CN118049923A - 用于测量厚度的装置和方法 - Google Patents

用于测量厚度的装置和方法 Download PDF

Info

Publication number
CN118049923A
CN118049923A CN202311494539.2A CN202311494539A CN118049923A CN 118049923 A CN118049923 A CN 118049923A CN 202311494539 A CN202311494539 A CN 202311494539A CN 118049923 A CN118049923 A CN 118049923A
Authority
CN
China
Prior art keywords
inspection
layer
pattern
thickness
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202311494539.2A
Other languages
English (en)
Inventor
权五葰
玄珍浩
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung Display Co Ltd
Original Assignee
Samsung Display Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Display Co Ltd filed Critical Samsung Display Co Ltd
Publication of CN118049923A publication Critical patent/CN118049923A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/022—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by means of tv-camera scanning
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/03—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring coordinates of points
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00—Image analysis
    • G06T7/50—Depth or shape recovery

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

提供了厚度测量装置和厚度测量方法。厚度测量装置包括布置在检查衬底上方的成像单元，检查衬底包括衬底、提供在衬底上的图案以及布置在图案上的检查层。成像单元对检查衬底进行成像以输出检查图像数据，并且数据计算单元接收检查图像数据并且根据检查图像数据计算检查层的厚度值，其中成像单元被布置成相对于检查衬底以固定角度倾斜，并且其中数据计算单元使用来自检查图像数据的图案的坐标值来计算检查层的厚度值。

Description

用于测量厚度的装置和方法
技术领域
本公开在本文中涉及具有改进的厚度测量的可靠性的用于测量厚度的厚度测量装置和方法。
背景技术
向用户提供图像的电子装置(诸如智能电话、数码相机、笔记本计算机、导航装置和/或智能电视)包括用于显示图像的显示装置。显示装置生成图像，并且通过显示屏向用户提供图像。
用于将膜等附接到显示面板的粘合剂可以被布置在显示面板上。根据粘合剂的厚度，可能出现接合(bonding)缺陷，并且因此需要精确测量粘合剂的厚度。
发明内容
本公开提供了具有改进的厚度测量的可靠性的厚度测量装置。本公开还提供了用于通过使用具有改进的厚度测量的可靠性的厚度测量装置来测量显示装置的一部分的厚度的方法。
本发明的实施方式提供了厚度测量装置，包括：成像单元，成像单元被布置在检查衬底上方，检查衬底包括衬底、提供在衬底上的图案以及布置在图案上的检查层，其中成像单元对检查衬底进行成像以及输出检查图像数据；以及数据计算单元，数据计算单元连接到成像单元以接收检查图像数据并且根据检查图像数据计算检查层的厚度值。
在实施方式中，成像单元可以被布置成相对于检查衬底以固定角度倾斜，并且数据计算单元可以使用来自检查图像数据的图案的坐标值来计算检查层的厚度值。
在实施方式中，检查层可以包括第一侧表面至第四侧表面，并且第一侧表面至第四侧表面中的至少一个可以具有在远离检查层的中心的方向上倾斜的倾斜表面。
在实施方式中，图案可以与第一侧表面至第四侧表面中的至少一个重叠。
在实施方式中，检查层可以包括第一拐角部分至第四拐角部分，并且第一拐角部分至第四拐角部分中的至少一个可以具有在远离检查层的中心的方向上倾斜的倾斜表面。
在实施方式中，图案可以与第一拐角部分至第四拐角部分中的至少一个重叠。
在实施方式中，检查层可以由透明材料制成。
在实施方式中，图案可以被提供为多个。
在实施方式中，多个图案可以具有不同的形状。
在实施方式中，图案可以与检查层的中心部分重叠。
在实施方式中，检查层可以与衬底的一部分重叠。
在实施方式中，图案可以包括与检查层重叠的第一图案部分以及与检查层不重叠的第二图案部分。
在实施方式中，第一图案部分可以从第二图案部分延伸。
在实施方式中，数据计算单元可以根据不存在检查层时的图案的第一坐标值和存在检查层时的图案的第二坐标值来计算检查层的厚度值。
在实施方式中，数据计算单元可以根据以下公式计算检查层的厚度值：
其中t为检查层的厚度值，d为与第一坐标值与第二坐标值之间的差相对应的光路差，θ1为成像角，并且n1为检查层的折射率。
在本发明的实施方式中，厚度测量方法包括：提供衬底，在衬底上形成图案，在衬底上布置检查层以便在平面视图上与图案部分地重叠，通过成像单元对图案进行成像以输出检查图像数据，以及通过数据计算单元接收检查图像数据并且根据检查图像数据计算检查层的厚度值。成像单元被布置成相对于衬底以固定角度倾斜。
在实施方式中，在计算检查层的厚度值时，可以从检查图像数据提取不存在检查层时的图案的第一坐标值和存在检查层时的图案的第二坐标值，并且可以通过数据计算单元根据第一坐标值和第二坐标值计算检查层的厚度值。
在实施方式中，提取第二坐标值可以包括用于从第一坐标值提取第二坐标值的处理。
在实施方式中，在计算检查层的厚度值时，可以根据以下公式计算检查层的厚度值：
其中t为检查层的厚度值，d为与第一坐标值与第二坐标值之间的差相对应的光路差，θ1为成像角，并且n1为检查层的折射率。
在实施方式中，厚度测量方法还可以包括在布置检查层之前对图案进行预备成像。
在实施方式中，计算检查层的厚度值可以包括：将从预备成像获得的预备检查图像数据与在布置检查层之后成像的检查图像数据进行比较，以计算检查层的厚度值。
附图说明
包含有附图以提供对本发明的进一步理解，并且附图被并入本说明书中并且构成本说明书的一部分。附图图示了本发明的实施方式，并且与描述一起用于说明本发明的原理。在附图中：
图1是根据实施方式的电子装置的透视图；
图2是根据实施方式的电子装置的分解透视图；
图3是根据实施方式的显示模块的截面视图；
图4A是图示根据实施方式的电子装置的一部分的透视图；
图4B是图示根据实施方式的电子装置的一部分的透视图；
图5A是图示根据实施方式的检查衬底的一部分的透视图；
图5B是图示根据实施方式的检查衬底的透视图；
图6是图示根据实施方式的厚度测量装置和检查衬底的截面视图；
图7是图6中图示的区AA的放大视图；
图8A是图示根据实施方式的比较图像数据的平面视图；
图8B是图示根据实施方式的检查图像数据的平面视图；
图9A是图示根据实施方式的厚度测量装置和检查衬底的截面视图；
图9B是图9A中图示的区BB的放大视图；
图10A是图示根据实施方式的比较图像数据的平面视图；
图10B是图示根据实施方式的检查图像数据的平面视图；
图11是根据实施方式的检查衬底的平面视图；
图12A是根据实施方式的厚度测量方法的流程图；
图12B是根据实施方式的厚度测量方法的流程图；以及
图12C是根据实施方式的厚度测量方法的流程图。
具体实施方式
下面将参考附图更详细地描述本发明的实施方式。然而，本发明可以以不同形式体现，并且不应当被解释为局限于本文中阐述的实施方式。相反，提供这些实施方式以使本公开将是详尽并且全面的，并且将向本领域的技术人员充分传达本发明的范围。
将理解，当一元件(或区、层、部分等)被称为与另一元件有关(诸如“在”另一元件“上”、“连接到”或“耦接到”另一元件)时，该元件能够被直接布置在另一元件上、连接到或耦接到另一元件，或者居间元件可以被布置在元件之间。
贯穿全文，相同的附图标记或符号指代相同的元件。另外，在附图中，为了有效地描述技术内容，夸大了元件的厚度、比率和尺寸。
术语“和/或”包括可以由相关元件限定的一个或多个组合。
将理解，尽管本文中可以使用术语第一、第二等来描述各个元件，但是这些元件不应受这些术语限制。这些术语仅用于将一个元件与另一元件相区分。例如，在不脱离本发明的教导的情况下，第一元件可以被称为第二元件，并且类似地，第二元件可以被称为第一元件。
本文中使用的术语仅仅是为了描述具体实施方式的目的，并且不旨在进行限制。如本文中使用的，“一(a)”、“一个(an)”、“该(the)”和“至少一个”不表示数量的限制，并且旨在也包括复数形式，除非上下文另外清楚地指示。在本公开的各图和文本中，指示元件的单数形式的附图标记也可以用来引用多个单数元件。
另外，诸如“下方”、“下面”、“上”和“上方”的术语用于说明附图中所示的元件的关系。术语用作相对概念，并且基于附图中所示的方向来描述。
除非另外限定，否则本文中使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与由本发明所属的技术领域的普通技术人员所通常理解的含义相同的含义。将进一步理解，诸如那些在常用字典中限定的术语应被解释为具有与它们在相关领域的上下文中的含义一致的含义，并且将不在理想化或过于正式的意义上来解释，除非在本文中明确地如此限定。
将进一步理解，诸如“包括”和“具有”的术语在本文中使用时，指定所陈述的特征、数字、步骤、操作、元件、部件或它们的组合的存在，但是不排除一个或多个其它特征、数字、步骤、操作、元件、部件或它们的组合的存在或附加。
考虑所讨论的测量以及与特定量的测量相关联的误差(即，测量系统的限制)，如本文中使用的术语“大约”或“近似”包括所陈述的值并且意味着在由本领域的普通技术人员确定的对于特定值的偏差的可接受范围内。例如，“大约”能够意味着在一个或多个标准偏差内，或者在所陈述的值的±30％、±20％、±10％或±5％内。
在下文中，将参考附图描述本发明的实施方式。
图1是根据实施方式的电子装置的透视图。图2是根据实施方式的电子装置的分解透视图。图3是根据实施方式的显示模块的截面视图。
参考图1，在实施方式中，电子装置ED可以是响应于电信号而被激活并且显示图像的装置。例如，电子装置ED可以是诸如电视或户外广告牌的大型装置，和/或也可以是诸如监视器、移动电话、平板计算机、导航装置或游戏机的中小型装置。然而，电子装置ED的实施方式是示例，并且电子装置ED不限于上述中的任一种。在该实施方式中，移动电话被图示为电子装置ED的示例。
在实施方式中，电子装置ED可以具有矩形形状，该矩形形状具有在第一方向DR1上延伸的短边和在与第一方向DR1交叉的第二方向DR2上延伸的长边。然而，实施方式不限于此，并且电子装置ED可以具有诸如圆形形状或多边形形状的各种形状。
根据实施方式的电子装置ED可以具有柔性特性。术语“柔性”是指可弯曲特性，并且可以包括从完全折叠的结构到能够以几纳米的水平弯曲的结构的所有特性。例如，柔性的电子装置ED可以包括弯折装置和/或可折叠装置。然而，实施方式不限于此，并且电子装置ED可以具有刚性特性。
在实施方式中，电子装置ED可以在与第一方向DR1和第二方向DR2中的每个平行的显示表面上在第三方向DR3上显示图像IM。由电子装置ED提供的图像IM可以不仅包括动态图像，而且也包括静态图像。图1图示了时钟窗和图标作为图像IM的示例。
在实施方式中，其上显示有图像IM的显示表面可以对应于电子装置ED的前表面。在图1中，作为示例图示了具有平面形状的显示表面。然而，实施方式不限于此，并且电子装置ED的显示表面可以包括从平面的至少一侧弯曲的弯折表面。
在实施方式中，构成电子装置ED的前表面(或顶表面)和后表面(或底表面)可以在第三方向DR3上彼此相对，并且前表面和后表面中的每个的法线方向可以与第三方向DR3基本平行。在第三方向DR3上限定的、前表面与后表面之间的间隔距离可以与构件(或单元)的厚度相对应。
