CN1528024A - 发光显示器及其制造方法 - Google Patents

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永山健一
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Abstract

一种发光显示器，包括具有一个和另一表面的数脂衬底、透明电极、设置为与透明电极电导通的金属辅助电极、和由有机化合物构成的发光层，使得透明电极、辅助电极以及发光层以层的形状叠置在数脂衬底的一个表面上。辅助电极具有不大于1.3×105dyn/cm的总应力(内应力×其膜厚)。

Description

发光显示器及其制造方法
技术领域
本发明涉及一种发光显示器，其包括透明衬底(尤其是由树脂衬底形成的)以及叠置在衬底上的透明电极、辅助电极和发光层，本发明也涉及这种发光显示器的制造方法。
背景技术
一般来说，众所周知的是一种有机EL(electro-luminescent，电致发光)显示元件，其包括：以条纹状叠置在由例如玻璃形成的透明衬底上的透明电极，由有机化合物制成并且叠置在透明电极上的发光层，和以条纹状叠置在发光层上以便与透明电极垂直的金属电极。透明电极形成作为阳极，金属电极形成作为阴极，当直流电流(DC)场被加在透明电极和金属电极间时，电流流经有机化合物，于是发光层发光。从发光层发射的光从透明电极侧射出。
为了使有机EL显示器的厚度变薄，树脂衬底被用于取代玻璃衬底。树脂衬底的应用能使衬底自身的厚度变薄而且很难破裂。采用树脂衬底的有机EL显示器可被弯曲，因而是有利的。
然而，在使用树脂衬底的情况下，在树脂衬底上形成一防潮层是必须的，因为由有机化合物形成的发光层的防潮(水份)能力差，水份能穿透树脂衬底。
而且，电流流过叠置在树脂衬底上的有机化合物，当电流流过时，需要注意透明电极的电阻。即：金属电极具有低阻值，另一方面，由氧化物制成的透明电极的阻值高于金属电极的阻值。因此，当电流流过有机化合物时，透明电极的阻值变得很重要。
当电阻增加时，可能会引起下述情况：由于与电路的连接部分分离，没有足够的电场加在有机化合物上，从而引起多个有机化合物间发光不均匀，因而造成不便和缺陷。为了解决这种缺陷，提供一种设置一辅助电极的技术。即：一金属辅助电极被设置在透明电极一侧，以便于该处电导通，以减小阳极侧的引线电阻。
图6图示了在作为衬底的树脂衬底上制备有机EL元件的步骤。即：制备树脂衬底1并且将防潮层5叠置在树脂衬底1的一个表面上(步骤S1)。作为阳极的透明电极2以薄膜的形状形成于防潮层5上(步骤S2)。然后对这样被叠置的透明电极2进行构图处理或工艺(步骤S3)。下一步，在透明电极2上形成作为辅助电极3的金属薄膜(步骤S4)。然后，对这种金属薄膜进行构图处理(步骤S5)。
很容易推断出：在制造使用树脂衬底的发光显示器时，形成辅助电极是需要的。然而，当在树脂衬底1上形成作为辅助电极3的金属薄膜时，将产生下列问题或缺陷。
即：由于树脂衬底1的材料比玻璃衬底的材料柔软(即：弹性模量较小)，如图6中步骤S4所示，在形成金属薄膜时，树脂衬底1被大大地弯曲了，这对后续工艺或步骤产生不利影响，包括对金属薄膜的构图处理。
而且，当金属薄膜被形成在树脂衬底1上时，可能会引起下述情况：在防潮层5或透明电极2的层中形成裂缝9，于是其可能被损坏或破裂。在防潮层5破裂的情况下，有害的水份将侵入到发光层中，因此，保持发光层良好的状态变得很困难。
发明内容
因此，本发明的一个目的是基本上去除上文所提及的、在现有技术中遇到的缺陷或缺点，并且提供一种发光显示器，其中当在树脂衬底上形成辅助电极时，树脂衬底的变形或弯曲可被防止，并且防潮层和/或透明电极不被破坏，还提供了一种制造这种发光显示器的方法。
为了实现上述和其它目的，发明者观察到一点：在通过真空蒸发、溅射、外延生长等工艺或处理形成于树脂衬底上的薄膜中，总是存在内应力，内应力的存在使树脂衬底变形和/或使防潮层被破坏。金属膜中的内应力σ(dyn/cm2)是每单位截面积的力，它从截面的一侧作用于其另一侧。发明者也发现：通过降低总应力S＝σ×d(dyn/cm)(σ：内应力；d：膜的厚度)到预定值，在树脂衬底上形成辅助电极时的上述缺陷或破坏可被解决。
