CN1285880C - 液晶盒厚度检测方法、液晶盒厚度控制系统及液晶装置制造方法 - Google Patents
液晶盒厚度检测方法、液晶盒厚度控制系统及液晶装置制造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1285880C CN1285880C CNB011325119A CN01132511A CN1285880C CN 1285880 C CN1285880 C CN 1285880C CN B011325119 A CNB011325119 A CN B011325119A CN 01132511 A CN01132511 A CN 01132511A CN 1285880 C CN1285880 C CN 1285880C
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- liquid crystal
- mentioned
- thickness
- light
- value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
提供一种新的液晶盒厚度测定方法,可以精确地检测液晶面板的液晶盒厚度,而不因滤色器的存在而受影响。利用分光单元(141)对透过夹持液晶显示面板(10)的加压夹具的光进行分光,根据该分光光谱中的极小值或极大值的波长或频率求出液晶盒厚度。将检测出的液晶盒厚度与目标值进行比较,与该比较结果对应,利用压力控制单元(132)向加压夹具供给流体。
Description
技术领域
本发明涉及用来检测液晶面板的液晶盒厚度的液晶盒厚度检测方法、液晶盒厚度控制系统及液晶装置的制造方法。
背景技术
过去,液晶显示装置具有用密封材料将2块衬底粘贴在一起并在该密封材料的内侧注入液晶的液晶显示面板。在该液晶显示面板中,2块衬底的间隔(以下称作‘液晶盒厚度’)是决定液晶层厚度的重要参数,由该液晶盒厚度来决定液晶显示面板的光学特性。
通常,在液晶显示装置的制造工序中,用未硬化的密封材料将2块衬底粘贴后,施加规定的压力,使衬底相互压着。这时,使用混合了球状或圆柱状的隔离基的密封材料,或者,通过在一块衬底的内面散布很多隔离基再与另一块衬底粘贴,由这些隔离基的外径来限制液晶盒厚度。接着,在该状态下通过加热等处理使密封材料硬化,形成液晶显示面板的液晶盒结构(即,空液晶盒)。
上述密封材料设有构成液晶注入口的开口部。而且,从该液晶注入口向上述空液晶盒内注入液晶。一旦注入液晶,液晶面板就会鼓起来,所以,对液晶面板加压,在液晶盒厚度均匀的状态下对液晶注入口涂敷密封材料,并对其进行紫外线照射等使密封材料硬化,从而密封液晶。这样的密封了液晶的液晶面板可以原封不动地维持密封时的形状,可以使整个液晶显示区实现大致均匀的液晶盒厚度分布。
如上所述,液晶密封时的液晶盒厚度决定最后的液晶面板的液晶盒厚度及其分布状态,所以,过去就有在液晶密封阶段一边测定液晶盒厚度一边加压,在液晶盒厚度达到所要的尺寸时进行密封的情况。这时,作为液晶盒厚度的测定方法,已知的有利用从光源照射的光经衬底的表面等反射后的界面反射光的干涉测定液晶盒厚度的方法(使用干涉膜厚计的方法)和将一对偏振光板配置在液晶面板的前后再根据透过液晶面板及一对偏振光板的光的色相求得液晶盒厚度的方法。
但是,在上述先有的液晶显示面板的液晶盒厚度的测定方法中,利用界面反射光的干涉球液晶盒厚度的方法因液晶面板内存在象透明电极、绝缘膜、定向膜、滤色器等那样的多个层,由各层间的界面产生的反射光相互间呈现复杂的关系而使干涉复杂化,同时,界面反射光本身的强度相当弱,所以存在难以准确地求出液晶盒厚度的问题。
另一方面,在求出透过液晶面板及配置在其前后的偏振光板的光的色相值再根据该色相值求得液晶盒厚度的方法中,当测定具有滤色器的彩色液晶显示面板的液晶盒厚度时,因液晶盒厚度的检测值受滤色器的色相的影响,所以,有时因滤色器的存在而不能检测液晶盒厚度,此外,还存在即使考虑滤色器的色相来修正检测值也不能准确地检测液晶盒厚度的问题。
因此,本发明是为了解决上述问题而提出的,其目的在于实现一种新的液晶盒厚度测定方法,能准确检测出液晶面板的厚度且不因滤色器的存在而受影响。此外,本发明的目的在于提供一种高品位的液晶装置,通过使用新的液晶盒厚度测定方法来形成高精度的液晶盒结构。
发明内容
本发明的液晶盒厚度检测方法是用来检测将2块衬底粘贴在一起并在该衬底间配置液晶层的液晶面板的液晶盒厚度的液晶盒厚度检测方法,其特征在于:设定依次通过第1偏振光装置、上述液晶层和第2偏振光装置的光路,对通过该光路的光进行分光,求出上述光的分光光谱中的能得到极小值或极大值的波长或频率或与它们相关的对应值的检测值,根据该检测值得出上述液晶盒厚度。
若对依次通过第1偏振光装置、液晶层和第2偏振光装置的光进行分光,就能得到规定的分光光谱。在该分光光谱中,在由第1偏振光装置的偏振光透过轴和第2偏振光装置的偏振光透过轴之间的相对角度φ、液晶折射率的各向异性Δn、液晶的扭角θ和液晶盒厚d决定的波长或频率的位置上,出现极小值或极大值。特别,在将上述相对角度φ设定为规定值时,出现该极小值或极大值的波长或频率实质上根据液晶盒厚度d变化,几乎不受液晶面板的滤色器等产生的色相的影响。因此,通过作为检测值而得到上述波长或频率或与它们相关的对应值,就可以容易地以很高的精度求出液晶盒厚度d,而不受界面反射光等的干涉或滤色器等的色调的影响。
