CN1201995A - 显示装置 - Google Patents

Abstract

本发明可以获得利用等离子体放电并具有高清晰度的像素的显示装置。利用等离子体放电的一AC驱动型显示装置具有在一基板上的多个放电保持电极构成的放电保持电极组,以及其上多个地址电极构成的地址电极组。至少在放电保持电极组和由多个放电启动地址电极构成的放电启动地址电极组上形成有电介质层,放电启动地址电极构成地址电极组的一部分。

Description

显示装置

本发明涉及一种利用所谓等离子体放电的AC驱动型的显示装置，如一种AC型等离子体显示板(下称AC型PDP)。

已有AC型PDP用于将电荷聚集到放电保持电极组与地址电极组间的电荷聚集层上以利用高频放电现象导致的放电特性实现显示。该AC型PDP包括呈现放电气体发出的光的颜色，以及通过利用放电产生的紫外线使荧光物质发出可见光。

已知有AC型PDP的各种各样的设置方法。为了降低PDP的厚度，许多PDP采用了相对的前表面玻璃板与后表面玻璃板的边缘密封而放电气体注入密闭空间中的设置。

一放电显示单元通常在条式第一电极组和条式第二电极组的位置处形成。在放电显示单元的周围形成有阻挡肋，以防止在相邻元间出现错误放电和相邻元上出现颜色渗透以及保持板的内外压差和电极间的距离。

下面描述一种彩色AC型PDP。一显示放电电极设置成所谓的平面放电型以使其不位于荧光物质形成的部位。已知的常规彩色AC型PDP包括那些由两相电极和三相电极驱动的。

图1显示了一两相电极彩色AC型PDP的设置。图2是沿图1中的A-A线的该两相电极彩色AC型PDP的剖视图。

图1显示了两相彩色AC型PDP的与一个像素相应的一部分的设置。一PDP1在其矩阵显示单元光发射区中具有显示电极2与地址电极6相对的双电极结构和形成在地址电极6一侧上的荧光物质8。

在显示面一侧上的玻璃基板的前表面上配置有用于平面放电的显示电极2，并由用于AC驱动的电介质层4覆盖以使其不暴露于放电空间中。在电介质层4的表面上与以后将描述的阻挡肋9相应的位置处配置有黑色矩阵5用于设定单元光发射区。

在玻璃基板7的后表面上每隔预定的间距设置有用于可选择地使单元光发射区发光的地址电极6以使其与显示电极2垂直。

在相邻的地址电极6之间的白色电介质层8上配置有用于保持一定的放电空间距离的具有预定宽度的条式阻挡肋9，从而在横向(即，显示电极2延展的方向)上将放电空间分成单元光发射区。在玻璃基板7的后表面上配置有三原色即红、绿、蓝的荧光物质10，以覆盖后表面一侧的内表面(包括地址电极2的上表面和阻挡肋9的侧表面)。将氖或氩与氙混合而得到的彭宁(Penning)气体注入以作为放电气体，通过在放电空间中的激发而发出紫外线用于荧光物质10。

图3显示了一种三相AC型PDP的设置。图4是图3中的三相AC型PDP的沿与地址电极的延展方向平行的B-B线的剖视图。图5是图3中的三相AC型PDP的沿与地址电极的延展方向平行的C-C线的剖视图。

图3是一透视图，显示了三相彩色AC型PDP的与一个像素相应的一部分。一PDP11在其矩阵显示单元光发射区中具有一对显示电极13、13与地址电极18相对的三电极结构并在地址电极18一侧上形成荧光物质21。此三电极彩色AC型PDP称为平面放电型PDP。

在显示面一侧上的玻璃基板12的前表面上配置有用于平面放电的显示电极13、13，并由用于AC驱动的电介质层15覆盖以使其不暴露于放电空间中。在电介质层15的表面上有一层厚度为约几千A的MgO膜以作为电介质层15的保护层16。在显示电极13、13上形成有低电阻的总线电极14、14。

在玻璃基板17的后表面上每隔约200μm的间距设置有用于可选择地使单元光发射区发光的地址电极18以使其与显示电极13、13垂直。

在相邻的地址电极18之间配置有用于保持一定的放电空间距离的具有约100μm宽度的条式阻挡肋20，从而在横向(即，显示电极13、13延展的方向)上将放电空间分成单元光发射区。在玻璃基板17的后表面上配置有荧光物质层21(即，三原色红、绿、蓝的荧光物质21R、21B、21G)，以覆盖后表面一侧的内表面(包括地址电极18的上表面和阻挡肋20的侧表面)。将氖与氙混合而得到的彭宁(Penning)气体注入以作为放电气体，通过在放电空间中的激发而发出紫外线用于荧光物质21R、21B、21G。

与构成显示屏的一像素相应的红(R)、绿(G)和蓝(B)三个单元光发射区具有同样的面积并在横向上设置。一平面放电单元(用于显示的主放电单元)由一对显示电极13、13来确定，而用于选择其是否用于显示的地址放电单元由显示电极13、13中的一个和地址电极18来确定。因此，可以有选择地允许与荧光物质21R、21G和21B(在图4中的横向上连续设置)的各单元光发射区相应的部位发光，从而利用红(R)、绿(G)和蓝(B)的结合实现全彩色显示。

然而，在这样的彩色AC型PDP11中为了获得高清晰度的显示像素，显示电极13、13之间的距离必须设置得较短。与此相连的是，显示电极13、13与地址电极18之间的距离必须设置得和显示电极13、13之间的距离相同。此时，如果显示电极13、13之间的距离不超过20μm而形成的荧光物质层21具有20-40μm的厚度，则没有空间留给等离子体放电空间22而在电极间可能出现有害的击穿。即使能保证等离子体放电空间22的空间，荧光物质层21也只能在有限的部位上形成。另外，如果减少荧光物质层21，则发光度降低而且荧光物质层21会受到离子的冲撞而损坏。

考虑到上述方面，本发明的一个目的在于提供一种显示装置，该装置中即使电极间的距离设置得较短，也能够保证等离子体放电空间并使得荧光物质不受损坏。

本发明的另一个目的在于提供一种高清晰度的显示装置。

根据本发明的一个方面，显示装置是利用等离子体放电的AC驱动型显示装置。在同一基板上形成有放电保持电极组和地址电极组。

根据本发明的显示装置，由于放电保持电极组和地址电极组形成在同一基板上，即使放电保持电极与地址电极间的距离变小，仍然可以通过阻挡肋保持足够的等离子体放电空间。从而，能够获得高清晰度的显示像素。

如果在基板的另一面上的荧光物质层被等离子体产生的紫外线激励而发光，则能够保持等离子体产生的足够紫外线，而荧光物质层能够发出高亮度的光。另外，由于荧光物质层能够置于等离子体之外而避免与等离子体接触，因此可以防止荧光物质受到等离子体的冲撞的损坏。

由于地址电极组和放电保持电极组在同一基板上形成，因此在形成电极的过程中可以实现电极间的精确定位关系，从而，在密封电极侧的基板和与其相对的基板的过程中，定位的容差和空间距变大，方便密封过程。从而，提高效率，致使生产成本降低。

图1显示了一AC型两相电极PDP的主要部分的设置。

图2是沿图1中的A-A线的该PDP的剖视图。

图3显示了一AC型三相电极PDP的主要部分的设置。

图4是沿图3中的B-B线的该PDP的剖视图。

图5是沿图3中的C-C线的该PDP的剖视图。

图6显示了根据本发明的第一实施例的一显示装置的设置。

图7是一剖视图，显示了根据本发明的第一实施例的显示装置的设置。

图8是一平面图，显示了根据本发明的第一实施例的显示装置的电极结构。

图9是沿图8中的D-D线的根据本发明的第一实施例的显示装置的剖视图。

图10是一平面图，用于解释放电保持电极与放电启动地址电极间的距离。

图11A和11B用于解释放电电极间的距离与绝缘层的厚度之间的关系。

图12是一透视图，显示了根据本发明的第一实施例的荧光物质表面的结构。

图13是一平面图，显示了根据本发明的第一实施例的一像素的放电区。

图14A和14B显示了制造根据本发明的第一实施例的显示装置的电极基板的过程，其中图14A是平面图，图14B是沿图14A中的E-E线的剖视图。

图15A和15B显示了制造根据本发明的第一实施例的显示装置的电极基板的过程，其中图15A是平面图，图15B是沿图15A中的E-E线的剖视图。

图16A和16B显示了制造根据本发明的第一实施例的显示装置的电极基板的过程，其中图16A是平面图，图16B是沿图16A中的E-E线的剖视图。

图17A和17B显示了制造根据本发明的第一实施例的显示装置的电极基板的过程，其中图17A是平面图，图17B是沿图17A中的E-E线的剖视图。

图18A和18B显示了制造根据本发明的第一实施例的显示装置的电极基板的过程，其中图18A是平面图，图18B是沿图18A中的E-E线的剖视图。

图19A和19B显示了制造根据本发明的第一实施例的显示装置的电极基板的过程，其中图19A是平面图，图19B是沿图19A中的E-E线的剖视图。

图20是一透视图，显示了根据本发明的第一实施例的总线电极的设置。

图21显示了根据本发明的第二实施例的一显示装置的设置。

图22A-22C显示了制造根据本发明的第二实施例的图21中所示显示装置的电极基板的过程，其中图22A是平面图，图22B是沿图22A中的F-F线的剖视图，图22C是沿图22A中的G-G线的剖视图。

图23A-23C显示了制造根据本发明的第二实施例的图21中所示显示装置的电极基板的过程，其中图23A是平面图，图23B是沿图23A中的F-F线的剖视图，图23C是沿图23A中的G-G线的剖视图。

