CN114188201B - 电极布置、用于电极布置的接触组件、带电粒子束装置和减小电极布置中的电场强度的方法 - Google Patents

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Abstract

描述了一种用于作用在带电粒子束设备中的带电粒子束上的电极布置。所述电极布置包括：第一电极(110)，所述第一电极具有用于带电粒子束的第一开口(111)；第一间隔件元件(140)，所述第一间隔件元件定位在设于第一电极中的第一电极侧上的第一凹槽(112)中以用于将第一电极(110)相对于第二电极(120)对准，第一间隔件元件具有第一盲孔(141)；第一导电屏蔽件(150)，所述第一导电屏蔽件设于第一盲孔(141)中；以及接触组件(160)，所述接触组件从第一电极突出到第一盲孔(141)中以用于确保在第一电极(110)与第一导电屏蔽件(150)之间的电接触。另外，描述了一种用于这样的电极布置的接触组件(160)、一种具有这样的电极布置的带电粒子束装置以及一种减小电极布置中的电场强度的方法。

Description

电极布置、用于电极布置的接触组件、带电粒子束装置和减小 电极布置中的电场强度的方法
技术领域
本文描述的实施例涉及用于影响带电粒子束装置中的带电粒子束(诸如电子束)的电极布置。带电粒子束装置可以是用于用一个或多个带电粒子束对样本进行成像和/或检查的设备，例如电子显微镜。本文描述的实施例特别地涉及用于作用在带电粒子束上的电极布置、用于电极布置的接触组件以及具有电极布置的带电粒子束装置。实施例进一步涉及减小在带电粒子束装置的电极布置中的电场强度的方法。
背景技术
带电粒子束装置在多个工业领域中具有许多功能，包括但不限于在制造期间半导体器件的临界尺寸设定、半导体器件的缺陷查验、半导体器件的检查、用于光刻的曝光系统、检测装置以及测试系统。因此，对在微米尺度和纳米尺度上将样本或样品结构化、对样本或样品进行测试和检查有高需求。
带电粒子束装置(如电子显微镜或聚焦离子束(FIB)装置)的改进通常取决于特定束光学部件的改进。束光学部件是例如静电或磁性透镜、偏转器、静电或磁性镜、检测器和光谱仪。
带电粒子束装置中的束光学部件有益地相对于彼此准确地对准，以便允许带电粒子束沿具有明确限定的聚焦、偏转和/或色散特性的预定光束路径传播。例如，对于包括具有用于带电粒子束的开口的两个或更多个电极的静电透镜，所述两个或更多个电极有益地在微米尺度上相对于彼此对准，使得通过开口传播的带电粒子束以预定方式被静电透镜精确地影响。两个相邻电极可通过间隔件元件(诸如陶瓷球)相对于彼此对准，间隔件元件布置在两个相邻电极之间并且确保在两个相邻电极之间的预定距离和相对定位。
在操作期间，电极中的一个电极可相对于另一个电极设定在高电压电位上。将两个电极以与布置在其间的间隔件元件相距紧密距离布置可能会局部地增大在两个电极之间的电场强度，这增加了电弧放电的风险。电弧放电可能会损坏束光学部件并且可能会引起检查错误和其他缺陷。
鉴于以上内容，提供用于作用在带电粒子束上的电极布置将是有益的，该电极布置克服了上述问题中的至少一些。具体地，提供具有良好地对准的电极并同时减少因在电极之间的高电位差而造成的电弧放电的风险的电极布置将是有益的。另外，提供具有这种电极布置的带电粒子束装置和减小在电极布置中的电场强度的方法将是有益的。
发明内容
鉴于以上内容，提供了根据独立权利要求的电极布置、用于电极布置的接触组件、具有电极布置的带电粒子束装置以及减小在电极布置中的电场强度的方法。另外的方面、优点和特征从从属权利要求、说明书和附图中将显而易见。
根据一个方面，提供了一种用于作用在带电粒子束上的电极布置。所述电极布置包括：第一电极，所述第一电极具有用于所述带电粒子束的第一开口；第一间隔件元件，所述第一间隔件元件定位在设于所述第一电极中的第一电极侧上的第一凹槽中以用于将所述第一电极相对于第二电极对准，所述第一间隔件元件具有第一盲孔；第一导电屏蔽件，所述第一导电屏蔽件设于所述第一盲孔中；以及接触组件，所述接触组件从所述第一电极突出到所述第一盲孔中以用于提供在所述第一电极与所述第一导电屏蔽件之间的电接触。
所述第一间隔件元件可以是绝缘球体或球，特别是陶瓷球，其可被夹置在所述第一电极与所述第二电极之间以用于使所述第一电极和所述第二电极相对于彼此准确地定位。即使在以下说明书中使用更一般的术语“间隔件元件”，也需注意，本文描述的间隔件元件典型地是绝缘球或绝缘球体，特别是可具有例如10mm直径的陶瓷球。
在一些实施例中，所述接触组件包括延伸到所述第一盲孔中以用于电接触所述第一导电屏蔽件的第一接触元件和延伸到定位在第二电极侧上的第二间隔件元件的第二盲孔中以用于电接触设于所述第二盲孔中的第二导电屏蔽件的第二接触元件。可选地，弹簧元件可作用在所述第一接触元件与所述第二接触元件之间，其将所述第一接触元件与所述第二接触元件推开。
另外，描述了一种用于作用在带电粒子束上的电极布置、特别是用于根据本文描述的实施例中的任一者的电极布置的接触组件。所述接触组件包括：第一接触元件，所述第一接触元件被构造为从第一电极延伸到第一间隔件元件的第一盲孔中以用于电接触设于所述第一盲孔中的第一导电屏蔽件；第二接触元件，所述第二接触元件被构造为从所述第一电极延伸到第二间隔件元件的第二盲孔中以用于电接触设于所述第二盲孔中的第二导电屏蔽件；以及弹簧元件，所述弹簧元件作用在所述第一接触元件与所述第二接触元件之间并且将所述第一接触元件和所述第二接触元件推开到相反方向上。
根据另一方面，提供了一种用于对样本进行成像和/或检查的带电粒子束装置。所述带电粒子束装置包括：带电粒子束源，所述带电粒子束源用于产生沿光轴传播的带电粒子束；束影响元件，所述束影响元件包括根据本文描述的实施例中的任一者的电极布置；物镜装置，所述物镜装置用于将所述带电粒子束聚焦到所述样本上；以及检测器，所述检测器用于检测由所述样本发射的信号带电粒子。
在一些实施例中，所述带电粒子束装置是电子显微镜，特别是具有一个或多个用于在所述样本的表面之上扫描所述一次带电粒子束的偏转器的扫描电子显微镜。
根据一方面，提供了一种减小在电极布置、特别是根据本文描述的实施例中的任一者的电极布置中的电场强度的方法。所述方法包括：产生沿光轴传播的带电粒子束；引导所述带电粒子束通过电极布置，所述电极布置至少包括设于第一电位上的第一电极、设于第二电位上的第二电极以及被夹置在所述第一电极与所述第二电极之间并使所述第一电极和所述第二电极相对于彼此对准的第一间隔件元件；以及使电场线弯曲远离在所述第一电极与所述第一间隔件元件之间的接触点，其中第一导电屏蔽件设于所述第一间隔件元件的第一盲孔中，其中突出到所述第一盲孔中的接触组件提供在所述第一导电屏蔽件与所述第一电极之间的电接触。
