CN1233565A - 记录装置及其制造方法 - Google Patents

Abstract

一种记录装置以及该记录装置的制造方法,该记录装置能够形成这样一种染料的弯液面,使得染料能够提供到染料飞越部分而不会中断以及按保证染料飞越所需数量保存在染料飞越部分;该制造方法与相关的现有技术的制作方法相比较没有复杂的制造步骤。该记录装置包含:染料飞越部分配置在需要记录的物体的对面,用于使染料飞越到需要记录的物体上,该染料利用由间隔壁形成的染料供给通道提供到染料飞越部分;以及分别完成的弯液面形成装置。

Description

记录装置及其制造方法

本发明涉及一种所谓染料蒸发-热转印型打印头或者打印机，其中墨水被蒸发或者汽化以便传输转印到一张需记录的物体例如打印纸上，以及涉及一种制造该记录装置的方法。

近些年来，对于能够高质量地输出全色图象的打印机的需求增加，特别是对于用于输出由个人计算机处理的彩色图像或者由摄像机、电子照相机所记录的图像方面。

已经提出的彩色打印机的各种实例包含：升华-热转印型(或者染料扩散-热转印型)、融化-热转印型、喷墨型、电子摄影型、以及热处理的银盐型。在这些类型当中，染料扩散热转印型和喷墨型广泛认为是能够利用相对简单的装置输出高质量的图像的类型。

染料扩散-热转印型利用一种涂有墨层的墨带或者墨纸，该墨层是通过将转印用染料高浓度地扩散到适当的粘接剂树脂中形成的。该墨带或者墨纸按照规定的压力与所谓的热转印纸页(涂覆有能够接收转印用染料的染色树脂)形成紧密接触。然后，利用置于在该墨带或者墨纸上的加热头提供热能，其结果是该转印用染料根据提供的热能由墨带或者墨纸转印到该热转印式纸上。

对于每一种图像信号重复上述操作，这种信号与由一个彩色图像分离的减色法的3种基色，黄(Y)，品红(M)，和青(C)相关连的，因此得到具有连续渐变的全色图像。

图41表示这种类型的打印机中的热敏头的周边部分的结构。

热敏头70配置在着墨辊71的对面，在两者之间在热敏头70处于加压状态时通过旋转着墨辊71使得墨纸72和热转印纸页73行进。墨纸72包含其上形成有墨层72a的基膜72b，以及该热转印纸页73包含表面涂覆有染色树脂层(染料接收层)73a的纸页73b。

根据需要印制的图像利用热敏头70选择性地加热的墨层72a中的墨水通过加热扩散到与墨层72a热接触的纸页73中染色树脂层73a中。按照这种方式，热转印例如是按照点组成的图形实现的。

这种染料扩散-热转印型的优点在于使打印机小型化，易于制造打印机，以及增加打印机的耐用性，以及还可以得到与利用银盐彩色摄影得到的可比较的高质量图像。然而这种类型的缺点是由于墨带或者墨纸的废弃导致形成大量的废弃物以及使得运行费用增加。还由于这种类型需要利用热转印纸页，出现的一个问题是进一步增加费用。

融化-热转印型能够转印到一般的纸页上，它的缺点是由于废墨带和墨纸形成大量的废弃物并且导致运行费用增加。此外利用这种类型得到的图像的质量低于由银盐摄影照片得到的图像。

热处理的银盐型能够得到高质量的图像；然而由于这种类型采用专用纸和为废弃墨带或者墨纸型，其缺点是使运行费用增加。此外这种类型的另一个问题是设备费用增加。

正如在日本专利公报昭61-59911和平5-217中公开的喷墨模型分类为：静电吸引型，连续振动发生型(压电型)，以及热敏型(墨泡喷射型)。在这种喷墨型中，通过由装在打印机上的喷嘴喷射墨滴进行打印，以便将墨滴附着在打印纸页或者类似物上。

因此该喷墨型的优点在于降低运行费用，因为它能转印到一般的纸页上，并且不需要任何墨带之类，并且不同于利用墨带之类的类型基本上消除了废弃物的产生。然而喷墨型的缺点在于，从原理上难于得到像素的密度的连续变化，并且不同于上述染料扩散-热转印型因此在短时间内难于重现与通过银盐摄影照片得到的可比的高质量的图像。

电子成像型得优点在于，它降低运行费用以及增加转印速度；然而它的缺点是难于得到与银盐摄影照片得到的可比较的高质量图像，还明显地增加设备费用。

总而言之，很明显上述任何一种类型都不能全面满足关于图像质量、运行费用、设备费用、转印时间以及其他的要求。

根据这些情况，例如在公开的日本专利平7-89107和平7-89108中已提出一种能够满足所有要求的彩色打印机即所谓的染料蒸发-热转印型打印机。

按照这种类型，通过对在打印机头上的转印部分上的墨水加热以便通过蒸发或者汽化墨水飞越以及该蒸发的和汽化的墨水撞击到需转印的物体的表面，例如配置在面对转印部分的打印纸页实现转印操作，该转印部分和纸间形成由50～100微米的间隙。

该转印部分包含一个不规则墨水存放结构，其中有大量的小立柱，每个立柱的宽度或者半径约为2微米以及高度约为6微米，每个直立的立柱其间的微小间隔为约2微米。

这种墨水保存结构的装设具有如下的作用：

(1)墨水利用毛细管现象能够自然地提供到蒸发部份；

(2)墨水可以利用大的表面面积有效地进行加热；

(3)通过适当的设定立柱高度，通常可以在该蒸发部分中保持规定数量的墨水；以及

(4)由于液体的表面张力通常具有负的温度系数，局部加热的墨水由于能使墨水流动的作用力施加到保持在低的温度下的外周边部分；然而，墨水朝外周边部分的运动至少受到墨水保存结构的抑制，因此防止转印灵敏度的降低。

因此这种墨水保存结构的提供使得能够将按照与在该蒸发部分产生的热能相对应的数量的墨水蒸发或者汽化并且将该墨水转印到一张打印纸页和类似物上，并且因此达到对转印墨水的数量的连续控制及按照像素密度连续变化。因此，具有该墨水保存结构的染料蒸发-热转印型能够得到与通过银盐彩色照片得到的可比的高质量的图像。

由于这种类型不必使用任何类型的墨带或者其他，使得运行费用低，以及由于这种类型能够利用对于一般纸页具有高吸收特性的墨水故可以转印到一般的纸页，通过使用一般纸页能够降低费用。

由于这种类型能够利用墨水(即染料)的蒸发或者汽化，不仅不需要将用于加热墨水的打印头的转印部分按高压下压到需转印的物体例如打印纸，而且还能够使转印部分与需转印的物体接触。因此这种类型的优点是消除在墨水加热部分例如墨带和打印纸之间的热融，这种融化是由于其他的热转印类型经常引起的。

如上所述，在这种记录头中，通过将染料固着在需记录的物体上形成像点，因此在染料飞越部分(加热或者转印部分)的两个相邻部分之间的间隔构成一个点的间隔。换句话说，一个染料飞越部分等效于一个点，以及各点间隔对于所打印的图像的分辨率产生影响。更确切的说，当点的间隔变窄时，可以得到更高的分辨率。