考虑到上述的问题，主题申请的发明人实现了上述和其它目的，根据本发明的一方面，提供一种发光显示器，其包括具有一个和另一表面的树脂衬底、透明电极、设置为与透明电极电导通的金属辅助电极、和由有机化合物构成的发光层，透明电极，辅助电极和发光层以层的形状叠置在树脂衬底的一个表面上。
其中辅助电极具有不超过1.3×105dyn/cm的总应力{(内应力)×(其膜厚)}。
下文中，将解释在本发明的以上方面中辅助电极的总应力设定为不超过1.3×105dyn/cm的原因。
考虑到衬底的微小(细微)部分的力与力矩间的平衡，下面的方程式(1)表示了辅助电极的内应力σ和树脂衬底弯曲的曲率半径r间的关系：
r＝E×b2/{6(1-v)d×σ}
σ＝E×b2/{6(1-v)d×r}------(1)
(r：衬底弯曲的曲率半径；E：衬底的弹性模量；b：衬底的厚度；v：衬底的泊松比；d：辅助电极的膜厚；σ：辅助电极的内应力)
在树脂衬底的情况下，虽然形成衬底的材料不同，但近似地，弹性模量＝10000到20000kgf/cm2，泊松比＝0.4到0.5。在形成铬膜时(膜的厚度如下面的表1所示)，使用厚度为0.2mm和长度为100mm的普通树脂衬底，主题应用的发明人评价弯曲量和阻挡层(防潮层)的裂缝。
                        表1
    膜厚()     弯曲(mm )   阻挡层裂缝的评价     总应力(dyn/cm)
    500     5.5   好     -
    800     8.0   好     -
    1000     9.5   不好     1.5×105
    1500     12   不好     -
从表1可看到，在使用厚度为0.2mm的常用树脂衬底的情况下，对于长度为100mm的衬底，要求衬底的弯曲量不超过8mm；相反地，在弯曲量超过8mm的情况下，防潮层(阻挡层)将被大大地破坏，并且大的弯曲将在后续的工艺中引起其它缺陷。依据这个问题，辅助电极的薄膜的总应力将被计算，在上述的情况下，曲率半径r为155mm(r＝155mm)。相应地，通过将该值代入上面的方程式(1)中，总应力将被计算。例如，在r＝155mm，E＝15000gf/cm2，v＝0.5的情况下，1khf106dyn/cm2，
σ×d(dyn/cm)＝{15000×9.8×105×(2×10-2)2}/{6×(1-0.5)×15.5}
             ＝1.5×9.8×4×105/(6×0.5×15.5)
             ＝1.26×1051.3×105
通过形成金属膜使得总应力比上述的计算值低，以金属膜的形状形成于树脂衬底上的辅助电极不会产生问题。而且，内应力可能是一个在力的拉方向上的拉应力，该力通过垂直于衬底表面的单位截面作用于物体(即：在膜收缩时施加的应力)，或者可能是在其推方向上的压力(即：在膜伸展时施加的应力)。
在上述方面的优选实施例中，防潮层设置在树脂衬底和透明电极间以便将潮气排除在外。辅助电极设置在树脂衬底和透明电极的一部分间。
金属氧化物层可以设置在树脂衬底和辅助电极间。
在传统技术中，如图6中步骤S2到S5所示，透明电极2以膜的形状形成并被构图，然后辅助电极3形成并被构图以便接触透明电极2的侧表面。在这样的步骤中，如果透明电极2在超过200℃的高温下形成在玻璃衬底上，不会产生问题；但是，如果透明电极2在低温下形成于树脂衬底上，如图8所示，在构图处理辅助电极3时，透明电极2被蚀刻溶液腐蚀。因此，透明电极2的表面变得粗糙，这影响了发光层的发光状况。
在本发明中，在辅助电极被形成和构图之后，透明电极被形成和构图(即：辅助电极设置在树脂衬底和透明电极的一部分间)，这种缺陷可得到克服。因此，在构图辅助电极时，透明电极不能被刻蚀溶液所腐蚀。因为这个原因，透明电极的表面能够保持平滑，并且可以维持良好的发光状态。而且，由于金属辅助电极被透明电极覆盖，金属辅助电极的氧化可被阻止。
