CN1253038A - 用于装配微型喷射装置的方法及设备 - Google Patents

Abstract

一种装配微型喷射装置的方法和一种用于装配微型喷射装置的设备。一加热器片垫片固定在一真空台上,加热器片垫片上形成有多个加热器片,独立于喷射片生产的薄膜与加热器片垫片对准定位,薄膜与加热器片垫片之间保持一定的间隙,将薄膜固定到加热器片垫片上。这样,可避免薄膜在定位和组装过程中过多地移动,从而可预先防止薄膜受到损坏,并且无需使所述薄膜与每一个加热器片对准定位,从而大大地缩短了装配所需的时间。

Description

用于装配微型喷射装置 的方法及设备

本发明涉及微型喷射装置和喷墨打印头，特别涉及薄膜式微型喷射装置和这些微型喷射装置的组装。

微型喷射装置一般是指一种为打印纸、人体或机动车提供一定量液体(诸如墨水、药液或石油产品)的装置，在该装置中所采用的方法是将一定量的电能或热能施加给上述液体，以使所述液体发生体积变化。这种方法能够将少量液体用于一个特定的物体上。

近年来，电工电子技术的进步已经使这样的微型喷射装置有了很大的发展。因此，微型喷射装置已广泛地用于人们的日常生活中。微型喷射装置用于人们的日常生活中的一个例子是喷墨打印机。

不同于常规的点阵式打印机的采用微型喷射装置的喷墨打印机能够利用墨盒用多种颜色进行打印工作。与常规的点阵式打印机相比，喷墨打印机的另外一个优点是低噪声和打印质量高。因此，喷墨打印机已得到广泛应用。

一个喷墨打印机通常包括一个打印头，所述打印头具有多个直径很小的喷孔。在这样一个喷墨打印头中，通过接入或中断从一个外部装置所施加的电信号使开始处于液态的墨水发生体积变化并膨胀成一个气泡。然后，将已变成气泡的墨水喷出，从而在打印纸上进行打印。

下面几篇美国专利文献披露了现有技术所涉及的几种喷墨打印头的结构和操作。授予Vaught等人的、标题为“热喷墨打印机”的美国专利No.4,490,728披露了一种基本的打印头。授予Adent等人的、标题为“用于一种喷墨打印头的薄膜装置以及用于制造这种薄膜的方法”的美国专利No.4,809,428，以及授予Komuro的、标题为“用于一种喷液记录头的基底制造方法以及由这种方法制造的基底”的美国专利No.5,140,345披露了喷墨打印头的制造方法。授予Johoson等人的、标题为“用于喷墨打印头高温操作的墨水通道几何结构”的美国专利No.5,274,400披露了通过改变供墨通道的尺寸来设置流阻的方法。授予Keefe等人的、标题为“喷墨打印头”的美国专利No.5,420,627披露了一种特定的打印头设计形式。

在这样一种常规的喷墨打印头中，利用由一个加热电阻层所产生的高温热量进行喷墨。这里，如果液体腔室中的墨水长时间暴露在高温下，那么墨水中成分的热变会迅速地降低所述装置的使用寿命。

近年来，为了克服这个问题，人们已经提出了一种方法，这种方法通过在加热电阻层和液体腔室之间插入一个基体状(substrate-shaped)薄膜以及利用液体腔室中的一种工作流体(诸如庚烷)的蒸汽压力使薄膜的体积发生变化。从而使墨水腔室中的墨水平稳地喷出。由于薄膜设置在液体腔室与加热电阻层之间，所以能够避免墨水与加热层之间直接接触。因此，使墨水中的热变最小化。

这种打印头的一个例子见授予Kruger等人的、标题为“具有气泡驱动的柔性薄膜的喷墨打印机”的美国专利No.4,480,259。相关的专利包括授予Ahs的、标题为“薄膜式流体泵”的美国专利No.5,681,152以及授予Moynihan等人的、标题为“简化的喷墨打印头”的美国专利No.5,659,346，其中披露一种带有薄膜的泵和一种喷墨打印头。

