CN1308922C - 具有集成万向功能的硬盘驱动器用微传动器 - Google Patents

具有集成万向功能的硬盘驱动器用微传动器 Download PDF

Info

Publication number
CN1308922C
CN1308922C CNB2004100586118A CN200410058611A CN1308922C CN 1308922 C CN1308922 C CN 1308922C CN B2004100586118 A CNB2004100586118 A CN B2004100586118A CN 200410058611 A CN200410058611 A CN 200410058611A CN 1308922 C CN1308922 C CN 1308922C
Authority
CN
China
Prior art keywords
microactuator
substrate
bascule
respect
disk drive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CNB2004100586118A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1577499A (zh
Inventor
平野敏树
乌拉尔·V·纳亚克
杨宏渊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Western Digital Technologies Inc
Original Assignee
Hitachi Global Storage Technologies Netherlands BV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Global Storage Technologies Netherlands BV filed Critical Hitachi Global Storage Technologies Netherlands BV
Publication of CN1577499A publication Critical patent/CN1577499A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1308922C publication Critical patent/CN1308922C/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/54—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head into or out of its operative position or across tracks
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
    • G11B5/4826—Mounting, aligning or attachment of the transducer head relative to the arm assembly, e.g. slider holding members, gimbals, adhesive
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
    • G11B5/4833—Structure of the arm assembly, e.g. load beams, flexures, parts of the arm adapted for controlling vertical force on the head

Abstract

一个具有固定结构及有万向结构的活动结构的精微制造微器件，使活动结构能相对于固定结构作俯仰运动和滚转运动。万向结构的一个实施例包括一个与固定结构作滚转式接触的压凹件、一个中心杆和多个杆件。万向结构的另一个实施例包括多个扭转杆件。万向结构还有另一个实施例包括多个柔性件。精微制造微器件可以是被动的微器件结构，或者可以是微传动器，该微传动器具有一个能相对于固定结构而在旋转方向或平移方向上运动的活动结构。

