CN118435313A - 离子处理装置中用于束阻挡器的紧固组合件 - Google Patents

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CN118435313A CN202280084144.2A CN202280084144A CN118435313A CN 118435313 A CN118435313 A CN 118435313A CN 202280084144 A CN202280084144 A CN 202280084144A CN 118435313 A CN118435313 A CN 118435313A
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爱普·纳文·汤玛斯
亚当·卡尔金斯
杰伊·R·沃利斯
泰勒·洛克威尔
所罗门·拜兰格迪·巴萨姆
凯文·M·丹尼尔斯
凯文·瑞查德·威耶
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Abstract

一种用于将束阻挡器紧固到提取板的紧固组合件，所述紧固组合件包括：安装销，具有轴部分、位于轴部分的第一端部处的基座部分及位于轴部分的第二端部处的头部部分；定心套筒，在径向上环绕轴部分且在轴向上与基座部分邻接，所述定心套筒在轴部分与提取板之间以及轴部分与束阻挡器之间可在径向上被压缩；环形的间隔件，环绕定心套筒且在轴向上与束阻挡器邻接，所述定心套筒局部地延伸到间隔件中；以及闩锁顶盖，环绕轴部分且在轴向上与间隔件邻接，所述轴部分延伸穿过闩锁顶盖的贯穿孔，所述贯穿孔在与安装销的轴线垂直的方向上小于头部部分。

Description

离子处理装置中用于束阻挡器的紧固组合件
相关申请
本申请主张优先于在2021年12月20日提出申请且名称为“离子处理装置中用于束阻挡器的紧固组合件(FASTENING ASSEMBLY FOR BEAM BLOCKER IN ION PROCESSINGAPPARATUS)”的序列号为17/556,390的美国非临时专利申请，且所述美国非临时专利申请的全部内容并入本文供参考。
技术领域
本公开大体来说涉及用于半导体器件的处理装置，且更具体来说涉及一种用于在离子处理系统中安装束阻挡器的紧固组合件。
背景技术
等离子体有时被用于对半导体衬底(例如在电子器件中使用的半导体衬底)进行处理，以用于例如衬底刻蚀、层沉积、离子植入及其他工艺等应用。一些处理装置采用用于产生等离子体的等离子体腔室来充当用于衬底处理的离子源。离子束可通过提取组合件被提取且被引导到相邻腔室中的衬底。在一些情形中，离子束可在与提取组合件的提取开孔相邻地设置的所谓“束阻挡器”周围被分割，以形成被朝向衬底引导的一对对称的成角度离子束。束阻挡器可通过由协作的安装销、间隔件及闩锁形成的一对紧固组合件而被紧固到提取开孔的相对的侧上的提取板。
与上述类型的紧固件相关联的缺点是容易导致束阻挡器相对于提取开孔未对准，从而导致被朝向目标衬底引导的小束之间缺乏对称性。举例来说，整个束阻挡器可能会下凹，从而导致束阻挡器上方的间隙大于束阻挡器下方的间隙。在另一实例中，束阻挡器的一个侧可能会相对于束阻挡器的相对侧下凹，从而导致提取到“扭曲的”离子束。此种未对准可能是由于制造公差造成的紧固组合件的组件大小变化而造成，和/或可能是由于重力造成的束阻挡器下凹而造成。
针对这些及其他考虑因素而提供本公开。
发明内容
提供本发明内容是为了以简化的形式介绍一系列概念。本发明内容并非旨在识别所主张主题的关键特征或本质特征，本发明内容也并非旨在帮助确定所主张主题的范围。
