CN1439094A - 用于洁净环境的压力传送器 - Google Patents

用于洁净环境的压力传送器 Download PDF

Info

Publication number
CN1439094A
CN1439094A CN01811730.9A CN01811730A CN1439094A CN 1439094 A CN1439094 A CN 1439094A CN 01811730 A CN01811730 A CN 01811730A CN 1439094 A CN1439094 A CN 1439094A
Authority
CN
China
Prior art keywords
pressure
diaphragm
pressure sensor
sensor module
coupled
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN01811730.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1172171C (zh
Inventor
戴维·A·布罗登
斯坦利·A·约瑟夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rosemount Inc
Original Assignee
Rosemount Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rosemount Inc filed Critical Rosemount Inc
Publication of CN1439094A publication Critical patent/CN1439094A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1172171C publication Critical patent/CN1172171C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0007—Fluidic connecting means
    • G01L19/0023—Fluidic connecting means for flowthrough systems having a flexible pressure transmitting element
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
    • G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general
    • G01L19/0645—Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/14—Housings
    • G01L19/148—Details about the circuit board integration, e.g. integrated with the diaphragm surface or encapsulation

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

提供一种用于洁净加工环境的压力传送器(14)。压力传送器(14)包括：过程连接器(48)，焊接套环(42)，压力传感器模块(46)，框架(26)，和外壳(22)。过程连接器(48)可与过程流体(18)的源连通，并使过程流体流向压力传感器模块(46)。过程连接器(48)封接至压力传感器模块(46)，将过程流体耦连至压力传感器(60、80)。焊接套环(42)围绕压力传感器模块(46)安置，提供第二次过程流体密封。压力传感器模块电连接至测量电路系统(58)，以提供指示过程流体压力的数字数据。框架(26)耦连至焊接套环(42)，外壳(22)可耦连接至框架(26)和焊接套环(42)，当固定就位时，外壳(26)安置在焊接套环(42)上。压力传感器模块(46)包括隔离膜片(76)，其在操作时与压力传感器(60、80)耦连。压力传感器(60、80)包括可挠曲的传感器膜片，其上设有元件提供随膜片挠曲(60、80)而变化的电特性。隔离膜片和可挠曲的膜片被填充材料(82)互相隔开。填充材料(82)可以是聚氨酯。