根据这种观点，一种用于增加分辨率的装置使得在两个相邻的染料飞越部分之间的，每个间隔变窄；然而在上述记录头中，通过一个染料供给通道，染料提供到一个染料飞越部分中，因此，如果两个相邻的染料飞越部分之间的每个间隔变窄，以便达到具有高分辨率的图像，两个相邻的染料供给通道之间的间距必须也要变窄。

换句话说，除非将染料供给通道的横断面减小否则难于得到更窄带上述的间隔。然而，染料供给通道的横截面的降低使得染料供给通道变窄。这样可能导致出现这样一种可能性，即可能不能将转印所需和足够的数量染料提供到染料飞越部分，以及其它问题是，使得制造包含染料供应部分打印头的制造方法复杂化以及制造生产率降低和成本增加，这是由于需要增强打印机的性能。

本申请人已经提出能够解决上述问题同时能够利用上述染料飞越结构的记录装置，即公开在日本专利公告平7-354113,7-354114和在7-354115中的染料飞越结构。

在先前提出的记录装置中共同的一点，为解决上述问题在于，一个具有用于使染料飞越到需记录的物体上的染料飞越部分的记录头按这样一种方式与需记录的物体相接触，即该记录头相对于需记录的物体是倾斜的，以及按这样一种状态，即每个染料飞越部分与需要记录的物体其间利用一个规定的间隙分开，以及形成一些由用于提供染料的公用染料供给通道的旁通分支通道，以便能够由各分支通道向多个染料飞越部分同时提供染料。

图42是表示上述记录头20的主要部分的平面图。在该记录头20中，利用在用作散热片的铝基板25上的以硅为基的粘结剂粘结的印刷电路板28和打印头芯片31以及在图43中所示的盖片32安装在印刷电路板28和打印头芯片31上并且利用相同的粘结剂粘结到其上。

图44是上述记录头20的断面图。适合于安装到印刷电路板28上的基板25中的一部份变薄，其厚度等于印刷电路板28的厚度，并且印刷电路板28安装在基板25的安装部分上。在这种安装状态下，印刷电路板28和用于驱动加热器的安装在打印板28上的驱动器IC26的高度总合等于并列安装在打印板28上的打印头芯片31的顶表面的高度。

基板25中该粘结有打印头芯片31部分具有两个槽33，用于使打印头芯片31均匀地粘结到基板25上。更确切地说，用于粘结打印头芯片31的粘结剂的过量部分由槽33中溢出。如在图42和44中所示，形成在打印头芯片31和驱动器IC26上的电极之间的连接部分，以及在驱动器IC26和在印刷电路板28上的引线之间的连接部分涂覆有以硅树脂为基的涂覆材料JCR(结合涂银树脂)27，然后该涂覆材料热固化，以便保护用于连接部分的粘接引线。

如在图42和44中所示，印刷电路板28具有一个通过基板25的染料引入孔29。液体染料7由盖片32和基板25之间的基板25一侧通过染料引入孔29引入。盖片32按照这个一种方式粘接到印刷电路板28和打印头芯片31上，即密封覆盖印刷电路板28一部分和打印头芯片31一部分。盖片32的内表面部分形成用于接收通过孔29引入的染料7的公共的染料供应通道以及将染料7提供到上述的分支通道。

如在图44中所示的，记录头20是这样构成，即基板25中的处在装有打印头芯片31一侧的一端25a与需要记录的物体34相接触，同时相对于需要记录的物体34按照一个特定的角度倾斜，使得如在图45所示的，在每个染料飞越部分6中的中心C1和需要记录的需要记录的物体34之间的间隔可以保持恒定。

在图44中，实线箭头S代表记录头20在打印时的扫描方向，虚线箭头S’代表在打印后返回的方向。因此当打印时，根据其对应于通过连接器30提供的图像数据的信号加热器加热(该连接器30装在印刷电路板28的前端部分)以便使来自每个染料飞越部分6的染料7蒸发，因此向染料将需要记录的物体34飞越。在印刷电路板28上的引线通过连接器30连接到FPC(一种未表示的柔性的印刷电路)。按照在图46所表示的串行方式或者在图47中所示的直线方式驱动该装置。

按照串行方式，如在图46中所示，染料存储部分24中的三个部件，它们存储3种基色的Y(黄)，M(红)，和C(蓝)(还可以添加黑色)的染料的部件分别安装在彼此平行配置的连接器30中的三个部件上。这些记录头20连接到经过各自的连接元件22与输纸轴21连接的各自对应的运动部件23上。由于输纸轴21是与运动部件23按螺旋连接的，每个记录头20沿用箭头Y表示的方向通过利用驱动源(未表示)驱动的输纸轴输纸轴21转动而往复运动。

同时，需要记录的物体34配置在记录头20对面，需要记录的物体34利用输纸辊18(用于记录头20每次直线扫描)沿用箭头X表示的方向运动。相应地，需要记录的物体34位在压纸轴和记录头20之间，需要记录的物体34由记录头20打印。

按照直线方式，如在图47中所示，记录头20A沿纵向配置在X轴方向上，记录头20A的长度等于需要记录的物体34的宽度。这些记录头20A与安装有存储3种基色即Y(黄)，M(红)，C(蓝)(还可以添加黑色)的染料的存储容器24A的相类似。

配置在记录头20A对面的以及定位在记录头20A和压纸轴19之间的需要记录的物体34利用记录头20A进行打印，以及在特定的打印之后，需要记录34的由输纸辊18沿X方向移动。按照这种方式顺序进行打印。

图48是表示上述记录头中的记录头芯片31一部分的平面图。如在图44中所示的，利用毛细管现象通过毛细管区域36a使得输入的染料7在该盖片32和基板25之间提供，在该毛细管区域36a中由基板1、间隔壁2和盖3B形成该分支通道，以及利用间隔壁间区域36b和连通区域36c之间的通道提供的染料飞越部分6中。

如在图48中所示，形成分支通道8的间隔壁2伸向盖3B和染料飞越部分6之间的中间部分附近。由其中不存在间隔壁2的该中间部分到染料飞越部分6的其余的半个区域形成连通区域36c。则该连通区域36c中，通过一个分支通道8的染料7不仅能够以直线方式提供到正常的染料供应区(染料7应当主要通过分支通道8提供到该区域)，而且还能够以曲线方式如按箭头所示方向提供到在相邻的两个分支通道两侧的两个染料飞越部分6。

图49是沿图48中的断面线ⅩⅩⅩⅩⅨ-ⅩⅩⅩⅩⅨ所取的横断面。在该毛细管区36a中，由于利用毛细管现象稳定地提供染料7，很少发生染料7供应不足；然而，在36b特别是在连通区域36c中如在图50中所示形成一个弯液面7a。在该弯液面7a，染料7的厚度变薄。弯液面7a的存在带来不便在于，染料7的提供不再赶得上来自每个染料飞越部分6的染料7的飞越。因而，如在图51中所示，出现染料消失部分37，它可以引起流通的过程中染料7的中断。应当注意，在图51中，为了便于理解在等效于一个点的该区域的染料，按照一些点表示。

如果发生染料7的中断，这种中断是难于补救的，它将妨碍将染料7提供到染料飞越部分6。因此，在染料飞越部分6中的染料7逐渐的损失，使得不可能根据图像信息保障染料7的飞越。

