CN1495844A - 彩色阴极射线管及其制造方法以及荧光屏的形成方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种彩色阴极射线管，其具有高精确度的黑色基底荧光屏，降低了该彩色阴极射线管的色彩选择机构的电子束通过孔边缘的精度，同时也提供了其制造方法。在色彩选择机构上，形成与色彩选择机构的电子束通过孔的图形无关的抗蚀剂图形，采用该抗蚀剂图形作为掩模形成荧光屏。在形成荧光屏后，去掉抗蚀剂图形以形成色彩选择机构。通过定位该色彩选择机构以面向以上述方式形成的彩色荧光屏，来形成该彩色阴极射线管。

Description

彩色阴极射线管及其制造方法 以及荧光屏的形成方法
技术领域
本发明涉及一种彩色阴极射线管及其制造方法以及荧光屏的制造方法。
背景技术
通常，如图1所示，一个彩色阴极射线管包括一所谓的黑色基底彩色荧光屏3，该黑色基底彩色荧光屏在管壳的显示屏2的内表面上，具有一红色荧光体层4R、一绿色荧光体层4G、一蓝色荧光体层4B及在每个荧光体层之间的作为光吸收层的碳层5。彩色阴极射线管也包括设置在彩色荧光屏3对面的色彩选择结构6。从一个电子枪(或多个电子枪)中发射的、与各颜色相对应的电子束，通过色彩选择机构6中的电子束通过孔7后，照射到每个荧光体层4[4R，4G，4B]上。每束的束宽W1比每种颜色的荧光体层4的宽度W2要宽，使每束照射时也覆盖相应的碳层5的某些区域。
图2所示为称作孔径栅的色彩选择机构6。该色彩选择机构具有包括一对相对的支撑部件11和12的金属框架15、在这些支撑部件11和12之间延伸的弹性产生部件13和14。另外，该色彩选择机构还具有一个掩模部件，换句话说，一色彩选择电极薄板18。该掩模部件具有大量的电子束通过孔16，这些电子束通过孔16沿着同一方向，例如荧光屏的水平方向，为狭缝形，位于框架15的相对的支撑部件11和12之间。该色彩选择电极薄板18包括一金属薄板，其构造是，多个细长的格栅元件组件17按上述的单一方向排列，缝状电子束通过孔16在相邻的元件组件17之间形成。缝状电子束通过孔通过蚀刻形成。
采用色彩选择机构6作为掩模来制造上述的彩色荧光屏3。换句话说，利用由于衍射所导致的光传播，形成宽度比电子束通过孔的宽度(缝宽)窄的荧光体层的条纹。例如，假定一适用的荧光体膜具有所需要的厚度，当光强分布为高斯分布的曝光用光，照在所采用的荧光体膜上时，能够实现与高斯分布相应的曝光。由于采用在上面喷水和机械蚀刻的处理方法，通过控制该时段的水压，就能够形成宽度比电子束通过孔的宽度窄的荧光体层条纹。
然而，由于电子束通过孔16的缝边也作为控制电子束的宽度和荧光屏曝光的掩模，因此要求非常高的精度。换句话说，作为曝光的掩模，由于误差被放大，因此高精度是必需的。然而，为了达到控制电子束宽度的目的，这样的高精度是不必要的。这是因为电子束在照射时会到达荧光体层的两侧上的碳层，即使电子束通过孔16的条纹边缘不锋利，由于碳层隐藏了它们因此并不算问题。
另外，由于色彩选择电极薄板18具有多个细长的格栅元件17，所以，随着色彩选择电极薄板18变得更大、需要更细的栅距，其强度变差，而且栅距很可能出现变化。由于这个原因，为了进行处理，不得不增加色彩选择电极薄板18的厚度。