Description

用于洁净环境的压力传送器
技术领域
本发明一般涉及压力传送器，更具体地说，本发明涉及在洁净环境中使用的压力传送器。
背景技术
某些工业生产过程要求比一般加工过程更为洁净的环境。这种洁净过程的例子包括半导体制造，药品制造和食品加工。在这些环境中，重要的是确保所有加工设备能在实现其所要求的功能时不污染加工过程。
在工业加工环境中已变得很有用的一种装置是压力传送器，压力传送器是检测过程内部的流体压力，并向控制系统提供指示压力的电信号的装置。通常，压力传送器有一个压力传感器，传感器包括可挠曲的膜片，其直接响应施加于其上的压力而发生挠曲，膜片上有电结构，其电特性随膜片的挠曲即随压力而变化。使用容性压力传感器的压力传送器，通常被填充以介电流体，使压力传感器的电容量增加，以提高传感器分辨力，但是，万一这种传感器发生泄漏，介电充填流体(有时候是硅油)就会溢漫到系统中，因而污染产品。所以，那些要求环境十分洁净的工业生产过程，不允许压力传感器使用填充流体。因此，为这类洁净环境设计的压力传送器，一般要求检测过程流体压力而不利用填充流体。
发明内容
本发明提供一种用于洁净加工环境的压力传送器。压力传送器包括：过程连接器、焊接套环、压力传感器模块、框架和外壳。过程连接器可与过程流体的源连通，并使过程流体流向压力传感器模块。过程连接器封接至压力传感器模块，将过程流体耦连至压力传感器。焊接套环围绕压力传感器模块安置，提供第二次过程流体密封。压力传感器模块电连接至测量电路系统，以提供指示过程流体压力的数字数据。框架耦连至焊接套环，外壳可耦连接至框架和焊接套环，当固定就位时，外壳安置在焊接套环上。
压力传感器模块包括隔离膜片，其在操作时与压力传感器耦连。压力传感器包括可挠曲的硅膜片，其上设有元件，提供随膜片挠曲而变化的电特性。隔离膜片和可挠曲的膜片被填充材料互相隔开。填充材料可以是聚氨酯。
附图说明
图1是过程控制和测量系统部分的示意图；
图2是本发明实施例的压力传送器的透视立体图；
图3是本发明实施例的压力传送器的系统方块图；
图4是本发明实施例的传感器模块的侧剖面图；
图5是末端过程连接器的透视图；
图6a和6b是本发明实施例的压力传送器的透视图；
图7是本发明实施例的焊接套环的透视图。
具体实施方式
图1是过程控制和测量系统10的示意图，其包括能通过过程通信回路16与高纯度压力传送器(HPT)14相连的控制器12。如图所示，HPT 14被连接至流体源18以接收流体压力并提供流体压力的显示。HPT 14以流通设计图来表示，从过程流体源18来的流体流过HPT 14。流体不从HPT中流过的其他实施例将在说明书后面讨论。虽然图中所示的是一对导线将控制器12连接至HPT 14，但也可使用任何适当数量的导线。另外，联系HPT 14和控制器12的任何适当的过程通信协议都可以采用，包括例如总线寻址远程转换器(HART)，FOUNDATIONTM现场总线，或任何其他适当的协议。实质上，HPT 14向控制器12提供从中流过的过程流体的压力指示。HPT 14以这种方式进行测量，以致没有污染流经那里的过程流体的风险。
图2是本发明实施例的HPT 14的透视立体图，所示的HPT 14的紧固件20已拆开，以使外壳22能提升而暴露HPT 14的内部。连接器24与框架26连接，在外壳22上提时，剩余的元件留在它的装配孔28的下面。连接器24最好是BendixTM连接器。框架26包括端部32和34之间延伸的一对臂30。拔线钉36支撑多个印刷电路板38，40，同时支撑与HPT 14有关联的各个电路。框架26置于焊接套环42上，套环42最好用316L型铁素体#3-10不锈钢构成。焊接套环42包括环形唇44，当外壳22向下完全封接时，环形唇44与外壳42的底面45接触。焊接套环42围绕并安装传感器模块46，使其处于过程连接器48的顶部。
比较好的是，HPT 14的所有零部件，按照半导体设备与材料国际标准(SEMI)的要求来选择。因此，过程连接器48最好是316L型不锈钢真空电弧再熔(VAR)形成的。同样，传感器模块46中的膜片(未示)最好由同样的材料构成。外壳22由304型不锈钢制成，框架26最好由铝或塑料构成。熟悉技术的人员会明白，根据SEMI，有许多材料可供选择，上述材料只是其中的一种特定组合。
