CN1452792A - 用于测量装置的压电陶瓷多层元件及其制造方法 - Google Patents

用于测量装置的压电陶瓷多层元件及其制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明涉及一种由堆叠式压电元件构成的电机驱动元件或传感器元件。该驱动元件或传感器元件用于测量装置，而且工作在很高的温度下。这种新颖的驱动元件或传感器元件(10)包含多个压电陶瓷层(12a－f)，其中每个电极层(16a－e)被设置在每组直接相邻的压电陶瓷层的两个相对的表面之间。用于与电极层(16a－e)进行电气接触并引向上述电极层(16a－e)之外的线状连接器(18a，b)伸到位于电极层内的槽(14a－d)之内。

Description

用于测量装置的压电陶瓷多层元件及其制造方法
本发明涉及一种用于测量装置的电机驱动元件或传感器元件，以及它的制造方法。特别涉及以堆叠式构造方法由压电元件构成的驱动元件和传感器元件，以及装备上述元件的测量装置。
已知的这类测量装置例如压电加速度传感器和液位测量装置。大多数这种测量装置包含一个基体，在基体之上设置了驱动元件或传感器元件，其中包括这种压电元件、电极和电连接器以及接口。压电元件彼此电气连接，并连接到一个与使用情况相应的电子开关。
这样的压电测量装置表现出相当高的电荷灵敏度以及相当低的横向灵敏度。然而其特别的缺点是它在例如达到200℃的高温下，在例如达到500巴的很高的静压力影响下，或者对于加速度传感器在加速度达到2000g的很高的动态负荷下，其有效工作范围受到很大限制。
与上面所述的负荷相对的压电测量装置的敏感度是通过其驱动元件或传感器元件的构造来决定的。此外，一个这样的驱动元件或这样的传感器元件由相互邻接并在几何关系上相互协调的压电元件、电极以及由电连接器和接口所构成。而且不同的材料，例如压电陶瓷和金属，彼此结合，这些材料的弹性模数及各自的热膨胀系数是互不相同的。在所提到的高温影响下，和/或在传感器元件或驱动元件的很高的静态及动态负荷的影响下，在压电元件内自行产生了伸展的、机械的、平面的张力，这种张力不但减小了传感器元件的牢固性，而且减小了有效信号或测量信号。
此外现有技术中已知的测量装置证明了以分层结构构造的单片薄层电容器的优点，例如在液位测量装置中，该电容器也可以作为由薄层构成的多联电容器。这里单片的分层序列包括压电薄膜和电极，其中电连接器顺着单片来设置。另外此时一个连接器(也多次表示为“导轨”)将一个极的电极连接起来，另一个连接器将另外一个极的电极连接起来。这样的单片制造具有很高的稳定性和牢固性，并且可以通过降低横向变换的相对系数来非常精确地测量振动参数。
然而这种构造基于非对称的电极形状，电极在一个侧面上具有用来与一个导轨相连接的突出部分，在相对的另一个侧面上具有用来与其他导轨相隔绝的间隙。而这种驱动元件或传感器元件的非均匀结构构造对横向变换的相对系数的大小会产生负面影响。此外，如果希望增大横向变换的系数的话，电极的非对称形状不允许对压电层的整个电极平面充电。所考虑的压电层的金属化面积与其本来面积的比例越小，则变换参数也越小。
因此本发明的目的是提供一种压电驱动元件或传感器元件及其制造方法，使用装备了上述元件的测量装置可以避免上面所述的缺点，并且在高温影响下，或者在很高的静态及动态负荷影响下，因其具有很高的测量精确度而有良好表现。
该任务由本发明的第一种变型通过一种电机驱动元件或传感器元件以分层的构造方式来解决，上述驱动元件或传感器元件由：
-多个压电陶瓷层，
-设置在直接相邻的压电陶瓷层的两个彼此相对的表面之间的电极层，以及
-用于使电极层产生电气接触的电连接器组成，
-其中该连接器同样也设置在压电陶瓷层的两个彼此相对的表面之间，并且向外引出。
此外，本发明的任务还由本发明的第二种变型通过一种电机驱动元件或传感器元件以分层的构造方式来解决，
-具有多个压电陶瓷层，
-在直接相邻的压电陶瓷层的彼此相对的表面中通过采用金属镀膜来进行金属化，
-压电陶瓷层借助于扩散焊接接合在一起，
-使得通过金属化表面形成一个电极层，