另一方面，由于色彩选择机构6的电子束通过孔16通过蚀刻形成，因此限制了缝边的精度，从而限制了通过采用该色彩选择机构6作为掩模进行曝光和处理所得到的荧光体层的条纹边的锐度。另外，由于利用由于衍射所导致的光传播来形成厚度比电子束通过孔的宽度窄的荧光体条纹层，因此难于控制具有高精度的条纹宽度。
发明内容
本发明针对上述的各方面，提供了一种彩色阴极射线管，能够降低色彩选择机构的电子束通过孔边的精度，同时提供了一种具有高精度的黑色基底彩色荧光屏及其制造方法。
特别地，本发明将提供一种能应用于色彩选择机构的电子束透射率高的后调焦(post focusing)型的阴极射线管，及其制造方法。
本发明提供了一种荧光屏的制造方法，能够获得更高精确度的黑色基底彩色荧光屏或用于后调焦彩色阴极射线管的荧光屏。
本发明一种彩色阴极射线管可制备成具有彩色选择机构，其中形成与色彩选择机构的电子束通过孔无关的抗蚀剂图形，其采用该抗蚀剂图形作为掩模制成彩色荧光屏，然后去掉该抗蚀剂图形。
按照本发明的一个实施例的彩色阴极射线管，由于它的彩色荧光屏是通过采用与色彩选择机构的电子束通过孔无关的色彩选择机构上的抗蚀剂图形进行曝光和处理而产生的，所以，荧光体层的边缘变得更锐利，荧光屏变得更精确，因此能够得到更高质量的图像。另外，由于去掉了色彩选择机构的该抗蚀剂图形，所以能够降低色彩选择机构的电子束通过孔的精确度的要求。通过这样的色彩选择机构，可实现荧光体层和色彩选择机构的电子束通过孔的高定位精度，同时，色彩选择机构的电子束通过孔的宽度或直径与荧光体层的宽度或直径的比率可任意设置。结果是，黑色基底的阴极射线管或后调焦阴极射线管可制作得更精确。
与本发明的一个实施例相关的彩色阴极射线管的制造方法包括步骤：在色彩选择机构上形成与色彩选择机构的电子束通过孔无关的抗蚀剂图形，采用该抗蚀剂图形作为掩模而形成荧光屏，在形成荧光屏后去掉抗蚀剂图形。
按照上述的方法，由于用于形成荧光屏的作为掩模的抗蚀剂图形的透射率和色彩选择机构的透射率设置为互相独立，所以能够获得更稳定的用于荧光体层的曝光条件。另外，由于通过曝光和处理程序形成抗蚀剂图形，其图形边缘的精确度比通过蚀刻形成的情况下要高。通过采用这种抗蚀剂图形形成荧光屏，能够得到更高精确性的荧光屏。另一方面，由于抗蚀剂图形从色彩选择机构去掉，对于曝光来制成荧光屏来说，该色彩选择机构的电子束通过孔边缘变得不再是必要的，因此，显著地降低了精确度要求。
与本发明的实施例相关的荧光屏的制造方法包括步骤：在色彩选择机构上形成与色彩选择机构的电子束通过孔无关的抗蚀剂图形，采用该抗蚀剂图形作为掩模进行曝光来形成荧光屏。
按照上述的方法，由于在形成荧光屏的过程中用作掩模的色彩选择机构的透射率和抗蚀剂图形的透射率设置成互相独立的，因此可实现稳定的用于荧光体层的曝光条件。另外，由于通过曝光和处理程序形成该抗蚀剂图形，其图形边缘的精确度比通过蚀刻形成的情况下的更高。通过采用这种抗蚀剂图形形成荧光屏，能够获得更高精确度的荧光屏。
按照与本发明的实施例相关的彩色阴极射线管，可提供一种具有高精确度的黑色基底荧光屏的高图像质量的彩色阴极射线管，在其中荧光体层边缘锋利同时能够降低色彩选择机构的电子束通过孔的精确度要求。另外，可提供一种高清晰度的彩色阴极射线管，更进一步的，它适合用于后调焦的彩色阴极射线管中。
按照与本发明的实施例相关的彩色阴极射线管的制造方法，能够以稳定和良好的精确度制造图像质量高、具有高精度的黑色基底荧光屏的彩色阴极射线管。其中荧光体层边缘是锋利的，同时降低了色彩选择机构的电子束通过孔的精度要求。另外，它适合用于高清晰度彩色阴极射线管的制造，更进一步的，它适合用于后调焦的彩色阴极射线管的制造。