通常，利用一种沉积方法(例如，利用化学蒸汽沉积方法)将这样一个薄膜沉积在一个喷射片上，所述喷射片包括一个喷孔板和一个墨水腔室阻挡层。接着，其上沉积有薄膜的所述喷射片整体地与一个加热器片相连，从而形成了一个喷墨打印头，其中所述加热器片包括一个加热电阻层和一个加热腔室阻挡层。这里，其上沉积有薄膜的所述喷射片是独立地与每一个加热器片结合的。

上述用于形成薄膜的方法和喷射片与加热器片的连接方法披露在授予Thiel的、标题为“用于制造一个面射式喷墨打印头的方法”的美国专利No.5,752,303和授予Arashima等人的、标题为“喷墨打印头孔板安装结构”的美国专利No.5,703,632中。

但是，用于制造喷墨打印头的常规方法具有一些问题。如上所述，其上沉积有薄膜的每一个喷射片是独立地与每一个加热器片结合的。这里，由于薄膜和喷射片是一体的，因此薄膜与各个加热器片的每一个连接都相应地是一个独立的步骤。

由于所述薄膜与每一个加热器片是独立连接的，因此完成一个喷墨打印头的组装需要很长时间。这样，整个生产系统无法灵活地应付突如其来的大批量需求。

另外，如上所述，其上沉积有薄膜的一个喷射片与一个加热器片连接在一起以完成一个喷墨打印头。这里，为了将所述喷射片组装到加热器片上的相应位置，必需进行一个用于正确调整所述两个片之间相对位置的校准过程。

但是，插入在喷射片和加热器片之间的薄膜通常是一种非常薄的薄膜。因此，当对其上沉积有薄膜的喷射片进行定位和组装以及所述薄膜随喷射片移动时，这样一个薄膜可能由于与周围其它的辅助装置(例如，输送装置或压紧装置)接触而被损坏。这样，薄膜的性能会大大地降低，从而不能进行正常的喷墨功能。

另外，在装配过程中，在一个不能露出所述薄膜的方向上将薄膜插入到喷射片和加热器片之间。因此，操作者不易识别薄膜上某一个部分被损坏。

如果一个电子设备(诸如喷墨打印机)设有一个打印头，其中所述打印头中的薄膜出现了没有被发现的损坏，那么所述电子设备将不能进行高质量的打印。其结果是，由于上述问题，使整体打印性能被大大地降低。

因此，本发明的一个目的在于提供一种用于装配微型喷射装置的改进方法。

本发明的另一个目的在于提供一种用于装配微型喷射装置的方法，利用该方法能够生产出几乎没有缺陷的产品。

本发明的另一个目的在于提供一种用于装配微型喷射装置的方法，利用该方法可防止其中的薄膜被损坏。

本发明的另一个目的在于提供一种用于装配微型喷射装置的方法，利用该方法可缩短完成所述装置的生产时间。

本发明的另一个目的在于提供一种用于装配微型喷射装置的方法，利用该方法能够使整个生产系统灵活地应付大批量的生产需求。

本发明的另一个目的在于提供一种用于装配微型喷射装置的方法，该方法无需进行薄膜和加热器片之间的对准定位。

本发明的另一个目的在于提供一种用于装配微型喷射装置的方法，利用该方法能够在装配过程中很容易地发现薄膜上的哪一个部分被损坏。

为了达到上述目的和获得其它优点，在本发明中，薄膜不是整体地沉积在喷射片上，而是作为一个独立部件生产。在这种情况下，即使当用于装配微型喷射装置的过程正在进行时，利用附加的步骤也可将薄膜组装到加热器片上，而不是利用移动所述喷射片。这样，可以避免在定位和组装过程中过多的移动，从而防止薄膜被损坏。另外，由于薄膜与喷射片是分开组装的，因此薄膜在装配过程中没有插入到所述喷射片和加热器片之间。这样，可露出所述薄膜，以使操作者可以很容易地识别薄膜上是否损坏，因此能迅速地采取措施对损坏进行补救。

