CN1187546C - 汽缸阀 - Google Patents

Abstract

一汽缸阀包括阀体(10)，阀体有阀室(30)，入口通道(28)和出口通道(34)。气密体(38)在阀体中相对阀座(40)移动。一阀杆(48)与气密体连接以驱动气密体在关闭位置和打开位置间移动，在关闭位置的气密体搁置在阀座上从而通过阀座密封排气，在打开位置的气密体与阀座隔开以允许来自汽缸的排气通过阀座。第一隔膜件(50)构成阀室的柔性壁。它机械地连接到阀杆上，以便阀杆的往复运动使第一隔膜件弹性变形。入口通道与阀室直接压力连通，从而当阀被关闭时，阀室处于汽缸压力下。阀座位于阀室和出口通道之间。气密体被布置成：在排气方向上位于阀座的下游，从而阀室内作用到第一隔膜件上的汽缸压力倾向于将气密体推向其阀座。

Description

汽缸阀

                           技术领域

本发明涉及一种汽缸阀，尤其涉及一种用于高纯度和超高纯度气体的带隔膜的汽缸阀。

                           背景技术

汽缸阀被用于密封和控制来自汽缸的排气。在一些应用中，来自汽缸的排气必须保持没有杂质。对于半导体工业尤为如此，在半导体工业中气体中的任何杂质都会不利地影响元器件的电特性，大大地减小了生产量。这些气体还极具腐蚀性和毒性。

通常，用于高纯度、超高纯度和/或高腐蚀或毒性气体的阀是隔膜阀。例如在US5516078或5823509中公开的这种隔膜阀。这些隔膜阀包括带阀室的阀体、一个入口通道和一个出口通道。入口通道通过一个阀座与阀室连通。一个气密体位于阀室中并可相对阀座移动。一个阀杆与该气密体连接，使气密体在一个关闭位置和一个打开位置之间移动，在关闭位置该气密体搁置在阀座上以便密封通过阀的排气，在打开位置气密体与阀座隔开以便允许来自汽缸的排气通过阀座。隔膜件形成阀座对面的阀室的柔性壁。它在阀室和杆室之间形成密封隔离，该杆室中容有阀杆。阀杆、气密体和隔膜熔焊在一起，从而阀杆的往复运动使隔膜弹性变形。

注意到上述阀的出口通道与阀室直接连通，以便阀关闭时周围的湿空气可以进入阀室。湿空气可在阀室中冷凝。如果腐蚀气体通过阀室排出，其中聚集的冷凝物将不可避免地在阀室中形成强酸。这些强酸可能浸蚀像阀室中的隔膜等部件。

还注意到上述阀通常用于高压汽缸。因而断定需要高的关闭力来使在阀座上的气密体保持在密封位置和打开阀。

DE859583A公开了一种需要低设定值的控制流量的气阀。它包括阀体，阀体内有阀室、入口通道和与阀室连通的出口通道。一个阀圆盘由关闭弹簧偏压到第一阀座上，该阀座位于阀室和出口通道之间。当阀被关闭时，阀室随后处于气体压力下。一个阀体位于阀室内，并与一个第二阀座连接。一个轴孔连接阀圆盘和第二阀座。阀体通过一个经过轴孔延伸的中空阀轴宽松地连接在阀圆盘上，从而当阀圆盘搁置在第一阀座上时，它与第二阀座轴向隔开。一个金属膜在阀室和一个外部驱动轴之间形成一个气密分隔壁。后者能够通过隔膜轴向地推向阀体上。在第一步，驱动轴通过阀体推动阀圆盘，中空阀轴轴向地离开第一阀座。在第二阀座上，大流量气流进入中空轴然后流过第一阀座进入出口通道。在第二步中，驱动轴将阀体推向第二阀座上。现在减小了的气流通过阀体内的一个流量限制喷嘴进入中空轴，然后经过第一阀座进入出口通道。当驱动轴没有被隔膜轴向地推到阀体上时，那么闭合弹簧将阀圆盘推向第一阀座上，并且关闭阀。注意到，当阀关闭时，闭合弹簧必须保证作用到第一阀座上的阀圆盘上的气压不打开阀。