Description

具有集成万向功能的硬盘驱动器用微传动器
技术领域
本发明涉及盘驱动器的领域，特别是涉及可减少读/写元件脱轨运动的硬盘驱动器用微传动器。
背景技术
图1示出一个示范的具有读/写磁头(或记录滑动头)101的高转速硬盘驱动器(HDD)100。该读/写磁头例如可包括一个定位在磁盘102的选定的连线上的隧道管的读传感器，该传感器例如使用一个两阶段的伺服系统来读出存储在盘102上的数据。该两阶段的伺服系统包括一个音圈电机(VCM)用来粗定位读/写头悬架105，并可包括一个微传动器或微定位器用来使读/写头101在选定的连线上精定位。本文中使用的微传动器(或微定位器)为一设在悬架和滑动件之间、能使滑动件相对于悬架而移动的小传动器。
图2画出一个传统的悬架和微传动器装置200。该装置包括一个悬架201、一个微传动器205和一个滑动件209。悬架201包括一个负载梁203、一个压凹件(dimple)203、和一个易弯件(flexture)204。悬架201将负载力(以克计的负载)赋予滑动件209。悬架201由于使用一个压凹件203即在负载梁202上制出的半球形块与易弯件204点接触，还可给连结在悬架201上的零件提供俯仰方向和滚转方向两个运动自由度。易弯件204被设计成在滚转方向和俯仰方向具有极低的刚度，并可在滚转和俯仰两个方向上具有准确形成的自由态，通常被称为俯仰方向静态位置(Pitch Static Attitude)(PSA)和滚转方向静态位置(Roll Static Attitude)(RSA)。
微传动器205包括一个衬底206、一个微传动器结构207、和至少一个易弯元件208。衬底206是微传动器205的固定结构。微传动器结构207是微传动器205的可动结构。微传动器205通常被设计成能在水平方向上运动(旋转或移动)，使连结在微传动器205上的滑动件209的位置能够改变。在Z轴线方向和/滚转方向上，微传动器必须被设计得具有极高的刚度。将一各向特别异性的弹簧结构208设计在微传动器内，上述这些要求可以得到满足。
滑动件209包括一个读/写元件210，并且与在无微传动器型的HDD中使用的典型滑动件相同。
一个与传统的微传动器有关的问题是，外力如空气流能使微传动器在滚转方向上运动，从而造成读/写元件跟踪连线的不准确。图3画出当微传动器200在盘312上移动时，微传动器200在外力如空气流的影响下在滚转方向311上的运动。
另一个与传统的微传动器有关的问题为在悬架和微传动器之间作出电连接特别困难。有两种传统方法被用来作出电连接，其一为弯曲导线连接技术，其二为侧壁粘结垫连接技术。
图4画出在传统的微传动器和悬架之间作出电连接使用的传统的弯曲导线连接技术。图4中所示微传动器的结构布置相当于图2和3中所示出悬架和微传动器的结构布置。在悬架401上制有一个压凹件403与易弯件(在图4中未示出)点接触。微传动件405被连接在易弯件上。滑动件409被连结到微传动件405上。有一弯曲导线415被电连接到钎焊球416和粘结垫417再连接到微传动器405上。图上示出的另一个钎焊球418供图4中看不到的另一个弯曲导线连接使用以便电连接到滑动件409上的读/写头(没有在图4中示出)的一端上。
与弯曲导线技术有关的问题包括：弯曲导线费钱并难于制造。另外，钎焊块的连接必须从对侧开始，并且不能终止在微传动器和滑动件的导入边侧，否则俯仰刚度将会过高。
图5画出在传统的微传动器和悬架之间作出电连接使用的侧壁粘结垫连接技术。图5中示出的微传动器的结构布置也与图2和3中示出的微传动器的结构布置相当。在悬架501上制有一个压凹件503与易弯件(未在图5中示出)点接触。微传动器505被连结到易弯件上。滑动件509被连结到微传动器505上。有一侧壁粘结垫515通过一个钎焊球516与微传动器505电连接。另一个示出的钎焊球518供图5中看不到的另一个侧壁粘结垫连接使用以便电连接到滑动件509上的读/写头(未在图5中示出)的一端上。
