CN1556015A - 用于储存高纯度液体化学品的容器 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于储存高纯度液体化学品的容器，解决了现有容器在容器内部的液体化学品的蒸气压随温度上升或运输过程产生的振动而造成蒸气压增加，进而导致容器底部膨胀变形时，出现的放置不稳的问题。包括一中空本体，该中空本体顶端置有一开口，该开口上置有密封盖，所述中空本体底部周缘置有呈非共线排列及分别向下延伸的三凸柱。当本发明容器因内部化学品蒸气压增加，使容器内部压力提高，造成容器膨胀变形时，容器底部的三凸柱仍构成一共平面的底部支撑面，可保持容器的放置稳定度。

Description

用于储存高纯度液体化学品的容器

技术领域

本发明涉及一种储存液体化学品的容器；特别是涉及一种用于储存半导体及液晶显示器生产技术的高纯度液体化学品的容器。

背景技术

随着高科技产业的快速扩张，从半导体制造、平面显示器产业，进而发展到覆晶封装和砷化镓化合物半导体等领域，需要使用到各式各样的液体化学品。例如，各半导体厂的湿蚀刻工艺会使用到二氧化硅蚀刻液、多晶硅蚀刻液、铝蚀刻液及铜蚀刻液等；平面显示器产业使用氧化铟锡蚀刻液、铬蚀刻液等金属及非金属的蚀刻溶液。微影生产工艺中使用到各类有机及无机显影剂以及清洗溶剂。化学机械研磨工艺需使用适当化学品及研磨液以及其添加剂。经过化学机械研磨后，晶圆表面会残留大量的污染物，包含研磨过程所使用的研磨砥粒(slurry abrasive)、研磨浆料中的添加剂、金属离子与研磨垫(pad)纤维碎屑等，都需要有效清除这些污染物，否则将会影响到后段工艺的合格率。因此，清洗工艺的清洗能力成为化学机械研磨工艺应用于半导体工艺的关键，而研磨后的清洗工艺化学品即相形重要。再就平面显示器生产过程中玻璃基板清洗技术而言，玻璃由融熔成型为基板到被加工成为一个平面显示器组件前，必需经过大约十次左右的清洗工艺。每一道清洗工艺的效果，必需被要求到绝对符合标准，否则将影响下一段工艺的合格率。例如，铟锡氧化物(indium-tin oxide)沉积前的素玻璃清洗将影响沉积膜的品质；蚀刻后的清洗将影响到将来平面显示器组件的电性等。

为满足上述的需求，使用于上述各种工艺的各类液体化学品都需符合极高的纯度要求。贮存液体化学品的容器内部洁净度即成为影响液体化学品纯度的一个重要因素。当容器内部的洁净度不符合标准时，会导致贮存的液体化学品纯度降低及品质的劣化，进而造成半导体组件及液晶显示器品质的劣化及合格率的降低。参照附图1，现有贮存高纯度液体化学品的容器1包括一中空圆筒体10及一封盖12。容器1的中空圆筒体10的材料通常采用聚乙烯。容器1的中空圆筒体10具有一等厚的壁面及底部14，中空圆筒体10的顶端具有一开口(未示出)，用封盖12密封，中空圆筒体10的底部14中心部份呈一圆形内凹面16(参照附图2)。一中空把手18形成于中空圆筒体10顶端开口下方，以供握持容器1。一般而言，每一种液体化学品各有其蒸气压，它会随温度上升而增加。当液体化学品贮存于容器1时，会在容器1内部产生一定的蒸气压力。容器1内部的液体化学品的蒸气压会随温度上升或运输过程产生的振动而造成蒸气压的增加，进而导致容器1的膨胀变形，并且往往使得容器底部14的圆形内凹面16向外膨胀呈椭圆形拱起，造成容器1无法立稳、会摇晃，甚至倾倒。如此一来，有可能发生危险。图所示容器1在构造上虽然内部弯折区域少，容器内部死角少，易于以高压水柱冲洗容器内部，以使容器内部符合贮存高纯度液体化学品洁净度的要求，但存在上述缺陷。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种可提高容器底部的支持稳定度，并不受容器因内部化学品蒸气压增加而膨胀变形的影响的用于储存高纯度液体化学品的容器。

本发明的另一目的是提供一种容器内部弯折区域少，减少容器内部的死角，可利于容器内部的清洗作业，而提高容器内部的洁净度的用于储存高纯度液体化学品的容器。

为达到上述目的，本发明采用以下技术方案：本发明用于储存高纯度液体化学品的容器，包括一中空本体及一密封盖；其中所述中空本体用于盛装高纯度液体化学品，其顶端置有一开口，其底部周缘置有呈非共线排列及分别向下延伸的三凸柱，所述密封盖用于密封所述中空本体顶端的开口。