实施例还涉及用于执行所公开的方法的设备并且包括用于执行每个所描述的方法特征的设备部分。方法特征可通过硬件部件、由适当软件编程的计算机、两者的任何组合或以任何其他方式执行。此外，实施例还涉及制造所描述的设备的方法和操作所描述的设备的方法。它包括了用于执行所述设备的每一功能的方法特征。
附图说明
为了可详细地理解本公开内容的上述特征的方式，可参考实施例来得到以上简要地概述的更具体的描述。附图涉及本公开内容的实施例并且描述如下：
图1是根据本文描述的实施例的电极布置的示意性截面图；
图2是图1的电极布置的一部分的放大图，示出了在电极布置中的电场；
图3A是根据本文描述的实施例的电极布置的局部透视图和局部截面图；
图3B是图3A的电极布置的一部分的放大图；
图4是根据本文描述的实施例的带电粒子束装置的示意图；
图5示出了根据本文描述的实施例的示出减小在电极布置中的电场强度的方法的流程图；
图6是用于示出三相点的位置的电极布置的示意图；
图7A示出了具有其中未设有导电屏蔽件的间隔件元件的电极布置；以及
图7B是图7A的电极布置的一部分的放大图，示出了在电极布置中的三相点处的电场强度增强。
具体实施方式
现在将详细地参考各种实施例，这些实施例的一个或多个示例被示出在附图中。在以下描述内，相同的附图标记指代相同的部件。一般来讲，仅描述了相对于个体实施例的差异。每个示例以解释的方式提供，而不意在作为限制。另外，被示出或描述为一个实施例的部分的特征可在其他实施例上使用或结合其他实施例使用，以产生又另外的实施例。说明书意图包括这样的修改和变型。
在不限制本申请的范围的情况下，以下将带电粒子束装置或其部件示例性地称为被构造为用于检测信号电子的电子束装置。信号电子特别地包括二次电子和/或背向散射电子，特别是二次电子和背向散射电子(SE和BSE)两者。然而，应理解，本文描述的实施例可应用于检测其他微粒(诸如呈离子的形式的二次和/或背向散射带电粒子)的装置和部件，以便获得样品图像或者检查或处理结果。因此，在本文描述的实施例中，带电粒子不限于电子。
如本文所使用的“电极布置”是被构造为影响带电粒子束(诸如电极束)的束光学部件或其部分，其中电极可被设定在预定电位上。例如，电极布置可包括沿带电粒子束装置中的带电粒子束路径顺序地布置的两个、三个或更多个电极。本文描述的电极布置可以是静电或磁性透镜、静电或磁性反射镜、静电或磁性偏转器或经由静电和/或磁性场而作用在带电粒子束上的另一个静电或磁性的其他部件中的任一者的一部分。电极布置可用于带电粒子束装置，如带电粒子束显微镜，例如扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、扫描透射显微镜(STEM)或使用带电粒子束来将样本结构化的装置(如例如用于将光刻掩模结构化的电子束图案发生器)或用于对样本进行切片或研磨的聚焦离子束装置(FIB)。
图1示出了用于作用在带电粒子束105上的电极布置100。带电粒子束105可沿光轴A传播通过电极布置100。电极布置100包括具有用于带电粒子束的第一开口111的第一电极110，并且第一开口111可与电极布置100的光轴A同轴对准。在一些实施例中，第一电极110包括用于多个带电粒子小束的两个、三个或更多个开口，这些带电粒子小束可沿相应光轴传播通过第一电极的开口。第一电极110可被设定在用于以预定方式影响带电粒子束105的电位上，例如被设定在静态或变化电位上。
在一些实施例中，第一电极110是静电透镜或可包括沿光轴A布置的第二电极120和可选地第三电极130的另一个束光学部件的一部分。例如，第一电极110、第二电极120和第三电极130可形成单透镜(Einzel lens)。第一电极110可布置在第二电极120与第三电极130之间并且因此也可称为“中心电极”。换句话说，第二电极120可布置在第一电极110的上游，而第三电极130可布置在第一电极110的下游。每个电极可包括用于带电粒子束的至少一个开口，其中开口可相对于彼此同轴布置。第一电极110包括第一开口111，第二电极120可包括第二开口121，并且第三电极130可包括第三开口131，并且开口可对准，使得带电粒子束105可沿光轴A传播通过开口。在一些实施例中，每个电极包括用于可传播通过电极布置的多个小束的多个开口。
第一电极110(以及类似地，还有电极布置100的其他电极)可包括导电材料(例如，金属)板。第一开口111可以以100μ0或更小、特别是5μm或更小的精度相对于光轴A同轴对准。
第一电极110和第二电极120可经由被夹置在第一电极110与第二电极120之间的第一间隔件元件140沿光轴A彼此相距预定距离定位。第一间隔件元件140可定位在设于第一电极110中的第一凹槽112中以用于将第一电极110相对于第二电极120对准。第一间隔件元件140可确保第一电极110与第二电极120在沿光轴A的方向(本文也称为轴向方向A)上的准确相对定位，还有在垂直于光轴A的平面中(即，在第一电极110的径向和/或周向方向上)的准确相对定位。因此，第一间隔件元件140可确保第二电极120相对于第一电极110的正确对准，使得第一开口111与第二开口121同轴对准。
第一间隔件元件140可由绝缘材料制成，使得第一电极110和第二电极120彼此电隔离并且可设于不同电位上。在一些实施例中，第一间隔件元件140可以是定位在设于第一电极110中的第一凹槽112中和设于第二电极120中的第二电极凹槽122中的绝缘球或绝缘球体。第一凹槽112(和第二电极凹槽122)可成形为使得形成为绝缘球体的第一间隔件元件140布置在第一凹槽112中的一个特定预定位置处(和第二电极凹槽122中的一个特定预定位置处)。例如，第一凹槽112和/或第二电极凹槽122可以是圆锥形凹槽。
为了以高精度和高平行度使第二电极120相对于第一电极110对准，形成为绝缘球体的至少三个间隔件元件可被夹置在第一电极110与第二电极120之间(其中两个间隔件元件在图1中被描绘为在光轴A的相对侧上；图3A示出了所有三个间隔件元件的位置)。三个间隔件元件中的每一者都可定位在设于第一电极和第二电极中的相应凹槽中以用于将第一电极和第二电极相对于彼此对准。例如，三个间隔件元件可相对于第一电极110的中心布置在均匀分布的角位置(例如，从光轴A看，两个相邻间隔件元件之间可分别围成120°的角度))。夹置在第一电极与第二电极之间的布置在第一电极和第二电极的相应凹槽中的三个间隔件元件可确保第二电极在所有相关维度上(即，轴向地和在垂直于轴向方向A的平面中)相对于第一电极的准确对准。具体地，第一开口111和第二开口121可以以5μm或更好的准确度相对于光轴A同轴对准，并且第一电极与第二电极之间的距离可对应于具有5μm或更高的准确度的预定距离。
