CN1279384C

CN1279384C - 检测平板显示器的显微镜

Info

Publication number: CN1279384C
Application number: CNB031221289A
Authority: CN
Inventors: 赵载成; 朴根鲁
Original assignee: Display Manufacturing Services Co Ltd
Current assignee: Weihai dianmei Shiguang electromechanical Co Ltd
Priority date: 2002-04-19
Filing date: 2003-04-17
Publication date: 2006-10-11
Anticipated expiration: 2023-04-17
Also published as: CN1451988A; KR100547439B1; TWI250308B; KR20030083130A; TW200305730A

Abstract

本发明提供一种检测一种平板显示器的显微镜。所述的显微镜包括至少一个执行旋转和平移运动的显微镜单元。相应地，可能减少显微镜检测基板的整个表面而不得不移动的距离和检测基板所必需的时间。因为一个透明盖在显微镜单元和基板之间延伸，在显微镜单元的旋转运动中出现的微粒就会聚集在透明盖上。因此，可能防止基板的污染。

Description

检测平板显示器的显微镜

技术领域

本发明涉及一种检测平板显示器的显微镜，更具体地说，涉及一种通过缩短检测时间来减少显示范围和防止在检测过程中显示屏上产生或落在显示屏上灰尘或其它类型的微粒的检测平板显示器的显微镜。

背景技术

一种检测平板显示器的显微镜通常用于制造平板显示器的基板的缺陷的光学检测。通常，用来检测平板显示器的显微镜由一个载物架/卸物架，一个自动控制单元，一个检测单元组成。在基板装载到载物架上之后，自动控制单元容纳基板并将基板移到检测单元处。检测单元通过使用显微镜来检测基板的缺陷。

图1是现有的检测单元的外形和操作原理图。

参照图1，显微镜模块20安装在检测单元的导引线25上。模块20包括一个显微镜单元19和一个支架15。显微镜19包括一个镜筒10和一个连接单元17，连接单元17与支架15相连。支架15是由一个水平杆13与一个竖直杆14成直角相连而形成的。

显微镜模块20然后固定在导引线25上。因此，为了检测基板30的整个表面，沿着x轴或y轴移动基板必需检测缺陷。显微镜的这种操作原理只适用于检测小面积的基板，而不能满足检测大面积基板的要求。

图2显示了由图1中所示的检测单元衍生出的检测单元的外形和操作原理。

参照图2，一对导引线55相互平行地安装在检测单元上。一个显微镜模块50安装在导引线55上。显微镜模块50包括一个显微镜单元49和一个支架45。显微镜单元49包括一个镜筒40和一个连接单元47。支架45包括一个水平杆43和两个竖直杆44，竖直杆44分别与水平杆43的两端相连。

在显微镜模块50中，不需要移动基板60就可以检测到基板60的缺陷。也就是说，显微镜单元49可以沿着x轴在水平杆43上平移，显微镜模块50可以沿着y轴沿导引线55平移。通过沿着x轴或y轴的平移运动，可以容易地检测一个大面积的基板。但是，在平移运动中，可能会产生灰尘或其它类型的微粒，而污染基板60。

而且，因为图1和图2所示的检测单元在执行直线或平移运动中检测基板时，显微镜不得不移动一个较大的距离来检测基板的整个表面，从而增加了检测时间。

发明内容

本发明提供一种检测平板显示器的显微镜，它能减小显微镜为检测基板的整个表面而不得不移动的距离，缩短检测基板必需的时间。

本发明还提供一种检测平板显示器的显微镜，使用它可降低灰尘或其它类型的微粒的产生，或减少由于这些微粒对基板的污染。

根据本发明的一个方面，提供一种检测平板显示器的显微镜，它包括一个显微镜模块，显微镜模块包括一个显微镜单元和一个支架，显微镜单元带有一个镜筒和一个连接单元，显微镜单元通过所述的连接单元安装在支架上，显微镜包括一个为了检测平板显示器的整个表面的平移驱动单元，它驱动显微镜模块执行平移和往复运动；和旋转驱动单元，它驱动显微镜单元执行旋转运动。因为显微镜单元可以执行旋转运动，可以减少为了检测基板的整个表面显微镜不得不移动的距离，缩短检测时间，与现有的显微镜相比，它既可以执行直线运动也可以执行平移运动。

根据本发明的另一个方面，提供一种检测平板显示器的显微镜，它包括至少两个显微镜模块，此处，每一个显微镜模块包括一个显微镜单元和一个支架，每一个带有一个镜筒和一个连接单元的显微镜单元通过上述的连接单元分别连接到一个支架上，显微镜包括为了快速检测平板显示器的整个表面的一个现有的驱动单元，它驱动显微镜模块执行平移和往复运动；和一个旋转驱动单元，它驱动显微镜单元执行旋转运动。一个用于防止微粒降落的透明盖安装在显微镜单元和基板之间。聚集在透明盖上的微粒通过一个排出孔排出显微镜外，因此可能防止基板的污染。

