CN1512832A

CN1512832A - 静电消除器

Info

Publication number: CN1512832A
Application number: CNA021597081A
Authority: CN
Inventors: 卢聪林; 陈盈吉
Original assignee: AU Optronics Corp
Current assignee: AU Optronics Corp
Priority date: 2002-12-30
Filing date: 2002-12-30
Publication date: 2004-07-14
Anticipated expiration: 2022-12-30
Also published as: CN1230041C

Abstract

本发明公开了一种静电消除器，该静电消除器适用于消除大尺寸玻璃基板的静电；该静电消除器包含一杆体以及复数个放电针组；该杆体内通有电源线；各放电针组以一定间距装设在杆体上；每一个放电针组包括有复数个放电针与复数个喷嘴，该放电针与电源线电性连接，该喷嘴装设在上述放电针的外围，并以一定喷洒角度将上述放电针所产生的离子喷洒至玻璃基板上。

Description

静电消除器

技术领域

本发明涉及一种静电消除器，更具体地说，涉及一种用于消除大尺寸玻璃基板表面静电的静电消除器。

背景技术

静电往往会借助于接触或摩擦而成形在物体的表面上。而存在于物体表面的静电会吸引四周的带电微粒，使其吸附于该物体的表面，造成污染；因此，对于洁净程度严格要求的各种制程，如：微影，蚀刻等半导体制程，必须尽量避免静电的产生；此外，在静电累积后的放电过程中常会产生巨大的电压，容易造成半导体元件的损坏。

目前在制造业中用于解决静电累积的常用方法有：(1)将设备接地并调整环境的相对湿度，以将物体表面的静电导出四周；(2)在物体外加金属屏蔽，以避免外在电源对该物体表面产生影响。但除了上述消除静电的方法外，也可以利用静电消除器喷洒离子至物体表面以中和物体表面的静电。

而目前制造业中所使用的静电消除器，依据静电消除原理以及是否通入有高压气体来区分，可以分为主动式、被动式、吹气式与非吹气式，其中主动式静电消除器，依其外接电源的不同，又可分为直流式与交流式。

如图1所示，传统的交流吹气式静电消除器包含有一杆体10以及复数个放电针组20；在杆体10内通有高压气体；并有一通有交流电的电源线11装设在杆体10内；而各放电针组20以5至10公分的间距设在杆体10上。

如图2所示，传统静电消除器中的放电针组20包括有一放电针21与一喷嘴22；放电针21与电源线11电性连接；喷嘴22设在上述放电针21的外围，用于界定离子喷洒角度；上述喷嘴22的离子喷洒角度为35度，该角度是一般制造业中常用的喷洒角度。

该传统静电消除器在进行静电消除时，电源线11与放电针21电性连接并通入交流电，使放电针21持续尖端放电并产生离子；该离子的电性随交流电的电性交互改变；此外，通入杆体10内的高压气体经由喷嘴22携带上述放电针21产生的离子喷洒至玻璃基板表面。

然而，在现今玻璃基板尺寸不断加大的情形下，对于静电消除器的要求已不止于有效去除静电，同时更要求成本的降低与时间的节省；因此，上述传统的静电消除器存在有下列缺点：

1.静电消除器的涵盖角度不足。如图3所示，该静电消除器的涵盖角度为35度，其与玻璃基板的垂直距离为D，在此条件下静电消除器的消除面积为F；该玻璃基板的长度为L，宽度为W，并且其以一定速度V沿着长度方向相对于静电消除器移动。由于上述静电消除器的涵盖角度是固定的，因此消除面积受到限制。

2.如图4所示，当玻璃基板的长度在增加一倍时，利用传统的静电消除器进行静电消除，若在不改变玻璃基板相对于静电消除器移动速度V的情形下，该玻璃基板完成静电消除所需的时间则由L/V增加为2L/V，因而增加了时间成本；若希望减少该玻璃基板完成静电消除所需的时间至L/V，则需将相对移动速度增加为2V，从而导致玻璃基板单位面积接收到的离子量只有原来的一半，因而造成玻璃基板表面的静电无法完全被中和。