图24A-24C显示了制造根据本发明的第二实施例的图21中所示显示装置的电极基板的过程，其中图24A是平面图，图24B是沿图24A中的F-F线的剖视图，图24C是沿图24A中的G-G线的剖视图。

图25A和25B显示了制造图21中所示的根据本发明的第二实施例的显示装置的过程。

图26是根据本发明的第三实施例的显示装置的荧光物质基板的主要部分的透视图。

图27显示了根据本发明的第三实施例的显示装置的主要部分。

图28显示了根据本发明的第四实施例的显示装置的主要部分。

图29A-29C显示了制造根据本发明的第五实施例的显示装置的电极基板的过程，其中图29A是平面图，图29B是沿图29A中的H-H线的剖视图，图29C是沿图29A中的I-I线的剖视图。

图30A-30C显示了制造根据本发明的第五实施例的如图29A-29C中所示显示装置的电极基板的过程，其中图30A是平面图，图30B是沿图30A中的H-H线的剖视图，图30C是沿图30A中的I-I线的剖视图。

图31A-31C显示了制造根据本发明的第五实施例的如图29A-29C中所示显示装置的电极基板的过程，其中图31A是平面图，图31B是沿图31A中的H-H线的剖视图，图31C是沿图31A中的I-I线的剖视图。

图32A-32C显示了制造根据本发明的第五实施例的如图29A-29C中所示显示装置的电极基板的过程，其中图32A是平面图，图32B是沿图32A中的H-H线的剖视图，图32C是沿图32A中的I-I线的剖视图。

图33A和33B分别是根据本发明的第五实施例的显示装置的平面图和部分剖开的侧视图。

图34A-34D显示了制造根据本发明的第六实施例的显示装置的电极基板的过程，其中图34A是平面图，图34B是沿图34A中的J-J线的剖视图，图34C是沿图34A中的K-K线的剖视图，图34D是沿图34A中的L-L线的剖视图。

图35A-35D显示了制造根据本发明的第六实施例的如图34A-34D中所示显示装置的电极基板的过程，其中图35A是平面图，图35B是沿图35A中的J-J线的剖视图，图35C是沿图35A中的K-K线的剖视图，图35D是沿图35A中的L-L线的剖视图。

图36A-36D显示了制造根据本发明的第六实施例的如图34A-34D中所示显示装置的电极基板的过程，其中图36A是平面图，图36B是沿图36A中的J-J线的剖视图，图36C是沿图36A中的K-K线的剖视图，图36D是沿图36A中的L-L线的剖视图。

图37A-37D显示了制造根据本发明的第六实施例的如图34A-34D中所示显示装置的电极基板的过程，其中图37A是平面图，图37B是沿图37A中的J-J线的剖视图，图37C是沿图37A中的K-K线的剖视图，图37D是沿图37A中的L-L线的剖视图。

图38A和38B分别是根据本发明的第六实施例的显示装置的平面图和部分剖开的侧视图。

图39A和39B显示了制造根据本发明的第七实施例的显示装置的电极基板的过程，其中图39A是平面图，图39B是沿图39A中的M-M线的剖视图。

图40A和40B显示了制造根据本发明的第七实施例的如图39A和39B中所示显示装置的电极基板的过程，其中图40A是平面图，图40B是沿图40A中的N-N线的剖视图。

图41A和41B显示了制造根据本发明的第七实施例的如图39A和39B中所示显示装置的电极基板的过程，其中图41A是平面图，图41B是沿图41A中的N-N线的剖视图。

图42显示了根据本发明的第七实施例的显示装置的主要部分的设置。

根据本发明的显示装置是利用等离子体放电的AC驱动型显示装置。由多个放电保持电极构成的放电保持电极组和由多个地址电极构成的地址电极组形成在同一基板上。至少在放电保持电极组和放电启动地址电极组上形成有电介质层，该放电启动地址电极组由多个放电启动地址电极构成并作为地址电极组的一部分。

通过利用等离子体放电产生的紫外线而发光的荧光物质层可以在与上述基板相对的另一基板上形成。

放电保持电极组和地址电极组设置成相互交叉，在放电保持电极组和地址电极组之间形成有绝缘层。

此绝缘层可以通过延展上述电介质层来形成或独立于上述电介质层而形成。

放电保持电极和放电启动地址电极能够形成在同一表面上，地址电极和放电启动地址电极通过地址电极下的绝缘层上设置的孔相互连接。

放电保持电极和放电启动地址电极能够形成在同一表面上，地址电极经地址电极与放电保持电极间的绝缘层与放电启动地址电极相交，而各地址电极的延展部分沿绝缘层的侧表面直接与放电启动地址电极相连。

在此情形下，可以在放电保持电极组、放电启动地址电极组和地址电极组的整个表面上形成电介质层。

根据本发明，放电保持电极和放电保持电极的端部由绝缘膜直接覆盖。在此情形下，可以在放电保持电极和放电启动地址电极上分别形成电介质层。

放电保持电极及其端部以及作为地址电极的一部分的放电启动地址电极可以用绝缘膜覆盖。

在此设置中，可以采用绝缘膜作为电介质层。当绝缘膜用作电介质层时，可以在绝缘膜上形成MgO膜以作保护膜。不言而喻，电介质层可以在整个表面包括绝缘膜上单独形成。

绝缘膜的厚度可以设置在10μm-100μm的范围里。

根据本发明，地址电极组经绝缘层与放电保持电极组相交，而放电启动地址电极组可以同时连续形成。

在此显示装置中，可以形成绝缘膜以覆盖放电保持电极组或基板的整个表面，包括放电保持电极组、与放电保持电极组相交的地址电极组以及连续同时形成的放电启动地址电极组。

在此情形下，地址电极组可以经过一绝缘层在绝缘膜上形成。

在另一基板那侧上形成有一反射膜，从而改善从此基板这侧观看时显示的光的亮度。

例如，反射膜可以形成在另一基板与荧光物质层之间。

在此基板这侧上形成有一反射膜，从而改善从另一基板那侧观看时显示的光的亮度。

例如，放电保持电极组、放电启动地址电极组和地址电极组可以经反射膜和绝缘膜形成在此基板上。

高反射率的材料如铝(Al)、镍(Ni)、银(Ag)、其它金属膜或类似物可用作反射膜。

根据本发明，可以将此基板这侧上的放电启动地址在各放电区中形成，而阻挡肋在另一基板上形成以在相邻阻挡肋间构成荧光物质层，而此基板和另一基板密封使得阻挡肋和地址电极各自相互对应。

放电保持电极组的第一和第二放电保持电极对之间的距离可以设置成50μm或更小，或30μm或更小，例如5μm-20μm，还可以设置到5μm或更小，或1μm或更小。

放电保持电极组的第一和第二放电保持电极对之间的距离以及放电启动地址电极和放电保持电极(即，放电保持电极对之一)之间的距离可以设置成基本相同，即设置成相同或大致相同。

放电启动地址电极和放电保持电极(即，放电保持电极对之一)之间的距离可以在放电保持电极组的第一和第二放电保持电极对之间的距离的±30％的范围内设置。

例如，如果放电启动电压选择为培斯陈(Paschen)曲线的最小值，则放电保持电极组的第一和第二放电保持电极对之间的距离以及放电保持电极和放电启动地址电极之间的距离可以在上述选定的电极间的距离的±百分之几十的允许范围内增减。即使放电启动电压未设置为培斯陈(Paschen)曲线的最小值，电极间的上述两个距离也可以在上述选定的电极间的距离的±30％范围内。

He、Ne、Ar、Xe和Kr的一种或多种气体可以注入通过密封此基板和另一基板形成的密闭空间中，即放电空间中，使得注入的气体的气压为0.8～3.0个大气压。

放电启动地址电极可以形成为L型。

在除地址电极外的放电启动地址电极和放电保持电极上的电介质层的表面上可以形成镁氧化物层以作为保护膜和用于降低功函数。

优选地将放电保持电极和放电启动地址电极上的电介质层的厚度设置得小于电极间的距离，即第一和第二放电保持电极对间的距离和放电保持电极对之一与放电启动地址电极间的距离。

放电保持电极可以用透明导电膜或AL、Cr、Au或Ag金属膜、具有Al/Cr的双层结构的金属膜、具有Cr/Al/Cr的三层结构的金属膜等来构成。如果放电启动地址电极组与放电保持电极组同时形成，则放电启动地址电极组可以用与放电保持电极组同样的材料来形成。地址电极组可以用金属材料如Al、Au等来形成。

根据本发明的显示装置可以用于彩色显示装置和单色显示装置。

在彩色显示装置中，一个像素由单元发射区(即，所谓的点)的结合而成以用于红、绿和蓝。在单色显示装置中，一个像素由一单元发射区(即，所谓的点)构成。

根据本发明的显示装置可以用于彩色显示装置和单色显示装置。

在彩色显示装置中，红、绿和蓝单元发射区(即，所谓的点)的一个集合构成一个像素。在单色显示装置中，一个单元发射区(即，所谓的点)构成一个像素。

图6-8显示了根据本发明的第一实施例的显示装置。在此第一实施例中，本发明用于一彩色AC型PDP。

显示装置31具有所谓的电极基板33，该电极基板33由作为此基板的第一基板例如下表面玻璃基板32、形成在其上的多个条式放电保持电极I(I1，I2，...，Im)组成的所谓放电保持电极组、多个地址电极J(J1，J2，...，Jn)组成的地址电极组、以及多个放电启动地址电极JA(J11，...，Jn1，J12，...，Jn2，J1m，...，Jnm)组成的放电启动地址电极组构成。显示装置31具有与电极基板33相对的所谓荧光物质基板36，该荧光物质基板36由作为另一基板的第二基板例如上表面玻璃基板34和设置在其上的荧光物质层35构成。显示装置31通过密封电极基板33和荧光物质基板36而形成。

