器的耐久性与灵敏度，要求气密性的进一步提高。

专利文献1：JP特开2002-333377号文献

发明内容

于是，本发明是针对这样的问题而提出的，本发明的目的在于进一步提高连接压力传感器主体和连接件的部分的气密性。

为了实现上述目的，本发明采用下述的技术方案。即，

压力传感器包括具有压力送入孔的外壳；压力检测元件，该压力检测元件由具有压电电阻效应的半导体元件形成；保持件，该保持件固定上述压力检测元件；连接件壳体，该压力传感器由将上述压力检测元件和上述保持件以气密方式接合而形成内部空间的压力传感器主体构成，在上述压力传感器主体的保持件上设置有具有电极焊盘的电路衬底，设置于上述连接件壳体上的连接件与上述电极焊盘通过具有弹性的、富有导电性的弹簧状体而连接，其特征在于上述保持件通过导向架和密封件支承于上述外壳上。

本发明的压力传感器，其特征还在于上述保持件的侧面通过密封环，设置于上述连接件壳体的内部。

本发明的压力传感器，其特征还在于上述导向架由直立部和水平部形成，其截面形状呈L状，上述直立部介于压力传感器主体和连接件壳体之间，上述水平部以接触方式支承于保持件上。

本发明的压力传感器，其特征还在于上述导向架的截面形状呈方形状，其顶面以接触方式支承于上述保持件上。

本发明的压力传感器，其特征还在于上述保持件中的与导向架的接触部在外周侧延伸，形成下支承部。

本发明的压力传感器，其特征还在于在使上述连接件从上述连接件外壳突出时，在该突出部上设置有防水填充件。

本发明的压力传感器，其特征在于按照与通过上述连接件壳体的内面的间隙到达上述内部空间的场合相比较，流体以流出到上述连接件壳体的外侧的方式构成。

本发明的压力传感器，其特征还在于规定深度的排放槽按照在内外贯通的方式形成于上述导向架的底面的一部分上。

本发明的压力传感器，其特征还在于上述连接件壳体具有形成于内部的外气送入孔，在上述外气送入孔的端部安装有片部件，在该片部件中，沿厚度方向具有连续多孔结构的空孔。

本发明的压力传感器，其特征还在于上述片部件为圆形，呈片状。

本发明的压力传感器，其特征还在于上述片部件设置于上述外气送入孔的入口侧。

本发明的压力传感器，其特征还在于上述片部件设置于上述外气送入孔的出口侧。

本发明的压力传感器，其特征还在于上述片部件的材料为聚四氟乙烯树脂。

本发明通过上述的方案，实现下述的效果。即

按照本发明，保持件通过导向架和密封环支承于外壳上，由此，压力传感器的压力传感器主体内的气密性提高，并且压力传感器整体的结构稳定。

另外，按照本发明，不但具有上述效果，而且，保持件的侧面通过密封环，设置于连接件壳体内部，可期待进一步的气密效果。

此外，按照本发明，不但具有上述效果，并且导向架由直立部和水平部形成，截面形状呈L形，直立部介于压力传感器主体和连接件壳体之间，上述水平部以接触的方式支承于保持件上，由此，可期待进一步的气密效果，以及外壳与连接件壳体之间的接合状态的稳定。

还有，按照本发明，不但具有上述的压力传感器的效果，导向架的截面形状呈方形状，其顶面以接触的方式支承于上述保持件上，由此，可实现导向架的简化，整体形状简单。

再有，按照本发明，不但具有上述的压力传感器的效果，而且在保持件中的与导向架的接触部，按照在外周侧延伸的方式，形成支承部，由此，实现导向架的保持件支承的姿势的稳定。