                           发明内容

需要一种改进的汽缸阀，可以更好地保护其中的隔膜不被腐蚀，而且该阀要求较低的关闭力来使阀座上的气密体保持在密封位置和打开阀。

根据本发明的一种汽缸阀，它包括一个阀体，阀体内有一个阀室、一个入口通道和一个出口通道。该入口通道和出口通道与阀室连通。一个气密体，它可以相对阀体内的一个阀座移动。一个阀杆，与气密体连接，用来在一个关闭位置和一个打开位置之间移动气密体，在关闭位置的气密体搁置在阀座上，以便密封排气通过阀座，在打开位置的气密体与阀座隔开，以便允许来自汽缸的排气经过阀座。一个第一隔膜件，它形成阀室的一个柔性壁。第一隔膜件被机械地连接到阀杆上，以便阀杆的一个往复运动使第一隔膜件弹性变形。根据本发明的一个重要方面，阀座位于阀室和出口通道之间。入口通道与阀室直接压力连通，从而当阀被关闭时，阀室处于汽缸压力下。气密体被布置成：在排气方向上位于阀座的下游，从而阀室内作用到第一隔膜件上的汽缸压力倾向于将气密体推向其阀座。首先应当理解，当关闭阀时，包含第一隔膜件的阀室被气密体相对出口连接件密封。由此可知湿的环境空气不会进入阀室而在第一隔膜件上形成冷凝物。还可以理解的是，当阀关闭时，包含第一隔膜件的阀室与汽缸的内部压力连通。由此可知该汽缸压力作用到第一隔膜件上，并提供关闭力使气密体保持在其阀座上。

在一个最佳实施例中，被第一隔膜件密封在阀室内的横截面大于被搁置在阀座上的气密体密封的横截面。由此可知，当阀关闭时，一个正压力将气密体压在其阀座上。

阀的一个最佳实施例还有下面特征中的一个或多个。杆轴向延伸经过所述第一隔膜件，其中一个气密焊接件在杆和所述第一隔膜件之间提供一个有利的气密连接。阀体有一个杆室，杆室中有一个肩，其中第一隔膜件落在肩的外边缘上，一个气密焊接件有利地将外边缘气密连接到所述肩上。阀还包括一个第二隔膜件，它与杆室内的第一隔膜件轴向隔开。在这种情况下，阀体内的一个通道有利地在第一和第二隔膜件之间的杆室内产生局部真空，以便能够检查后者是否仍然提供要求的气密性。

阀最好有一个密封盖，密封盖内有一个整体形成的锁定装置，当密封盖被装到出口连接件上时，它可用来推动气密体紧靠在其阀座上。

出口通道最好在一个出口连接件内，出口连接件可移动地安装到阀体上。

在一个最佳实施例中，阀还包括一个线性驱动器。该线性驱动器最好安装到阀体上，并通过连杆机构连接到阀杆上。连杆机构最好横向安装在阀体的外侧。它包括例如一个连杆臂和一个中间铰链，连杆臂由一个铰链机构连接到驱动器的驱动杆上，中间铰链将连杆臂连接到阀体上。连杆臂有一个靠在阀杆的端头的支撑面上的自由端，从而能够将阀杆推进阀体内。

阀体的一个最佳实施例包括：一个将阀固定在汽缸上的法兰；一个相对较薄的颈部，入口通道的大部分位于其中；和一个由相对薄的颈部支撑的第一长轴体。第一长轴体内有阀室和阀座和出口通道。它容纳有气密体、阀杆和第一隔膜件；其中杆运动的轴与相对较薄的颈部成横向关系。阀体还包括一个第二长轴体，由第一长轴体支撑。第二长轴体容纳有一个线性驱动器，例如是一个汽缸，其中线性驱动器运动的轴也与该相对较薄的颈部成横向关系。

                           附图说明

下面通过示例和参考附图来描述本发明，其中：

图1是根据本发明的一个汽缸阀的三维示意图；

图2是通过图1的阀的纵截面图；

图3是通过图1的阀的横截面图。

                         具体实施方式

图中所示的阀是一种特别适合用于超高纯度、腐蚀性大和高压气体的汽缸阀。

同时参考图1和2，注意到该阀包括阀体10，阀体包括紧固在高压汽缸14上的法兰12，从法兰12向上伸出的相对薄而长的颈部16，由颈部16支撑的第一长轴18，和支撑在第一长轴18上的第二长轴20。第一长轴18容纳所说的阀室。它有一个用来连接气体导管(未示)的标准化出口连接件22。在图中该出口连接件22由密封盖24盖紧。第二长轴20容纳用来驱动阀的气缸26。注意到相对薄而长的颈部16是阀的一个重要安全特征。因为其刚性比大块头的阀体的刚性小得多，因此当汽缸在运输期间遇到事故时，颈部最可能是变形而不是断裂。