3.如图5所示，若将传统的静电消除器至玻璃基板的垂直距离由D增加为2D，再利用该静电消除器进行静电消除时；由于静电消除器的涵盖角度是固定的，该垂直距离的增加可以同时增加静电消除器的消除面积至F’(F’＞F)。但是，伴随着该垂直距离的增加，放电针21产生的离子密度也会以上述距离的增加而以平方比降低；同时，该离子电性中和的机会也随着降低；因而导致玻璃基板接受到的离子密度不足，造成静电消除效率的降低。

4.如图5所示，当静电消除器至玻璃基板的垂直距离增加至2D后，相对增加了该静电消除制程所需的设备空间，因而增加了空间成本。

发明内容

本发明中静电消除器的主要目的是为了解决消除大尺寸玻璃基板静电时所产生的问题，诸如：静电消除器涵盖角度不足；静电消除器与玻璃基板距离增加导致玻璃基板静电消除效率降低与设备空间增加；静电消除器与玻璃基板相对移动速度增加导致玻璃基板表面静电无法完全被中和。

本发明中的静电消除器包含一杆体以及复数个放电针组；并有一电源线装设在上述杆体内，该放电针组以一定间距(5至10公分)装设在上述杆体上，且每一个放电针组包括有复数个放电针。该放电针与上述电源线电性连接；籍由调整上述放电针的针尖方向来提升放电针组的喷洒角度；因此，本发明中的静电消除器可以获得较大的涵盖角度，可有效作大尺寸玻璃基板表面的静电。

另外，所述同一放电针组中相邻二放电针之间的夹角为10到60度。

附图说明

下面将结合附图对本发明中的具体实施例作进一步详细说明。

图1是传统交流吹气式静电消除器的结构示意图；

图2是传统静电消除器中放电针组的结构示意图；

图3是传统静电消除器在进行静电作时的示意图；

图4是在玻璃基板的长度增加一倍时利用传统静电消除器进行静电消除作业的示意图；

图5是在传统静电消除器与玻璃基板的距离增加一倍时利用该静电消除器进行静电消除作业的示意图；

图6A与图6B是本发明中静电消除器的结构示意图；

图7是本发明中离子喷洒角度的示意图；

图8是本发明中静电消除器在进行静电消除作业时的示意图；

图9A与图9B是本发明中静电消除器的一实施例图；

图10A与图10B是本发明中静电消除器的又一实施例图；

图11A与图11B是本发明中静电消除器的另一实施例图。

具体实施方式

本发明中的静电消除器是在每一个放电针组内装设有复数个放电针，以增加该放电针组的离子喷洒角度，因而可提高静电消除器的涵盖角度。

如图6 A与图6B所示，本发明第一实施例中的静电消除器含有一杆体30以及复数个放电针组40；在杆体30内通有高压气体，并有一通有交流电的电源线31装设在杆体30内；放电针组40以一定间隔(5至10公分)装设在杆体30上，且每一个放电针组40包括有二放电针41与一喷嘴42，且在同一放电针组的相邻二放电针41之间夹有一定角度，该角度为10至60度。

如图6B所示，该图示出了垂直杆体30轴线方向的结构；其中放电针41及喷嘴42与图2中所示传统技术的放电针21及喷嘴22的型式相同；放电针41与电源线31电性连接，并通入交流电，导致该放电针41具有高电压，及可持续放电产生离子；上述离子的电性是随上述交流电的电性进行交互改变；喷嘴42装设在放电针41的外围，用于界定离子喷洒角度；通入杆体30内的高压气体经由喷嘴42而携带放电针41产生的离子喷洒至玻璃基板。