按照本发明荧光屏的形成方法，按照能够使荧光体层边缘变得更锋利的方式，形成高精确度的黑色基底彩色荧光屏。另外，它适合于用在高清晰度彩色荧光屏的制造中，更进一步的，它适合用于后调焦的彩色阴极射线管的荧光屏的制造中。
在处理第二光致抗蚀剂材料之前，当从第一抗蚀剂图形的一侧有选择地蚀刻基底材料时，能够形成具有更好精确度的一个第二抗蚀剂图形。
当从第一和第二抗蚀剂图形这两侧有选择地蚀刻基底材料时，可改进形成掩模部件的效率。
进一步的，因为用作光致抗蚀剂材料是所谓的干膜，其中光致抗蚀剂膜形成在透光膜的表面上，所以能够形成一个强的抗蚀剂图形，从而能够使基底材料更薄。
附图说明
图1是采用图2所示的色彩选择机构作为掩模的荧光屏制造流程图；
图2是也能够用作传统掩模的色彩选择机构的一个例子的结构示意图；
图3是本发明的彩色阴极射线管一实施例的结构示意图；
图4是图3的主要部分的放大截面图；
图5是用于后调焦彩色阴极射线管的本发明彩色阴极射线管另一实施例的主要部分的放大截面图；
图6A到图6D是用于制造本发明彩色阴极射线管的掩模部件的第一组制造方法流程图；
图7E到图7H是继续图6D的第二组制造方法流程图；
图8A到图8C是用于制造本发明彩色阴极射线管的掩模部件的制造方法的另一实施例的制造方法流程图；
图9A到图9B是本发明荧光屏制造方法一个实施例的制造方法流程图；
图10A是本发明彩色阴极射线管的色彩选择机构的一个实施例的结构示意图，图10B是其放大截面图；
图11A是用于制造本发明彩色阴极射线管的掩模部件的另一实施例的平面示意图，图11B是其后视图，图11C是其放大截面图；和
图12A是用于制造本发明彩色阴极射线管的掩模部件的另一实施例的平面示意图，图12B是其截面图。
具体实施方式
以下将参考附图描述本发明的实施例。
图6A到6D及图7E到7H所示为一掩模部件的制造方法的实施例，该掩模部件在制造荧光屏时用作掩模，最终成为本申请彩色阴极射线管的色彩选择机构。本实施例的该色彩选择机构被称为孔径栅的那一种。
首先，如图6A所示，准备基底材料、光致抗蚀剂膜和光致抗蚀剂层23。基底材料最终成为色彩选择电极薄板，例如金属薄板21。光致抗蚀剂膜即所谓的干膜24，其包括一透光树脂膜如PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)膜22。光致抗蚀剂层23形成在透光树脂膜22的一侧上。干膜24的光致抗蚀剂层23很坚固。可以使用例如Tokyo Ohka Kogyo Co.，Ltd.的F1230作为光致抗蚀剂层23。
接着，如图6B所示，将第一干膜24A附着在金属薄板21的一侧，将第二干膜24B附着在金属薄板21的另一侧。附着干膜24时，光致抗蚀剂层23面向金属薄板21。在本实施例中，采用负光致抗蚀剂层23。在本实施例中，金属薄板21的厚度大约为50到100um，干膜24的厚度大约为30um。
然后，如图6C所示，第一干膜24A通过具有与最终成为色彩选择电极薄板的电子束通过孔的缝图形对应的图形的第一掩模25A曝光。换句话说，第一掩模25A的光阻部分的宽度W1起确定电子束通过孔的宽度的作用。另外，第二干膜24B通过具有与最终成为制造荧光屏的掩模的条纹图形对应的图形的第二掩模25B曝光。换句话说，第二掩模25B的光阻部分的宽度W2起确定荧光体条纹宽度的作用。宽度W2比宽度W1窄。在这些曝光处理中，光通过PET22传输，仅有光致抗蚀剂层23曝光。