在一些实施例中，三个间隔件元件可以是由绝缘材料制成的球形体。为了在第一电极110与第二电极120之间提供高平行度，球形体的直径可彼此相差小于1/1000，特别是小于1/10000。例如，如果图1中的第一间隔件元件140的直径标称为10mm，则在光轴A的另一侧上的间隔件元件的直径与标称直径的偏差小于10μm或小于1μm。以如此高的几何精度制造由例如Al2O3或其他陶瓷材料制成的球体是众所周知的。在一些实施例中，第一间隔件元件140和/或其他间隔件元件是直径为10mm的陶瓷球体。
如现在将参考图6、图7A和图7B进行说明，将形成为绝缘球体的间隔件元件夹置在两个电极之间可引起高电场强度并且因此可增加电弧放电的风险。
图6示意性地示出了布置在距第二电极120的紧密距离处的第一电极110，其中由绝缘材料制成的第一间隔件元件705和第二间隔件元件706布置在第一电极110与第二电极120之间并且与第一电极110和第二电极120接触。因此，提供了包括与绝缘体或介电材料接触的在不同电位上的两个电极的高电压系统。“三相点”被定义为金属、介电材料和真空的结合处。在图6中，第一三相点701被示意性地示出在第一电极110、第一间隔件元件705与真空之间的结合处，并且第二三相点702被示意性地示出在第一电极110、第二间隔件元件706与真空之间的结合处。
取决于相关部件的几何形状和材料特性，特别是取决于间隔件元件的几何形状，三相点周围的电场强度可大大增强。这使得三相点成为在真空环境中引发电弧放电的关键位置。例如，在图6中，第一三相点701处的电场强度远低于第二三相点702处的电场强度。一般来讲，如果绝缘体与导电电极表面之间的角度小于90°，则在三相点附近的电场强度将更高。在第一三相点701处第一电极110与第一间隔件元件705之间的角度为约90°，这导致第一三相点701附近的电场强度低于其中第一电极110与第二间隔件元件706之间的角度远小于90°的第二三相点702附近的电场强度。
如果形成为绝缘球体的间隔件元件设于第一电极110与第二电极120之间，特别是在设于第一电极110中的圆锥形凹槽中，则所涉及的几何形状是不利的，因为绝缘球体与电极的金属表面之间产生的角度远小于90°。因此，电弧放电的风险在相应三相点附近增加。然而，绝缘球体的极高制造精度保证了电极相对于彼此的非常精确的对准，使得尽管有与上述所得三相点相关的问题也能有益地维持所涉及的几何形状。
图7A示出了包括沿光轴A布置在第二电极120与第三电极130之间的第一电极110的电极布置的透视图。带电粒子束的第一开口111设于第一电极中，与第一开口111同轴对准的第二开口和第三开口设于第二电极和第三电极中。图7B示出了图7A的电极布置的一部分的放大图，示出了在三相点201处的电场强度增强。
第一电极110和第二电极120经由分别布置在第一电极110和第二电极120的圆锥形凹槽中的第一绝缘球840相对于彼此对准，并且第一电极110和第三电极130经由分别布置在第一电极110和第三电极130的圆锥形凹槽中的第二球形球845相对于彼此对准。如图7B中详细地描绘的那样，在三相点201处第一电极110的表面与第一绝缘球840之间的角度非常小，这可能导致三相点201附近的场增强区905中的增强的电场强度。在图7B中，增强的电场强度由三相点201附近的电场线902之间的小距离示出。因此，使用常规的绝缘球体作为间隔件元件可能会增加电极布置中的电弧放电的风险。
本公开中描述的实施例涉及电极布置，所述电极布置允许用绝缘间隔件元件将若干电极相对于彼此准确对准，同时减少因三相点处增强的电场强度而造成电弧放电的风险。
现在回到图1，电极布置100的第一间隔件元件140具有延伸到第一间隔件元件140中的第一盲孔141。第一导电屏蔽件150设于第一盲孔141中。此外，接触组件160从第一电极110突出到第一盲孔141中以用于在第一电极110与第一导电屏蔽件150之间提供电接触。
第一导电屏蔽件150可理解为由导电材料制成的部件或层，其布置在第一间隔件元件140的第一盲孔141中并与第一电极110电接触，并且因此，在与第一电极110相同的电位上。此外，第一导电屏蔽件150的形状和布置被设定为使得电场线被第一导电屏蔽件150弯曲远离第一电极的第一凹槽，并且第一电极与第一间隔件元件之间的接触区域附近的电场强度减小。
接触组件160提供用于确保第一导电屏蔽件150与第一电极110之间的可靠的电接触。由于第一导电屏蔽件150由此在第一电极110的第一电位上并且布置在第一间隔件元件140的第一盲孔内，因此第一导电屏蔽件150导致电场线弯曲远离第一电极110的其中定位有第一间隔件元件140的第一凹槽112。因此，可减小其中第一间隔件元件140与第一电极110接触的三相点102附近的电场强度，并且可避免三相点102附近的场增强区。
第一导电屏蔽件150布置在第一盲孔141中并且被构造为将电场线弯曲远离第一凹槽112。因此，可减少因在三相点102附近的场增强区而引起的电弧放电的风险。在本文描述的实施例中，第一间隔件元件140以使得第一盲孔141的开口端面向第一凹槽112的取向定位在第一凹槽112中。因此，接触组件160可从第一凹槽112延伸到第一盲孔141中，以用于在第一电极110与第一导电屏蔽件150之间建立可靠的电接触。
在一些实施例中，第一导电屏蔽件150的形状可与第一盲孔141的内壁一致和/或紧密接触。具体地，第一导电屏蔽件150可覆盖第一盲孔的大部分或整个内壁表面。第一导电屏蔽件150可靠近第一盲孔141的内壁，使得第一盲孔141的内壁与第一导电屏蔽件150之间不存在空间或间隙。在第一导电屏蔽件与第一盲孔的内壁之间的空间可能潜在地产生新三相点，即金属、电介质和真空的新结合处，并且因此产生电位场增强的新位置，使得有益地减少或避免这样的空间。
在可与本文描述的其他实施例结合的一些实施例中，第一导电屏蔽件150可覆盖第一盲孔141的内壁表面的80％或更多、特别是90％或更多。具体地，第一盲孔141的整个内壁表面基本上可被第一导电屏蔽件150覆盖。这减小了在第一盲孔内的位置处产生新三相点的风险。
