CN1283924C - 流体泵系统 - Google Patents

Abstract

一种流体泵系统具有一盖子，一流体泵和一管道。该盖子的内部被分成一主腔室和一副腔室。该流体泵容纳在该主腔室中。该管道通过该副腔室从该流体泵延伸到该盖子的外面。

Description

流体泵系统

技术领域

本发明设计一种流体泵系统，该流体泵系统在其盖子中容纳一流体泵，并且该流体泵系统将一管道从该流体泵引导到该盖子的外面。

背景技术

例如在半导体制造工艺中，真空泵将用在一半导体加工装置中的工艺气体和类似物排放。该工艺气体例如砷化氢和硅烷系列的气体，最好不被释放到大气中。那么，通过使该真空泵容纳在一盖子中而防止从该真空泵中泄漏的工艺气体被释放到大气中。

当该真空泵容纳在上述的盖子中时，一连接到该真空泵的管道从该盖子的内部引到该盖子的外面。因此，该管道和该盖子的间隙可以是一通道，通过该通道在该盖子中的工艺气体泄漏到该盖子的外面。在现有技术中，在盖子与管道之间的间隙处设置一密封元件以用于关闭盖子的内部与外部通过该间隙的连通。例如在未进行实审的日本专利出版物No 2002-130170中的第5页和图7中公开了上述的结构。

一不需要的特征在于在该未进行实审的日本专利出版物No2002-130170中披露的该结构直接将该管道从盖子的内部带到盖子的外面，以便上述的单个的密封元件用于关闭在该盖子的内部和外部之间通过在盖子和管道间的间隙进行的连通，该盖子的内部是一允许容纳该真空泵的空间。因此当该密封元件降解，在盖子中的工艺气体可能通过盖子与管道之间的间隙泄漏到该盖子的外面。因此，需要一种有效防止流体泄漏到该盖子的外面的流体泵系统。

发明内容

根据本发明，一流体泵系统具有一盖子，一流体泵，一管道和一收集装置。该盖子的内部分成一主腔室和一副腔室。该流体泵容纳在该主腔室中。该管道通过该副腔室从该流体泵延伸到该盖子的外面。该收集装置设置用于收集从该流体泵和/或者该管道泄漏到该盖子中的主腔室和副腔室中的流体。该主腔室和副腔室由该盖子中的间隔壁限定。该间隔壁形成了通孔和除了该通孔外的流通孔，该管道延伸通过所述通孔，该连通孔将所述副腔室和主腔室连通。该收集装置通过所述连通孔和主腔室在该副腔室中收集所述流体。

本发明的其它特征和优势将根据下面的说明书，借助示范表示本发明原理的附图，而变得清楚。

附图说明

本发明的特征相信是新颖的，这些特征特别在所附的权利要求书中提出。本发明与其目标与优势可以通过下面的对目前的优选实施例及附图进行的说明被很好的理解，附图包括：

图1是根据本发明的一优选实施例的一流体泵系统的纵向横截面视图；

图2是该流体泵系统在一种除去了一真空泵，一排放管，一连接件和一柔性软管的状态下的根据本发明的优选实施例的副盖子的放大分解透视图；

图3是沿图1的I-I线截取的局部放大横截面视图；

图4是根据本发明的一可替换实施例的一流体泵系统的纵向横截面视图；和

图5是根据本发明的另一个可替换的实施例的流体泵系统的纵向横截面视图。

具体实施方式

本发明的优选实施例现在将参照附图1-3描述。在优选实施例中本发明用于一种用来在一半导体的加工工艺中排放在工艺腔室中的流体的流体泵系统。左侧和右侧分别对应图1-3中的流体泵系统的前侧面和后侧面。

现在参照图1，示出了根据本发明的优选实施例所述的流体泵系统的纵向横截面视图。在一盖子20中容纳该流体泵系统的真空泵或者流体泵11。一多级罗茨泵用作该真空泵11。该真空泵11在该半导体生产工艺中抽出该工艺气体。该工艺气体例如包括诸如砷化氢(AsH3)的有毒气体，和诸如硅烷系列气体(甲硅烷(SiH4))和乙硅烷(Si2H6))的可燃气体。