接着，如图6D所示，在第一干膜24A的PET膜22剥落后，进行处理，去掉未曝光的部分以形成具有第一开口宽度(所谓的缝宽)W1的第一抗蚀剂图形26A。
接着，如图7E所示，利用第一抗蚀剂图形作掩模，有选择地蚀刻金属薄板直到蚀刻溶液如氯化铁到达干膜24B。换句话说，进行金属薄板21的蚀刻直到穿透金属薄板21并且第二干膜24B被曝光。然而，不管是否聚合，由于光致抗蚀剂23具有强的抗酸性，继续蚀刻直到比曝过光部分大的第二干膜24B的区域被曝光(换句话说，直到得到一后来形成的合适的小宽度缝)。通过该蚀刻处理，在金属薄板21上形成了具有预定缝宽的多个缝状的电子束通过孔27和格栅元件组件29的图形。在这种蚀刻处理过程中，由于要从一侧进行蚀刻一直到达第二干膜24B，所以，在第二干膜24B一侧上所所形成的电子束通过孔，其边缘部分28具有锋利的边。另外，由于是在没有处理第二干膜24B的状态下，从第一干膜24A的一侧进行蚀刻处理，所以，能够保持后来将形成的第二抗蚀剂图形的边缘精确度。
接着，如图7F所示，第二干膜24B的未曝光部分被显影并从第一抗蚀剂图形26A的一侧去掉，于是，形成了第二抗蚀剂图形26B。随后，如图7G所示，剥离第二干膜24B的PET膜22。这样，得到用于生成荧光屏的掩模薄板30。在该掩模薄板30中，沿纵向形成的缝状电子束通过开孔27，其两个边缘都去掉了抗蚀剂层。通过在荧光屏制成后将抗蚀剂显示屏26A和26B去掉，能够将掩模薄板30构造成色彩选择电极薄板。
然后，如图7H所示，设置一金属框架35，其包括一对相对的支撑部件31和32以及在支撑部件31和32的两个端部之间延伸的弹性产生部件33和34。上述的掩模薄板30放置在框架35的相对支撑部件31和32之间，然后通过焊接等方式固定就位。于是，制成了用于形成荧光屏的掩模部件36。
图8A到图8C所示为用于形成本发明掩模部件的方法的另一实施例。
在本实施例中，与图6A所示的处理相同，第一干膜24A通过第一掩模25A曝光，第二干膜24B通过第一掩模25B曝光，如图8A所示。
接着，如图8B所示，在第一和第二干膜24A和24B的PET膜22剥去后，执行处理过程，去掉没有聚合的部分，因此形成第一抗蚀剂图形26A和第二抗蚀剂图形26B。
接着，如图8C所示，用第一抗蚀剂图形26A和第二抗蚀剂图形26B作为掩模，从两侧有选择地对金属薄板21进行蚀刻，形成随后由第一抗蚀剂图形26A所限定的缝状电子束通过孔27的图形。在该蚀刻处理中，在第二抗蚀剂图形26B一侧所形成的缝状电子束通过孔27，其边缘部分也具有锋利的边缘。从而得到了掩模薄板30。在该掩模薄板30的制造方法中，由于从金属薄板21两侧进行蚀刻，所以，提高了制造掩模薄板30的效率。
如上所述，将如此制成的掩模薄板30放置在框架35内，被固定就位，从而得到用于制造荧光屏的掩模部件36。
在本发明的一实施例中，采用上述的掩模部件36制成彩色阴极射线管的荧光屏。图9A和9B所示为按照本发明一个实施例的彩色荧光屏的制造方法的一个实施例。