此外由于间隔壁2是通过光刻由片状有机材料构成的，间隔壁2的形状是不稳定的；间隔壁2表面状态的会细微改变；和/或在间隔壁2中间隔壁2a和染料飞越部分6的之间的距离可能改变，导致染料7的表面弯液面可能改变，在染料飞越部分6上不能达到染料的规定高度。就是说，很明显该上述相关技术的记录头具有需要改进的余地。

本发明的目的是提供一种记录装置，它能够形成这样的一种记录材料的弯液面以便使得该记录材料提供到记录材料飞越部分不会中断以及能够保持在记录材料飞越部分数量足以保障记录材料飞越，以及提供一种制造该记录装置的方法，与相关现有技术的制造方法相比较没有复杂的制造步骤。

为了实现上述目的，根据本发明的第一个方面，提供一种记录装置，它包含：记录材料飞越部分，配置在需要记录的物体的对面，用于使记录材料飞越到需要记录的物体上，该记录材料利用由间隔壁形成的记录材料供给通道提供到记录材料飞越部分；以及一个分别完成的弯液面弯液面形成装置，该装置是这样安装的，即装置的在该记录材料飞越部分一侧的前端位于在与间隔壁的边缘重叠的位置上，或者位于在比间隔壁的边沿更接近于记录材料飞越部分的一个位置上；其中记录材料的弯液面弯液面至少形成在间隔壁的边缘和记录材料飞越部分之间。

利用这种记录装置，该弯液面弯液面形成装置的前端(它是分别完成的和然后安装的)在记录材料飞越部分一侧，位于在比该间隔壁的边沿更接近于记录材料飞越部份的一个位置上，使得记录材料的弯液面形成在弯液面形成装置的前端和记录材料飞越部分之间。这就使得能够形成记录材料的这样一种弯液面，以便使得需要提供的记录材料能够提供到记录材料飞越部分而不会中断，以及为了记录材料的飞越按足够数量保持在记录材料飞越部分中。因此，根据本发明的装置能够在需要记录的物体上进行预期的记录，能够增加产品的生产率和降低成本。此外由于弯液面形成装置是分别完成和随后安装的，可以按照它的形状以及状态保持稳定的表面安装不会产生与后来的处理例如光刻相关的上述的问题，更具体地说，保持在记录材料飞越部分和弯液面形成装置之间的距离，以便经常地使弯液面状态保持恒定(即，记录材料高度保持恒定)，因此有助于实现所需的记录。

根据本发明的第二个方面，提供一种制造记录装置的方法，该装置具有的记录材料飞越部分配置在需要记录的物体的对面，用于使记录材料飞向需要记录的物体，该记录材料利用由间隔壁形成的记录材料供给通道提供到记录材料飞越部分，该方法包含的步骤有：形成间隔壁；分别完成弯液面形成装置使其成形，即它的在记录材料飞越部分上的前端位于在与间隔壁的边沿相重叠的位置上，或者位于在比间隔壁的边沿更接近于记录材料飞越部分的位置上；以及按照这样一种方式安装所述弯液面形成装置，以便至少在间隔壁的边沿和所述记录材料飞越部分之间形成所述记录材料的弯液面。

利用这种制造方法，能够按照良好的重现性制造上述记录装置。

在本发明中，术语“间隔壁”是指记录材料供给通道中的侧壁，以及它不包含形成弯液面形成装置的盖(下文将介绍)。术语“飞越”是指通过蒸发、汽化、或者表面张力波使记录材料飞越(通过利用由来自加热器产生的热能因表面张力迁移墨水(Marangoni流)引起的对墨水的冲击力以雾态输送墨水)。

在根据本发明的记录装置和它的制造方法中，最好，用作记录材料供给通道的侧壁的间隔壁与安装在该侧壁上面的盖组合构成记录材料供给通道，以及该用作弯液面形成装置的盖延伸到记录材料飞越部分的附近。

除了该盖以外，可以将一个分别完成的弯液面形成装置安装在该盖的对面，将记录材料飞越部分置于其间、以及该第二弯液面形成装置在记录材料飞越部分和该第二弯液面形成装置之间形成记录材料的弯液面。

该盖可以延伸到包含记录材料飞越部分的上侧的一个区域，以及它在记录材料飞越部分上方具有一个开口部分。

该弯液面形成装置可以分别完成并且粘在间隔壁的边沿和记录材料飞越部分之间。

用于形成记录材料供给通道的间隔壁可以分别完成延伸使得间隔壁的延伸部分位于在比除了延伸部份以外的间隔壁的边缘更接近记录材料飞越部分的位置上以及具有延伸部分的间隔壁安装作为弯液面形成装置。

记录材料飞越部分最好具有一些由例如由于用于保持记录材料的小立柱组成的不规则的部份。

最好分支通道由公用的记录材料供给通道旁通分流并且适于向记录材料飞越部分提供记录材料，利用间隔壁形成分支通道用作记录材料供给通道。该记录材料供给通道并不局限于公用的供给通道。