真空泵11与一加工腔室相连或者通过一抽吸管12与一目标抽吸空间(未示出)相连，该抽吸管12从该真空泵11的上端部表面延伸。再者，该真空泵11连接到一从该真空泵11的前端部表面延伸的排放管或者一第一管道元件13，并且该真空泵还通过一柔性软管或者第二管道元件15连接到一盖子20外面的排放气体处理设备52，该柔性软管或者第二管道元件15通过一连接件14连接到该排放管13。真空泵11从该目标抽吸空间通过该抽吸管12抽出工艺气体并且通过该排放管13和柔性软管15排放到排放气体处理设备52中。

该排放管13和柔性软管15用作一管道，该管道用于引导该真空泵11的排放气体到该排放气体处理设备52中。现在参照图3，该图示出了沿图1的线I-I截取的局部放大的截面视图。该排放管13和柔性软管15彼此固定连接以便该环形连接件14分别连接该排放软管13和柔性软管15的凸缘13a，15a，凸缘13a，15a在该排放软管13和柔性软管15的相应的连接部分处形成。该连接件14包括两个连接元件14a，14b。每个连接元件14a，14b安装成通过从相应的凸缘13a，15a的外面径向接近来夹持相应的排放管13和柔性软管15。然后该连接元件14a，14b通过翼形螺钉17彼此紧固。通过环元件17和一环形密封件18该凸缘13a，15a彼此接触，该环形密封件18围绕该环元件17的外缘安装。

现在参照图1和2，图2示出了该流体泵系统在一种除去了一真空泵11，一排放管13，一连接件14和一柔性软管15的状态下的根据本发明的优选实施例的副盖子23的放大分解透视图。该盖子20包括一盖子主体21和副盖子23。盖子主体21安装有真空泵11。副盖子23通过螺栓22和密封圈26固定地连接到盖子主体21的前端壁的外部表面21a上。

该盖子主体21的上端部壁21b形成一孔21c以用于插入该真空泵11的抽吸管12。该抽吸管12远端侧面通过孔21c从盖子20外部突出。一凸缘12a从该抽吸管12径向延伸并且通过一螺丝24固定地连接到盖子主体21上以便密封在孔21c和抽吸管12之间的间隙。顺便地，在盖子主体21的上端部壁21b和凸缘12a之间插入一密封元件(未示出)并且该密封元件关闭了在盖子20的内部和外部之间的通过孔21c和抽吸管12间的间隙进行的连通。

盖子主体21的上端部壁21b形成一靠近该孔21c的用于连接抽吸装置50或流体抽吸设备的抽吸21d。该流体抽吸设备50是另一种流体泵而不是真空泵11。该流体抽吸设备50通过该抽吸口21d抽吸在盖子主体21的内部空间25中的气体。由该流体抽吸设备50所抽吸的气体被送到另一个排放气体处理设备51而不是上述的排放气体处理设备52。

如图1-3所示，该副盖子23限定了在盖子主体21外面的一内部空间27。换句话说，副盖子23的内部空间27没有进入设置真空泵11的盖子主体21的内部空间25。

副盖子23的内部空间27由一第一间隔壁30分开，该第一间隔壁30固定地连接到副盖子23上，并且该内部空间27限定一第一空间27a和第二内部空间27b。第一间隔壁30包括一前部间隔壁31，一右侧间隔壁32和左侧间隔壁33。前部间隔壁31包括分别朝前和朝后的壁表面。右侧间隔壁32从该前部间隔壁31的右端向后延伸。左侧间隔壁33从该前部间隔壁31的左端延伸。一由间隔壁31-33在内部空间27中所围绕出的空间是第一内部空间27a，而除了副盖子的第一内部空间27a以外的空间是第二内部空间27b。

前部间隔壁31形成一通孔34，通过该通孔34延伸出该柔性软管15。该通孔34比柔性软管15的直径较大以便插入该柔性软管15。部分地构成该盖子20的外部壁的副盖子23的前端部壁35形成一在相对该通孔34的前部侧面上的孔36，软管15从该孔36伸出。该孔36比柔性软管15的直径略大以便插入柔性软管15，通孔34也一样。

顺便地，在副盖子23的孔36和柔性软管15之间的间隙用作一引导通道，该引导通道根据该流体抽吸设备50的抽吸作用将外部空气(大气)引入到盖子20(严格地讲，副盖子23的第二内部空间27b)中。然后该引导通道和流体抽吸设备50用作一收集装置，该收集装置用来收集从排放管13和柔性软管15间的连接部分和从真空泵11泄漏在该盖子20中的工艺气体。