另外，按照本发明，不但具有上述的压力传感器的效果，而且在使连接件从连接件壳体突出时，在该突出部上设置防水填充件，由此，该部分的止水性(防水性)提高。

此外，按照本发明，不但具有上述的压力传感器的效果，而且流体到达内部空间的可能性极低，内部空间可进一步稳定，并且高气密状态可连续地保持。

还有，按照本发明，不但具有上述的压力传感器的效果，而且可实现下述的压力传感器，其中，能将大气送入内部空间的同时，防水性优良。

附图说明

图1为本发明的第1实施例的压力传感器的纵向剖视图；

图2为本发明的第2实施例的压力传感器的纵向剖视图；

图3为本发明的第3实施例的压力传感器的纵向剖视图；

图4为本发明的第4实施例的压力传感器的纵向剖视图；

图5(A)为该第4实施例的主要部分的底视图，图5(B)为部分侧视图；

图6为本发明的第5实施例的压力传感器的纵向剖视图；

图7为图6的部分放大图；

图8为本发明的第6实施例的压力传感器的纵向剖视图；

图9为已有技术的压力传感器的纵向剖视图。

具体实施方式

下面通过附图，对本发明的第1实施例～第3实施例进行描述，在说明书中采用上、下、左、右而表示，而在实际的实施例中，不必限于该位置关系。

第1实施例

图1为本发明的第1实施例的纵向剖视图，下面根据附图，进行描述。

本发明的第1实施例的压力传感器1由外壳10、传感元件20、保持件30、电路衬底40、弹簧状体50、连接件壳体70和连接件80构成。在该压力传感器1中，在由外壳10和连接件壳体70形成的容器内部，接纳有由传感元件20、保持件30形成的压力传感器主体。

外壳10比如采用铝构成，其基本呈圆筒状。在该外壳10的底部，具有送入流体的流体送入孔12，在该流体送入孔的顶部，形成圆形的外壳底部13，该外壳10包括槽14，该槽14由该外壳底部13的周边部形成的环状凹部构成；周壁16，该周壁16从该槽14的外周直立；卡扣部17，该卡扣部17以较小的厚度，形成于该周壁16的顶端部；外壳内部空间18，该外壳内部空间18在外壳10的内侧，由外壳底部13和周壁16形成。

另外，在上述环状的槽14用作后述的密封环95和导向架90的座部(插入部)。此外，外壳10的流体送入孔12和外壳内部空间18相互连通。另外，在外壳10的流体送入孔12的外周，形成有螺纹部19，在该螺纹部19，嵌入测定压力侧的管(图中未示出)，外壳10以气密方式固定于管上。

传感元件20具有检测压力的功能，其由金属制的头21，压力检测元件22与硅酮制的台座23构成，该压力检测元件22由半导体元件形成，在该半导体元件中，按照在半导体衬底的顶面形成桥的方式设置多个具有压电电阻效应的电阻，该台座23以气密的方式固定于头21的顶面上，在头21和台座23的中间部，设置有到达压力检测元件22的底部的传感元件开口24。在上述头21的顶面21a上，以气密方式放置而固定上述台座23，按照设置有电阻的面形成顶面的方式，压力检测元件22放置而固定于台座23的顶面上。在上述头21的底部周围，设置有凸缘部21b。

在上述压力检测元件22中，在从平面看呈矩形状的半导体衬底上，中间部以较小的厚度形成，形成伴随压力而变形的隔膜部，在上述隔膜部的顶面，呈桥状而形成多个压电电阻元件，由此，形成作为应变仪的压力检测部，并且在周边部的厚度较大部上，设置有采用集成电路制造技术而制造的放大电路、运算处理电路等的电路。另外，设置于压力检测元件22的顶面上的焊盘部(无标号)与设置于电路衬底40的顶面上的焊盘部通过焊线25连接。比如，台座23的平面形状为矩形，在中心处，设置有传感元件开口24。另外，硅酮制的台座23中的与头21的接合面上，通过溅射金等方式设置有镀金层(无标号)。

上述头21采用比如，42合金等的铁—镍系合金构成，其平面形状为圆形，在中心处设置有传感元件开口24。在头21中的与台座23的接合面上，设置有镀金层。该台座23和头21的传感元件开口24分别设置于同一轴上，与外壳10的流体送入孔12连通，以将压力流体送入内部空间72中的方式构成。另外，压力检测元件22的底面以气密方式焊接而固定于台座23的顶面上，在台座23的底面和头21的顶面，设置有金—硅的原料材料，进行加热压接(scrub)，由此，形成金—硅合金，以气密方式焊接而固定。

保持件30与连接件外壳70一起形成内部空间72，保持件30比如，采用不锈钢而形成，在中心部，设置有保持件开口32，在周边的一部分上设置有定位用缺口部33，该定位用缺口部33实现连接件壳体的定位。另外，在保持件30的保持件开口32的底部，形成较大直径开口部32a，在该较大直径开口部32a的顶面上，呈环状形成向下方突出的突条部36。另外，在保持件30的外周侧的底面31上，形成有缺口部30a，并且在该缺口部30a上，嵌合而设置有密封环97。另外，在上述缺口部30a和定位用缺口部33之间，以规定角度形成被按压部35。