与侧壁粘结垫连接技术有关的问题包括很难在微传动器的侧壁上制出粘结垫。
传统的无驱动器的磁头万向组合件(Head Gimbal Assemblies)(HGAs)通常都经历到PSA/RSA和压凹接触位置的难以控制。目前，悬架的PSA/RSA和压凹接触位置必须用传统的钣金机加工技术如冲压和弯折控制得非常准确以便适当地保持滑动件的扬起高度。压凹件通常为半球形并有大直径，因此很难确定压凹件顶尖在易弯件上的接触点。这个问题当所用接触滑动件的刚度很低时特别尖锐。
使用传统的微传动器还会发生另一个问题。当压凹接触点(在旋转中心上)与读/写元件之间的垂直距离较大时由于盘倾侧(通常由于盘振动)而引起的脱轨运动会成比例地较大。当使用传统的微传动器时，由于微传动器的厚度会使垂直距离增加，从而会使脱轨运动增加。
人们需要有一种悬架和微传动器的布置，它们需能克服传统的悬架和微传动器布置的缺点如悬架和微传动器布置的PSA/RSA和压凹接触位置的控制，及悬架和微传动器之间的电连接。
发明内容
本发明的目的是提供一种悬架和微传动器布置能克服传统的悬架和微传动器的上述缺点。
为此，本发明提供了用于磁盘驱动器中的一种微传动器，包括：一个衬底；和一个具有万向结构的活动结构，该万向结构使活动结构能相对于衬底作俯仰运动和滚转运动；其中，所述衬底连接到负载梁上，所述活动结构连接到滑动件上。万向结构的一个实施例包括一个与固定结构滚转接触的一个压凹件表面及一个中心杆和多个杆件。每一杆件的第一端连结到中心杆件上，而第二端连结到固定结构上。万向结构的另一个实施例包括多个扭转杆件，也可允许活动结构相对于固定结构作俯仰和滚转运动。万向结构还有另一个实施例包括多个柔性件也可允许活动结构相对于固定结构作俯仰和滚转运动。该精微制造的微传动器可包括一个具有平面内结构和平面外结构的限制器结构。该限制器结构可限制活动结构的运动使它离开固定结构的距离不能超过一个预定值。该微传动器可以是一个被动的结构，或者是一个具有活动结构能相对于固定结构在旋转方向或直线方向运动的微传动器。
本发明还提供了一种盘驱动器的悬架，包括：一个负载梁；一个微传动器，具有一个衬底和一个活动结构，该活动结构又具有一个万向结构，衬底被连结到负载梁上，而万向结构使活动结构可相对于衬底作俯仰运动和滚转运动；及一个滑动件连结在活动结构上。万向结构可具有如本文所说的各种实施例。精微制造的微传动器可包括如本文所说的限制器结构。该微传动器可以是一个被动的结构，或者是一个具有活动结构能相对于固定结构在旋转方向或直线方向运动的微传动器。
附图说明
本发明用非限制性的范例说明。在所有附图中相同的标号指相似的元件，其中：
图1为一具有读/写磁头的示范的高转速盘驱动器；
图2为一传统的悬架和微传动器的布置；
图3画出当微传动器在盘上运动时在外力的影响下微传动器在滚转方向上的运动；
图4画出在传统的微传动器和悬架之间作出电连接的弯曲导线连接技术；
图5画出在传统的微传动器和悬架之间作出电连接的侧壁粘结垫连接技术；
图6为按照本发明的微传动器的布置；
图7画出能提供本发明的万向功能的第一示范结构；
图8画出图7中示范结构的旋转驱动；
图9画出由按照本发明的图7中的示范结构提供的滑动件的俯仰位置控制；
图10和11分别示出能提供本发明的万向功能的第二和第三种示范结构；
图12-14为能与按照本发明的微传动器制成一体的示范的限制器结构的剖视图；及
图15a和15b分别为使用按照本发明的微传动器的负载梁的滑动件端的侧视图和底视图。
图16示出提供本发明万向功能配置的另一实施例。