根据本发明，可能减小显微镜为检测基板的整个表面而不得不移动的距离和检测基板所必需的时间。因此，可以降低平板电感器的生产成本。另外，通过减少检测平板显示器时显微镜的运动可能防止灰尘或其它类型的微粒的产生。虽然可能会产生微粒，但也可能防止微粒落在基板上。

附图说明

下面将结合附图和实施例对本发明的以上和其它特征和优点进行详细描述。

图1和图2是包含在现有的检测平板显示器的显微镜中的检测单元示意图；

图3是根据本发明的第一个实施例的检测平板显示器的显微镜的俯视图；

图4是包含在检测图3所示的平板显示器的显微镜内的检测单元的俯视图；

图5是包含在检测图3所示的平板显示器的显微镜内的检测单元的侧视图；

图6是根据本发明的第二个实施例的包含在检测平板显示器的显微镜内的一个检测的单元的俯视图；

图7是根据本发明的第二个实施例的包含在检测平板显示器的显微镜内的一个检测的单元的侧视图；

图8是根据本发明的第三个实施例的包含在检测平板显示器的显微镜内的一个检测的单元的俯视图；

图9是根据本发明的第三个实施例的包含在检测平板显示器的显微镜内的一个检测的单元的侧视图；

图10是图9所示的H部分的放大图。

附图主要元件的附图标记说明：

140，240，340 镜筒

145，245，345 支架

147，247，347 连接单元

149，249，349 显微镜单元

150，250，350 显微镜模块

155，255，355 导引线

400 透明盖

405 感应孔

410 排出线

具体实施方式

下面将参考附图对本发明进行详细描述，附图中显示了本发明的优选实施例。但是，本发明可以通过不同的方式来体现，而并不局限于在此提出的实施例。本发明愿意所提供的这些实施例的公开对本领域内的人员是彻底和完全。在附图中，元件的形状为了清楚起见放大了。为了理解方便，附图中相同的附图标记指代相同的元件。

在这个申请中，显微镜单元包括一个镜筒和一个连接单元，连接单元将上述的镜筒连接到一个支架上。一个显微镜模块包括上述的显微镜单元和上述的支架。镜筒包括一个带有至少一个物镜和其它元件的物镜。

第一个实施例：

图3到5是根据本发明的第一个实施例的检测平板显示器的显微镜的示意图。图3是检测平板显示器的显微镜的俯视图。图4是图3所示的检测单元103的俯视图。图5是图3所示的检测单元103的侧视图。本实施例涉及到的一个事实是只使用一个显微镜检测单元。

如图3所示，检测平板显示器的显微镜100包括一个载物架/卸物架101，一个自动控制单元102，一个检测单元103。在将基板加载在载物架/卸物架上之后，自动控制单元102接收基板并且将基板向检测单元103移动。检测单元103检测基板的缺陷。导引线155安装在检测单元103内，显微镜模块150安装在导引线155上。显微镜模块150包括一个显微镜单元149和一个支架145。显微镜单元149包括一个镜筒40和一个连接单元147，它可以与支架145相连/分离/分开。

在下文中，将结合图4对检测单元103的外形和操作原理进行描述。显微镜模块150沿着导引线155执行直线运动A，而基板160不移动。显微镜单元149执行旋转运动B而移动到一个所需的位置。当显微镜单元149旋转时，通过使用一个计算机软件可以不断显示一个预定图像。直线运动A和旋转运动B使基板160的整个表面得以检测。附图标记C指示通过显微镜单元149的旋转运动B而检测到的区域。

参照图5的显微镜模块150，竖直杆144a的一端与导引线155垂直相连，竖直杆144a的另一端与水平杆143a的一端相连。镜筒140通过连接单元147与水平杆143a的一端相连。连接单元147包括一个竖直杆144b和一个水平杆143b，竖直杆144b比竖直杆144a短并且与水平杆143a的另一端相连，水平杆143b与竖直杆144b的一端相连。水平杆143b可以水平延伸或缩短，从而检测基板160的整个表面。

基板160放置于镜台170上。通过使用显微镜模块150，当基板160不移动时也可以检测基板160的缺陷。也就是说，如图4所示，通过执行显微镜模块150的直线运动A和显微镜单元149的旋转运动B，可以不必移动基板160而可检测基板160的整个表面。基板160应包括在显微镜单元149的最大旋转区域C内。因此，支架145和连接单元147的相连的连接部，即，竖直杆144b应放置于基板160的中心处。另外，当水平杆143b到达它的最大位置处时，镜筒140应该能够围绕着基板160的轮廓线旋转。