-电极层可以通过电连接器来进行接触。
在本发明的一种优选实施方式中，在压电陶瓷层的两个彼此相对的表面中的至少一个表面上设置了一个槽，这个槽至少部分地承受电连接器。
在本发明的另一种优选实施方式中，电连接器为一根在压电陶瓷层上方向外伸展出去的导线。
而在根据本发明的驱动元件或传感器元件的另外一种优选实施方式中，设置了至少三个压电陶瓷层和至少两个槽，其中这些槽关于驱动元件或传感器元件的纵轴相互交错地设置。
在本发明的一种优选实施方式的改进型中，导线具有波浪形或锯齿形的结构。
在本发明的另一种改进型中，压电陶瓷层由PZT材料制成，例如PbMg0.308Nb0.617Ti0.075O3，或者陶瓷层由居里温度高于400℃的材料制成，例如Na0.5Bi4.5Ti4O15或Bi3TiNbO9。
在本发明的另一种改进型中，电极层由居里温度高于400℃的金属材料制成，例如铋-钛酸盐。
而本发明的另外一种改进型中，导线由一种具有高于250℃的高温稳定性的金属材料制成，这样的材料如含银、含特种钢的材料，或者含镍合金的材料。
此外，本发明的上述任务还通过一种电机驱动元件或传感器元件以分层的构造方式来解决，这种驱动元件或传感器元件的制造方法包括下列步骤：
-考虑到下面的机械处理，根据陶瓷工艺中一种常规的方法，以所希望的尺寸并对于每种规格预留2-3mm，用具有电活性的材料来制造陶瓷层；
-打磨陶瓷层直至达到预定的厚度，例如0.15到0.3mm；
-在陶瓷层要金属化的一面中切割出一个槽；
-其中槽的深度不能超过所述陶瓷层厚度的一半；
-通过两次采用含银的涂料并紧接着在800-820℃温度下进行热处理，至少对陶瓷层的这一面进行金属镀膜；
-用纤维素胶来胶合两个陶瓷层的金属化表面；
-通过在780-800℃温度下的热处理对胶合在一起的层进行扩散焊接，并在3-5kg/cm2的压力下经过三个小时进行单轴压缩，并且冷却至室温；
-将每个连接器-导线引入一个槽内；
-一个电场在高温下作用于导线，并通过连接驱动元件或传感器元件相同的极来达到所希望的电极层极性；
-控制所希望的参数以及驱动元件或传感器元件的压电特性。
此外还提供了一种液位极限开关，它装配有本发明所述的驱动元件或传感器元件，其中在一种这样的液位极限开关的改进型中，传感器元件通过一个非极化的陶瓷层与驱动元件相绝缘。
此外，还提供了一种具有本发明所述传感器元件的加速度传感器。
特别具有的优点是，通过本发明所述的构造和本发明所述的制造方法，能够提供一种压电驱动元件或传感器元件，其中电荷变换系数和传感器元件的测量精确度由此得到了改善，也减小了在很大的温度范围内，并在很高的静态和动态负荷下的横向变换的相对系数。
下面借助于多种实施例并参考附图详细地说明本发明。其中：
图1是迄今已知的一种多层的压电驱动元件或传感器元件的透视图；
图2是本发明所述的一种多层的压电驱动元件或传感器元件的第一种实施方式的透视图；
图3是根据图2的一种扩展的驱动元件或传感器元件的侧视图；
图4是本发明所述的一种多层的压电驱动元件或传感器元件的第二种实施方式的示意图；
图5是用于本发明所述的驱动元件或传感器元件的两种特别形状的导线的侧视图；
图6是装备有本发明所述的一种多层驱动元件或传感器元件的加速度传感器的截面图；并且
图7是装备有本发明所述的一种压电驱动元件或压电传感器元件的液位极限开关的局部截面图。
为了能够表明本发明与现有技术的本质区别，在图1中表示了一种迄今已知的压电驱动元件或一种迄今已知的压电传感器元件1。这在下面简单地表示为压电元件1。它基本上由压电陶瓷片2a、b、c、d构成，其中至少彼此相对的表面之一被金属化，它们被一个叠一个地设置在电极3a、b、c的中间接逢之下，并以常规方法彼此这样接合在一起，使得达到单片分层电容器的结构。图1中还表示了一个安装在压电元件的外壳表面之外的金属的条状连接器4，它使电极3a和3c在两个连接点5a和5b处彼此电气连接。另一个同样类型的连接器通常设置在压电元件1的外壳表面的另一面上，但是由于所选的表示方式在图1中看不到。这里没有表示出来的连接到驱动元件或测量电子元件的电连接导体通常可以连接到两个连接器上，这里为简便起见同样没有表示出驱动元件或测量电子元件。