而且，按照形成介于树脂衬底和辅助电极间的诸如铟锡氧化物的金属氧化物层，能够提供对辅助电极的金属膜的良好附着。并且，在辅助电极直接形成于树脂衬底上的情况下，担心辅助电极从树脂衬底上剥离。
另一方面，提供一种发光显示器，其包括具有一个和另一表面的树脂衬底、透明电极、设置为与透明电极电导通的金属辅助电极、和由有机化合物构成的发光层，透明电极、辅助电极和发光层以层的形状叠置在树脂衬底的一个表面上。
其中辅助电极由银或银合金以膜的形状形成，其厚度不超过500nm。
又一方面，提供一种发光显示器，其包括具有一个和另一表面的树脂衬底、透明电极、设置为与透明电极电导通的金属辅助电极、和由有机化合物构成的发光层，透明电极、辅助电极和发光层以层的形状叠置在树脂衬底的一个表面上。
其中辅助电极由铝膜形成，其厚度不超过150nm。
而且，又一方面，通过提供一种制造发光显示器的方法，可以实现以上和其它的目的，该方法包括以下步骤：
制备具有一个和另一表面的树脂衬底；以及
在树脂衬底上叠置透明电极、由金属制成的并与透明电极电导通的辅助电极、和由有机化合物构成的发光层；
其中辅助电极由金属以膜的形状形成，它具有不超过1.3×105dyn/cm的总应力{(内应力)×(其膜厚)}。
在本方面的优选实施例中，透明电极的叠置在叠置辅助电极之后进行。本方法还可包括一个步骤：在形成辅助电极前，将金属氧化物叠置在树脂衬底的一个表面上。
辅助电极通过以下任一处理或工艺形成：真空蒸发，溅射，离子镀或外延生长；然后对其进行构图处理。
根据这样的制造方法，可以实现与上文提及的基本相同的有利优点。
下面参照附图进行阐述，本发明的实质和附加的技术特征将变得越来越清晰。
附图说明
在附图中：
图1是依据本发明第一实施例的发光显示器的剖面图；
图2包括多个图示，表明了制造图1所示发光显示器的一系列步骤；
图3是依据本发明第二实施例的发光显示器的剖面图；
图4包括多个图示，表明了制造图3所示发光显示器的一系列步骤；
图5A图示了正好在形成了金属薄膜之后的对比实施例的发光显示器；
图5B图示了在对金属薄膜进行构图处理之后的对比实施例的发光显示器；
图6包括多个图示，表明了制造具有传统结构的发光显示器的一系列步骤；
图7是图6中VII部分的放大图；以及
图8是图6中VIII部分的放大图。
具体实施方式
参照附图，本发明将在下文中作描述。
参照显示本发明发光显示器的第一实施例的图1，该发光显示器包括树脂衬底11和有机EL元件的叠置结构，该叠置结构包括：由形成于树脂衬底上的透明电极12构成的层，导电金属材料的辅助电极13和由有机化合物构成的发光层14。
在本实施例中，树脂衬底11具有对于可见光的透明或半透明(semi-transparent)特性，并且具有如0.2mm的厚度。在树脂衬底11的至少一个表面上形成有防潮层15，以将潮气或水份排除在外。这样的树脂衬底11可优选地由具有PC(polycarbonate，聚碳酸酯)的基础材料的液晶衬底形成。然而，树脂衬底11的材料和厚度并不限于本发明上述的一种。但是，考虑到由于树脂衬底的使用带来的优点和优势(使得树脂衬底可制作得薄并且可被弯曲)，值得用的衬底材料，除了上述提及的树脂衬底，其弹性模量、泊松比和厚度值须接近上述的树脂衬底。
在树脂衬底11的所述一个表面的显示区上，设置有膜的形状的透明电极12作为阳极。透明电极12具有对于可见光的透明或半透明特性，例如，它由导电材料形成，例如铟锡氧化物、铟锌氧化物等。该透明电极12的形成包括步骤：首先通过真空蒸发、溅射、离子镀或外延生长处理和工艺形成氧化物薄膜，然后构图所形成的薄膜。这样形成的透明电极12提供了条纹状的平面。
金属辅助电极13以膜的形状叠置在透明电极12上，以便于该处电导通，然后其被构图。该辅助电极13的形成包括步骤：通过真空蒸发、溅射、离子镀或外延生长处理和工艺形成金属薄膜，然后利用光刻技术等对形成的金属薄膜构图。