第二实施例：

图6和图7是根据本发明的第二个实施例的检测平板显示器的显微镜的示意图。图6是包括在根据本发明的第二个实施例的检测平板显示器的显微镜内的一个检测单元的俯视图，并且图7是检测单元203的侧视图。本实施例涉及的一个事实是显微镜单元的数量是2个。

根据本发明的第二个实施例的检测平板显示器的显微镜的外形与图3所示的相似。也就是说，检测平板显示器的显微镜包括一个载物架/卸物架，一个自动控制单元，和一个检测单元。在这个实施例中，检测单元包括两个显微镜单元。在下文中，将会集中在根据本发明的第二个实施例的显微镜与本发明的第一个实施例的不同之处来描述。

如图6所示，一对导引线255彼此平行地安装在检测单元203内。两个显微镜模块250面对面地安装在上述的一对导引线255上。

与本发明的第一个实施例中的显微镜模块类似，显微镜模块250包括一个显微镜单元249和一个支架245。显微镜单元249包括一个镜筒240和一个连接单元247，连接单元247能够与支架245相连/分离/分开。如在本发明的第一个实施例中描述，当基板260不移动，显微镜模块250沿着导引线255执行直线运动D，而显微镜单元249进行旋转运动E。因此，显微镜单元249移向一个所需的位置。当显微镜单元249旋转时，通过一个计算机软件可以持续显示一个预定的图像。

附图标记F指示通过显微镜单元249的旋转运动E而检测到区域。基板260的一定的区域包括在区域F内，并且产生了一个位于显微镜单元249之间的一个重叠区域G。如上所说明的，直线和旋转运动允许检测所要检测的基板260的整个表面。

参照图7中的显微镜模块250，支架245是由一个水平杆243a与一个竖直杆244a以直角垂直相连而形成的。竖直杆244a的一端与导引线255相连，竖直杆244a的另一端与水平杆243a的一端相连。一个镜筒240通过一个连接单元247与水平杆243a的另一端相连。连接单元247包括一个竖直杆244b，竖直杆244b比竖直杆244a短并且与水平杆243a的另一端相连。显微镜模块250彼此面对面安装。

基板260放置于成对的导引线255之间的镜台270上。每一个显微镜模块250执行直线运动D，每一个显微镜单元249执行旋转运动E。为了在不移动基板260的情况下检测基板260的表面，需要一个位于显微镜单元249之间的重叠区域F。因此，基板260的一定的区域应包括在显微镜单元249的区域F内。支架245与连接单元247相连的连接区，即，竖直杆244b可以位于基板260的轮廓的外侧。

根据本发明的第一个和第二个实施例，通过显微镜单元的直线和旋转运动可以在较短的时间内平板显示器的基板的整个表面。因此，可以减小显微镜为检测基板的整个表面而不得不移动的距离，缩短检测基板必需的时间。

第三实施例：

图8到图10是根据本发明的第三个实施例的检测平板显示器的显微镜的示意图。图8是包含在检测平板显示器的显微镜内的一个检测单元303的俯视图。图9是上述的检测单元303的侧视图。图10是图9所示的部分H的放大图。在这个实施例中，在显微镜单元和基板之间额外地安装有一个透明盖和一个排出设备。

如图8所示，检测单元303与图4所示的检测单元103类似。也就是说，检测单元303内有一个导引线355，导引线355上有一个显微镜模块350。显微镜模块350包括一个显微镜单元349和一个支架345。显微镜单元349包括一个镜筒340和一个连接单元347，连接单元347可以与支架345相连/分开/分离。显微镜模块350执行往复直线运动A，显微镜单元349执行旋转运动B。因此，基板360的整个表面都可以被检测到。附图标记C指代利用显微镜单元349的旋转运动而检测到的区域。显微镜的操作原理与第一个实施例相似，在此不再描述。

透明盖400在显微镜单元349和基板360之间延伸，并且与显微镜单元349一起执行直线运动。因此，在显微镜单元349和支架345连接的连接区内的微粒就聚集在透明盖400上。位于透明盖400上的微粒被吸到支架345的一个感应孔内(未画出)，微粒穿过支架345经过排出线410排到显微镜外。透明盖400有一定的厚度，这样就不会干扰显微镜的焦距。

参照图9的检测单元303，支架345包括一个水平杆343a和一个竖直杆344a。竖直杆344a的一端与导引线355相连。水平杆343a的一端与竖直杆344a的另一端相连。一个镜筒340通过一个连接单元347与水平杆343a的另一端相连。连接单元347包括一个竖直杆344b和一个水平杆343b，竖直杆344b比竖直杆344a短，并且与水平杆343a的一端相连，水平杆343b与竖直杆344b的一端相连。

