CN1582084A

CN1582084A - 扫瞄式静电消除器

Info

Publication number: CN1582084A
Application number: CN 03149714
Authority: CN
Inventors: 卢聪林; 陈盈吉; 陈振龙
Original assignee: AU Optronics Corp
Current assignee: AU Optronics Corp
Priority date: 2003-08-06
Filing date: 2003-08-06
Publication date: 2005-02-16
Anticipated expiration: 2023-08-06
Also published as: CN1245853C

Abstract

一种扫瞄式静电消除器，用来消除大尺寸玻璃基板表面的静电，包括一长形杆体、一固定连杆、一主动连杆、一从动连杆以及复数个喷嘴。其中，主动连杆、从动连杆、固定连杆以及长形杆体形成一四连杆机构，上述喷嘴设于长形杆体上，其喷洒的方向朝向玻璃基板。主动连杆可以在一定角度范围内进行来回摆动，并带动长形杆体以及喷嘴产生来回摆动，以增加喷嘴对玻璃基板的喷洒面积。

Description

扫瞄式静电消除器

技术领域

本发明有关于一种扫瞄式静电消除器，特别关于一种可以提高静电消除范围，用来消除大尺寸玻璃基板表面静电的扫瞄式静电消除器。

发明背景

液晶显示器主要利用玻璃基板表面的复数个阵列式薄膜晶体管(TFT-LCD)，对其内部液晶的明暗和颜色进行控制，进而在液晶显示器的屏幕上产生影像。由于其具有轻薄、省电、无幅射线等优点，目前已广泛地应用于个人数字助理器(PDA)、笔记型计算机、数字相机、摄录像机、移动电话等各式电子产品中。

玻璃基板在制造的过程中，其表面经常会因为接触或摩擦而产生静电，而静电的存在会吸附周围的微粒物质并造成污染。但由于许多有关于半导体的制程，例如：微影与蚀刻等，对于玻璃基板表面的洁净程度要求标准较高，此外，当静电累积至一定程度的后，经常会产生巨大电压放电，往往会对玻璃基板表面的半导体组件造成破坏，因此，玻璃基板在制造的过程中必须经常进行静电消除程序。

请参阅图1所示，为已有技术的静电消除器10示意图，包括一长形杆体11以及复数个喷嘴12，长形杆体11内部设有一高压气体管路13以及一电源线14。喷嘴12则是以适当之间距设置于长形杆体11上，并与长形杆体11内部的高压气体管路13形成导通，使得高压气体管路13内部的气体可以通过喷嘴12向外喷洒。此外，在每一个喷嘴12的内部还设有一放电针15，该放电针15与长形杆体11内部的电源线14电性连接，并以持续尖端放电方式将周围空气解离成带电离子，再利用喷嘴12所喷出的气体将上述带电离子喷洒至玻璃基板20表面，通过电性中和方式消除玻璃基板20表面的静电。

请参阅图2所示，已有静电消除器10的每一个喷嘴12呈圆锥状展开，展开的角度通常设计成35度角，并且其开口朝向玻璃基板20表面，因此每一个喷嘴12在喷洒时所涵盖的范围均为固定。虽然已有技术在对中、小型尺寸的玻璃基板20进行静电消除时，在扫瞄时间、扫瞄效率上均可以达到不错的效果。但随着玻璃基板20的制造尺寸不断地加大，当已有技术的静电消除器10在应用于消除大尺寸玻璃基板20的静电时，其静电消除的效果已经无法满足实际的需求，究其原因主要包括：

1.已有技术的静电消除器喷嘴所涵盖的面积范围太小，因此必须花费更多的扫瞄时间才能够将大尺寸玻璃基板表面的静电消除。

2.已有技术虽然可以凭借增加喷嘴与玻璃基板之间的距离，使每一个喷嘴所涵盖的面积范围加大，但由于距离增加，会造成喷嘴所喷洒的带电离子中有很多在到达玻璃基板之前，就会因为外界因素而自行中和，从而影响其对玻璃基板静电消除的效率。

3.已有技术虽然可以凭借增加静电消除器与玻璃基板之间的相对扫瞄速度，以节省扫瞄时间，但扫瞄速度增加会降低静电消除的效果。

4.此外，已有技术若是凭借改变静电消除器的设计，例如加大喷嘴的展开角度，虽然可以提高喷嘴的涵盖范围，但对于使用者而言，必须向原厂供货商提出相关需求，相对成本的花费也会提高。此外，若使用者自行变更原厂的原始设计，其结果很有可能影响到静电消除器的效果，甚至遭到原厂供货商拒绝提供后续维修服务的风险。