在本发明中,在上述分光光谱中能得到极小值或极大值的波长或频率最好是可见光区域内的波长或频率。通过使用可见光区域内的检测值,可以容易进行测量,同时,能提高液晶盒厚度的检测精度。
在本发明中,通过上述光路的光的光源最好在至少与上述检测值对应的波长区域内具有连续的发光光谱。通过使用在与检测值对应的波长区域内具有连续的发光光谱的光源,可以降低光源的发光光谱对检测值的影响,所以,能够高精度地检测出液晶盒厚度。例如,作为在可见光区域内有连续发光光谱的光源,有卤素灯等,作为在可见光区域内有不连续发光光谱的光源,有荧光灯等。
其次,本发明的液晶盒厚度控制系统是用来控制将2块衬底粘贴在一起并在该衬底间配置液晶层的液晶面板的液晶盒厚度的液晶盒厚度控制系统,其特征在于,具有:对上述液晶面板施加受控制的压力的加压装置;具有依次通过第1偏振光装置、上述液晶层和第2偏振光装置的光路的检测光学系;对从该检测光学系导出的光进行分光的分光装置;根据该分光装置的输出求出从上述检测光学系得到的光的分光光谱中的能得到极小值或极大值的波长或频率或与它们相关的对应值的检测值的检测值导出装置;控制上述加压装置的压力使上述检测值接近与上述液晶盒厚度的目标值对应的值的控制装置。
在本发明中,上述控制装置最好根据预先设定的上述检测值或对应于上述检测值的液晶盒厚度的变化量和对上述液晶面板施加的压力的关系控制上述加压装置。因此,可以在短时间内高精度地控制液晶盒厚度。这时,最好使用液晶盒厚度的目标值附近的检测值或液晶盒厚度的变化量和压力的关系。
在本发明中,上述加压装置最好包括:至少一方具有透光性且将上述液晶面板夹在中间的相互对置的一对夹持部件;密封该一对夹持部件和上述液晶面板之间的间隙的密封装置;以受控制的压力向上述一对夹持装置和上述液晶面板之间的间隙供给流体的流体供给装置。通过将液晶面板配置在夹持部件之间并利用向夹持部件和液晶面板之间的间隙供给的流体对液晶面板施加压力,可以对液晶面板进行柔软而均匀的加压,所以,可以高精度控制液晶盒厚度,同时,可以进行微妙的调整,由此,能够使控制液晶盒厚度所需要的时间比以前的方法短。
其次,本发明的液晶装置的制造方法是将2块衬底粘贴在一起并在该衬底间配置液晶层的液晶面板的制造方法,其特征在于:设定依次通过第1偏振光装置、上述液晶层和上述第2偏振光装置的光路,对通过上述光路的光进行分光,求出上述光的分光光谱中的能得到极小值或极大值的波长或频率或与它们相关的对应值的检测值,根据该检测值对上述液晶面板进行加压,并进行调整,使上述检测值与和上述液晶盒厚度的目标值对应的值大致一致。
在本发明中,最好在向上述液晶面板内注入液晶后,根据上述检测值对上述液晶面板进行加压,在调整压力使上述检测值与和上述液晶盒厚度的目标值对应的值大致一致的状态下密封上述液晶装置。
进而,作为本发明的液晶盒厚度检测方法,是用来检测将2块衬底对置并在该衬底间配置液晶层的液晶面板的液晶盒厚度的液晶盒厚度检测方法,其特征在于:设定依次通过第1偏振光装置、上述液晶层和第2偏振光装置的光路,对通过该光路的光进行分光,在上述光的分光光谱中,将能得到极小值或极大值的波长或频率作为检测值求出,根据该检测值得出上述液晶盒厚度。
此外,作为本发明的液晶盒厚度检测方法,是用来检测将2块衬底对置并在该衬底间配置液晶层的液晶面板的液晶盒厚度的液晶盒厚度检测方法,其特征在于:设定依次通过第1偏振光装置、上述液晶层和第2偏振光装置的光路,对通过该光路的光进行分光,在上述光的分光光谱中,将与能得到极小值或极大值的波长或频率相关的对应值作为检测值求出,根据该检测值得出上述液晶盒厚度。
本发明还包括:
一种液晶盒厚度检测方法,用来检测将2块衬底粘贴在一起并在该衬底间配置液晶层的液晶面板的液晶盒厚度,其特征在于:
设定依次通过第1偏振光装置、上述液晶层和第2偏振光装置的光路,
对通过该光路的光进行分光,
求出作为得到上述光的分光光谱的极小值或极大值的波长、与上述波长相关的对应值、频率、或与上述频率相关的对应值的检测值,
根据该检测值得出上述液晶盒厚度。
一种液晶盒厚度控制系统,用来控制将2块衬底粘贴在一起并在该衬底间配置液晶层的液晶面板的液晶盒厚度,其特征在于,具有:
对上述液晶面板施加受控制的压力的加压装置;
具有依次通过第1偏振光装置、上述液晶层和第2偏振光装置的光路的检测光学系;
对从该检测光学系导出的光进行分光的分光装置;
根据该分光装置的输出,求出作为得到从上述检测光学系中获得的光的分光光谱的极小值或极大值的波长、与上述波长相关的对应值、频率、或与上述频率相关的对应值的检测值的检测值导出装置;
控制上述加压装置的压力使上述检测值接近与上述液晶盒厚度的目标值对应的值的控制装置。
一种液晶装置的制造方法,通过密封材料将2块衬底粘贴在一起并在该衬底间配置液晶层而形成液晶面板,其特征在于:
设定依次通过第1偏振光装置、上述液晶层和上述第2偏振光装置的光路;
对通过上述光路的光进行分光;
求出作为得到上述光的分光光谱的极小值或极大值的波长、与上述频率相关的对应值、频率、或与所述频率相关的对应值的对应值的检测值,
