CN118266062A - 树脂密封装置、密封模具以及树脂密封方法 - Google Patents

树脂密封装置、密封模具以及树脂密封方法 Download PDF

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CN118266062A CN202280075446.3A CN202280075446A CN118266062A CN 118266062 A CN118266062 A CN 118266062A CN 202280075446 A CN202280075446 A CN 202280075446A CN 118266062 A CN118266062 A CN 118266062A
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Abstract

本发明的目的在于提供一种通过简洁的结构来实现固定销的上下移动机构的密封模具。作为解决手段，本发明的密封模具(202)包括在锁紧块(213)与其中一个板(251)之间可上下移动的支撑板(215)，支撑板(215)具有支撑工件(W)的支撑构件(221)，由另一个板(252)予以支撑地设有推动销(226)，所述推动销(226)在设为自闭模状态进一步使其中一个板(251)与另一个板(252)接近的状态时，朝背离模腔板(211)的方向推动支撑板(215)。

Description

树脂密封装置、密封模具以及树脂密封方法
技术领域
本发明涉及一种利用树脂来密封工件的树脂密封装置、密封模具以及树脂密封方法。
背景技术
作为通过密封树脂(以下有时简称作“树脂”)对在基材上搭载有电子零件的工件进行密封而加工为成形品的树脂密封装置以及树脂密封方法的示例，已知有借助转注成形方式的例子。
转注成形方式为如下所述的技术：设置对包括上模与下模而构成的密封模具中所设的一对密封区域(模腔)供给规定量的树脂的熔罐(pot)，在与所述各密封区域对应的位置分别配置工件并利用上模与下模来夹紧，通过自熔罐使树脂流入模腔的操作来进行树脂密封(参照专利文献1：日本专利特开平6-37130号公报、专利文献2：日本专利特开2000-3923号公报)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利特开平6-37130号公报
专利文献2：日本专利特开2000-3923号公报
发明内容
发明所要解决的问题
作为树脂密封的被对象物的工件有各种各样的结构，例如有：如图8A所示那样，基材Wa及电子零件Wb的周围遍布整体(除了端子部等以外)而利用树脂R来密封的工件W；或者如图8B所示那样，以基材Wa(或电子零件Wb)的一面露出的方式而利用树脂R来密封的工件W等。在通过转注成形方式对此类工件进行树脂密封时，存在下述课题，即，无法或难以夹紧工件(具体而言为基材)，从而导致工件自规定位置发生位置偏离。
针对所述课题，在以往的转注成形方式中，公开有一种技术：通过使用可上下移动的支撑构件(支撑销)来进行工件的夹持，从而将其保持于模腔内，在树脂填充中的规定时机，使支撑构件上下移动而解除夹持，以避免工件自规定位置发生位置偏离(参照专利文献1、专利文献2)。
然而，以往的装置中的支撑构件的上下移动机构一般采用包括马达或气缸等之类的专用驱动机构的结构。因此，装置结构复杂化，而且，成为装置成本上升的主要原因。
解决问题的技术手段
本发明是有鉴于所述情况而完成，目的在于提供一种基于转注成形方式的树脂密封装置、密封模具以及树脂密封方法，包括使用可上下移动的支撑构件来进行工件的夹持及解除而进行树脂密封的结构，且对于支撑构件的上下移动机构，并非借助大规模的专用驱动机构而是通过利用闭模机构的结构来实现，从而可实现装置结构的简化以及装置成本的抑制。
本发明通过以下作为一实施方式而记载的解决手段来解决所述课题。
本发明的密封模具的要件在于包括上模以及下模，通过树脂来密封工件而加工为成形品，所述密封模具包括：模腔板，配设于所述上模或所述下模的至少一者，且具有模腔；锁紧块(chase block)，固定所述模腔板或者与所述模腔板一体地构成；上下模的顶板(topplate)或底板(bottom plate)中的其中一个板，对于所述锁紧块，朝进行所述上模与所述下模的闭模的方向赋予推动力；另一个板，与所述其中一个板成对地配设，联动地进行所述闭模；以及支撑板，能够上下移动地配设于所述锁紧块与所述其中一个板之间的位置，所述支撑板具有支撑构件，所述支撑构件是插通所述模腔板以及所述锁紧块而配设，且支撑所述工件，由所述另一个板予以支撑地设有推动销，所述推动销在设为自所述闭模状态进一步使所述其中一个板与所述另一个板接近的状态时，朝背离所述模腔板的方向推动所述支撑板。
据此，使用可上下移动的支撑构件将工件以夹持的状态保持于模腔内，且在树脂的填充中的规定时机使支撑构件上下移动而解除夹持，由此，能够以工件不会自规定位置发生位置偏离的方式进行树脂密封。而且，对于使支撑构件上下移动的机构，并非借助大规模的专用驱动机构而可通过利用闭模机构的结构来实现。因此，可实现装置结构的简化以及装置成本的抑制。进而，可优选地进行铸模底部填充(mold underfill)成形。
而且，优选为，还包括：支撑施力构件，对所述支撑板朝使其接近所述锁紧块的方向施力。据此，能够以支撑构件的前端部成为可与工件抵接的状态的方式来维持支撑板的位置，因此在闭模时可利用所述支撑构件的前端部来夹持工件。
而且，优选为，还包括：控制销，在设为自闭模状态进一步使所述其中一个板与所述另一个板接近的状态时，限制所述另一个板的移动，以规定所述推动销推动所述支撑板的推动量。据此，可设定支撑板的移动量，即，被固定于支撑板的支撑构件的移动量。
而且，优选为，所述支撑板具有固定销(set pin)，所述固定销是插通所述模腔板以及所述锁紧块而能够与所述推动销抵接地配设，将所述推动销的推动力传递至所述支撑板。此处，优选为，所述固定销是以与所述推动销抵接的前端面跟所述模腔板的模具面处于同一面内的方式而配设。据此，可设为在开模状态下，推动销的前端部不会自模具面突出的结构。因此，可使开模量最小化，从而可抑制节拍时间的增加。而且，即便在产生了运作不良或调整不足的情况下，也能防止内装载器(in loader)、外装载器(out loader)与推动销的碰撞。
而且，优选为，还包括：顶出板(eject plate)，能够上下移动地配设于所述锁紧块与所述其中一个板之间的位置、且相对于所述支撑板为所述锁紧块侧或所述其中一个板侧的任一个位置，所述顶出板具有顶出销(eject pin)，所述顶出销是插通所述模腔板以及所述锁紧块而能够与所述成形品抵接地配设。据此，在进行开模时，可从模腔中取出成形品。
而且，本发明的密封模具的要件在于包括上模以及下模，通过树脂来密封工件而加工为成形品，所述密封模具包括：模腔板，配设于所述上模，且具有模腔；锁紧块，固定所述模腔板或者与所述模腔板一体地构成；上下模的顶板或底板中的其中一个板，对于所述锁紧块，朝进行所述上模与所述下模的闭模的方向赋予推动力；另一个板，与所述其中一个板成对地配设，联动地进行所述闭模；以及支撑板，能够上下移动地配设于所述锁紧块与所述其中一个板之间的位置，所述支撑板具有支撑构件，所述支撑构件是插通所述模腔板以及所述锁紧块而配设，且构成所述模腔，由所述另一个板予以支撑地设有推动销，所述推动销在设为自所述闭模状态进一步使所述其中一个板与所述另一个板接近的状态时，朝背离所述模腔板的方向推动所述支撑板。或者本发明的密封模具的要件在于包括上模以及下模，通过树脂来密封工件而加工为成形品，所述密封模具包括：模腔板，配设于所述下模，且具有模腔；锁紧块，固定所述模腔板或者与所述模腔板一体地构成；上下模的顶板或底板中的其中一个板，对于所述锁紧块，朝进行所述上模与所述下模的闭模的方向赋予推动力；另一个板，与所述其中一个板成对地配设，联动地进行所述闭模；以及支撑板，能够上下移动地配设于所述锁紧块与所述另一个板之间的位置，所述支撑板具有支撑构件，所述支撑构件是插通所述模腔板以及所述锁紧块而配设，且构成所述模腔，由所述其中一个板予以支撑地设有推动销，所述推动销在设为自所述闭模状态进一步使所述其中一个板与所述另一个板接近的状态时，朝背离所述模腔板的方向推动所述支撑板。据此，可优选地进行铸模底部填充成形。
而且，本发明的树脂密封装置的要件在于包括所述密封模具。
而且，本发明的树脂密封方法的要件在于，使用密封模具，通过树脂来密封工件而加工为成形品，所述密封模具包括：模腔板，配设于构成密封模具的上模或下模的至少一者，且具有模腔；锁紧块，固定所述模腔板；上下模的顶板或底板中的其中一个板，推动所述锁紧块；另一个板，与所述其中一个板成对地配设，联动地进行所述密封模具的闭模；以及支撑板，能够上下移动地配设于所述锁紧块与所述其中一个板之间的位置，所述树脂密封方法包括下述工序：使用配设于所述支撑板的支撑构件，将所述工件支撑为自所述模腔的底部浮起的状态；继而，使所述其中一个板与所述另一个板接近而进行所述密封模具的闭模；继而，向所述模腔内填充所述树脂；以及继而，当所述模腔内的所述树脂的填充率达到70％～100％之间的任意设定值时，自闭模状态进一步使所述其中一个板与所述另一个板接近，由此，使用配设于所述另一个板的推动销来朝背离所述模腔板的方向推动所述支撑板，以解除所述支撑构件对所述工件的支撑。
发明的效果
根据本发明，能够使用可上下移动的支撑构件来进行工件的夹持以及解除，因此能够以工件不会自规定位置发生位置偏离的方式来进行树脂密封。而且，对于支撑构件的上下移动机构，并非设置大规模的专用驱动机构，而可通过利用闭模机构的结构来实现，因此可实现装置结构的简化以及装置成本的抑制。进而，可优选地进行铸模底部填充成形。
附图说明
[图1]图1是表示本发明的实施方式的树脂密封装置的示例的平面图。
[图2]图2是图1的II-II线位置的侧面图。
[图3]图3是表示本发明的第一实施方式的密封模具的示例的侧面剖面图。
[图4]图4是包括图3所示的密封模具的树脂密封装置的动作说明图(侧面剖面图)。
[图5]图5是继图4之后的动作说明图(侧面剖面图)。
[图6]图6是继图5之后的动作说明图(侧面剖面图)。
[图7]图7是继图6之后的动作说明图(侧面剖面图)。
[图8]图8A至图8C是表示成为树脂密封对象的工件的示例的剖面图。
[图9]图9是表示本发明的第二实施方式的密封模具的示例的侧面剖面图。
[图10]图10是包括图9所示的密封模具的树脂密封装置的动作说明图(侧面剖面图)。
[图11]图11是继图10之后的动作说明图(侧面剖面图)。
[图12]图12A以及图12B是表示图9所示的密封模具的模腔的示例的侧面剖面图。
[图13]图13A以及图13B是表示图9所示的密封模具的模腔的示例的侧面剖面图。
[图14]图14A以及图14B是表示图9所示的密封模具的模腔的另一示例的侧面剖面图。
具体实施方式
[第一实施方式]
(整体结构)
以下，参照附图来详细说明本发明的第一实施方式。图1是表示本发明的实施方式的树脂密封装置1的示例的平面图(概略图)。此外，为了方便说明，图中有时通过箭头来说明树脂密封装置1中的前后、左右、上下的方向。而且，在用于说明各实施方式的所有图中，对于具有相同功能的构件标注相同的符号，且有时省略其重复说明。
所述树脂密封装置1是使用包括上模204以及下模206的密封模具202，对工件(被成形品)W进行树脂密封而加工为成形品Wp的装置。以下，作为本实施方式的密封模具202以及树脂密封装置1，举下述基于转注成形方式的树脂密封装置为例来进行说明，即，其包括在上模204具有模腔207且在下模206具有模腔208以及熔罐(未图示)的结构，进行上模204与下模206的闭模，并且将熔罐内的树脂R填充至模腔207、模腔208内以对工件W进行树脂密封。但并不限定于所述结构，也可设为仅在上模204或下模206的其中一者具有模腔的结构(未图示)。
首先，作为成形对象的工件W包括在基材Wa上以规定配置搭载有多个电子零件Wb的结构。更具体而言，作为基材Wa的示例，可列举形成为长方形状、圆形状等的树脂基板、陶瓷基板、金属基板、载板(carrier plate)、引线框架、晶片、散热器(散热构件)等的板状构件。而且，作为电子零件Wb的示例，可列举半导体芯片、微机电系统(Micro ElectroMechanical System，MEMS)芯片、被动元件、导电构件、间隔件、散热器(散热构件)以及它们的组合等。但并不限定于这些。
作为在基材Wa上搭载电子零件Wb的方法的示例，有借助引线接合安装、覆晶安装等的搭载方法。或者，在树脂密封后自成形品Wp剥离基材(玻璃制或金属制的载板)Wa的结构的情况下，也有使用具有热剥离性的粘着胶带或通过紫外线照射而硬化的紫外线硬化性树脂来贴附电子零件Wb的方法。
另一方面，作为树脂R的示例，使用平板型(作为一例，为圆柱状)的热硬化性树脂(例如含填料的环氧系树脂等)。此外，树脂R并不限定于所述状态，也可为圆柱状以外的形状，还可为环氧系热硬化性树脂以外的树脂。
继而，对本实施方式的树脂密封装置1的概要进行说明。如图1所示，树脂密封装置1包括下述部分作为主要结构，即：供给单元100A，主要进行作为树脂密封对象的工件W以及树脂R的供给；加压单元100B，主要对工件W进行树脂密封而加工为成形品Wp；以及收纳单元100C，主要进行树脂密封后的成形品Wp的收纳。
而且，树脂密封装置1包括搬送机构100D，所述搬送机构100D在各单元间移动，以进行工件W、树脂R以及成形品Wp的搬送。作为一例，搬送机构100D包括将工件W及树脂R搬入至加压单元100B的内装载器122、自加压单元100B搬出成形品Wp的外装载器124、以及内装载器122及外装载器124共用的导轨126。此外，搬送机构100D并不限定于所述的结构，也可设为适当地并用公知的拾取器等的结构(未图示)。而且，也可取代包括装载器的结构，而设为包括多关节机器人的结构(未图示)。
此处，内装载器122起到在供给单元100A中接纳工件W以及树脂R并搬送至加压单元100B的作用。作为内装载器122的结构例，设有沿着左右方向并列设置为两列且可分别保持一个工件W的工件保持部122A、工件保持部122B。而且，在两列工件保持部122A、工件保持部122B之间的位置，设有可沿着前后方向来保持多个(作为一例，举四个的情况为例，但并不限定于此，或者也可为单数个)树脂R的树脂保持部122C。此外，对于工件保持部122A、工件保持部122B以及树脂保持部122C，使用公知的保持机构(例如，具有保持爪来夹持的结构、具有连通于抽吸装置的抽吸孔来进行吸附的结构等)(未图示)。
本实施方式的内装载器122设为下述结构，即，沿左右方向以及前后方向移动而将工件W以及树脂R搬入至密封模具202内，并载置至下模206的规定位置。但并不限定于此，也可设为下述结构，即，各别地包括：沿左右方向移动而进行单元间的搬送的装载器、以及沿前后方向移动而进行向密封模具202的搬入的装载器(未图示)。
而且，外装载器124起到在加压单元100B中接纳成形品Wp(包含凹坑部、流道(runner)部等的多余树脂部分)并搬送至收纳单元100C的作用。作为外装载器124的结构例，设有沿左右方向并列设置为两列且可分别保持一个成形品Wp的成形品保持部124A、成形品保持部124B。此外，对于成形品保持部124A、成形品保持部124B，使用公知的保持机构(例如具有保持爪来夹持的结构、具有连通于抽吸装置的抽吸孔来进行吸附的结构等)(未图示)。
本实施方式的外装载器124设为下述结构，即，沿左右方向以及前后方向移动，将成形品Wp搬出至密封模具202外，并载置至成形品平台114。但并不限定于此，也可设为下述结构，即，各别地包括：沿前后方向移动而进行自密封模具202的搬出的装载器、以及沿左右方向移动而进行单元间的搬送的装载器(未图示)。
此外，树脂密封装置1可通过改变单元的结构来变更整体的构成形态。例如，图1所示的结构是设置有两台加压单元100B的示例，但也可为仅设置一台加压单元100B、或者设置三台以上的加压单元100B的结构等。而且，也可为追加设置其他单元的结构等(均未图示)。
(供给单元)
继而，对树脂密封装置1所包括的供给单元100A进行说明。
作为一例，供给单元100A包括：工件储料器102，被用于工件W的收容；以及工件平台104，载置工件W。此外，对于工件储料器102，使用公知的堆叠匣盒(stack magazine)、狭缝匣盒(slit magazine)等，可统一收容多个工件W。通过所述结构，使用公知的推顶器(pusher)等(未图示)而自工件储料器102取出工件W并载置于工件平台104上(作为一例，并列载置两个一组的工件W)。继而，被载置于工件平台104上的工件W由内装载器122予以保持而搬送至加压单元100B。
而且，供给单元100A(也可设为其他单元)在工件平台104的侧方位置包括供给树脂R的树脂供给机构140。作为一例，树脂供给机构140包括：供给部142，具有料斗、进料器等而供给树脂R；以及交接部144，具有升降机(elevator)等的移送机构而将自供给部142供给的多个树脂R保持至规定位置。通过所述结构，由交接部144所保持的多个树脂R由内装载器122予以保持而搬送至加压单元100B。
(加压单元)
继而，对树脂密封装置1所包括的加压单元100B进行说明。此处，图2是树脂密封装置1的加压装置250的侧面图(概略图)，图3是密封模具202的侧面剖面图(概略图)。
加压单元100B包括对密封模具202(详细将后述)进行开闭驱动而对工件W进行树脂密封的加压装置250。如图2所示，加压装置250包括将下述部分作为主要结构的闭模机构，即：密封模具202，具有下模206与上模204而配设在一对固定台板253、可动台板254间；多个连结机构256，架设一对台板253、254；驱动源(例如电动马达)260，使可动台板254可动(升降)；以及驱动传递机构(例如滚珠螺杆或曲柄连杆(toggle link)机构)262。此外，本实施方式中，上模204被组装至固定台板253，下模206被组装至可动台板254。通过所述结构，通过使可动台板254朝接近固定台板253的方向(此时为上方)移动，使上模204的模具面(后述的第一模腔板211的下表面)204a与下模206的模具面(后述的第二模腔板212的上表面)206a抵接，从而进行闭模。此外，并不限定于所述的结构，也可设为将上模204组装至可动式的台板而将下模206组装至固定式的台板的结构，或者还可设为将上模204、下模206均组装至可动式的台板的结构(均未图示)。
接下来，详细说明密封模具202的上模204。如图2、图3所示，上模204包括模腔板(第一模腔板)211、锁紧块(第一锁紧块)213等，是将它们加以组装而构成。本实施方式中，在第一模腔板211的下表面，设有收容工件W的整体或规定部位的模腔(第一模腔)207。所述第一模腔板211被固定于第一锁紧块213的下表面。此外，第一模腔板与第一锁紧块也可构成为一体构件(未图示)。而且，第一锁紧块213由顶板251予以支撑而在隔开规定尺寸的状态下受到固定。但并不限定于所述的结构。
而且，在第一模腔板211或第一锁紧块213设有上模加热器(未图示)。由此，可将填充于树脂流路(未图示)以及模腔207内的熔融状态的树脂R加热至规定温度。作为一例，对于上模加热器，使用公知的电热丝加热器、护套加热器等。
而且，上模204包括可上下移动地配设于第一锁紧块213与顶板251之间的位置的支撑板(第一支撑板)215。所述第一支撑板215包括支撑构件(第一支撑销)221，所述支撑构件(第一支撑销)221是插通第一模腔板211以及第一锁紧块213而配设，且可将工件W支撑为自第一模腔207的底部浮起的状态。此外，本实施方式的第一支撑销221设有多根(作为一例，为四根)而作为一个工件W的支撑用，但并不限定于此。
进而，包括对第一支撑板215朝使其接近第一锁紧块213的方向施力的支撑施力构件(第一支撑施力构件)231。而且，与第一锁紧块213螺合地设有施力构件固定架(第一支撑施力构件固定架)233，所述施力构件固定架(第一支撑施力构件固定架)233保持为第一支撑施力构件231的产生有所述施加力的状态。由此，在开模状态下，第一支撑板215成为抵接于第一锁紧块213的状态。此外，作为一例，对于第一支撑施力构件231使用金属制的螺旋弹簧，但并不限定于此。
此处，作为使第一支撑板215运作的机构，由底板252(后述)予以支撑地设有推动销(第一支撑板用推动销)226，所述推动销(第一支撑板用推动销)226朝背离第一模腔板211的方向推动第一支撑板215。作为一例，第一支撑板用推动销226是设为相对于底板252而直接地支撑(固定)的结构，但并不限定于此，也可设为介隔连结构件等而间接地支撑(固定)的结构(未图示)。
根据所述结构，当设为自上模204(此时为第一模腔板211)与下模206(此时为第二模腔板212)抵接的状态(即闭模状态)进一步使顶板251与底板252接近的状态时，通过被支撑(固定)于底板252的第一支撑板用推动销226，产生朝背离第一模腔板211的方向推动第一支撑板215的作用。由此，第一支撑板215朝向上方移动，被固定于所述第一支撑板215的第一支撑销221朝向上方移动。即，可解除第一支撑销221对工件W的支撑。
此处，第一支撑板215包括固定销(第一固定销)223，所述固定销(第一固定销)223是插通第一模腔板211以及第一锁紧块213而可与第一支撑板用推动销226抵接地配设，将第一支撑板用推动销226的推动力传递至第一支撑板215。即，本实施方式中，并非第一支撑板215被第一支撑板用推动销226直接推动的结构，而是经由固定于第一支撑板215的第一固定销223来被间接地推动的结构。
此时，优选为下述结构，即，第一固定销223是以与第一支撑板用推动销226抵接的前端面(此时为下端面)在不与第一支撑板用推动销226抵接的状态下跟第一模腔板211的下表面(即模具面204a)处于同一面内的方式而配设。根据此种结构，可设为在开模状态下第一支撑板用推动销226的前端部不会自模具面206a突出的结构。因此，可使开模量最小化，从而可抑制节拍时间的增加。而且，即便在产生了运作不良或调整不足的情况下，也可防止内装载器122、外装载器124与第一支撑板用推动销226的碰撞。此外，未必需要第一固定销223，例如第一支撑板用推动销226也可自模具面206a突出而直接推动第一支撑板215。
进而，本实施方式中，包括控制销(第一支撑板用控制销)228，所述控制销(第一支撑板用控制销)228规定第一支撑板215的移动量，即，第一支撑板用推动销226推动第一支撑板215的推动量。作为一例，第一支撑板用控制销228设为相对于第二锁紧块214(后述)而直接地支撑(固定)的结构，但并不限定于此，也可设为介隔连结构件等而间接地支撑(固定)的结构。而且，也可设为取代第二锁紧块214而被支撑(固定)于底板252的结构(均未图示)。
根据所述结构，在自闭模状态进一步使顶板251与底板252接近而由第一支撑板用推动销226所推动的第一支撑板215朝上方移动了规定量的时间点，第一支撑板用控制销228与底板252相抵接而产生限制底板252的移动(即，第一支撑板215的移动)的作用。由此，第一支撑板215(即，第一支撑销221)的移动量受到规定。此外，在第一支撑板用控制销228被支撑(固定)于底板252的结构的情况下，与第二锁紧块214抵接而产生同样的作用。
接下来，上模204包括顶出板(第一顶出板)217，所述顶出板(第一顶出板)217可上下移动地配设于第一锁紧块213与顶板251之间的位置且相对于第一支撑板215为顶板251侧的位置。此外，作为变形例，也可设为相对于第一支撑板215而在第一锁紧块213侧的位置配设第一顶出板217的结构(未图示)。所述第一顶出板217包括顶出板动作销239，所述顶出板动作销239是插通第一模腔板211、第一锁紧块213以及第一支撑板215而配设，且能够与可与工件W抵接的顶出销(第一顶出销)235以及下模206的模具面206a抵接。
进而，包括顶出施力构件(第一顶出施力构件)241，所述顶出施力构件(第一顶出施力构件)241对第一顶出板217朝使其接近第一锁紧块213以及第一支撑板215的方向施力。而且，与第一锁紧块213螺合地设有施力构件固定架(第一顶出施力构件固定架)243，所述施力构件固定架(第一顶出施力构件固定架)243保持为第一顶出施力构件241的产生有所述施加力的状态。因此，在开模状态下，第一顶出板217成为抵接于第一支撑板215的状态。此外，作为一例，对于第一顶出施力构件241使用金属制的螺旋弹簧，但并不限定于此。
根据所述结构，当设为上模204(此时为第一模腔板211)与下模206(此时为第二模腔板212)抵接的状态(闭模状态)时，顶出板动作销239的前端部(下端部)与下模206的模具面206a(此时为第二模腔板212的上表面)相抵接，通过其反作用力，产生朝背离第一支撑板215的方向推动第一顶出板217的作用。由此，第一顶出板217朝向上方移动，被固定于所述第一顶出板217的第一顶出销235朝向上方移动。即，可避免在闭模时第一顶出销235与工件W抵接。
与此相反地，在自上模204与下模206抵接的状态(闭模状态)使底板252朝下方移动而转变为开模状态时，顶出板动作销239的前端部(下端部)与下模206的模具面206a的抵接被解除，因此第一顶出板217朝向下方移动，被固定于所述第一顶出板217的第一顶出销235朝向下方移动。因此，经树脂密封的工件W(即，成形品Wp)的顶出(取出)成为可能。
以上，进行了上模204的说明，但在上模204中，配备有始终朝开方向对顶板251与第一锁紧块213施力的压缩螺旋弹簧263以及有肩螺栓264。此外，有肩螺栓264螺合于第一锁紧块213。
接下来，详细说明密封模具202的下模206。如图2、图3所示，下模206包括模腔板(第二模腔板)212、锁紧块(第二锁紧块)214等，是将它们加以组装而构成。本实施方式中，在第二模腔板212的上表面，设有收容工件W的整体或规定部位的模腔(第二模腔)208。所述第二模腔板212被固定于第二锁紧块214的上表面。此外，第二模腔板与第二锁紧块也可构成为一体构件(未图示)。而且，第二锁紧块214由底板252予以支撑而在隔开规定尺寸的状态下受到固定。但并不限定于所述的结构。
此处，在下模206，沿着前后方向而设有多个(作为一例，举四个的情况为例，但并不限定于此，或者也可为单数个)收容树脂(此处为树脂平板)R的筒状的熔罐。所述熔罐形成为与第二模腔板212以及第二锁紧块214连续的贯穿孔。而且，在熔罐内，配设有通过公知的转注驱动机构(未图示)而推动的柱塞。通过所述结构，柱塞受到推动，熔罐内的树脂R被供给至模腔207、模腔208内。此外，关于熔罐以及柱塞，尤其在图3等中为了便于理解其他机构而省略了图示。
而且，在第二模腔板212或第二锁紧块214，设有下模加热器(未图示)。由此，可将填充于树脂流路(未图示)以及模腔208内的熔融状态的树脂R加热至规定温度。作为一例，对于下模加热器，使用公知的电热丝加热器、护套加热器等。
而且，下模206包括可上下移动地配设于第二锁紧块214与底板252之间的位置的支撑板(第二支撑板)216。所述第二支撑板216包括支撑构件(第二支撑销)222，所述支撑构件(第二支撑销)222是插通第二模腔板212以及第二锁紧块214而配设，且可将工件W支撑为自第二模腔208的底部浮起的状态。此外，本实施方式的第二支撑销222设有多根(作为一例，为四根)而作为一个工件W的支撑用，但并不限定于此。
进而，包括对第二支撑板216朝使其接近第二锁紧块214的方向施力的支撑施力构件(第二支撑施力构件)232。而且，与第二锁紧块214螺合地设有施力构件固定架(第二支撑施力构件固定架)234，所述施力构件固定架(第二支撑施力构件固定架)234保持为第二支撑施力构件232的产生有所述施加力的状态。由此，在开模状态下，第二支撑板216成为抵接于第二锁紧块214的状态。此外，作为一例，对于第二支撑施力构件232使用金属制的螺旋弹簧，但并不限定于此。
此处，作为使第二支撑板216运作的机构，由顶板251予以支撑地设有推动销(第二支撑板用推动销)225，所述推动销(第二支撑板用推动销)225朝背离第二模腔板212的方向推动第二支撑板216。作为一例，第二支撑板用推动销225是设为相对于顶板251而直接地支撑(固定)的结构，但并不限定于此，也可设为介隔连结构件等而间接地支撑(固定)的结构(未图示)。
根据所述结构，当设为自上模204(此时为第二模腔板212)与下模206(此时为第二模腔板212)抵接的状态(闭模状态)进一步使顶板251与底板252接近的状态时，通过被支撑(固定)于顶板251的第二支撑板用推动销225，产生朝背离第二模腔板212的方向推动第二支撑板216的作用。由此，第二支撑板216朝向下方移动，被固定于所述第二支撑板216的第二支撑销222朝向下方移动。即，可解除第二支撑销222对工件W的支撑。
此处，第二支撑板216包括固定销(第二固定销)224，所述固定销(第二固定销)224是插通第二模腔板212以及第二锁紧块214而可与第二支撑板用推动销225抵接地配设，将第二支撑板用推动销225的推动力传递至第二支撑板216。即，本实施方式中，并非第二支撑板216被第二支撑板用推动销225直接推动的结构，而是经由固定于第二支撑板216的第二固定销224来被间接地推动的结构。
此时，优选为下述结构，即，第二固定销224是以与第二支撑板用推动销225抵接的前端面(此时为上端面)在不与第二支撑板用推动销225抵接的状态下跟第二模腔板212的上表面(即模具面206a)处于同一面内的方式而配设。根据此种结构，可设为在开模状态下第二支撑板用推动销225的前端部不会自模具面204a突出的结构。因此，可使开模量最小化，从而可抑制节拍时间的增加。而且，即便在产生了运作不良或调整不足的情况下，也可防止内装载器122、外装载器124与第二支撑板用推动销225的碰撞。此外，未必需要第二固定销224，例如第二支撑板用推动销225也可自模具面204a突出而直接推动第一支撑板216。
进而，本实施方式中，包括控制销(第二支撑板用控制销)227，所述控制销(第二支撑板用控制销)227规定第二支撑板216的移动量，即，第二支撑板用推动销225推动第二支撑板216的推动量。作为一例，第二支撑板用控制销227设为相对于第一锁紧块213而直接地支撑(固定)的结构，但并不限定于此，也可设为介隔连结构件等而间接地支撑(固定)的结构。而且，也可设为取代第一锁紧块213而被支撑(固定)于顶板251的结构(均未图示)。
根据所述结构，在自闭模状态进一步使顶板251与底板252接近而由第二支撑板用推动销225所推动的第二支撑板216朝下方移动了规定量的时间点，第二支撑板用控制销227与顶板251相抵接而产生限制顶板251的移动(即，第二支撑板216的移动)的作用。由此，第二支撑板216(即，第二支撑销222)的移动量受到规定。此外，在第二支撑板用控制销227被支撑(固定)于顶板251的结构的情况下，与第一锁紧块213抵接地产生同样的作用。
接下来，上模204包括顶出板(第二顶出板)218，所述顶出板(第二顶出板)218可上下移动地配设于第二锁紧块214与底板252之间的位置且相对于第二支撑板216为底板252侧的位置。此外，作为变形例，也可设为相对于第二支撑板216而在第二锁紧块214侧的位置配设第二顶出板218的结构(未图示)。所述第二顶出板218包括顶出销(第二顶出销)236，所述顶出销(第二顶出销)236是插通第二模腔板212、第二锁紧块214以及第二支撑板216而配设，且可与工件W抵接。
进而，包括顶出施力构件(第二顶出施力构件)242，所述顶出施力构件(第二顶出施力构件)242对第二顶出板218朝使其背离第二锁紧块214以及第二支撑板216的方向施力。而且，第二锁紧块214螺合地设有挡块244，所述挡块244规定第二顶出板218通过第二顶出施力构件242的施加力而朝向下方移动的移动量。因此，在闭模状态以及刚刚自闭模转变为开模之后的状态下，第二顶出板218成为自第二支撑板216隔开了规定尺寸的状态。此外，作为一例，对于第二顶出施力构件242使用金属制的螺旋弹簧，但并不限定于此。
此处，作为使第二顶出板218运作的机构，在加压装置250中的底板252下方的隔开了规定尺寸的位置设有第二顶出板用推动销(未图示)，所述第二顶出板用推动销朝接近第二模腔板212的方向推动第二顶出板218。根据所述结构，通过自上模204与下模206相抵接的状态(闭模状态)使底板252朝下方移动而转变为开模状态，进而使底板252朝下方移动规定量，从而第二顶出板用推动销的前端部(上端部)与第二顶出板218的下表面抵接，产生朝接近第二支撑板216的方向推动第二顶出板218的作用。由此，第二顶出板218朝向上方移动，被固定于所述第二顶出板218的第二顶出销236朝向上方移动。因此，经树脂密封的工件W(即，成形品Wp)的顶出(取出)成为可能。
如上所述，本实施方式中，举在上模204以及下模206这两者包括支撑板(上模204的第一支撑板215、下模206的第二支撑板216)以及支撑构件(上模204的第一支撑销221、下模206的第二支撑销222)的结构为例进行了说明，但并不限定于此。即，也可设为仅在上模204包括支撑板以及支撑构件的结构(此时，下模206可采用以往的模具结构等)。或者，也可设为仅在下模206包括支撑板以及支撑构件的结构(此时，上模204可采用以往的模具结构等)。
以上，进行了下模206的说明，但在下模206中，配备有始终朝开方向对底板252与第二锁紧块214施力的压缩螺旋弹簧265以及有肩螺栓266。此外，有肩螺栓266螺合于第二锁紧块214。
(收纳单元)
继而，对树脂密封装置1所包括的收纳单元100C进行说明。
作为一例，收纳单元100C包括：成形品平台114，载置成形品Wp；浇口破断部116，自成形品Wp去除凹坑部、流道部、浇口部等的多余树脂部分；以及成形品储料器112，被用于去除了多余树脂部分的成形品Wp的收容。此外，对于成形品储料器112，使用公知的堆叠匣盒、狭缝匣盒等，可统一收容多个成形品Wp。通过所述结构，使用外装载器124等将自加压单元100B搬送的成形品Wp(经由多余树脂部分而连结的状态)载置于成形品平台114上。继而，在使用公知的拾取器等(未图示)移送至浇口破断部116而去除了多余树脂部分后，使用公知的推顶器等(未图示)收容至成形品储料器112中。
(树脂密封动作)
继而，对使用本实施方式的树脂密封装置1来进行树脂密封的动作(即，本实施方式的树脂密封方法)进行说明。此处，举下述结构为例，即：通过在一个密封模具202中，一对模腔207、208设有两组的树脂密封装置1，将两个工件W(例如长条状等的工件)并列配置而统一进行树脂密封，从而同时获得两个成形品Wp。但并不限定于所述结构，工件W或模腔207、模腔208的个数可适当设定。
作为准备工序，实施加热工序(上模加热工序)，即，通过上模加热器，将上模204调整加热至规定温度(例如100℃～200℃)。而且，实施加热工序(下模加热工序)，即，通过下模加热器，将下模206调整加热至规定温度(例如100℃～200℃)。
继而，实施下述工序：通过公知的推顶器等(未图示)，自工件储料器102逐个地搬出工件W，并载置于工件平台104的上表面(此外，也可并用公知的拾取机构等)。而且，实施下述工序：通过公知的进料器、升降机等(未图示)，自供给部142逐个地搬出平板型的树脂R，并将多个(作为一例，为四个)树脂R保持于交接部144的规定位置。
继而，使内装载器122移动至工件平台104的正上方(也可在此位置预先待机)。在此位置实施下述工序：使工件平台104上升(或者使内装载器122下降)，通过工件保持部122A、工件保持部122B来保持工件W(本实施方式中，工件保持部122A、工件保持部122B分别保持一个工件W)。
继而，使内装载器122移动至交接部144的正上方。在此位置实施下述工序：使交接部144上升(或者使内装载器122下降)，通过树脂保持部122C来保持树脂R(本实施方式中，树脂保持部122C保持四个树脂R)。
继而，实施：通过内装载器122，在一次工序中将多个(本实施方式中为两个)工件W以及多个(本实施方式中为四个)树脂R搬送至加压单元100B的密封模具202内，并将工件W分别载置于下模206中的规定位置的工序(工件载置工序)；以及将树脂R分别收容至下模206中的多个(本实施方式中为四个)熔罐(未图示)的工序(树脂收容工序)。此外，也可在搬送中途实施通过设于内装载器122的加热器(未图示)来对工件W或树脂R进行预备加热的工序(预备加热工序)。
本实施方式的工件载置工序中，如图4所示，实施下述工序：在已开模的状态的下模206中，将工件W载置于呈前端部(上端部)突出至第二模腔208内的状态的第二支撑销222的所述前端部(上端部)的上表面。
继而，如图5所示，使可动台板254上升，使固定台板253与可动台板254接近，由此，使上模204的模具面204a与下模206的模具面206a抵接而进行密封模具202的闭模。此时，关于上模204，成为顶出板动作销239的前端部(下端部)与下模206的模具面206a抵接而第一顶出板217朝向上方移动，从而第一顶出销235朝向上方移动的状态(不与工件W抵接的状态)。而且，呈前端部(下端部)突出至第一模腔207内的状态的第一支撑销221的所述前端部(下端部)的下表面与工件W抵接。因此，工件W在被第一支撑销221与第二支撑销222夹持而自第一模腔207的底部以及第二模腔208的底部均浮起的状态下，被保持于所述模腔207、模腔208内。
在此状态下，实施下述工序：使转注驱动机构(未图示)运转，朝上模204的方向推动柱塞(未图示)，通过上模204的凹坑以及流道等的树脂流路(未图示)来压送已熔融的密封树脂而将其填充至模腔207、模腔208内(树脂填充工序)。
本实施方式的树脂填充工序中，如图6所示，当模腔207、模腔208内的树脂R的填充率达到任意设定值(作为一例，适当设定在70％～100％之间)时，实施自闭模状态进一步使固定台板253与可动台板254接近的工序。所述第二闭模的时机既可在上推柱塞的转注的高度位置处切换，也可依自开始按压柱塞计起的时间来切换，但并不限定于这些。
此时，通过被支撑(固定)于与可动台板254连接(连结)的底板252的第一支撑板用推动销226，第一支撑板215朝背离第一模腔板211的方向受到推动。由此，第一支撑板215朝向上方移动，被固定于所述第一支撑板215的第一支撑销221朝向上方移动。即，第一支撑销221对工件W的支撑被解除。同样地，通过被支撑(固定)于与固定台板253连接(连结)的顶板251的第二支撑板用推动销225，第二支撑板216朝背离第二模腔板212的方向受到推动。由此，第二支撑板216朝向下方移动，被固定于所述第二支撑板216的第二支撑销222朝向下方移动。即，第二支撑销222对工件W的支撑被解除。
根据所述结构，当成为树脂R于模腔207、模腔208内达到适当的填充率(作为一例，为70％～100％之间的设定值)，而所述模腔207、模腔208内的工件W的周围被树脂R覆盖至不会发生位置偏离的程度的状态时，可使第一支撑销221朝上方移动，并且使第二支撑销222朝下方移动，从而解除工件W的支撑(夹持)。因此，可防止因工件W的支撑(夹持)部位未经树脂密封而以露出的状态残留而成为故障的主要原因。而且，可解决无法或难以夹紧的工件W在树脂填充工序中自规定位置发生位置偏离的课题。尤其，在本实施方式中，无须设置大规模的专用驱动机构，通过利用用于进行闭模的驱动机构的结构便可实施所述工序，因此可实现装置结构的简化以及装置成本的抑制。
继而，在成为于模腔207、模腔208内填充有100％的树脂R的状态后，实施下述工序：进行规定时间的加热，对工件W进行树脂密封而加工为成形品Wp。
继而，如图7所示，通过使可动台板254下降，从而使固定台板253与可动台板254背离而进行密封模具202的开模。此时，关于上模204，顶出板动作销239的前端部(下端部)与下模206的模具面206a的抵接被解除，第一顶出板217朝向下方移动。因此，固定于所述第一顶出板217的第一顶出销235朝向下方移动。由此，经树脂密封的成形品Wp自第一模腔207内被顶出。另一方面，关于下模206，可动台板254下降规定量而第二顶出板用推动销(未图示)抵接于第二顶出板218的下表面，第二顶出板218朝向上方移动。此外，在可动台板254以及底板252，穿设有供所述第二顶出板用推动销插通的贯穿孔。因此，固定于所述第二顶出板218的第二顶出销236朝向上方移动(未图示)。由此，经树脂密封的成形品Wp自第二模腔208内被顶出。
继而，实施下述工序：通过外装载器124，自已开模的密封模具202，在一次工序中取出多个(本实施方式中为两个)成形品Wp(包含凹坑部、流道部等的多余树脂部分，为经由它们而连结的状态)。
继而，实施下述工序：通过外装载器124，将成形品Wp(包含凹坑部、流道部等)载置至成形品平台114上(此外，也可并用公知的拾取机构等)。继而，实施下述工序：在浇口破断部116中自成形品Wp去除凹坑部、流道部等的多余树脂部分。继而，实施下述工序：通过公知的推顶器等(未图示)，将成形品Wp(多余树脂部分已被去除的状态)逐个地搬入至成形品储料器112。此外，也可在这些工序之前实施进行成形品Wp的后固化(post cure)的工序。
以上是使用树脂密封装置1进行的树脂密封的主要动作。但所述的工序顺序为一例，只要无障碍，便可实施先后顺序的变更或并行实施。例如，本实施方式中，为包括两台加压单元100B的结构，因此通过并行地实施所述动作，可实现有效率的成形品形成。
[第二实施方式]
继而，对本发明的第二实施方式进行说明。本实施方式例如适合于如图8C所示那样在基材Wa与电子零件Wb之间具有空间的覆晶或球珊阵列(Ball Grid Array，BGA)类型的工件W，与前述的第一实施方式相比较，密封模具202的结构存在不同点。以下，以所述不同点为中心来进行说明。此处，将第二实施方式的密封模具202的侧面剖面图(概略图)示于图9。
首先，对本实施方式的密封模具202的上模204进行说明。如图9所示，上模204包括支撑板(第一支撑板)215，所述支撑板(第一支撑板)215可上下移动地配设于第一锁紧块213与顶板251之间的位置。所述第一支撑板215包括支撑构件(支撑块)229，所述支撑构件(支撑块)229是插通第一模腔板211以及第一锁紧块213而配设，构成模腔207。所述支撑块229形成为如下所述的块状(作为一例，为与电子零件Wb的形状对应的中空的四棱柱状)，即，相对于工件W而前端面229a抵接于基材Wa(参照图13A)，或者作为变形例，前端面229a未抵接于基材Wa(参照图14A)，且内周面229b遍及规定范围(作为一例，为除了流道部以外的整周)而可包覆电子零件Wb的周缘部。此外，用于取出成形品Wp的顶出销既可以贯穿支撑块229的方式而设，也可以按压成形品Wp的上表面的方式而设，还可以按压基材Wa的方式而设(均未图示)。
而且，本实施方式中，模腔207的底部构成为剖面T型形状的独立构件(模腔底部构件207a)，且设有朝向下模206对所述模腔底部构件207a施力的模腔底部施力构件249。据此，可在通过模腔底部施力构件249而施力的状态下使模腔底部构件207a抵接于工件W的电子零件Wb的上表面。
接下来，对本实施方式的密封模具202的下模206进行说明。如图9所示，下模206包括与锁紧块(第二锁紧块)为一体结构的模腔板(第二模腔板)212。此外，前述的第一实施方式的第二支撑板或第二顶出板等并非必需。
而且，作为密封模具202的变形例，也可设为将上模204与下模206上下相反地配置的结构(未图示)。
使用包括所述的本实施方式的密封模具202的树脂密封装置1来进行树脂密封的动作(即，本实施方式的树脂密封方法)与前述的第一实施方式相比较，尤其以下的工序不同。
具体而言，如图10所示，当设为上模204(此时为第一模腔板211)与下模206(此时为第二模腔板212)相抵接的状态(即闭模状态)时，由第一模腔板211的下表面(模具面204a)与第二模腔板212的上表面(模具面206a)夹持基材Wa而支撑工件W。而且，模腔底部构件207a因电子零件Wb以及覆晶接合部的厚度而向上移动，从而施力构件249发生挠曲，并且，电子零件Wb的周缘部遍及规定范围而由支撑块229的内周面229b予以包覆。此时所形成的空间部207A为模腔207的第一形态。此处，作为所述第一形态的模腔207的放大图，分别在图12A中表示将工件W设为未图示时的结构，在图13A中表示图示出工件W且支撑块229的前端面229a抵接于所述基材Wa的上表面时的结构，在图14A中作为变形例而表示图示出工件W且支撑块229的前端面229a未抵接于所述基材Wa的上表面时的结构。
在此状态下，使转注驱动机构(未图示)运转，朝上模204的方向推动柱塞(未图示)，通过上模204的凹坑以及流道等的树脂流路(未图示)来压送已熔融的树脂R，由此，可将所述树脂R填充至第一形态的模腔207内。因此，可在电子零件Wb的周缘部受到包覆的状态下，向基材Wa与电子零件Wb之间的狭小空间内以不会产生空隙(void)的方式填充树脂R。此外，模腔底部构件207a所抵接的电子零件Wb的上表面形成为露出状态。
当设为自所述状态(即闭模状态)如图11所示那样进一步使顶板251与底板252接近的状态时，通过被支撑(固定)于底板252的第一支撑板用推动销226，第一支撑板215朝背离第一模腔板211的方向受到推动。由此，第一支撑板215朝向上方移动，被固定于所述第一支撑板215的支撑块229朝向上方移动。因此，电子零件Wb的周缘部被支撑块229的内周面229b包覆的状态得以解除(此外，本实施方式中，模腔底部构件207a抵接于电子零件Wb的上表面的状态未被解除)。此时，追加形成的空间部207B与所述的空间部207A合起来成为模腔207的第二形态。此处，作为所述第二形态的模腔207的放大图，分别在图12B中表示将工件W设为未图示时的结构，在图13B中表示图示出工件W且支撑块229的前端面229a抵接于所述基材Wa的上表面时的结构，在图14B中作为变形例而表示图示出工件W且支撑块229的前端面229a未抵接于所述基材Wa的上表面时的结构。
在此状态下，使转注驱动机构(未图示)进一步运转，从而朝上模204的方向推动柱塞(未图示)，通过上模204的凹坑以及流道等的树脂流路(未图示)来压送已熔融的树脂R，由此，可将所述树脂R填充至第二形态的模腔207内。因此，可利用树脂R来对基材Wa进行密封，以包覆电子零件Wb的规定部位。
如此，根据本实施方式的密封模具202，可优选地进行所谓的铸模底部填充成形。即，通过图10所示的第一阶段的结构，能够以不会产生空隙(void)的方式向树脂R难以进入的基材Wa与电子零件Wb之间确实地填充所述树脂R。随后，通过图11所示的第二阶段的结构，以覆盖上表面露出的状态的电子零件Wb的规定部位的方式来以树脂R进行密封，从而可加工为最终制品(即，成形品Wp)。因此，可进一步提高制品(成形品Wp)的品质。
此外，本实施方式的其他结构与前述的第一实施方式同样，省略重复的说明。而且，第二实施方式为在基材Wa上配置有一个电子零件Wb的工件W，但在基材Wa上呈矩阵状地配置有多个电子零件Wb的工件W的情况下，支撑块229也可对应于每个电子零件Wb而独立地设置，还可设置为在每个电子零件Wb的对应位置具有模腔207(即模腔底部构件207a)的一体结构(均未图示)。
如以上所说明那样，根据本发明的树脂密封装置、密封模具以及树脂密封方法，可使用可上下移动的支撑构件来进行工件的夹持以及解除，因此能够以工件不会自规定位置发生位置偏离的方式来进行树脂密封。而且，对于支撑构件的上下移动机构，无须设置大规模的专用驱动机构，通过利用加压装置所包括的闭模机构的结构便可实现，因此可实现装置结构的简化以及装置成本的抑制。进而，可优选地进行铸模底部填充成形。
此外，本发明并不限定于所述的实施方式，可在不脱离本发明的范围内进行各种变更。具体而言，第一实施方式中，举在上模以及下模这两者包括支撑板以及支撑构件的结构为例进行了说明，但并不限定于此，也可设为仅在上模或仅在下模包括支撑板以及支撑构件的结构。而且，第二实施方式中，举仅在上模包括支撑板以及支撑构件的结构为例进行了说明，但并不限定于此，也可设为仅在下模、或者在上模及下模这两者包括支撑板以及支撑构件的结构。
而且，在上模中，将第一顶出板配置于第一支撑板之上，但也可将它们上下相反地配置。同样地，在下模中，将第二顶出板配置于第二支撑板之下，但也可将它们上下相反地配置。

Claims (10)

1.一种密封模具，包括上模以及下模，通过树脂来密封工件而加工为成形品，所述密封模具的特征在于包括：
模腔板，配设于所述上模或所述下模的至少一者，且具有模腔；
锁紧块，固定所述模腔板或者与所述模腔板一体地构成；
上下模的顶板或底板中的其中一个板，对于所述锁紧块，朝进行所述上模与所述下模的闭模的方向赋予推动力；
另一个板，与所述其中一个板成对地配设，联动地进行所述闭模；以及
支撑板，能够上下移动地配设于所述锁紧块与所述其中一个板之间的位置，
所述支撑板具有支撑构件，所述支撑构件是插通所述模腔板以及所述锁紧块而配设，且支撑所述工件，
由所述另一个板予以支撑地设有推动销，所述推动销在设为自所述闭模状态进一步使所述其中一个板与所述另一个板接近的状态时，朝背离所述模腔板的方向推动所述支撑板。
2.根据权利要求1所述的密封模具，其特征在于，还包括：
支撑施力构件，对所述支撑板朝使其接近所述锁紧块的方向施力。
3.根据权利要求1或2所述的密封模具，其特征在于，还包括：
控制销，在设为自闭模状态进一步使所述其中一个板与所述另一个板接近的状态时，限制所述另一个板的移动，以规定所述推动销推动所述支撑板的推动量。
4.根据权利要求1或2所述的密封模具，其特征在于，
所述支撑板具有固定销，所述固定销是插通所述模腔板以及所述锁紧块而能够与所述推动销抵接地配设，将所述推动销的推动力传递至所述支撑板。
5.根据权利要求4所述的密封模具，其特征在于，
所述固定销是以与所述推动销抵接的前端面跟所述模腔板的模具面处于同一面内的方式而配设。
6.根据权利要求1或2所述的密封模具，其特征在于，还包括：
顶出板，能够上下移动地配设于所述锁紧块与所述其中一个板之间的位置、且相对于所述支撑板为所述锁紧块侧或所述其中一个板侧的任一个位置，
所述顶出板具有顶出销，所述顶出销是插通所述模腔板以及所述锁紧块而能够与所述成形品抵接地配设。
7.一种密封模具，包括上模以及下模，通过树脂来密封工件而加工为成形品，所述密封模具的特征在于包括：
模腔板，配设于所述上模，且具有模腔；
锁紧块，固定所述模腔板或者与所述模腔板一体地构成；
上下模的顶板或底板中的其中一个板，对于所述锁紧块，朝进行所述上模与所述下模的闭模的方向赋予推动力；
另一个板，与所述其中一个板成对地配设，联动地进行所述闭模；以及
支撑板，能够上下移动地配设于所述锁紧块与所述其中一个板之间的位置，
所述支撑板具有支撑构件，所述支撑构件是插通所述模腔板以及所述锁紧块而配设，且构成所述模腔，
由所述另一个板予以支撑地设有推动销，所述推动销在设为自所述闭模状态进一步使所述其中一个板与所述另一个板接近的状态时，朝背离所述模腔板的方向推动所述支撑板。
8.一种密封模具，包括上模以及下模，通过树脂来密封工件而加工为成形品，所述密封模具的特征在于包括：
模腔板，配设于所述下模，且具有模腔；
锁紧块，固定所述模腔板或者与所述模腔板一体地构成；
上下模的顶板或底板中的其中一个板，对于所述锁紧块，朝进行所述上模与所述下模的闭模的方向赋予推动力；
另一个板，与所述其中一个板成对地配设，联动地进行所述闭模；以及
支撑板，能够上下移动地配设于所述锁紧块与所述另一个板之间的位置，
所述支撑板具有支撑构件，所述支撑构件是插通所述模腔板以及所述锁紧块而配设，且构成所述模腔，
由所述其中一个板予以支撑地设有推动销，所述推动销在设为自所述闭模状态进一步使所述其中一个板与所述另一个板接近的状态时，朝背离所述模腔板的方向推动所述支撑板。
9.一种树脂密封装置，包括如权利要求1至8中任一项所述的密封模具。
10.一种树脂密封方法，其特征在于，使用树脂密封装置，通过树脂来密封工件而加工为成形品，所述树脂密封装置包括：模腔板，配设于构成密封模具的上模或下模的至少一者，且具有模腔；锁紧块，固定所述模腔板；上下模的顶板或底板中的其中一个板，推动所述锁紧块；另一个板，与所述其中一个板成对地配设，联动地进行所述密封模具的闭模；以及支撑板，能够上下移动地配设于所述锁紧块与所述其中一个板之间的位置，所述树脂密封方法包括下述工序：
使用配设于所述支撑板的支撑构件，将所述工件支撑为自所述模腔的底部浮起的状态；
继而，使所述其中一个板与所述另一个板接近而进行所述密封模具的闭模；
继而，向所述模腔内填充所述树脂；以及
继而，当所述模腔内的所述树脂的填充率达到70％～100％之间的任意设定值时，自闭模状态进一步使所述其中一个板与所述另一个板接近，由此，使用配设于所述另一个板的推动销来朝背离所述模腔板的方向推动所述支撑板，以解除所述支撑构件对所述工件的支撑。
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