因此，如何设计出一较佳的静电消除器，用来解决已有技术在消除大尺寸玻璃基板的静电所衍生的问题，实为现阶段相关从业人员所急欲解决的课题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种扫瞄式静电消除器，其可以提高喷嘴的涵盖范围，以应用于大尺寸玻璃基板的静电消除。

本发明揭露一种扫瞄式静电消除器，包括一长形杆体、复数个喷嘴、一固定连杆、一主动连杆以及一从动连杆。

长形杆体具有一第一枢接点以及一第二枢接点，其内部设有一高压气体管路以及一电源线。上述喷嘴以适当的间距设置于长形杆体上，并与高压气体管路形成导通，又，喷嘴的喷洒方向朝向玻璃基板，其中每一个喷嘴的内部还设有一放电针，该放电针与长形杆体内部的电源线电性连接，并以持续尖端放电方式将周围空气解离成带电离子，再利用喷嘴将上述离子喷洒至玻璃基板表面，以中和玻璃基板表面的静电。

固定连杆与玻璃基板分别设于长形杆体的二侧，其包括一第三枢接点以及一第四枢接点，主动连杆的二端分别与第一枢接点以及第三枢接点形成枢接，而从动连杆的二端则分别与第二枢接点以及第四枢接点形成枢接。使得长形杆体、固定连杆、主动连杆以及从动连杆形成一四连杆机构。

当主动连杆控制在一定角度范围内进行来回摆动，长形杆体以及从动连杆将受到连动的影响，并依循一定路径来回摆动。因此对于静电消除器而言，其原本面对玻璃基板的喷嘴，也将因为长形杆体的摆动而对玻璃基板产生来回摆动，进而增加喷嘴对玻璃基板的喷洒范围。

由上述说明可知，由于本发明的扫瞄式静电消除器可提高喷嘴的扫瞄范围，因此可应用于消除大尺寸玻璃基板的静电。此外，本发明更可以凭借改变主动连杆的摆动角度大小，调整喷嘴的喷洒面积，以应用于各种尺寸玻璃基板的静电消除。此外，本发明不需要变更喷嘴的原始设计，或改变喷嘴与玻璃基板之间的距离，或改变扫瞄速度，因此不会影响静电消除的品质。

附图说明

图1为已有技术的静电消除器示意图；

图2为已有技术的静电消除器的侧视图；

图3为本发明的扫瞄式静电消除器的第一实施例图；

图4为第一实施例的侧视图；

图5为第二实施例的侧视图。

附图编号说明：

10--静电消除器 11--长形杆体

12--喷嘴 13--高压气体管路

14--电源线 15--放电针

20--玻璃基板 30--静电消除器

31--长形杆体 32--喷嘴

33--固定连杆 34--主动连杆

35--从动连杆 36--高压气体管路

37--电源线 38--放电针

41--第一枢接点 42--第二枢接点

43--第三枢接点 44--第四枢接点

50--四连杆机构 51--结合连杆

52--主动连杆 53--从动连杆

54--固定连杆

具体实施方式

请参阅图3所示，其为本发明的扫瞄式静电消除器的第一实施例图，本实施例的扫瞄式静电消除器30包括一长形杆体31、复数个喷嘴32、一固定连杆33、一主动连杆34以及一从动连杆35。

长形杆体31设有一第一枢接点41以及一第二枢接点42，其内部设有一高压气体管路36以及一电源线37，该电源线37所提高的电源型式可以是直流电或是交流电。上述喷嘴32以适当的间距设置于长形杆体31上，喷嘴32与高压气体管路36形成导通，其喷洒的方向朝向玻璃基板20，其中喷嘴32呈一圆锥状结构，其展开的角度为固定，通常为35度角，每一个喷嘴32的内部还设有一放电针38，放电针38与长形杆体31内部的电源线37电性连接，以持续尖端放电方式将周围空气解离成带电离子，再利用喷嘴32所喷出的气体将上述离子喷洒至玻璃基板20表面，以中和玻璃基板20表面的静电。

电源线37所提供的电源型式可以为直流电，也可以为交流电，都可以使该放电针以持续尖端放电方式将周围空气解离成带电离子，再利用该喷嘴所喷出的气体将上述离子喷洒至该玻璃基板表面，以中和该玻璃基板表面的静电。