如图8中所示，放电保持电极组这样设置，使得放电保持电极对I1和I2，I3和I4，...，Im-1和Im的每对电极在放电开始形成后保持放电。

地址电极组中的每个地址电极J1，...，Jn是用于指定显示地址的电极，该电极在放电保持电极I(I1，I2，...，Im)的纵向上以预定的间隔设置从而与放电保持电极组相交。

放电启动地址电极组中的每个放电启动地址电极JA(J11，...，Jnm)是用于启动其本身与放电保持电极对(I1和I2)，(I3和I4)，...，(Im-1和Im)中的一个电极例如I2，I4，...，Im之间的放电的电极，并设置得与各单元光发射区相应。

每个放电启动地址电极J11，...，Jnm由与放电保持电极I平行的一部分和沿地址电极J设置的另一部分构成，而成为L型。

放电保持电极I1，I2，...，Im和放电启动地址电极J11，...，Jnm形成在下表面玻璃基板32的同一表面上，在放电保持电极I1，I2，...，Im和放电启动地址电极J11，...，Jnm上形成有电介质层37。

地址电极J1，...，Jn形成在电介质层37上以平置于放电启动地址电极J11，...，Jnm的一部分上，并与放电保持电极I1，I2，...，Im正交，例如。

配置于条式地址电极J1，...，Jn下的电介质层37用作所谓的绝缘层。由电介质层37形成的绝缘层将地址电极J1，...，Jn与放电启动地址电极J11，...，Jnm之间绝缘以防止其短路。

如图8和9中所示，每个地址电极J1，...，Jn经一接触孔39与每一列放电启动地址电极J11，...，Jnm相连，该接触孔39设置在地址电极J1，...，Jn与放电启动地址电极J11，...，Jnm相交的每一部位处的电介质层37形成的绝缘层上。特别地，放电启动地址电极J11，J12，...，J1m与公共地址电极J1相连，放电启动地址电极J21，J22，...，J2m与公共地址电极J2相连，而放电启动地址电极Jn1，Jn2，...，Jnm与公共地址电极Jn相连。

每个放电保持电极I1，I2，I3，I4，...，Im-1，Im和放电启动地址电极J11，J21，...，Jn1，...，Jnm可以用期望的导电膜例如下面将描述的透明膜如ITO膜来形成。在此情形下，由于ITO膜具有较高的电阻值，为了降低电阻值，放电保持电极I1，I2，I3，I4，...，Im-1，Im和放电启动地址电极J11，J21，...，Jn1，...，Jnm分别在与总线电极K1，K2，K3，K4，...，Km相应的放电保持电极I1，I2，I3，I4，...，Im上和与总线电极K11，K21，...，Kn1，...，Knm相应的放电启动地址电极J11，J21，...，Jn1，...，Jnm上形成以降低电阻值。

由于地址电极J1，J2，J3，...，Jn是用金属材料如银或类似物制成而具有较低的电阻值，因此在地址电极J1，J2，J3，...，Jn上不没置总线电极。

另外，在整个表面包括地址电极J1，J2，J3，...，Jn上形成有电介质层40。用于降低放电启动电压的镁氧化物(MgO)膜41在电介质层40的表面上形成以作为保护膜。在此情形下，为了防止镁氧化物层41向地址电极J1，J2，J3，...，Jn放电，镁氧化物层41只在除条式地址电极J1，...，Jn外的电介质层40上形成。

虽然未显示，考虑到电介质层的厚度的降低，在没有电介质层40形成的条式地址电极J1，J2，J3，...，Jn上可形成绝缘层，镁氧化物层41形成在电介质层37的表面上。

如图10中所示，放电保持电极对间的距离d1以及一个放电保持电极和与其相对的放电启动地址电极间的距离d2设置得基本相同(即，设置为相同或大致相同)。

图10中显示了放电保持电极对I1和I2间的距离d1以及一个放电保持电极I2和与其相对的放电启动地址电极J11间的距离d2，其它单元发射区中放电保持电极对间的距离d1以及其它单元发射区中一个放电保持电极和与其相对的放电启动地址电极间的距离d2在类似的条件下设置。

放电保持电极对中的一个和放电启动地址电极间的距离d2可以在放电保持电极对间的距离d1的±30％的范围内设置。

在此情形下，如下面的方程式(1)所述，根据培斯陈(Paschen)定律，下面将描述的所注入的气体的压力必须设置得使所注入气体的压力P与放电电极间的距离d的积为常数。

Pd＝常数值    ...(1)

如果所注入气体的压力P为常数，则距离d2可以在通过培斯陈(Paschen)曲线的最小值确定的距离的±30％的范围内设置。

如果放电启动电压选择为培斯陈(Paschen)曲线的最小值，则电极间的距离d1以及电极间距离d2可以在上述选定的距离d的±百分之几十的允许范围内设置。即使放电启动电压未设置为培斯陈(Paschen)曲线的最小值，电极间的距离d1和电极间的距离d2也可以在上述选定的距离d的约±30％范围内设置。

放电保持电极对I1和I2，I3和I4，...，Im-1和Im的每对电极间的距离d1可以设置为50μm或更小，例如5μm-20μm，还可以设置到5μm或更小，或1μm或更小。距离d2根据距离d1的值来确定。

作为电介质层的膜即电介质层37和40以及MgO膜41的总的膜厚度t1可以设置得较形成在同一表面上的放电保持电极对间的距离d1以及较形成在同一表面上的放电启动地址电极与放电保持电极对的一个电极间的距离d2为小。

特别地，如图11A中所示，当在基板51上形成放电电极对52、53而电介质层54形成在放电电极52和53上时，如果放电电极52和53间的距离是d，放电电极52和53上的电介质层54的厚度是t，并满足2t＜d，则放电电极52和53之间的放电在电介质层54上产生。

如图11B中所示，如果电介质层54的厚度较大并满足2t＞d，则放电电极52和53之间的放电在电介质层54中产生，而导致放电电极52和53之间击穿。从而，在此实施例中，电介质层37和40以及MgO膜41的总的膜厚度t1设置得小于距离d1和d2，即设置得满足2t1＜d2和2t1＜d1。

如图7和图12中所示，在作为第二基板的上表面玻璃基板34上整体形成有多个条式阻挡肋56以分隔各相邻的单元发射区列。荧光物质层35涂覆于相邻的肋56之间。特别地，用于红色(R)的荧光物质层35R、用于绿色(G)的荧光物质层35G和用于蓝色(B)的荧光物质层35B重复地形成。如图7和13中所示，阻挡肋这样形成以使其宽度大于各地址电极J1，...，Jn的宽度。

具有上表面玻璃基板34和形成在其上的荧光物质层35的荧光物质基板36与具有形成在下表面玻璃基板32上的放电保持电极组、地址电极组和放电启动地址电极组的电极基板33通过定位于电极基板33的地址电极J1，J2，...，Jn上的荧光物质基板36的各阻挡肋56来密封。所需的气体注入荧光物质基板36与电极基板33形成的密闭空间中，即内部放电空间中。

可以采用He、Ne、Ar、Xe、Kr中的一种或多种气体作为注入的气体。主要采用由Ar/Xe混合成的气体或类似物来构成彭宁气体。等离子体放电产生的紫外线激励RGB荧光物质层35R、35G和35B，从而RGB荧光物质层35R、35G和35B发出各自颜色的光。

阻挡肋56可以具有黑色的表面以改善显示时的对比度。

图13显示了由红(R)、绿(G)、蓝(B)三色单元放电区构成的一个像素的彩色放电区。

下面描述上述显示装置31的操作。例如，当用于支持放电的放电支持电压施加到放电保持电极对I1和I2之间，而用于启动放电的比放电支持电压高的放电启动电压经地址电极J1施加到放电保持电极I2和放电启动地址电极J11之间时，放电保持电极I2和放电启动地址电极J11之间的放电开始，此后放电保持电极对I1和I2之间的放电被保持。放电保持电极I1和I2之间的放电产生等离子体，然后等离子体产生的紫外线激励荧光物质层35(35R，35G，35B)的相应部位，从而该部位发光。相应地，当放电启动电压有选择地相继施加到地址电极J1，J2，...，Jn上而放电支持电压相继施加到放电保持电极对I1和I2，I3和I4，...，Im-1和Im上时，可以获得期望的彩色显示。

特别地，等离子体放电产生的紫外线照射到一像素的发射区中相邻阻挡肋56之间设置的用于红(R)、绿(G)、蓝(B)的三色荧光物质层35R、35G、35B上，从而荧光物质层35R、35G、35B发出相应颜色的光。因此，实现彩色显示。

用于使预定地址位置处的像素发光的脉冲施加到地址电极J1，...，Jn上，使得此位置处的像素的放电启动地址电极J11，...，Jnm与一个放电保持电极I2，I4，...，Im之间的放电开始。

显示装置31产生的显示可以从电极基板33一侧或荧光物质基板36一侧来观看。相应地，至少进行观看那一侧的基板是透明基板。

当从电极基板33一侧观看显示时，需要用透明导电膜来形成放电保持电极I1，I2，...，In和放电启动地址电极J11，J12，...，Jnm。而荧光物质基板36一侧的基板34不需要用透明基板构成。为了获得更满意的亮度，优选地使开口部位尽可能地大。

