CN1604468A

CN1604468A - 使用压电材料的滤波器

Info

Publication number: CN1604468A
Application number: CNA2004100806832A
Authority: CN
Inventors: 和田刚一; 市川聪; 和知宽忠; 竹崎彻; 大浦毅; 田中敏文; 折户悟士
Original assignee: Fujitsu Media Devices Ltd
Current assignee: Taiyo Yuden Co Ltd
Priority date: 2003-09-29
Filing date: 2004-09-29
Publication date: 2005-04-06
Anticipated expiration: 2024-09-29
Also published as: SG110188A1; CN100495911C; JP4283076B2; JP2005109762A; US7154360B2; US20050093660A1; KR20050031388A; KR100693988B1

Abstract

使用压电材料的滤波器。一种滤波器，其包括压电基板和形成在所述压电基板上的多个叉指式换能器。所述多个叉指式换能器中的至少一个具有经权度处理的主电极指图案。具有所述主电极指图案的所述叉指式换能器还具有与所述主电极指图案并联连接的辅助电极指图案，并且所述辅助电极指图案产生表面声波，该表面声波抵消由在所述主电极指图案中产生的漏电场导致的表面声波。

Description

使用压电材料的滤波器

技术领域

本发明总体上涉及一种使用压电材料的滤波器，更具体地，涉及一种包括形成在压电基板上的多个叉指式换能器(IDT)的滤波器。

背景技术

近年来，形成有多个表面声波器件(各在压电基板具有多个叉指式换能器)的多种滤波器已被用作为频率范围为30MHz至400MHz的电视系统的带通滤波器，以及用作为频率范围为800MHz或1-9GHz的便携电话设备的RF滤波器。IDT具有一对梳状电极。每一个梳状电极包括一汇流条和多个电极指。各个电极指的一端与该汇流条相连，而各个电极指的另一端开放。将该对梳状电极设置为使得该对梳状电极之一的多个电极指以预定间隔与该对梳状电极中的另一个的多个电极指相邻或者交叠。当向这对梳状电极施加AC电压时，会产生表面声波。该表面声波具有频率特性。利用该频率特性，可以实现具有期望频率特性的滤波器。

图1表示利用表面声波的传统滤波器。在日本专利申请公报No.10-41778中公开了与图1中所示的滤波器相同类型的滤波器。图1中所示的滤波器包括第一IDT 10、地电极20、以及第二IDT 30。第一IDT 10、地电极20、以及第二IDT 30形成在一压电基板上，并且沿表面声波传播方向彼此相邻。地电极20插入在第一IDT 10和第二IDT 30之间，并且用作为屏蔽电极(shield electrode)。第一IDT 10用作为输入电极(或者输出电极)，而第二IDT 30用作为输出电极(或输入电极)。地电极20防止IDT 10和IDT 30之间的电磁耦合。而且，倾斜地设置地电极20，从而可以防止由IDT 10(或IDT 30)产生的表面声波被反射并返回到IDT10(或IDT 30)。

IDT 10具有一对梳状电极10a和10b。梳状电极10a具有汇流条12a和多个电极指14a。同样地，梳状电极10b具有汇流条12b和多个电极指14b。各个电极指14a的开放端与各个对应的电极指14b的开放端相对。相邻电极指14a和14b的交叠部分(电极指交叠部分)、或者彼此面对的电极指部分用于激发表面声波。在图1所示的结构中，将由电极指14a和14b所形成的电极指图案进行权度处理(weighted)。更具体地，通过切趾法(apodization)对图1中所示的电极指进行权度处理。在切趾电极指图案中，电极指交叠部分的宽度(以下将该宽度称为孔径长度)沿表面声波传播方向变化。在IDT 10的任一端部，孔径长度相对较小。通常将这些部分称为微小交叠部分。IDT 10在中心区域的孔径长度较大。所述孔径长度与激发强度成正比。因此，在IDT 10中心的表面声波的强度高于在IDT 10任一端部区域的表面声波的强度。通过调整切趾权度可以改变频率特性。