根据本公开的用于将束阻挡器紧固到离子处理系统的提取板的紧固组合件的实施例可包括：安装销，具有圆柱形的轴部分、位于所述轴部分的第一端部处的基座部分及位于所述轴部分的相对的第二端部处的头部部分；管状的定心套筒，在径向上环绕所述轴部分且在轴向上与所述基座部分邻接，所述定心套筒适于在所述轴部分与所述提取板之间以及所述轴部分与所述束阻挡器之间在径向上被压缩；环形的间隔件，在径向上环绕所述定心套筒及所述安装销的所述轴部分且在轴向上与所述束阻挡器邻接，所述定心套筒局部地延伸到所述间隔件中且不完全延伸穿过所述间隔件；以及闩锁顶盖，在径向上环绕所述轴部分且在轴向上与所述间隔件邻接，所述轴部分延伸穿过所述闩锁顶盖的贯穿孔，所述闩锁顶盖的所述贯穿孔在与安装销的轴线垂直的方向上小于所述头部部分。
根据本公开的离子处理系统可包括：等离子体腔室；工艺腔室，与所述等离子体腔室相邻；以及提取组合件，设置在所述等离子体腔室与所述工艺腔室之间。所述提取组合件可包括：提取板，沿着所述等离子体腔室的侧设置且对提取开孔进行界定；以及束阻挡器，与所述提取开孔相邻地设置且通过紧固组合件紧固到所述提取板。所述紧固组合件可包括：安装销，具有圆柱形的轴部分、基座部分及头部部分，所述轴部分延伸穿过所述提取板中的安装开孔且延伸穿过所述束阻挡器中的安装开孔，所述基座部分位于所述轴部分的第一端部处，所述头部部分位于所述轴部分的相对的第二端部处；管状的定心套筒，在所述提取板的所述安装开孔内及所述束阻挡器的所述安装开孔内在径向上环绕所述轴部分且在轴向上与所述基座部分邻接，所述定心套筒在所述轴部分与所述提取板之间以及所述轴部分与所述束阻挡器之间保持被径向压缩；环形的间隔件，在径向上环绕所述定心套筒及所述安装销的所述轴部分且在轴向上与所述束阻挡器邻接，所述定心套筒局部地延伸到所述间隔件中且不完全延伸穿过所述间隔件；以及闩锁顶盖，在径向上环绕所述轴部分且在轴向上与所述间隔件邻接，所述轴部分延伸穿过所述闩锁顶盖的贯穿孔，所述闩锁顶盖的所述贯穿孔在与安装销的轴线垂直的方向上小于所述头部部分。
根据本公开的将束阻挡器紧固到离子处理系统的提取板的方法可包括：穿过所述提取板的前部将安装销插入到提取板中的安装开孔中，所述安装销具有圆柱形的轴部分、位于所述轴部分的第一端部处的基座部分及位于所述轴部分的相对的第二端部处的头部部分；将定心套筒的第一径向半部插入到所述提取板的所述安装开孔中，所述第一径向半部在径向上位于所述安装销的所述轴部分与所述提取板中间且与所述安装销的所述基座部分轴向邻接；将所述定心套筒的第二径向半部插入到所述提取板的所述安装开孔中，所述第二径向半部在径向上位于所述安装销的所述轴部分与所述提取板中间且与所述安装销的所述基座部分轴向邻接，所述定心套筒的所述第二径向半部与所述定心套筒的所述第一径向半部进行配合，以对在所述安装销的所述轴部分与所述提取板之间保持被径向压缩的管状本体进行界定；将所述束阻挡器放置在所述安装销及所述定心套筒之上，所述安装销的所述轴部分及所述定心套筒延伸穿过所述束阻挡器的安装开孔，且所述束阻挡器被设置成与所述提取板的后部进行平整邻接，其中所述定心套筒的所述管状本体在所述安装销的所述轴部分与所述束阻挡器之间保持被径向压缩；在所述定心套筒上将间隔件的第一径向半部与第二径向半部配合在一起，以对在轴向上与所述束阻挡器邻接的环形本体进行界定，所述定心套筒局部地延伸到所述间隔件的贯穿孔中；将环形的闩锁顶盖放置在所述安装销的所述头部部分之上，所述头部部分与所述闩锁顶盖的对应形状的贯穿孔对准且穿过所述贯穿孔而被插入，其中所述闩锁顶盖以与所述安装销的所述轴部分及所述间隔件的径向环绕关系设置在所述安装销的所述轴部分及所述间隔件上；以及使所述闩锁顶盖相对于所述安装销旋转，以使所述闩锁顶盖的所述贯穿孔移动成不与所述安装销的所述头部部分对准，因此防止所述闩锁顶盖在轴向上从所述安装销滑出。
附图说明
图1是例示出根据本公开实施例的离子处理系统的垂直剖视图。
图2是例示出图1中所示的离子处理系统的提取组合件的后部透视图。
图3是例示出图1中所示的离子处理系统的提取组合件的后部分解透视图。
图4是例示出图2及3中所示的提取组合件的紧固组合件的剖视图。