过程连接器48被机械加工并研磨光滑，以获10Ra(洛氏硬度A—译注)的最小表面粗糙度值。传感器模块46和焊接套环42焊接在一起，形成传感器/焊接套环组件，它在焊接处理之前和之后被电抛光，以保证获得小于7Ra的表面光洁度，并保证表面符合冶金技术要求。然后，框架26固定于焊接套环42，再后电路板38，40安装在框架26上。一旦电路板38，40这样安装之后，传感器模块46和电路板38、40之间的电连接便可实现。比较好的是，这种电连接通过柔性电缆。然后，连接器24定位在框架26的顶部，并通过多线电缆与电路板38，40电连接。连接器24这样连接之后，组装外壳22，并用螺钉20将外壳22和连接器24固定于框架26。
图3是本发明HPT 14的系统方块图。HPT 14包括电源模块50和回路通信装置52，它们都与过程通信回路16相连。电源模块50从回路16接收能量，并向HPT 14的所有部件提供电源，如标号为54的箭头所示。回路通信装置52也能与过程通信回路16相连，用来与回路16进行双向通信。回路通信装置52与控制器56相连，从而使回路通信装置52能向控制器56提供从回路16接收到的指示过程通信信号的数据。相反，回路通信装置52能从控制器56接收数据，并在回路16产生适当的过程通信信号。控制器56与测量电路系统58相连，测量电路系统58再与传感器60相连。在优选实施例中，传感器60是压阻元件，其电特性随膜片的挠曲而变化。以后将参考图4对传感器60进行更详细的描述。测量电路系统58包括对传感器60的电特性变化进行测量的适当电路系统，并向控制器56提供指示过程流体压力变化的数据。比较好的是，测量电路系统58包括模-数转换器，其用来将指示作用于传感器60上的压力的电压，转换为数字数据发送至控制器56。
图4是根据本发明实施例的传感器模块46的侧剖面图。传感器模块46包括集总组件70，它有多个贯穿孔72，以使接线柱74能从中通过。传感器模块46隔离膜片76，它被焊接到与集总线组件70相连的环形元件78上。隔离膜片76最好用316L型VAR不锈钢制成。隔离膜片76通过填充材料82与传感器80耦联。过程流体在箭头84所示方向上作用于隔离膜片76。这个压力经过填充材料82发送，引起传感器80偏转。传感器80最好包括可偏转的硅膜，至少在其一个表面上安排有一个或多个压敏电阻器，它的电特性随传感器的挠曲而变化。贯穿的接线柱74与焊接线86相连，使贯穿的接线柱74允许在电气上进入安排在传感器80的压敏电阻器。传感器模块46也包括管子88，它开初就与传感器80的相对侧流体相连。通过使管子88与大气压力相通，传感器模块46就能检测传递量器的压力。此外，在一些实施例中，管子88与真空相连然后密封，这样，在传感器模块46内存在永久性的真空，传感器模块46就变换为绝对压力传感器。
传感器80设置的最接近支座90。支座90的顶侧最好通过粘合剂92与集总组件70粘合。衬垫94也安置在传感器模块46内。
填充材料82的选择对传感器模块46的长期耐用性来说是比较重要的，例如，如果材料82过于坚硬，会在某种程度上阻碍过程流体的压力，降低传感器模块46的灵敏度。此外，如果填充材料82与传感器80之间或填充材料82与隔离膜片76之间的粘合剂发生分离，或者说裂为薄层，这就会引起不希望有的误差，因为隔离膜片76的偏转不必要地引起传感器80的明显偏转。还有一个重要之点是，填充材料82的机械特性在HPT14的热操作范围内应相对稳定，使温度不致引起压力测量中不希望有的差异。最后，填充材料82的选择应有利于传感器模块的快速而健全的制造，从而能获得高产量，又使制造成本最低。