IDT 30还包括一对梳状电极，但是没有对这些梳状电极进行权度处理。因此，在IDT 30中的孔径长度均匀。将这种类型的IDT称为普通IDT。

具有上述结构的滤波器用作为带通滤波器。

然而，图1所示并且在日本专利申请公报No.10-41778中所公开的滤波器不能够充分地衰减阻带中的频率分量。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种使用压电材料的滤波器，其中消除了上述缺点。

本发明的更具体的目的在于提供一种表现出经改善的阻带特性的滤波器。

通过一种滤波器来实现本发明的上述目的，该滤波器包括：压电基板；形成在该压电基板上的多个叉指式换能器(IDT)，对具有主电极指图案的这些IDT中的至少一个进行权度处理，并且这些IDT中的至少一个还具有辅助电极指图案，该辅助电极指图案与主电极指图案并联连接，并且产生表面声波，该表面声波抵消由主电极指图案中产生的漏电场所导致的表面声波。

附图说明

当结合附图阅读以下详细说明时，本发明的其他目的、特征和优点将变得更加明了，在附图中：

图1表示传统滤波器；

图2是表示孔径长度和激发强度之间关系的曲线图；

图3表示在IDT中产生的漏电场；

图4表示本发明的原理；

图5表示根据本发明第一实施例的滤波器；

图6表示辅助电极指图案的示例；

图7表示图5所示的滤波器的一种改进；

图8表示根据本发明第二实施例的滤波器；

图9表示根据本发明第三实施例的滤波器；

图10表示根据本发明第四实施例的滤波器；

图11表示根据本发明第五实施例的滤波器；

图12表示辅助电极指图案的另一示例；

图13表示根据本发明第六实施例的滤波器；

图14表示根据本发明第七实施例的滤波器；

图15表示根据本发明第八实施例的滤波器；

图16表示根据本发明第九实施例的滤波器；

图17表示根据本发明第十实施例的滤波器；

图18是表示图1所示滤波器和图5所示滤波器的频率特性的曲线图。

具体实施方式

发明人对图1所示的滤波器不能够充分衰减阻带中的频率分量的原因进行了研究，并且提出如下建议。

发明人分析了孔径长度和激发强度之间的关系。图2的曲线示出了分析结果。在图2中，水平轴表示孔径长度(λ：λ表示滤波器的通带中的表面声波的波长)，而垂直轴表示归一化激发强度。传统地，认为电极指交叠部分激发表面声波并且孔径长度与激发强度成正比(如虚线所示)，而在孔径长度为0时不发生激发。实际上，当孔径长度为0.25λ或者更大时可以观测到该正比关系，但是在孔径长度为0.25λ或更小时，激发强度如实线所示变化，并且即使在孔径长度为0的情况下也产生激发，如图2所示。鉴于此，发明人认为，除了该电极指交叠部分以外还存在其它表面声波激发源。更具体地说，发明人认为，在电极指的端部产生的漏电场激发了表面声波。

图3表示在电极指的端部产生的电场。在图3中，实线表示在电极指交叠部分产生的电场分量，并且在设计阶段对其进行了考虑。虚线表示漏电场分量。该漏电场分量是在没有形成实际的电极指交叠部分的两个电极指之间的间隙区域产生的。该漏电场分量包括：从正电位电极指到与该正电位电极指相对的负电位电极指产生的电场分量；以及从正电位电极指到与该正电位电极指相邻的负电位电极指产生的电场分量。尤其在如图1所示的对电极指图案进行权度处理的情况下，因为由漏电场导致的激发而使阻带特性劣化，所以不能忽略该激发。