该盖子主体21的内部空间25与该副盖子23的第一内部空间27a通过一通道21e连通，该通道21e形成在该盖子主体21中。排放管13从真空泵11通过盖子主体的通道21e伸入到副盖子23的第一内部空间27a中。在第一内部空间27a中设置了连接该柔性软管15的排放管13的远端。

柔性软管15通过副盖子23的前端部壁35的孔36和通孔34延伸到该第一内部空间27a中，即通过副盖子23的第二内部空间27b从盖子20的外部延伸到第一内部空间27a中。换句话说，与具有排放管13的连接部分相对的柔性软管15的端部通过该通孔34，第二内部空间27b和孔36被从第一内部空间27a带到该盖子20的外部。在排放管13和柔性软管15间的连接部分设置在副盖子23的第一内部空间27a中通孔24附近。

在优选实施例中，盖子主体21的内部空间25和副盖子23的第一内部空间27a构成了一主腔室70，用于容纳真空泵11和盖子20中的排放管13，在副盖子23中该第一内部空间27a与内部空间25通过通道21e连通。即用于容纳真空泵11的盖子主体21的内部空间25主要构成主腔室70，而副盖子23的第二内部空间27b与该主腔室70分开并且构成一副腔室71，该副腔室通过该通孔34与该主腔室70连通。

右侧第二间隔壁21f是该盖子主体21的前端部壁的一部分并且面向在与该右侧间隔壁32相对的右侧上的副盖子23的第二内部空间27b。右侧第二间隔壁21f将第二内部空间27b与盖子主体21的内部空间25分开。类似地，左侧第二间隔壁21g是该盖子主体21的前端部壁的一部分并且面向在与该左侧间隔壁33相对的左侧上的副盖子23的第二内部空间27b。左侧第二间隔壁21g将第二内部空间27b与盖子主体21的内部空间25分开。在与副盖子23的第二内部空间27b和盖子主体21的内部空间25相连接的第二间隔壁21f，21g中分别形成一些连通孔37。每个连通孔37形成长形形状并且沿竖直方向延伸。顺便地，间隔壁21f，21g和30构成一间隔壁，用于限定主腔室70和副腔室71。

上壁38部分地形成副盖子23的外部壁。上壁38包括一内部壁表面或者引导壁表面39，该表面39从靠近孔36的前端部壁35朝向靠近相应的连通孔37的第二间隔壁21f，21g延伸。

副盖子23的右侧和左侧间隔壁32，33的后端部40，41(折流板)通过盖子主体21的通道21e分别突出进入到该内部空间25中。即间隔壁32，33部分地插入到通道21e中。相应的间隔壁32，33的后端部40，41分别设置在主腔室70侧面上的通孔34的开口和主腔室70侧面上的连通孔37的开口之间并且还突出进入主腔室70中。顺便地，在通道21e中，在相对的间隔壁32，33之间的空间是一连通通道42，该连通通道42将该副盖子23的第一内部空间27a和盖子主体21的内部空间25连接。

在优选实施例中，副盖子23包括上下部件，每个上下部件包括通孔34的一半和孔36的一半。上下部件彼此连接。换句话说，副盖子23形成使得两个连接的副盖子部件23a，23b环绕排放管13和柔性软管15。

现在将进行上述的流体泵系统的操作的描述。

当操作流体抽吸设备50时，该设备50通过抽吸口21d抽吸在盖子主体21的内部空间25中气体。根据该抽吸作用，在该盖子20中从副盖子23的孔36与柔性软管15间的间隙产生通过副腔室71，连通孔37和主腔室70的朝向该抽吸口21d的外部空气流。

万一工艺气体从排放管13和柔性软管15间的连接部分和从真空泵11中向盖子20中的空间泄漏，通过上述的气流传送该泄漏的工艺气体并且还通过该流体抽吸设备50收集泄漏的工艺气体。然后将泄漏的工艺气体送到排放气体处理设备51。例如，如果该泄漏的工艺气体通过通孔34从主腔室70泄漏到副腔室71，流体抽吸设备50通过外部空气流收集工艺气体以便有效地避免工艺气体从副腔室71向盖子20的外部泄漏。

通过在副盖子23的孔36和柔性软管15之间的间隙从盖子20的外部向副腔室71引入的外部空气被副盖子23的上壁38的内部壁表面39引导到连通孔37，并且将该外部空气引入到主腔室70中。顺便地，第一间隔壁30的后端部40，41例如使得从副腔室71向主腔室70通过该连通孔37引导的气体不会朝向通孔34流动，即不会朝向第一内部空间27a流动。所引导的气体至少部分地包括大气。