最好利用加热器产生的热量使得记录材料飞向需要记录的物体，该需要记录的物体配置在记录材料飞越部分的对面，与记录材料飞越部分不相接触。

图1是表示根据第一实施例的打印头芯片的一部分的示意平面图；

图2是沿图1中的断面线Ⅱ-Ⅱ所取的示意断面图；

图3是沿图1中的断面线Ⅲ-Ⅲ所取的示意断面图；

图4是表示将染料引入到图2中的该部分以及弯液面的示意断面图；

图5是表示在染料飞越部分的附近的弯液面的放大断面图；

图6是表示根据第二实施例的打印头芯片的一部分的示意平面图；

图7A和7B表示在图6中的打印头芯片，其中图7A是沿图6中的断面线Ⅶa-Ⅶa所取的示意断面图；以及图7B是沿图6中的断面线Ⅶb-Ⅶb所取的示意断面图；

图8是表示流入在图7A中所示的该部份的染料和弯液面的示意断面图；

图9A和9B是表示根据第三实施例的打印头芯片，其中图9A是表示该打印头芯片的一个部分的示意平面图，以及图9B是沿图9A中的断面线Ⅸ-Ⅸ所取的示意断面图；

图10是表示在图9A和9B中所示的该部分的染料的弯液面的示意断面图；

图11是表示根据第四实施例的打印头芯片的一部分示意断面图；

图12是表示根据第五实施例的打印头芯片的一部分示意平面图；

图13A和13B表示在图12中所示的打印头芯片的断面；

其中图13A是沿图12中的断面线ⅫⅠa-ⅫⅠa所取的示意断面图，以及图13B是沿图12中的断面线ⅫⅠb-ⅫⅠb所取的示意断面图；

图14是表示在图12所示的该部分中的染料的弯液面的示意断面图；

图15是表示根据第六实施例的打印头芯片的一部分的示意平面图；

图16是表示根据第七实施例的打印头芯片一部分的示意平面图；

图17是表示根据本发明第八实施例的打印头芯片的一部分的示意平面图；

图18是表示根据第九实施例的打印头芯片一部分的示意平面图；

图19是表示根据第十实施例的打印头芯片的一部分的示意平面图。

图20到图32是表示打印头芯片制造步骤的示意断面图；

图33到39是表示制造在图22到32中所示的打印头芯片部分步骤的相对应的步骤的示意平面图；

图40是表示根据再一实施例的打印头芯片的一部分的示意平面图；

图41是相关现有技术的热转印型打印机主要部分的示意图；

图42是在优先权申请提出的打印头的平面图，表示的是由打印头已经取下盖片的状态；

图43是在图42所示的在优先权申请中提出的打印头的平面图，表示将盖片安装在打印头上的状态；

图44是表示在图42中所示的打印头的记录状态的示意断面图；

图45是表示在图42中的打印头的记录状态的示意侧视图；

图46是表示在图42所示的打印头处于串行方式工作的状态的示意透视图；

图47是表示在图42中所示的打印头处于直线方式工作状态的示意透视图；

图48是表示在图42中所示的打印头的打印头芯片的一部分的示意平面图；

图49是沿图48中的断面线ⅩⅩⅩⅩⅨ-ⅩⅩⅩⅩⅨ所取的示意断面图；

图50是表示在图49中所示的部分的染料弯液面的示意断面图；以及

图51是表示在打印机芯片中的染料消失部分的局部示意平面图。

下面将参照附图介绍本发明的各个优选实施例。

第一实施例

图1是表示根据第一实施例的的打印头芯片10的一部分的平面图；图2是沿图1中的断面线Ⅱ-Ⅱ所取的示意断面图；以及图3是沿图1中的断面线Ⅲ-Ⅲ所取的示意断面图。在这一实施例中，对于与在上述相关现有技术所介绍的通用的部分使用通用的字符表示。对于下文要介绍的其他实施例情况相同。

如在图2和3中所示，在这一实施例中的打印头芯片10中，间隔壁2和盖3形成在基板1上，以便形成由如在图44中所示相同的公用染料供给通道分流旁通的分支通道8。该基板1是由Si(硅)制成的，以及厚度为5毫米或其以下，例如0.2～1毫米。间隔壁2是由厚度为50微米或者以下例如10到30微米的干膜(例如薄膜电阻)构成的。该盖3是由Ni(镍)构成的，片厚为100微米或者以下，例如20～30微米，该盖是分别精确加工完成的(对于下文所介绍的其他实施例情况相同)。这种结构普遍适用于后面所介绍的其他实施例。

染料飞越部分6装在基板1的前端部分，每个染料飞越部分6构成一个点。染料飞越部分6包含一组细微的立柱4，每个立柱4的宽度或者半径为10微米或者以下(例如1到4微米)，高度为20微米或者以下(例如1到10微米)，平均间隔为10微米或者以下(例如1～4微米)；加热器(未表示)，例如由聚硅(多晶硅)制成，用于加热染料7使之飞越；以及一个电极(未表示)，例如AL(铝)制电极用于向加热器传导电流。这种结构对于下列要介绍的其他实施例是普遍适用的。

如在图2中所示的，盖3的配置位置要满足这样一种关系，即其中在接近每一个染料飞越部分6的一侧，该盖3的盖3a和染料飞越部分的中心线C1之间的距离B处在15微米或者以上的范围内(例如30到100微米)，每个用于形成分支通道8的间隔壁2配置的位置满足这样一种关系，既其中在接近每一染料飞越部分6的一侧的间隔壁2的间隔壁2a和染料飞越部分6的中心线C1之间的距离C等于或者大于距离B(C≥B)。按照这种方式，用于形成染料7的弯液面的装置可以按照并不复杂的步骤制成。上述位置关系满足C＞B为好，满足(1/2)C≥B≥(1/5)C更好。

如在图1中所示，如用箭头所示的利用分支通道8提供的染料7自然地传输到连通区域36c中，然后存储在染料飞越部分6中的成组的小立柱4构成的染料存放部分9中。

图4是表示在图2所示的该部分中的染料7的流入状态的断面图；以及图5是在图4所示的状态中染料飞越部分6的附近的放大的断面图。如在这些图中所示，在利用毛细管现象由基板1、间隔壁2和盖3所围绕的每个分支通道8的区域中提供的染料7自然地在连通区域36c中的染料7表面上形成弯液面7a。在该弯液面7a，如在图5中所示，染料7的厚度A变薄；然而，在这一个实施例中，利用上述的弯液面形成装置可以得到所需厚度A的染料7。

就是说，在染料飞越部分6上的染料7的高度A(如在图4中主要表示的)是由在接近染料飞越部分6的一侧的盖3的边沿3a起到染料飞越部分6的区域中形成的染料7的表面的弯液面7a和小立柱4的高度确定的。

因此，在接近染料飞越部分6的一侧的盖3的边沿3a到染料飞越部分6区域中形成的染料7表面的弯液面的形状，通过处理该与染料7相接触的盖3的表面进行调节，该盖3用于改变盖3的表面和染料7之间的接触角或者调节在接近染料飞越部分6一侧的盖3的边沿3a和染料飞越部分6中心线C1之间的距离B。这样就使得能够得到所需高度的染料7。

在包含打印头芯片10的记录头中，根据图像信息电流由电极流向加热器，在染料飞越部分6中的染料7利用由加热器产生的焦耳热蒸发，因此向配置在染料飞越部分6对面的需要记录的物体(未表示)飞越。

如果在每个染料飞越部分6上没有形成由小立柱4或者类似物组成的染料飞越结构，会出现如下的问题：即，出现在染料飞越部分6上的染料7由加热器加热(根据图像信息由电极向该加热器传输)并且飞越；然而，在这时，由于染料7的表面张力的降低染料7趋向于由加热器的被加热顶部表面部分逸出，染料7的表面张力降低是由于发热引起的，并且局部存在于染料飞越部分6外周边部分，因此导致难以保证染料7的飞越所需足够数量的染料7。与之时比，在这一实施例中，由存在于染料飞越部分6上的小立柱4组成的染料飞越结构使得能够利用毛细管现象保持染料7，以及按照染料7飞越所需足够数量的染料7连续地提供到染料飞越部分6中不会产生在图51中所示的染料消失部分37。

如上所说，为了使染料7能够根据图像信息按照所需的数量飞越，需要控制出现在每个染料飞越部分6上的染料7的数量。如果在染料飞越部分6上出现的染料7的数量大于所需的数量，即如果出现在染料飞越部分6上的染料7高度A高于所需的高度，必然提供过剩的能量用于加热染料7，即难于以所需的量让染料7飞越，除非将过剩的能量提供到染料7。

以其对比，如果出现在染料飞越部分6上的染料7数量小于所需的数量，即出现在染料飞越部分6上的染料7的高度A低于所需的高度，当染料7飞越时，出现在染料飞越部分6上的染料7变少，这是由于在加热时染料7表面张力的减少引起的来自染料飞越部分6的染料7所谓“逸出”引起的，因此使得不能够按照所需的数量保障染料7的飞越。

如上所述，在染料飞越部分6上出现染料7的高度A是由小立柱4的高度以及形成在接进染料飞越部分6的一侧的间隔壁2边沿和形成染料供给通道和染料飞越部分6的盖3之间的区域中形成的染料7表面的弯液面确定的。