另外，在本发明中，一个薄膜同时与构成了一个垫片部件的多个加热器片粘接，而不是一个接着一个地使薄膜与每一个加热器片分别的粘接。这样，可使薄膜一次与多个加热器片对准。其结果是，无需使一个薄膜分别与每一个加热器片对准，从而，可大大地缩短组装一个微型喷射装置所需的时间。由于大大地缩短了装配所需时间，因此一个生产系统可灵活地应付突如其来的大批量生产需求。

为了达到上述目的，在本发明中，一个加热器片垫片固定在一个真空的工作台上，所述加热器片垫片上形成有多个加热器片。接着，一个以独立部件的形式生产的薄膜与所述加热器片对准，所述薄膜与所述加热器片垫片之间保持一预定的间隔，所述间隔例如在4微米至6微米之间。接着，将所述薄膜固定到所述加热器片垫片上，并且所述加热器片垫片与薄膜相互之间粘接在一起。这样，所述薄膜一次与多个加热器片对准并组装在一起。

为了完成本发明目的，本发明还提供了一个附加的装配装置。所述装配装置包括：一个真空台，所述真空台能够在真空环境下固定加热器片垫片；一个薄膜固定环，所述薄膜固定环用于将薄膜的周边压紧在所述真空台上并将所述薄膜固定到所述加热器片垫片上；一个固定环支架，所述固定环支架用于支承所述薄膜固定环；一个薄膜定位台，所述薄膜定位台用于固定一个薄膜并使薄膜与所述加热器片垫片对准；以及一个加热装置，所述加热装置能够将发出的红外线辐射光照射到所述薄膜和加热器片垫片上，以使所述薄膜和加热器片垫片被加热和粘接在一起。利用上述装配装置可使所述薄膜在一个单独的工艺过程中与多个加热器片安装在一起。

如上所述，在本发明中，在一个装配过程中，设置了与一个喷射片独立的薄膜，并且一次可使多个加热器片与所述薄膜组装在一起。因此，大大地降低了装配微型喷射装置所需的时间。

为了便于人们能够充分地理解本发明以及认识本发明所带来的各种优点，下面将参照附图对本发明进行详细的描述，在附图中，相同或相似的部件用相同的附图标记表示，附图中：

图1是表示根据本发明用于装配微型喷射装置的方法的流程图；

图2是表示根据本发明用于微型喷射装置的装配设备的分解透视图；

图3是图2中所示的微型喷射装置的截面图；

图4是表示按照本发明装配方法的高温高压炉的实施例的视图；

图5是表示按照本发明所装配的微型喷射装置的实施例的视图；以及

图6和图7是表示图5中所述微型喷射装置的操作状态的视图。

现将参照附图通过优选实施例对本发明进行详细的描述。本说明书中所涉及的术语是根据本发明的功能进行限定的。但是可根据技术人员的意愿或惯用的方式改变这些术语。因此，这些术语应该根据本发明的说明书中所有内容来确定。

首先，本发明所述的用于组装微型喷射装置的设备结构如下。如图2和图3中所示，在本发明另一方面的一个装配设备200中，一个真空台201通过一个真空气孔205固定一个加热器片垫片(heater chip wafer)100，所述加热器片垫片100上设有多个加热器片(heater chip)101。这里，每一个真空气孔205都与一个真空泵208相连以保持极大的吸力。

一个薄膜固定环202安装在所述真空台201的上方。所述薄膜固定环202用于压紧薄膜20的周边，从而可将薄膜20定位在与所述加热器片垫片100保持一预定间隔的位置处。这里，由所述薄膜固定环202固定的薄膜20具有宽而薄的薄膜层结构，这样，所述薄膜20就可覆盖整个加热器片垫片100。

这里，所述薄膜固定环202被一个固定环支架204支承，所述固定环支架204又以一预定的长度插入到薄膜20的底面，从而使所述薄膜20与加热器片垫片100保持一预定的间隔。

同时，使所述固定环支架204穿过在薄膜定位台203中的孔220，这样使所述固定环支架204固定。接着，所述薄膜定位台203与一个驱动缸(未示出)相连，以使所述薄膜定位台203能够在各个方向上平稳地移动。如果要使薄膜20与所述加热器片垫片100对中，那么可通过操纵所述驱动缸使薄膜定位台203在各个方向上迅速地移动。这样，薄膜定位台203的移动可通过所述固定环支架204传递到所述薄膜20上。因此，可使薄膜20迅速地与加热器片垫片100的相应位置对中。