当从荧光物质基板36一侧观看显示时，基板34由透明基板构成。而电极基板33一侧的基板32不需要由透明基板构成。优选地，放电保持电极I1，I2，...，In和放电启动地址电极J11，J12，...，Jnm用金属如铝或类似物构成，而具有低电阻并反光以降低电阻值并获得满意的亮度。

下面通过例子来描述制造上述显示装置的方法。

图14-19显示了制造电极基板33的过程。

如图14A和14B中所示，一透明导电膜58如ITO(In₂O₃/SnO₂)、锡氧化物膜(SnO₂)或类似物，在此实施例中是ITO膜置于第一基板如玻璃基板32的一个表面上。

如图15A和15B中所示，对透明导电膜58制作布线图案，从而形成各放电保持电极对I1和I2，I3和I4，...，Im-1和Im，以及放电启动地址电极J11，J12，...，Jnm。

由透明导电膜58形成的上述放电保持电极I1和I2，I3和I4，...，Im-1和Im以及放电启动地址电极J11，J12，...，Jnm是通过下面的蚀刻方法或剥离方法形成。(1)通过蚀刻方法形成电极的过程包括

(i)将由透明导电膜58构成的ITO膜形成到玻璃基板32的一整个表面上

(通常不用SnO₂膜，因其很难蚀刻)，

(ii)用抗蚀剂在ITO膜上形成电极的负图案，

(iii)通过使用盐酸或类似物进行的蚀刻过程，去掉未被抗蚀剂覆盖部分的

ITO膜。(2)通过剥离方法形成电极的过程包括

(i)用抗蚀剂在ITO膜上形成电极的负图案，

(ii)通过溅镀、蒸发或类似方法在玻璃基板32的一整个表面上形成ITO

膜，包括抗蚀剂的负图案上的部位，以及

(iii)通过抗蚀剂剥离试剂去掉抗蚀剂及其上的ITO膜。

如图16A和16B所示，在放电保持电极I1，I2，...，Im和放电启动地址电极J11，J12，...，Jnm上形成有用于降低这些电极的电阻值的低电阻总线电极K(K1，...，Km，K11，...，Knm)。

总线电极K(K1，...，Km，K11，...，Knm)可以用低电阻的金属形成条状并具有较那些放电保持电极I1，I2，...，Im和放电启动地址电极J11，J12，...，Jnm小的宽度，或可以类似地使用导电糊通过丝网印刷形成。当总线电极K(K1，...，Km，K11，...，Knm)通过丝网印刷形成时使用的导电糊是用银(Ag)、银-钯(Ag-Pd)、镍(Ni)或类似物制成的。

图20显示了形成有总线电极K(K1，...，Km，K11，...，Knm)的图案。总线电极K(K1，...，Km，K11，...，Knm)通过纵向叠加在放电保持电极I和放电启动地址电极JA的一侧端部或中部(在电极的宽度方向上)而形成。可以采用银Ag或具有铜Cu/铬Cr/铜Cu三层结构的材料作为总线电极K的材料。

如图17A和17B中所示，电介质层37形成在基板32上和放电保持电极I1，I2，...，Im-1，Im和放电启动地址电极J11，...，Jnm上以及除端部之外的部分区域上。

与放电启动地址电极J11，J21，...，Jn1，...，Jnm相应的位置处具有开口的抗蚀剂膜置于整个表面包括电介质层37的表面上。平均颗粒尺寸为20-30μm的碳酸钙通过喷沙法用高压注入抗蚀剂膜，从而接触孔59形成在与放电启动地址电极J11，J21，...，Jn1，...，Jnm相应的位置处。

电介质层37可以用玻璃糊形成。电介质层37必须用尽可能透明和具有高介电常数以及考虑到对高电压的电阻还可防止轻易产生气泡的材料来形成。

如图18A和18B所示，地址电极J1，...，Jn形成在电介质层37上以部分地插入接触孔59。同时，当地址电极J1，...，Jn形成时，地址电极J1，...，Jn经接触孔59与相应的放电启动地址电极J11，J21，...，Jn1，...，Jnm相连。地址电极J1，...，Jn可以通过Al的蒸发或采用上述总线电极K形成时所用各种导电糊来印刷而形成。或者，地址电极J1，...，Jn可以用感光银糊形成。在此情形下，由于地址电极J1，...，Jn具有低电阻，不需要设置总线电极。

如图19A和19B中所示，电介质层40形成在整个表面包括地址电极J1，...，Jn的表面上。电介质层40可以用类似于用于电介质层37的玻璃糊来形成。镁的氧化物(MgO)膜41置于电介质层40的表面上。

虽然未显示，MgO膜41可以形成在除与地址电极J1，...，Jn相应的部位外的电介质层40上。

从而制成电极基板33。

荧光物质基板36的制造如下。

通过丝网印刷或喷沙在第二基板如玻璃基板34上形成有玻璃糊的条式阻挡肋56。阻挡肋56在纵向上分隔放电保持电极I的单元发射区，从而防止相邻单元发射区之间的相互干扰并保持其间的绝缘。阻挡肋56通过在第一基板32与第二基板34间保持一定的间隔而保证等离子体放电空间。阻挡肋56必须高精度地处理。

在相邻的阻挡肋56之间通过涂覆形成相应的红(R)、绿(G)和蓝(B)荧光物质层35R、35G、35B。可以采用商业上可得到的在受到等离子体放电产生的紫外线激励下发光的PDP荧光物质作为荧光物质材料。

从而，制成荧光物质基板36。

这样制成的电极基板33和荧光物质基板36这样定位使得荧光物质基板36的各阻挡肋56与地址电极J1，...，Jn的位置匹配，并且其周边除端部外密闭。在密闭的空间中在放电空间中产生真空，然后放电气体如上述彭宁气体或类似物注入其中并实现削去过程。然后，获得所要的显示装置31。

根据上述显示装置31，由于放电保持电极组I(I1，I2，...，Im)、放电启动地址电极组JA(J11，...，Jnm)和地址电极组J(J1，J2，...，Jn)形成在同一基板即第一基板32上，而荧光物质层35形成在与第一基板32相对的第二基板34上，即使放电保持电极对I1和I2，I3和I4，...，Im-1和Im的每对电极间的距离d1和放电保持电极I2，I4，，...，Im中的一个与放电启动地址电极J11，...，Jnm间的距离d2变得更小，也能通过形成在基板34侧上的阻挡肋56保证等离子体放电空间。特别地，由于荧光物质层35可以在远离等离子体的位置形成，可以防止放电产生的等离子体与荧光物质层35接触。结果，防止等离子体中的带电粒子冲撞荧光物质层35而防止荧光物质层35被损坏。因此，可以获得非常薄的高清晰度等离子体显示装置。

由于放电保持电极对I和放电启动地址电极JA通过蚀刻或削去法在第一基板32的同一表面上用同样的导电膜同时形成，因此放电保持电极对I间的距离d1和放电启动地址电极JA与一放电保持电极I间的距离d2可以精确地设定。

放电保持电极I、地址电极J和构成地址电极J的一部分的放电启动地址电极JA形成在第一基板32一侧，阻挡肋56和荧光物质层35形成在第二基板34一侧，然后密封基板32和34从而构成显示装置31。可以精确地设定电极间的位置关系。在其密封时可以定位基板32和34。空间间隔的容差可以设置得较大，而便于电极的形成过程、密封过程等。从而，显示装置31的生产率改善，制造成本可以降低。

特别地，由于各放电保持电极对I和放电启动地址电极JA通过制作布线图案用同样的导电膜形成并且电极间的距离d1和d2可以精确地设置，因此，可以防止由于电极基板33和荧光物质基板36装配中的误差引起的光(放电产生的)的发射的波动。

特别地，如果电极基板33和荧光物质基板36装配成荧光物质基板36与电极基板33倾斜而在单元发射区中电极与荧光物质层间的间隔不是常数，则电极间的距离d1和d2在各单元发射区中设置为常数并且发射条件可以一致设定。另外，在密闭气体中紫外光的透射率是令人满意的。从而，没有不均匀的发光亮度，在整个显示区域上可以发出均匀亮度的光。因此，显示装置31具有易于制造的实际优点。

由于MgO膜41用于降低功函数，如果MgO膜41形成在电介质层40的表面上则放电变得容易，另外可以降低放电电压。当在显示装置31中MgO膜41只形成在除条式地址电极J1，...，Jn外的放电保持电极I1，...，Im和放电启动地址电极J11，...，Jnm上的电介质层40的表面上，则使得放电启动地址电极J11，...，Jnm与放电保持电极I2，I4，...，Im间的放电以及放电保持电极对I1与I2，I3与I4，...，Im-1与Im间的放电变得容易，同时使得在条式地址电极J与放电保持电极I间产生放电变得困难。从而，可以防止相互干扰。

由于各距离d1和d2可以设置得较小，即可以设置到50μm或更小，或30μm或更小，例如，5μm-20μm甚至5μm或更小，以及1μm或更小，因此可以获得高清晰度的显示装置。

如果各距离d1和d2可以设置得较小，即可以设置到50μm或更小，例如，5μm-20μm甚至5μm或更小，以及1μm或更小，而注入的气体的压力设置得较大而在0.8～3.0个大气压的范围内，则可以产生大量的紫外线，使得荧光物质层35发出很亮的光。

如果放电保持电极I与放电启动地址电极JA间的距离d2设置在放电保持电极对间的距离d1的±30％的范围内，则相应于距离d2放电启动电压可以平滑而缓慢地改变，从而改善驱动条件设置中的自由度。

如果电极间的距离d1和d2均设置在±百分之几十或±30％的范围内，则可以抑制放电电压的波动。从而，当制造显示装置31时，形成放电保持电极I1，...，Im和放电启动地址电极J11，...，Jnm可以有一些容差。