在这一个实施例中，由于盖3的盖3a伸出达到比间隔壁2的间隔壁2a更接近于染料飞越部分6的位置，能够抑制染料7的弯液面7a的下降。更具体地说，形成具有所需形状弯液面受到妨碍是由于，通过光刻形成的每个间隔壁2边沿从微观上看具有细微的不规则性，因此间隔壁2的边沿的形状是不稳定的；间隔壁2的表面状态可以细微发生变化；以及间隔壁2的边沿和染料飞越部分6之间的距离可以变化。因此，在由盖3的边沿3a到染料飞越部分6的区域中形成的染料7的弯液面7a可以通过安装该分别完成的盖3按照这样一种方式形成所需的形状，即盖3的边沿3a伸出到比间隔壁2的间隔壁2a更接近于接近染料飞越部分的位置。这样就使得在染料飞越部分6中按照所需高度保持染料7的高度A。此外在这一个实施例中的打印头芯片可以简单地通过改变分别完成的盖3的所粘位置来制造。

第二实施例

图6是表示根据第二实施例的打印头芯片10A的一部分的平面图；图7A是沿图6中的断面线Ⅶa-Ⅶa所取的示意断面图；以及图7B是沿图6中的断面线Ⅶb-Ⅶb所取的示意断面图。

在这一个实施例中，如在图6和7A和7B中所示，侧壁12和用于覆盖侧壁12的上面部分的盖13，与在第一实施例中的盖3相对于染料飞越部分6是相反的，以便形成在染料飞越部分6上方的切缝结构。在这一个实施例中的打印头芯片10A具有这样一种结构，其可以无需复杂的制造步骤来制造。

如在图7A中所示，盖13的设置应满足这样一种关系，即其中在接近染料飞越部分6一侧的盖13的边沿盖13a和染料飞越部分6中心线C1之间的距离D处在15微米或者更大范围内(例如30-100微米)，侧壁12的形成位置应满足这样一种关系，即其中在接近染料飞越部分6一侧的侧壁12的侧壁边沿12a和染料飞越部分6的中心线C1之间的距离等于或者大于此距离D(E≥D)。

因此，在这一实施例中，在与盖3的边沿3a相反的一侧形成第二弯液面形成装置，以及如在图8中所示，通过将在第一实施例中所介绍第一弯液面形成装置与第二弯液面形成装置相结合由切缝14的两侧形成染料7的弯液面7a，因此使在图5所示的染料飞越部分6高度A保持在更好的所需高度。

根据这个实施例，除了通过利用第一实施例得到效果以外还可以得到的效果是，通过提供第二弯液面形成装置能够形成染料7的弯液面7a的更好的所需形状。

第三实施例

图9A是表示根据第三实施例的打印头芯片10B中的一部分的平面图；图9B是沿图9A中的断面线Ⅸb-Ⅸb所取的示意断面图。沿图9A中的断面线Ⅻa-Ⅻa所取的断面图与在图7A所示的相同，因此未予表示。

在这一个实施例中，如再图9A中所表示的，提供一个通过与配置在盖3对面的盖13整体形成在第二实施例中的盖3制备的盖3A，从而在与每个染料飞越部分6相对应的位置上方形成一个圆形的小孔11。小孔11的开通部分的尺寸F通常设定在30微米或者更高的数值上(例如60-200微米)。在这一个实施例中具有这样一种结构的打印头芯片10B也可以按照并不复杂的制造步骤制造。

在这一个实施例中，圆形围绕每个染料飞越部分6的弯液面形成装置是利用小孔11的边沿3b形成的，以及如在图10中所示，染料7中的弯液面7a形成在小孔11的整个边沿3b和每个染料飞越部分6之间。因此能够在比在第二实施例中的弯液面7a状态更希望的状态形成弯液面弯液面7a，从而使染料7保持在染料7的所需高度A(见图5)。此外由于染料7的飞越方向受到小孔11限制，因此能够形成所希望的点。

根据这一个实施例，由于利用环绕每个染料飞越部分6的弯液面形成装置形成染料7的弯液面7a以及通过限制其的飞越方向可以得到预期的记录，因此能够形成与在第二实施例中相等或者更大染料7的弯液面7a。

第四实施例

图11是表示根据第四实施例的打印头芯片10c的一部分的平面图。沿该图11中的断面线Ⅻa-Ⅻa所取的断面图与在图7所示的相同以及沿图11中的断面线所取的断面图与在图9中所示的相同，因此对它们未予表示。

在这一个实施例，如在图11中所示，通过按照与在第三实施例中相同的方式形成盖3A在与每个染料飞越部分6相对应的位置上方形成方形小孔11A。小孔11A开口部分的尺寸G通常设定在30微米或者更高的数值(例如60～200微米)。在这一实施例中具有这样一种结构的打印头芯片10c也能够按照并不复杂的制造步骤来制造。

在这个实施例中，环绕每个染料飞越部分6的弯液面形成装置是利用小孔11A的方形边沿3c形成的，以便形成与在第三实施例中得到相似的弯液面7a(参见图10)。就是说，能够形成染料7的所需弯液面7a以及能够限制7的飞越方向，正像第三实施例一样。

根据这一个实施例，通过形成与在第三实施例中得到的可比较的弯液面，可以得到与利用第三实施例得到的可比较的效果。

第五实施例

图12是表示根据第五实施例的打印头芯片10D的一部分的平面图。图13A是沿图12中的断面线ⅫⅠa-ⅫⅠa所取的示意断面图，以及图13B是沿图12中的断面线ⅫⅠb-ⅫⅠb所取的示意断面图。

在这一个实施例中，如在图12和13B中所示，间隔壁2’和盖3’按照与在第一实施例中的间隔壁2和盖3相对称的方式配置，染料飞越部分6置于其间，用于使染料7也能够由对侧提供到染料飞越部分6。在这种情况下，在染料飞越部分6的上方形成切缝结构。在这一个实施例中具有这样一种结构的打印头芯片10D能够无需复杂制造步骤可以简单地制造。

如上所述，在这一个实施例中，利用毛细管现象还由在与间隔壁2到对面的间隔壁2，、基板1和盖3之间的空间提供。就是说，如在图12中所示，染料7由两侧提供到染料飞越部分6。

在这一个实施例中，由盖3和盖3’中的相对的边沿3a和边沿3a’形成弯液面形成装置，使得可以形成与在第二实施例中相似的染料7的弯液面7a，如在图14所示。在这个实施例中，由于染料7便利地从两个染料供给通道提供到染料飞越部分6，因此可以简单地形成所需的弯液面7a。

根据这一实施例，由于形成与在第二实施例中相似的弯液面7a，以及染料7由两侧便利地提供，因此可以得到与利用第二实施例得到相同的或者更好的效果。

第六实施例

图15是表示根据第六实施例中打印头芯片10E中的一部分的平面图。沿图15中的断面线Ⅸb-Ⅸb所取的断面图与在图9B所表示的相同，以及沿图1 5的断面线ⅫⅠb-ⅫⅠb所取的断面图与图13所示的相同，因此它们未予表示。