同时，一个用于发出红外线辐射光的加热装置207位于所述薄膜定位台203的上方。所述加热装置207将红外线辐射光射到薄膜20和加热器片垫片100上，以使薄膜20能与加热器片垫片100牢固地粘附在一起。同时，在所述薄膜20的底面沉积一定厚度的粘结剂21，所述厚度例如为1微米。所述粘结剂21在由所述加热装置207发出的红外线辐射光作用下熔化，以使薄膜20与加热器片垫片100之间的粘附更牢固。

最好，在所述薄膜定位台203中还形成一个通孔206，由所述加热装置207发出的红外线辐射光能够通过所述通孔206射到薄膜20和加热器片垫片100上。因此，由所述加热装置207发出的红外线辐射光可以不受阻碍地迅速射到薄膜20和加热器片垫片100上。

现将对利用上述装配设备将一个薄膜和一个加热器片垫片组装在一起的方法进行详细地描述。如图1中所示，在步骤S1中，一个操作者首先利用一个输送设备(未示出)将所述加热器片垫片100输送到所述装配设备200上，并将所输送的加热器片垫片100固定到所述真空台201上。这里，如上所述，多个加热器片101排列在所述加热器片垫片100上。利用与所述真空气孔205相连的真空泵208使真空台201从加热器片垫片100的底面抽气，从而使加热器片垫片100更牢固地固定在所述真空台201上。

这里，薄膜20被所述薄膜固定环202压紧并被固定环支架204支承。这样，使所述薄膜20被固定并与加热器片垫片100保持一预定的间隙，所述间隙最好在4微米至6微米的范围内。在这种情况下，所述薄膜20具有宽又薄的薄膜层结构，以使所述薄膜20同时与形成在所述加热器片垫片100上的多个加热器片101组装在一起。

在本发明中，在该组装过程中使用的薄膜20和加热器片101内最好还没有形成一些图案，例如墨水通路孔。即，在本发明中，在薄膜20和每一个加热器片101上的墨水通路孔形成之前完成组装过程。

在本发明中，采用在薄膜20和每一个加热器片101上的墨水通路孔形成之前完成组装过程的方法具有如下目的：薄膜20同时组装到多个加热器片101，同时完成在薄膜20和加热器片101上形成一个墨水通路孔的过程。这样，在本发明中，无需在薄膜20和加热器片101上单独形成所述墨水通路孔，从而缩短了整个过程的完成时间和使操作过程更简单。

然后，在步骤S2中，通过操纵所述驱动缸使薄膜定位台203沿着合适的方向移动，从而使薄膜20迅速地与加热器片垫片100的相应位置对中。这里，最好使所述加热器片垫片100和薄膜20进行对准，其中各中心点准确地匹配。这样，在本发明中，由于薄膜20同时安装到多个加热器片101，所以仅需使加热器片垫片100和薄膜20各自的中心点配合即可，这样迅速地完成了对于其它方法来说比较复杂的定位过程。

当完成上述定位过程时，在步骤S3中，所述薄膜定位台203停止移动并使薄膜20定位在加热器片垫片100的相应位置处。这样，薄膜20固定在所述加热器片垫片100的上方不会改变位置并将要整体地组装到加热器片垫片100上。另外，在薄膜20和加热器片垫片100之间加入粘结剂21，所述粘结剂21在下面将要述及的粘接过程中迅速地熔化。这样，薄膜20和加热器片垫片100可被非常牢固地粘接在一起。

当步骤S3完成时，在步骤S4中，进行用于使薄膜20与加热器片垫片100粘接在一起的过程。在第一粘接过程中，所述加热装置207将辐射光照射到置于真空台201上的薄膜20和加热器片垫片100上，从而在步骤S5中迅速地使沉积在薄膜20的底面上的粘结剂21熔化，所述辐射光最好是红外线辐射光。这样，由于加热装置207的加热操作而使薄膜20可牢固地粘接在整个加热器片垫片100上。