如图2所示，在颈部16内有一个入口通道28。当阀装在汽缸14上时，入口通道28的下端延伸到汽缸14的内部29。入口通道28的上端延伸到阀室30内，阀室30在第一长轴18中。

现在参考图3详细描述所述阀组件。阀室30通过阀座开口32与出口通道34连通。出口通道布置在出口连接件22中。出口通道34在阀座开口32的下游紧靠开口形成一个室36。室36内包含气密体38。图3中，气密体38搁置在阀座40上，阀座包围室36内的阀座开口32。在气密体38的该位置，阀室30相对出口通道34是密封的。由此得出，一方面没有气体通过阀被排出，另一方面没有环境湿空气进入阀室30。

该气密体38包括一个软密封环42，环42固定在盖子44和第一杆件48的肩46之间。后者轴向地通过阀座开口32和阀室30延伸。它的横截面小于阀座开口32的横截面，因此通过轴向地推动杆件48使它经过阀座开口32进入室36可以将该气密体从它的座40上举起，其中在环绕杆件48的阀座开口32中形成一个环形气体通道。气体通过该环形开口从阀室30排进出口通道34。

最好由一组夹层金属隔膜(未示)组成的第一隔膜件50构成阀室30的柔性壁，该壁在轴向上正对阀座开口32。形成隔膜件50的夹层隔膜的数量可以作为阀的尺寸、选择的材料、设计压力和其他因素的函数而改变。所选择的隔膜材料应当保证弹性和疲劳特性，如果阀被用于高腐蚀气体中，要保证优良的抗腐蚀性。一种合适的材料比如是镍、钼和铬合金。

第一杆件48的轴51通过第一隔膜件50的一个中心孔延伸。隔膜件50的内边压迫在一个肩上，该肩由第一杆件48的定心凸缘52形成在阀室30内。一个环焊缝54以气密方式将隔膜件50与第一杆件48连接。

杆室56位于第一隔膜件50的另一侧。杆室56的横截面比阀室30的横截面大，从而在杆室56和阀室30的过渡处形成一个肩58。第一隔膜件50的外边缘落在肩58上。环焊缝59以气密方式将隔膜件50的外边缘与肩58连接。由此得出隔膜件50以气密方式将阀室30与杆室56隔开。

当第一杆件48和第一隔膜件50刚性地连接在一起时，第一杆件48的往复运动使第一隔膜件50弹性变形。在图3中，气密体38紧靠它的座40。从阀室30看去，第一隔膜件50有一个凹面曲率。如果第一杆件48向右移动将气密体38从座40举起(也就是打开阀)，第一隔膜件50的凹面曲率逐渐减小。注意到，可以选择第一杆件48的最大打开行程和第一隔膜件50的最初凹面曲率，以便第一隔膜件50为第一杆件48的最大开口行程留有残余凹面曲率。

如果入口通道28直接与阀室30压力连通，当阀关闭时，即当气密体38搁置在它的座40上时，该阀室30处于汽缸压力下。可以理解气体室30内的压力产生一个关闭力(即将气密体38推向座40的力)，该关闭力与第一隔膜件50所密封的横截面积与搁置在座40上的气密体38所密封的横截面积的差成正比。当第一隔膜件50密封的截面积远大于搁置在座40上的气密体38密封的截面积时，可以得出汽缸压力产生一个重要的力，该力使座40上的气密体38保持在关闭位置。

第二杆件60固定在轴51上，轴51穿过第一隔膜件50的中心孔延伸，以便在定心凸缘52和第二杆件60的凸起环边62之间，夹住第一隔膜件50的内边。如果环焊缝54出现任何问题，该夹紧提供补充的气密封。

参考数字64表示第二隔膜件，它在杆室56内与第一隔膜件50轴向隔开。该第二隔膜件64与第一隔膜件50类型相同。

第二杆件60的轴65通过第二隔膜件64的中心孔延伸。第二隔膜件64的内边落在第二杆件60的肩上。环焊缝66以气密封方式将第二隔膜件64连接到第二杆件60上。

第一环形固定件68位于第一和第二隔膜件50和64之间的杆室56内。它有一个面向第一隔膜件50的凹形的第一表面，和面向第二隔膜件64的平的第二表面。凹形的第一表面的环形外边界靠在第一隔膜件50的外边缘上。第二隔膜件64的外边缘靠在第二表面上。