如图9A所示，采用掩模部件36的第二抗蚀剂图形26B作为掩模，在阴极射线管壳的显示屏41的内表面上，形成将成为光吸收层的碳条纹42的图形。在该碳条纹图形中，尽管未示于附图中，光致抗蚀剂膜(例如，PVA光致抗蚀剂膜)在显示屏41的内表面上形成，采用掩模部件36的第二抗蚀剂图形26B作为掩模，通过相对于红色、绿色、蓝色位置移动光源，并在每个位置进行曝光和处理，就能够形成抗蚀剂图形，使抗蚀剂保留在红色、绿色、蓝色的位置上。接着，在整个表面敷上碳膜，在其上的抗蚀剂图形和碳膜通过相反的处理去掉，用剩下的碳膜形成碳条纹图形。
接着，涂覆第一种颜色例如绿色的荧光剂浆。干燥后，采用上述掩模部件的第二抗蚀剂图形26B作为掩模进行曝光和处理形成绿色荧光体条纹43G。类似的，形成第二种颜色例如红色的荧光体条纹43R和第三种颜色例如蓝色的荧光体条纹43B，从而形成如图9B所示的预期的黑色基底彩色荧光屏。
在彩色荧光屏44形成后，溶解和去掉在掩模部件36两侧上的第一和第二抗蚀剂图形26A和26B，就形成了一个色彩选择机构46，如图10A所示。该色彩选择机构46含有一个色彩选择薄板47，色彩选择薄板47包括一个金属薄板，上面形成有多个格栅元件组件29以及在格栅元件组件29的电子束通过孔27。在该色彩选择机构46中，缝状电子束通过孔27的宽度比荧光体条纹43A、43G、43B的条纹宽度宽。在本发明的一个实施例中，可通过将该色彩选择机构46安装在显示屏内侧来构成彩色阴极射线管。
图3和图4示出了本发明彩色阴极射线管的一个实施例。在本发明彩色阴极射线管51中，黑色基底荧光屏44采用上述的掩模部件在阴极射线管壳(玻璃管状外壳)52的显示屏52P的内表面上形成，通过去掉掩模部件36的抗蚀剂图形26A和26B而形成的色彩选择机构46设置在该荧光屏44的对面，电子枪53设置在管颈部分52N内部。在管壳52的外部设有偏转轭，用于在水平和垂直方向偏转来自电子枪53的每一种颜色的电子束60[BR，BG，BB]。
按照上述的实施例，通过将掩模部件36的第二抗蚀剂图形26B作为掩模进行曝光以形成荧光屏，在形成荧光屏后通过去掉第一和第二抗蚀剂图形26A和26B来构成色彩选择机构，在曝光过程中的掩模的透射率可以与色彩选择机构46的电子束透射率无关地设置在最佳情况。因此，荧光体条纹的曝光的宽度由第二抗蚀剂图形的缝宽确定，可得到荧光体条纹的稳定的曝光条件。从而，能够形成比色彩选择机构46的电子束通过孔27的宽度窄的预期宽度的荧光体条纹43R、43G和43B。换句话说，色彩选择机构46的电子束通过孔的宽度被设计成使得电子束宽度最佳，同时考虑到允差，荧光体条纹的宽度可以做得更窄。另外，能够根据色彩选择机构的电子束通过孔的宽度广泛地控制荧光体条纹的宽度
由于在形成荧光屏的曝光过程中，是不需要色彩选择机构46的电子束通过孔27的缝边缘的，所以，在很大程度上降低了精确度要求。
由于当前可用PET膜22处理掩模薄板30，所以PET膜22用作保护膜，从而确保足够的强度，防止在处理过程中的损坏，从而使处理更简单。另外，由于能得到附加强度，可使金属薄板更薄，即使该装置更大并且栅距更细小，栅距也不会出现变化。结果是，就能够形成一种薄钢板的色彩选择机构，它能够做得更大、具有更细的栅距。
由于用作掩模的第二抗蚀剂图形26B通过曝光和处理形成，所以所形成的图形边缘(即缝边缘)比通过蚀刻形成的抗蚀剂图形26B的情况下更锋利，因此能够形成高精度的荧光体条纹43R、43G和43B。
阴极射线管的彩色荧光屏中，荧光体条纹具有更锋利的条纹边缘，能够使图像的清晰度更高。