图5是例示出图4中所示的紧固组合件的安装销及定心套筒的透视图。
图6是例示出图4中所示的紧固组合件的后部透视图。
图7是例示出使用本公开的紧固组合件将束阻挡器紧固到离子处理系统的提取板的示例性方法的流程图。
具体实施方式
现在将在下文中参照附图更全面地阐述本实施例，在附图中示出一些实施例。本公开的主题可以许多不同的形式实施且不应被解释为仅限于本文中所陈述的实施例。提供这些实施例是为了使本公开彻底及完整，且将向所属领域中的技术人员完全传达本主题的范围。在附图中，相同的编号始终指代相同的元件。
本文中所使用的以单数叙述且以用词“一(a或an)”开头的元件或操作被理解为也可能包括多个元件或操作。此外，参照本公开的“实施例”不旨在被解释为排除同样并入所叙述特征的附加实施例的存在。
本文中所阐述的实施例提供用于以减轻束阻挡器的未对准的方式安装离子处理系统的束阻挡器且对所述束阻挡器进行定心的器件及方法，所述未对准例如可能由束阻挡器的组件中的公差堆积和/或由于重力造成的束阻挡器下凹而引起。改善束阻挡器的对准可增强投射在束阻挡器周围的离子小束的对称性，转而增强对目标衬底的处理(例如，刻蚀、植入等)。
参照图1，示出示意性剖视图，所述示意性剖视图例示出根据本公开实施例的离子处理系统(在下文中被称为“系统100”)。系统100可包括在以下进行更详细地阐述的等离子体腔室102、工艺腔室104及提取组合件106。处理系统100还可包括电压供应器107，所述电压供应器107被电耦合以在等离子体腔室102与正在被处理的衬底108(或对衬底108进行支撑的压板110)之间产生偏置电压。这样一来，处理系统100充当离子束处理系统，以产生用于对衬底108进行处理的离子束，所述衬底108布置在提取组合件106附近。等离子体腔室102可充当等离子体源，以通过任何合适的方法产生等离子体112。举例来说，等离子体腔室102可通过导电性后壁114来参考地电位。通过介电窗口118将来自射频(radio，frequency，rf)天线116的rf功率源(未单独示出)产生的rf功率感应耦合到等离子体腔室102内的工作气体，可在等离子体112中生成感兴趣的离子种类物(离子)。也可存在产生等离子体的其他已知方式。
提取组合件106还可包括沿着等离子体腔室102的侧设置的提取板120。提取板120可对沿着图1中所示的笛卡尔坐标系(Cartesian coordinate system)的X轴线伸长的提取开孔122进行界定(应注意，X轴线垂直地延伸到页面平面中)。提取开孔122可允许来自等离子体腔室102的离子通过以到达衬底108，如以下进行进一步阐述。参照图2，示出后部透视图，所述后部透视图例示出隔离的提取组合件106。如在此视图中最佳地示出，提取开孔122可形成在提取板120的内部表面126(即，提取板120的面对图1中所示的等离子体腔室102的内部的表面)的凹陷部分124中。提取组合件106还可包括与提取开孔122相邻地设置的束阻挡器组合件128(同样参见图1)。束阻挡器组合件128可包括束阻挡器130，所述束阻挡器130沿着所示笛卡尔坐标系的X轴线伸长且所述束阻挡器130所具有的沿着笛卡尔坐标系的Y轴线测量的高度等于或几乎等于提取开孔122的高度。束阻挡器130可通过第一紧固组合件134a及第二紧固组合件134b(以下进行更详细地阐述)紧固到凹陷部分124的相对的纵向侧上的提取板120的内部表面126。
返回参照图1，当在存在等离子体112的情况下相对于等离子体腔室102向衬底108(或向压板110)施加负电压时，在束阻挡器130与提取板120之间(即，在束阻挡器130的上方及下方)的狭缝(子开孔)136a、136b中形成等离子体弯月面(plasma menisci)。束阻挡器130可相对于提取开孔122进行垂直定心(即，沿着笛卡尔坐标系的Y轴线进行定心)，以促进被朝向衬底108引导的两个对称的成角度离子小束138a、138b的形成及提取。衬底108的离子束处理通过沿着笛卡尔坐标系的Y轴线对衬底108进行扫描来进行且还可包括使衬底围绕笛卡尔坐标系的Z轴线旋转。