连接片70通过阀体10上的一个侧开口从环形固定件68伸出。该连接片70中有一个通道72，通道72伸进固定件68的中心孔中，其中容纳有第二杆件60。该连接片70的目的是，一方面锁住固定件68不转动，另一方面在第一和第二隔膜件50和64之间的杆室中产生一个局部真空。该局部真空允许检查两个隔膜件30和64是否一直适当地执行其密封功能。在阀正常工作期间，连接片70由密封盖74封闭。

第二环形固定件76位于第二隔膜件64反面的杆室56内。第二环形固定件76有一个面向第二隔膜件64的凹形的第一表面，其中，该第一表面的环形外边界靠在第二隔膜件64的外边缘上，第二隔膜件64靠在第一固定件68上。

螺帽78螺紧在第一长轴22的外螺纹上。螺帽78将该第二环形固定件76紧紧压进杆室56中，以便夹紧第一和第二固定件68和76之间的第二隔膜件64的外边缘，并压迫第一固定件68使它的环形外边界紧紧压在第一隔膜件50的外边缘上。

第三杆件60固定在轴65上，该轴通过第二隔膜件64的中心孔延伸，以便夹紧第二杆件60和第三杆件80的凹形前面之间的第二隔膜件64的内边。如果环焊缝66出现任何问题，该夹紧提供补充的气密封。密封环82密封第二环形固定件76的中心孔中的第三杆件60。

可以理解上述阀在阀杆的侧面提供一个高安全性的防气体泄露。如果第一隔膜件50损坏，就会通过第二杆件60和第一固定件68之间的环形裂缝发生气体泄露。但是该泄露可以被第二隔膜件64制止，从而不会有气体从阀体中泄露出去。(在本文中应当注意到，第一隔膜件50损坏导致通过第一固定件68和限制杆室56的壁之间的环形裂缝发生气体泄露，这种情况的可能性非常小。)即使第二隔膜件64也损坏，不会有大量气体从杆室56中泄露出来。在这种情况下，可以由密封环82制止或基本抑制住泄露。另外，正如上面所述的，连接片74允许定期检查是否还有相当高的局部真空，能保证两个隔膜件50和64仍然充分执行密封功能。

第三杆件80通过螺帽78的中心孔延伸进入螺帽78内的弹簧室84中。弹簧室84中有一个弹簧部件，弹簧部件最好包括由几个片簧构成的一组弹簧86，弹簧86靠在螺帽78上，通过固定到第三杆件80上的圆盘88，将一个弹性力施加在第三杆件80上，该力将气密体38推向它的阀座40上。随后该阀可以被用做常闭阀。当气密体38搁置在它的阀座40上时，作用在气密体38上的总关闭力，一方面归因于阀室30中作用在第一隔膜件50上的汽缸压力，另一方面归因于弹簧86产生的弹力。由此可知，弹簧86的尺寸可以较小，同样能保证防止不必要的排气。

第三杆件上固定有一个从阀体侧面伸出的端头90。如图1和2所示，端头90为连杆机构92形成一个支撑面，连杆机构将气压缸26连接到阀杆上，以便将阀杆推进杆室56中，从而从座40举起气密体38，因此打开阀。

现在参考图2，注意到，第二长轴20内的第二气压缸26是单动汽缸，即汽缸在一个方向上只能产生一个行程，即打开阀，返回行程由弹簧86产生。汽缸包括两个活塞100和102，，它们安装在一个共用的驱动器或活塞杆104上。第一活塞100装在第一汽缸室106内。第二活塞102装在第二汽缸室108内。气动流体经过气动连接件109进入第一室106中，并经过环形通道110进入第二室108中。手轮112允许在一个方向上手动产生一个行程，该方向与给驱动杆104的自由端114上施加一个推力而产生的气动流体方向相同。该手轮112还可以用做在打开位置阻挡该阀。

连杆机构92包括连杆臂120，连杆臂由第一铰链122连接到驱动杆104的自由端124。一个中间铰链126将连杆臂连接到支撑环128上，环128螺纹连接到螺帽78上。连杆臂有一个靠在阀杆的端头90上的自由端130。