基于上述观测，发明人开发了一种结构，该结构产生表面声波以抵消或者消除由在图1所示的IDT 10中产生的漏电场激发的表面声波。图4表示本发明的原理。图4所示的滤波器包括形成在一压电基板上的IDT100和IDT 130。在IDT 100和IDT 130之间形成图1中所示的地电极20，但是为了简化附图而未在图4中示出该地电极20。IDT 100包括相当于图1中所示IDT 10的主电极指图案110以及由本发明新引入的辅助电极指图案120。该辅助电极指图案120与主电极指图案110并联电连接，并且产生表面声波以抵消在主电极指图案110中产生的漏电场波。IDT 100包括三个汇流条112a、112b以及112c。在主电极指图案110和辅助电极指图案120之间共享汇流条112b。可以认为图4所示的结构具有包括主电极指图案100以及汇流条112a和112b的IDT、与该IDT并联并且包括辅助电极指图案120以及汇流条112b和112c的另一IDT。将汇流条112b设计为具有地电位(作为基准电位)，并且对汇流条112a和112c施加相同的正(或负)AC电压。

在表示相同时域响应(time-domain response)的位置中，由主电极指图案110中产生的漏电场导致激发A，而由在辅助电极指图案120中产生的漏电场(其具有与导致激发A的漏电场相反的相位)导致激发A′。表示相同时域响应的位置位于与表面声波传播方面垂直的线上。优选地，由漏电场导致的激发A与由与该导致激发A的漏电场的相位相反的漏电场所导致的激发A′应该具有相同的强度。更具体地，在主电极指图案110中，形成多个电极指交叠部分，以获得所期望的特性。通过该多个电极指交叠部分之间的电位差来产生由实线箭头表示的电场，并且在这些间隙中产生由虚线表示的漏电场。在辅助电极指图案120中，如图4所示，仅存在微小的电极指交叠部分。因此，在该微小电极指交叠部分中不产生电场，但产生了与主电极指图案110中产生的漏电场强度相同的漏电场。由于该辅助电极指图案120中的电极指交叠部分非常小，所以辅助电极图案120中的电极指比主电极指图案110中的电极指短。换言之，汇流条112b和112c之间的距离小于汇流条112a和112b之间的距离。如稍后参照图6进行的说明，辅助电极指图案120中的电极指甚至可以不彼此交叠。

在表示相同时域响应的位置中，由主电极指图案110中的激发电压所导致的电场与由辅助电极指图案120中相同的激发电压所导致的电场符号相反。沿着使得可以抵消主电极指图案110中的激发方向来激发辅助电极指图案120。因此，辅助电极指图案120与主电极指图案110的相位相反。在时刻TA输出由主电极指图案110中的漏电场A所激发的波，而在时刻TA′(与时刻TA相同)输出由辅助电极指图案120中的漏电场A′所激发的波。因此，由漏电场A激发的波与由漏电场A′激发的波彼此抵消。另一方面，由于辅助电极指图案120不具有实际的电极指交叠部分，所以没有抵消在主电极指图案110中的电极指交叠部分中导致的激发。因此，可以保持所期望的特性。

以下是对本发明的实施例的说明。

(第一实施例)

图5表示根据本发明第一实施例的滤波器的结构。图5中所示的滤波器包括压电基板50。该滤波器还包括IDT 100A、地电极20以及IDT 130，这三个元件都形成在压电基板50上。例如，IDT 100A用作为输入IDT，而IDT 130用作为输出IDT。IDT 130可以用作为输入IDT，而IDT 100A用作为输出IDT。地电极20具有与图1中所示的地电极20相同的结构。IDT 130也具有与图1中所示的IDT 30相同的结构。