在实施方式中，参考图1和图2，电子装置ED可以包括窗WM、显示模块DM和外壳EDC。窗WM可以耦接到外壳EDC以构成电子装置ED的外观，并且可以提供能够容纳电子装置ED的组件的内部空间。
在实施方式中，窗WM可以被布置在显示模块DM上。窗WM可以具有与显示模块DM的形状相对应的形状。窗WM可以覆盖显示模块DM的整个外部，并且可以保护显示模块DM免受外部冲击和刮擦影响。
在实施方式中，窗WM可以包括光学透明绝缘材料。例如，窗WM可以包括玻璃衬底和/或聚合物衬底。窗WM可以具有单层和/或多层结构。窗WM还可以包括布置在透明衬底上的功能层(诸如防指纹层、相位控制层和/或硬涂层)。
在实施方式中，窗WM的前表面FS可以包括透射区TA和边框区BZA。窗WM的透射区TA可以是光学透明区。窗WM可以通过透射区TA透射由显示模块DM提供的图像IM，并且图像IM可以对用户可见。
在实施方式中，窗WM的边框区BZA可以被提供为印刷有具有预定颜色的材料的区。窗WM的边框区BZA可以防止显示模块DM的与边框区BZA重叠布置的组件对外部可见。
在实施方式中，边框区BZA可以与透射区TA相邻。透射区TA的形状可以基本由边框区BZA限定。例如，在实施方式中，边框区BZA可以被布置在透射区TA外侧，以围绕透射区TA。然而，这被图示为示例，并且在其它实施方式中，边框区BZA可以仅与透射区TA的一侧相邻或者可以被省略。在又一其它实施方式中，边框区BZA可以被布置在电子装置ED的内侧表面上，而不被布置在前表面上。
在实施方式中，显示模块DM可以被布置在窗WM与外壳EDC之间，其中显示模块DM可以包括显示面板DP和/或输入传感器ISU。
显示面板DP可以响应于电信号而显示图像IM。根据实施方式的显示面板DP可以是发光显示面板，但是不限于此。例如，显示面板DP可以是有机发光显示面板、无机发光显示面板或量子点发光显示面板。有机电致发光显示面板的发光层可以包括有机发光材料(luminescent material)，并且无机发光显示面板的发光层可以包括无机发光材料。量子点发光显示面板的发光层可以包括量子点、量子棒等。在下文中，显示面板DP被描述为有机发光显示面板。
在实施方式中，由电子装置ED提供的图像IM可以显示在显示面板DP的前表面DIS上。显示面板DP的前表面DIS可以包括显示区DA和非显示区NDA。显示区DA可以是响应于电信号而被激活并且在其中显示图像IM的区。根据实施方式，显示面板DP的显示区DA可以与窗WM的透射区TA相对应。
在本公开中，“区域/部分与另一区域/部分相对应”意味着这些区域/部分“彼此重叠”，并且不限于具有相同面积和/或相同形状的区域/部分。
在实施方式中，非显示区NDA可以与显示区DA的外侧相邻。例如，非显示区NDA可以部分地或完全地围绕显示区DA。然而，本发明构思的实施方式不限于此，并且非显示区NDA可以以各种形状被限定。
在实施方式中，非显示区NDA可以是其中可以布置有用于驱动布置在显示区DA中的元件的驱动电路或驱动布线、提供电信号的各种信号线、焊盘等的区。显示面板DP的非显示区NDA可以对应于窗WM的边框区BZA。可以防止显示面板DP的布置在非显示区NDA中的组件通过边框区BZA从外部可见。
在实施方式中，参考图2和图3，显示面板DP可以包括基础衬底BS、电路元件层DP-CL、显示元件层DP-OLED和/或绝缘层TFL。
在实施方式中，基础衬底BS可以是玻璃衬底、金属衬底、聚合物衬底等。然而，实施方式不限于此，并且基础衬底BS可以是无机层、有机层和/或复合材料层。
在实施方式中，电路元件层DP-CL可以被布置在基础衬底BS上。电路元件层DP-CL可以包括至少一个中间绝缘层和电路元件。中间绝缘层可以包括至少一个中间无机膜和至少一个中间有机膜。电路元件可以包括信号线、像素的驱动电路等。
在实施方式中，显示元件层DP-OLED可以被布置在电路元件层DP-CL上。显示元件层DP-OLED可以包括多个有机发光二极管。显示元件层DP-OLED还可以包括诸如像素限定膜的有机层。
在实施方式中，绝缘层TFL可以覆盖显示元件层DP-OLED，其中绝缘层TFL可以是薄膜封装层。绝缘层TFL可以保护显示元件层DP-OLED免受湿气、氧气和/或异物(诸如灰尘颗粒)的影响。然而，这是示例，并且在其它实施方式中，可以提供封装衬底来代替绝缘层TFL，或者除了绝缘层TFL之外还提供封装衬底。在此情况下，封装衬底可以与基础衬底BS相对，并且电路元件层DP-CL和显示元件层DP-OLED可以被布置在封装衬底与基础衬底BS之间。