除了应用于普通黑色基底的彩色阴极射线管以外，本实施例，如图5所示，尤其适合用于后调焦的彩色阴极射线管55，其中，色彩选择机构48的电子束透射率提高约50％，也尤其适用于这种后调焦的彩色阴极射线管55的制造方法及荧光屏的制造方法等。
图11A到11C示出了掩模部件的另一个实施例。在本实施例的掩模部件61中，在金属薄板21的一侧形成具有与上述实施例中相同的缝状开孔的第一抗蚀剂图形62A，在另一侧形成第二抗蚀剂图形62B。第二抗蚀剂图形62B的缝宽比第一抗蚀剂图形62A的缝宽窄，并且在其相邻的、其间形成缝的条纹63与连接部分(所谓的桥式部分)64部分连接。连接部分64的宽度形成为比条纹63的宽度窄。如在图7E中图示的情况，金属薄板21的蚀刻，从第一抗蚀剂图形62A一侧进行，并形成成为电子束通过孔的缝27。
按照本实施例的掩模部件61，由于第二抗蚀剂图形62B按照具有连接部分64的缝状图形形成，所以，即使在蚀刻金属薄板21之后，格栅元件组件29也不会崩溃，稳定了第二抗蚀剂图形的栅距，得到了良好的缝宽均匀性，处理更容易。当采用该掩模部件61进行曝光以形成荧光屏时，通过采用线性光源，连接部分64不会被转录，因此能够形成具有条纹结构的荧光屏。荧光屏形成后，除去第一和第二抗蚀剂图形62A和62B，而形成色彩选择机构。
图12A和12B所示为掩模部件的另一实施例。本实施例应用于形成具有荧光点的黑色基底的彩色荧光屏。在本实施例的掩模部件71中，第一抗蚀剂图形72A具有点状开孔72a，有助于确定色彩选择机构的点状电子束通过孔的尺寸。该第一抗蚀剂图形72A形成在金属薄板21的一侧。在另一侧形成第二抗蚀剂图形72B，其具有点状开孔72b，有助于确定将要形成的荧光点的尺寸。金属薄板21的蚀刻可从第一抗蚀剂图形72A的一侧或从第一抗蚀剂图形72A的一侧和第二抗蚀剂图形72B的一侧这两侧进行，从而形成成为电子束通过孔的点状开孔74。
通过采用这种掩模部件71，可以形成点状结构的黑色基底彩色荧光屏。通过在形成荧光屏后去掉第一和第二抗蚀剂图形72A和72B，形成具有点状电子束通过孔的色彩选择机构。
另外，在本发明中，尽管未在附图中示出，还可以形成能最终形成缝状色彩选择机构的掩模部件。还可以采用该缝状掩模部件形成条纹状彩色荧光屏，然后通过去掉第一和第二抗蚀剂图形，形成缝状色彩选择机构，并通过将该缝状色彩选择机构到安装显示屏上形成彩色阴极射线管。
由于在此公开的本发明可以以其他的具体方式来实施而不脱离本发明的精神或一般性特征，所以，一些已经指明的形式、所描述的实施例，在各个方面都应理解为图示性的而非限制性的。本发明的范围由权利要求而不是前面的描述来限定。本发明包括了落在权利要求含义和等同物范围内的所有变化。
本发明引用JP2002-258008的内容作为参考。

Claims (21)

1.一种彩色阴极射线管，包括：
一个所述的色彩选择机构；
一个彩色荧光屏，通过在所述色彩选择机构上形成与所述色彩选择机构的电子束通过孔无关的抗蚀剂图形并通过采用所述的抗蚀剂图形作为一掩模，来形成所述彩色荧光屏，
从所述色彩选择机构去掉所述抗蚀剂图形。
2.一种彩色阴极射线管的制造方法，包括：
在色彩选择机构上形成与所述的色彩选择机构的电子束通过孔无关的抗蚀剂图形；
采用所述的抗蚀剂图形作为掩模形成荧光屏；
在形成所述的荧光屏后，通过去掉所述的抗蚀剂图形形成所述的色彩选择机构。