IDT 100A包括主电极指图案110A和辅助电极指图案120A，二者并联电连接。主电极指图案110A具有切趾电极指图案。辅助电极指图案120A位于主电极指图案110A的一侧，并且将其设置为与整个主电极指图案110A相对应。主电极指图案110A沿表面声波传播方向的长度与辅助电极指图案120A的沿表面声波传播方向的长度基本上相等。辅助电极指图案120A中的孔径长度都为0。图6是辅助电极指图案120A的部分放大视图。从汇流条112b延伸的多个电极指与从汇流条112c延伸的多个电极指不交叠，而是一一对应地彼此面对，并且其间具有均匀的间隙。由于辅助电极指图案120A不具有电极指交叠部分，所以不会如同主电极指图案110A中的情况那样产生由于电极指交叠部分而导致的电场。由于向图5所示的端子T1和T2施加相同的AC电压，所以主电极指图案110A中产生的漏电场的相位与辅助电极指图案120A中产生的漏电场的相位相反。因此，辅助电极指图案120A中产生的漏电场波与主电极指图案110A中产生的漏电场波抵消。结果，可以将由主电极指图案110A中的电极指交叠部分产生的电场而产生的表面声波通过地电极20传送给IDT 130，而不受辅助电极指图案120A影响。因此，可以增加阻带抑制。

在图5所示的结构中，以下述方式来设计未切趾的IDT 130，该方式使得IDT 130的孔径长度基本上与主电极指图案110A和辅助电极指图案120A的总宽度(沿垂直于表面声波传播方向的总长度)相等。

压电基板50可以是由128 LiNbO₃、112 LiTaO₃、Li₂B₄O₇或石英制成的瑞利波(Rayleigh wave)滤波器，或者可以是使用SH(水平剪切)波并且由36 LiTaO₃、42 LiTaO₃、或者64 LiNbO₃制成的表面声波滤波器。

图7表示图5中所示的滤波器的一种改进。该改进滤波器的IDT 100B具有以下结构，其中通过端子T4向汇流条112b施加AC电压，并且将汇流条112a和112c设置为地电位。通过这种结构，可以实现与图4中所示的功能和效果相同的功能和效果。与图5中所示的构造相比，将辅助电极指图案120A与主电极指图案110A的位置进行了互换。然而，可以实现相同的效果。在图5所示的电极构造中，可以对汇流条112b施加AC电压，并且可以将汇流条112a和112c设置为地电位，如图7所示。这种改进的滤波器结构的其他方面与图5中所示的滤波器结构相同。通过图7中所示的结构，也可以增加阻带抑制。

(第二实施例)

图8是表示根据本发明第二实施例的滤波器。在图8中，通过与第一实施例中相同的标号来表示与第一实施例相同的部分。该滤波器的切趾IDT 100C包括两个辅助电极指图案120A和120B。辅助电极指图案120A和120B位于主电极指图案110A的两侧。将辅助电极指图案120A和120B设计为与整个主电极指图案110A相对应。辅助电极指图案120A和120B中的每一个都具有图6中所示的电极指图案。主电极指图案110A和辅助电极指图案120B通过汇流条112b并联电连接。类似地，主电极指图案110A和辅助电极指图案120A通过汇流条112a并联电连接。汇流条112a与端子T4相连，而辅助电极指图案120B的汇流条112c与端子T2相连。将辅助电极指图案120A的汇流条112d接地，并且将汇流条112b也接地。由于对端子T2和T4施加相同的AC电压，所以辅助电极指图案120A和120B沿下述方向产生表面声波，该方向使得可以抵消主电极指图案110A中所产生的漏电场波。由于存在两个辅助电极指图案，所以在辅助电极指图案120A和120B中的每一个中导致的电场激发可以小于由主电极指图案110A中产生的漏电场导致的激发。

通过上述结构，可以增大阻带抑制。

(第三实施例)

图9表示根据本发明第三实施例的滤波器。在图9中，通过与前述实施例相同的标号来表示与前述实施例相同的部分。图9中所示的结构是图8中所示结构的改进。该滤波器的切趾IDT 100D具有形成在主电极指图案110A两侧的辅助电极指图案120C和120D。辅助电极指图案120C和120D中的每一个仅与主电极指图案110A部分对应，但是辅助电极指图案120C和120D的组合覆盖整个主电极指图案110A。换句话说，辅助电极指图案120C和120D沿表面声波传播方向的总长度与主电极指图案110A沿相同方向的长度相等。辅助电极指图案120C产生下述表面声波，该表面声波抵消在主电极指图案110A的右半部分中产生的漏电场波。同样，辅助电极指图案120D产生下述表面声波，该表面声波抵消在主电极指图案110A的左半部分中产生的漏电场波。

