CN1223903C - 双面印刷电路板的曝光设备 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及通过印板的双面印刷电路的曝光设备，它包括固定的第一印板支架(10)，活动的第二印板支架(14)，第二支架的垂直移动装置(26，28)和这些运动装置与第二支架的机械连接装置，第一和第二支架具有当它们处于工作位置时易配合的相对定位装置(12，24)。机械连接装置包括：与垂直移动装置(38，40，46，48)连接的第一水平连接面(42，44)；与第二支架连接一体的第二个水平连接面(20，22)；实现第一(42，44)和第二(20，22)水平连接面的基本无摩擦配合的支撑装置(50)；第一和第二连接面的暂时连接可控装置(50)。

Description

双面印刷电路板的曝光设备
技术领域
本发明涉及一种双面印刷电路板的曝光设备。
背景技术
众所周知，在印刷电路板制造过程中，用照相制版确定导电线路时，需要晒印处理步骤。相关设备的用途是通过印板将镀有感光膜或漆的印刷电路板在给定的时间内置于紫外线下，来达到将相应感光膜或漆进行晒印处理。
所用的设备适用于双面印刷电路板，即导电线路应在印刷电路板的绝缘板的两面同时制成。
因此，在这种设备中，需要有印板上托架和印板下托架，在这两个托架之间放置两面待晒印的印刷电路板。在安装待晒印的电路板时，印板上托架应能与印板下托架分开。印板的托架安装在支架上，上托架与一个上支架配合，由它产生上下移动。
上述设备在本申请人的欧洲专利申请EP0618505和EP0807855中作过描述。
当上支架下降到低位置时，该上支架相对下支架的准确定位是通过轴向调整的凸凹锥体来实现。这种运动要求能以5微米的精度重复进行。
当两面待晒印的印刷电路板尺寸较小时，活动的上支架与固定的下支架的凸凹锥体间的配合较容易实现。但当印刷电路的尺寸较大时，此时要求相应的机器本身尺寸要大，为了保证晒印精度，需要上支架有足够的刚度，因此上支架的尺寸也会相应增大，这样上支架的重量就会很大，能达到250千克。在这种情况下，当上支架相对下支架下降时，上、下支架凸凹锥体间配合就会出现一些困难，如由凸凹锥体间的摩擦引起的问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种通过印板的双面印刷电路板的曝光设备，在这种设备里，尽管活动的上支架重量较大，装有印板的上支架和下支架的凸凹锥体之间的配合仍可以轻易实现。
为了达到本发明的目的，一种通过印板的双面印刷电路板的曝光设备包括：
一个机身架；
一个第一印板支架，在一个制造周期中一直相对机身架固定，并限定一个水平安装面；
一个位于第一支架之上的垂直移动装置，包括一个连接到一个垂直移动装置的安装面，垂直移动装置在平行于水平安装面的方向上固定不动；
一个安装到安装面上的第二印板支架，可在所有方向上移动；
多个支撑件，在安装面上垂直支撑第二支架，在第二支架的垂直运动期间，允许第二支架在平行于水平安装面的一个平面内的基本无摩擦的运动；
位于第一支架和第二支架上的对齐特征，每个对齐特征包括一对部件，以匹配关系进行配合，以便当第二支架朝第一支架移动时，将第二支架相对于第一支架在平行于水平安装面的方向上对齐，该对部件的一个第一部件安装到第一支架上，该对部件的一个第二部件安装到第二支架上。
正是支架垂直移动装置与支架本身间的上述连接方式，确保了定位凸凹锥体配合时不会产生大的应力。另外在这些锥体配合完成之后，暂时连接装置又能确保上印板支架与垂直移动装置间的紧固连接。
在无摩擦配合装置与移动装置间，最好插入垂直位移的可控气压装置，使得上支架与垂直移动装置能在垂直方向产生相对位移。这个装置能减轻或减少装有上印板的上支架的表现重量，同时也能起到保证机器操作者安全的作用。这里要提醒的是上支架的整体重量可达到250千克。这种装置也可在上支架与下支架接触时起到减缓的作用，从而减少接触时作用在下支架上的应力。当然当上支架与下支架接触时，上支架需要起码的表现重量来克服在下支架上为形成两支架间真空而设的可充气密封垫的阻力。
根据本发明的其它特征：
—安装面通过致动器连接到垂直移动装置，致动器独立于垂直移动装置垂直地移动安装面；
—致动器包括多个气动致动器，具有固定到垂直移动装置的第一端和固定到支撑水平安装面的一个梁的第二端；
—安装面通过多个铰接连接连接到垂直移动装置；