参照图3及4，分别示出后部分解透视图及详细剖视图，所述后部分解透视图例示出提取组合件106，所述详细剖视图例示出提取板120及第一紧固组合件134ba。以下说明将逐个参照这些图。第一紧固组合件134a与第二紧固组合件134b大致相同，且因此图4中提供的对第一紧固组合件134ba的说明以及以下提供的附属说明应被理解成也代表第二紧固组合件134b。
如以上所简要阐述，第一紧固组合件134a及第二紧固组合件134b适于以确保或改善束阻挡器130相对于提取开孔122的垂直定心及对准的方式将束阻挡器130紧固到提取板120。第一紧固组合件134a及第二紧固组合件134b可包括相应的安装销140a、140b、定心套筒142a、142b、间隔件144a、144b、O形环146a、146b及闩锁顶盖148a、148b。参照图4，安装销140a可包括圆柱形的基座部分150、圆柱形的轴部分152及椭圆形的头部部分154(参见图5及6所示头部部分154的椭圆形形状的视图)，所述轴部分152从基座部分150延伸且具有比基座部分150小的直径，所述头部部分154具有沿着笛卡尔坐标系的Y轴线测量的比轴部分152的直径大的高度。在各种替代实施例中，基座部分152可具有除圆柱形之外的形状，其中此种形状沿着笛卡尔坐标系的Y轴线和/或X轴线大于轴部分152。同样，在各种替代实施例中，头部部分154可具有除椭圆形之外的形状，其中此种形状沿着笛卡尔坐标系的Y轴线和/或X轴线大于轴部分152。
安装销140a可延伸穿过提取板120中的安装开孔156，安装销140a的基座部分150设置在安装开孔156的锁口(counterbore)158内，所述锁口158以与提取板120成紧密间隙的关系而形成在提取板120的前表面(即，如图4中般进行取向的最右侧表面)中。安装开孔156所具有的直径可大于轴部分152的直径。在各种非限制性实例中，安装开孔156的直径可比轴部分152的直径大12.34毫米+/-.08毫米。基座部分150的面向前的表面可大致与提取板120的前表面共面。
安装销140a的轴部分152可延伸穿过束阻挡器130中的安装开孔160。安装开孔160的直径可等于或相似于提取板120中的安装开孔156的直径。在各种非限制性实例中，安装开孔160的直径可为12.14毫米+/-.08毫米。定心套筒142a可为由弹性材料形成的大致管状的构件。定心套筒142a可环绕安装销140a的轴部分152且可延伸穿过提取板120的安装开孔156及束阻挡器130的安装开孔160，其中定心套筒142a的最前端部与安装销140a的基座部分150邻接。定心套筒142a所具有的未经压缩外径可稍大于提取板120的安装开孔156及束阻挡器130的安装开孔160的直径。在各种非限制性实例中，定心套筒142a的未经压缩外径可比提取板120的安装开孔156的直径及束阻挡器130的安装开孔160的直径大12.83毫米+/-.05毫米。如图4中所示，当定心套筒142a以可操作方式安装在第一紧固组合件134a中时，定心套筒142a可在安装销140a的轴部分152与束阻挡器130及提取板120之间保持被径向压缩(例如，通过干涉适配/摩擦适配)。因此，不论安装销140a的直径或安装开孔156、160的直径的变化或差异(例如可能由制造公差引起)如何，定心套筒142a可防止或减轻束阻挡器130相对于安装销140a及提取板120的径向移动或“游隙(play)”，且可建立并保持束阻挡器130相对于提取开孔122的垂直定心/对准。