利用上述结构，同样可以增大阻带抑制。

(第四实施例)

图10表示根据本发明第四实施例的滤波器。在图10中，采用与上述实施例中相同的标号来表示与上述实施例中相同的组件。该滤波器的切趾IDT 100E具有辅助电极指图案120E，其形成在主电极指图案110A的一侧，并且与整个主电极指图案110A相对应。该辅助电极指图案120E包括多个部分120a和多个部分120b，该多个部分120A的电极指图案与图6中所示的电极指图案相同，该多个部分120b具有多个哑(dummy)电极指。在下文中，将该多个部分120a称为漏电场波抵消部分120a，而将该多个部分120b称为哑图案部分120b。漏电场波抵消部分120a与包含在主电极指图案110A中的微小电极指交叠部分相对应。例如，该微小电极指交叠部分的孔径长度为λ/4或者更小。如先前参照图2所述，当孔径长度为λ/4或者更小时不能忽略漏电场的影响。因此，形成漏电场波抵消部分120a以与微小电极指交叠部分相对应(即，在表示与微小电极指交叠部分相同的时域响应的多个位置中形成该多个部分120a)。该微小电极指交叠部分不仅形成在主电极指图案110A的两端，而且还形成在主电极指图案110A的内部区域中。因此，根据该微小电极指交叠部分的设置形成漏电场波抵消部分120a。各个漏电场波抵消部分120a是包括激发点在内的电极指图案。将哑图案部分120b形成为与主电极指图案110A的除了微小电极指交叠部分以外的其他部分相对应。除了微小电极指交叠部分以外的其他部分的孔径长度为λ/4或者更大。设置该哑图案部分120b，以形成与主电极指图案110A中相同的表面声波传播状态。在哑图案部分120b中的各个电极指从地电位的汇流条112b向汇流条112c延伸。因此，哑图案部分120b不具有激发点。

通过这种方式，在受到由辅助电极指图案120E产生的漏电场影响的多个区域中形成了产生反相电场的漏电场波抵消部分120a(即，激发点)，使得反相电场抵消了在主电极指图案110A中产生的漏电场。利用这种结构，可以增大阻带抑制。

(第五实施例)

图11表示根据本发明第五实施例的滤波器。在图11中，采用与上述实施例相同的标号来表示与上述实施例中相同的组件。图11中所示的结构是图10中所示结构的改进。图11中所示的IDT 100F与图10中所示的IDT 100E的不同之处在于，从辅助电极指图案120E中去除了中心处的哑图案部分120b。结果，IDT 100F具有形成在主电极指图案110A的一侧并且与主电极指图案110A的两端区域相对应的辅助电极指图案120F₁和120F₂。各个辅助电极指图案120F₁和120F₂包括漏电场波抵消部分120a和哑图案部分120b。根据主电极指图案110A的结构，辅助电极指图案120F₁和/或120F₂可以不包括哑图案部分。

通过这种方式，在受到由辅助电极指图案120F₁和120F₂产生的漏电场影响的区域中形成了产生反相电场的漏电场波抵消部分120a(即激发点)，使得该反相电场抵消在主电极指图案110A中产生的漏电场。利用该结构，可以增大阻带抑制。

(第六实施例)

上述辅助电极指图案120A至120E、120F₁和120F₂分别具有孔径长度为0的电极指图案(如图6所示)，以抵消在主电极指图案110A中产生的漏电场。然而，辅助电极指图案120A至120E、以及120F₁和120F₂并不限于图6中所示的电极指图案，并且还可以是如图4中所示的包括微小电极指交叠部分的辅助电极指图案。在以下内容中，参照图12对包括微小电极指交叠部分的辅助电极指图案进行说明。