在形成金属薄膜时使得总应力S(内应力σ(dyn/cm2)×膜厚d)不超过1.3×105dyn/cm。更明确的是：当辅助电极13由银钯铜合金或银合金形成时，其膜厚被设定为小于500nm，；以及当辅助电极13由铝形成时，其膜厚被设定为小于150nm。当辅助电极13的材料不是以上提及的材料时，列举的有Cr、Mo或Cu，根据材料的类型，总应力S被设定为不超过1.3×105dyn/cm。而且，通过晶格的张力测量方法、衬底的变形(bowing，弯曲)测量方法等方法，测量辅助电极13的内应力。
接着，通过蒸发和溅射有机化合物将发光层14形成在辅助电极13上。由有机化合物形成的发光层14可能具有仅有一个有机层的单层结构；或者具有多(plural，复)层结构，其中多种功能如发光功能、载流子传送功能等功能被分别赋予各层。
在发光层14上，还设置有一金属电极16作为阴极，其形成为膜状并被构图。金属电极16形成为金属薄膜，以便提供垂直于透明电极12的条纹状。
如上述提到的，有机EL元件由顺序设置在树脂衬底11的一个表面(如图1所示的上表面)上的透明电极12、辅助电极13、发光层14和金属电极16构成，并且被密封层17所覆盖。密封层17由氮化硅、环氧树脂等材料形成，其被设置的目的是阻止大气层中的潮气或水份侵入到发光层14中。
当DC场施加在阳极一侧(透明电极12)和阴极一侧(金属电极16)间时，带正电的空穴从阳极涌入发光层14中，电子也从阴极注入其中，从而使发光层14中的有机化合物发光，并且发射的光从树脂衬底11的另一表面射出。
图2包括多个图示，表明了制造本发明的图1所示发光显示器的步骤。
首先，制备透明树脂衬底11(步骤S1)。在下一步(步骤S2)中，通过真空蒸发、溅射、离子镀、外延生长处理或工艺等，在树脂衬底11的每个表面上以膜的形状形成防潮层15。然后，通过溅射、离子镀、外延生长处理或工艺等，在树脂衬底11的一个表面上以膜的形状形成透明电极12(步骤S3)。下一步(步骤S4)，对透明电极12进行构图处理(步骤S4)。接下来，通过真空蒸发、溅射、离子镀、外延生长处理或工艺、或类似的工艺，在形成的透明电极12的一个表面上以膜的形状形成辅助电极13(步骤S5)。在以上步骤中，以膜的形状形成辅助电极的步骤是在常温或比常温略高的温度条件下进行的，因为树脂衬底11在高于其软化点的温度下变软。在本步骤中，在形成辅助电极13时，金属薄膜的总应力S(内应力σ(dyn/cm2)×膜厚d)不超过1.3×105dyn/cm。下一步(步骤S6)，利用光刻技术对辅助电极13进行构图处理。在后续的步骤中，通过对有机化合物进行蒸发、溅射、旋涂、丝网印刷或细颗粒喷涂工艺(fine-grain spraying process)或处理，以膜的形状形成发光层。然后，利用蒸发、溅射或光刻技术将金属电极16形成在发光层14上。
图3是依据本发明第二实施例的发光显示器的剖面图，为了便于理解，图示了在叠置发光层14之前的状态。在本实施例中，因为树脂衬底11和防潮层15具有与图1所示的第一实施例相同的结构，所以这里不再对其进行详细地描述，并使用相同的附图标记。
在第二实施例中，不同于第一实施例，首先将金属氧化物20以层或膜的形状叠置在形成于树脂衬底11的一个表面上的防潮层15上。该金属氧化物20用例如铟锡氧化物形成。金属氧化物20的层的形成步骤是：首先通过真空蒸发、溅射、离子镀或外延生长工艺或处理形成氧化物膜，然后对形成的氧化物膜进行构图处理。经过构图的金属氧化物层20具有与辅助电极13基本相同的表面外形。
可以采用除了铟锡氧化物之外的金属氧化物，只要它具备透明性并且能很好地粘接到辅助电极13上。例如，在使用包括Sn、Zn和In之一的氧化物时，因为这些材料具有导电性，所以在形成这种氧化物膜(层)后，需要进行构图处理。另一方面，当用绝缘材料形成金属氧化物20时，没有必要进行上述提及的实施例中的构图处理，在这种情况下，可采用包括铝(Al)、锆(Zr)、钛(Ti)、钙(Ca)、铬(Cr)、镍(Ni)、硅(Si)中至少其一的氧化物。
通过真空蒸发、溅射、离子镀或外延生长工艺或处理，辅助电极13以膜的形状形成在金属氧化物20上，然后对其进行构图处理。