这里，利用从加热装置207射出的红外线辐射光对薄膜20和加热器片垫片100进行第一次加热的步骤最好在200℃至280℃范围内的一个温度下和在15秒钟至30秒钟范围内的时间里进行。当完成所述第一个粘接过程时，在步骤S6中，将进行第二个粘接过程。这里，操作者通过输送设备将在所述第一粘接过程中整体组装的薄膜和加热器片垫片组件输送到如图4中所示的高温高压炉300中。

这里，所述炉300所施加的压力在1千克力/平方厘米至15千克力/平方厘米的范围内，所述压力最好在2千克力/平方厘米至10千克力/平方厘米的范围内，炉中的温度在150℃至400℃的范围内，所述温度最好在200℃至350℃的范围内，从而在上述薄膜和加热器片垫片组件的界面处发生预定的化学反应和物理反应。这样，所述薄膜和加热器片垫片组件在所述第二粘接过程中可更牢固地粘接在一起。当完成所述第一粘接过程和第二粘接过程时，在所述薄膜和加热器片垫片组件中曾经是分开的薄膜和加热器片垫片被牢固地粘接在一起，从而获得了一个独立的薄膜和加热器片垫片组件。

概括地说，在本发明中，所述薄膜20作为独立于喷射片(jet chip)的部件进行生产并在不考虑所述喷射片移动的情况下与所述加热器片101相连。这样，可防止因喷射片的移动而引起的薄膜20振动。因此，可预先防止薄膜20因与周围的辅助装置接触而造成的损坏。

另外，薄膜20独立于喷射片与加热器片101相连，这样，因为所述薄膜20没有插入到所述喷射片和加热器片101之间，薄膜20在组装过程中可被充分地暴露出来。这样，操作者可以很容易地发觉薄膜上的任何损坏，并且可迅速地对所发现的损坏采取措施。

另外，在本发明中，所述薄膜20同时与构成了垫片部件的多个加热器片101粘接，而不是一个一个地与每一个加热器片分别粘接。因此，可大大地缩短组装微型喷射装置所需的时间。

如果本发明用于一个实际的制造过程，则由于大大地缩短了完成所述产品的时间，所以可比较容易地进行大批量的生产。同时，在完成将所述加热器片与薄膜的粘接的步骤后，可增加一个在所述加热器片垫片100和薄膜20上形成墨水通路孔的步骤。

因此，在步骤S7中，最好利用从二氧化碳气体激光器(未示出)所发出的激光将构成所述薄膜和加热器片垫片组件的每一个部件(例如，薄膜20和加热器片垫片100)蚀刻成一个特定的形状，从而在所述加热器片垫片100的一个预定部分上形成墨水通路孔。在这种情况下，无需操作者在薄膜20和加热器片垫片100上一个一个地形成墨水通路孔。因此，操作者能够同时在多个加热器片101和整体组装到所述加热器片101上的薄膜20上形成墨水通路孔。这样，大大地缩短了整个过程的完成时间和使操作过程更简单。

接着，利用常用的组装方法将所述薄膜和加热器片垫片组件连接到利用独立的过程所制成的喷射片上，在所述薄膜和加热器片垫片组件中，利用对中和组装的方法将所述薄膜和加热器片垫片整体的连接在一起并形成墨水通路孔。这样，可得到一个如图5中所示的结构完整的微型喷射装置。

在这样一个微型喷射装置中，一个由二氧化硅制成的保护膜2形成在一个由硅制成的基体1上，一个加热电阻层11形成在所述保护层2上，所述加热电阻层11是利用一个外部装置所供给的电能进行加热的。另外，一个电极层3形成在所述加热电阻层11上，所述电极层3能够从一个外部装置将电能提供给所述加热电阻层11。所述电极层2与一个共用电极12相连，由所述电极层3所提供的电能通过加热电阻层11被转换成热能。

这里，一个由加热腔室阻挡层5所限定的加热腔室4形成在所述电极层3上以隔开所述加热阻挡层11，由所述加热电阻层11转换的热能被传送到所述加热腔室4中。所述加热电阻层11和加热腔室阻挡层5形成了多层结构并构成了上述加热器片101。