如图7所示，在该图中示出了本发明中离子的喷洒角度，上述放电针组40其中二喷嘴42的喷洒角度是彼此相邻而不重叠；与图2中传统技术放电针组20仅有35度的离子喷洒角度相比，本实施例的放电针组可以产生约为70度的离子喷洒角度。

如图8所示，静电消除器的涵盖角度为70度，与玻璃基板的垂直距离为D，在此条件下上述静电消除器的消除面积为F”。与图3中所示传统技术的静电消除器相比较，由于本发明中涵盖角度增加，从而使消除面积也相应增加F”＞F。

如图9A与图9B所示，本发明另一实施例的静电消除器包含有一杆体30以及复数个放电针组40，在杆体30内通有高压气体；并有一通有交流电的电源线31装设在其内部；放电针组40以一定间隔(5至10公分)装设在杆体30上，且每一个放电针组40均包括有三个放电针41与三个喷嘴42；若再增加该放电针41的数目，上述静电消除器可以获得更大的涵盖角度。

如图10A与图10B所示，本发明又一实施例的静电消除器包含有一杆体30以及复数个放电针组40；在该杆体30内通有高压气体；并有一通有直流电的电源线31装设在内；放电针组40以一定间隔(5至10公分)装设在该杆体30上；且每一个放电针组40包括有二放电针41与二喷嘴42，该放电针41产生的带电离子与该直流电源具有相同的电性。

如图11A与11B所示，本发明再一实施例的静电消除器包含有一杆体30以及复数个放电针组40；并有一通有交流电的电源线31装设在内：该放电针组40以一定间隔(5至10公分)装设在杆体30上；且该放电针组40包括有一放电针41。本实施例是一非吹气式静电消除器，在其中的杆体30内并不加入有高压气体，同时也去除装设在每一放电针41外围的喷嘴42，从而籍由增加放电针组40放电针41的数目来增加静电消除器的涵盖角度。

另外，上述仅对本发明中的较佳实施例作了说明，但并不能作为本发明的保护范围，因作为本领域的技术人员对其作出相应的修改与修饰是可以的，因此，凡是依据本发明的设计精神而作出的等效变化或修饰，均应认为落入本发明的保护范围。

Claims

1.一种静电消除器，尤其适用于大尺寸玻璃基板的静电消除器，其包含有：

一杆体，在该杆体内通有一电源线；

复数个放电针组，该复数个放电针组以一定间距装设在所述杆体上；其特征在于：所述每一放电针组包含有复数个放电针，该复数个放电针垂直于所述杆体的轴线方向，且同一放电针组的相邻二放电针夹有一定角度；所述放电针与所述电源线相接，并用于产生离子，该离子喷洒至玻璃基板表面后用于中和其表面的静电。

2.根据权利要求1中所述的静电消除器，其特征在于：所述同一放电针组的相邻二放电针之间的夹角为10到60度。

3.根据权利要求1中所述的静电消除器，其特征在于：所述电源线通以交流电，为此，所述放电针产生的离子电性随上述电源电性而作交互改变。

4.根据权利要求1中所述的静电消除器，其特征在于：所述电源线通以直流电，为此，所述放电针产生的离子电性与直流电源电性相同。

5.根据权利要求1中所述的静电消除器，其特征在于：所述相邻两放电针组的距离为5至10公分。

6.根据权利要求1中所述的静电消除器，其特征在于：在所述每一放电针外围装设有一喷嘴，且喷嘴以一定喷洒角度将该放电针所产生的离子喷洒至玻璃基板表面。

7.根据权利要求6中所述的静电消除器，其特征在于：所述杆体通有高压气体，该高压气体经由所述喷嘴将放电产生的离子喷洒至玻璃基板表面。

8.根据权利要求7中所述的静电消除器，其特征在于：所述喷嘴的喷洒角度为35度。

9.根据权利要求1中所述的静电消除器，其特征在于：所述每一放电针没有装设喷嘴，且在其中的杆体中没有通入高压气体。