具体实施方式
本发明提供的微传动器具有万向功能。这样，按照本发明的微传动器没有相对于负载梁的衬底运动，因而读/写元件较少有脱轨的运动。另外，决定压凹件接触位置和PSA/RSA的结构是用平板印刷法限定并精微制造的从而使压凹件接触位置和PSA/RSA较易控制。再者由于微传动器衬底的厚度较小，致使在压凹件接触位置和读/写元件之间的垂直距离比传统的微传动器小。因此，悬架能较便宜，因为悬架在设计时可不需着重考虑压凹件、易弯件和PSA/RSA。另外，连接到微传动器上的电连接较易作出，因为微传动器被牢靠地固定在悬架的负载梁上。
图6示出能提供按照本发明的万向功能的悬架和微传动器布置600。该布置包括一个悬架负载梁602、一个微传动器605、和一个滑动件609。微传动器605包括一个压凹件603、一个微传动器衬底606、一个微传动器结构607、和至少一个易弯件608。微传动器衬底606为微传动器的固定结构。微传动器结构607为微传动器605的活动结构。滑动件609包括一个读/写元件610并与普通在无微传动器的HDD中普通使用的滑动件相同。由于微传动器结构607的厚度比传统技术小，因此微传动器605的布置所提供的在压凹件603的接触点与读/写元件610之间的垂直距离亦可较小。因此悬架负载梁602可比传统的负载梁便宜，因为前者在设计时可不必着重考虑压凹件、易弯件和PSA/RSA。
图7画出能被用来提供本发明的万向功能的第一示范万向结构700。该万向结构700包括一个垂直杆件701，在其一端有一压凹件702与微传动器的衬底706接触。垂直杆701的另一端被连结到一个滑动件粘结板703上，该板703被连结到滑动件(未示出)上。压凹件702与微传动器衬底滚转接触并可作俯仰和滚转运动705。为了将压凹件702保持就位，有多个水平的杆件704连接到垂直杆件701上。而每一个水平杆件704的远端707都被固定在微传动器衬底706上。示范的万向结构700是用人们熟知的平板印刷法限定并精微制造的。
图8画出示范万向结构700的旋转驱动运动801。逆时针的旋转驱动运动可将力802施加在滑动件粘结板803上来完成。力802由微传动器(未在图8中示出)产生。而顺时针的旋转驱动运动可将力803施加在滑动件粘结板703上来完成，力803由微传动器(未在图8中示出)产生。与力802和803结合的小片代表由微传动器产生的扭转力。当垂直杆701的直径被合适地选用时，旋转位移可由作用如同扭转杆的垂直杆701吸收。
图9画出按照本发明的示范的万向结构700所提供的滑动件的俯仰位置控制901。用实线画出的两个力902和903均系微传动器(未在图9中示出)产生并均施加到滑动件粘结板703上。在对力902和903作出反应时滑动件粘结板703倾侧，从而改变俯仰位置901。用虚线画出的力904和905可在相反方向改变滑动件的俯仰位置。
图10画出能够提供本发明的万向功能并可进行俯仰和滚转运动1005的第二示范结构1000。万向结构1000包括两个垂直杆件1001和1002。每一垂直杆件1001和1002的一端都与微传动器的衬底接触，另一端被连结到扭转杆件1010和1011的一端，而扭转杆件1010和1011的另一端都各连结到框架件1007的两个对边上，从而形成可让框架件1007环绕旋转的旋转轴线。另外还有两个扭转杆件1012和1013被连接在框架件1017的另外两个对边上，从而形成与旋转轴线1020垂直的第二旋转轴线1021，框架件1007亦可环绕该轴线旋转。扭转杆件1012和1013被连接到滑动件粘结板1014上。虽然画出的框架件1007大致成方形，但应知道它可为具有两条旋转轴线的任何形状。示范的万向结构1000是用人们熟知的技术用平板印刷法限定并精微制造的。