此时，一种易于产生蒸汽压力的工作液体被充填在所述加热腔室4中。所述工作液体在由加热电阻层11所传送的热能的作用下被迅速地汽化。另外，由于工作液体汽化而产生的蒸汽压力被传递到一个形成在所述加热腔室阻挡层5上的薄膜20上。所述薄膜20与多个加热器片101组装在一起，从而形成了稳定结构。

这里，一个由墨水腔室阻挡层7所限定的墨水腔室9形成在所述薄膜20上，所述墨水腔室9与所述加热腔室4同轴，一定量的墨水被充填在所述墨水腔室9中。一个喷孔10形成在所述墨水腔室阻挡层7上，所述喷孔10覆盖在所述墨水腔室9并用作一个向外喷墨的喷口。所述喷孔10穿过一个喷孔板8以与所述加热腔室4和墨水腔室9同轴。所述喷孔板8和墨水腔室阻挡层7形成了多层结构以构成所述喷射片102。

在操作中，如图6中所示，当从一个外部电源向所述电极层3提供电信号时，与所述电极层3相接触的加热电阻层11被提供电能并被迅速地加热到500℃的高温或高于500℃的温度。在所述加热过程中，电能被转换成500℃至550℃的热能。

然后，将被转换的热能传送到与加热电阻层11相连接的加热腔室4中。充填在加热腔室4中的工作液体在所传送的热能作用下被迅速地汽化并产生一定的蒸汽压力。

接着，该蒸汽压力被传递到位于所述加热腔室阻挡层5上的薄膜20上，这样，将一个预定的冲量P施加到所述薄膜20上。然后，所述薄膜20沿着图6中箭头所示方向迅速膨胀并弯成圆形。从而，一个强大的冲量被施加到充填到墨水腔室9的墨水400上，并使墨水400呈气泡状而处于将要喷射的状态。

此时，如图7中所示，当中断由外部电源所提供的电信号时，加热电阻层11迅速地冷却。这样，加热腔室4内部的蒸汽压力迅速地降低，从而使加热腔室4内部被迅速地降压。接着，所述加热腔室4中的负压为所述薄膜20提供一个与上述冲量相等的反作用力B，从而使薄膜20迅速回缩并回到其初始状态。

在这种情况下，薄膜20沿着图7中箭头所示方向迅速地回缩并将一个强大的纵向弯曲力传递到所述墨水腔室9内部。这样，由于薄膜20的膨胀而将要喷出的墨水400在其自身重力作用下变成椭圆形和圆形，从而使墨水400被喷射到一个外部打印纸上。这样，在所述外部打印纸上完成了一个快速的打印操作。

如上所述，在本发明中，薄膜是独立于喷射片组装的，并且同时使多个加热器片与所述薄膜连接在一起，从而大大地降低了装配微型喷射装置所需的时间。本发明并不仅限于用于装配上述微型喷射装置的方法，本发明还可用于各种使用薄膜的微型喷射装置，例如微型泵或燃料喷射装置等。

如上所述，在本发明所述的用于装配微型喷射装置的方法和设备中，一个加热器片垫片安装在一个真空台上，多个加热器片形成在所述加热器片垫片上。接着，薄膜作为独立于喷射片加工的一个部件被定位并与所述加热器片垫片保持一预定的间隔。然后，所述薄膜固定在所述加热器片垫片上并且所述薄膜和所述加热器片垫片相互粘接在一起。

本发明方法能够避免薄膜在定位和装配过程中过多地移动。因此，能够预先防止薄膜的损坏。另外，无需使薄膜与每一个加热器片定位。从而，可大大地缩短完成一个微型喷射装置所需时间。

尽管本发明是通过一个特定的实施例进行具体描述的，但是本领域普通技术人员显然可根据上述内容对上述实施例进行各种改进和变型。因此，本发明包括了所有的落入由后面的权利要求书所限定的保护范围内的各种改进和变型。

Claims (22)