在实施方式中，输入传感器ISU可以被布置在窗WM与显示面板DP之间。输入传感器ISU可以检测从外部提供的各种类型的外部输入(诸如电力、压力、温度和光)。例如，输入传感器ISU可以检测从电子装置ED的外部提供的由用户的身体或笔的触摸、通过与电子装置ED邻近而施加的输入(例如，悬停)等。
在实施方式中，外壳EDC可以被布置在显示面板DP下方并且容纳显示面板DP。外壳EDC可以包括具有相对高的刚性的玻璃、塑料和/或金属材料。外壳EDC可以通过吸收从外部施加的冲击和/或防止异物/湿气等渗透到显示面板DP中来保护显示面板DP。
在实施方式中，电子装置ED还可以包括包含用于操作显示面板DP的各种功能模块的电子模块以及供给电子装置ED所需的电力的电源模块。例如，电子装置ED可以包括作为电子模块的一个示例的相机模块。
图4A是图示根据实施方式的电子装置的一部分的透视图。图4B是图示根据实施方式的电子装置的一部分的透视图。具体地，图4A和图4B是图示在显示模块DM的制造期间在图1至图3中未示出的保护膜PF到显示面板DP的上表面的附接的透视图。
在实施方式中，参考图4A和图4B，粘合层ADL可以被布置在显示面板DP上。粘合层ADL可以被布置在显示面板DP与保护膜PF之间，以便将保护膜PF附接到显示面板DP，用于在显示模块DM的制造期间保护包含在显示面板DP中的显示元件层DP-OLED(参见图3)。
在实施方式中，粘合层ADL可以被布置在显示面板DP上，以便仅与显示面板DP的一部分而不与显示面板DP的整体重叠。然而，本发明的实施方式不限于此，并且粘合层ADL可以被布置在显示面板DP上并且与显示面板DP的整体重叠，以便覆盖显示面板DP的整体。粘合层ADL可以由透明材料制成。例如，粘合层ADL可以由作为透光材料的透明树脂(诸如PC、PMMA、PVC等)制成。
在实施方式中，参考图4B，保护膜PF可以被布置在粘合层ADL上。为了检查布置在显示面板DP上的粘合层ADL是否被适当地施加，可以在布置保护膜PF之前执行测量粘合层ADL的厚度的操作。根据实施方式的厚度测量装置TMD(参见图6)可以测量布置在显示面板DP上的粘合层ADL的厚度。当布置在显示面板DP上的粘合层ADL的厚度被测量并且然后从所施加的粘合层ADL检测到缺陷时，可以执行用于解决该缺陷的附加操作(例如，附加地施加粘合层ADL的操作)。
在实施方式中，粘合层ADL以及粘合层ADL上的保护膜PF可以在显示模块DM的制造期间被移除。在粘合层ADL以及粘合层ADL上的保护膜PF被移除之后，输入传感器ISU可以被布置在显示面板DP上，如图3中图示。
图5A是图示根据实施方式的检查衬底的一部分的透视图。图5B是图示根据实施方式的检查衬底的透视图。
在实施方式中，参考图5A和图5B，检查衬底ISB可以包括衬底SUB、提供在衬底SUB上的图案PT以及布置在衬底SUB上的检查层IL。检查层IL可以被布置在衬底SUB上，以便与衬底SUB的一部分重叠。
在实施方式中，衬底SUB可以用作其上提供有检查层IL的支撑件。根据实施方式，衬底SUB可以对应于上面描述的显示面板DP(参见图4A)。然而，实施方式不限于此，并且衬底SUB可以包括电子装置ED(参见图1)的组件中的一些。可替代地，衬底SUB可以是在形成显示面板DP之前的状态下的预备显示面板。
在实施方式中，参考图5A，在检查层IL被布置在衬底SUB上之前，图案PT可以形成在衬底SUB上。根据图示，图案PT可以被形成为具有矩形形状的条(bar)的形式。然而，实施方式不限于此，并且图案PT可以被形成为任何形状，诸如以网格形状和/或圆形形状为例。图案PT可以被压印在衬底SUB上。图案PT可以具有预定颜色。例如，图案PT可以具有黑色。
参考图5B，在图案PT形成在衬底SUB上之后，检查层IL可以被布置在图案PT上。根据实施方式，检查层IL可以被布置在衬底SUB上，以便与图案PT部分地重叠。然而，实施方式不限于此，并且检查层IL可以被布置成与图案PT的整体重叠。根据实施方式，检查层IL可以对应于上面描述的粘合层ADL(参见图4A)。然而，实施方式不限于此，并且检查层IL可以对应于电子装置ED(参见图1)的提供在显示面板DP上的组件中的一些。