图11画出能提供本发明的万向功能的第三示范结构1100。万向结构1100包括四个垂直杆件1101-1104。每一垂直杆件1101-1104的一端都与微传动器的衬底1106接触，另一端都被连结到一个柔性结构如弹簧1111-1114的一端上，而柔性结构1111-1114的另一端被连结到滑动件粘结板1115上。柔性结构1111和1112各被连接到滑动件粘结板1115的两个对边上，从而形成一条滑动件粘结板1115可环绕旋转的旋转轴线1120。扭转杆1113和1114分别被连接到滑动件粘结板1115的另外两个对边上，从而形成与旋转轴线1120的第二旋转轴线1121。示范的万向结构1100是用人们熟知的技术用平板印刷法限定后再精微制造的。
图12-14示出可与具有按照本发明的万向结构制成集成的示范限制器结构1220的剖视图。如图12-14所示，微传动器1205包括一个压凹件1203、一个微传动器衬底1206和一个微传动器结构1207。微传动器衬底1206为微传动器1205的固定结构。微传动器结构1207为微传动器1205的活动结构。限制器结构1220包括一个平面外限制器表面1221。每一限制器结构1220都以人们熟知的方式锚定在微传动器衬底1206的预定点上，使微传动器结构1207的平行于衬底1206而运动时与平面内限制器表面1220a接触而被限制在预定的平面内距离L之内。平面外限制器表面1221在微传动器结构之上延伸，使微传动器结构1207的离开微传动器1207的在Z轴线方向上的运动在与限制器表面1221接触时被限制在一个预定的平面外距离g(图12)上如图13所示。平面外限制器表面1221还可限制活动微传动器结构1207所经受的任何倾侧和摇摆运动1401，如图14所示。
图15a和15b分别为使用按照本发明的微传动器的负载梁1501的滑动件端的侧视图和底视图。微传动器1502被连结在负载梁1501上。悬架可以就是负载梁，因为微传动器1502能提供万向功能。滑动件1503被连结在微传动器1502上。连线1504通过钎焊球被连接在粘结板1505上。在图15a中只示出其中一个钎焊球1506。
传统悬架上的连线由不锈钢/聚酰亚胺/铜的叠层片制成，其中不锈钢被用作在易弯件上的机械弹簧。与此相反，本发明使用的悬架并不要求具有万向功能，所以不锈钢可从连线1504中省掉。因此，连线1504可用不贵的、标准有供的聚酰亚胺/铜的叠层片制成，该叠层片可具有任意厚度，因为对厚度并无要求。连线1504可用较松的装配公差固定在负载梁1501上。连线1504也容易连接到微传动器1502上。连接方法如钎焊块回流、超声、导电膜、或胶粘剂都可使用，不必担忧会影响PSA/RSA。
图16画出能提供按照本发明的万向功能的配置1600的另一个实施例。配置1600包括一个悬架负载梁1602、一个精微制造微传动器1605、和一个滑动件1609。精微制造微传动器1605包括一个压凹件1603、一个衬底1606、一个活动结构1607、和至少一个易弯件1608。衬底1606为微传动器1605的固定结构。上述精微制造微传动器1605并不像一般的微传动器那样提供驱动功能，而是被动的。滑动件1609包括一个读/写元件1610，并且与在无微传动器的HDD通常使用的滑动件相同。精微制造微传动器1605的布置所提供的从压凹件1603的接触点到读/写元件1601的垂直距离比较小，这是因为活动结构1607的厚度比传统技术小的原故。因此，悬架负载梁可比传统的负载梁便宜，因为在设计悬架负载梁1602时不需考虑压凹件、易弯件和PSA/RSA。
虽然在上面本发明已就某些细节进行说明以便理解，但显然在实施时可作一定的改变和修改而这是在权利要求限定的范围内。因此这里的一些实施例应是说明性的而非限制性的，本发明并不限于这里给出的细节。