当放电启动地址电极J11，...，Jnm形成L型时，可以保证其与各放电保持电极I2，I4，...，Im相对的部位的足够电极长度，而便于放电保持电极I2，I4，...，Im与其之间的放电开始。

除了上述优点外，放电启动地址电极J11，...，Jnm与地址电极J1，...，Jn可以容易地相互连接。特别地，由于放电启动地址电极J11，...，Jnm是L型，在地址电极J1，...，Jn的纵向上接触孔59的定位容差便于放电启动地址电极J11，...，Jnm与地址电极J1，...，Jn之间的连接和电极的装配。

由于地址电极J1，...，Jn经电介质层37构成的绝缘层形成在放电保持电极I1，...，Im上，放电保持电极I1，...，Im与地址电极J1，...，Jn相互间可靠地绝缘，从而防止电极间短路。另外，由于接触孔59经绝缘层设置在地址电极J1，...，Jn下，而地址电极J1，...，Jn与放电启动地址电极J11，...，Jnm经接触孔59相互连接，因此，可以利用简单的结构整体形成地址电极J1，...，Jn和放电启动地址电极J11，...，Jnm而不减少单元发射区的开口区域。

由于放电保持电极I1，...，Im和放电启动地址电极J11，...，Jnm上的电介质层即电介质层37、40和MgO膜41的总厚度t1设置得小于电极间的距离d1和d2，因此，可以在电介质层上产生放电。特别地，防止在电介质层37、40、41中产生放电，从而可以在电介质层上产生放电，而不会出现放电保持电极对间或放电保持电极与放电启动地址电极间的绝缘的击穿。

由于第二基板34一侧上的阻挡肋56配置在与第一基板32一侧上的地址电极J1，...，Jn相应的位置处，并且阻挡肋56的宽度大于各地址电极J1，...，Jn的宽度，因此单元发射区的开口可以设置得较大而几乎不产生直接到地址电极J1，...，Jn的放电，从而防止相互干扰。阻挡肋56使得放电空间得到足够的保证。

由于放电保持电极对间的距离d1和一个放电保持电极与放电启动地址电极间的距离d2设置得基本相同，在施加一高电压启动放电启动地址电极J11，...，Jnm与放电保持电极I2，I4，...，Im间的放电之后，可以用相对较低的电压保持放电保持电极对间的放电，从而利用放电产生的发光得到满意的显示。

由于等离子体放电空间可以通过具有阻挡肋56和与电极基板33相对的荧光物质层35的电极基板33和荧光物质基板36而得到保证，因此可以发射出足够的紫外线。由于荧光物质层35形成在相邻阻挡肋56间的整个区域上，因此荧光物质层35具有较宽的区域而可以获得高亮度的显示。

如图18A和18B中所示，经形成在电介质层37上的孔，条式地址电极J1，...，Jn与各相应的放电启动地址电极J11，...，Jnm相连。如上所述，接触孔59经下面过程形成，通过涂覆形成电介质层37的过程，对抗蚀剂膜进行制作布线图案处理的过程，以及利用已制作布线图案的抗蚀剂膜作为面罩通过喷沙法形成开口的过程。如果形成孔的过程包括更多的过程，例如三个过程，则通过喷沙法形成的孔59的尺寸出现波动，从而地址电极J1，...，Jn和放电启动地址电极J11，...，Jnm可能出现不稳定的连接。

图21显示了根据本发明的解决上述问题的第二实施例的显示装置。

类似于显示装置31，显示装置61具有第一基板如玻璃基板32，并具有多对放电保持电极(I1，I2)、(I3，I4)、...、(Im-1，Im)构成的放电保持电极组和多个L型的放电启动地址电极(J11-Jn1)、(J12-Jn2)、...、(J1m-Jnm)，该放电启动地址电极在放电保持电极的纵向(X方向)上以恒定的间隔形成在各放电保持电极对之间，即放电保持电极(I1，I2)和(I3，I4)、...、(Im-3，Im-2)和(Im-1，Im)之间。

显示装置61具有形成在与相邻放电启动地址电极间的位置相应处的条式绝缘层62，放电启动地址电极在X方向上排列并包括与放电保持电极I1、...、Im成正交方向(Y方向)的放电保持电极I1、...、Im上的部分，而地址电极J1，...，Jn形成在相应的条式绝缘层62上。地址电极J1，...，Jn的一部分沿绝缘层62的侧表面延展到放电启动地址电极J11，...，Jnm上。这些延展的部分直接与放电启动地址电极J11，...，Jnm相连。另外，电介质层40和作为电介质层40的保护膜的MgO膜形成在整个表面上包括放电保持电极I1、...、Im，放电启动地址电极J11，...，Jnm和地址电极J1，...，Jn的表面上。

类似于第一实施例的在方向Y上延展的多个条式阻挡肋56以恒定的间隔整体形成在第二基板如玻璃基板34上。在相邻的阻挡肋56之间的部位上相继形成有用于红(R)、绿(G)、蓝(B)的荧光物质层35，即荧光物质层35R、35G和35B。从而，构成荧光物质基板36。

基板33和36在其边缘处密封以使得基板36的阻挡肋与基板33的地址电极J1，...，Jn相应。所需的显示气体注入上述的密闭空间中。

在图21中MgO膜41形成在电介质层40的整个表面上，本发明不限于此，MgO膜41可以形成在其整个表面上而不限于如上所述的地址电极J上的部位。

其它的设置(电极材料，电极间的距离d1和d2，注入的气体的种类，气压，电介质层的厚度，等等)可以与根据第一实施例的显示装置31相同，而显示装置61的操作类似于根据第一实施例的显示装置31。从而，显示装置61的其它设置和操作不再详述。

图17-22显示了制造显示装置61的电极基板33的过程。

如图22A，22B和22C所示，放电保持电极I1、...、Im和L型的放电启动地址电极J11，...，Jnm通过与上述类似的方法形成在第一基板如玻璃基板32上。多个条式绝缘层62形成在与L型放电启动地址电极J11，...，Jnm的一部分(即，与放电保持电极I相垂直方向上延展的那部分)相应的位置处，以与各放电保持电极I1、...、Im相交。

如图23A，23B和23C所示，地址电极J1，...，Jn形成在各条式绝缘层62上。地址电极J1，...，Jn的一部分沿绝缘层62的侧表面延展到放电启动地址电极J11，...，Jnm上。地址电极J1，...，Jn的这些延展的部分直接与放电启动地址电极J11，...，Jnm相连。地址电极J1，...，Jn及其延展部分可以通过使用Al蒸发的削去法或通过蚀刻法来同时形成。

如图24A，24B和24C所示，电介质层40形成在整个表面上，而用作保护膜的MgO膜41形成在电介质层40上。从而，构成电极基板33。

图25A和25B是流程图，通过例子显示了制造上述显示装置61的方法。

荧光物质基板36经过过程a1-a8制成。

在过程a1中，玻璃糊涂覆到作为第二基板的玻璃基板34上以具有预定的厚度。或者，将具有预定厚度的玻璃纸(例如，商标名为绿纸(green sheet))粘固其上。在过程a2中，对涂覆的玻璃糊或粘固的玻璃纸进行预焙处理以形成绝缘层。

在过程a3中，抗蚀剂膜涂覆到整个表面上。在过程a4中，抗蚀剂膜经过暴光和显影在要形成阻挡肋56的位置上形成抗蚀面罩。

在过程a5中，上述绝缘层通过粉末喷射过程(或喷沙过程)有选择地去除，然后在过程a6中，绝缘层以例如600℃的温度烧结，以形成阻挡肋56。

在过程a7中，通过泥浆法将用于红(R)、绿(G)和蓝(B)的各彩色荧光物质涂覆到相邻阻挡肋56间的部位上。在过程a8中，涂覆的荧光物质以例如430℃的温度烧结。从而，制成荧光物质基板36。

电极基板33经过过程b1-b10制成。

在过程b1中，具有预定图案的抗蚀剂膜形成在作为第一基板的玻璃基板34的一表面上。在过程b2中，例如，通过喷涂、蒸发或类似方法在抗蚀剂膜和玻璃基板34上形成透明导电膜(例如，ITO膜)或Al膜。然后，在过程b3中，通过使用抗蚀剂剥离剂将抗蚀剂膜及其上的透明导电膜或Al膜被去除以形成放电保持电极I1、...、Im和放电启动地址电极J11，...，Jnm。

在过程b4中，感光玻璃糊涂覆在整个表面上以80℃的温度保持二十分钟，然后，在过程b5中，进行曝光和显影。然后，在过程b6中，涂覆的感光玻璃糊以600℃的温度烧结以形成与放电保持电极I1、...、Im相交的条式绝缘层62。

在过程b7中，形成具有预定图案的抗蚀剂膜。在过程b8中，形成蒸发的Al膜。在过程b9中，通过剥离过程去除抗蚀剂膜及其上的Al蒸发膜以形成地址电极J1，...，Jn，地址电极的一部分沿绝缘层62延展并与放电启动地址电极J11，...，Jnm相连。在过程b10中，例如SiO2膜构成的电介质层40和MgO膜41通过蒸发形成。从而，制成电极基板33。

在过程C1中，电极基板33和荧光物质基板36装配在一起，并且其接触部位的边缘用玻璃熔料密封。然后，在过程C2中，基板33和36构成的密闭空间在380℃的温度下排气两个小时，然后，在过程C3中，Ne/Xe混合气注入其中使其气压为一个大气压。在过程C4中，实现削去处理。从而，完成所要的显示装置的装配。