如在图15所示，这一实施例提供的结构与在第五实施例的相似，其中染料7由两侧提供到染料飞越部分6。更确切地说，像在图9A和9B所示的第三实施例一样，边沿3a’是整体形成的，该盖位于在彼此相对的间隔壁2和间隔壁2’之上，染料飞越部分6置于其间。与在图9A和9B中所示的第三实施例一样，圆形的小孔11’形成在每个染料飞越部分6的上方。在这个实施例中具有这样的结构的10E也可以无需复杂的制造步骤来制造。

在这一个实施例中，利用小孔11’的整个边沿3b’形成弯液面形成装置，以及向第五实施例一样，染料7便利地从两侧提供，从而易于形成弯液面7a。按照这种方式，可以形成与在第三实施例中得到相似的弯液面7a，以及限制染料7的飞越方向。

根据这一实施例，除了形成与在第三实施例中得到的相似弯液面以外，还可以通过由两侧便利地提供染料7可以得到与利用第三实施例得到的可比较的效果。

第七实施例

图16是表示根据第七实施例中的打印头芯片10F的一部分的平面图。沿图16中的断面线Ⅸb-Ⅸb的所取的断面图与在图9B中所示的相同，以及沿图16中的断面线Ⅷb-Ⅷb的所取的断面图与在图13所示的相同，因此它们未予表示。

在这一实施例中，与在第四实施例中相似的方形小孔11A’(参见图11)形成在每个染料飞越部分6的上方，取代在第六实施例中的圆形小孔11’。在这一个实施例中的具有这种结构打印头芯片10F也可以无需复杂的制造步骤制造。

在这一个实施例中，与在图11中所示的第四实施例相似，利用方形小孔11A，的开口部分边沿3C’形成弯液面形成装置，使得染料7便利地由每个染料飞越部分6的两侧提供，从而形成与在第四实施例中相似的弯液面7a，以及还可以限制染料7的飞越方向。

根据这一实施例，除了形成与在第四实施例中的相似的弯液面以外，由两侧便利地提供染料7可以得到与利用第六实施例得到的可比较的效果。

第八实施例

图17是表示根据第八实施例打印头芯片10G的一部分的平面图。

这一个实施例与上述的各个实施例的不同之处在于，由与间隔壁2不同的材料形成间隔壁2A(例如，与3B相同的材料镍)作为弯液面形成装置，其在图48中所示的相关的现有技术的打印头芯片中的每个间隔壁2的边沿2a处。间隔壁2A不是与在制造打印头芯片的步骤中形成间隔壁2同时形成，而是分别完成加工以及其后粘到特定的位置上。

在制造打印头芯片的步骤中通过光刻形成每个间隔壁2的边沿。如上所述从微观上看具有一些细微的不规则性。间隔壁2的边沿的不规则性妨碍形成具有所需形状的弯液面。因此，选择性的加工完成厚度薄至例如20微米的材料然后粘到特定的位置上。然而在这个实施例中，无需复杂的制造步骤可以稳定地形成该弯液面。

由于该由间隔壁2延伸的间隔壁2A的边沿2a”(该边沿精确的形成不具有不规则性)位于在染料飞越部分6的附近，利用延伸的间隔壁2A的边沿2a”可以形成具有预期形状的弯液面，因此为了保障染料7的飞越，在染料飞越部分6中按照所需的数量保持染料7。

根据这一实施例，间隔壁2A的边沿2a”位于在染料飞越部分6附近，使得为了在染料飞越部分6中保证染料7的飞越，可以按照所需的数量能够提供染料7，形成染料7的弯液面。此外由于分别完成加工的材料像间隔壁2A一样粘住，可以精确简单实现对间隔壁2A的边沿2a”加工。

第九实施例

图18是表示根据第九实施例的打印头芯片10H的一部分的平面图。

虽然第八实施例是这样构成的，即通过将分别完成加工的材料粘到特定的位置作为延长的间隔壁2A，延长了间隔壁2，第九实施例是这样构成的，即选择性能加工间隔壁2B(每个都是由具有一定尺寸的薄膜电阻形成的，该尺寸使得它的边沿2a能定位在染料飞越部分6的附近)以及然后粘到规定的位置，因此形成一个弯液面形成装置。

间隔壁2B和3B不是在制造打印头芯片10H的制造步骤中通过光刻形成的，而是分别制备和然后粘到规定的位置的。按照这种结构间隔壁2B的边沿2a可以精确地形成而没有不规则性，以及可以按照并不复杂制造步骤来制造打印头芯片。

根据这一实施例，可以得到与利用第八实施例得到的可比较的效果。

第十实施例

图19是表示根据第十实施例的打印头芯片10Ⅰ的一部分的平面图。

如在图19所示，在这一实施例中的打印头芯片10Ⅰ，作为一种弯液面形成装置的辅助壁15按照这样一种方式设置在相关的现有技术，如在图48所示的打印头芯片的两个相邻的间隔壁2之间，即辅助壁15的辅助壁边沿15a位于在染料飞越部分6的附近。此外通过设另一个辅助壁16(如在图19中的实线所示，面对辅助壁15的辅助壁边沿15a)可以进一步改进效果。辅助壁16因加热而劣化，因此可以按照规定的距离定位在加热器和辅助壁16之间。

在这一实施例中的辅助壁15是利用薄膜电阻镍化或者其他选择性的加工形成的，以及然后粘到规定的位置上，在辅助壁15粘好之后将盖3B粘到辅助壁15上。在这个实施例中具有这样一种结构10Ⅰ的也可以无需复杂的制造步骤来制造。

在这个实施例中，由于辅助壁15的边沿15a位于在染料飞越部分6的附近，染料7的弯液面形成在由间隔壁2的边沿2a到染料飞越部分6的区域内，如果没有设有辅助壁15因此染料7的弯液面使得染料7的厚度小，通过设有辅助壁15可以保持所需的状态。

根据这个实施例，可以得到与由实施例8和9所得到的相比较的效果。

下面将简要地按照制造步骤的顺序介绍在前面的每个实施例中所介绍的打印头芯片的制造方法。图20-32是表示该制造步骤示意断面图，以及图33-40是表示与在图20-32所示的步骤部分相对应的步骤的示意平面图。

首先，如在图20中所示，在按照根据这个实施例的打印头芯片的制造方法中，将散热特性方面优异的硅基片(导热性强)用作打印头芯片的基板1。SiO₂层39通过热氧化或者CVD(化学汽相沉积)形成在基板1上，厚度为1-2微米。该SiO₂层39用作直接在加热器下方的蓄热层，因此，SiO₂层39的厚度需要考虑构成基座的铝散热片的散热特性来确定。

用作电阻(加热器)内的多晶硅层40，(例如在图21所示的)，是在SiO₂层39上利用低压CVD形成的，厚度约为0.4微米。利用磷(P)向多晶硅层40扩散，以便将它的薄膜电阻设置约为4千欧。