在各种实施例中，定心套筒142a可由聚四氟乙烯(polytetrafluoroethylene，PTFE)或其他相似的弹性抗等离子体材料形成。本公开并不仅限于此。参照图5，定心套筒142a可包括多个在轴向上伸长、在径向上延伸的鳍片162。鳍片162可为柔性的且可促进或增强定心套筒142a的径向弹性和/或弹力。由于定心套筒142a可具有比安装销140a的头部部分154小的内径且由于定心套筒142a因此而无法在轴向上滑动到安装销140a的轴部分152上，因此定心套筒142a可由分开的第一径向半部142a1与第二径向半部142a2(参见图3)形成，所述第一径向半部142a1与第二径向半部142a2在轴部分152上配合在一起以对管状的定心套筒142a进行界定。
再次参照图3及4，第一紧固组合件134a的间隔件144a可为设置在定心套筒142a上(即，在径向上环绕定心套筒142a)且与束阻挡器130邻接的环形垫圈状构件。在各种实施例中，定心套筒142a可局部地延伸到间隔件144a中且不完全延伸穿过间隔件144a，如图4中所示。本公开并不仅限于此。间隔件144a可对贯穿孔164进行界定，所述贯穿孔164所具有的直径大于定心套筒142a的外径(不需要间隔件144a与定心套筒142a之间的紧密径向接合)。在各种非限制性实施例中，间隔件144a可包括在径向上向内延伸的凸缘166，凸缘166在径向上悬置在贯穿孔164的后侧上。凸缘166可对具有比贯穿孔164小的直径的次级贯穿孔168进行界定且可用于在系统100(参见图1)的操作期间保护定心套筒142a免受离子轰击，以防止或减轻对定心套筒142a的刻蚀。设想出其中可省略凸缘166的本公开的替代实施例。间隔件144a可由抗等离子体的介电材料(例如陶瓷氧化铝)形成。本公开并不仅限于此。如同定心套筒142a一般，间隔件144a可由分开的第一径向半部144a1与第二径向半部144a2(参见图3)形成，所述第一径向半部144a1与第二径向半部144a2在轴部分152及定心套筒142a上配合在一起以对环形的间隔件144a进行界定。
第一紧固组合件134a的闩锁顶盖148a可为设置在安装销140a的轴部分152及间隔件144a上(即，在径向上环绕安装销140a的轴部分152及间隔件144a)的大致环形的顶盖形状构件，且在轴向上与间隔件144a的后部邻接。闩锁顶盖148a可对贯穿孔170进行界定，所述贯穿孔170具有与安装销140a的头部部分154的形状相似但稍大的椭圆形形状(在图6中最佳地示出)。因此，在安装闩锁顶盖148a期间，贯穿孔170可与头部部分154对准，且闩锁顶盖148a可在轴向上滑动到安装销140上、与间隔件144a进行轴向接合，其中头部部分154通过贯穿孔170。第一紧固组合件134a的O形环146a可由弹性材料形成且可设置在间隔件144a的后表面中的在周向上间隔开的相应空腔172内。当O形环146a处于未被压缩状态时，其可从空腔172稍微突出。当闩锁顶盖148a与间隔件144a的后表面进行轴向接合时，O形环146a可被压缩。在闩锁顶盖148a保持在此位置、O形环146a保持被压缩时，闩锁顶盖148a可围绕其轴线旋转90度(或者处于大约90度的范围内，例如60度到120度)，因此使贯穿孔170旋转成不与安装销140a的头部部分154对准(如图6中所示)。在闩锁顶盖148a如此安装的情况下，头部部分154可防止间隔件144a沿着笛卡尔坐标系的X轴线向后移动，且经压缩的O形环146a的弹压力可对闩锁顶盖148a及间隔件144a施加在轴向上引导的力，以使头部部分154、闩锁顶盖148a、间隔件144a、束阻挡器130及提取板120彼此牢固地保持轴向接合。
参照图7，示出流程图，所述流程图例示出使用上述第一紧固组合件134a及第二紧固组合件134b安装提取组合件106的束阻挡器130的示例性方法。将详细阐述第一紧固组合件134a的安装，且由于第一紧固组合件134a与第二紧固组合件134b大致相同，因此以下说明将被理解成同样代表安装第二紧固组合件134b的方法。现在将结合图1到图6中所示的对提取组合件106以及第一紧固组合件134a及第二紧固组合件134b的例示来阐述所述方法。