从该优选实施例获得了下面的优势。

(1)盖子20的内部被分成用于容纳该真空泵11的主腔室70和副腔室71。柔性软管从副腔室71带到盖子20的外面。即，副腔室71设置在一路径中，通过该路径工艺气体从主腔室70向盖子20的外部泄漏。因此，流体泵系统的结构使用多个密封结构。因此即使在主腔室70中的工艺气体通过在柔性软管15和盖子20(严格地说，通孔34)间的间隙泄漏，该泄漏的工艺气体也仅仅被传送到副腔室71，该副腔室71与主腔室一样限定在盖子20中。即，从主腔室70泄漏的工艺气体没有直接导致工艺气体向盖子20的外部泄漏。因此，与在未进行实审的日本专利出版物No.2002-130170中披露的单一密封结构相比，多个密封结构有效地防止工艺气体泄漏到盖子20的外部。

(2)盖子20包括盖子主体21和副盖子23。盖子主体21容纳该真空泵11。副盖子23固定连接到盖子主体21的外表面21a上并且限定在内部空间27中的副腔室71。即盖子20在副腔室71附近被分开，通过该盖子20插入管道(排放管13和柔性软管15)。因此要是副盖子23与盖子主体21分离，管道系统就简单了。

(3)在排放管13和柔性软管15间的连接部分设置在副盖子23的内部空间27中。因此当副盖子23与盖子主体21分开，在排放管13和柔性软管15间的连接部分暴露在盖子主体外面，使得排放管13和柔性软管15易于彼此连接并且易于彼此分开。

(4)副盖子23形成为使得两个连接的副盖子部件23a，23b围绕管道(排放管13和柔性软管15)。因此柔性软管15不必从作为柔性软管15的连接端的端部插入到排放管13中，并且也不必从与该柔性软管15的连接端相对的端部插入到副盖子23中，然后在完成该管道系统之后，副盖子23可以容易地安装到盖子主体21上从而改善该流体泵系统的组装。即，例如当副盖子23不包括多个副盖子部件时，柔性软管15必须从上述的端部插入以至于该装配是非常复杂的。

(5)该收集装置(在孔36和柔性软管15间的间隙，和流体抽吸设备50)设置在盖子20中以便收集从排放管13和柔性软管15间的连接部分和从真空泵11泄漏的工艺气体。因此，大量的工艺气体没有留在主腔室70和副腔室71中以便流体泵系统有效防止工艺气体泄漏到该盖子20的外面。

(6)限定了盖子20中的主腔室70和副腔室71的间隔壁(第一和第二间隔壁30，21f，21g)分别形成通孔34和连通孔37。该通孔34插入柔性软管15。连通孔37连接副腔室71和主腔室70以及通孔34，然后该收集装置通过主腔室70从连通孔37在副腔室71中收集气体。因此主腔室70用作一路径，该路径用于在副腔室71中收集气体以便与提供一唯一的收集路径相比这个结构简单。另外，副腔室71与主腔室70通过连通孔37连通，该连通孔37与通孔34分开地形成。因此，在副腔室71中的气体有效地无干扰地被收集，该干扰是，从主腔室70向副腔室71通过通孔34泄漏的气体。

(7)折流板(后端部40，41)设置用于第一间隔壁30并且设置在通孔34的开口和相应的连通孔37的开口之间以便阻止气体传送到这些开口之间。因此例如从副腔室71向主腔室70通过连通孔37传送的气体被防止恶性螺旋性上升，即防止流回到通孔34中并且防止再泄漏到副腔室71中。因此该收集装置有效地收集了该工艺气体。

(8)引导壁表面(内部壁表面39)设置在副腔室71中以便气体流从副腔室71通过连通孔37引导到主腔室70中。因此，气体平稳地通过连通孔37从副腔室71传送到主腔室70中，以便该收集装置有效地收集该工艺气体。