在上述保持件30的顶面34，通过粘接剂等而固定有电路衬底40。该电路衬底40比如，由通过铝衬底构成的绝缘性的印刷电路衬底形成，在中间处设置有传感元件20的压力检测元件22所在的电路衬底开口41，该电路衬底开口41基本呈圆盘状，在其表面上，设置有将信号输出到外部的由金焊盘形成的电极焊盘(无标号)、由连接有来自压力检测元件22的焊线25的金焊盘形成的焊区部(无标号)、对构成来自压力检测信号22的电信号进行放大、进行运算处理且将其输出的电路的印刷布线和电路元件。

在用作设置于电路衬底40上的输入输出端子的电极焊盘与连接件80连接，连接件80与弹簧状体50连接，电极焊盘对应于信号线、电源供给线、接地线而设置。上述弹簧状体50比如，由磷青铜等的电传导性弹性体形成，其一端51通过点焊等方式固定于保持件80的底部81上，另一端侧向下方折曲，形成折曲部52，在其前端部形成弯曲部53。该弯曲部53中的与电极焊盘接触的面上，局部地进行镀金处理。弹簧状体50中的从端部51到折曲部52的部分支承于连接件外壳70的底面74上，该弹簧状体50按照在将连接件壳体70紧固于外壳10上时，将弯曲部53压靠于电极焊盘上方式作用。

连接件壳体70为以插入连接件80的方式固定的树脂制壳体，其包括设置于顶部的插入部71；连接件壳体的内部空间72，该内部空间用作设置于该插入部71的下方的参照用空间；顶部周壁73，该顶部周壁73向下方垂下；该顶部周壁73的底面74；底部周壁75，该底部周壁75向顶部周壁73的下方垂下；被卡扣部76，该被卡扣部76设置于底部周壁75的外侧上方；定位部77，该定位部77设置于底部周壁75的内面上；导向架接触部78，该导向架接触部78由底部周壁75的底部的厚度较小部分形成；连接件插入孔79，该连接件插入孔79用于以穿过方式保持连接件80，在该连接件插入孔79中，按照从下方插入的方式固定连接件80。

另外，通过改变上述连接件外壳70的形状，可应对各种不同的形状的连接件。另外，连接件80用于向电源线和接地线进行供电，采用接地线和信号线，以便将传感元件20的输出信号输出到外部。

此外，在底部周壁75的底部，形成有导向架接触部78，在其外周，形成有外周较小直径部70a，在该外周较小直径部70a上嵌有后述的导向架90的直立部90a。另外，该导向架接触部78的底部与上述导向架90的水平部90b的顶面接触，另外，在构成连接件插入孔79的顶部外周的连接件壳体70中，以规定的深度，形成有填充用凹部79a，在设置连接件80后，填充有由粘接剂形成的防水用的防水填充件(比如，硅酮)91，具有防止雨水等侵入的效果。

在上述环状槽14的内部，按照与上述周壁16的内壁内接的方式，嵌设有环状的、截面呈L形的导向架90，该导向架90的直立部90a设置于上述外周较小直径部70a的外面，另外，在上述导向架90的水平部90b的顶面，在缺口部30a的内部，设置有密封环97，另外，在水平部90b的内周部，在环状槽14的内部设置有密封环95。该密封环95防止来自外部的水、湿气等侵入连接件壳体70的内部空间72的情况。另外，密封环96嵌于外壳10的螺纹部19的顶部，其与管之间保持气密性。

下面对采用这些组成部件，组装压力传感器1的步骤进行描述。

(步骤1)

首先，将压力检测元件22和台座23的叠层体固定于头21上而装配的传感元件20，从下方插入保持件30的保持件开口32中，使头21的凸缘部21a的顶面与保持件底面31的突条部36接触，然后，压靠环状的凸出电极，头21以气密方式焊接而固定于保持件底面31的突条部36上。另外，密封环97以嵌合方式安装于保持件30的外周部底部的缺口部30a。

(步骤2)

接着，在采用粘接剂，将电路衬底40固定于保持件30的顶面34上后，采用由金丝形成的焊线25，将压力检测元件22的焊区部与电路衬底40的焊区部连接。在外壳10的外壳内部空间18的环状槽14的内部，设置导向架90和密封环95，然后，放置由传感元件20和保持件30与电路衬底40形成的压力传感器装配件。

(步骤3)

然后，在连接件壳体70的连接件插入孔79中，插入在底端部81固定有弹簧状体50的连接件80，然后，在设置于连接件壳体70的顶部上的填充用凹部79a中，填充硅酮等的防水填充件91，实现密封，然后，组装连接件壳体70。

(步骤4)