—安装面通过多个枢轴连接从垂直移动装置进行悬挂；
—多个支撑件的每一个包括一个滚珠支撑；
—所述对齐特征包括定位锥体；
—它还包括一个连接到安装面的锁定机构，当锁定机构启动时，用于阻止第二支架在平行于水平安装面的一个平面上的运动；
—锁定机构包括多个可独立操作的锁定装置，每个锁定装置连到一个支撑件上；
—每个锁定装置包括一个气动缸，气动缸构形成当锁定机构启动时，压缩一个支撑件。
附图说明
本发明的其它特征和优点在阅读了本发明结合附图对非限定的优选实施例的描述以后将更为清楚，其中：
-图1是移动装置与上支架连接的立体示意图。
-图2是曝光机整体的详细剖视示意图。
-图3是图2的局部示意图。
-图4是无摩擦支撑和上支架在移动装置上的锁定的详细示意图。
-图5是气压装置与上支架垂直移动部件配合的详细示意图。
具体实施方式
首先主要参看图1，该图反应了本发明曝光设备的主要特征。
在该图中，下支架由10简化表示，它由定位凸锥12固定。在该图中，上支架由14表示，在它的纵向端点16和18各有一对凸耳20，该凸耳伸出上支架。每个凸耳20的端部22有一个轴向定位凹锥24，这些凹锥与下支架10的凸锥12配合。凹锥24与上支架14固连，当锥体24与12配合时，确保了上支架与下支架10的准确定位。
上支架14通过凸耳20与垂直移动装置连接，更详细地讲，这些移动装置由两个安装在机身架上的减速电机26、28组成，机身架没有在图1中示出。减速电机26、28的输出端通过齿轮30、32与设在上支架14纵向端的支撑板38、40上的齿轨34、36配合。正是减速电机26、28及上述齿轮与齿轨系统，确保了支撑板38、40同步垂直运动。移动装置与上支架14的机械连接件由与支撑板38、40相平行的梁42、44组成。梁42、44通过两个气动致动器46、48与板38、40连接，气动致动器的细节将在随后给出。这些气动致动器能够在梁42、44和支撑板38、40间产生可控相对位移。
上支架14的凸耳20的末端22通过无摩擦支撑和暂时锁定系统50与每个梁42、44连接。换句话说，当暂时锁定装置没开启时，凸耳20、同时上支架14可在水平面内相对于梁42、44，也即相对于上支架14的垂直运动装置自由移动。无摩擦支撑系统50和锁定系统的细节也将在随后给出。
现在来说明晒印设备、至少涉及到上支架14相对于下支架10的定位方面的工作模式。在上支架14开始下降阶段，暂时锁定系统50开启，这样上支架14与它的垂直移动装置紧固连接。当上支架的轴向定位锥24到达下支架10的凸锥12时，系统50的锁定装置关闭，这样在水平面内，上支架14能相对垂直移动装置自由移动。同样在上支架14下降完成后，定位锥实现完全配合，不会在机械系统中产生应力，而且有比较高的定位精度。
需要补充的是在下降阶段，气动致动器46开启可以减轻上支架对移动机械的作用。只有在定位完成时气动致动器46才开启来保证上支架有相对足够的重量。
图2、3是已经在图1中描述过的不同机构的整体示意图。在这些图里特别给出了支承下支架12及支撑板38、40垂直导向部分的整体机器的机身架60。气动致动器46在这些图上也能更具体的显示出，每个致动器里有控制致动器两个平行的连杆64、66位移的唯一主体62。两个连杆64、66的端部通过一种连接系统与梁44相连，这种连接系统将在随后结合图5给予说明。
在图3中也显示了与致动器46相连的压力调节器68。压力调节器68与控制电路70相连，控制电路控制加在致动器上的压力值，减缓上支架的重量，或调节作用在下支架上的压力。
在图4中，详细描述了上支架的凸耳20与梁44间通过无摩擦支撑和锁定系统50的机械连接形式。支撑系统22主要由滚珠72构成，这些滚珠放置在一个框架里，它的构成首先是由设在凸耳20中的一个水平板74、及自由地穿透凸耳20的连杆76与梁44相连的水平板75组成。这样凸耳20可以在一个水平面内相对于梁44做无摩擦自由运动。为了实现上支架14与梁44紧固连接，即实现锁定，设置有一个与凸耳20连为一体的致动器80，它的连杆82的端部由一个与滚珠系统的平板74相对的平板84构成。致动器80开启，板84就对平板74的上表面施加压力，从而使滚珠难以滚动，因此实现了上支架与梁44的紧固连接。
在图5中，给出了与板38连成一体的致动器46的连杆与梁42之间机械连接的一种优选方式。它由与致动器46的连杆下端连为一体的杆90组成。杆90通过一个轴向与梁44平行的铰接件94与梁44连接在一起。