在示例性方法的方块200处，可穿过提取板120的前部将安装销140a插入到安装开孔156中，且安装销140a的基座部分150可安置在安装开孔156的锁口158内。在如此安置的情况下，基座部分150的面向前的表面可与提取板120的前表面大致共面。
在示例性方法的方块210处，可穿过提取板120的后部将定心套筒142a的第一径向半部142a1插入到安装开孔156中，且所述第一径向半部142a1可在安装开孔156内被安置成在径向上位于安装销140a的轴部分152与提取板120中间且与安装销140a的基座部分150轴向邻接。在所述方法的方块220处，可穿过提取板120的后部将定心套筒142a的第二径向半部142a1插入到安装开孔156中，且所述第二径向半部142a1可在安装开孔156内被安置成在径向上位于安装销140a的轴部分152与提取板120中间且与安装销140a的基座部分150轴向邻接。第一径向半部142a1与第二径向半部142a2可在轴部分152上配合在一起，以对管状的定心套筒142a进行界定。因此，在安置在安装开孔156内的情况下，定心套筒142a可在安装销140a的轴部分152与提取板120之间保持被径向压缩(例如，通过干涉适配/摩擦适配)。
在示例性方法的方块230处，可将束阻挡器130放置在安装销140a及定心套筒142a之上，安装销140a的轴部分152及定心套筒142a延伸穿过束阻挡器130的安装开孔160，且束阻挡器130被设置成与提取板120的后部进行平整邻接。因此，在安置在安装开孔160内的情况下，定心套筒142a可在安装销140a的轴部分152与束阻挡器130之间保持被径向压缩(例如，通过干涉适配/摩擦适配)。
在示例性方法的方块240处，可将O形环146a安置在间隔件144a的第一径向半部144a1及第二径向半部144a2中的相应空腔172内。当O形环146a处于未被压缩状态时，其可从空腔172稍微突出。在所述方法的方块250处，可将第一径向半部144a1与第二径向半部144a2在轴部分152及定心套筒142a上配合在一起，以对在轴向上与束阻挡器130的后部邻接的环形的间隔件144a进行界定，其中定心套筒142a局部地延伸到间隔件144a的贯穿孔164中且不完全延伸穿过贯穿孔164。在各种非限制性实施例中，间隔件144a可包括在径向上向内延伸的凸缘166，凸缘166在径向上悬置在贯穿孔164的后侧上。凸缘166可对具有比贯穿孔164小的直径的次级贯穿孔168进行界定且可用于在系统100的操作期间保护定心套筒142a免受离子轰击，以防止或减轻对定心套筒142a的刻蚀。
在示例性方法的方块260处，可将闩锁顶盖148a放置在安装销140a的头部部分154之上，椭圆形的头部部分154与闩锁顶盖148a的对应椭圆形的贯穿孔170对准且穿过贯穿孔170而被插入。闩锁顶盖可以与安装销140a的轴部分152及间隔件144a的径向环绕关系而设置在安装销140a的轴部分152及间隔件144a上。闩锁顶盖148a可被压制成与间隔件144a的后部轴向邻接，O形环146a被压缩到其相应的空腔172中。在闩锁顶盖148a保持在此位置、O形环146a保持被压缩时，在示例性方法的方块270处，可使闩锁顶盖148a围绕其轴线旋转90度(或者处于大约90度的范围内，例如60度到120度)，因此使贯穿孔170旋转成不与安装销140a的头部部分154对准。在如此安装闩锁顶盖148a的情况下，头部部分154可防止间隔件144a向后移动，且经压缩的O形环146a的弹压力可对闩锁顶盖148a及间隔件144a施加在轴向上引导的力，以使头部部分154、闩锁顶盖148a、间隔件144a、束阻挡器130及提取板120彼此牢固地保持轴向接合。
在示例性方法的方块280处，可使用第二紧固组合件134b重复进行在上述方块200到270中针对第一紧固组合件134a执行的动作，以将束阻挡器130的相对的纵向端部紧固到提取板120。