例如，第一导电屏蔽件150可以是设于第一盲孔141的内壁表面上、特别是涂覆在第一盲孔141的内壁表面上的导电层。在一些实施例中，导电层或金属化可基本上覆盖第一盲孔的整个内壁表面。第一盲孔141的开口端可面向第一凹槽112并且布置在距第一电极110的紧密距离处，并且第一导电屏蔽件150可为覆盖第一盲孔的内壁表面直至第一盲孔141的开口端的涂层。因此，在第一导电屏蔽件150与第一电极110之间可存在基本上无缝的过渡，使得第一导电屏蔽件150不会产生新三相点。
第一间隔件元件140可以是绝缘球体，并且第一盲孔141可包括延伸到第一间隔件元件140中的通道。特别地，通道可在径向方向上在中心延伸到绝缘球体中。通道可具有对应于第一间隔件元件140的直径的30％或更多、特别是40％或更多或甚至50％或更多的长度。如果通道延伸到第一间隔件元件140中很远，则覆盖内部通道壁的第一导电屏蔽件150可推动高电场强度区域远离三相点102。然而，如果通道延伸到第一间隔件元件140中太远，则覆盖内通道壁的第一导电屏蔽件150可能潜在地在第一盲孔141的闭合端与第二电极120之间的区域中产生另一个场增强区域。原因是第一电极110与第二电极120之间的全电位差在第一导电屏蔽件150(即在第一电极110的电位上)与第二电极120之间的区域中下降。因此，通道可具有对应于第一间隔件元件140的直径的70％或更小、特别是60％或更小的长度。在一些实施例中，通道延伸到绝缘球体中达绝缘球体的直径的30％或更多且70％或更少。
通道可以是基本上圆柱形通道、特别是具有圆的或圆形横截面形状的通道。具有圆柱形通道的盲孔可容易地且可靠地涂覆有导电涂层以用于提供第一导电屏蔽件150，从而减少产生新三相点和场增强区的风险。
例如，第一间隔件元件140可以是直径为10mm的绝缘球体，并且第一盲孔可具有4mm或更大且6mm或更小的深度。第一盲孔可用圆钻钻孔到第一间隔件元件140中。在可与本文描述的其他实施例结合的一些实施例中，第一盲孔141包括具有导电涂覆的通道壁的基本上圆柱形通道，所述通道延伸到第一间隔件元件140中并且具有对应于第一间隔件元件140的直径的40％或更多且70％或更少的长度。
特别地，第一盲孔可被金属化以确保在导电屏蔽件与第一间隔件元件之间不提供可能产生新三相点的(空气)间隙。金属化确实有益地仅覆盖第一盲孔的内壁，而不覆盖第一间隔件元件的外壁，因为第一间隔件元件的外表面上的金属可产生新三相点和潜在的新场增强区域。
在本文描述的实施方式中，接触组件160提供用于确保第一电极110与第一导电屏蔽件150之间的电接触。因此，第一导电屏蔽件150与第一电极110电连接，并且因此设于第一电极电位上。在一些实施例中，接触组件160包括第一接触元件161，第一接触元件被构造为电接触第一导电屏蔽件150。第一接触元件161可突出到第一盲孔141中并且可被推动来与第一导电屏蔽件150接触。特别地，弹簧元件165可提供用于推动第一接触元件161与第一导电屏蔽件150电接触。例如，第一接触元件161可经由弹簧元件165被压入第一盲孔141中以与第一盲孔141的金属化内壁电接触。
在可与本文描述的其他实施例组合的一些实施例中，接触组件160包括弹簧元件165和第一接触元件161。弹簧元件165可布置在第一电极110与第一接触元件161之间，从而确保第一电极110与第一接触元件161之间的电接触。此外，弹簧元件165可推动第一接触元件161与设于第一盲孔141中的第一导电屏蔽件150电接触。因此，第一电极110与第一导电屏蔽件150之间的可靠的电接触由接触组件160提供。
在可与本文描述的其他实施例结合的一些实施例中，接触组件160可将第一间隔件元件140连接到第一电极110，同时维持第一间隔件元件140相对于第一电极110的可移动性。具体地，即使接触组件160通过伸出到第一盲孔141中来在第一电极110与第一导电屏蔽件150之间建立电接触，第一间隔件元件140也可以可移动地保持在第一电极的第一凹槽112中。即使在组装状态下也维持第一间隔件元件140与第一电极110之间的可移动性是有益的，因为当被放置在第一凹槽112中和第二电极120的第二电极凹槽122中时，第一间隔件元件140可相对于第一凹槽112和相对于第二电极凹槽122正确地自对准。可确保第一电极110相对于第二电极120的准确对准。
具体地，即使在组装状态下，接触组件160也可允许第一间隔件元件140相对于第一电极110在轴向方向A上移动，从而允许当第一间隔件元件140分别在第一凹槽112中和第二电极凹槽122中定位在第一电极与第二电极之间时第一电极110与第二电极120之间的预定轴向距离进行自动化自调整。替代地或附加地，接触组件160可允许第一间隔件元件140在垂直于光轴A的平面中、即在第一电极的径向方向上和/或在第一电极的周向方向上相对于第一电极110的移动，从而允许当第一间隔件元件140分别在第一凹槽112中和第二电极凹槽122中定位在第一电极与第二电极之间时第一开口111相对于第二开口121沿光轴A在预定同轴位置处进行自动化自调整。
具体地，接触组件160可被构造为使得在组装状态下确保第一电极110与第一导电屏蔽件150之间的电接触，而第一间隔件元件140不是不可移动地固定到第一电极而是相对于第一凹槽中的第一电极可移动地定位，从而维持在组装状态下自对准的可能性。
在可与本文描述的其他实施例结合的一些实施例中，电极布置100进一步包括第二间隔件元件145，第二间隔件元件145定位在设于第一电极110中的与第一电极侧相对的第二电极侧上的第二凹槽113中以用于将第一电极110相对于第三电极130对准。第二间隔件元件145可具有第二盲孔146，并且第二导电屏蔽件151可设于第二盲孔146中。第二间隔件元件145和第二导电屏蔽件151可包括第一间隔件元件140和第一导电屏蔽件150的上述特征，使得可参考以上说明，本文不再对此进行赘述。具体地，第二导电屏蔽件151可以是设于第二盲孔146的内壁表面上的导电涂层。
接触组件160可从第一电极110延伸到第一盲孔141和第二盲孔146两者中。接触组件160可延伸到第一盲孔141中以用于提供第一电极110与第一导电屏蔽件150之间的电接触，并且接触组件160可延伸到第二盲孔146中以用于提供第一电极110与第二导电屏蔽件151之间的电接触。
在一些实施方式中，设于第一电极110中的相对电极侧上的第一凹槽112和第二凹槽113可由例如平行于光轴A延伸穿过第一电极110的穿孔连接。接触组件160可通过穿孔延伸到第一盲孔141和第二盲孔146两者中。具体地，接触组件可电接触第一电极的穿孔的内壁，并且可电接触第一盲孔141中的第一导电屏蔽件150和第二盲孔146中的第二导电屏蔽件151两者。
具体地，接触组件160可包括用于接触第一导电屏蔽件150的第一接触元件161和用于接触第二导电屏蔽件151的第二接触元件162，第二导电屏蔽件151布置在第二电极侧上的第二间隔件元件145的第二盲孔146中。可选地，接触组件160可进一步包括弹簧元件165，弹簧元件165推动第一接触元件161和第二接触元件162在轴向方向A上彼此分开。弹簧元件165可推动第一接触元件161与第一导电屏蔽件150电接触并且可推动第二接触元件162与第二导电屏蔽件151电接触。因此，确保了第一电极与第一导电屏蔽件和第二导电屏蔽件两者之间的可靠的电接触。
类似于第一间隔件元件140，第二间隔件元件145可确保第一电极110相对于第三电极130的准确对准，特别是在轴向方向A上和/或垂直于轴向方向的平面中。另外，设于第一电极110的电位上的第二导电屏蔽件151可减小第一电极与第二间隔件元件之间的三相点附近的电场强度，从而减少电弧放电的风险。参考以上说明，这些说明加以必要变更也适用于作用在第一电极110与第三电极130之间的第二间隔件元件145。
在替代实施例(附图中未示出)中，接触组件可包括导电柔性元件，例如线圈或弹簧元件，所述导电柔性元件在沿光轴A的方向上可压缩并且压靠第一导电屏蔽件和/或第二导电屏蔽件。导电柔性元件可与第一电极电接触并与第一导电屏蔽件和/或第二导电屏蔽件电接触。例如，接触组件可由一个单个柔性部件组成，特别是螺旋弹簧，其在第一电极与第一导电屏蔽件(以及可选地还有第二导电屏蔽件)之间建立电接触并且具有柔性地压靠第一导电屏蔽件的远端。
在一个示例中，接触组件可由在第一电极、第一导电屏蔽件与第二导电屏蔽件之间建立电接触的一个单个柔性部件、特别是螺旋弹簧组成。单个柔性部件可具有两个相对端部，这两个相对端部柔性地压靠第一导电屏蔽件和第二导电屏蔽件，即，在组装状态下，柔性部件可在第一导电屏蔽件与第二导电屏蔽件之间被轻微地压缩。例如，接触组件可包括例如由一根弯曲的金属丝构成的弹簧元件，所述弹簧元件具有一个中心部分和两个圆锥形端部。中心部分可布置在第一电极的穿孔中，诸如以与第一电极接触，并且两个圆锥形端部可突出到第一电极的两侧，使得两个圆锥形端部允许与绝缘球体内的第一导电屏蔽件和第二导电屏蔽件的电接触。
图2是图1的电极布置100的一部分的放大图，示出了在电极布置中在第一电极110与第一间隔件元件140之间的三相点201附近的电场强度。第一电极110设于与第二电极120的第二电位不同的第一电位上。例如，第一电极和第二电极中的至少一者被设定在高电压电位上。由于第一导电屏蔽件150经由接触组件160电连接到第一电极110，因此第一导电屏蔽件150也设于第一电极110的第一电位上。因此，可减小三相点201附近的电场强度(通过在三相点201附近的相邻电场线202之间的扩大的距离来示出，从而在三相点201附近提供场减小区域203)。
电场线202远离在其中放置第一间隔件元件140的第一凹槽112朝向第一导电屏蔽件150之外的空间弯曲。场增强区域204可被产生在第一导电屏蔽件150与第二电极120之间的空间中。通过适当地选择第一间隔件元件140中的第一盲孔的深度和形状以及第一导电屏蔽件，可减小第一间隔件元件140附近的最大电场强度，并且可减少电弧放电的风险。
图3A是根据本文描述的实施例的电极布置400的透视图，并且图3B是图3A的电极布置的一部分的放大截面图。电极布置400可包括图1和图2描绘的电极布置100的一些特征或所有特征，使得可参考上述说明，本文不再对此进行赘述。
电极布置400包括具有用于带电粒子束的第一开口111的第一电极110，使得带电粒子束可在轴向方向上沿光轴A传播通过第一电极110的第一开口111。第一间隔件元件140、特别是陶瓷球定位在设于第一电极中的第一电极侧上的第一凹槽112中以用于将第一电极110相对于第二电极(图3A中未描绘)对准，并且第二间隔件元件145、特别是陶瓷球定位在设于第一电极110中的与第一电极侧相对的第二电极侧上的第二凹槽113中以用于将第一电极110相对于第三电极(图3A中未描绘)对准。第一凹槽112和第二凹槽113可由在轴向方向上延伸穿过第一电极110的穿孔402连接。
第一导电屏蔽件150设于第一间隔件元件140的第一盲孔141中，并且第二导电屏蔽件151设于第二间隔件元件145的第二盲孔146中。第一导电屏蔽件150和/或第二导电屏蔽件151可基本上覆盖相应盲孔的整个内壁表面，例如内壁表面的90％或更多。特别地，第一导电屏蔽件150和/或第二导电屏蔽件151可以是分别覆盖第一盲孔141和第二盲孔146的内壁表面的导电涂层，诸如金属涂层。
接触组件160从第一电极110突出到第一盲孔141中以用于在第一电极110与第一导电屏蔽件150之间提供电接触。接触组件160可进一步从第一电极110突出到第二盲孔146中以用于在第一电极110与第二导电屏蔽件151之间提供电接触。例如，接触组件160可被保持在连接第一凹槽112和第二凹槽113的穿孔402中，并且可从穿孔402沿光轴A向两个相反方向突出。接触组件160的第一端部可突出到第一盲孔141中以用于接触设于其中的第一导电屏蔽件150，并且接触组件160的第二相对端部可突出到第二盲孔146中以用于接触设于其中的第二导电屏蔽件151。
可选地，排空通道401可提供在穿孔402与电极布置的周围环境之间的流体连接。排空通道401可从穿孔402沿第一电极110的径向方向延伸。因此，当电极布置400布置在带电粒子束装置的被排空的真空腔室中时，穿孔402、第一盲孔141和第二盲孔146通过排空通道401快速地排空。
在可与本文描述的其他实施例结合的一些实施例中，接触组件160包括用于接触第一导电屏蔽件150的第一接触元件161和用于接触第二导电屏蔽件151的第二接触元件162。第一接触元件161可相对于第二接触元件162可移动，特别是在轴向方向A上和/或通过使第一接触元件161相对于第二接触元件162倾斜来可移动。第一接触元件161和第二接触元件162的可移动性确保接触元件与相应的导电屏蔽件之间独立于彼此的可靠的电接触。此外，确保即使被接触组件160电接触，第一间隔件元件140和第二间隔件元件145也可彼此独立地在相应凹槽中自对准。
在一些实施例中，接触组件160进一步包括弹簧元件165，弹簧元件165推动第一接触元件161和第二接触元件162在轴向方向A上彼此分开。第一接触元件161可被推动到第一盲孔中141以与第一导电屏蔽件150电接触，并且第二接触元件162可被推动到第二盲孔146以与第二导电屏蔽件151电接触。
在可与本文描述的其他实施例组合的一些实施例中，弹簧元件165电接触第一电极110并且作用在第一接触元件161的轴向端部或肩部与第二接触元件162的轴向端部或肩部之间。在图3A和图3B描绘的实施例中，弹簧元件165布置在第一接触元件161的轴向端部与第二接触元件162的肩部之间，从而在轴向方向A上推动第一接触元件161和第二接触元件162分开。
例如，弹簧元件165可以是螺旋弹簧，特别是环形螺旋弹簧，其环绕第一接触元件161和第二接触元件162中的至少一者并设于从第一凹槽112穿过第一电极110延伸到第二凹槽113的穿孔402中。在图3A和图3B描绘的实施例中，弹簧元件165是环绕第二接触元件162并作用在第二接触元件162的肩部与第一接触元件161的轴向端部之间的环形螺旋弹簧。
在一些实施例中，弹簧元件165是导电的并且提供第一电极110与第一接触元件和/或第二接触元件之间的电接触。由于弹簧元件165是可弹性变形的，因此即使第一接触元件和第二接触元件中的任何一者例如因第一间隔件元件和/或第二间隔件元件的移动而应被移动和/或倾斜，也维持所述电接触。特别地，弹簧元件165可装配在设于穿孔402的内壁与接触元件中的一个接触元件的销区段之间的环形空间中。更具体地，弹簧元件165可装配在由第二接触元件162的肩部和第一接触元件161的轴向端部轴向界定且由穿孔402的内壁和第二接触元件162的销区段径向界定的环形空间中。自然地，第一接触元件和第二接触元件的作用可互换。
在一些实施例中，弹性元件165、第一接触元件161和第二接触元件162由导电材料制成。弹簧元件165可直接接触第一电极、第一接触元件161和第二接触元件162，从而确保即使第一接触元件和第二接触元件中的任何一个相对于第一电极110和/或相对于彼此移动或倾斜，接触组件160也维持在第一电极的第一电位上。
在一些实施例中，第二接触元件162包括具有突出到第一接触元件161的套筒区段中的头部部分的销区段，反之亦然。因此，第一接触元件161和第二接触元件162以紧凑布置保持在一起，同时通过使第二接触元件162的销区段偏移进入或离开第一接触元件161的套筒区段来至少允许第一接触元件161与第二接触元件162之间的轴向可移动性，反之亦然。销区段的外径可以是套筒区段的内径的80％或更小，从而即使头部部分突出到套筒部分中，也允许第一接触元件161相对于第二接触元件162的受限制的倾斜移动。
在一些实施例中，第二接触元件162相对于第一接触元件161可移动并被禁锢。换句话说，第一接触元件161和第二接触元件162彼此可移动地保持在一起或彼此可移动地连接，使得接触组件160构成即使将接触组件160从第一电极110移除或与第一电极110分开提供也不散开的紧密结合的部件布置。
在实施方式中，第二接触元件162的头部部分旋拧通过第一接触元件161的内螺纹，反之亦然。例如，第二接触元件162的头部部分设有外螺纹403，第一接触元件161的套筒区段的收缩区段设有内螺纹404，使得头部部分可被旋拧通过套筒区段的收缩区段。在将头部部分旋拧通过收缩区段之后，头部部分可布置在套筒区段的内径大于头部部分的外径的扩张区段中。因此，第一接触元件161和第二接触元件162可移动并且同时相对于彼此被禁锢。例如，在已旋拧状态下，第一接触元件161和第二接触元件162可相对彼此倾斜1°或更多且10°或更少，和/或第一接触元件161和第二接触元件162可相对于彼此轴向移动0.1mm或更多且3mm或更少。
在可与本文描述的其他实施例组合的一些实施例中，第一间隔件元件140和/或第二间隔件元件145是陶瓷球体。第一凹槽112和第二凹槽113可以是基本上圆锥形凹槽，如果陶瓷球体布置在基本上圆锥形凹槽中，则相应圆锥形凹槽提供陶瓷球体在预定位置的准确自定位。
电极布置400可包括第一电极110、在第一电极侧上相对于第一电极110对准的第二电极、以及在与第一电极侧相对的第二电极侧上相对于第一电极对准的第三电极。电极布置可以是包括至少三个电极的静电透镜。电极中的至少一个可被提供在高电压电位上，例如5kV或更大、特别是在9kV至16kV范围内的高电压。例如，布置在第二电极与第三电极之间的第一电极110可设在低电压上或可接地(例如，100V或更小)，并且可将第二电极和第三电极两者设在高电压下(例如，5kV或更大，特别是9kV或更大)。
第一电极110与第二电极在轴向方向A上的第一距离可为10mm或更小、特别是5mm或更小、或甚至3mm或更小，和/或第一电极110与第三电极在轴向方向A上的第二距离可为10mm或更小、特别是5mm或更小、或甚至3mm或更小。尽管相邻电极之间距离小而电位差高，但是在第一电极与和其接触的间隔件元件之间形成的三相点附近电弧放电的风险可减小或最小化。
根据本文描述的实施例，与绝缘球体内未设有导电屏蔽件的情况相比，三相点附近的电场强度可减小50％或更多、或甚至高达80％。
提供以下有益效果：导电屏蔽件设于绝缘球体内，其使电场线在绝缘球体附近弯曲远离第一电极。由接触组件在第一电极与导电屏蔽件之间提供安全的电接触。同时，绝缘球体可“自由”移动(即在提供的机械公差的范围内)，以维持系统的对准和居中性质。因此，提供了具有减小的电弧放电风险的准确对准的电极布置。
电极布置400可包括在第一电极110的每一侧上的三个如本文所描述的间隔件元件，并且如本文所描述的三个接触组件可从相应第一间隔件元件延伸穿过第一电极110进入相应第二间隔件元件，如图3A中示意性地描绘的那样。由此，可使第二电极在第一电极侧上与第一电极准确对准，并且可使第三电极在第二电极侧上与第一电极准确对准。
根据本文描述的一方面，提供了用于作用在带电粒子束上的电极布置的接触组件160。接触组件160包括：第一接触元件161，第一接触元件161被构造为从第一电极延伸到第一间隔件元件的第一盲孔中以用于电接触设于第一盲孔中的第一导电屏蔽件150；第二接触元件162，第二接触元件162被构造为从第一电极延伸到第二间隔件元件的第二盲孔以用于电接触设于第二盲孔中的第二导电屏蔽件151；以及弹簧元件165，弹簧元件165作用在第一接触元件161与第二接触元件162之间并且将第一接触元件161和第二接触元件162沿光轴A推开到相反方向上。
接触组件160可包括上文公开的接触组件的一些特征或所有特征，使得可参考上述说明，本文不再对此进行赘述。特别地，接触组件可根据图3B描绘的接触组件160来构造，其包括具有套筒区段的第一接触元件161和具有销区段的第二接触元件162，销区段具有突出到套筒部分中的头部部分。替代地，第一接触元件和第二接触元件可不同地成形，例如成形为对应地成形的接触销，它们被推动与相应导电屏蔽件接触，如图1示意性地描绘的那样。
图4是根据本文描述的实施例的带电粒子束装置300的示意图。带电粒子束装置300可以是被构造为对样本(例如，晶片)进行成像和/或检查的电子显微镜。
如本文所提及的“样本”、“样品”或“晶片”包括但不限于半导体晶片、半导体工件以及其他工件(诸如存储器盘等)。“样本”可具体地是被结构化或在其上沉积材料的任何工件。样本、样品或晶片可包括要被检查和/或成像的表面，例如被结构化面或已经在其上沉积层或材料图案的表面。例如，样品可以是要检查的在其上设有多个电子器件的基板或晶片。带电粒子束装置300可被构造为用于电子束检查(EBI)、临界尺寸测量和缺陷查验应用中的至少一种，并且本文描述的装置和方法可有益地用于获得改进的检测准确度和减小的成像错误或其他缺陷的风险。根据一些实施例，可提供电子束检查工具(EBI)、临界尺寸(CD)测量工具和/或缺陷查验(DR)工具，其中可实现高分辨率、大视野和高扫描速度。
带电粒子束装置300可包括带电粒子束源305，例如电子源，以用于产生沿光轴A传播的带电粒子束105。带电粒子束装置300进一步包括束影响元件，所述束影响元件包括根据本文描述的任何实施例的电极布置100。束影响元件可以是例如具有随后沿光轴A布置的三个电极的静电透镜。电极布置100可根据本文描述的实施例中的任何一个来构造，使得可参考以上说明。
带电粒子束装置300被构造为将带电粒子束105沿光轴A引导到样本310以从样本310释放信号粒子。样本310可放置在样本台311上，样本台311包括基本上在x-y平面中延伸的支撑表面。标本台311可以是可移动的。
带电粒子束源305可以是冷场发射器(CFE)、肖特基发射器、热场发射器(TFE)或高电流和/或高亮度带电粒子源、特别是电子源。在100mrad或更高的情况下，电流被认为是5μA。
根据一些实施例，带电粒子束装置300适于将带电粒子束装置的柱中的带电粒子束105沿光轴A引导到样本310以用于产生从样本释放的信号粒子，信号粒子包括在撞击时产生的二次粒子和从样本反射的背向散射粒子。一般来讲，带电粒子束105在撞击待成像和/或检查的样本之前行进穿过带电粒子束装置的柱。柱的内部可被排空，即，带电粒子束装置300典型地包括真空壳体，使得带电粒子束传播通过具有亚大气压的环境，所述亚大气压例如1mbar或更低、特别是1×10-5mbar或更低、或甚至1×10-8mbar或更低(超高真空)的压力。带电粒子束源305和另外的束光学部件可布置在带电粒子束装置的真空壳体内。
带电粒子束装置300可进一步包括用于将带电粒子束105聚焦到样本310上的物镜装置340，以及用于检测由样本发射的信号带电粒子(例如，二次电子和/或背向散射电子)的检测器350。
带电粒子束装置300可包括另外的束光学部件，例如，被构造为将由样本发射的信号带电粒子与带电粒子束105的一次带电粒子分离的束分离器345、用于在样本310的表面之上扫描带电粒子束105的扫描偏转器346和/或具有用于带电粒子束的一个或多个开口的一个或多个限束孔306。在一些实施例中，带电粒子束装置300是多小束装置，并且电极布置100包括用于每个小束的一组同轴对准的开口。在一些实施例中，一个或多个多极元件可提供用于聚焦、偏转、转向和校正像差中的至少一种。
可提供包括如本文描述的电极布置100的一个或多个束影响元件，例如静电和/或磁性透镜、反射镜校正器、静电束偏转器和/或静电多极元件，例如四极、八极或甚至更高阶多极。
图5是根据本文描述的实施例的用于示出减小在电极布置中的电场强度的方法的流程图。
在框510中，产生沿光轴A传播的带电粒子束。
在框520中，引导带电粒子束通过电极布置，所述电极布置包括设在第一电位上的第一电极和设在不同于第一电位的第二电位上的第二电极。电极布置可以是静电透镜。沿光轴A在第一电极与第二电极之间的距离可以是10mm或更小，特别是5mm或更小，并且第一电极与第二电极之间的电位差可以是9kV或更大。
第一间隔件元件、特别是陶瓷球被夹置在第一电极与第二电极之间并且使第一电极和第二电极相对于彼此对准。具体地，三个间隔件元件可被夹置在第一电极与第二电极之间以用于将第一电极和第二电极相对于彼此对准，特别是用于确保第一电极和第二电极彼此平行和/或彼此之间有预定距离。
在框530中，用设于第一间隔件元件的第一盲孔中的第一导电屏蔽件将电场线弯曲远离第一电极与第一间隔件元件之间的接触点(更具体地：远离三相点)。如本文所描述的接触组件可从第一电极突出到第一盲孔中并且提供第一电极与第一导电屏蔽件之间的电接触。
在框540中，带电粒子束105可聚焦在样本上，并且由样本发射的信号粒子可由检测器检测。
电极布置可进一步包括第三电极以及夹置在第一电极与第三电极之间并使第一电极和第三电极相对于彼此对准的至少一个第二间隔件元件。具体地，三个间隔件元件可被夹置在第一电极与第三电极之间以用于将第一电极和第三电极相对于彼此对准，特别是用于确保第一电极和第三电极彼此平行和/或彼此之间有预定距离。
根据本文描述的实施例，用设于第二间隔件元件的第二盲孔中的第二导电屏蔽件将电场线弯曲远离第一电极与第二间隔件元件之间的接触点(更具体地：三相点)。接触组件可突出到第二盲孔中并提供第二导电屏蔽件与第一电极之间的电接触。因此，接触组件将第一导电屏蔽件和第二导电屏蔽件两者与第一电极电接触，从而使电场线弯曲远离第一电极的两侧上的三相点。
所述方法可进一步包括例如用作用在第一接触元件与第二接触元件之间的弹簧元件来将接触组件的第一接触元件推动到第一盲孔中以与第一导电屏蔽件电接触并将接触组件的第二接触元件推动到第二盲孔中以与第二导电屏蔽件电接触。
第一接触元件和第二接触元件可相对于彼此被禁锢，即第一接触元件可保持在第二接触元件处，同时维持接触元件相对于彼此的可移动性。
如本文所描述的电极布置可如下安装：可将接触组件布置在第一电极的穿孔中，使得第一接触元件和第二接触元件沿光轴A从第一电极的相对表面向相反方向伸出。可将第一间隔件元件放置在第一接触元件上，使得第一接触元件突出到第一盲孔中，并且可将第二间隔件元件放置在第二接触元件上，使得第二接触元件突出到第二盲孔中。当第一电极放置在第二电极与第三电极之间时，第一接触元件和第二接触元件克服弹簧元件的偏置力被推到一起，从而确保接触元件与导电屏蔽件的电接触。弹簧元件进一步确保第一电极与第一接触元件和第二接触元件之间的电接触。
尽管前述内容针对的是实施例，但是在不脱离基本范围的情况下，可设想其他和进一步实施例，并且所述基本范围的范围由所附权利要求书的确定。

Claims (23)

1.一种用于作用在带电粒子束上的电极布置，包括：
第一电极，所述第一电极具有用于所述带电粒子束的第一开口；
第一间隔件元件，所述第一间隔件元件定位在设于所述第一电极中的第一电极侧上的第一凹槽中以用于将所述第一电极相对于第二电极对准，所述第一间隔件元件具有第一盲孔；
第一导电屏蔽件，所述第一导电屏蔽件设于所述第一盲孔中以用于使电场线弯曲远离所述第一电极的所述第一凹槽；以及
接触组件，所述接触组件从所述第一电极突出到所述第一盲孔中以用于提供在所述第一电极与所述第一导电屏蔽件之间的电接触。
2.根据权利要求1所述的电极布置，其中所述第一导电屏蔽件覆盖所述第一盲孔的内壁表面的90％或更多。
3.根据权利要求1所述的电极布置，其中所述第一导电屏蔽件覆盖所述第一盲孔的整个内壁表面。
4.根据权利要求1所述的电极布置，其中所述第一导电屏蔽件为涂覆在所述第一盲孔的内壁表面上的导电层。
5.根据权利要求1所述的电极布置，其中所述第一盲孔包括延伸到所述第一间隔件元件中并具有对应于所述第一间隔件元件的直径的30％或更多的长度的圆柱形通道。
6.根据权利要求1所述的电极布置，其中所述第一盲孔包括延伸到所述第一间隔件元件中并具有对应于所述第一间隔件元件的直径的40％或更多的长度的圆柱形通道。
7.根据权利要求1所述的电极布置，其中所述第一盲孔包括延伸到所述第一间隔件元件中并具有对应于所述第一间隔件元件的直径的50％或更多的长度的圆柱形通道。
8.根据权利要求1所述的电极布置，其中所述接触组件包括第一接触元件和弹簧元件，所述弹簧元件将所述第一接触元件推入到所述第一盲孔中以与所述第一导电屏蔽件电接触。
9.根据权利要求1所述的电极布置，其中所述接触组件将所述第一间隔件元件连接到所述第一电极，同时维持所述第一间隔件元件在所述电极布置的轴向方向(A)、所述第一电极的径向方向和所述第一电极的周向方向中的至少一者上相对于所述第一电极的可移动性。
10.根据权利要求1所述的电极布置，进一步包括：
第二间隔件元件，所述第二间隔件元件定位在设于所述第一电极中的与所述第一电极侧相对的第二电极侧上的第二凹槽中以用于将所述第一电极相对于第三电极对准，所述第二间隔件元件具有第二盲孔；以及
第二导电屏蔽件，所述第二导电屏蔽件设于所述第二盲孔中，
其中所述接触组件从所述第一电极延伸到所述第二盲孔中以用于提供在所述第一电极与所述第二导电屏蔽件之间的电接触。
11.根据权利要求10所述的电极布置，其中所述第一凹槽和所述第二凹槽由延伸穿过所述第一电极的穿孔连接，所述接触组件电接触所述穿孔的内壁并且穿过所述穿孔延伸到所述第一盲孔和所述第二盲孔两者中。
12.根据权利要求1所述的电极布置，其中所述接触组件包括用于接触所述第一导电屏蔽件的第一接触元件和用于接触设于布置在第二电极侧上的第二间隔件元件的第二盲孔中的第二导电屏蔽件的第二接触元件。
13.根据权利要求12所述的电极布置，其中所述接触组件进一步包括弹簧元件，所述弹簧元件在所述电极布置的轴向方向(A)上推动所述第一接触元件和所述第二接触元件彼此分开。
14.根据权利要求13所述的电极布置，其中所述弹簧元件电接触所述第一电极并且作用在所述第一接触元件的轴向端部或肩部与所述第二接触元件的轴向端部或肩部之间。
15.根据权利要求13所述的电极布置，其中所述弹簧元件是环绕所述第一接触元件和所述第二接触元件中的至少一者并且设于延伸穿过所述第一电极的穿孔中的螺旋弹簧。
16.根据权利要求12所述的电极布置，其中所述第二接触元件包括具有突出到所述第一接触元件的套筒区段中的头部部分的销区段，反之亦然。
17.根据权利要求12所述的电极布置，其中所述第二接触元件相对于所述第二接触元件可移动和被禁锢，特别地其中所述第二接触元件的头部部分被旋拧通过所述第一接触元件的内螺纹。
18.根据权利要求1所述的电极布置，其中所述第一间隔件元件是陶瓷球体，并且其中所述电极布置是包括至少三个电极的静电透镜。
19.一种用于作用在带电粒子束上的电极布置的接触组件，包括：
第一接触元件，所述第一接触元件被构造为从第一电极延伸到第一间隔件元件的第一盲孔中以用于电接触设于所述第一盲孔中的第一导电屏蔽件，其中所述第一导电屏蔽件减小在所述第一间隔件元件与所述第一电极之间的接触区域附近的电场强度；
第二接触元件，所述第二接触元件被构造为从所述第一电极延伸到第二间隔件元件的第二盲孔中以用于电接触设于所述第二盲孔中的第二导电屏蔽件，其中所述第二导电屏蔽件减小在所述第二间隔件元件与所述第一电极之间的接触区域附近的电场强度；以及
弹簧元件，所述弹簧元件作用在所述第一接触元件与所述第二接触元件之间并且将所述第一接触元件和所述第二接触元件推开到相反方向上。
20.一种带电粒子束装置，包括：
带电粒子束源，所述带电粒子束源用于产生沿光轴传播的带电粒子束；
束影响元件，所述束影响元件包括根据权利要求1所述的电极布置；
物镜装置，所述物镜装置用于将所述带电粒子束聚焦到样本上；以及
检测器，所述检测器用于检测由所述样本发射的信号带电粒子。
21.一种减小在用于作用在带电粒子束上的电极布置中的电场强度的方法，包括：
产生沿光轴传播的带电粒子束；
引导所述带电粒子束通过电极布置，所述电极布置至少包括设于第一电位上的第一电极、设于第二电位上的第二电极以及被夹置在所述第一电极与所述第二电极之间并使所述第一电极和所述第二电极相对于彼此对准的第一间隔件元件；以及
使电场线弯曲远离在所述第一电极与所述第一间隔件元件之间的接触点，其中第一导电屏蔽件设于所述第一间隔件元件的第一盲孔中，其中突出到所述第一盲孔中的接触组件提供在所述第一导电屏蔽件与所述第一电极之间的电接触。
22.根据权利要求21所述的方法，其中所述电极布置进一步包括至少第三电极和被夹置在所述第一电极与所述第三电极之间并使所述第一电极和所述第三电极相对于彼此对准的第二间隔件元件，进一步包括：
使电场线弯曲远离在所述第一电极与所述第二间隔件元件之间的接触点，其中第二导电屏蔽件设于所述第二间隔件元件的第二盲孔中，其中所述接触组件突出到所述第二盲孔中并且提供在所述第二导电屏蔽件与所述第一电极之间的电接触。
23.根据权利要求22所述的方法，进一步包括：将所述接触组件的第一接触元件推动到所述第一盲孔中以与所述第一导电屏蔽件电接触并且将所述接触组件的第二接触元件推动到所述第二盲孔中以与所述第二导电屏蔽件电接触。
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