如在图22中所示，铝层41是在多晶硅层40上通过溅射形成的，厚度约为0.5微米。在这种情况下，可以使用不同于铝的金属例如金、铜或者铂作为导体。

如在图23(沿图33中的断面线ⅩⅩⅢ-ⅩⅩⅢ的所取的断面图)和图33中所示，为了露出多晶硅层40中的欲形成加热器5的部份，将具有规定图形的光敏抗蚀剂形成在铝层41上以及通过利用该作为掩膜的光敏抗蚀剂进行蚀刻选择性的除去铝层41，以便露出多晶硅层40的上方部分。图33是表示要在形成加热器5的多晶硅层40部分上方已经露出之后的状态的平面图。作为用于蚀刻铝层41的蚀刻剂，使用一种酸的混合物(磷酸∶硝酸∶乙酸∶水=4∶1∶4∶1)。应当指出，在图33表示的是各加热器5中的四个；然而实际上可以设有加热器5个或更多个加热器5(对于如下的说明情况相同)。

如在图24(是沿图34中的断面线ⅩⅩⅣ-ⅩⅩⅣ的所取的断面图)和图34中所示，具有需导通到加热器5的规定图形的联接部份的光敏抗蚀剂形成在铝层41上，利用该作为掩膜的光敏抗蚀剂利用上述AL蚀刻剂对铝层41进行蚀刻，以便形成具有铝层41A和铝层41B的导电图形。

如在图25(沿图35中的断面线ⅩⅩⅤ-ⅩⅩⅤ的所取的断面图)和图35中所示，由于多晶硅没有由AL蚀刻剂蚀刻，多晶硅层40被蚀刻形成与利用CF4(氟化碳)气体利用上述光敏抗蚀剂作为掩膜通过RIF(反应离子蚀刻)得到的铝层41相同的图形。

在这时，由于多晶硅层40中需要形成加热器5的部分由光敏抗蚀剂所覆盖，他们未被蚀刻。按照这种方式，铝层41和多晶硅层40按照相同的导电图形进行处理，除了多晶硅层40中的初始露出的部分以外，以及铝和多晶硅形成欧姆接触，即下面的步骤中要进行的热处理便成为导体。该初始露出的多晶硅的部分形成具有高阻值的电阻被用作电阻加热式加热器5。

如图26中所示，SiO₂膜44是通过CVD在整个表面上形成的，厚度约为6微米，然后进行辊压处理(在450℃氮气环境中持续30分钟)用于进行韧化，从而在多晶硅和铝电极之间形成欧姆接触。

如在图27中所示，在形成小立柱和染料存放部分时用作金属掩膜的铬层45是在SiO₂膜44上通过溅射形成的，厚度约为2微米。

如在图28中所示，具有用于形成小立柱和染料存储部分的特定图形的光敏抗蚀剂形成在铬层45上，以及利用该用作掩膜的光敏抗蚀剂利用氯和氧混合气体通过RIE选择性地对铬层45进行蚀刻，以便形成铬层45。图36是与图28对应的平面图。在图36中，略去了在图28中所示的SiO₂膜44，仅表示铬层45。

如在图29中所示，具有用于适用于引线电极的开放的连接片46和连接片47的特定图形的光敏抗蚀剂通过RIE形成在SiO₂膜44上面，以及利用作为掩膜的光敏抗蚀剂对SiO₂膜44进行选择性的蚀刻，厚度为1微米。实施这一个步骤是为了肯定地开放所有的连接片，用于在后面的用于形成一组小立住和染料存储部分的步骤中连接引出出现在该基片上的电极。

如在图30(沿图37中的断面线ⅩⅩⅩ-ⅩⅩⅩ的所取的断面图)和图37中所示，利用RIE在用作掩膜的特定图形中形成铬膜对SiO2膜44进行选择性蚀刻，以便形成染料存放部分9和一组小立柱4(图上仅表示立柱4)。对于每个加热器5形成一组染料存放部分9和该组小立柱4。这时，连接片46和连接片47用于连接电极的是同时开放的，以便露出铝电极。在图37中，略去了在图30中所示的SiO₂膜44，以及在图30中实线50代表下文要介绍环绕壁。

如在图31(沿图38中断面线ⅩⅩⅪ-ⅩⅩⅪ所取的断面图)和图38中所示的层叠一个厚度约为25微米的干膜(薄膜电阻)以及进行图形加工形成适合于形成染料供应通道间隔壁2的特定形状。

通过在这一步骤中与间隔壁2相似的图形加工可以形成在第二、第三和第四实施例中的侧壁12。通过在这一步骤通过粘可以形成在第八实施例中的间隔壁2A、在第九实施例中的间隔壁2B、以及在第十实施例中的辅助壁15。

如在图32(沿图39中的断面线ⅩⅩⅫ-ⅩⅩⅫ的所取的断面图)和图39中所示，通过按照这样一种方式进行热压连接，即盖3的边沿3a由间隔壁2的边沿2a伸出，形成适于形成墨水供给通道的盖3，该盖3是由分别精确加工的镍膜形成的，厚度约为25微米。

在这一步骤，将在第二实施例中的侧壁12上形成的盖13在侧壁12形成之后安装在侧壁12上。按照这样一种方式，通过热压连接形成在第三-第七实施例中的盖，以便形成孔口或者切缝结构。

因此染料提供分支通道8形成为隧道形，每一个的宽度等于加热器5之间的间隔以及高度约为25微米。这些分支通道8适合于利用毛细管现象按照保证染料7的飞越所需要的足够数量向蒸发部分提供染料。即使对于其中没有设有间隔壁2的染料供应通道，即没有形成分支通道，根据毛细管现象通过利用盖3覆盖基板可以供应染料。

其上整体形成有染料飞越部分6的加热器5、引线导体、染料存放部分9以及分支通道8的基板1然后进行切割形成规定打印头芯片。按照这种方式，制成打印头芯片。

如图42中所示，安装用于根据于图像信息相对应的信号驱动打印机芯片中的每个加热器5的驱动器IC26，以及在有玻璃强化的环氧树脂形成的印刷电路板28上附设铜引线，用于将驱动器IC26连接到连接器30。

在打印头芯片和驱动器IC26之间以及在驱动器IC26和印刷电路板28上的连接器30之间的铜引线利用金引线(直径25微米)通过线连接连接起来。为了保护与驱动器IC26连接的引线，该引线间连接部分利用以JCR(结合涂覆树脂)为基的硅树脂涂覆该树脂然后进行热固化。

如在图42-45中所示，这样制造的打印头芯片以粘接方式连接到基板25上，然后基板25安装盖片32，以便形成打印头。该打印头在图46中所示按照串行模式或者如果在图47中所示按照直线模式使用。

根据在这个实施例中的制造方法，不必明显改变在由本发明人以前提出的上述发明中的制造步骤以及无需复杂的制造步骤就可以制造打印头芯片。

此外，如在图40中所示，与先前提出的发明(公开的日本专利平7-354115相似)，可以按照这样一种方式即环绕染料飞越部分6以及盖3形成由SiO₂(在图30中的实线表示)构成的第二间隔壁50，可以按照这样一种方式，即盖3的盖3a位于在染料飞越部分6的附近方式安装。按照这种结构，利用盖3的盖3a和第二间隔壁50可以形成染料所需的弯液面。

上面已经对本发明的一些实施例进行了详细的介绍，应当理解在不脱离本发明技术构思的前提下可以进行各种代换和变化。

例如，在打印头芯片中装的各个部分的结构、形状和材料以及记录头都可以由在上述实施例中所介绍的那些进行变化。在记录时，需要记录的物体可以移动或者记录以及需要记录的物体两者可以相对运动。