如同第一实施例，在第二实施例中，在以金属膜的形状形成辅助电极13的过程中，金属薄膜的总应力S(内应力σ(dyn/cm2)×膜厚d)不超过1.3×105dyn/cm。第二实施例中的辅助电极13使用与第一实施例相同的材料形成，并且具有与第一实施例基本相同的平面外形。
这样的金属氧化物层20形成于辅助电极13的层之下，可确保紧密粘接到金属辅助电极13上。相反地，在金属电极13直接形成于其上形成有防潮层15的树脂衬底11上的情况下，担心辅助电极13会从树脂衬底11上剥落。
在第二实施例中，透明电极12以膜的形状形成于辅助电极13上，然后对其进行构图处理。即：如图3所示，在本实施例中，辅助电极13被设置在树脂衬底11和透明电极12的一部分间。与第一实施例类似，进行真空蒸发、溅射、离子镀或外延生长工艺或处理，以氧化膜的形状形成透明电极12，然后对形成的金属膜进行构图处理。
如上述提及的，在辅助电极13的形成和构图之后，透明电极12也以膜的形状形成并被构图，以便在对辅助电极13进行构图时，不会担心蚀刻溶液腐蚀在对于树脂衬底是低温的条件下形成的透明电极12。由于这种优点，透明电极12的表面可保持平滑，并且也能保持发光层的良好发光状态。而且，因为金属辅助电极13被由金属氧化物形成的透明电极覆盖，可以阻止辅助电极13的氧化。
还有，尽管没有图示，与前面实施例相同，发光层、阴极层和密封层将以这种顺序形成在透明电极12上。
图4包括多个图示，表明了制造本发明第二实施例的图3所示发光显示器的步骤。
首先，制备透明树脂衬底11(步骤S1)。下一步(步骤S2)，通过蒸发、溅射、离子镀或外延生长工艺或处理，在树脂衬底11的至少一个表面上以膜的形状形成防潮层15。然后，通过溅射、离子镀或外延生长工艺或处理，在防潮层15上形成金属氧化物层20(步骤S3)；下一步(步骤S4)，通过真空蒸发、溅射、离子镀、外延生长工艺或处理，在金属氧化物层20上以膜的形状形成辅助电极13。在这层膜的形成工艺中(步骤S4)，进行膜的形成，使得金属薄膜的总应力S(内应力σ(dyn/cm2)×膜厚d)不超过1.3×105dyn/cm。
下一步(步骤S5)，利用光刻技术对辅助电极13和金属氧化物20一起构图。然后通过溅射、离子镀或外延生长工艺或处理，在辅助电极13的表面上以膜的形状形成透明电极12(步骤S6)；接着利用光刻技术等对形成的透明电极12构图(步骤S7)。下一步，通过蒸发、溅射、旋涂、丝网印刷或细颗粒喷涂处理或类似的工艺，在透明电极12上以膜的形状形成发光层。最后，利用蒸发处理或溅射处理或利用光刻技术，将金属电极形成在发光层上。
在下文中，将描述依据本发明的例子和比较例。
[本发明的例1]
制备具有商用聚碳酸酯PC的基本元件并且膜厚为0.2mm的液晶衬底，在衬底的两个表面上形成氮氧化硅膜作为防潮层15。透明电极12形成于其上并被构图。在形成的透明电极12上，溅射5000的铜钯银合金以便形成膜。该膜的内应力σ为1.1×109dyn/cm2，相应地，总应力S＝(1.1×109)×(5000×10-8)＝5×104dyn/cm。在形成这样的金属薄膜时，不会出现因树脂衬底11弯曲所引起的任何问题，并且，防潮层15和透明电极12没有被应力破坏。
[比较例1]
图5图示了比较例1。参照图5，制备具有商用聚碳酸酯PC的基本元件并且厚度为0.2mm的液晶衬底，在衬底的两个表面上形成氮氧化硅膜作为防潮层1 5。透明电极12形成于其上并被构图。在形成的透明电极12上，溅射1000的铬(Cr)以便形成膜。该膜的内应力σ为15×109dyn/cm2，相应地，总应力S＝(15×109)×(1000×10-8)＝1.5×105dyn/cm。在形成这样的金属薄膜时，如图5A所示，树脂衬底11被极大地弯曲了，而且由于弯曲的应力，在防潮层15和透明电极12中产生了裂缝19，防潮层15和透明电极12被破坏。如图5B所示，当金属膜13被构图时，弯曲基本减少了，但裂缝19仍然存在于防潮层15和透明电极12中。
[比较例2]