Claims (29)

1.用于磁盘驱动器中的一种微传动器，包括：
一个衬底；和
一个具有万向结构的活动结构，该万向结构使活动结构能相对于衬底作俯仰运动和滚转运动；
其中，所述衬底连接到负载梁上，所述活动结构连接到滑动件上。
2.按照权利要求1的微传动器，其特征为，万向结构包括一个压凹件表面，该表面与衬底作滚转式的接触。
3.按照权利要求2的微传动器，其特征为，万向结构包括一个中心杆和多个杆件，每一杆件的第一端都被连结到中心杆件上，而第二端被连结到衬底上。
4.按照权利要求1的微传动器，其特征为，万向结构包括多个扭转杆件，使活动结构可相对于衬底作俯仰运动和滚转运动。
5.按照权利要求1的微传动器，其特征为，万向结构包括多个柔性件，使活动结构可相对于衬底作俯仰运动和滚转运动。
6.按照权利要求1的微传动器，其特征为，还包括一个具有平面内结构和平面外结构的限制器结构，该限制器结构用预定的距离来限制活动结构从衬底上运动离开的程度。
7.按照权利要求1的微传动器，其特征为，该微传动器为一被动的微传动器结构。
8.按照权利要求1的微传动器，其特征为，该活动结构相对于衬底在旋转方向上运动。
9.按照权利要求1的微传动器，其特征为，该活动结构相对于衬底在直线方向上运动。
10.一种盘驱动器的悬架，包括：
一个负载梁；
一个微传动器，具有一个衬底和一个活动结构，该活动结构又具有一个万向结构，衬底被连结到负载梁上，而万向结构使活动结构可相对于衬底作俯仰运动和滚转运动；及
一个滑动件连结在活动结构上。
11.按照权利要求10的悬架，其特征为，万向结构包括一个与衬底作滚转式接触的压凹件表面。
12.按照权利要求11的悬架，其特征为，万向结构包括一个中心杆和多个杆件，每一杆件的第一端都被连结到中心杆上，而第二端则被连结到衬底上。
13.按照权利要求10的悬架，其特征为，万向结构包括多个扭转杆件使活动结构能相对于衬底作俯仰运动和滚转运动。
14.按照权利要求10的悬架，其特征为，万向结构包括多个柔性件使活动结构能相对于衬底作俯仰运动和滚转运动。
15.按照权利要求10的悬架，其特征为，该微传动器还包括一个具有平面内结构和平面外结构的限制器结构，该限制器结构用预定的距离限制活动结构从衬底上运动离开的程度。
16.按照权利要求10的悬架，其特征为，该微传动器为一被动的微传动器结构。
17.按照权利要求10的悬架，其特征为，该活动结构和滑动件相对于衬底在旋转方向上运动。
18.按照权利要求10的悬架，其特征为，活动结构相对于衬底在直线方向上运动。
19.按照权利要求10的悬架，还包括一条易弯曲的电缆，该电缆可不具有机械顺从性而直接连结到负载梁上并形成至少一个通往微传动器的电连接。
20.一种盘驱动器，包括：
一个具有负载梁的悬架；
一个具有衬底和活动结构的微传动器，而活动结构又具有一个万向结构，该衬底被连结到负载梁上，该万向结构使活动结构能相对于衬底而作俯仰运动和滚转运动；及
一个连结到活动结构上的滑动件。
21.按照权利要求20的盘驱动器，其特征为，该万向结构包括一个与衬底作滚转式接触的压凹件表面。
22.按照权利要求21的盘驱动器，其特征为，该万向结构包括一个中心杆和多个杆件，每一杆件的第一端被连结到中心杆上，而第二端被连结到衬底上。
23.按照权利要求20的盘驱动器，其特征为，该万向结构包括多个扭转杆件，使活动构件能相对于衬底作俯仰运动和滚转运动。
24.按照权利要求20的盘驱动器，其特征为，该万向结构包括多个柔性件，使活动构件能相对于衬底作俯仰运动和滚转运动。
25.按照权利要求20的盘驱动器，其特征为，该微传动器还包括一个具有平面内结构和平面外结构的限制器结构，该限制器结构能用预定的距离限制活动结构从衬底上运动离开的程度。
26.按照权利要求20的盘驱动器，其特征为，该微传动器为一被动的微传动器结构。
27.按照权利要求20的盘驱动器，其特征为，该活动结构和滑动件相对于衬底在旋转方向上运动。
28.按照权利要求20的盘驱动器，其特征为，该活动结构相对于衬底在直线方向上运动。
29.按照权利要求20的盘驱动器，其特征为，还包括一条易弯曲的电缆，该电缆可不具有机械顺从性地直接被连结到负载梁上，并形成至少一个通往微传动器的电连接。
CNB2004100586118A 2003-07-24 2004-07-23 具有集成万向功能的硬盘驱动器用微传动器 Expired - Fee Related CN1308922C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/627,096 2003-07-24
US10/627,096 US7230800B2 (en) 2003-07-24 2003-07-24 Microactuator for a hard disk drive with an integrated gimbal function