3.一种彩色阴极射线管的制造方法，包括：
形成一个掩模部件，该掩模部件是通过下面的方法得到的：在一基底材料的一侧上形成一第一抗蚀剂图形，该第一抗蚀剂图形具有第一开孔宽度和第一开孔直径中的一个；在所述的基底材料的另一侧上形成一第二抗蚀剂图形，该第二抗蚀剂图形具有第二开孔宽度和第二开孔直径中的一个，所述第二开孔宽度和第二开孔直径中的一个比所述第一开孔宽度和第一开孔直径中的一个小；主要以所述第一抗蚀剂图形作为一掩模有选择地去掉所述基底材料，
采用所述的掩模部件的所述第二抗蚀剂图形作为一掩模形成荧光屏，
通过在形成所述的荧光屏后去掉所述的掩模部件的所述第一抗蚀剂图形和所述的第二抗蚀剂图形以形成色彩选择机构。
4.一种彩色阴极射线管的制造方法，包括：
形成一掩模部件，该掩模部件是通过下面的方法得到的：在基底材料的一侧形成第一光致抗蚀剂材料，在另一侧形成第二光致抗蚀剂材料；以不同的图形曝光所述的第一光致抗蚀剂材料和所述的第二光致抗蚀剂材料；通过处理所述的第一光致抗蚀剂材料形成具有第一开孔宽度和第一开孔直径中的一个的第一抗蚀剂图形；利用所述第一抗蚀剂图形作为掩模有选择地去掉所述基底材料，直到到达所述的第二光致抗蚀材料；通过处理所述的第二光致抗蚀剂材料形成具有第二开孔宽度和第二开孔直径中的一个的第二抗蚀剂图形，所述第二开孔宽度和第二开孔直径中的一个比所述第一开孔宽度和第一开孔直径中的一个小，
形成一色彩选择机构，该色彩选择机构是通过下面的方法得到的：采用所述的掩模部件的所述第二抗蚀剂图形作为掩模形成一荧光屏；在形成所述的荧光屏后去掉所述掩模部件的所述的第一抗蚀剂图形和所述的第二抗蚀剂图形。
5.一种彩色阴极射线管的制造方法，包括：
形成一掩模部件，该掩模部件是通过下面的方法得到的：在基底材料的一侧形成第一光致抗蚀剂材料，在另一侧形成第二光致抗蚀剂材料；以不同的图形曝光所述的第一光致抗蚀剂材料和所述的第二光致抗蚀剂材料；通过处理所述的第一光致抗蚀剂材料形成具有第一开孔宽度和第一开孔直径中的一个的第一抗蚀剂图形；通过处理所述的第二光致抗蚀剂材料形成具有第二开孔宽度和第二开孔直径中的一个的第二抗蚀剂图形，所述第二开孔宽度和第二开孔直径中的一个比所述第一开孔宽度和第一开孔直径中的一个小；用所述第一抗蚀剂图形和所述第二抗蚀剂图形作为掩模，以与所述第一抗蚀剂图形对应的图形有选择地去掉所述基底材料，
形成一色彩选择机构，该色彩选择机构是通过下面的方法得到的：采用所述的掩模部件的所述第二抗蚀剂图形作为掩模形成一荧光屏；在形成所述的荧光屏后去掉所述掩模部件的所述的第一抗蚀剂图形和所述的第二抗蚀剂图形。
6.一种荧光屏的形成方法，包括：
在色彩选择机构上形成与所述的色彩选择机构的电子束通过孔图形无关的抗蚀剂图形；
采用所述的抗蚀剂图形作为掩模，进行曝光处理，来形成所述荧光屏。
7.一种荧光屏的形成方法，包括：
形成一掩模部件，该掩模部件是通过下面的方法得到的：在一基底材料的一侧上形成一第一抗蚀剂图形，该第一抗蚀剂图形具有第一开孔宽度和第一开孔直径中的一个；在所述的基底材料的另一侧上形成一第二抗蚀剂图形，该第二抗蚀剂图形具有第二开孔宽度和第二开孔直径中的一个，所述第二开孔宽度和第二开孔直径中的一个比所述第一开孔宽度和第一开孔直径中的一个小；主要以所述第一抗蚀剂图形作为一掩模有选择地去掉所述基底材料，
采用所述掩模部件的所述第二抗蚀剂图形作为掩模，进行曝光处理，来形成所述荧光屏。