1.一种用于装配微型喷射装置的方法，包括下列步骤：

利用真空将加热器片垫片固定在工作台表面上，所述加热器片垫片上形成有多个加热器片；

在一薄膜上沉积一种粘结剂，并使所述薄膜与所述加热器片垫片对准，所述薄膜与所述加热器片垫片之间保持一预定的间隙；

将所述薄膜固定到所述加热器片垫片上；以及

使所述加热器片垫片与所述薄膜粘接在一起。

2.一种如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述沉积粘结剂和使所述薄膜定位的步骤还包括：

将所述薄膜安装到一个薄膜固定环中。

3.一种如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述沉积粘结剂和使所述薄膜定位的步骤还包括：

将所述薄膜固定环固定到一个薄膜定位台上。

4.一种如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述沉积粘结剂和使所述薄膜定位的步骤还包括：

利用一个驱动缸驱动所述薄膜定位台，以使所述薄膜对准定位。

5.一种如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述粘接的步骤还包括：

利用从一个加热装置中发出的红外线辐射光对所述固定的薄膜和加热器片垫片进行加热。

6.一种如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述对固定薄膜和加热器片垫片进行加热的步骤还包括：

将所述固定的薄膜和加热器片垫片加热到200℃至280℃范围内的一个温度，加热时间为15秒钟至30秒钟。

7.一种如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述粘接的步骤还包括：

第一个粘接步骤，利用从一个加热装置中发出的红外线辐射光对所述固定的薄膜和加热器片垫片进行加热；以及

第二个粘接步骤，所述第二个粘接步骤包括以下步骤：

将所述在第一个粘接步骤中粘接的固定的薄膜和加热器片垫片放入一个炉中；以及

为所述在第一个粘接步骤中粘接的固定的薄膜和加热器片垫片提供热量和压力。

8.一种如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述第二个粘接步骤包括：

所提供的压力在1千克力/平方厘米至15千克力/平方厘米的范围内。

9.一种如权利要求8所述的方法，其特征在于，所提供的压力在2千克力/平方厘米至10千克力/平方厘米的范围内。

10.一种如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述第二个粘接步骤包括：

所提供的热量温度在150℃至400℃的范围内。

11.一种如权利要求10所述的方法，其特征在于，所提供的热量温度在200℃至350℃的范围内。

12.一种如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述沉积粘结剂和使所述薄膜定位的步骤还包括：

所述薄膜和加热器片垫片之间所保持的间隙在4微米至6微米的范围内。

13.一种如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括以下步骤：

在完成所述粘接的步骤之后，在所粘接的薄膜和加热器片垫片上形成墨水通路孔。

14.一种如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述方法还包括以下步骤：

在完成所述的粘接步骤后，在所粘接的薄膜和加热器片垫片上形成墨水通路孔。

15.一种如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述方法还包括以下步骤：

在完成所述粘接步骤后，在所粘接的薄膜和加热器片垫片上形成墨水通路孔。

16.一种如权利要求13所述的方法，其特征在于，所述墨水通路孔是利用一种二氧化碳气体激光器形成的。

17.一种如权利要求14所述的方法，其特征在于，所述墨水通路孔是利用一种二氧化碳气体激光器形成的。

18.一种如权利要求15所述的方法，其特征在于，所述墨水通路孔是利用一种二氧化碳气体激光器形成的。

19.一种用于装配微型喷射装置的设备包括：

一个真空台，所述真空台能够利用抽气来固定一个加热器片垫片；

一个薄膜定位台，所述薄膜定位台上具有通孔，所述薄膜定位台位于所述真空台的上方，以用于固定一个薄膜；

一个固定环支架，所述固定环支架上的构件能够穿过所述薄膜定位台上的孔，以用于支承一个薄膜固定环；以及

一个薄膜固定环，所述薄膜固定环用于将一个薄膜的周边压紧在所述加热器片垫片的上表面上，所述薄膜固定环被所述固定环支架支承。

20.一种如权利要求19所述的装置，其特征在于，所述薄膜定位台具有一个能够使红外线照射到所述薄膜上的孔。

21.一种如权利要求20所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：

一个加热装置，所述加热装置安装在所述用于提供红外线照射的孔的上方。

22.一种如权利要求19所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：

一个驱动缸，所述驱动缸与所述薄膜定位台相连，以用于使所述薄膜定位台定向。

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