图12表示包括微小电极指交叠部分的辅助电极指图案。微小孔径长度可以是均匀的，或者是彼此不同的。在任一情况下，优选地，在辅助电极指图案中的最大孔径长度应该等于或者小于主电极指图案中的最小孔径长度、最小电极指间隔(每两个相邻电极指之间的距离)、或者最小间隙(每两个彼此面对的电极指端部之间的距离)。这里，可以使辅助电极指图案中的最大孔径长度等于或者小于主电极指图案中的最小孔径长度、最小电极指间隔以及最小间隙中的最小值。

除以上述结构以外，还可以采用具有微小电极指交叠部分的以下辅助电极指图案。辅助电极指图案120A至120E、120F₁和120F₂可以具有宽度与主电极指图案110A的微小电极指交叠部分(各具有λ/4或者更小的宽度)相同的多个电极指交叠部分。图13表示作为第六实施例的滤波器，其具有这种辅助电极指图案以替代图11中所示的辅助电极指图案120F₁和120F₂。

图13中所示滤波器的切趾IDT 100G包括两个辅助电极指图案120G₁和120G₂。这两个辅助电极指图案120G₁和120G₂设置在主电极指图案110A的一侧。这两个辅助电极指图案1206₁和120G₂在与主电极指图案110A的微小电极指交叠部分(各具有λ/4或者更小的宽度)相对应的多个位置中具有多个电极指交叠部分，并且辅助电极指图案120G₁和120G₂各自的孔径长度等于主电极指图案110A的各个对应电极指交叠部分的宽度。

通过这种方式，在受到辅助电极指图案120G₁和120G₂中产生的漏电场影响的多个区域中设置了产生反相电场的多个激发点，使得该反相电场抵消在主电极指图案110A中产生的漏电场。利用该结构，可以增加阻带抑制。

各个辅助电极指图案120A至120E、120F₁和120F₂都可以具图6和12中所示的两种图案，或者可以具有用于电极指交叠部分(各具有λ/4或者更大的宽度)的哑图案(如在第四实施例中一样)。

(第七实施例)

图14表示根据本发明第七实施例的滤波器。在图14中，采用与上述实施例相同的标号来表示与上述实施例中相同的组件。该滤波器的IDT100H具有沿主电极指图案110A的一侧形成的辅助电极指图案120H。该辅助电极指图案120H具有与主电极指图案110A的切趾结构相类似的切趾结构，但是小于主电极指图案110A的切趾结构。尽管为了方便以与图6中相同的方式示出了辅助电极指图案120H的沿表面声波传播方向的端部，但是辅助电极指图案120H的各个端部都具有与主电极指图案110A的对应微小电极指交叠部分相似并且更小的结构。由于比主电极指图案110A小，所以辅助电极指图案120H具有比主电极指图案110A更小的孔径长度。即使辅助电极指图案120H不具有上述类似和缩小的结构，辅助电极指图案120H的孔径长度也可以小于主电极指图案110A的孔径长度。

通过这种方式，使用了结构类似于并且小于主电极指图案110A的辅助电极指图案120H，以抵消在主电极指图案110A中产生的漏电场。因此，可以增大阻带抑制。

(第八实施例)

图15表示根据本发明第八实施例的滤波器。在图15中，采用与上述实施例相同的标号来表示与上述实施例相同的组件。该滤波器是图5中所示的滤波器的改进。该滤波器具有IDT 130A，该IDT 130A具有与上述实施例中的任何一个的IDT 130不同的结构。该未切趾的IDT 130A具有大于主电极指图案110A和辅助电极指图案120A的总宽度(沿垂直于表面声波传播方向的总长度)的孔径长度。当对该结构中的端子T1和T2施加AC电压时，可以成功地接收从主电极指图案110A和辅助电极指图案120A产生的表面声波。

不仅可以在第一实施例中实现该IDT 130A，而且可以在第二至第七实施例中的任一实施例中实现该IDT 130A。

(第九实施例)