为了避免条状连接器4与电极3b产生不希望的接触，电极3b必须在设置连接器4的位置留有空隙，并且在一定程度上缩进压电元件1内。它也不能覆盖陶瓷片2b(或2c)全部可供使用的表面，如开始所述的，这对于在压电元件1处的变换系数会产生负面的影响。这对在这里看不到的连接器和电极3a同样适用。电极3a也必须与连接器之间保持应有的距离，以避免不希望的接触。
在图1中已知的压电元件1的另外一个缺点同样在开始时已提到了。如连接器4的平面的或条状的金属连接器在更高的温度下由此表现出一种有条件的膨胀关系，这种膨胀关系在陶瓷片2a-d之间是显著不同的。这种热条件效应在一定程度上可能使连接点5a、b受到损坏，由此使压电元件1的整体功能出现问题。
在图2中所示的压电驱动元件或传感器元件10是具有优点的，它是本发明的第一种优选实施方式。在这一实施例中，要构成单片的分层电容器的压电元件10包括四个压电陶瓷片12a、12b、12c、12d，在其中分别开有槽14a和14b，以及与之移动大约180°的槽14c和14d。如后面还要解释的，槽14a-d切入完全加工过的陶瓷片12a-d中。陶瓷片12a-d中每个包含有槽14a-d的表面，与在本例中用16a所表示的在整个面积上金属化的层一起用图解来说明。在根据图2中所示的方法将陶瓷片12a-d接合之后，并优选地通过扩散焊接，通过金属化层形成了在整个面积上的电极层16a、16b、16c、16d。通过作为连接器18a的引入槽14a和14b内的导线，电极层16a和16c彼此导电连接。其中可以使连接器在压电元件10的外壳表面上方略微向外伸出，用这种简单的方法来避免与其他电极层发生不希望的接触。一个连接电极层16b和16d的线状连接器18b，与连接器18a相类似地切入到槽14c和14d中，如图2中所示。另一个连到驱动元件或测量电子元件的电连接导体可以以简单的方法连接到连接器上。
很明显，对于本发明不需要一定将连接器18a和18b如图2中举例所示的那样呈环形设置。还可能同样将线状的连接器分别作为单个的段，即以单个的线的形式通过槽来牵引，并在此之后将单个的线按照希望的方式彼此连接。如果希望的话，这样原则上可以分别控制单个的电极。线状的连接器18a和18b确保了在高温下也可以与电极保持持久的连接，并且可以确保在整个面积上的电极层。
出于牢固性原因，建议槽切入陶瓷层的深度不要超过在图2中以“S”来表示的各个陶瓷片的厚度的一半。特别地，在实际中证明槽的深度大约为相应陶瓷片厚度的0.3倍是有好处的。
陶瓷片最好由PZT材料制成。当陶瓷片由PbMg0.308Nb0.617Ti0.075O3制成时，根据本发明的压电元件20的适应性能还会得到提高。当压电陶瓷片由居里温度高于400℃的材料制成时，例如由Na0.5Bi4.5Ti4O15或Bi3TiNbO9制成，人们会得到特别的高温适应性能。
用于电极层或用于线状连接器的材料的特性应该能适应那种用于陶瓷片的材料。建议采用居里温度高于400℃的金属材料作为电极层，材料最好由铋-钛酸盐制成。对于线状连接器，由具有超过250℃的高温稳定性的材料来制成具有特别的优点，其中导线由含银、含特种钢的材料制成，或者优选地由含有镍合金的材料制成。
为了说明本发明所述的压电元件10的各种可能性和实施例，在图3中表示了一种相对于图2所谓“倒立”的另外一种压电元件10，现在它具有六个陶瓷片12a、12b、12c、12d、12e、12f，五个槽14a、14B、14c、14d、14e，以及与之相应的五个电极层16a、16b、16c、16d、16e。作为图2中所示结构的继续，线状连接器18a不仅引入槽14a、14b和14e中，还由此将电极层16a、16c、16e连接到同一极性，如线状连接器18b对电极层16b和16d所做的那样。此外，上述图2中所示的压电元件10这里也适用同样的方法。