根据显示装置61，由于用于分隔地址电极J1，...，Jn和放电保持电极I1、...、Im的绝缘层62形成为条状，而地址电极J1，...，Jn与放电启动地址电极J11，...，Jnm之间通过前者沿绝缘层62的侧表面延展的部分相互连接，因此，可以使地址电极J1，...，Jn与放电启动地址电极J11，...，Jnm之间的相互连接稳定而可靠。

考虑显示装置61的装配，由于形成接触孔59不是必须的，制造过程可以简化，而使其间的连接稳定而无波动。

通过将注入的气体的等离子体放电产生的紫外线照射到荧光物质层上而使荧光物质层发光，显示装置61实现显示。在此情形下，当显示装置61上显示的图像可以从电极基板33一侧或荧光物质基板36一侧观看时，所发出的高亮度的光的一部分经基板33或36照射到位于另一侧的后表面上，而不管是从电极基板33一侧还是从荧光物质基板36一侧观看图像，导致由于所发的光的丢失引起的亮度下降这一缺点。

下面将描述解决上述问题的根据本发明的第三实施例的显示装置。

图26和27显示了从电极基板33一侧观看图像时使用的显示装置64，电极基板33上有放电保持电极I1、...、Im，放电启动地址电极J11，...，Jnm和地址电极J1，...，Jn。

显示装置64具有荧光物质基板36，该荧光物质基板36具有设置在作为第二基板的玻璃基板34间的反射膜65并具有阻挡肋56和荧光物质层35(35R，35G，35B)，显示装置64通过将荧光物质基板33和形成有放电保持电极I1、...、Im，放电启动地址电极J11，...，Jnm及地址电极J1，...，Jn在其上的电极基板36密封而构成。

如图26中所示，在阻挡肋56形成在玻璃基板34上之后，通过在整个表面(包括基板34的内表面和阻挡肋56的内表面)上形成高反射率材料如铝(Al)、镍(Ni)、银(Ag)或类似物的膜，例如在此第三实施例中是铝膜，而构成反射膜65，以使其具有约1000A-5000A的厚度，优选地为1500A-3000A。在反射膜65形成之后，荧光物质层35(35R，35G，35B)在相邻阻挡肋56之间的部位形成。

在此实施例中，具有类似于图21中所示的设置，电极形成在作为第一基板的玻璃基板32一侧上。在此情形下，放电保持电极I1、...、Im和地址电极J1，...，Jn用透明导电膜例如ITO膜形成。

反射膜65在图25A和25B中所示的制造过程的过程a6和a7之间形成。

显示装置64的其他设置和操作类似于显示装置31，因此不再详述。

根据显示装置64，荧光物质层35(35R，35G，35B)被放电保持电极对I1和I2、...、Im-1和Im间的放电激励而发光。所发出的光的射向荧光物质基板36一侧的光线被反射膜65反射而指向电极基板33。从而，可以防止射向荧光物质基板一侧的光的丢失，而使得用户从电极基板33一侧观看到亮度改善的显示图像。

图28显示了从其上形成有荧光物质层35的第二基板34一侧观看图像时使用的根据本发明的第四实施例的显示装置67。

显示装置67具有电极基板33，电极基板33具有类似于第三实施例的形成在作为第一基板的玻璃基板32的整个表面上的反射膜65，绝缘层68形成在反射膜65上，放电保持电极I1、...、Im和地址电极J1，...，Jn具有类似于第三实施例的设置并形成在绝缘层68上，绝缘层62形成在其上，放电启动地址电极J11，...，Jnm形成在绝缘层62上，电介质层40形成在其上，而MgO膜41形成在电介质层40上。显示装置67具有荧光物质基板36，荧光物质基板36具有阻挡肋和通过涂覆在相邻阻挡肋56间的部位上形成的荧光物质层35(35R，35G，35B)。显示装置67通过密封荧光物质基板36和电极基板33而形成。

在此情形下，放电保持电极I1，...，Im和放电启动地址电极J11，...，Jnm可以用铝膜形成。它们也可以用透明导电膜形成。

反射膜65在图25A和25B所示的制造过程的过程b1之前形成。

根据显示装置67，荧光物质层35(35R，35G，35B)被放电保持电极对I1和I2、...、Im-1和Im间的放电激励而发光。所发出的光的射向电极基板33一侧的光线被反射膜65反射而指向荧光物质基板36。从而，可以防止射向电极基板33一侧的光的丢失，而使得用户从荧光物质基板36一侧观看到亮度改善的显示图像。

在制造图21中所示的显示装置61时，放电保持电极I1，...，Im和放电启动地址电极J11，...，Jnm形成在同一基板32上，而条式绝缘层62通过烧结玻璃糊形成。之后，地址电极J1，...，Jn形成在绝缘层62上。然而，考虑到绝缘层62有多孔的可能性而不能获得足够的绝缘，需要更可靠地使放电保持电极I(I1，...，Im)和地址电极J(J1，...，Jn)之间绝缘。

由于绝缘层62以约600℃的温度烧结而成，此时的烧结温度可能有害地使电极端部氧化。

即使放电保持电极I(I1，...，Im)和地址电极J(J1，...，Jn)等用透明导电膜如ITO膜或类似物形成，放电保持电极I(I1，...，Im)的端部处的ITO膜可能因氧化而降低导电率。

另外，要考虑在用玻璃熔料密封电极基板33和荧光物质基板36并烧结玻璃熔料时，电极的端部的氧化。

下面描述解决上述问题的根据本发明的第五实施例的显示装置。

图29-33显示了制造根据本发明的第五实施例的显示装置71的连续过程。

如图29A、29B和29C中所示，如上所述，放电保持电极I1，...，Im和L型放电启动地址电极J11，...，Jnm形成在作为第一基板的一玻璃基板的一表面上。放电保持电极I1，...，Im和放电启动地址电极J11，...，Jnm由透明导电膜形成，例如，ITO膜或类似物，或者金属如Al、Cr、Au、Ag膜，上层用Cr而下层用Al的Al/Cr结构的双层膜，中间层用Al而上下层用Cr的Cr/Al/Cr结构的三层膜，或类似物。在此第五实施例中，用铝膜形成。

绝缘膜72置于整个表面包括放电保持电极I1，...，Im以及放电保持电极I1，...，Im和放电启动地址电极J11，...，Jnm的所谓端部。绝缘膜72具有极好的绝缘性。可以采用通过化学汽相淀积(CVD)形成的绝缘膜。特别地，通过CVD形成SiO2膜。绝缘膜72的厚度可以设置在10μm-100μm之间。当绝缘膜72通过丝网印刷形成时，如果厚度小于10μm，则会产生微小的气孔，而带来很大的短路可能，从而导致绝缘性不足。另一方面，如果膜的厚度大于100μm，则必须通过多层涂覆而形成绝缘膜，从而增加制造过程并使绝缘膜72的透明度变差而降低亮度。

如图30A、30B和30C中所示，在绝缘膜72上形成有接触孔73，接触孔73用于连接其后形成的放电启动地址电极J11，...，Jnm和地址电极J1，...，Jn。

条式绝缘层62形成在地址电极J1，...，Jn要形成的位置上。类似于第二实施例，绝缘层62可以通过以条状图案涂覆玻璃糊并烧结玻璃糊而形成。

如图31A、31B和31C中所示，由铝蒸发膜构成的地址电极J1，...，Jn形成在各绝缘层62上，同时地址电极J1，...，Jn和放电启动地址电极J11，...，Jnm经接触孔73相互连接。

如图32A、32B和32C中所示，电介质层40形成在除放电保持电极I1，...，Im的端部之外的显示区域上，而作为保护膜的MgO膜41形成在其上。从而，构成电极基板33。

虽然未显示，阻挡肋56形成在作为第二基板的玻璃基板34上，而荧光物质层35(35R，35G，35B)形成在相邻阻挡肋56间的位置处。从而，构成荧光物质基板36。

电极基板33和荧光物质基板36装配并用玻璃熔料密封，以使放电保持电极I1，...，Im的端部74和地址电极J1，...，Jn的端部与表面相对。

因此，如图33A和33B所示，可以获得薄绝缘膜72均匀形成在放电保持电极I1，...，Im和放电启动地址电极J11，...，Jnm以及放电保持电极I1，...，Im的端部74的表面上的所要的显示装置71。

显示装置71的其他设置和操作类似于显示装置31，因此不再详述。

不用说，当用电驱动显示装置71时，显示装置71由施加到其上的AC电压驱动，即使薄绝缘膜72形成在端部74，驱动电压仍施加到放电保持电极I1，...，Im上。

根据显示装置71，由于具有满意的绝缘性的绝缘膜72形成在放电保持电极I1，...，Im和放电启动地址电极J11，...，Jnm上，即使形成在地址电极J1，...，Jn下的绝缘层62的绝缘性变坏，也可以改善放电保持电极I1，...，Im与地址电极J1，...，Jn之间的绝缘性。由于绝缘层72形成在放电保持电极I1，...，Im的端部的表面上，因此在形成绝缘层62或类似物的烧结过程中以及在用玻璃熔料密封基板33和36的过程中可以防止端部74氧化或升华。

图34-38显示了制造根据本发明的第六实施例的显示装置76的连续过程。

如图34A、34B、34C和34D所示，如上所述，放电保持电极I1，...，Im和放电启动地址电极J11，...，Jnm形成在作为第一基板的一玻璃基板的一表面上。在此第六实施例中放电保持电极I1，...，Im和放电启动地址电极J11，...，Jnm可以由铝膜形成。类似于第五实施例中采用的条式绝缘膜72置于覆盖除放电启动地址电极J11，...，Jnm外的各放电保持电极I1，...，Im及其端部74。