(9)真空泵11处理气体(气态体)。收集装置包括抽吸在主腔室70中即在副腔室71中的气体的流体抽吸设备50，和用于将外部空气引入盖子20中的引入通道(在孔36和柔性软管15间的间隙)。然后该引入通道设置在盖子20(严格地说，孔36)和柔性软管15间的上述间隙处。因此，在主腔室70和副腔室71中的气体被外部空气流从间隙朝向流体抽吸设备50收集。因此，盖子20和柔性软管15间的间隙用作引入通道从而在该间隙中产生从盖子20的外部朝向盖子20的内部的外部空气流。因此在间隙处不用任何密封元件，可以有效地防止气体从盖子20的内部向盖子20的外部泄漏。

(10)该真空泵11用于半导体制造工艺。在该半导体制造工艺中使用真空泵11处理气体，避免了该气体泄漏到大气中，例如可燃的气体和有毒气体。即，优选实施例的流体泵系统特别有效地用于确保盖子20外部空间的安全。

(11)在排放管13和柔性软管15间的连接部分设置在主腔室70中。连接部分内部受到了气体压力，该气体压力接近真空泵11的排放压力从而连接部分相对地倾向于成为工艺气体泄漏的部分。因此与在副腔室71或者盖子20外部设置的连接部分相比，该连接部分有效地防止工艺气体从盖子20的内部向盖子20的外部泄漏。

(12)流体抽吸设备50单独地由真空泵11形成。因此真空泵11不必抽吸在盖子20中的气体，这与还用作流体抽吸设备50的真空泵不同，即真空泵起到抽吸盖子20中的气体作用。因此防止了真空泵11降低从加工腔室抽成真空的效率。

本发明并不限定上述的实施例而是可以修改为下面的可替换实施例。

在一可替换优选实施例的实施例中，连通孔37分别与第二间隔壁21f，21g中的副盖子23的内壁表面39间隔一距离设置。

在可替换那些优选实施例的实施例中，内部壁表面39不必形成为可以引导气流。换句话说，内部壁表面39不必从与副盖子23的孔36相邻的部分延伸到与连通孔37相邻的部分。例如该内部壁表面39形成一相对于该相应的第二间隔壁21f，21g的壁表面没有倾斜的竖直表面。

在可替换那些优选实施例的实施例中，在第二间隔壁21f，21g中省去连通孔37。再有，可以在第一间隔壁30中设置连通孔以便将副腔室71中的气体引入到主腔室70中。

在可替换那些优选实施例的实施例中，副盖子23不局限于包括多个副盖子部件。换句话说，可以构造该副盖子23仅包括一单一的部件，即不可分开的结构。

在可替换那些优选实施例的实施例中，排放管13和柔性软管15间的连接部分设置在盖子主体21的内部空间25中。

在可替换那些优选实施例的实施例中，一独一的收集路径设置用于将副腔室71中的气体引入到流体抽吸设备50中，而该气体不必通过该主腔室70。在这个状态下，该结构构造成例如如图4所示。即，在副腔室71和流体抽吸设备50间设置一收集路径60，以便连接副腔室71和流体抽吸设备50而不必经过主腔室70。因此，在第二间隔壁21f，21g(右侧第二间隔壁21f仅仅在图4中示出)中，用于连接副腔室71和盖子主体21的内部空间25的连通孔37被省去。

在可替换那些优选实施例的实施例中，真空泵11还用作抽吸装置。这个状态中，例如示出在图5中的结构。即，在盖子主体21的内部空间25中的真空泵11的抽吸管12的近端部分设置一抽吸部分61以便将内部空间25中的气体抽吸并收集到真空泵11中。在这个结构中，省去了用于将内部空间25中的气体抽吸到真空泵11中的流体抽吸设备50(流体抽吸设备而不是真空泵11)。还省去了在盖子1主体211中的流体抽吸设备50的抽吸孔21d。即不必设置不是真空泵11的另一个独立的流体抽吸设备以便对于空间来说改善了效率，同时降低了成本。

顺便地，在上述的结构中，作为被抽吸的目标流体，真空泵11希望不抽吸诸如硅烷系列气体的可燃气体，以避免目标流体以与大气混合的方式而着火。

在可替换那些优选实施例的实施例中，该收集装置不必在盖子20中设置成将从排放管13和柔性软管15间的连接部分和真空泵泄漏的气体收集到主腔室70和副腔室71中。例如不必设置该流体抽吸设备50，该真空泵11不必用来收集盖子主体21的内部空间中的气体。在这个状态中，希望设置一密封元件来关闭在主腔室70和盖子20外部之间通过孔(副盖子23的孔36和通孔34)和管道(排放管13和柔性软管15)间的间隙进行的连通。再有，用于连接主腔室70和副腔室71的连通孔(例如连通孔37)期望被省去以便防止工艺气体从主腔室70泄漏到副腔室71中。