图4表示了本发明所述压电驱动元件或传感器元件的第二种优选的实施方式。如上所述，这种简单的被称为压电元件20的传感器元件或驱动元件这样来表示，使得通过所示彼此有间隔的陶瓷片22a、22b、22c、22d来说明在那里被切入的槽24a、24b、24c、24d的走向。与图2和图3中所示的槽14a-e相反，槽24a-d的走向不通过陶瓷片22a-d的中央。槽24a-d不和图4中所示的纵轴29相交，而是基本上沿着这里作为例子所表示的陶瓷片22a-d的圆形表面的割线走向。
槽24a-d的位置尽管是任意的，但是它们的走向应该与图2中所示的槽14a-d相类似，也是从一个陶瓷层到另一个陶瓷层错开来设置，这样是具有优点的，可以避免设置在槽24a和24c或者24b和24d中的连接器28a或28b的重叠。槽24a-d与陶瓷片22a-d的边缘的距离设置为能够满足陶瓷片22a-d的机械牢固性。如图所示，槽被设置在纵轴29与各自陶瓷片边缘距离的一半处。金属化表面在图4中以“26a、26b、26c、26d”来表示，通过陶瓷片22a-d的接合由这些金属化表面形成了电极层(也见图2和图3)。此外，对于在图2和图3中已经表示的根据本发明的实施方式也适用。
在图5中举例表示了线状连接器18a、b和28a、b的两种不同的实施例(参见图2至图4)，这些实施例在实际中表现出特别的优点。一种锯齿形的连接器32b是具有优点的。一种在图5中所示的波浪形连接器32a与锯齿形连接器32b一样，也可以通过其“波峰”或通过其锯齿来实现与电极层的安全的电气连接，而不会对于上述材料减弱其弹性特性。很清楚，这样来选择线状连接器32a、b的波动或锯齿形状，使得不影响其穿入到槽14a-d或24a-d中(参见图2至图4)。
在图2至图4中所示的根据本发明的电机驱动元件或传感器元件以下列方法来制造。该方法将以图2中所示的压电元件10为例来说明。该方法不会对本发明构成限制，而可以应用于根据本发明的所有其他可能的电机驱动元件或传感器元件。
首先，陶瓷片12a-d由上述电活性材料按照陶瓷技术中常用的方法以希望的尺寸来制造，其中考虑到下列的机械处理，为每种尺寸预留2-3mm。然后打磨陶瓷片12a-d，直到达到预定的厚度，例如0.15至0.3mm。在陶瓷片12a-d每个要金属化的表面中切割出所希望的槽14a-d，其中槽的深度不允许超过相关陶瓷层的厚度S的一半，在此之后槽的相应表面用金属来镀膜。这通过至少两次使用含银的涂料，并以800-820℃的温度通过紧接着的热处理来实现。然后陶瓷片以所希望的方式，并分别按照所希望的槽的排列方式彼此连接，其中两个陶瓷层通过纤维素胶彼此粘合。之后胶合在一起的陶瓷片装入适当的框中，通过在780-800℃温度下的扩散焊接，并在3-5kg/cm2的压力下经过三个小时进行单轴压缩，彼此烧结为单片的结构，然后冷却至室温。每个连接器-导线引入一个槽内，其中通过金属化层形成的电极层以所希望的方式利用一个作用于连接器-导线上的电场在很高的温度下被极化。然后电极层以所希望的方式相互连接。此后控制所希望的参数和驱动元件或传感器元件的压电特性。
在图6中所示的一种加速度传感器40是很完善的，它装有本发明所述的压电传感器元件。传感器元件42包括平板形的、也可以是有角形状的陶瓷层41a、41b、41c、41d、41e、41f，以及设置在陶瓷层之间的电极层，它们共同形成上面已经提到的单片多层电容器。传感器元件42借助于一个固定棒44固定在基板46上。为此目的，各个陶瓷板41a-f与图4中所示的陶瓷片22a-d相类似地具有中央的开孔，这些开孔共同形成了一个传感器元件42的中央的、轴向的通路。固定棒44与基板46固定连接，穿过传感器元件42的中央的、轴向的通路，并插到具有螺纹48的一段中。传感器元件40也被插入到固定棒44的上方，并借助于一个旋紧到固定棒44上的固定螺母50被固定，并与基板46机械连接。两个绝缘层54a、54b用于使传感器元件40与对应的基板46和一个形成外壳的盖子52电气绝缘。
传感器元件40基本上以类似的方式来构造，如图2至4中所示的压电元件10和20。然而这里与此相反的是具有用于承受线状连接器58a、58b的槽56a、56b、56c、56d、56e、56f，这些槽的走向是在外部的边缘上，可以说是在陶瓷板41a-f的边上。以所希望的方式与电极同极性连接的线状连接器58a、b的末端连接到电连接导线60a、60b，它们联合成一根电缆62，该电缆又与这里没有表示出来的测量电子装置相连。