图16表示根据本发明第九实施例的滤波器。在图16中，采用与上述实施例相同的标号来表示与上述实施例相同的组件。该滤波器具有IDT130B，该IDT 130B具有不同于IDT 130或130A中的任何一个的结构。该IDT 130B包括两个电极指图案140A和140B。电极指图案140A与IDT100A的主电极指图案110A相对应，而电极指图案140B与IDT 100A的辅助电极指图案120A相对应。电极指140A的孔径长度等于或者大于主电极指图案110A的孔径长度。同样，电极指图案140B的孔径长度等于或者大于辅助电极指图案120A的孔径长度。利用该结构，可以由IDT 130B成功地接收向端子T1和T2施加AC电压时从IDT 100A产生的表面声波。

不仅可以在第一实施例中实现该IDT 130B，而且可以在第二至第七实施例中的任一实施例中实现该IDT 130B。

可以认为上述实施例中的IDT 130和130A中的每一个都可以在IDT100A的主电极指图案100A和辅助电极指图案120A之间共享。

(第十实施例)

图17表示根据本发明第十实施例的滤波器。在图17中，采用与上述实施例相同的标号来表示与上述实施例相同的组件。该滤波器的IDT100I的主电极指图案110B具有未切践的结构，但通过回缩(withdrawing)电极指来进行权度处理(回缩电极结构)。IDT 100I的辅助电极指图案120I具有根据主电极指图案110B的权度的电极指图案。在表示相同时域响应的位置中，主电极指图案110B产生漏电场波，并且辅助电极指图案120I产生与由主电极指图案110B产生的漏电场波相位相反的电场波。虽然图17所示的辅助电极指图案120I具有图6中所示的结构，但是也可以具有图12中所示的具有微小电极指交叠部分的结构。

可以将图17中所示的权度处理应用于第一至第九实施例中的任一实施例。而且，可以将任意其他合适的权度处理应用于这些实施例中的每一个。

图18是表示图1中所示的传统滤波器和图5中所示的本发明的滤波器的频率特性的曲线图。在图18中，横坐标表示频率(MHz)，而纵坐标表示衰减(dB)。在该曲线图中，实线表示传统滤波器的特性，而虚线表示本发明的滤波器的特性。这些滤波器由112 LiTaO₃制成。本发明的滤波器的辅助电极指图案120A的孔径长度为0。从曲线图中可以看出，通过辅助电极指图案抵消了在主电极指图案中产生的漏电场，并且增大了阻带抑制(阻带衰减)。

如上所述，根据本发明，可以抵消漏电场，并由此可以增大滤波器的阻带抑制。

尽管在上述实施例中的每一个中都采用了固体电极，但是也可以采用诸如分段电极和DART电极(λ/8-3λ/8电极)的单向电极(SPUDT)，以实现与本发明相同的效果。压电基板并不限于上述示例，还可以有效地采用任何适当类型的基板。

利用增大的阻带抑制，可以采用根据本发明的任何滤波器作为便携式电话设备中的RF滤波器或者TV调谐器中的中频滤波器，以提高便携式电话设备或者TV调谐器的频率特性。特别地，根据本发明的滤波器可以实现阻带中的高度衰减，这在数字陆地广播中是强烈需求的。

尽管已示出并且说明了本发明的多个优选实施例，但是本领域的技术人员应该理解，可以在不违背本发明的原理和精神的情况下，对这些实施例进行改变，在权利要求及其等同物中限定了本发明的范围。

Claims

1.一种滤波器，其包括：

压电基板；和

形成在所述压电基板上的多个叉指式换能器，

所述多个叉指式换能器中的至少一个具有经权度处理的主电极指图案，并且

所述多个叉指式换能器中的所述至少一个还具有与所述主电极指图案并联连接的辅助电极指图案，并且所述辅助电极指图案产生一表面声波，该表面声波抵消了由在所述主电极指图案中产生的漏电场导致的表面声波。