如果汽缸受气动流体的压迫，驱动杆104在箭头132所指的方向上被推动，并引导连杆臂120绕铰链126转动，以便用它的自由端130推动阀杆反抗上述弹簧的动作，并将力施加给阀体从而打开阀。一个机械式终点挡板(未示)决定了阀杆的最大可能行程。如果给汽缸减压，弹簧86在相反方向上驱动阀杆。阀杆的顶端90引导连杆臂120绕铰链126转动，以便在箭头126所指的相反方向上推动驱动杆124，直到气密体38又搁置在阀座40上为止。

参考图1，注意到连杆机构92位于阀体10的外侧部。为了保护连杆机构92不受机械损害，设置一个上下两件的保护帽140，142，它们可移动地安装在连杆机构92所处的阀端。

下面再参考图3详细描述出口连接件22及其密封盖24。

首先可以理解的是，出口连接件22可移动地固定到阀体上。实际上最易经历腐蚀风险的是出口连接件。单独的出口连接件22可以由例如比阀体10其他部分高等级的材料制成，基本不会增加阀的成本。还有，如果检测到了腐蚀，就可以以相对低的代价更换该单独出口连接件22。出口连接件22由环形螺钉150固定到阀体10上。环形螺钉将带平的密封面的可移动出口连接件22紧压在阀体10的对应的密封平面上。一个金属密封环，最好是C-环152，位于密封平面之间的凹槽内，并提供一个气密连接。当环形螺钉150拧进阀体10上时，销154可以防止出口连接件22转动。

密封盖24是一种特殊结构，尤其适于用在上述阀中。它有一个一体构成的锁定装置，用来在运输期间将阀锁在关闭位置。该锁定装置包括一个伸进出口连接件22的出口通道34内的推动插销156，用来推动该气密体38使其紧紧靠在座40上。当密封盖24拧进出口连接件22时，弹簧158与推动插销156连接以限制施加在气密体38上的推力。密封环160密封出口通道34内的推动插销156，从而更加减小了气体泄露的风险。

可以理解上述密封盖24是阀的一个重要安全特征。例如它可以防止运输期间汽缸遭受震动时气密体38起离座40。因此有毒气体不会聚集在密封盖24下的出口连接件22中，移走密封盖时有毒气体不会释放出去。当密封盖24拧进出口连接件22时，它还可以防止手动打开阀。

Claims (22)

1、一种汽缸阀，它包括：

一个阀体(10)，它有一个阀室(30)、一个入口通道(28)和一个出口通道(34)，所述入口和所述出口通道与所述阀室(30)连通；

一个气密体(38)，它可以相对所述阀体(10)内的一个阀座(40)移动；其中所述阀座(40)位于所述阀室(30)和所述出口通道(34)之间，从而当所述阀关闭时，所述阀室(30)处于汽缸压力下；

一个阀杆(48，60，80)，与所述气密体(38)连接，用来在关闭位置和打开位置之间移动气密体，在关闭位置的所述气密体(38)搁置在所述阀座(40)上，以便密封排气通过所述阀座(40)，在打开位置的所述气密体与所述阀座隔开，以便允许来自汽缸的排气经过所述阀座；和

一个第一隔膜件(50)，它形成所述阀室的一个柔性壁，

其中，所述第一隔膜件(50)通过所述阀杆(48，60，80)被机械地连接到气密体(38)上，以便当关闭阀时，通过使所述第一隔膜件(50)变形，将作用到所述阀室(30)内的所述第一隔膜件上的气压通过所述阀杆(48，60，80)将所述气密件(38)推到所述阀座(40)上。。

2、根据权利要求1所述的阀，其特征在于，所述阀室(30)内的被所述第一隔膜件(50)密封的横截面大于被搁置在阀座(40)上的所述气密体(38)密封的横截面。

3、根据权利要求1或2所述的阀，其特征在于，弹簧部件(86)与所述阀杆(48，60，80)联接，以便弹簧倾向于牵引所述阀座(40)上的所述气密体(38)。

4、根据权利要求1或2所述的阀，其特征在于，所述阀杆(48，60，80)轴向延伸经过所述第一隔膜件(50)，其中一个气密焊接件(66)连接所述阀杆(48，60，80)与所述第一隔膜件(50)。