许多不同的弹性材料被试验用作填充材料82。这类材料包括Conathane DPEN-15631 Blue(可从Conap，Ins ofOlean，New York买到)；RTVS27；GE 630(可从GE Silicones of Waterford，New York买到)；OXY-Bond 1214(Resin Technology Group，LLC.of South Easten，Massachusetts)；Master Bond EP 30-FL(可以Master Bond Inc.ofHackensack，New Jersey买到)；Insulcast 781(可以Permagile Industries Inc.of Plainview，New York买到)；Insulgel 50(可从Permagile Industries Inc.买到)；Conathane EN-11(Conap Inc.)；Conathane EN-1(可以Conap Inc.买到)；Biwax 821051(可从Lotite Corporation，of Comme3rce City，Colorado)；和Conathane EN-2523(可从Conap Inc.买到)。但是，两种特殊材料被证明有优越的填料82的功能。具体地说，具有硬度测定为接近91肖氏硬度A的聚醚芳香族聚氨酯是优越的，这种聚氨酯的例子包括ST-1890-91和ST-1880-87(两者都可从Stevrn’s Urthane of Holyoke，Massachusetts买到)。使用这种优选的聚氨酯(装运时通常是薄板形状)作为填料82在隔离膜片组件安装至模块46之前，可以切割成能精确配入模块46的许多部分。然后，压力加至隔离膜片76，传感器模块46加热至200℃左右，使聚氨酯流动。随着填充材料82的冷却，它便粘附到传感器80和隔离膜片76上。在加热过程中，最好以每平方英寸20磅的压力加至隔离膜片76。最终的填料82在较宽的温度范围内稳定，并能提高传感器的寿命。
图5是末端过程连接器96的透视图。对于不要求流经压力测量部分的实施例，末端过程连接器96用来代替有流体经过的过程连接器48，使组件如图6A和6B所示。除了过程连接器不同以外，图6A和6B中所示的传感器与图1中所示的相同。
图6A和6B表示并入图5所示末端过程流体连接器96的发送器。应当注意，其它过程流体连接器，例如标准组件连接器也能用于本发明的实施例。如图6A和6B中所示，发送器可包括VCR配件(图6A中为外螺纹的，图6B中为内螺纹的)。但各种其他适当的过程配件也能使用。
图7是焊接套环42的透视图。在图7中能看出，焊接套环包括环形唇部44，其上安置着外壳42的表面46。此外，图7示出多个安装孔98，便于在其上安装框架26。如图所示，焊接套环42包括内孔100，其尺寸适于套配在传感器模块46上。此外，焊接套环42也包括从焊接套环的外径104向环形唇部44扩张的扩张部102。通过提供扩张部102，焊接套环42能提供第二次过程流体密封的功能，并同时提供外壳22能安装于其上的表面。
虽然己参考优选实施例描述了本发明，熟练的技术人员将会知道，在不偏离本发明的精神和范围的情况下，在形式和细节上可以做些变化。
权利要求书(按照条约第19条的修改)
由弹性材料构成。
5、根据权利要求4所述的传送器，其特征在于：弹性材料是聚氨酯。
6、根据权利要求5所述的传送器，其特征在于：聚氨酯填充材料是聚醚芳香族聚氨酯。
7、根据权利要求5所述的传送器，其特征在于：填充材料是ST-1890-91聚氨酯。
8、根据权利要求5所述的传送器，其特征在于：填充材料是ST-1880-87聚氨酯。
9、根据权利要求4所述的传送器，其特征在于：填充物与隔离膜片和传感器膜片两者粘接。
10、一种压力传送器用的压力传感器模块，压力传感器模块包括：
集总组件；
以集总组件为基准安装的可挠曲传感器膜片，可挠曲传感器膜片至少有一个元件安置在膜片上，其具有随膜片挠曲而变化的电特性；
隔离膜片，其与集总组件耦连，用来与过程流体接触，隔离膜片可操作而与可挠曲传感器膜片耦连；
弹性填充材料，其放置于隔离膜片和可挠曲传感器膜片之间。
11、根据权利要求10的传送器，其特征在于：弹性材料是聚氨酯。
12、根据权利要求10的传送器，其特征在于：聚氨酯填充材料是聚醚芳香族聚氨酯。
13、根据权利要求12的传送器，其特征在于：填充材料是ST-1890-91聚氨酯。
14、根据权利要求12的传送器，其特征在于：填充材料是ST-1880-87聚氨酯。
15、根据权利要求10的传送器，其特征在于：填充物与隔离膜片和传感器膜片两者粘接。