2.根据权利要求1所述的滤波器，其中所述辅助电极指图案具有下述结构，该结构产生与由在所述主电极指图案中产生的漏电场导致的表面声波反相的表面声波，所述辅助电极指图案中的表面声波和所述主电极指图案中的表面声波在表示相同时域响应的多个位置中产生。

3.根据权利要求1所述的滤波器，其中与所述整个主电极指图案相对应地形成所述辅助电极指图案。

4.根据权利要求1所述的滤波器，其中对多个电极指间隙中的至少一个设置所述辅助电极指图案，其中从所述多个电极指间隙处产生了由所述主电极指图案中的漏电场导致的表面声波。

5.根据权利要求1所述的滤波器，其中对所述主电极指图案中的孔径长度为λ/4或者更小的多个区域设置所述辅助电极指图案，其中λ是在所述压电基板上传播的表面声波的波长。

6.根据权利要求1所述的滤波器，其中所述辅助电极指图案包括：

对所述主电极指图案中的孔径长度为λ/4或者更小的多个区域设置的多个激发点，其中λ是在所述压电基板上传播的表面声波的波长；以及

对所述主电极指图案中的其他区域设置的多个地电位电极指。

7.根据权利要求1所述的滤波器，其中所述辅助电极指图案包括类似于并且小于所述主电极指图案的图案。

8.根据权利要求1所述的滤波器，其中所述辅助电极指图案包括：

对所述主电极指图案中的其他区域设置的多个地电位电极指，

所述多个激发点是利用下述图案形成的，该图案类似于并且小于形成孔径长度为λ/4或者更小的多个区域的图案。

9.根据权利要求1至8中的任意一项所述的滤波器，其中所述辅助电极指图案具有多个电极指，所有这些电极指的孔径长度为0。

10.根据权利要求1至8中的任意一项所述的滤波器，其中：

所述辅助电极指图案具有彼此交叠的多个电极指；并且

所述辅助电极指图案的最大孔径长度等于或者小于所述主电极指图案中的最小孔径长度、最小电极指间隔以及最小间隙中的最小值。

11.根据权利要求1至8中的任意一项所述的滤波器，其中所述辅助电极指图案包括对所述主电极指图案中的孔径长度为λ/4或者更小的多个区域设置的多个电极指交叠部分，λ是在所述压电基板上传播的表面声波的波长，并且所述多个电极指交叠部分具有与所述多个区域中的每一个区域中的多个电极指交叠部分的孔径长度相同的孔径长度。

12.根据权利要求1所述的滤波器，其中所述辅助电极指图案包括位于沿与表面声波传播方向垂直的方向从所述主电极指图案的激发点延伸的直线上的激发点。

13.根据权利要求1所述的滤波器，其中：

所述多个叉指式换能器包括具有未经权度处理的电极指图案的叉指式换能器；并且

在所述主电极指图案和所述辅助电极指图案之间共享该叉指式换能器的所述未经权度处理的电极指图案，并且所述未经权度处理的电极指图案的孔径长度等于或者大于所述主电极指图案的孔径长度。

14.根据权利要求1所述的滤波器，其中：

所述多个叉指式换能器包括具有未经权度处理的电极指图案的叉指式换能器；

该叉指式换能器具有分别与所述主电极指图案和所述辅助电极指图案相对应的第一电极指图案和第二电极指图案；并且

所述第一电极指图案的孔径长度等于或者大于所述主电极指图案的孔径长度，而所述第二电极指图案的孔径长度等于或者大于所述辅助电极指图案的孔径长度。

15.根据权利要求1所述的滤波器，其中

所述辅助电极指图案具有一对汇流条；并且

所述汇流条之间的距离小于所述主电极指图案的一对汇流条之间的距离。

16.根据权利要求1所述的滤波器，其中

通过切趾法对所述主电极指图案进行权度处理。

17.根据权利要求1所述的滤波器，其中

通过回缩多个电极指来对所述主电极指图案进行权度处理。