本发明具有以下优点：本发明用于储存高纯度液体化学品的容器底部呈非共线安排的三凸柱构成一共平面，可提供容器一稳固的底部支撑面。当本发明用于储存高纯度液体化学品的容器因内部化学品蒸气压增加，使容器内部压力提高，造成容器膨胀变形时，容器底部的三凸柱仍构成一共平面的底部支撑面，可保持容器的放置稳定度。本发明用于储存高纯度液体化学品的容器的底部设计成具有向下延伸的三凸柱，使容器内部弯折区域少，减少容器内部的死角，而利于进行容器内部的清洗作业，进而提高容器内部的洁净度及降低盛装于容器内的化学品受污染的机会。因此，本发明容器有利于用以贮存高纯度的液体化学品。

本发明用于储存高纯度液体化学品的容器的底部呈非共线安排的三凸柱构成一共平面，可提供容器一稳固的底部支撑面。当本发明容器因内部化学品蒸气压增加，使容器内部压力提高，造成容器膨胀变形时，容器底部的三凸柱仍构成一共平面的底部支撑面，可保持容器的放置稳定度。

附图说明

图1为现有用于储存高纯度液体化学品的容器的立体透视图；

图2为现有用于储存高纯度液体化学品的容器的仰视试图；

图3为本发明用于储存高纯度液体化学品的容器的立体图；

图4为本发明用于储存高纯度液体化学品的容器的的仰视图；

图5为本发明用于储存高纯度液体化学品的容器的另一角度的立体透视图。

附图标号说明：

1     容器          10    中空圆筒体

12    封盖          14    底部

16    圆形内凹面    18    中空把手

3      容器        30    中空本体

302    第一部份    304   第二部份

306    第三部份    32    密封盖

34     底部        342   圆形内凹面

344    中空凸柱    36    中空把手

具体实施方式

本发明用于储存高纯度液体化学品的容器，包括一中空本体和一密封盖；所述中空本体用于盛装高纯度液体化学品，例如强酸、强碱及有机/无机溶液等，其顶端置有一开口，其底部周缘置有呈非共线排列及分别向下延伸的三凸柱，以支撑中空本体，所述密封盖用于密封所述中空本体顶端的开口。本发明用于储存高纯度液体化学品的容器底部呈非共线安排的三凸柱构成一共平面，给容器提供一稳固的底部支撑面。当本发明用于储存高纯度液体化学品的容器因内部液体化学品蒸气压增加，使容器内部压力提高，造成容器膨胀变形时，甚至是容器底部朝外膨胀时，容器底部的三凸柱仍构成一共平面的底部支撑面，可保持容器的放置稳定度。本发明用于储存高纯度液体化学品的容器的底部向下延伸的三凸柱可分别设计成中空凸柱，与中空本体一体成型。从容器内部来看，上述三凸柱会在容器底部形成弯折区域，以增加容器本身的耐压性。本发明用于储存高纯度液体化学品的容器的结构可以承受的压力可高达5个大气压，足以负荷一般液体化学品产生的蒸气压。本发明用于储存高纯度液体化学品的容器的中空本体底部的三凸柱可呈正三角形或等腰三角形或非等边三角形的几何安排，视容器而定。本发明用于储存高纯度液体化学品的容器的中空本体的壁面可设计成均厚或非均厚，例如从中空本体顶端至其底部可依序包含一第一部份、一第二部份及一第三部份，而第二部份壁面厚度小于第一部份及第三部份壁面厚度。如此一来，当容器内部液体化学品蒸气压增加时，容器受到蒸气压作用时，会先朝中空本体壁面较薄的第二部份膨胀，而避免容器底部受到影响。另外，本发明用于储存高纯度液体化学品的容器的中空本体底部中心部份可设计成一平面或一内凹面，中空本体顶端开口下方置有一握把，以方便握持本发明容器。

本发明用于储存高纯度液体化学品的容器的底部周缘形成非共线向下延伸的三凸柱，从容器内部来看，容器内部的死角较少，有利于进行容器内部的清洗作业，将容器内部残存的化学品彻底清除，从而有利于后续贮存其它液体化学品。