根据该检测值对上述液晶面板进行加压,并进行调整,使上述检测值与和上述液晶盒厚度的目标值对应的值大致一致。
附图说明
图1是表示本发明实施形态的液晶盒厚度控制系统的整体构成的概略构成图。
图2是表示同实施方式的工作流程的顺序的概略流程图。
图3是表示同实施形态的利用分光液晶盒得到的分光光谱的图。
图4是表示同实施形态的利用分光液晶盒得到的(A)没有滤色器的单色面板、(B)具有滤色器的彩色面板、(C)具有别的滤色器的彩色面板3种情况下的分光光谱的图。
图5是表示构成反射型检测系统的另一实现方式的加压夹具和分光装置的加压夹具和分光装置的构造的概略构成图。
图6(a)是表示同实施方式中的函数F的具体例已使用的液晶面板的摩擦方向的说明图,(b)是表示配置在同液晶面板的前后偏振光板的偏振光透过轴的方向的说明图,(c)是表示上述函数F的具体例中的波长λ和液晶盒厚度d的关系的图。
其次,参照附图说明本发明的液晶盒厚度测定方法、液晶盒厚度控制系统和液晶装置的制造方法的实施方式。
具体实施方式
图1是表示使用了本发明的液晶盒厚度测量方法的液晶盒厚度控制系统100的整体构成的概略构成图。该液晶盒厚度控制系统100包括:具有个人计算机等微处理器液晶盒(MPU)的控制装置110、用来对液晶显示面板10加压的加压夹具120、向加压夹具供给压缩空气等加压流体的流体供给装置130、对从设在加压夹具120上的液晶显示面板10发出的光进行分光的分光装置140。
液晶显示面板是将具有扭转取向性的液晶(例如向列的液晶)封入由密封材料粘贴的2块面板衬底之间而形成的。此外,在该实施方式中,作为控制对象的液晶显示面板10是具有所谓光透过型面板结构的面板。
控制装置110设有作为控制装置本体的控制单元111、与控制单元111连接的键盘等输入装置112与控制单元111连接的显示器等输出装置113。控制装置111内MPU设有包括CPU(中央运算单元)、存储器和信号线等的上述MPU和对该MPU与外部装置之间的信号交换进行中继的输入输出电路。控制单元111经该输入输出电路分别向加压夹具120、流体供给装置130和分光装置140送出控制信号,控制各部分,同时,由输入输出电路接收表示由分光装置得到的分光光谱及其它分光参数的分光数据,并取入内部。
加压夹具120设有由LED或冷阴极射线管等点状或线状光源及导光板组合形成的、或者由场致发光面板等面状光源等形成的背照光121。作为本实施方式使用的光源,为了减小对后述的分光光谱的极小值或极大值的波长或频率的影响,最好是至少在具有这些极小值或极大值的波长区及其附近具有连续的发光光谱的光源。例如,最好是象卤素灯那样在可见光区域具有平滑的发光光谱的光源,而不是向荧光灯那样具有存在尖峰的发光光谱的光源。
在该背景光121的上面设置由玻璃或丙烯基树脂等形成的透明的第1衬底122和第2衬底125,该第1衬底122和第2衬底125通过整体构成闭合曲线形状的具有弹性的密封材料123、126将液晶显示面板夹在中间。第1衬底122和液晶面板10之间的间隙由密封材料123密封,第2衬底125和液晶面板10之间的间隙由密封材料126密封。此外,在第1衬底122的内面设置偏振光板124,其偏振光透过轴可绕光轴(图中的上下轴)旋转,在第2衬底125的内面设置可绕光轴旋转的偏振光板127。再有,当第1衬底122和第2衬底125分别由不具有光学各向异性的玻璃等材料形成时,上述偏振光板124、127也可以配置在第1衬底122和第2衬底125的外面或外侧。
在第1衬底122和第2衬底125的内部分别设置通过上述间隙的流体供给通路(未图示),该流体供给通路与上述流体供给装置130连接。在流体供给装置130上设置由压缩机或储气瓶等形成的流体供给源131和与该流体供给源131连接的压力控制单元132。压力控制单元132控制流体供给源131断续地向上述第1衬底122和第2衬底125供给流体,同时,调整向第1衬底122和第2衬底125供给流体的压力。
分光装置140具有分光单元141和使该分光单元141相对上述加压夹具120移动的移动机构142。分光单元141是能够得到从加压夹具120发出的光的至少在可见光区域内的分光光谱或与此对应的检测数据的装置,例如,可以是使用了分光元件的分光计,使用了多路分光法的分光装置或多通道分光计等。移动机构142最好构成为当具有由分光单元141对液晶显示面板的液晶显示区限定的测量范围时,通过扫描该测量范围能够覆盖全部液晶面板10的液晶显示区。
再有,作为分光装置140设定成使其分光范围涵盖整个液晶显示面板10的液晶显示区,或其分光范围涵盖液晶显示面板10的液晶显示区的主要部分,结果,也可以不需要上述移动机构142。
在该液晶盒厚度控制系统100中,因液晶面板10夹在第1衬底122和第2衬底125的中间,故背景光121的照明光经第1衬底122和偏振光板124而透过液晶显示面板10,进而,经偏振光板127和第2衬底125而到达分光单元141。
在分光单元141中,检测出沿上述光路到达的光的可见光区的分光光谱本身、或与该分光光谱等效的、即通过规定的数学运算可导出分光光谱的各种光学参数(复数介电常数等)。
图3示出上述分光光谱的一个例子。在该分光光谱中,在可见光区存在极小值Mb和极大值Mp。能得到该极小值Mb的波长λb和能得到该极大值Mp的波长λp与液晶面板10的液晶盒厚度之间具有规定的关系。