8.一种荧光屏的形成方法，包括：
形成一掩模部件，该掩模部件是通过下面的方法得到的：在基底材料的一侧上形成第一光致抗蚀剂材料，在另一侧上形成第二光致抗蚀剂材料；以不同的图形曝光所述的第一光致抗蚀剂材料和所述的第二光致抗蚀剂材料；通过处理所述的第一光致抗蚀剂材料形成具有第一开孔宽度和第一开孔直径中的一个的第一抗蚀剂图形；用第一抗蚀剂图形作为掩模有选择地去掉所述基底材料，直到到达所述的第二光致抗蚀剂材料；通过处理所述的第二光致抗蚀剂材料形成具有第二开孔宽度和第二开孔直径中的一个的第二抗蚀剂图形，所述第二开孔宽度和第二开孔直径中的一个比所述第一开孔宽度和第一开孔直径中的一个小，
采用所述掩模部件的所述第二抗蚀剂图形作为掩模，进行曝光处理，来形成所述荧光屏。
9.一种荧光屏的形成方法，包括：
形成一种掩模部件，该掩模部件是通过下面的方法得到的：在基底材料的一侧形成第一光致抗蚀剂材料，在另一侧形成第二光致抗蚀剂材料；以不同的图形曝光所述的第一光致抗蚀剂材料和第二光致抗蚀剂材料；通过处理所述第一光致抗蚀剂材料形成具有第一开孔宽度和第一开孔直径的一个的第一抗蚀剂图形；通过处理所述的第二光致抗蚀剂材料形成具有第二开孔宽度和第二开孔直径中的一个的第二抗蚀剂图形，所述第二开孔宽度和第二开孔直径中的一个比所述第一开孔宽度和第一开孔直径中的一个小；用所述第一抗蚀剂图形和所述第二抗蚀剂图形作为掩模，以与所述第一抗蚀剂图形对应的图形有选择地去掉所述基底材料，
采用所述掩模部件的所述第二抗蚀剂图形作为掩模，进行曝光处理，来形成所述荧光屏。
10.根据权利要求7所述的荧光屏的形成方法，其中所述的第一光致抗蚀剂材料和所述第二光致抗蚀剂材料包括在透光树脂膜的表面上形成的光致抗蚀剂膜。
11.根据权利要求8所述的荧光屏的形成方法，其中所述的第一光致抗蚀剂材料和所述第二光致抗蚀剂材料包括在透光树脂膜的表面上形成的光致抗蚀剂膜。
12.根据权利要求9所述的荧光屏的形成方法，其中所述的第一光致抗蚀剂材料和所述第二光致抗蚀剂材料包括在透光树脂膜的表面上形成的光致抗蚀剂膜。
13.根据权利要求7所述的荧光屏的形成方法，其中所述第一抗蚀剂图形和所述第二图形均为条纹状图形。
14.根据权利要求8所述的荧光屏的形成方法，其中所述第一抗蚀剂图形和所述第二图形均为条纹状图形。
15.根据权利要求9所述的荧光屏的形成方法，其中所述第一抗蚀剂图形和所述第二图形均为条纹状图形。
16.根据权利要求7所述的荧光屏的形成方法，其中所述第一抗蚀剂图形为条纹状图形，所述第二抗蚀剂图形为相邻的条纹是部分连接的图形。
17.根据权利要求8所述的荧光屏的形成方法，其中所述第一抗蚀剂图形为条纹状图形，所述第二抗蚀剂图形为相邻的条纹是部分连接的图形。
18.根据权利要求9所述的荧光屏的形成方法，其中所述第一抗蚀剂图形为条纹状图形，所述第二抗蚀剂图形为部分连接的相邻的条纹的图形。
19.根据权利要求7所述的荧光屏的形成方法，其中所述第一抗蚀剂图形和所述第二图形均为点状图形。
20.根据权利要求8所述的荧光屏的形成方法，其中所述第一抗蚀剂图形和所述第二图形均为点状图形。
21.根据权利要求9所述的荧光屏的形成方法，其中所述第一抗蚀剂图形和所述第二图形均为点状图形。
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