参照附图3，本发明用于储存高纯度液体化学品的容器3包括一中空本体30和一密封盖32；上述中空本体30从其顶端至其底部包含一第一部份302、一第二部份304及一第三部份306；上述中空本体30的第一部份302从中空本体30顶端向下延伸而大致呈一中空圆锥形体，中空本体30的第二部份304及第三部份306分别呈中空圆筒体。中空本体30的第二部份304外径可设计成略小于中空本体30的第一部份302下方外径及第三部份306的外径，以利于黏附标示贴纸于中空本体30的第二部份304。中空本体30的壁面厚度设计成非均厚，其中上述第二部份304的厚度小于第一部份302及第三部份306的厚度，以使中空本体30的第二部份304更易于形变。容器中空本体30的顶端具有一开口(未示出)，所述密封盖32将其封盖住；参照附图4，中空筒体30的底部34中心部份呈一圆形内凹面342，底部34周缘置有呈正三角形几何安排及向下延伸的三个中空凸柱344。将上述的中空凸柱344彼此相邻的每一底端相连接即构成一等边六角形几何形状。上述每一中空凸柱344都具有一底面积，从中空本体30底部34的周缘起朝底部34中心部份的圆形内凹面342逐渐向上延伸，而连接于圆形内凹面342的周缘。从容器3的中空本体30内部来看，底部34中心部份的圆形内凹面342与每一中空凸柱344呈钝角的几何连接关系。容器3的底部34周缘形成的三个中空凸柱344具有三点共平面的几何关系，即在容器3的底部34提供一共平面的支撑面，使容器3的底部34具有一稳固的支持面。

在容器3的中空本体30顶端开口下方的第一部份302置有一中空把手36，其两端分别与中空本体30内部相通。另外，中空本体30的第一部份302与中空把手36相连通的筒身部份可向内形成一阶面，如图3所示。上述中空把手36可利于提取及握持容器3。容器3的中空本体30、中空把手36及中空凸柱342可以一体成型的塑料射出成型方法制造。容器3的材质可以是高密度聚乙烯(High Density Polyethylene)(HDPE)。

当容器3内部贮存有液体化学品时，随着环境温度升高或外在环境的影响例如贮存期间或运输时造成的容器3振动，使得液体化学品蒸气压增加时，容器3内部受到蒸气压力的压迫，即先从容器3的中空本体30壁面较薄的第二部份304向外膨胀变形，而不致影响到容器3的底部34构形，使底部34仍具有稳固的支持面。当容器3内部的液体化学品蒸气压增加至使容器3的底部34受压迫形变时，容器底部34的中空凸柱344构形具有较佳的抗压性，因此先从底部34的中心圆形内凹面342向外膨胀变形，而略呈一凸面。在此状态下，由于底部34周缘形成有正三角形几何安排的非共线的三个中空凸柱344，因此容器3的底部34仍具有一共平面的支持面，可保持容器3放置的稳定度。

当欲清洗容器3时，将容器3倒立，用高压水柱喷洗容器3的内部。从容器3内部结构来看，由于容器底部34的中心圆形内凹面342与每一中空凸柱344呈钝角的接合关系，容器3的内部死角会较少，极易于高压水柱将残留在容器3内部的液体化学品彻底清除，使容器3内部达到一定的洁净度要求，以利于后续用以贮存其它液体化学品，特别适合贮存高纯度的液体化学品。

Claims (7)

1、一种用于储存高纯度液体化学品的容器，包括一中空本体，该中空本体顶端置有一开口，该开口上置有密封盖，其特征在于：所述中空本体底部周缘置有呈非共线排列及分别向下延伸的三凸柱。

2、根据权利要求1所述的用于储存高纯度液体化学品的容器，其特征在于：所述三凸柱呈正三角形几何安排于该中空本体底部周缘。

3、根据权利要求1或2所述的用于储存高纯度液体化学品的容器，其特征在于：所述中空本体底部中心部分呈一内凹面。

4、根据权利要求1或2所述的用于储存高纯度液体化学品的容器，其特征在于：所述中空本体底部中心部分呈一平面。

5、根据权利要求1或2所述的用于储存高纯度液体化学品的容器，其特征在于：所述中空本体从其顶端至底部依序包含：一第一部分、一第二部分及一第三部分，其中该第二部分的厚度小于该第一部分及该第三部分。

6、根据权利要求3所述的用于储存高纯度液体化学品的容器，其特征在于：所述中空本体从其顶端至底部依序包含：一第一部分、一第二部分及一第三部分，其中该第二部分的厚度小于该第一部分及该第三部分。

7、根据权利要求6所述的用于储存高纯度液体化学品的容器，其特征在于：所述开口下方的中空本体上置有一中空把手。

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