鉴于以上内容，本公开提供至少以下优点。作为第一个优点，本公开的紧固组合件进行操作以防止或减轻束阻挡器相对于离子处理系统的提取开孔的未对准，因此确保或增强围绕束阻挡器而朝向目标衬底投射的离子小束的对称性。作为第二个优点，本公开的紧固组合件可快速且容易地安装。作为第三个优点，本公开的紧固组合件是自我保护的，以防止对内部组件(即，定心套筒142a、142b)的不期望的离子刻蚀。
尽管已在本文中阐述了本公开的某些实施例，然而本公开并不仅限于此，这是因为本公开的范围如同所属领域将允许及本说明书可能载明的范围一样广。因此，以上说明不应被视为限制性的。所属领域中的技术人员将想到处于所附权利要求的范围及精神内的其他修改。

Claims (20)

1.一种用于将束阻挡器紧固到离子处理系统的提取板的紧固组合件，其特征在于，所述紧固组合件包括：
安装销，具有圆柱形的轴部分、位于所述轴部分的第一端部处的基座部分及位于所述轴部分的相对的第二端部处的头部部分；
管状的定心套筒，在径向上环绕所述轴部分且在轴向上与所述基座部分邻接，所述定心套筒适于在所述轴部分与所述提取板之间以及所述轴部分与所述束阻挡器之间在径向上被压缩；
环形的间隔件，在径向上环绕所述定心套筒及所述安装销的所述轴部分且在轴向上与所述束阻挡器邻接，所述定心套筒局部地延伸到所述间隔件中且不完全延伸穿过所述间隔件；以及
闩锁顶盖，在径向上环绕所述轴部分且在轴向上与所述间隔件邻接，所述轴部分延伸穿过所述闩锁顶盖的贯穿孔，所述闩锁顶盖的所述贯穿孔在与安装销的轴线垂直的方向上小于所述头部部分。
2.根据权利要求1所述的紧固组合件，其特征在于，还包括多个O形环，所述多个O形环设置在形成于所述间隔件中的对应空腔内且面对所述闩锁顶盖。
3.根据权利要求1所述的紧固组合件，其特征在于，所述安装销的所述头部部分具有椭圆形形状。
4.根据权利要求1所述的紧固组合件，其特征在于，所述安装销的所述轴部分延伸穿过所述间隔件的贯穿孔，所述间隔件具有在径向上向内延伸的凸缘，所述凸缘在径向上悬置在所述贯穿孔的后侧上且覆盖所述定心套筒的端部，以保护所述定心套筒免受离子轰击。
5.根据权利要求1所述的紧固组合件，其特征在于，所述定心套筒由分开的第一径向半部与第二径向半部形成，所述第一径向半部与所述第二径向半部适于配合在一起。
6.根据权利要求1所述的紧固组合件，其特征在于，所述间隔件由分开的第一径向半部与第二径向半部形成，所述第一径向半部与所述第二径向半部适于配合在一起。
7.根据权利要求1所述的紧固组合件，其特征在于，所述安装销的所述基座部分在与所述安装销的所述轴线垂直的方向上大于所述安装销的所述轴部分。
8.根据权利要求1所述的紧固组合件，其特征在于，所述定心套筒由聚四氟乙烯(PTFE)形成。
9.一种离子处理系统，其特征在于，包括：
等离子体腔室；
工艺腔室，与所述等离子体腔室相邻地设置；以及
提取组合件，包括：
提取板，沿着所述等离子体腔室的侧设置且对提取开孔进行界定；
束阻挡器，与所述提取开孔相邻地设置且通过紧固组合件紧固到所述提取板，所述紧固组合件包括：
安装销，具有圆柱形的轴部分、基座部分及头部部分，所述轴部分延伸穿过所述提取板中的安装开孔且延伸穿过所述束阻挡器中的安装开孔，所述基座部分位于所述轴部分的第一端部处，所述头部部分位于所述轴部分的相对的第二端部处；
管状的定心套筒，在所述提取板的所述安装开孔内及所述束阻挡器的所述安装开孔内在径向上环绕所述轴部分且在轴向上与所述基座部分邻接，所述定心套筒在所述轴部分与所述提取板之间以及所述轴部分与所述束阻挡器之间保持被径向压缩；
环形的间隔件，在径向上环绕所述定心套筒及所述安装销的所述轴部分且在轴向上与所述束阻挡器邻接，所述定心套筒局部地延伸到所述间隔件中且不完全延伸穿过所述间隔件；以及
闩锁顶盖，在径向上环绕所述轴部分且在轴向上与所述间隔件邻接，所述轴部分延伸穿过所述闩锁顶盖的贯穿孔，所述闩锁顶盖的所述贯穿孔在与安装销的轴线垂直的方向上小于所述头部部分。