5、根据权利要求4所述的阀，其特征在于，所述阀体(10)有一个杆室(56)，杆室中有一个肩(58)，其中所述第一隔膜件的外边缘落在所述肩上。

6、根据权利要求5所述的阀，其特征在于，一个气密焊接件(59)将所述外边缘连接到所述肩(58)上。

7、根据权利要求5所述的阀，其特征在于，一个第二隔膜件(64)，它与所述杆室(56)内的所述第一隔膜件(50)轴向隔开。

8、根据权利要求7所述的阀，其特征在于，在所述阀体内的一个通道(72)，该通道用来在所述第一和第二隔膜件之间的杆室内产生局部真空。

9、根据权利要求6所述的阀，其特征在于，

一个第一环形固定件(68)，位于所述第一和所述第二隔膜件之间的所述杆室内，所述第一固定件有面向所述第一隔膜件的第一表面，和面对所述第二隔膜件的第二表面，其中所述第一表面的一个环形外边界靠在所述第一隔膜件的所述外边缘上，和所述第二隔膜件的外边缘靠在所述第二表面上；

一个第二环形固定件(76)，位于所述第二隔膜件对面的所述杆室内，所述第二固定件有面向所述第二隔膜件的凹形第一表面，其中所述第一表面的一个环形外边界靠在所述第二隔膜件的所述外边缘上；

将所述第二环形固定件压向所述杆室的装置，将所述第二隔膜件压在所述第一和第二固定件之间，并将所述第一固定件的外边缘压在所述第一隔膜件的所述外边缘上。

10、根据权利要求1-2之一所述的阀，其特征在于，

一个出口连接件(22)，其中有所述出口通道；

一个可以盖在所述出口连接件上的密封盖(24)；

一个锁定装置，被结合在所述密封盖内，当所述密封盖被推到所述出口连接件上时，密封盖用来推动所述气密体紧靠在它的阀座上。

11、根据权利要求10所述的阀，其特征在于，所述锁定装置包括：

一个推动插销(156)，用来推动所述气密体紧靠在它的阀座上；

一个与所述推动插销关联的弹簧(158)，用来限制施加在所述气密体上的推力。

12、根据权利要求1-2之一所述的阀，其特征在于，一个出口连接件(22)，其中有所述出口通道，所述出口连接件被可移去地安装到所述阀体上。

13、根据权利要求12所述的阀，其特征在于，一个环形螺钉(150)，用来将有平的密封面的所述可移去出口连接件紧压在所述阀体的对应密封平面上。

14、根据权利要求13所述的阀，其特征在于，一个金属密封环(152)，它位于所述密封平面之间。

15、根据权利要求1-2之一所述的阀，其特征在于，

一个安装在所述阀体上的线性驱动器；和

一个连杆机构(92)，它将所述线性驱动器连接到所述阀杆上，用来将所述气密体从所述关闭位置移到所述打开位置。

16、根据权利要求15所述的阀，其特征在于，所述连杆机构位于所述阀体的外侧横向设置。

17、根据权利要求16所述的阀，其特征在于，一个可移去地安装到所述阀体上的盖子(140，142)，用来保护所述连杆机构。

18、根据权利要求16所述的阀，其特征在于，

所述驱动器包括一个驱动杆(104)；

所述连杆机构(92)包括一个由铰链连接到所述驱动杆上的连杆臂，和一个使所述连杆臂在所述阀体上的中间铰链；

所述阀杆有一个从所述阀体伸出的端头；和

所述连杆臂(120)有一个靠在所述端头支撑面上的自由端，从而能够将所述阀杆推进所述阀体内。

19、根据权利要求15所述的阀，其特征在于，所述线性驱动器是一个汽缸(26)。

20、根据权利要求15所述的阀，其特征在于，所述驱动器包括一个手动装置，用来将所述阀杆手动推进所述阀体中。

21、根据权利要求1-2之一所述的阀，其特征在于，

一个用来将所述阀固定在汽缸上的法兰(12)；

一个相对较薄的颈部(16)，所述入口通道的大部分位于其中；和

一个由所述相对较薄的颈部支撑的第一长轴体(18)，所述第一长轴体容纳有所述阀室和所述阀座和所述出口通道，并且容纳有所述气密体、和所述阀杆和所述第一隔膜件；其中所述杆运动的轴与所述相对薄的颈部成横向关系。

22、根据权利要求21所述的阀，其特征在于，所述阀体还包括：

一个第二长轴体(20)，由所述第一长轴体支撑，所述第二长轴体容纳有一个线性驱动器，其中所述线性驱动器运动的轴与所述相对薄的颈部成横向关系。

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