基板360放置于镜台370上。支架345与连接单元347相连的连接区，即，竖直杆344b，应该位于基板360上方中心。透明盖400用来盖合和保护以下区域：以与显微镜单元349相同的方式进行旋转运动的围绕着显微镜单元349的区域。因为产生在显微镜单元349和支架345相连的连接区内的微粒聚集在透明盖400上，可以防止由于基板360的微粒而产生的缺陷。

图10是图9所示的部分H的放大视图。位于透明盖400上的微粒被吸进支架345的一个感应孔405内，通过排出线410排出显微镜。排出线410渗入到支架345内并通过一个形成于水平杆343a内的孔插入到水平杆343a内。

如上所述，根据本发明，通过设计显微镜单元来执行旋转运动和利用显微镜单元的旋转运动和显微镜模块的平移运动来减少显微镜检测基板的整个表面而不得不移动的距离和检测基板所必需的时间。因此，可以增加显示器的产量，降低平板显示器的生产成本。

另外，当检测平板显示器表面时，通过减少显微镜的运动可以阻止产生灰尘或其它类型的微粒。虽然这些微粒仍可能产生，但因这些微粒聚集在透明盖上也可能防止这些微粒污染基板。因为聚集的微粒通过一个排出线排出到显微镜外，透明盖容易清洗。

虽然通过以上的实施例对本发明进行了详细的描述和说明，可以理解本领域的技术人员在不偏离本发明的精神和范围内各种修改都在本发明所附的权利要求的保护范围内。

Claims

1.一种检测平板显示器的显微镜，包括一个显微镜模块，其特征在于：显微镜模块包括一个显微镜单元和一个支架，带有一个镜筒和一个连接单元的显微镜单元通过所述的连接单元安装在所述的支架上，为了快速检测平板显示器的整个表面，所述显微镜进一步包括：

一个平移驱动单元，所述的平移驱动单元驱动显微镜模块来执行平移和往复运动；和

一个旋转驱动单元，所述的旋转驱动单元驱动显微镜单元执行旋转运动。

2.如权利要求1所述的显微镜，其特征在于：基板的尺寸小于显微镜单元的旋转面积，并且基板放置在显微镜单元的旋转面积内。

3.如权利要求1所述的显微镜，其特征在于：用于防止微粒降落的一个透明盖安装在显微镜单元和基板之间。

4.如权利要求3所述的显微镜，其特征在于：透明盖与显微镜单元一起运动来执行旋转运动。

5.如权利要求3所述的显微镜，其特征在于：支架由一个水平杆和一个竖直杆相互成直角连接而形成并且是形的，连接单元包括与所述的水平杆的另一端相连的另一个竖直杆和与另一个竖直杆的一端相连的另一个水平杆，并且另一个竖直杆和另一个水平杆是形的，镜筒与另一个水平杆成直角相连，水平杆上的一个感应孔与透明盖相连，并且与感应孔相连的排出线形成于水平杆内，所以聚集在透明盖内的微粒被排出到显微镜外。

6.一种检测平板显示器的显微镜，包括至少两个显微镜模块，其特征在于：每一个显微镜模块包括一个显微镜单元和一个支架，带有一个镜筒和一个连接单元的每一个显微镜单元通过所述的连接单元分别安装到一个所述的支架上，为了快速检测平板显示器，所述显微镜进一步包括：

一个平移驱动单元，所述的平移驱动单元驱动显微镜模块进行平移和往复运动；和

一个旋转驱动单元，所述的旋转驱动单元驱动显微镜单元进行旋转运动。

7.如权利要求6所述的显微镜，其特征在于：重叠区域形成于显微镜单元的旋转区域之间，基板的一部分放置于每一个旋转区域内。

8.如权利要求6所述的显微镜，其特征在于：用于防止微粒降落的一个透明盖安装在显微镜单元和基板之间。

9.如权利要求8所述的显微镜，其特征在于：透明盖与显微镜单元一起运动来执行旋转运动。

10.如权利要求8所述的显微镜，其特征在于：支架由一个水平杆和一个竖直杆相互成直角连接而形成并且是形的，连接单元包括与所述的水平杆的另一端相连的另一个竖直杆和与另一个竖直杆的一端相连的另一个水平杆，并且另一个竖直杆和另一个水平杆是形的，镜筒与另一个水平杆成直角相连，水平杆上的一个感应孔与透明盖相连，并且与感应孔相连的排出线形成于水平杆内，所以聚集在透明盖内的微粒被排出到显微镜外。