加热器5的形状、材料、和尺寸可以进行各种改变或者加热器5可以按照各部分的组合构成。基板1可以由陶瓷材料例如铝土制成，以及打印头的热特性可以通过加热器、绝热材料以及基板的组合方案进行调节。

形成在染料飞越部分上的小立柱4的高度、平面或者断面形状、密度以及材料可以广泛变化。例如，形成具有与各立柱相对应的图形光敏抗蚀剂(按照负/正变换关系)，以及利用作为掩膜的光敏抗蚀剂通过电解金属例如镍形成立柱。在这种情况下，需要一预形成的导电膜作为涂覆底层。

与通过蚀刻SIO₂膜形成立柱的上述方法相比较，通过电解形成立柱的方法使得能够省去耗时的步骤，例如形成SIO₂膜、形成金属掩膜和蚀刻SIO₂薄膜，因此在短的时间内形成立柱，即改进了批量生产率。

不仅可以按照上述立柱而且还可以按照壁形物、聚集的珠、或者纤维状物构成染料飞越部分的结构。

染料存储部分的数量、点的数量、以及与点的数量相对应的加热器或者染料飞越部分的数量都可以广泛的变化。染料存储部分、加热器和染料飞越部分结构形状和尺寸并不局限于在上述各实施例中所介绍那些。

在各实施例中，对他们的介绍是利用3种基色即红色和黄色和蓝色(还可以添加黑色)的记录染料全色记录实例；然而，本发明可以适用于双色的打印、单色打印或者黑白色打印。

加热器可以由金属或者以金属为主要成分的材料制成。打印头基板可以由具有高导热性的材料例如铝或者陶瓷来制造，以及记录头的热特性可以利用加热器、绝热材料以及的打印头基板材料来调节。

Claims (18)

1．一种记录装置，包含：

记录材料飞越部分，配置在需要记录的物体的对面，用于使记录材料飞越到需要记录的物体，该记录材料通过由间隔壁形成的记录材料供给通道提供到所述记录材料飞越部分上；以及

分别完成的弯液面形成装置，所述装置是这样安装的，即所述装置的在记录材料飞越部分的侧的前端位于与所述间隔壁的边沿相重叠的位置上或者位于在比所述间隔壁中的所述边缘更接近于所述记录材料飞越部分的位置上；

其中所述记录材料的弯液面形成在所述间隔壁的所述边缘和所述记录材料飞越部分之间。

2．根据权利要求1所述的装置，其中所述间隔壁与在所述侧壁

上安装的盖组合形成所述记录材料供给通道，所述间隔壁用

作为所述记录材料供给通道的侧壁；以及

用作所述弯液面形成装置的所述盖延伸到所述记录材料飞越部分的附近。

3．根据权利要求2所述的装置，其中除了所述盖以外，一个分别完成的弯液面形成装置安装在所述盖的对面，所述记录材料飞越部分放置在其间；以及

所述第二弯液面形成装置在所述记录材料飞越部分和所述第二弯液面形成装置之间形成所述记录材料的弯液面。

4．根据权利要求2所述的装置，其中所述盖具有一个在所述记录材料飞越部分上方的开口部分。

5．根据权利要求1所述的装置，其中所述弯液面形成装置形成在所述间隔壁的所述边沿和所述记录材料飞越部分之间。

6．根据权利要求2所述的装置，其中所述用于形成所述记录材料供给通道的间隔壁是分别完成延伸的，所述间隔壁延伸部分的前端位于在比除了所述延伸部份以外的所述间隔壁中的所述的边沿更接近于所述记录材料飞越部分的位置上；以及所述具有所述延伸部分的所述间隔壁安装作为所述弯液面形成装置。

7．根据权利要求1所述的装置，其中所述记录材料飞越部分具有一些不规则的部分用于保存所述记录材料。

8．根据权利要求1所述的装置，其中利用所述间隔壁形成分支通道用作所述记录材料供给通道，该分支通道是由公共记录材料供给通道旁通分流的以及适于朝向所述记录材料飞越部分提供所述记录材料。

9．根据权利要求1所述的装置，其中所述记录材料被加热以便飞越到需要记录的物体上，该需要记录的物体配置在所述记录材料飞越部分的对面，与所述记录材料飞越部分不相接触。

10．一种制造记录装置的方法，该记录装置具有配置在需要记录的物体的对面的记录材料飞越部分，用于使记录材料飞越到需要记录的物体，该记录材料利用由间隔壁形成的记录材料供给通道提供到所述记录材料飞越部分，所述方法包含的步骤有：

形成所述间隔壁；

分别完成弯液面形成装置使其成形，使它的在记录材料飞越部分上的前端位于在与所述间隔壁的边沿相重叠的位置上，或者位于在比所述间隔壁所述边沿更接近于记录材料飞越部分的位置上；以及

按照这样一种方式安装所述弯液面形成装置，以便至少在所述间隔壁的所述边沿和所述记录材料飞越部分之间形成所述记录材料的弯液面。

11．一种根据权利要求10所述的制造记录装置的方法，还包含的步骤有：

利用用作所述记录材料供给通道的所述侧壁的所述间隔壁以及安装在所述侧壁上的盖形成所述记录材料供给通道；以及

按照这样一种方式安装用作所述弯液面形成装置的所述盖，使其延伸到所述记录材料飞越部分的附近。

12．一种根据权利要求11所述的制造记录装置的方法还包含的步骤有：

除了所述盖以外，将分别完成的弯液面形成装置安装到所述盖的对面，使得所述记录材料飞越部分放置在其间；以及

利用所述第二弯液面形成装置在所述记录材料飞越部分和所述第二弯液面形成装置之间形成所述记录材料的弯液面。

13．一种根据权利要求11所述的制造记录装置的方法，还包含的步骤有：将所述具有开口部分的该盖安装在所述记录材料飞越部分上方。

14．一种根据权利要求10所述的制造记录装置的方法，还包含的步骤有：将所述弯液面形成装置安装在所述间隔壁的所述边沿和所述记录材料飞越部分之间。

15．一种根据权利要求10所述的制造记录装置的方法，还包含的步骤有：

按照这样一种方式分别完成用于形成所述记录材料供给通道的所述间隔壁，以便延伸所述间隔壁，即所述间隔壁的延伸部分的前端位于在比除了所述延伸的部分以外的所述间隔壁的所述边沿更接近于所述记录材料飞越部分的位置上；以及

将具有所述延伸部份的所述间隔壁安装作为所述弯液面形成装置。

16．一种根据权利要求10所述的制造记录装置的方法，还包含的步骤有：在所述记录材料飞越部分上形成凹凸的部分用于保存所述记录材料。

17．一种根据权利要求10所述的制造记录装置的方法，还包含的步骤有：通过利用所述间隔壁形成分支通道，用作所述记录材料供给通道，该分支通道由公用的记录材料供给通道旁通分流并且适于向所述记录材料飞越部分提供所述记录材料。

18．一种根据权利要求10所述的制造记录装置的方法，还包含的步骤有：将所述记录材料加热以便使所述记录材料飞越到需要记录的物体上，该需要记录的物体配置在所述记录材料飞越部分的对面，不与所述记录材料飞越部分相接触。

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