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1577499A CN1577499A (zh) 2005-02-09
CN1308922C true CN1308922C (zh) 2007-04-04

Family

ID=33490913

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB2004100586118A Expired - Fee Related CN1308922C (zh) 2003-07-24 2004-07-23 具有集成万向功能的硬盘驱动器用微传动器

Country Status (8)

Country Link
US (1) US7230800B2 (zh)
EP (1) EP1501077A3 (zh)
JP (1) JP2005044498A (zh)
KR (1) KR20050012143A (zh)
CN (1) CN1308922C (zh)
MY (1) MY138800A (zh)
SG (1) SG108984A1 (zh)
TW (1) TW200516564A (zh)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100660911B1 (ko) * 2006-01-11 2006-12-26 삼성전자주식회사 하드 디스크 드라이브용 액츄에이터의 서스펜션 조립체
US8553368B2 (en) * 2007-11-19 2013-10-08 HGST Netherlands B.V. High aspect ratio motion limiter of a microactuator and method for fabrication
US8085508B2 (en) 2008-03-28 2011-12-27 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. System, method and apparatus for flexure-integrated microactuator
US8351159B2 (en) * 2009-10-14 2013-01-08 HGST Netherlands B.V. Suspension for protecting a component from mechanical shock
KR20120110820A (ko) 2011-03-30 2012-10-10 삼성전자주식회사 헤드 짐발 조립체 및 그를 구비한 하드디스크 드라이브
US9190086B1 (en) 2011-11-30 2015-11-17 Magnecomp Corporation GSA suspension having slider clearance for shock performance
US8947831B1 (en) 2011-11-30 2015-02-03 Magnecomp Corporation GSA suspension with microactuators extending to gimbal through flexible connectors
US8879210B1 (en) 2011-11-30 2014-11-04 Magnecomp Corporation DSA suspension with microactuators extending to gimbal through flexible connectors
US8493690B1 (en) 2011-12-29 2013-07-23 HGST Netherlands B.V. Load-unload ramp structure with cantilevered fin portion configured to reduce drop shock in a hard-disk drive

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5115363A (en) * 1990-02-16 1992-05-19 Digital Equipment Corporation Head/gimbal assembly having low stiffness cross band flexure
US6201668B1 (en) * 1997-07-03 2001-03-13 Seagate Technology Llc Gimbal-level piezoelectric microactuator
US6246552B1 (en) * 1996-10-31 2001-06-12 Tdk Corporation Read/write head including displacement generating means that elongates and contracts by inverse piezoelectric effect of electrostrictive effect
US6376964B1 (en) * 2001-05-16 2002-04-23 Read-Rite Corporation Collocated rotating flexure microactuator for dual-stage servo in disk drives

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0707310A1 (en) * 1994-10-12 1996-04-17 Hewlett-Packard Company Head suspension assembly having parallel-coupled load/gimbal springs
US5657188A (en) * 1995-06-01 1997-08-12 Hutchinson Technology Incorporated Head suspension with tracking microactuator
USRE38340E1 (en) * 1996-11-04 2003-12-02 Seagate Technology Llc Multi-point bending of bars during fabrication of magnetic recording heads
US5982585A (en) * 1997-12-30 1999-11-09 International Business Machines Corporation Rotary electrostatic microactuator with optimum flexure arrangement
US6078473A (en) * 1998-05-13 2000-06-20 Seagate Technology, Inc. Gimbal flexure for use with microactuator
WO2000030080A1 (fr) * 1998-11-13 2000-05-25 Tdk Corporation Mecanisme support pour tete d'enregistrement/de reproduction, et dispositif d'enregistrement/de reproduction
EP1031965B1 (en) * 1999-02-23 2005-04-27 STMicroelectronics S.r.l. Micrometric actuation, hard disk read/write unit
GB2379552B (en) * 2000-06-22 2004-05-19 Seagate Technology Llc Disc drive with improved head pitch adjustment
US6614628B2 (en) * 2001-01-19 2003-09-02 Seagate Technology Llc Moving coil micro actuator with reduced rotor mass
US7149060B2 (en) * 2002-10-01 2006-12-12 Magnecomp Corporation Actuation device and method for high density hard disk drive head
US6958879B2 (en) * 2003-07-10 2005-10-25 Samsung Electronics Co., Ltd. Method and apparatus reducing off track head motion due to disk vibration in a hard disk drive using configuration of the disk drive servo controller
US7277258B2 (en) * 2005-06-21 2007-10-02 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Dual-stage actuator disk drive with optimal location of the movable portion of the secondary actuator