Claims (10)

1.一种通过印板的双面印刷电路板的曝光设备，该设备包括：
一个机身架；
一个第一印板支架，在一个制造周期中一直相对机身架固定，并限定一个水平安装面；
一个位于第一支架之上的垂直移动装置，包括一个连接到一个垂直移动装置的安装面，垂直移动装置在平行于水平安装面的方向上固定不动；
一个安装到安装面上的第二印板支架，可在所有方向上移动；
多个支撑件，在安装面上垂直支撑第二支架，在第二支架的垂直运动期间，允许第二支架在平行于水平安装面的一个平面内的基本无摩擦的运动；
位于第一支架和第二支架上的对齐特征，每个对齐特征包括一对部件，以匹配关系进行配合，以便当第二支架朝第一支架移动时，将第二支架相对于第一支架在平行于水平安装面的方向上对齐，该对部件的一个第一部件安装到第一支架上，该对部件的一个第二部件安装到第二支架上。
2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，安装面通过致动器连接到垂直移动装置，致动器独立于垂直移动装置垂直地移动安装面。
3.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，致动器包括多个气动致动器，具有固定到垂直移动装置的第一端和固定到支撑水平安装面的一个梁的第二端。
4.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，安装面通过多个铰接连接连接到垂直移动装置。
5.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，安装面通过多个枢轴连接从垂直移动装置进行悬挂。
6.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，多个支撑件的每一个包括一个滚珠支撑。
7.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述对齐特征包括定位锥体。
8.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，它还包括一个连接到安装面的锁定机构，当锁定机构启动时，用于阻止第二支架在平行于水平安装面的一个平面上的运动。
9.根据权利要求8所述的设备，其特征在于，锁定机构包括多个可独立操作的锁定装置，每个锁定装置连到一个支撑件上。
10.根据权利要求9所述的设备，其特征在于，每个锁定装置包括一个气动缸，气动缸构形成当锁定机构启动时，压缩一个支撑件。
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3643507B2 (ja) * 1999-09-20 2005-04-27 株式会社東芝 パケット処理装置及びパケット処理方法
TWI410192B (zh) * 2008-02-04 2013-09-21 Chime Ball Technology Co Ltd 印刷電路板雙面曝光架構及雙面曝光方法
ITMI20120652A1 (it) * 2012-04-19 2013-10-20 Caria Riccardo De Metodo ed apparato per la fotopolimerizzazione ed il lavaggio in serie di lastre di stampa digitali per flessografia
JP5997409B1 (ja) * 2016-05-26 2016-09-28 株式会社 ベアック 両面露光装置及び両面露光装置におけるマスクとワークとの位置合わせ方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4827316A (en) * 1988-03-08 1989-05-02 Silas Brown Printing frame
DE3836888A1 (de) * 1988-10-29 1990-05-03 Krause Biagosch Gmbh Kopiergeraet zur belichtung von druckplatten
US5403684A (en) * 1993-08-11 1995-04-04 Cray Research, Inc. PCB tooling apparatus and method for forming patterns in registration on both sides of a substrate
FR2748887B1 (fr) * 1996-05-15 1998-08-21 Automa Tech Sa Installation d'exposition a la lumiere d'une plaque de circuit imprime double face a travers des cliches
FR2748886B1 (fr) * 1996-05-15 1998-08-21 Automa Tech Sa Dispositif de support de cliche pour installation d'exposition a la lumiere d'une piece plane

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