10.根据权利要求9所述的离子处理系统，其特征在于，还包括多个O形环，所述多个O形环设置在形成于所述间隔件中的对应空腔内，所述O形环在所述闩锁顶盖与所述间隔件之间保持被压缩。
11.根据权利要求9所述的离子处理系统，其特征在于，所述安装销的所述头部部分具有椭圆形形状。
12.根据权利要求9所述的离子处理系统，其特征在于，所述安装销的所述轴部分延伸穿过所述间隔件的贯穿孔，所述间隔件具有在径向上向内延伸的凸缘，所述凸缘在径向上悬置在所述贯穿孔的后侧上且覆盖所述定心套筒的端部，以保护所述定心套筒免受离子轰击。
13.根据权利要求9所述的离子处理系统，其特征在于，所述定心套筒由分开的第一径向半部与第二径向半部形成，所述第一径向半部与所述第二径向半部在所述安装销的所述轴部分上配合在一起。
14.根据权利要求9所述的离子处理系统，其特征在于，所述间隔件由分开的第一径向半部与第二径向半部形成，所述第一径向半部与所述第二径向半部适于在所述定心套筒上配合在一起。
15.根据权利要求9所述的离子处理系统，其特征在于，所述安装销的所述基座部分在与所述安装销的所述轴线垂直的方向上大于所述安装销的所述轴部分。
16.一种将束阻挡器紧固到离子处理系统的提取板的方法，其特征在于，所述方法包括：
穿过所述提取板的前部将安装销插入到提取板中的安装开孔中，所述安装销具有圆柱形的轴部分、位于所述轴部分的第一端部处的基座部分及位于所述轴部分的相对的第二端部处的头部部分；
将定心套筒的第一径向半部插入到所述提取板的所述安装开孔中，所述第一径向半部在径向上位于所述安装销的所述轴部分与所述提取板中间且与所述安装销的所述基座部分轴向邻接；
将所述定心套筒的第二径向半部插入到所述提取板的所述安装开孔中，所述第二径向半部在径向上位于所述安装销的所述轴部分与所述提取板中间且与所述安装销的所述基座部分轴向邻接，所述定心套筒的所述第二径向半部与所述定心套筒的所述第一径向半部进行配合，以对在所述安装销的所述轴部分与所述提取板之间保持被径向压缩的管状本体进行界定；
将所述束阻挡器放置在所述安装销及所述定心套筒之上，所述安装销的所述轴部分及所述定心套筒延伸穿过所述束阻挡器的安装开孔，且所述束阻挡器被设置成与所述提取板的后部进行平整邻接，其中所述定心套筒的所述管状本体在所述安装销的所述轴部分与所述束阻挡器之间保持被径向压缩；
在所述定心套筒上将间隔件的第一径向半部与第二径向半部配合在一起，以对在轴向上与所述束阻挡器邻接的环形本体进行界定，所述定心套筒局部地延伸到所述间隔件的贯穿孔中；
将环形的闩锁顶盖放置在所述安装销的所述头部部分之上，所述头部部分与所述闩锁顶盖的对应形状的贯穿孔对准且穿过所述贯穿孔而被插入，其中所述闩锁顶盖以与所述安装销的所述轴部分及所述间隔件的径向环绕关系设置在所述安装销的所述轴部分及所述间隔件上；以及
使所述闩锁顶盖相对于所述安装销旋转，以使所述闩锁顶盖的所述贯穿孔移动成不与所述安装销的所述头部部分对准，因此防止所述闩锁顶盖在轴向上从所述安装销滑出。
17.根据权利要求16所述的方法，其特征在于，所述间隔件具有在径向上向内延伸的凸缘，所述凸缘在径向上悬置在所述贯穿孔的后侧上且覆盖所述定心套筒的端部，以保护所述定心套筒免受离子轰击。
18.根据权利要求16所述的方法，其特征在于，还包括将多个O形环设置在形成于所述间隔件中的对应空腔内。
19.根据权利要求18所述的方法，其特征在于，将所述闩锁顶盖放置在所述安装销的所述头部部分之上包括将所述多个O形环压缩在其对应的空腔内。
20.根据权利要求16所述的方法，其特征在于，将所述安装销插入到所述提取板的所述安装开孔中包括将所述安装销的所述基座部分设置在所述提取板的所述安装开孔的锁口内。
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