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5115363A (en) * 1990-02-16 1992-05-19 Digital Equipment Corporation Head/gimbal assembly having low stiffness cross band flexure
US6246552B1 (en) * 1996-10-31 2001-06-12 Tdk Corporation Read/write head including displacement generating means that elongates and contracts by inverse piezoelectric effect of electrostrictive effect
US6201668B1 (en) * 1997-07-03 2001-03-13 Seagate Technology Llc Gimbal-level piezoelectric microactuator
US6376964B1 (en) * 2001-05-16 2002-04-23 Read-Rite Corporation Collocated rotating flexure microactuator for dual-stage servo in disk drives

Also Published As

Publication number Publication date
EP1501077A3 (en) 2008-08-13
MY138800A (en) 2009-07-31
KR20050012143A (ko) 2005-01-31
SG108984A1 (en) 2005-02-28
US7230800B2 (en) 2007-06-12
TW200516564A (en) 2005-05-16
US20050018359A1 (en) 2005-01-27
EP1501077A2 (en) 2005-01-26
CN1577499A (zh) 2005-02-09
JP2005044498A (ja) 2005-02-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7719798B2 (en) Rotational micro-actuator integrated with suspension of head gimbal assembly, and disk drive unit with the same
US7768746B2 (en) Rotational micro-actuator with a rotatable plate, head gimbal assembly and disk drive device with the same
US7554773B2 (en) Micro-actuator, head gimbal assembly and disk drive unit with the same
CN1273959C (zh) 具有准确定位致动器的磁头万向架组件及具有该组件的磁盘驱动装置
JP3716164B2 (ja) ヘッド支持機構
US20070097553A1 (en) Flex cable frame assembly for micro-actuator and flex cable suspension assembly for HGA of disk drive device
US7256968B1 (en) Microactuated dimple for head suspensions
US7701675B2 (en) Micro-actuator mounting structure capable of maintaining a substantially constant gap between a top support of a micro-actuator and a suspension during use
US7417831B2 (en) Micro-actuator and head gimbal assembly for a disk drive device
US7535680B2 (en) Micro-actuator with integrated trace and bonding pad support
CN1308922C (zh) 具有集成万向功能的硬盘驱动器用微传动器
CN1967663A (zh) 薄膜压电微驱动器及其磁头折片组合和磁盘驱动单元
CN101042876A (zh) 含加强板的悬臂件及其磁头折片组合和磁盘驱动单元
US20040021989A1 (en) Piezo-electric microactuator for dual stage actuator
CN1979643A (zh) 微驱动器、磁头折片组合及其磁盘驱动单元
US7623321B2 (en) Micro-actuator including electrical connection shifting circuit, head gimbal assembly and disk drive unit with the same
CN1905012A (zh) 具有微驱动器的磁头折片组合及其磁盘驱动装置
CN100545912C (zh) 用于磁盘驱动装置的柔性电缆框架组合及柔性电缆悬臂组合
US20080002304A1 (en) Micro-actuator mounting arrangement and manufacturing method thereof
CN101038750A (zh) 具有u形框架及金属支撑框架的微驱动器及其制造方法
JP3732081B2 (ja) 磁気ディスク装置
CN1920958A (zh) 用于磁盘驱动器的微驱动器及磁头折片组合
US7535681B2 (en) Micro-actuator including side arms having back-turned extensions, head gimbal assembly and disk drive unit with the same
CN1873783A (zh) 一种具有集成电缆和焊接触点支架的微驱动器
CN101051511A (zh) 微致动器、微致动器悬臂件及磁头折片组合

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20181128

Address after: American California

Patentee after: Western Digital Technologies, Inc.

Address before: Amsterdam

Patentee before: Hitachi Global Storage Tech

TR01 Transfer of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20070404

Termination date: 20190723

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee