CN118338517A - 具备由高真空紫外线透过率材质构成的照射窗的真空腔室的视口结构 - Google Patents

Abstract

本发明的具备由高真空紫外线透过率材质构成的照射窗的真空腔室的视口结构包括：视口，所述视口配置成能在保持真空腔室真空状态的状态下轻松拆装除静电装置；及除静电装置，所述除静电装置结合于所述视口并向所述真空腔室内照射真空紫外线；其中，所述除静电装置包括：真空紫外线灯，所述真空紫外线灯照射所述真空紫外线；头部，所述头部具备可供所述真空紫外线灯照射的真空紫外线透过的第一照射窗并结合于所述视口；其中，所述视口具备由高真空紫外线透过率材质构成的第二照射窗。

Description

具备由高真空紫外线透过率材质构成的照射窗的真空腔室的 视口结构

技术领域

本发明涉及具备由高真空紫外线透过率材质构成的照射窗的真空腔室的视口结构，更详细地，涉及一种无需解除真空腔室的真空度便可使得原有利用真空紫外线的除静电装置从真空腔室自由拆装的具备由高真空紫外线透过率材质构成的照射窗的真空腔室的视口结构。

背景技术

为了事先预防在LCD、OLED、晶片等各种基板或者片状结构或各种膜结构等各种材料或者制品处理工序中，因附着细微灰尘或静电而发生器件损坏等问题，通常安装除静电装置。

另一方面，最近随着LCD、OLED、半导体技术进一步精密化，在减压真空环境下进行的例如沉积工序或真空腔室内工序，或在特殊环境下进行的例如处置惰性气体等工序也呈现大幅增加的趋势。

在这种特殊环境下，电晕放电式装置因高压放电导致的溅射现象、离子平衡调整导致的不便等问题，存在难以应用的问题，X射线辐射式装置由于除电性能低而存在难以应用的问题。

因此，最近开发了照射真空紫外线来执行除电的利用真空紫外线的除静电装置技术，这种利用真空紫外线的除静电装置加装于减压或惰性气体的真空腔室的视口，用以去除在显示面板或半导体晶片中产生的静电。

但是，这种利用真空紫外线的除静电装置的寿命较短，约为2000小时，因而每当更换制品时，需解除真空腔室的真空度，因此存在难以满足需求方制造工序进度的问题。

而且，以往的利用真空紫外线的除静电装置随着运转时间的推移，在真空紫外线灯表面吸附有异物，真空紫外线光量减少，因而发生除静电性能低下的问题。

【现有技术文献】

【专利文献】

（专利文献1）韩国授权专利第10-2065347号（2020.01.07）

发明内容

技术课题

本发明的目的旨在解决如上所述问题，提供一种具备由高真空紫外线透过率材质构成的照射窗的真空腔室的视口结构，使得可只将利用真空紫外线的除静电装置从真空状态的真空腔室自由拆装。

另外，提供一种用以防止异物在真空紫外线灯表面吸附的具备由高真空紫外线透过率材质构成的照射窗的真空腔室的视口结构。

本发明的目的不限于以上提及的目的，未提及的其他目的是本发明技术领域的技术人员可以从以下记载明确理解的。

技术方案

为了达成所述目的，本发明的具备由高真空紫外线透过率材质构成的照射窗的真空腔室的视口结构的特征在于，包括：视口，所述视口配置成能在保持真空腔室真空状态的状态下轻松拆装除静电装置；及除静电装置，所述除静电装置结合于所述视口并向所述真空腔室内照射真空紫外线；其中，所述除静电装置包括：真空紫外线灯，所述真空紫外线灯照射所述真空紫外线；头部，所述头部具备可供所述真空紫外线灯照射的真空紫外线透过的第一照射窗并结合于所述视口；其中，所述视口具备由高真空紫外线透过率材质构成的第二照射窗。

另外，其特征在于，所述第一照射窗由高真空紫外线透过率材质构成。

另外，其特征在于，所述视口在供所述头部插入的插入口形成有阻尼器，所述阻尼器用以防止由高真空紫外线透过率材质构成的所述第一照射窗和所述第二照射窗因抵接而破损。

另外，其特征在于，所述高真空紫外线透过率材质能够由包括氟化镁（MagnesiumFluoride、MgF2）、氟化钙（Calcium fluoride、CaF2）、氟化铜（Copper （II） fluoride、CuF2）、氟化锂（Lithium fluoride,LiF）的高透过率材质中的一种制作，但优选由真空紫外线透过率优异的氟化镁（Magnesium Fluoride、MgF2）材质构成。

另外，其特征在于，所述阻尼器形成得使所述第一照射窗与所述第二照射窗的间隔能够保持0.1至2.0mm。

另外，其特征在于，所述阻尼器由包括聚四氟乙烯材质的不被臭氧腐蚀的材料构成，以便使得不被在所述第一照射窗与所述第二照射窗的间隔之间因真空紫外线而产生的臭氧腐蚀。

另外，其特征在于，所述阻尼器形成有插入孔，所述头部形成有凸出部件，所述凸出部件用以插入于所述插入孔而被所述阻尼器定位，当所述视口与所述头部之间结合时，能够在借助于所述阻尼器而保持所述第一照射窗与所述第二照射窗的间隔的状态下相互结合。

发明效果

本发明的具备由高真空紫外线透过率材质构成的照射窗的真空腔室的视口结构具有的效果是，利用真空腔室的视口与除静电装置的头部的自动拆卸结构，每当更换除静电装置时无需解除真空腔室的真空度。

另外，本发明的具备由高真空紫外线透过率材质构成的照射窗的真空腔室的视口结构具有的效果是，通过双重的高真空紫外线透过率材质照射窗结构，使得在真空紫外线灯表面不吸附异物，可以防止因异物吸附导致的除电性能低下。

附图说明

图1为示出本发明一实施例的除静电装置的主视图。

图2为示出本发明一实施例的除静电装置的俯视图。

图3为沿图2的A-A`线的剖面图。

图4为示出本发明一实施例的除静电装置的分解立体图。

图5为示出本发明一实施例的除静电装置的分解剖面图。

图6为示出本发明一实施例的真空腔室的视口的剖面图。

图7为本发明一实施例的真空腔室的视口与除静电装置的头部连接前剖面图。

图8为本发明一实施例的真空腔室的视口与除静电装置的头部连接后剖面图。

具体实施方式

参照下文中与附图一起详细叙述的实施例，本发明的优点及特征以及实现他们的方法将会明确。但是，本发明并不限定于以下公开的实施例，可以以互不相同的多种形态实现，本实施例只提供用于使本发明的公开完整，向本发明所属技术领域的技术人员完整地告知发明的范畴，本发明只由权利要求项的范畴所定义。

下面参照附图，详细说明实施本发明所需的具体内容。与附图无关，相同的构件标记指称相同的构成要素，“和/或”包括提及的各个项目及一个以上的所有组合。

虽然为了叙述多种构成要素而使用了“第一”“第二”等，但这些构成要素当然不由这些术语所限定。这些术语只用于将一个构成要素区别于其他构成要素。因此，下面提及的第一构成要素在本发明的技术思想内，当然也可以是第二构成要素。

本说明书中使用的术语用于说明实施例，并非要限制本发明。在本说明书中，只要在语句中未特别提及，单数型也包括复数型。说明书中使用的“包括（comprises）”和/或“包括的（comprising）”，不排除在提及的构成要素之外存在或添加一个以上其他构成要素。

如果没有不同的定义，则本说明书中使用的所有术语（包括技术及科学术语）可以用作本发明所属技术领域的技术人员可以共同理解的意义。另外，一般使用的字典中定义的术语，只要未明确地特别定义，则不得过于或过度地解释。

下面参照附图，详细说明本发明的优选实施例。

图1为示出本发明一实施例的除静电装置的主视图，图2为示出本发明一实施例的除静电装置的俯视图，图3为沿图2的A-A`线的剖面图，图4为示出本发明一实施例的除静电装置的分解立体图，图5为示出本发明一实施例的除静电装置的分解剖面图，图6为示出本发明一实施例的真空腔室的视口的剖面图，图7为本发明一实施例的真空腔室的视口与除静电装置的头部连接前剖面图。

参照图1至图7，本发明的具备由高真空紫外线透过率材质构成的照射窗的真空腔室的视口结构大致包括：除静电装置，所述除静电装置包括头部100和插座部200，用以向真空腔室内照射真空紫外线；视口300，所述视口300配置成可在保持真空腔室的真空状态的状态下轻松拆装所述除静电装置。

对所述除静电装置进行更具体说明，所述除静电装置包括：头部100，所述头部100包括照射真空紫外线的真空紫外线灯110、可供所述真空紫外线灯110照射的真空紫外线透过的第一照射窗120；插座部200，所述插座部200包括与所述头部100结合并向所述真空紫外线灯110接入高频电源的高频发生装置。

更详细地，所述真空紫外线灯100包括放电管和外部电极。所述放电管可包括可供真空紫外线透过的石英玻璃（Quartz）、软质玻璃（soft glass）及硬质玻璃（Hard glass）材质等。但并非必须限定于此，所述放电管也可还包括多种材质。

在所述放电管内部形成有放电空间，在放电空间中填充有惰性气体。

所述真空紫外线灯110插入加装于容纳空间，并可向除电对象物照射真空紫外线。

所述真空紫外线灯110可意指密封有惰性气体的密闭型结构的准分子灯，内部无灯丝，无需预热时间便可将气体作为光源进行发光。

根据惰性气体的种类，所述准分子灯可放射波长区域为100nm以上、200nm以下的紫外线光。此时，所述惰性气体的压力可为10至1000mbar，惰性气体可包括但不限于He、Ar、N、Cr、Ne、Kr、Xe、O、Ta中的任一种。作为又一示例，当然可包括2种以上惰性气体进行混合。

所述外部电极具有由包围放电管的网、薄板等导电材质制成的筒状等形状，可由铝等金属材质构成。在所述外部电极，外部配备的电压发生装置和所述高频发生装置可连接而获得电源供应。

因此，所述真空紫外线灯110如果向外部电极接入高电压，则放射100至200nm波长（等离子体）的紫外线光。

所述第一照射窗120可由高真空紫外线透过率材质制作。例如，所述第一照射窗120可由包括氟化镁（Magnesium Fluoride，MgF2）、氟化钙（Calcium fluoride，CaF2）、氟化铜（Copper （II） fluoride，CuF2）、氟化锂（Lithium fluoride，LiF）的高透过率材质中的一种制作，但优选由真空紫外线透过率优异的氟化镁（Magnesium Fluoride，MgF2）材质构成。

然后，所述插座部200是可供所述头部100拆装的结构，可包括插座部外壳210和高频发生装置构成。

所述高频发生装置是为了向所述真空紫外线灯110供应电源以产生真空紫外线（等离子体波长）而产生高频振荡的RF信号的电源供应装置，虽然未示出，但可包括进行高频振荡的振荡器和使电源放大而产生高功率RF（Radio Frequency）能量的功率放大器。

另外，所述插座部200可进而包括阻抗匹配部构成，所述阻抗匹配部包括RF线圈、微调电容器。

更详细地，所述阻抗匹配部配备用以整合高频发生装置与真空紫外线灯110之间的阻抗（Impedance），可包括RF线圈而由RF电路构成。

所述真空紫外线灯110具有固有特性，相应阻抗的差异因高频发生装置与真空紫外线灯110间的阻抗差异而出现。因此，所述阻抗匹配部可还包括微调电容器构成，所述微调电容器用以根据真空紫外线灯110的阻抗变化来改变阻抗，以整合高频发生装置与真空紫外线灯110之间的阻抗。

因此，阻抗匹配部通过配备RF线圈和微调电容器，可实现阻抗的精密匹配。因此，可解决因在未执行阻抗匹配的情况下可能发生的过度反射波等导致的制品寿命缩短、过度耗电、发热等问题。

另外，所述插座部200可还包括传感器部构成，所述传感器部在内部一侧形成，用以感测所述真空紫外线灯110的点亮状态。

所述传感器部包括用以感测光线的受光传感器（未示出），包括连接所述受光传感器与所述真空紫外线灯110的光管。

所述光管可根据供所述受光传感器配备的主PCB板位置而具有一字型或弯曲形状。

另一方面，显而易见，传感器部可配置成通过另外的有线/无线通信方式而向外部配备的控制部等传输信息。

另外，所述插座部200可还包括屏蔽板（未示出）构成，所述屏蔽板（未示出）用以保护所述主PCB板免受插座部300内部产生的高频影响。

所述屏蔽板的结构、大小和位置可根据所述主PCB板位置而多样地变化形成，以便保护所述主PCB板。

然后，视口300包括：视口外壳310，所述视口外壳310形成有供所述头部100插入结合的插入口；第二照射窗320，所述第二照射窗320位于所述插入口，可供所述头部100的真空紫外线灯110照射的真空紫外线透过。

所述视口外壳310的所述插入口侧可构成得具有C形夹应用结构311，以便可利用C形夹制品而与所述头部100连接。此时，所述头部外壳210也一样，优选以C形夹应用结构形成。

与所述第一照射窗120一样，所述第二照射窗320可由高真空紫外线透过率材质构成，与所述第一照射窗120一样，所述第二照射窗320优选由氟化镁（Magnesium Fluoride，MgF2）材质构成。

因此，以往的利用真空紫外线的除静电装置只具备一个照射窗，从而除静电装置随着运转时间的推移，在照射窗表面吸附有异物，从除静电装置照射的真空紫外线光量减少，除电性能下降，但本发明一实施例的具备由高真空紫外线透过率材质构成的照射窗的真空腔室的视口结构，通过例如由氟化镁（Magnesium Fluoride，MgF2）材质构成的第一照射窗120和第二照射窗320的双重氟化镁（MgF2）照射窗结构，可防止在所述第一照射窗120表面吸附异物，可解决因异物吸附导致的除电性能低下问题。

另外，所述第二照射窗320为了减小从所述第一照射窗120透过的真空紫外线的光损耗，可具有大于所述第一照射窗120的直径，例如，可构成得使直径比调节为1:2至1:20，以使从所述除静电装置照射的真空紫外线可有效入射至真空腔室内。

另外，所述第二照射窗320的另一面可具有凹透镜形状。因此，从真空紫外线灯110照射的真空紫外线在穿过第一照射窗120后，在穿过具有凹透镜形状的第二照射窗320的同时可散开，以向更宽范围照射真空紫外线。

同时，所述第二照射窗320的另一面可具有凸透镜形状，从真空紫外线灯110照射的真空紫外线在穿过第一照射窗120后，在穿过具有凸透镜形状的第二照射窗320的同时可收敛，以向更窄范围集中照射。

图8为本发明一实施例的真空腔室的视口与除静电装置的头部连接后剖面图。

另一方面，进一步参照图8，所述视口300可还包括阻尼器330构成，所述阻尼器330用以防止例如硬度不强的氟化镁（MgF2）材质的第二照射窗320与相同材质的第一照射窗120直接抵接而破损。

此时，优选所述阻尼器330形成得使所述第一照射窗120与所述第二照射窗320的间隔可保持0.1至2.0mm。

而且，在所述第一照射窗120与所述第二照射窗320的间隔之间会因真空紫外线而产生臭氧，因而优选所述阻尼器330由包括聚四氟乙烯材质的不被臭氧腐蚀的材料构成，以便不被臭氧所腐蚀。

例如，所述阻尼器330形成有插入孔，在所述头部110上形成有凸出部件，所述凸出部件用以插入于所述插入孔而被所述阻尼器330定位，当所述视口300与所述头部100之间结合时，可借助所述阻尼器300而使得所述第一照射窗120与所述第二照射窗320在保持间隔的状态下相互结合。

因此，具有如上所述构成的具备由高真空紫外线透过率材质构成的照射窗的真空腔室的视口结构，即使除静电装置的头部100从真空腔室的视口300分离，由于所述视口300配置于真空腔室的外侧，因而依然可保持真空腔室的真空，因此可获得如下效果：每当更换除静电装置时，无需解除真空腔室的真空度便可通过拆装方式自由地更换。

以上参照附图说明了本发明的实施例，但本发明所属技术领域的技术人员可以理解，本发明在不变更其技术思想或必需特征的情况下，可以以其他具体形态实施。因此，以上记述的实施例在所有方面应理解为只是示例而非限定。

附图标记

100：头部

110：真空紫外线灯

120：第一照射窗

200：插座部

210：插座部外壳

300：视口

310：视口外壳

320：第二照射窗

330：阻尼器。

Claims (7)

1.一种具备由高真空紫外线透过率材质构成的照射窗的真空腔室的视口结构，其特征在于，包括：

视口，所述视口配置成能在保持真空腔室真空状态的状态下轻松拆装除静电装置；及

除静电装置，所述除静电装置结合于所述视口并向所述真空腔室内照射真空紫外线；

其中，所述除静电装置包括：真空紫外线灯，所述真空紫外线灯照射所述真空紫外线；头部，所述头部具备能供所述真空紫外线灯照射的真空紫外线透过的第一照射窗并结合于所述视口；

其中，所述视口具备由高真空紫外线透过率材质构成的第二照射窗。

2.根据权利要求1所述的具备由高真空紫外线透过率材质构成的照射窗的真空腔室的视口结构，其特征在于，所述第一照射窗由高真空紫外线透过率材质构成。

3.根据权利要求2所述的具备由高真空紫外线透过率材质构成的照射窗的真空腔室的视口结构，其特征在于，所述视口在供所述头部插入的插入口形成有阻尼器，所述阻尼器用以防止由高真空紫外线透过率材质构成的所述第一照射窗和所述第二照射窗因抵接而破损。

4.根据权利要求1至3所述的具备由高真空紫外线透过率材质构成的照射窗的真空腔室的视口结构，其特征在于，所述高真空紫外线透过率材质为氟化镁（MgF2）。

5.根据权利要求3所述的具备由高真空紫外线透过率材质构成的照射窗的真空腔室的视口结构，其特征在于，所述阻尼器形成得使所述第一照射窗与所述第二照射窗的间隔能够保持0.1至2.0mm。

6.根据权利要求3所述的具备由高真空紫外线透过率材质构成的照射窗的真空腔室的视口结构，其特征在于，所述阻尼器由包括聚四氟乙烯材质的不被臭氧腐蚀的材料构成，以便使得不被在所述第一照射窗与所述第二照射窗的间隔之间因真空紫外线而产生的臭氧腐蚀。

7.根据权利要求3所述的具备由高真空紫外线透过率材质构成的照射窗的真空腔室的视口结构，其特征在于，

所述阻尼器形成有插入孔，

所述头部形成有凸出部件，所述凸出部件用以插入于所述插入孔而被所述阻尼器定位，

当所述视口与所述头部之间结合时，能够在借助于所述阻尼器而保持所述第一照射窗与所述第二照射窗的间隔的状态下相互结合。