之后，在固定于连接件壳体70上的端子上，按照位于电路衬底40的电极焊盘上的方式，将固定于连接件80上的弹簧状体50的弯曲部53定位，然后，将上述连接件壳体70插入到外壳10的内部空间18中。此时，导向架接触部78以插入方式嵌于内侧的被按压部35的端缘和密封环97与外侧的直立部90a之间，将该导向架接触部78插入至与水平部90b接触，在插入结束的阶段，将外壳10的直立部(周壁)16的顶端的卡扣部17卡扣于连接件壳体70的被卡扣部76上，将连接件壳体70固定于外壳10上。

通过以上的步骤，装配连接件80和电极焊盘实现电连接的压力传感器1。

按照本发明，在将压力传感器装配件定位于外壳10的内部，然后，从顶部将连接件外壳70盖上，将外壳的卡扣部17卡扣，由此，可容易制造以气密方式构成流体送入空间的表压的压力传感器。特别是，保持件30从下方通过水平部90b和密封环95稳定地支承而密封，通过底部周壁75的台阶部，从上方按压被按压部35对其进行支承，另外，从两侧由定位部77和导向架接触部78的内周面对其支承，由此，不仅可抑制保持件30的歪倒(flooring)，而且通过密封环95、导向架90、密封环97等，加倍等对其进行密封，由此，稳定地保持高气密状态，可连续地保持内部空间72内的高气密性。

第2实施例

下面对本发明的第2实施例进行描述。图2为第2实施例的纵向剖视图。在对本发明的第2实施例进行描述时，在图2中，与图1所示的第1实施例相同的组成部分采用同一标号，省略对其的描述。

在第2实施例中，导向架90’的截面呈方形(于是，不象第1实施例那样，具有直立部90a)。另外，上述导向架90’的外周部以接触方式支承于连接件外壳70的底部周壁75的内壁上。此外，该导向架90’的顶面以接触方式支承于保持件30的底面31上。

第2实施例通过上述的方案形成，不但具有第1实施例的效果，而且还具有导向架90’的结构简单的效果。

第3实施例

下面对本发明的第3实施例进行描述。图3为第3实施例的纵向剖视图。以下对本发明的第3实施例进行描述时，在图3中，与图1所示的第1实施例相同的组成部分或与图2所示的第2实施例相同的组成部分采用同一标号，省略对其的描述。

在第3实施例中，导向架90’的截面与第2实施例相同，呈方形，另外，与第2实施例相同，上述导向架90’的外周部以接触方式支承于连接件外壳70的底部周壁75的内壁上。此外，该导向架90’的顶面以较宽的范围与保持件30‘的底面31接触，支承该保持件30’。

于是，在第3实施例中，通过上述方案，不但具有第2实施例的效果，而且保持件30’的支承更加稳定。

第4实施例

下面对本发明的第4实施例进行描述。图4为第4实施例的纵向剖视图，图5(A)为该第4实施例的主要部分的底视图，图5(B)为部分侧视图。在对本发明的第4实施例进行描述时，在图4中，与图1所示的第1实施例相同的组成部分或与图2所示的第2实施例相同的组成部分采用同一标号，省略对其的描述。

第4实施例的特征在于在导向架90”的环状的底面的一部分，象图5(A)和图5(B)所示的那样，规定深度的排放槽90”c按照沿放射线方向，在内外贯通的方式形成。通过该方案，即使在流体送入孔(压力送入孔)12侧的高压的流体通过导向架90”的周部，到达连接件壳体70的底部周壁75的情况下，与流体通过底部周壁75的内面的间隙到达内部空间72的场合相比较，该流体通过上述流动阻力小的排放槽90”c，流到连接件壳体70的外侧，由此，没有流体到达内部空间72的可能性。

在第4实施例中，排放槽90”c为一个槽，重要的是与通过底部周壁75的内面的间隙到达内部空间72的场合相比较，可具有流出到连接件壳体70的外侧的机构，于是，显然，也可代替槽而采用其它的结构。

另外，第4实施例是针对用于第1实施例的导向架90的场合而描述的，但是，也可用于第2实施例或第3实施例的导向架90’。

第5实施例

另外，对于本发明的压力传感器，上述各实施例可按照将大气送入内部空间72的方式构成。图6为送入大气的结构的实施例的压力传感器1的纵向剖视图，其表示在图1所示的实施例中，具有送入大气的大气送入孔200的结构。在图6中，与图1的不同点在于在连接件壳体70中，形成大气送入孔200的结构。另外，在第5实施例的结构中，与第1实施例相同或等同的部分，采用与图6相同的标号，省略对其的描述。

在图6中，大气送入孔200在连接件壳体70中，从外部朝向内部空间72而形成，其一端(在图6中，为顶端)为入口侧201，与外部连通，另一端的出口侧202与内部空间72连通。另外，在入口侧201的端部，沿厚度方向，具有连续多孔结构的圆形的片状的片部件203安装于大气侧，即外侧。

该片部件203比如，采用ジャパンゴァテックス株式会社的注册商标名GORE-TEXR的材料而形成，其材质采用聚四氟乙烯(PTFE)。

图7为表示其安装状态的部分放大图，在连接件壳体70的表面形成凹部204，在该凹部204安装有片部件203。通过该安装，片部件203中的与外气送入孔200相对应的部分(直径φi)形成外气送入部203A，通过该部分将外气送入内部空间72，上述外气送入部203A的周边部分203B(直径的长度φ2)通过加热而熔接于连接件壳体70上，固定于连接件壳体70上。另外，显然，片部件203的安装不限于外侧，也可在连接件壳体70内部，即，内侧形成凹部。另外，上述片部件203顺利地通气，并且拒水的性质(拒水性)较强，并且具有防水性，即使在水分从大气中，附着于表面上的情况下，水分仍不侵入传感器的内部空间72。

按照上述第5实施例，可实现下述的压力传感器，其可确保通气性，将大气送入内部空间72，并且具有防水性。

第6实施例

下面对图8所示的第6实施例进行描述。图8为表示上述片部件203安装于形成大气送入孔200的另一端的出口侧202，即，内部空间72的内部的结构的第6实施例的纵向剖视图。在第6实施例中，与图1所示的结构相同或等同的成部分，采用与图8相同的标号，省略对其的描述。

在该实施例中，在连接件壳体70的内部空间72侧的表面形成凹部205，在该凹部205的内部安装圆形的片部件203。上述安装与图6、图7所示的实施例相同，以加热压接的方式将外气送入部203A的周边部分203B固定。

通过上述的实施例，与图6、图7所示的实施例相同，可实现下述的压力传感器，其中，在片部件203中，可确保通气性，将大气顺利地送入内部空间72，并且实现防水。另外，第5、第6实施例的片部件203的加热压接通过焦耳热而发热，进行熔化压接、实现接合。

Claims (13)

1.一种压力传感器，该压力传感器包括具有压力送入孔的外壳；压力检测元件，该压力检测元件由具有压电电阻效应的半导体元件形成；保持件，该保持件固定上述压力检测元件；连接件壳体，该压力传感器由将上述压力检测元件和上述保持件以气密方式接合而形成内部空间的压力传感器主体构成，在上述压力传感器主体的上述保持件上设置有具有电极焊盘的电路衬底，设置于上述连接件壳体上的连接件与上述电极焊盘通过具有弹性的富有导电性的弹簧状体而连接，其特征在于上述保持件通过导向架和密封件支承于上述外壳上。

2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于上述保持件的侧面通过密封环，设置于上述连接件壳体的内部。

3.根据权利要求1或2所述的压力传感器，其特征在于上述导向架由直立部和水平部形成，其截面形状呈L状，上述直立部介于压力传感器主体和连接件壳体之间，上述水平部以接触方式支承于保持件上。

4.根据权利要求1或2所述的压力传感器，其特征在于上述导向架的截面形状呈方形状，其顶面以接触方式支承于上述保持件上。

5.根据权利要求4所述的压力传感器，其特征在于上述保持件中的与导向架的接触部在外周侧延伸，形成下支承部。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的压力传感器，其特征在于在使上述连接件从上述连接件外壳突出时，在该突出部上设置有防水填充件。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的压力传感器，其特征在于按照与通过上述连接件壳体的内面的间隙到达内部空间的场合相比较，流体以流出到上述连接件壳体的外侧的方式构成。

8.根据权利要求7所述的压力传感器，其特征在于规定深度的排放槽按照在内外贯通的方式形成于上述导向架的底面的一部分上。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的压力传感器，其特征在于上述连接件壳体具有形成于内部的外气送入孔，在上述外气送入孔的端部安装有片部件，在该片部件中，沿厚度方向具有连续多孔结构的空孔。

10.根据权利要求9所述的压力传感器，其特征在于上述片部件为圆形，呈片状。

11.根据权利要求9或10所述的压力传感器，其特征在于上述片部件设置于上述外气送入孔的入口侧。

12.根据权利要求9或10所述的压力传感器，其特征在于上述片部件设置于上述外气送入孔的出口侧。

13.根据权利要求10～12中任一项所述的压力传感器，其特征在于上述片部件的材料为聚四氟乙烯树脂。

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