在可替换那些优选实施例的实施例中，在盖子20中设置多个副腔室71。

在可替换那些优选实施例的实施例中，在排放管13和柔性软管15间的连接部分设置在副腔室71中或者设置在盖子20的外面。即使这样，还是防止了工艺气体泄漏到盖子20的外面。

在可替换那些优选实施例的实施例中，抽吸管12从副腔室71延伸到盖子20的外部。

在上述的优选实施例中，限定盖子主体21外面的内部空间27的副盖子23固定连接到盖子主体21上。在可替换那些优选实施例的实施例中，例如该盖子主体21向前变长以便使内部空间25向前扩展，内部空间25被分成主腔室和副腔室。然后，真空泵11容纳在主腔室中，而管道(排放管13和柔性软管15)从副腔室延伸到盖子主体21的外面。

在可替换那些优选实施例的实施例中，该真空泵11用于一除了半导体加工工艺以外的工艺中。

在可替换那些优选实施例的实施例中，真空泵11是一种除了罗茨类型以外的类型。再有，使用除了真空泵以外的流体泵。

在可替换那些优选实施例的实施例中，流体泵处理液体(液态体)。

在可替换那些优选实施例的实施例中，流体泵系统不局限于设置在大气中而是可以设置在除了大气的流体中。

因此本实施例被示范性地不是限定性地考虑，本发明不局限于本文所给出的细节而是可以在所附权利要求书的范围内被改进。

Claims (15)

1.一种流体泵系统，包括：

一流体泵，容纳在主腔室中；

一盖子，包括容纳该流体泵的盖子主体和固定连接到该盖子主体的外表面的副盖子，该盖子在其内部分成主腔室和副腔室，其中，该盖子主体在内部构成了该主腔室，该副盖子在内部限定了包括该副腔室的内部空间；

一管道，从该流体泵通过副腔室延伸到盖子的外部，和

一收集装置，用于收集从流体泵和/或者管道泄漏到盖子中的主腔室中和副腔室中的气体。

2.根据权利要求1所述的流体泵系统，其中，该盖子主体构成所述主腔室的一部分，该副盖子进一步包括该主腔室的另外部分。

3.根据权利要求2所述的流体泵系统，其中管道包括：

一第一管道部件，从该流体泵延伸；和

一第二管道部件，从盖子的外部延伸以便将第一管道部件在副盖子的内部空间中的连接部分处连接。

4.根据权利要求2所述的流体泵系统，其中副盖子包括多个副盖子部件，这些部件彼此连接以便围绕该管道。

5.根据权利要求1所述的流体泵系统，其中主腔室和副腔室由盖子中的间隔壁限定，该间隔壁形成：

一通孔，管道通过该通孔延伸；和

一连通孔，该连通孔连接副腔室和主腔室以及通孔，通过连通孔和主腔室，该收集装置收集副腔室中的流体。

6.根据权利要求5所述的流体泵系统，其中间隔壁的折流板朝向在通孔的开口和连通孔的开口间的腔室突出以便防止在两开口间传送的流体。

7.根据权利要求6所述的流体泵系统，还包括：

一引导壁表面，设置在副腔室中，用于通过连通孔引导流体从副腔室朝向主腔室流动，

8.根据权利要求7所述的流体泵系统，其中该引导壁表面从相邻的通孔延伸到相邻的连通孔。

9.根据权利要求1所述的流体泵系统，其中流体泵处理气体，该收集装置包括：

一抽吸装置，用于抽吸在盖子中的气体；和

一引导通道，设置在管道和盖子间的间隙处，以便将外部空气引导进盖子中。

10.根据权利要求9所述的流体泵系统，其中流体泵还用作抽吸装置。

11.根据权利要求9所述的流体泵系统，其中抽吸装置与流体泵分开地设置。

12.根据权利要求9所述的流体泵系统，其中抽吸装置直接抽吸主腔室中的气体。

13.根据权利要求9所述的流体泵系统，其中抽吸装置直接抽吸副腔室中的气体。

14.根据权利要求1所述的流体泵系统，其中该流体泵是用于半导体加工工艺的真空泵。

15.根据权利要求14所述的流体泵系统，其中该真空泵为罗茨类型。

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