对于形成有防潮层15和然后其上形成有金属膜的多个树脂衬底。形成金属膜的材料显示在下面的表2中，表2也显示了这些金属膜的内应力、膜厚和总应力。
参照表2，在总应力超过1.3×105dyn/cm的情况下，树脂衬底11产生较大地弯曲而且/或者防潮层15(在表2中表示为阻挡层)被破坏，这就产生了问题。
                             表2
  材料     内应力(dyn/cm2) 膜厚(nm)  总应力(dyn/cm)   衬底弯曲   阻挡层的破坏   评价
  Ag-PdCu合金(Ag∶Pd(0.9wt％)∶Cu(1.0wt％))     1.1×109   150   1.7×104   小   未破坏   好
  Ag-PdCu合金     1.1×109   500   5.5×104   小   未破坏   好
  铬     1.5×1010   100   1.5×105   大   破坏   不好
  钼     2.5×1010   100   2.5×105   大   破坏   不好
  铝     1.9×109   150   2.8×104   小   未破坏   好
通过以上的例子和比较例看出，依据本发明，在制备有机EL元件时，在树脂衬底上形成具有不超过1.3×105dyn/cm的较小总应力的金属膜，使得可以防止树脂衬底的弯曲和可以防止对防潮层产生破坏，这将在前工艺或处理如构图处理时提供优势。
顺便提一下，本发明不局限于前述实施例，在不脱离所附权利要求书的保护范围的条件下，可以作出许多其它变化和修改。
本发明要求题为”LUMINESCENT DISPLAY DEVICE AND METHOD OFMANUFACTURING SAME”，于2001年5月11日提交的，遵守U.S.C的第35章§119的，日本专利申请No.2001-142066的优先权。这里将该申请文件的全文作参照引用。

Claims (10)

1.一种发光显示器，包括具有一个和另一表面的数脂衬底、透明电极、设置为与该透明电极电导通的金属辅助电极、和由有机化合物构成的发光层，所述透明电极、所述辅助电极以及所述发光层以层的形状叠置在该数脂衬底的所述一个表面上，
其中所述辅助电极具有不大于1.3×105dyn/cm的总应力(内应力×其膜厚)。
2.按照权利要求1的发光显示器，其中一防潮层设置在该数脂衬底和该透明电极之间以便抵挡潮气。
3.按照权利要求1或权利要求2的发光显示器，其中所述辅助电极设置在该数脂衬底和该透明电极的一部分之间。
4.按照权利要求3的发光显示器，其中一金属氧化物层被形成在该数脂衬底和该辅助电极之间。
5.一种发光显示器，包括具有一个和另一表面的数脂衬底、透明电极、设置为与该透明电极电导通的金属辅助电极、和由有机化合物构成的发光层，所述透明电极、所述辅助电极以及所述发光层以层的形状叠置在该数脂衬底的所述一个表面上，
其中所述辅助电极由银或银合金以厚度不大于500nm的膜的形状形成。
6.一种发光显示器，包括具有一个和另一表面的数脂衬底、透明电极、设置为与该透明电极电导通的金属辅助电极、和由有机化合物构成的发光层，所述透明电极、所述辅助电极以及所述发光层以层的形状叠置在该数脂衬底的所述一个表面上，
其中所述辅助电极由厚度不大于150nm的铝膜形成。
7.一种发光显示器的制造方法，包括步骤：
制备具有一个和另一表面的数脂衬底；和
在该数脂衬底上叠置透明电极、由金属制成的并与该透明电极电导通的辅助电极、以及由有机化合物构成的发光层，
其中所述辅助电极由具有不大于1.3×105dyn/cm的总应力(内应力×其膜厚)的金属膜形成。
8.按照权利要求7的制造方法，其中在该辅助电极的叠置之后叠置所述透明电极。
9.按照权利要求8的制造方法，还包括在形成该辅助电极之前在该数脂衬底的该一个表面上叠置一金属氧化物的步骤。
10.按照权利要求7的制造方法，其中所述辅助电极是通过真空蒸发、溅射、离子镀或外延生长中的任一工艺形成的，然后其被构图处理。
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