固定连杆33可以是任何形式的固定件，其与玻璃基板20分别设于长形杆体31的二侧，其包括一第三枢接点43以及一第四枢接点44，固定连杆33与长形杆体31之间通过主动连杆34以及从动连杆35互相连接，其中主动连杆34的二端分别与第一枢接点41以及第三枢接点43形成枢接，而从动连杆35的二端则分别与第二枢接点42以及第四枢接点44形成枢接，因此长形杆体31、固定连杆33、主动连杆34以及从动连杆35形成一四连杆机构。

请参阅图4所示，在该四连杆机构的中，主动连杆34可利用一驱动马达(图中没有标示)驱动其在一定角度范围内来回摆动，并且使得长形杆体31以及从动连杆35受到连动的影响，而依循一定路径来回摆动，其中原本面对玻璃基板20的喷嘴32，也因为长形杆体31的摆动而对玻璃基板20产生来回摆动，进而增加喷嘴32对玻璃基板20的喷洒范围。

请参阅图5所示，其为本发明的扫瞄式静电消除器30的第二实施例图，有鉴于四连杆机构为一相当成熟的机构，很多厂商都能够提供符合需求的四连杆机构，因此，本实施例的主要特征是直接对四连杆机构与静电消除器的长形杆体进行组合，以产生具有广角扫瞄的扫瞄式静电消除器。

图中四连杆机构50包括一结合连杆51、一主动连杆52、一从动连杆53以及一固定连杆54，结合连杆51可以与静电消除器30的长形杆体31相结合，其具有一第一枢接点41以及一第二枢接点42。固定连杆54可以是任何形式的固定件，其包括一第三枢接点43以及一第四枢接点44。主动连杆52的二端分别与第一枢接点41以及第三枢接点43形成枢接，从动连杆53的二端分别与第二枢接点42以及第四枢接点44形成枢接，并且使得结合连杆51、固定连杆54、主动连杆52以及从动连杆53形成一四连杆机构50。

在该四连杆机构50中，主动连杆52可利用一驱动马达(图中没有标示)驱动其在一定角度范围内来回摆动，并且使得结合连杆51以及从动连杆53受到连动的影响，而依循一定路径来回摆动，其中原本面对玻璃基板20的喷嘴32，也因为结合连杆51的摆动而对玻璃基板20产生来回摆动，进而增加喷嘴32对玻璃基板20的喷洒范围。

其中本实施例与第一实施例最大的不同在于，本实施例利用一既有的四连杆机构50的结合连杆51与静电消除器30的长形连杆31相结合，而第一实施例则是将静电消除器30的长形连杆31设计成四连杆机构的一部分。然而，二者对于提高喷嘴32喷洒面积所使用的原理均相同，此外，本发明在静电消除器30上方所设计的四连杆机构并非限定为一组，也可以是二组或三组以上，其目的主要在于能够驱动静电消除器30来回摆动，以便能够增加喷嘴32对玻璃基板20的喷洒范围。

综上所述，本发明与已有技术相比较具有下列的优点：

1.本发明可利用四连杆机构驱动静电消除器摆动，以增加喷嘴的喷洒范围，而已有技术的喷嘴的喷洒范围为固定，相比较来看，本发明可应用于大尺寸玻璃基板的静电消除。

2.本发明更可凭借控制主动连杆的摆动角度大小，进而调整喷嘴的喷洒面积，因此无论将来玻璃基板的尺寸形式如何改变，本发明均可以提供较佳的静电消除效果。然而，已有技术若要消除各种尺寸玻璃基板的静电时，其必须针对不同尺寸的玻璃基板设计不同喷洒范围的喷嘴，因此，比较来看，已有技术将更麻烦且浪费成本。

3.由于本发明凭借静电消除器与四连杆机构的结合，使其喷嘴达到广角扫瞄的效果，不需要变更原始喷嘴的设计，或改变喷嘴与玻璃基板之间的距离，或改变扫瞄速度，因此不会影响静电消除的品质。

当然，以上所述仅为本发明的扫瞄式静电消除器的较佳实施例，其并非用来限制本发明的实施范围，任何熟悉该项技艺者在不违背本发明的精神所做的修改均应属于本发明的范围，本发明的保护范围以权利要求书所限定的范围为准。