一般,通过使用Jones矢量法和4×4矩阵法,并根据液晶的光学特性,即光学的各向异性Δn、扭角θ、液晶盒厚d和偏振光板124的偏振光透过轴与偏振光板127的偏振光透过轴之间的相对光轴的角度φ,可以导出上述分光光谱。而且,利用上述参数可以表示该分光光谱中的上述极小值Mb和极大值Mp的位置,即波长λb、λp。因此,若光源和加压夹具的条件相同,则可用上述波长λb或λp的函数F(λ)表示规定的Δn、θ、φ时的液晶盒厚度d。该液晶盒厚度d=F(λ)在实用上可由波长λb或λp的1次或4次函数表示。
图3示出使液晶盒厚度d变化时(d=d0、d=d0-Δd)的2个分光光谱。通常,当液晶盒厚度d增加时,根据上述函数F(λ),可见光区的上述波长λb、λp单调增加。再有,上述函数F(λ)也可以是根据从预先反复实验得到的数据求得的实验式。
其次,参照图6示出上述函数F(λ)的具体例。在STN型液晶面板中,该液晶的光学各向异性Δn=0.141,此外,在液晶面板的入射侧(光的入射侧)的衬底和射出侧的衬底上形成定向膜,沿图6(a)所示的磨擦方向对这些定向膜进行摩擦处理,使液晶的扭角θ=250度。这里,图6(a)示出从液晶面板的射出侧看去的磨擦方向。进而,将相对该液晶面板配置在入射侧的偏振光板的偏振光透过轴与配置在射出侧的偏振光板的偏振光透过轴设定为图6(b)所示的方向。这里,图6(b)示出从光的射出侧看去的偏振光透过轴的方向。而且,设液晶面板的液晶盒厚度的目标值为d0=5.6μm,在5.1~6.1μm的液晶盒厚度范围内,算出上述分光光谱的极小值的波长λb[nm],求出上述函数F。这样一来,求出的函数F变成
d=F(λb)=-9×10-7λb3+0.0014λb2-0.7653λb+138.29
图6(c)示出该函数F中的波长λb和液晶盒厚度d的关系。
图4示出作为液晶显示面板10在使用没有滤色器的单色面板A及具有滤色器的彩色面板B和C的情况下的各分光光谱。这里,彩色面板B和彩色面板C具有不同的设定着色层的彩色滤色器。这时,利用上述分光单元分光的光的范围设定在分别通过包含液晶显示区中的多个象素的区域的范围内。
如图4所示,分光光谱随滤色器的有无和滤色器的种类有很大的变化,但上述极小值Mb和极大值Mp的位置几乎不变,上述波长λb、λp大致一定。因此,当使用上述函数F(λ)求液晶盒厚度d时,其检测值几乎不受滤色器的有无和滤色器色调变化的影响。
上述液晶盒厚度控制系统100在向液晶面板10注入液晶后用密封材料密封密封材料的液晶注入口时,利用加压夹具120一边加压一边测定液晶盒厚度,在控制施加的压力使液晶盒厚度达到目标值的时刻,涂敷密封材料并使其硬化。这样,通过一边控制液晶盒厚度一边进行液晶密封,可以得到高精度而且均匀的液晶盒厚度分布。再有,当采用构成能获取多个液晶显示面板的大面板的制造工序时,将大面板分割成长方块(第1次分割),在对该长方块面板的各液晶密封区分别注入液晶后,将长方块面板放在上述加压夹具120上,一边测定液晶盒厚度一边进行液晶密封。
图2是表示用来使上述液晶盒厚度控制系统100动作的动作流程的概略流程图。首先,将液晶显示面板10放在加压夹具120上,从输入装置112接收输入数据并进行保存。该输入数据有液晶盒状态,即液晶的光学各向异性Δn、扭角θ、偏振光板124、127的偏振光透过轴的角度φ和面板衬底的厚度、材料及光学特性等。此外,还接收输入的液晶盒厚度的目标值d0并进行记录。
控制单元111根据上述输入的液晶盒状态和目标值求上述函数F(λ)。该函数F(λ)示出液晶盒厚度d和上述波长λb或λp的关系。在本实施方式中,使用与分光光谱的极小值Mb对应的波长λb。
此外,在求上述函数F(λ)的同时,还求出表示加压夹具120中的加压力P和液晶盒厚度d的关系的函数G(Δd)。该函数G(Δd)示出从压力控制单元132向加压夹具120提供的流体压力的加压力P和因该加压力P而使液晶盒厚度向目标值d0接近的液晶盒厚度d的变化量Δd的关系,通常,可以根据理论的或从实验求得的参数适当求出,所以,也可以只将函数G(Δd)作为规定的变量进行设定。但是,最好在根据上述参数和面板衬底的厚度或材料等修正参数对每一块液晶显示面板(液晶盒)修正了函数G(Δd)之后再使用。
当完成上述准备工作后,等待输入装置112输入的开始指令,一旦输入开始指令,便将分光单元放在适当的位置上,开始分光测量。接着,从分光单元141向控制单元111送出分光数据,控制单元111根据分光数据求上述波长λb。
接着,根据上述函数F(λ)从上述波长λb求出液晶盒厚度d,将该算出的液晶盒厚度d与目标值d0进行比较,当液晶盒厚度d与目标值d0不同时,求出与Δd=|d-d0|(d和d0的差的绝对值)对应的上述加压力P=G(Δd),从控制单元111向压力控制单元132送出施加该加压力P的控制信号,对加压夹具120进行液晶显示面板10的加压控制。
然后,进而进行与上述同样的分光测量,再算出液晶盒厚度d并与目标值d0进行比较。就这样,反复进行测量和比较,最后,当液晶盒厚度d与目标值d0大致一致时,结束分光测量和加压控制。这时,利用密封材料密封该液晶显示面板10的液晶密封口。
然后,根据预定的测量模式,例如,当对长方形的多个面板的每一个预定区进行测量时,使用移动机构142改变分光单元141的测量位置,在其余的面板预定区上进行和上述一样的反复测量,从而控制液晶盒厚度。
在液晶盒厚度控制系统及液晶制造装置的制造方法中,以上说明的本实施方式的液晶盒厚度检测方法可以高精度地检测液晶显示面板的液晶盒厚度,而且,几乎不因滤色器的有无和色相的离散等原因而受影响。
在上述实施方式中,为了求液晶盒厚度而使用了分光光谱的波长λb,但也可以使用λp,此外,还可以使用与波长相当的频率,或与此关连的种种对应值。
此外,在上述实施方式中,从波长、频率或对应值等检测值算出液晶盒厚度d并将该液晶盒厚度d与目标值d0进行比较,但也可以与此不同,不求液晶盒厚度d而直接将上述检测值与和液晶盒厚度的目标值对应的检测值的目标值进行比较。
图5是示出能代替上述实施方式的加压夹具120和分光装置140使用的加压夹具220和分光装置240的概略结构。
加压夹具220具有第1衬底222、密封材料223、透明的第2衬底225和密封材料226,由第1衬底222和第2衬底225将液晶显示面板10夹在中间。第1衬底222和液晶显示面板10之间的间隙由密封材料223密封,第2衬底225和液晶显示面板10之间的间隙由密封材料226密封,可以利用上述流体供给装置130对液晶显示面板10加压这一点与上述实施方式相同。在该加压夹具220中,第1衬底222的表面(上面)成为反射面。
另一方面,分光装置240具有和上述同样的分光单元241、从斜上方向上述加压夹具220照射光的光源243、配置在光源243和加压夹具220之间的偏振光板244、配置在加压夹具220和分光单元241之间的偏振光板245。再有,光源243也可以是形成环状的环形照明灯。
在该分光装置240中,向加压夹具照射的光经偏振光板244、第2衬底225和液晶显示面板10由第1衬底222反射,该反射光再次通过液晶显示面板10后经第2衬底225和偏振光板245到达分光单元241,进行分光。
再有,上述加压夹具220和分光装置240不限于上述透过型液晶显示面板10,也可以使用反射型液晶显示面板。
如上所述,若按照本发明,可以高精度而且容易地求出液晶盒厚度d,而不受界面反射光等的干扰及滤色器等的色调的影响。
Claims (16)
1.一种液晶盒厚度检测方法,用来检测将2块衬底粘贴在一起并在该衬底间配置液晶层的液晶面板的液晶盒厚度,其特征在于:
设定依次通过第1偏振光装置、上述液晶层和第2偏振光装置的光路,
对通过该光路的光进行分光,
求出作为检测值的上述光的分光光谱的极小值或极大值的波长,
根据该检测值检测上述液晶盒厚度。
2.一种液晶盒厚度检测方法,用来检测将2块衬底粘贴在一起并在该衬底间配置液晶层的液晶面板的液晶盒厚度,其特征在于:
设定依次通过第1偏振光装置、上述液晶层和第2偏振光装置的光路,
对通过该光路的光进行分光,
求出作为检测值的上述光的分光光谱的极小值或极大值的频率,
根据该检测值检测上述液晶盒厚度。
3.权利要求1或2的液晶盒厚度检测方法,其特征在于:在上述分光光谱中能得到极小值或极大值的波长或频率是可见光区域内的波长或频率。
4.权利要求1或2的液晶盒厚度检测方法,其特征在于:通过上述光路的光的光源在至少与上述检测值对应的波长区域内具有连续的发光光谱。
5.一种液晶盒厚度控制系统,用来控制将2块衬底粘贴在一起并在该衬底间配置液晶层的液晶面板的液晶盒厚度,其特征在于,具有:
对上述液晶面板施加受控制的压力的加压装置;
具有依次通过第1偏振光装置、上述液晶层和第2偏振光装置的光路的检测光学系;
对从该检测光学系导出的光进行分光的分光装置;
根据该分光装置的输出,求出作为检测值的从上述检测光学系中获得的光的分光光谱的极小值或极大值的波长的检测值导出装置;
控制上述加压装置的压力使上述检测值接近与上述液晶盒厚度的目标值对应的值的控制装置。
6.一种液晶盒厚度控制系统,用来控制将2块衬底粘贴在一起并在该衬底间配置液晶层的液晶面板的液晶盒厚度,其特征在于,具有:
对上述液晶面板施加受控制的压力的加压装置;
具有依次通过第1偏振光装置、上述液晶层和第2偏振光装置的光路的检测光学系;
对从该检测光学系导出的光进行分光的分光装置;
根据该分光装置的输出,求出作为检测值的从上述检测光学系中获得的光的分光光谱的极小值或极大值的频率的检测值导出装置;
控制上述加压装置的压力使上述检测值接近与上述液晶盒厚度的目标值对应的值的控制装置。
7.权利要求5或6的液晶盒厚度控制系统,其特征在于:在上述分光光谱中能得到极小值或极大值的波长或频率是可见光区域内的波长或频率。
8.权利要求5或6的液晶盒厚度控制系统,其特征在于:通过上述光路的光的光源在至少与上述检测值对应的波长区域内具有连续的发光光谱。
9.权利要求5或6的液晶盒厚度控制系统,其特征在于:上述控制装置根据预先设定的上述检测值或对应于上述检测值的液晶盒厚度的变化量和对上述液晶面板施加的压力的关系控制上述加压装置。
10.权利要求5或6的液晶盒厚度控制系统,其特征在于上述加压装置包括:至少一方具有透光性且将上述液晶面板夹在中间的相互对置的一对夹持部件;
密封该一对夹持部件和上述液晶面板之间的间隙的密封装置;
以受控制的压力向上述一对夹持部件和上述液晶面板之间的间隙供给流体的流体供给装置。
11.一种液晶装置的制造方法,通过密封材料将2块衬底粘贴在一起并在该衬底间配置液晶层而形成液晶面板,其特征在于:
设定依次通过第1偏振光装置、上述液晶层和上述第2偏振光装置的光路;
对通过上述光路的光进行分光;
求出作为检测值的上述光的分光光谱的极小值或极大值的波长,
根据该检测值对上述液晶面板进行加压,并进行调整,使上述检测值与和上述液晶盒厚度的目标值对应的值大致一致。
12.一种液晶装置的制造方法,通过密封材料将2块衬底粘贴在一起并在该衬底间配置液晶层而形成液晶面板,其特征在于:
设定依次通过第1偏振光装置、上述液晶层和上述第2偏振光装置的光路;
对通过上述光路的光进行分光;
求出作为检测值的上述光的分光光谱的极小值或极大值的频率,
根据该检测值对上述液晶面板进行加压,并进行调整,使上述检测值与和上述液晶盒厚度的目标值对应的值大致一致。
13.权利要求11或12的液晶装置的制造方法,其特征在于:在上述分光光谱中能得到极小值或极大值的波长或频率是可见光区域内的波长或频率。
14.权利要求11或12的液晶装置的制造方法,其特征在于:在向上述液晶面板内注入液晶后,根据上述检测值对上述液晶面板进行加压,在调整压力使上述检测值与和上述液晶盒厚度的目标值对应的值大致一致的状态下密封上述液晶。
15.一种液晶盒厚度检测方法,用来检测将2块衬底对置并在该衬底间配置液晶层的液晶面板的液晶盒厚度,其特征在于:
设定依次通过第1偏振光装置、上述液晶层和第2偏振光装置的光路,
对通过该光路的光进行分光,
在上述光的分光光谱中,将能得到极小值或极大值的波长或频率作为检测值求出,
根据该检测值得出上述液晶盒厚度。
16.一种液晶盒厚度检测方法,用来检测将2块衬底对置并在该衬底间配置液晶层的液晶面板的液晶盒厚度,其特征在于:
设定依次通过第1偏振光装置、上述液晶层和第2偏振光装置的光路,
对通过该光路的光进行分光,
在上述光的分光光谱中,将与能得到极小值或极大值的波长或频率相关的对应值作为检测值求出,
根据该检测值得出上述液晶盒厚度。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000265600A JP2002071319A (ja) | 2000-09-01 | 2000-09-01 | セル厚検出方法、セル厚制御システム及び液晶装置の製造方法 |
JP265600/00 | 2000-09-01 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1340690A CN1340690A (zh) | 2002-03-20 |
CN1285880C true CN1285880C (zh) | 2006-11-22 |
Family
ID=18752842
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CNB011325119A Expired - Fee Related CN1285880C (zh) | 2000-09-01 | 2001-08-31 | 液晶盒厚度检测方法、液晶盒厚度控制系统及液晶装置制造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6618156B2 (zh) |
JP (1) | JP2002071319A (zh) |
KR (1) | KR100408961B1 (zh) |
CN (1) | CN1285880C (zh) |
TW (1) | TW593975B (zh) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002169135A (ja) * | 2000-09-07 | 2002-06-14 | Seiko Epson Corp | セルギャップ調整装置、加圧封止装置及び液晶表示装置の製造方法 |
CN100414349C (zh) * | 2005-05-24 | 2008-08-27 | 友达光电股份有限公司 | 液晶面板的检测装置 |
CN102053396B (zh) * | 2009-11-06 | 2012-02-29 | 复旦大学 | 一种液晶盒厚测量方法及装置 |
CN102466475A (zh) * | 2010-11-12 | 2012-05-23 | 北京京东方光电科技有限公司 | 液晶盒厚测量方法、液晶显示装置及其制造方法 |
US8888569B2 (en) * | 2011-09-26 | 2014-11-18 | Tyson Foods, Inc. | Big poultry cut-up method |
JP6025324B2 (ja) * | 2011-12-15 | 2016-11-16 | 三菱電機株式会社 | 液晶表示装置 |
CN103398662B (zh) * | 2013-08-09 | 2016-04-06 | 山东大学 | 10~100μm固体薄膜厚度的测量方法及装置 |
CN103676244B (zh) * | 2013-12-20 | 2016-06-01 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 一种检测隔垫物的方法、系统及装置 |
JP6404172B2 (ja) * | 2015-04-08 | 2018-10-10 | 株式会社荏原製作所 | 膜厚測定方法、膜厚測定装置、研磨方法、および研磨装置 |
DE102015118069B4 (de) * | 2015-10-22 | 2017-08-31 | Precitec Optronik Gmbh | Messvorrichtung und Verfahren zur Messung der Dicke einer flächigen Probe |
CN107462177B (zh) * | 2017-09-25 | 2019-11-05 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种液晶盒厚度测量装置及测量方法 |
JPWO2019124104A1 (ja) * | 2017-12-20 | 2020-12-17 | ソニー株式会社 | 物体形状計測装置、および方法、並びにプログラム |
KR101937747B1 (ko) * | 2018-04-25 | 2019-01-11 | (주)디이엔티 | 플렉서블 디스플레이 패널 검사용 지그 및 이를 이용한 검사장치 |
CN117270246B (zh) * | 2023-10-07 | 2024-03-26 | 广东志慧芯屏科技有限公司 | 一种lcos全自动封装系统 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2898298B2 (ja) * | 1989-03-24 | 1999-05-31 | シチズン時計株式会社 | 液晶層厚測定装置およびこの液晶層厚測定装置を用いた液晶層厚の測定方法 |
JP2635803B2 (ja) * | 1990-07-23 | 1997-07-30 | 株式会社東芝 | 液晶セルおよび液晶の物性値測定方法とそれを用いた測定装置 |
US5499127A (en) * | 1992-05-25 | 1996-03-12 | Sharp Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display device having a larger gap between the substrates in the display area than in the sealant area |
US5434671A (en) * | 1992-12-25 | 1995-07-18 | Nec Corporation | Birefringent member cell gap measurement method and instrument |
US5450205A (en) * | 1993-05-28 | 1995-09-12 | Massachusetts Institute Of Technology | Apparatus and method for real-time measurement of thin film layer thickness and changes thereof |
JP3420801B2 (ja) * | 1993-08-24 | 2003-06-30 | 日本分光株式会社 | 薄膜評価方法および評価装置 |
KR970002984B1 (ko) * | 1993-12-20 | 1997-03-13 | 엘지전자 주식회사 | 액정표시소자의 셀갭 보정방법 및 장치 |
JPH10223715A (ja) * | 1997-02-06 | 1998-08-21 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 多層エピタキシャルウェーハのエピ膜厚の測定方法 |
JPH11118432A (ja) * | 1997-10-16 | 1999-04-30 | Jeol Ltd | Ft−irを用いた膜厚測定装置 |
JPH11344312A (ja) * | 1998-06-01 | 1999-12-14 | Jasco Corp | 液晶セルギャップ測定方法及びその装置 |
TW477897B (en) * | 1999-05-07 | 2002-03-01 | Sharp Kk | Liquid crystal display device, method and device to measure cell thickness of liquid crystal display device, and phase difference plate using the method thereof |
TW418316B (en) * | 2000-04-12 | 2001-01-11 | Unipac Optoelectronics Corp | Method of measuring thickness for the gap of the reflective type liquid crystal display cell |
-
2000
- 2000-09-01 JP JP2000265600A patent/JP2002071319A/ja not_active Withdrawn
-
2001
- 2001-08-13 TW TW090119800A patent/TW593975B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-08-30 US US09/945,341 patent/US6618156B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-08-31 KR KR10-2001-0053246A patent/KR100408961B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2001-08-31 CN CNB011325119A patent/CN1285880C/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002071319A (ja) | 2002-03-08 |
CN1340690A (zh) | 2002-03-20 |
US20020044283A1 (en) | 2002-04-18 |
KR100408961B1 (ko) | 2003-12-06 |
KR20020018592A (ko) | 2002-03-08 |
TW593975B (en) | 2004-06-21 |
US6618156B2 (en) | 2003-09-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN1285880C (zh) | 液晶盒厚度检测方法、液晶盒厚度控制系统及液晶装置制造方法 | |
US9291766B2 (en) | Color deviation balance thin film, side-type backlight module and liquid crystal display device | |
CN107407836B (zh) | 背光单元及图像显示装置 | |
CN102177410B (zh) | 背光视觉机器 | |
CN1342913A (zh) | 液晶盒间隙调整装置、加压封装装置及液晶显示装置的制造方法 | |
KR101879875B1 (ko) | 편광판의 제조 방법 | |
KR101899156B1 (ko) | 편광판의 제조 방법 | |
CN109407407B (zh) | 显示装置 | |
CN1351266A (zh) | 导光板及其制造方法、面发光装置及液晶显示装置 | |
WO2021017587A1 (zh) | 调光膜片、背光模块及显示设备 | |
CN101042491A (zh) | 液晶显示器和其中使用的防眩偏振膜层压材料 | |
KR100866828B1 (ko) | 도광판 제조 방법 및 제조 장치 | |
CN108227291A (zh) | 一种彩色滤光片、其制作方法、显示面板及显示装置 | |
Wang et al. | Study on the optical performance of light guide plate with pyramid-shaped microstructures | |
KR0153101B1 (ko) | 고분자 분산형 액정표시장치 및 그 제조방법 | |
CN206020884U (zh) | 反射膜、含该反射膜的背光模组及显示装置 | |
US8189985B2 (en) | Light guide plate template and manufacturing method thereof | |
JP4387931B2 (ja) | ポリマーネットワーク型液晶表示装置、及び、その製造方法 | |
CN206818900U (zh) | 一种高透过率高雾度光学扩散膜 | |
CN110797330A (zh) | 大角度出光光源、面光源模组及出光光源的制备方法 | |
CN108008579A (zh) | 液晶显示面板的光配向方法 | |
JP2021189008A (ja) | フィルム検査システム、塗工装置、及びフィルムの製造方法 | |
CN104884979B (zh) | 用于控制光学膜中的色斑的方法 | |
US20090091937A1 (en) | Light control device having irregular prism surface | |
KR101059034B1 (ko) | 디스플레이장치용 백라이트 유닛 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C17 | Cessation of patent right | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20061122 Termination date: 20120831 |