Claims (16)

1、一种用于洁净环净的压力传送器，压力传送器包括：
可与过程流体源耦连的过程连接器；
压力传感器模块，其与过程连接器连接，与过程流体实现流体连通，压力传感器模块具有随过程流体压力而变化的电特性；
测量电路系统，其操作时与压力传感器模块耦连，测量电路系统用于提供基于电特性的至少一种量测的信号；
通信电路系统，其与测量电路系统耦连，用于向过程控制回路提供压力相关信息；
其中，压力传送器进一步包括焊接至过程连接器并安置在压力传感器模块周围的焊接套环，以提供对过程流体的第二次密封，焊接套环从焊接套环的外径向外延伸。
2、根据权利要求1所述的传送器，其特征在于：焊接套环连接至外壳。
3、根据权利要求1所述的传送器，其特征在于：焊接套环由316L型铁素体#3-10不锈钢构成。
4、一种用于洁净环净的压力传送器，压力传送器包括：
可与过程流体源耦连的过程连接器；
压力传感器模块，其与过程连接器连接，以过程流体实现流体连通，压力传感器模块具有随过程流体压力而变化的电特性；
测量电路系统，其操作时与压力传感器模块耦连，测量电路系统用于提供基于电特性的至少一种量测的信号；
通信电路系统，其与测量电路系统耦连，用于向过程控制回路提供压力相关信息；
其中，压力传感器模块进一步包括：
隔离膜片，其定位于接触过程流体；
可挠曲传感器膜片压力传感器，其安置在压力传感器模块内部；
填充材料，其放置于隔离膜片与传感器膜片之间，其中，填充材料由弹性材料构成。
5、根据权利要求4所述的传送器，其特征在于：弹性材料是聚氨酯。
6、根据权利要求5所述的传送器，其特征在于：聚氨酯填充材料是聚醚芳香族聚氨酯。
7、根据权利要求5所述的传送器，其特征在于：填充材料是ST-1890-91聚氨酯。
8、根据权利要求5所述的传送器，其特征在于：填充材料是ST-1880-87聚氨酯。
9、根据权利要求4所述的传送器，其特征在于：填充物与隔离膜片和传感器膜片两者粘接。
10、一种压力传送器用的压力传感器模块，压力传感器模块包括：
集总组件；
以集总组件为基准安装的可挠曲传感器膜片，可挠曲传感器膜片至少有一个元件安置在膜片上，其具有随膜片挠曲而变化的电特性；
隔离膜片，其与集总组件耦连，用来与过程流体接触，隔离膜片可操作而与可挠曲传感器膜片耦连；
弹性填充材料，其放置于隔离膜片和可挠曲传感器膜片之间。
11、根据权利要求10的传送器，其特征在于：弹性材料是聚氨酯。
12、根据权利要求10的传送器，其特征在于：聚氨酯填充材料是聚醚芳香族聚氨酯。
13、根据权利要求12的传送器，其特征在于：填充材料是ST-1890-91聚氨酯。
14、根据权利要求12的传送器，其特征在于：填充材料是ST-1880-87聚氨酯。
15、根据权利要求10的传送器，其特征在于：填充物与隔离膜片和传感器膜片两者粘接。
16、一种用于洁净环境的压力传送器，压力传送器包括：
可与过程流体源耦连的过程连接器；
用于检测过程流体压力的装置，检测装置耦连至过程连接器；
测量电路系统，其耦连至压力检测装置，测量电路系统用于提供基于压力检测装置的电特性的至少一种量测信号；
通信电路系统，其耦连测量电路系统，用于在过程控制回路上提供压力相关信息。
CNB018117309A 2000-07-07 2001-07-03 用于洁净环境的压力传送器 Expired - Lifetime CN1172171C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US09/611,420 US6782754B1 (en) 2000-07-07 2000-07-07 Pressure transmitter for clean environments
US09/611,420 2000-07-07

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1439094A true CN1439094A (zh) 2003-08-27
CN1172171C CN1172171C (zh) 2004-10-20

Family

ID=24448946

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB018117309A Expired - Lifetime CN1172171C (zh) 2000-07-07 2001-07-03 用于洁净环境的压力传送器

Country Status (6)

Country Link
US (1) US6782754B1 (zh)
EP (1) EP1299703B1 (zh)
JP (1) JP3799013B2 (zh)
CN (1) CN1172171C (zh)
AU (1) AU2001270289A1 (zh)
WO (1) WO2002004909A1 (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101495846B (zh) * 2006-03-23 2011-05-11 罗斯蒙德公司 冗余机械和电子遥控密封系统
CN101802580B (zh) * 2007-09-12 2011-11-30 罗斯蒙德公司 改进的双平面过程流体压力测量系统
CN105806551A (zh) * 2012-05-22 2016-07-27 罗斯蒙特公司 具有氢吸气剂的压力变送器
WO2018058487A1 (en) * 2016-09-30 2018-04-05 Rosemount Inc. Process pressure transmitter with polymer seal

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100485336C (zh) * 2004-09-29 2009-05-06 罗斯蒙德公司 具有改进的过程适配器的压力变送器
US7295131B2 (en) * 2005-01-07 2007-11-13 Rosemount Inc. Diagnostic system for detecting rupture or thinning of diaphragms
US7275444B1 (en) * 2006-07-13 2007-10-02 Kulite Semiconductor Products, Inc. Pressure transducer apparatus adapted to measure engine pressure parameters
US7458275B2 (en) * 2007-03-15 2008-12-02 Rosemount Inc. Welded header for pressure transmitter
US7591184B2 (en) * 2007-03-16 2009-09-22 Rosemount Inc. Industrial pressure sensor having enhanced dielectric fill fluid
US7377176B1 (en) * 2007-03-16 2008-05-27 Rosemount Inc. Nano-particle modified fill fluid for pressure transmitters
US7779698B2 (en) * 2007-11-08 2010-08-24 Rosemount Inc. Pressure sensor
US7895897B2 (en) * 2008-03-03 2011-03-01 Wika Alexander Wiegand Gmbh & Co. Kg Sensor assembly and use of a sensor assembly
US8042401B2 (en) 2008-06-12 2011-10-25 Rosemount, Inc. Isolation system for process pressure measurement
US7921721B2 (en) 2009-04-09 2011-04-12 Kulite Semiconductor Products, Inc. Leadless oil filled pressure transducer
US8371175B2 (en) * 2009-10-01 2013-02-12 Rosemount Inc. Pressure transmitter with pressure sensor mount
US8191425B1 (en) * 2010-12-17 2012-06-05 Kulite Semiconductor Products, Inc. Gage pressure transducer and method for making the same
US8776608B2 (en) 2011-10-31 2014-07-15 Rosemount Inc. Coplanar process fluid pressure sensor module
DE102016218667A1 (de) * 2016-09-28 2018-03-29 Robert Bosch Gmbh Drucksensorvorrichtung sowie Drucksensor
CN107838104A (zh) * 2017-12-28 2018-03-27 苏州康姆普机械有限公司 一种喷射清洗的压力传感器
US11371899B2 (en) 2018-05-17 2022-06-28 Rosemount Inc. Measuring element with an extended permeation resistant layer

Family Cites Families (51)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3461416A (en) 1967-12-04 1969-08-12 Lockheed Aircraft Corp Pressure transducer utilizing semiconductor beam
US4368575A (en) 1980-07-14 1983-01-18 Data Instruments, Inc. Pressure transducer--method of making same
US4295117A (en) 1980-09-11 1981-10-13 General Motors Corporation Pressure sensor assembly
US4507973A (en) 1983-08-31 1985-04-02 Borg-Warner Corporation Housing for capacitive pressure sensor
US5056373A (en) 1987-01-21 1991-10-15 Span Instruments, Inc. Flow responsive transmitter and indicator
US4785669A (en) 1987-05-18 1988-11-22 Mks Instruments, Inc. Absolute capacitance manometers
US4932265A (en) 1987-12-11 1990-06-12 The Babcock & Wilcox Company Pressure transducer using thick film resistor
US4875135A (en) 1988-12-02 1989-10-17 Texas Instruments Incorporated Pressure sensor
DE3919411A1 (de) 1989-03-07 1990-12-20 Pfister Gmbh Drucksensor und zugehoeriges herstellverfahren
US5134887A (en) 1989-09-22 1992-08-04 Bell Robert L Pressure sensors
US5165281A (en) 1989-09-22 1992-11-24 Bell Robert L High pressure capacitive transducer
SU1760388A1 (ru) 1989-12-29 1992-09-07 Конструкторское Бюро Общего Машиностроения Силомоментный датчик
US5115676A (en) 1990-01-10 1992-05-26 Setra Systems, Inc. Flush-mounted pressure sensor
US5144841A (en) * 1990-02-23 1992-09-08 Texas Instruments Incorporated Device for measuring pressures and forces
US5174014A (en) 1990-07-27 1992-12-29 Data Instruments, Inc. Method of manufacturing pressure transducers
US5125275A (en) 1991-06-19 1992-06-30 Honeywell Inc. Pressure sensor package
US5285690A (en) 1992-01-24 1994-02-15 The Foxboro Company Pressure sensor having a laminated substrate
JPH05340828A (ja) 1992-05-18 1993-12-24 Fujikura Ltd 半導体圧力センサ
JPH05332862A (ja) 1992-05-27 1993-12-17 Fuji Electric Co Ltd 圧力センサの組立構造
JP3049944B2 (ja) 1992-06-04 2000-06-05 富士電機株式会社 油封入型半導体圧力センサの組立方法
JPH05332866A (ja) 1992-06-04 1993-12-17 Fuji Electric Co Ltd 油封入型半導体圧力センサ
US5449002A (en) 1992-07-01 1995-09-12 Goldman; Robert J. Capacitive biofeedback sensor with resilient polyurethane dielectric for rehabilitation
JPH06174574A (ja) 1992-12-01 1994-06-24 Nippon M K S Kk 圧力センサ
JPH06294691A (ja) 1993-04-08 1994-10-21 Nippon M K S Kk 圧力センサ
US5329819A (en) 1993-05-06 1994-07-19 Kavlico Corporation Ultra-high pressure transducer
US5461922A (en) * 1993-07-27 1995-10-31 Lucas-Novasensor Pressure sensor isolated within housing having integral diaphragm and method of making same
US5606513A (en) 1993-09-20 1997-02-25 Rosemount Inc. Transmitter having input for receiving a process variable from a remote sensor
US5542300A (en) 1994-01-24 1996-08-06 Setra Systems, Inc. Low cost, center-mounted capacitive pressure sensor
US5731522A (en) 1997-03-14 1998-03-24 Rosemount Inc. Transmitter with isolation assembly for pressure sensor
US5637802A (en) 1995-02-28 1997-06-10 Rosemount Inc. Capacitive pressure sensor for a pressure transmitted where electric field emanates substantially from back sides of plates
DE69629024T2 (de) * 1995-04-28 2004-04-22 Rosemount Inc., Eden Prairie Druckwandler mit montageanordnung mit hochdruckisolator
US5705751A (en) 1995-06-07 1998-01-06 Setra Systems, Inc. Magnetic diaphragm pressure transducer with magnetic field shield
US5661245A (en) 1995-07-14 1997-08-26 Sensym, Incorporated Force sensor assembly with integrated rigid, movable interface for transferring force to a responsive medium
US5693887A (en) 1995-10-03 1997-12-02 Nt International, Inc. Pressure sensor module having non-contaminating body and isolation member
US5808206A (en) 1996-01-16 1998-09-15 Mks Instruments, Inc. Heated pressure transducer assembly
US5672832A (en) 1996-02-15 1997-09-30 Nt International, Inc. Chemically inert flow meter within caustic fluids having non-contaminating body
AU2059597A (en) 1996-02-28 1997-09-16 Sigma-Netics, Inc. Improved strain gauge and method of manufacture
US5656780A (en) 1996-03-28 1997-08-12 Kavlico Corporation Capacitive pressure transducer with an integrally formed front housing and flexible diaphragm
DE19637763A1 (de) * 1996-09-16 1998-03-19 Trw Fahrzeugelektrik Drucksensoreinheit, insbesondere für die Kraftfahrzeugtechnik
JPH10148591A (ja) 1996-09-19 1998-06-02 Fuji Koki Corp 圧力検出装置
US5796007A (en) 1996-09-23 1998-08-18 Data Instruments, Inc. Differential pressure transducer
US5811685A (en) 1996-12-11 1998-09-22 Mks Instruments, Inc. Fluid pressure sensor with contaminant exclusion system
US5942692A (en) 1997-04-10 1999-08-24 Mks Instruments, Inc. Capacitive pressure sensing method and apparatus avoiding interelectrode capacitance by driving with in-phase excitation signals
US5911162A (en) 1997-06-20 1999-06-08 Mks Instruments, Inc. Capacitive pressure transducer with improved electrode support
US5965821A (en) 1997-07-03 1999-10-12 Mks Instruments, Inc. Pressure sensor
US5974893A (en) 1997-07-24 1999-11-02 Texas Instruments Incorporated Combined pressure responsive transducer and temperature sensor apparatus
US6009757A (en) 1997-07-28 2000-01-04 Texas Instruments Incorporated Voltage regulated pressure transducer apparatus
US5915281A (en) 1997-10-03 1999-06-22 Delco Electronics Corporation Silicon force and displacement sensor
US5867886A (en) 1997-10-20 1999-02-09 Delco Electronics Corp. Method of making a thick film pressure sensor
US5939639A (en) 1997-12-04 1999-08-17 Setra Systems, Inc. Pressure transducer housing with barometric pressure isolation
US6029525A (en) 1998-02-04 2000-02-29 Mks Instruments, Inc. Capacitive based pressure sensor design

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101495846B (zh) * 2006-03-23 2011-05-11 罗斯蒙德公司 冗余机械和电子遥控密封系统
CN101802580B (zh) * 2007-09-12 2011-11-30 罗斯蒙德公司 改进的双平面过程流体压力测量系统
CN105806551A (zh) * 2012-05-22 2016-07-27 罗斯蒙特公司 具有氢吸气剂的压力变送器
CN105806551B (zh) * 2012-05-22 2018-11-09 罗斯蒙特公司 具有氢吸气剂的压力变送器
WO2018058487A1 (en) * 2016-09-30 2018-04-05 Rosemount Inc. Process pressure transmitter with polymer seal
US10378984B2 (en) 2016-09-30 2019-08-13 Rosemount Inc. Process pressure transmitter with polymer seal

Also Published As

Publication number Publication date
JP3799013B2 (ja) 2006-07-19
CN1172171C (zh) 2004-10-20
AU2001270289A1 (en) 2002-01-21
WO2002004909A1 (en) 2002-01-17
WO2002004909B1 (en) 2002-04-04
JP2004503744A (ja) 2004-02-05
EP1299703B1 (en) 2011-08-31
US6782754B1 (en) 2004-08-31
EP1299703A1 (en) 2003-04-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1172171C (zh) 用于洁净环境的压力传送器
CN101405588B (zh) 高温压力传送器组件
EP1759182B1 (en) High temperature pressure transmitter assembly
CA2849392C (en) Process fluid pressure transmitter with separated sensor and sensor electronics
CN101495846B (zh) 冗余机械和电子遥控密封系统
CN102356307B (zh) 具有真空电介质的电容性表压传感器
EP1825238B1 (en) Instrument loop adapter
CN106461480A (zh) 压差传感器
JP2000321160A (ja) プロセス状態検出装置
CN106461482A (zh) 用于压差感测基座的封装
WO2005106962A2 (en) Pressure sensor device and method
CN106461481A (zh) 压差感测基座
JP2001527210A (ja) 圧力検知装置用の汎用媒体パッケージ
US6848316B2 (en) Pressure sensor assembly
US20210223120A1 (en) Force sensor apparatus and a method of assembling the same
US20050072245A1 (en) Pressure sensor
CN220018565U (zh) 一种温压复合传感器
CA2775895C (en) Pressure transmitter with pressure sensor mount

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CX01 Expiry of patent term

Granted publication date: 20041020

CX01 Expiry of patent term