如图35A、35B、35C和35D所示，条式绝缘层62形成在将要形成地址电极J1，...，Jn的部位处。类似于上面所述，绝缘层62可以通过以条状图案涂覆玻璃糊并烧结玻璃糊而形成。

绝缘层62可以在防止已曝光的放电启动地址电极J11，...，Jnm氧化或升华的处理条件下通过热处理形成，例如在1×10^-5Torr或更高的真空度下进行热处理。

如图36A、36B、36C和36D所示，由蒸发铝膜构成的地址电极J1，...，Jn形成在各绝缘层62上，同时地址电极J1，...，Jn的延展部分沿绝缘层62的侧表面与放电启动地址电极J11，...，Jnm直接相连，从而放电启动地址电极J11，...，Jnm与地址电极J1，...，Jn间实现相互电连接。

如图37A、37B、37C和37D所示，电介质层40形成在除所谓的放电保持电极I1，...，Im的端部之外的显示区域上，而用作保护膜的MgO膜41形成在其上。从而，构成电极基板33。

如图42中所示，阻挡肋56形成在作为第二基板的玻璃基板34上，而荧光物质层35(35R，35G，35B)形成在相邻阻挡肋56间的部位上。从而，用玻璃熔料密封荧光物质基板33。

电极基板33和荧光物质基板36用玻璃熔料密封，以使放电保持电极I1，...，Im的端部74和地址电极J1，...，Jn的端部与表面相对。

因此，如图38A和38B所示，可以获得薄绝缘膜72均匀形成在放电保持电极I1，...，Im及其端部74上的所要的显示装置76。

显示装置76的其他设置和操作类似于显示装置31，因此不再详述。

根据显示装置76，如上所述，由于具有满意的绝缘性的绝缘膜72形成在放电保持电极I1，...，Im的表面上，可以改善放电保持电极I1，...，Im与地址电极J1，...，Jn之间的绝缘性。

由于绝缘层72形成在放电保持电极I1，...，Im的端部74的表面上，因此在形成绝缘层62的烧结过程中以及在用玻璃熔料密封基板33和36的过程中可以防止端部74氧化或升华。

根据显示装置76，由于绝缘膜72只形成在放电保持电极对I1和I2，...，Im-1和Im上而不形成在放电启动地址电极J11，...，Jnm上，因此，如图30中所示的形成接触孔73的过程变得不需要，从而简化了制造过程并稳定了地址电极J1，...，Jn与放电启动地址电极J11，...，Jnm之间的连接。

如果只需要改善放电保持电极I1，...，Im与地址电极J1，...，Jn之间的绝缘性，则绝缘膜72可以只形成在除端部74之外的显示区域上。在此情形下，可以调节形成绝缘层62或用玻璃熔料密封基板33和36时的空气，或可以配置仅防止端部74氧化的部件。

端部74上的绝缘膜在绝缘层62的装配完成之后，可以留下或去除。

当如图32A-32C所示形成电介质层40和MgO膜41时，MgO膜41可以直接形成在作为电介质层的绝缘膜72上，而不再使用电介质层40。

下面描述其设置和制造过程简化的根据本发明的第七实施例的显示装置。

图39-42显示了制造这种显示装置78的连续过程。

如图39A和39B所示，放电保持电极I1，...，Im形成在作为第一基板的玻璃基板32的一表面上。放电保持电极I1，...，Im可以用如上所述的同样方法形成。类似于上面所述，放电保持电极I1，...，Im可以用透明导电膜形成，如ITO膜或类似物，金属Al、Cr、Au或Ag膜，或具有由Al和Cr形成的双层结构的金属膜，具有由Cr/Al/Cr形成的三层结构的金属膜。在此第七实施例中，放电保持电极I1，...，Im由铝膜形成。

类似于上面所述的薄绝缘膜72置于基板32的整个表面上包括放电保持电极I1，...，Im的表面上。

如图40A和40B所示，条式绝缘层62形成在将要形成地址电极J1，...，Jn的位置处，以与放电保持电极I1，...，Im垂直相交。

相继整体形成的地址电极J1，...，Jn和放电启动地址电极J11，...，Jnm同时形成在绝缘层62上以及绝缘膜72的一部分上。地址电极J1，...，Jn和放电启动地址电极J11，...，Jnm可以通过剥离过程或蚀刻而形成。

如图41A和41B所示，电介质层40形成在除放电保持电极I1，...，Im的端部(未显示)之外的显示区域的整个表面上，另外作为电介质层40的保护膜的MgO膜41形成在其上。从而，构成电极基板33。

虽然未显示，阻挡肋56形成在作为第二基板的玻璃基板34上，而荧光物质层35(35R，35G，35B)形成在相邻阻挡肋56间的位置处。从而，构成荧光物质基板36。

电极基板33和荧光物质基板36装配并用玻璃熔料密封，以使放电保持电极I1，...，Im的端部74和地址电极J1，...，Jn的端部与表面相对。

因此，如图42所示，可以获得薄绝缘膜72均匀形成在放电保持电极I1，...，Im和地址电极J1，...，Jn的表面上而地址电极J1，...，Jn和放电启动地址电极J11，...，Jnm用同样的导电材料整体形成的所要的显示装置78。

显示装置78的其他设置和操作类似于显示装置31，因此不再详述。

根据显示装置78，由于地址电极J1，...，Jn和放电启动地址电极J11，...，Jnm不是单独而是整体形成的，因此，电极的设置可以简化。由于具有满意的绝缘性的绝缘膜72形成在放电保持电极I1，...，Im的表面上，可以改善放电保持电极I1，...，Im与地址电极J1，...，Jn之间的绝缘性。

由于绝缘膜72形成在放电保持电极I1，...，Im的端部的表面上，因此在形成绝缘层62的烧结过程中以及在用玻璃熔料密封基板33和36的过程中可以防止端部氧化或升华。

在制造显示装置78时，形成接触孔以使放电启动地址电极经绝缘膜72与地址电极相连的过程不再需要，从而可以简化制造过程。

尽管在图39-42所示的第七实施例中绝缘膜72形成在包括放电保持电极I1，...，Im的表面的整个表面上，但本发明不限于此。虽然未显示，但可以采用下面的设置。特别地，在放电保持电极I1，...，Im形成后而绝缘膜72未形成时，形成与放电保持电极I1，...，Im直接相交的绝缘层62，然后，在绝缘层62上和玻璃基板32的一部分上同时形成地址电极J1，...，Jn和放电启动地址电极J11，...，Jnm。在此情形下，由于地址电极J1，...，Jn和放电启动地址电极J11，...，Jnm同时形成，显示装置的设置及其制造方法可以简化。

在上述的第一至第七实施例中，本发明用于一显示装置以通过激励荧光物质层而使其发光从而显示图像。本发明不限于此，还可以用于通过没有荧光物质层的等离子体放电产生的发光而显示图像的显示装置。

根据本发明的显示装置，由于放电保持电极组和地址电极组形成在利用等离子体放电的AC驱动型显示装置的同一基板上，即使地址电极与放电保持电极间的距离变小，也可以保证等离子体放电空间。从而，可以使显示装置极薄而其像素具有较高的清晰度。

由于放电保持电极组和地址电极组形成在同一基板上而荧光物质层形成在与该基板相对的另一基板上，即使电极间的距离变小，也可以保证等离子体放电空间并利用等离子体产生的紫外线激励荧光物质层而使荧光物质层发光。

由于放电产生的等离子体被阻止与荧光物质层接触，因此可以防止荧光物质层被等离子体损坏。从而，可以使显示装置极薄而其像素具有较高的清晰度。

由于放电保持电极组和地址电极组形成在同一基板上，因此可以精确地设置放电保持电极对间的距离以及放电保持电极与构成地址电极的一部分的放电启动地址电极间的距离。

结果，可以具有一定的容差来实现形成电极的过程和密封一个电极及与其相对的另一电极的过程。从而，改善了利用等离子体放电的显示装置的生产率，而降低制造成本。

由于放电保持电极组和地址电极组相交并在放电保持电极组与地址电极组之间形成绝缘层，因此可以防止放电保持电极组与地址电极组间出现短路。

如果放电启动地址电极在每一单元发射区形成，阻挡肋形成在另一基板上以在相邻的阻挡肋间的部位处形成荧光物质层，而一基板与另一基板密封使得阻挡肋与地址电极分别匹配，则单元发射区的开口部位可以做得较大而电流几乎不会直接发射到地址电极上。结果，可以防止相互干扰。由于阻挡肋使得放电空间得到足够的保证并使荧光物质层形成在相邻阻挡肋间的部位的整个表面上，因此，可以使荧光物质层的区域较大。结果，上述作用实现高亮度的显示。

如果构成一对放电保持电极的第一和第二放电保持电极间的距离设置为50μm或更小，则可以获得高清晰度的显示装置。

由于构成一对放电保持电极的第一和第二放电保持电极间的距离设置得与放电启动地址电极和放电保持电极间的距离基本相同，在施加高电压使放电启动地址电极与放电保持电极间的放电开始之后，施加一相对较低的电压可以保持放电保持电极对间的放电，从而通过放电产生的发光获得满意的图像显示。

如果放电保持电极与放电启动地址电极间的距离在构成一对放电保持电极的第一和第二放电保持电极间的距离的±30％范围内设置，则放电启动电压可以响应于放电保持电极与放电启动地址电极间的距离而缓慢变化，从而改善设置驱动条件的自由度。

由于注入He，Ne，Ar，Xe和Kr的一种或多种混合气体而使注入气体的气压为0.8～3.0个大气压，因此可以使发出的光更亮。特别地，在激励荧光物质层而使其发光的显示装置中，产生大量的紫外线，从而使荧光物质层的发光更亮。

如果放电启动地址电极形成为L型，则可以保证其与放电保持电极相对部分的足够长度，而便于放电的开始。同时，放电启动地址电极与地址电极相互连接时定位的容差，便于放电启动地址电极与地址电极的相互连接。

如果地址电极与放电启动地址电极经形成在绝缘层上的孔相互连接，则可以保证地址电极与放电启动地址电极间的绝缘，使得地址电极与放电启动地址电极间的连接可靠。

如果在除地址电极外的放电启动地址电极和放电保持电极上的电介质层的表面上形成镁氧化物膜，则可以便于放电启动地址电极与放电保持电极间的放电以及构成一对的第一和第二放电保持电极间的放电，并降低放电电压。同时，使地址电极与放电保持电极间的放电困难，从而防止其间的相互干扰。

由于放电启动地址电极和放电保持电极上的电介质层的厚度设置得小于电极间的距离因此放电可以在电介质层上实现。特别地，可以防止电介质层中的放电，并防止电介质层中电极间的绝缘的击穿。

如果与放电保持电极组相交的地址电极组经绝缘层形成并且各地址电极的延展部位沿绝缘层的侧表面与放电启动地址电极直接相连，则地址电极与放电启动地址电极可以稳定而可靠地相互连接。由于显示装置的装配不需要形成接触孔，因此可以简化其制造过程。

如果在另一基板一侧上设置反射膜，则所发出的光的射向第二基板一侧的光线被反射膜反射。从而，当用户从电极形成的基板一侧观看显示的图像时，可以防止光的散失并改善亮度。

如果反射膜设置在第一基板一侧上，则所发出的光的射向第一基板一侧的光线被反射膜反射。从而，当用户从电极形成的第二基板一侧观看显示的图像时，可以防止光的散失并改善亮度。

由于放电保持电极及其端部用绝缘膜直接覆盖，即使设置在地址电极下的绝缘层的绝缘性变坏，也可以保证地址电极与放电保持电极间的满意的绝缘性。可以防止在制造过程的热处理中放电保持电极及其端部以及放电启动地址电极被氧化或升华。从而，可以获得高可靠性的显示装置。

由于绝缘膜的厚度设置为10μm-100μm，因此可以保证绝缘膜的绝缘性。可以减少形成绝缘膜所需的步骤数，而绝缘膜的透明度可以得到保证。

如果绝缘膜用作电介质层，则不需再形成电介质层，而电介质层的厚度可以降低。

由于经绝缘层与放电保持电极组相交的地址电极组和放电启动地址电极组同时整体形成，因此可以简化电极的设置。

由于形成的绝缘膜覆盖放电保持电极组并且与放电保持电极组相交的地址电极组和放电启动地址电极组同时整体形成，因此可以简化电极的设置。

另外，即使设置在地址电极下的绝缘层的绝缘性变坏，绝缘膜也可以保证地址电极与放电保持电极间的满意的绝缘性。

当形成绝缘层时可以防止热处理中放电保持电极及其端部被氧化或升华。

上面参考附图描述了本发明的优选实施例，要说明的是，本发明不限于上述的实施例，本领域的技术人员可以作出各种变化和修改而不脱离所附权利要求限定的本发明的实质和范围。

Claims (41)

1、一种利用等离子体放电的AC驱动型显示装置，包括：

由一基板上的多个放电保持电极构成的放电保持电极组；

由在所述基板上的多个地址电极构成的地址电极组；

作为所述地址电极组的一部分的多个放电启动地址电极构成的放电启动地址电极组；以及

至少形成在所述放电保持电极组和所述放电启动地址电极组上的电介质层。

2、如权利要求1所述的显示装置，其中，在与所述一基板相对的另一基板上形成有荧光物质层。

3、如权利要求1所述的显示装置，其中，所述放电保持电极组和所述地址电极组成相互交叉，并在所述放电保持电极组与所述地址电极组之间形成有绝缘层。

4、如权利要求2所述的显示装置，其中，所述放电保持电极组和所述地址电极组成相互交叉，并在所述放电保持电极组与所述地址电极组之间形成有绝缘层。

5、如权利要求2所述的显示装置，其中，所述放电启动地址电极在每一单元发射区中形成，在所述另一基板上形成有阻挡肋以在相邻阻挡肋之间形成所述荧光物质层，并且密封所述一基板与所述另一基板以使所述阻挡肋与所述地址电极各自相互对应。

6、如权利要求1所述的显示装置，其中所述放电保持电极组的第一和第二放电保持电极组成的电极对间的距离设置为50μm或更小。

7、如权利要求2所述的显示装置，其中所述放电保持电极组的第一和第二放电保持电极组成的电极对间的距离设置为50μm或更小。

8、如权利要求1所述的显示装置，其中所述放电保持电极组的第一和第二放电保持电极组成的电极对间的距离和所述放电启动地址电极与所述放电保持电极间的距离设置得基本相同。

9、如权利要求2所述的显示装置，其中所述放电保持电极组的第一和第二放电保持电极组成的电极对间的距离和所述放电启动地址电极与所述放电保持电极间的距离设置得基本相同。

10、如权利要求1所述的显示装置，其中所述放电启动地址电极与所述放电保持电极间的所述距离在所述放电保持电极组的第一和第二放电保持电极组成的电极对间的所述距离的±30％的范围内设置。

11、如权利要求2所述的显示装置，其中所述放电启动地址电极与所述放电保持电极间的所述距离在所述放电保持电极组的第一和第二放电保持电极组成的电极对间的所述距离的±30％的范围内设置。

12、如权利要求1所述的显示装置，其中一种或多种He，Ne，Ar，Xe，Kr气体注入而使得所注入的气体的压力为0.8～3.0个大气压。

13、如权利要求2所述的显示装置，其中一种或多种He，Ne，Ar，Xe，Kr气体注入而使得所注入的气体的压力为0.8～3.0个大气压。

14、如权利要求3所述的显示装置，其中所述放电启动地址电极形成为L型。

15、如权利要求4所述的显示装置，其中所述放电启动地址电极形成为L型。

16、如权利要求3所述的显示装置，其中所述地址电极与所述放电启动地址电极通过设置在所述绝缘层上的孔相互连接。

17、如权利要求4所述的显示装置，其中所述地址电极与所述放电启动地址电极通过设置在所述绝缘层上的孔相互连接。

18、如权利要求1所述的显示装置，其中在除所述地址电极之外的所述放电启动地址电极和所述放电保持电极上的所述电介质层上形成有氧化镁层。

19、如权利要求2所述的显示装置，其中在除所述地址电极之外的所述放电启动地址电极和所述放电保持电极上的所述电介质层上形成有氧化镁层。

20、如权利要求1所述的显示装置，其中所述放电启动地址电极和所述放电保持电极上的所述电介质层的厚度小于电极间的距离。

21、如权利要求2所述的显示装置，其中所述放电启动地址电极和所述放电保持电极上的所述电介质层的厚度小于电极间的距离。

22、如权利要求1所述的显示装置，其中与所述放电保持电极组相交的所述地址电极组经一绝缘层而形成，所述各地址电极的延展部位沿所述绝缘层的侧表面与所述各放电启动地址电极直接相连。

23、如权利要求2所述的显示装置，其中与所述放电保持电极组相交的所述地址电极组经一绝缘层而形成，所述各地址电极的延展部位沿所述绝缘层的侧表面与所述各放电启动地址电极直接相连。

24、如权利要求1所述的显示装置，还包括：在所述另一基板一侧上的反射膜。

25、如权利要求2所述的显示装置，还包括：在所述另一基板一侧上的反射膜。

26、如权利要求1所述的显示装置，还包括：在所述一基板一侧上的反射膜。

27、如权利要求1所述的显示装置，还包括：在所述一基板一侧上的反射膜。

28、如权利要求1所述的显示装置，其中所述放电保持电极及其端部用一绝缘层直接覆盖。

29、如权利要求2所述的显示装置，其中所述放电保持电极及其端部用一绝缘层直接覆盖。

30、如权利要求3所述的显示装置，其中所述放电保持电极及其端部以及所述放电启动地址电极用一绝缘层直接覆盖。

31、如权利要求4所述的显示装置，其中所述放电保持电极及其端部以及所述放电启动地址电极用一绝缘层直接覆盖。

32、如权利要求28所述的显示装置，其中所述绝缘层的厚度为10μm-100μm。

33、如权利要求30所述的显示装置，其中所述绝缘层的厚度为10μm-100μm。

34、如权利要求29所述的显示装置，其中所述绝缘层的厚度为10μm-100μm。

35、如权利要求31所述的显示装置，其中所述绝缘层的厚度为10μm-100μm。

36、如权利要求30所述的显示装置，其中所述绝缘层还用作所述电介质层。

37、如权利要求31所述的显示装置，其中所述绝缘层还用作所述电介质层。

38、如权利要求1所述的显示装置，其中经一绝缘层与所述放电保持电极组相交的所述地址电极组和所述放电启动地址电极组同时连续地形成。

39、如权利要求1所述的显示装置，其中形成一绝缘膜以覆盖所述放电保持电极组，并且与所述放电保持电极组相交的所述地址电极组和所述放电启动地址电极组同时连续地形成。

40、如权利要求2所述的显示装置，其中经一绝缘层与所述放电保持电极组相交的所述地址电极组和所述放电启动地址电极组同时连续地形成。

41、如权利要求2所述的显示装置，其中形成一绝缘膜以覆盖所述放电保持电极组，并且与所述放电保持电极组相交的所述地址电极组和所述放电启动地址电极组同时连续地形成。

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