Claims

1.一种扫瞄式静电消除器，用来消除一大尺寸玻璃基板表面的静电，其特征在于包括：

一长形杆体，其具有一第一枢接点以及一第二枢接点；

复数个喷嘴，设于该长形杆体上，其喷洒的方向朝向该玻璃基板；

一固定连杆，其具有一第三枢接点以及一第四枢接点；

一主动连杆，其二端分别与该第一枢接点以及该第三枢接点形成枢接；以及

一从动连杆，其二端分别与该第二枢接点以及该第四枢接点形成枢接；

所述的长形杆体、固定连杆、主动连杆以及从动连杆形成一四连杆机构，其中该主动连杆可以在一定角度范围内来回摆动，并带动该长形杆体以及该喷嘴产生来回摆动，以增加该喷嘴对该玻璃基板的喷洒面积。

2.根据权利要求1所述的扫瞄式静电消除器，其特征在于所述的长形杆体内部设有一高压气体管路以及一电源线，该喷嘴与该高压气体管路互相导通，此外，在该喷嘴内部还设有一放电针与该电源线电性连接。

3.根据权利要求1所述的扫瞄式静电消除器，其特征在于所述的喷嘴为一圆锥状结构，其展开的角度为35度角。

4.根据权利要求2所述的扫瞄式静电消除器，其特征在于：所述的该电源线所提供的电源型式为直流电。

5.根据权利要求2所述的扫瞄式静电消除器，其特征在于所述的该电源线所提供的电源型式为交流电，其可以使该放电针以持续尖端放电方式将周围空气解离成带电离子，再利用该喷嘴所喷出的气体将上述离子喷洒至该玻璃基板表面，以中和该玻璃基板表面的静电。

6.根据权利要求1所述的扫瞄式静电消除器，其特征在于还包括一驱动马达与该主动连杆相连接，该驱动马达可驱动该主动连杆在一定角度范围内来回摆动，并带动该长形杆体以及该喷嘴产生来回摆动，以增加该喷嘴对该玻璃基板的喷洒面积。

7.一种扫瞄式静电消除器，用来消除一大尺寸玻璃基板表面的静电，其特征在于包括：

一长形杆体；

复数个喷嘴，设于该长形杆体上，其喷洒的方向朝向该玻璃基板；以及

一四连杆机构；

所述的四连杆机构由一结合连杆、一主动连杆、一从动连杆以及一固定连杆所组成，其中该结合连杆与该长形杆体相结合，其包括一第一枢接点以及一第二枢接点，该固定连杆则包括一第三枢接点以及一第四枢接点，该主动连杆的二端分别与该第一枢接点以及该第三枢接点形成枢接，而该从动连杆的二端则分别与该第二枢接点以及该第四枢接点形成枢接；

所述的主动连杆可以在一定角度范围内来回摆动，并带动该结合连杆、该长形杆体以及该喷嘴产生来回摆动，以增加该喷嘴对该玻璃基板的喷洒面积。

8.根据权利要求7所述的扫瞄式静电消除器，其特征在于所述的长形杆体内部设有一高压气体管路以及一电源线，该喷嘴与该高压气体管路互相导通，此外，在该喷嘴内部还设有一放电针与该电源线电性连接。

9.根据权利要求7所述的扫瞄式静电消除器，其特征在于所述的喷嘴为一圆锥状结构，其展开的角度为35度角。

10.根据权利要求8所述的扫瞄式静电消除器，其特征在于所述的电源线所提供的电源型式为直流电，其可以使该放电针以持续尖端放电方式将周围空气解离成带电离子，再利用该喷嘴所喷出的气体将上述离子喷洒至该玻璃基板表面，以中和该玻璃基板表面的静电。

11.根据权利要求8所述的扫瞄式静电消除器，其特征在于所述的电源线所提供的电源型式为交流电，其可以使该放电针以持续尖端放电方式将周围空气解离成带电离子，再利用该喷嘴所喷出的气体将上述离子喷洒至该玻璃基板表面，以中和该玻璃基板表面的静电。

12.根据权利要求7所述的扫瞄式静电消除器，其特征在于还包括一驱动马达与该主动连杆相连接，该驱动马达可驱动该主动连杆在一定角度范围内来回摆动，并带动该结合连杆、该长形杆体以及该喷嘴产生来回摆动，以增加该喷嘴对该玻璃基板的喷洒面积。