图7举例表示了另外一种测量装置，一种液位测量装置，更确切地说：一种液位极限开关70，它装配有压电元件72，该压电元件作为单片的模块不但由根据本发明的驱动元件而且由根据本发明的传感器元件来构成。液位极限开关70包括一个外壳7和两个固定在外壳上的振荡棒76a、76b。在功能上，这种带有与音叉类似的振荡棒的液位极限开关是众所周知的，因此这里不再说明。
压电元件72在外壳74内借助于一个固定元件78来固定。此外，外壳还在外部包容一个这里图示所示的驱动装置和测量电子装置80。
压电元件72原则上也由压电陶瓷片82a、82b、82c、82d、82e、82f以及这里没有详细说明的电极层所构成，这与图3所示的压电元件是类似的。此处的区别在于，通过陶瓷片82a、82b和82c形成了一个传感器元件，通过82e和82f形成了一个驱动元件。为了避免驱动元件施加到传感器元件上的不希望的张力效应，在两者之间设置有一个未经金属化的陶瓷片82d。
此外压电元件72具有两个端接元件84a、84b，通过端接元件，压电元件一方面连接到外壳74形成薄膜86的部分，另一方面连接到固定元件78。
                 附图标记列表1      迄今已知的驱动元件或传感器元件2a-d   压电陶瓷片3a-c   电极4      连接器5a，b  连接点10     本发明所述驱动元件或传感器元件的第一种变型12a-f  压电陶瓷片14a-d  槽16a-e  电极层18a，b 线状连接器19a，b 连接到测量装置或驱动电子装置的连接导线20     本发明所述驱动元件或传感器元件的第二种变型22a-d  压电陶瓷片24a-d  槽26a-d  电极层28a，b 线状连接器29     (20)的纵轴32a    波浪形导线32b    锯齿形导线40     加速度传感器41a-f  陶瓷板42     由带角的板构成的压电传感器元件44     固定棒46     基板48     (44)的螺纹50     固定螺母52     盖子54a，b绝缘层56a-f 槽58a，b连接器60a，b电连接导线62    电缆70    液位极限开关72    压电元件74    外壳76a，b振荡棒78    固定元件80    驱动装置或分析电子装置82a-f 陶瓷层84a，b(76)的端接元件86    薄膜

Claims (17)

1.以分层构造方法制造的电机驱动元件或传感器元件，它由
-多个压电陶瓷层(12a-f；22a-d；41a-f)，
-设置在直接相邻的压电陶瓷层的两个彼此相对的表面之间的电极层(16a-e；26a-d)，以及
-用于使电极层(16a-e；26a-d)产生电气接触的电连接器(18a，b；28a，b；58a，b)组成，
-其中连接器(18a，b；28a，b；58a，b)同样设置在压电陶瓷层(12a-f；22a-d；41a-f)的两个彼此相对的表面之间，并且向外引出。
2. 以分层构造方法制造的电机驱动元件或传感器元件，
-具有多个压电陶瓷层(12a-f；22a-d；41a-f)，
-其中直接相邻的压电陶瓷层(12a-f；22a-d；41a-f)的彼此相对的表面通过采用金属镀膜来金属化，
-压电陶瓷层借助于扩散焊接接合在一起，
-使得通过金属化表面形成电极层(16a-e；26a-d)，
-该电极层可以通过电连接器(18a，b；28a，b；58a，b)进行电气接触。
3.根据权利要求1或2所述的驱动元件或传感器元件，其中在压电陶瓷层(12a-f；22a-d；41a-f)的两个彼此相对的表面中的至少一个表面上设置了一个槽(14a-d；24a-d；56a-f)，这个槽至少部分地承受电连接器(18a，b；28a，b；58a，b)。
4.根据权利要求3所述的驱动元件或传感器元件，其中连接器(18a，b；28a，b；58a，b)为一根在压电陶瓷层(12a-f；22a-d；41a-f)的表面上方向外伸展出去的导线。
5.根据权利要求3或4所述的驱动元件或传感器元件，其中设置了至少三个压电陶瓷层(12a-f；22a-d；41a-f)和至少两个槽(14a-d；24a-d；56a-f)，其中这些槽关于驱动元件或传感器元件的纵轴(29)相互交错地设置。
6.根据权利要求4或5所述的驱动元件或传感器元件，具有一个线状的连接器(18a，b；28a，b；58a，b)，该连接器为一根具有波浪形或锯齿形结构的导线。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的驱动元件或传感器元件，具有由PZT材料制成的压电陶瓷层(12a-f；22a-d；41a-f)。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的驱动元件或传感器元件，具有由PbMg0.308Nb0.617Ti0.075O3制成的压电陶瓷层(12a-f；22a-d；41a-f)。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的驱动元件或传感器元件，具有由居里温度高于400℃的材料，例如Na0.5Bi4.5Ti4O15或Bi3TiNbO9，制成的压电陶瓷层(12a-f；22a-d；41a-f)。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的驱动元件或传感器元件，具有由居里温度高于400℃的金属材料制成的电极层(16a-e；26a-d)。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的驱动元件或传感器元件，具有由铋-钛酸盐制成的电极层(16a-e；26a-d)。
12.根据权利要求4至11中任一项所述的驱动元件或传感器元件，具有由高温稳定性超过250℃的金属材料构成的线状连接器(18a，b；28a，b；58a，b)。
13.根据权利要求4至11中任一项所述的驱动元件或传感器元件，具有由含银、含特种钢的材料或者含镍合金的材料制成的线状连接器(18a，b；28a，b；58a，b)。
14.以分层式构造方法制造电机驱动元件或传感器元件的方法，包括以下步骤：
-考虑到下面的机械处理，根据陶瓷工艺中一种常规的方法，以所希望的尺寸并对于每种规格预留2-3mm，用具有电活性的材料来制造陶瓷层(12a-f；22a-d；41a-f)；
-打磨陶瓷层(12a-f；22a-d；41a-f)直至达到预定的厚度，例如0.15到0.3mm；
-在陶瓷层(12a-f；22a-d；41a-f)要金属化的一面中切割出一个槽(14a-d；24a-d；56a-f)；
-其中槽(14a-d；24a-d；56a-f)的深度不能超过所述陶瓷层(12a-f；22a-d；41a-f)厚度的一半；
-通过两次采用含银的涂料并紧接着在800-820℃温度下进行热处理，至少对陶瓷层(12a-f；22a-d；41a-f)的这一面进行金属镀膜；
-用纤维素胶来胶合两个陶瓷层(12a-f；22a-d；41a-f)的金属化表面；
-通过在780-800℃温度下的热处理对胶合在一起的层进行扩散焊接，并在3-5kg/cm2的压力下经过三个小时进行单轴压缩，并且冷却至室温；
-将每个连接器-导线(18a，b；28a，b；58a，b)引入一个槽(14a-d；24a-d；56a-f)内；
-利用一个在高温下作用于导线(18a，b；28a，b；58a，b)上的电场，对驱动元件或传感器元件进行极化；
-连接驱动元件或传感器元件相同的极；
-控制所希望的参数以及驱动元件或传感器元件的压电特性。
15.具有根据权利要求1至14中任一项所述的驱动元件和传感器元件的液位极限开关(70)。
16.根据权利要求15所述的液位极限开关(70)，其中传感器元件与驱动元件通过一个非极化的陶瓷层(82d)相隔离。
17.具有根据权利要求1至14中任一项所述的传感器元件的加速度传感器(40)。
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