图6是图示根据本发明构思的实施方式的厚度测量装置和检查衬底的截面视图。图6中图示的检查衬底ISB可以对应于图5B中图示的检查衬底ISB的线I-I'获取。
在实施方式中，参考图6，厚度测量装置TMD可以包括成像单元100和数据计算单元200。厚度测量装置TMD可以对应于具有各种形状的测量装置，以测量检查层IL的厚度。厚度测量装置TMD可以对检查衬底ISB进行成像，并且测量包含在检查衬底ISB中的检查层IL的厚度。
根据实施方式，成像单元100可以拍摄检查衬底ISB的图像以输出与检查衬底ISB相对应的检查图像数据IMD。成像单元100可以生成通过对检查衬底ISB成像而获得的检查图像数据IMD，并且将检查图像数据IMD输出到数据计算单元200。检查图像数据IMD可以是荧光(FL)和/或白光(WL)图像。成像单元100可以被布置成相对于检查衬底ISB以固定角度倾斜。具体地，成像单元100可以被布置在检查衬底ISB上方并且在第一方向DR1上以固定角度倾斜，以在横向方向上以固定角度对检查衬底ISB的端部ES进行成像。由于成像单元100被布置成以固定角度倾斜，因此在检查衬底ISB的横向方向上以固定角度拍摄的检查衬底ISB的检查图像数据IMD可以很好地示出图案PT的变形(distortion)的程度。具体地，当成像单元100在与检查衬底ISB垂直的方向上被布置在检查衬底ISB上方并且拍摄检查衬底ISB时，可能难以从检查图像数据IMD识别图案PT在第三方向DR3上的变形的程度。然而，当成像单元100相对于检查衬底ISB以固定角度倾斜并且在检查衬底ISB的横向方向上以固定角度拍摄检查衬底ISB时，可以提供检查图像数据IMD以三维地识别图案PT在第三方向DR3上的变形的程度。
根据实施方式，数据计算单元200可以接收检查图像数据IMD并且根据检查图像数据IMD计算检查层IL的厚度值。可以使用来自检查图像数据IMD的、可以包含在检查衬底ISB中的图案PT的坐标值来计算检查层IL的厚度值。稍后将详细描述通过数据计算单元200根据检查图像数据IMD计算检查层IL的厚度值的方法。
根据实施方式，检查衬底ISB的端部ES可以具有倾斜表面。具体地，检查层IL的端部ES可以具有在远离检查层IL的中心的方向上倾斜的倾斜表面。倾斜表面的倾斜角不限于一个实施方式，并且倾斜表面的倾斜角可以形成在介于大约0°与大约90°之间的范围内。尽管检查层IL的端部ES被图示为具有直的倾斜表面，但是实施方式不限于此，并且检查层IL的端部ES可以具有弯折表面和/或其中可以存在几个台阶部分的凹凸形状。检查层IL可以由透明材料制成。例如，检查层IL可以由作为透光材料的透明树脂(诸如PC、PMMA和/或PVC)制成。由于检查层IL由透明材料制成，因此可以从由成像单元100拍摄的检查图像数据IMD提取布置在检查层IL下方的图案PT的信息。尽管未图示，但是在实施方式中，上层可以被附加地布置在检查层IL上。与检查层IL一样，上层可以由可以是透光材料的透明材料制成。由于上层由透明材料制成，因此可以从由成像单元100拍摄的检查图像数据IMD提取布置在检查层IL下方的图案PT的信息。
图7是图6中图示的区AA的放大视图。
在实施方式中，将参考图7使用斯涅尔定律(Snell’s law)描述从参考标记SMK透射到成像单元100(参见图6)的光Lg1和Lg2的路径。从参考标记SMK反射的光入射到成像单元100中以在成像单元100上形成图像。第一光Lg1为当检查层IL未被布置在衬底SUB上时从参考标记SMK朝向成像单元100传播的光，并且第二光Lg2为当检查层IL被布置在衬底SUB上时从参考标记SMK朝向成像单元100传播的光。即，第一光Lg1和第二光Lg2可以基于参考标记SMK沿不同的路径传播。
在实施方式中，第一光Lg1的路径和第二光Lg2的路径彼此不同的原因在于空气的折射率(在下文中被称为空气折射率n，其中n可以为(例如)1)和检查层IL的折射率n1彼此不同。检查层IL的折射率n1大于空气折射率n，并且由于检查层IL的折射率n1与空气折射率n之间的差异，第二光Lg2在检查层IL与空气之间的界面处(即在端部ES处)被折射，并且然后朝向成像单元100传播。由于第一光Lg1与第二光Lg2之间的光路差，因此可以获得检查层IL的厚度。
在实施方式中，第二光Lg2根据下面的斯涅尔定律的公式1传播。
其中t为检查层IL的厚度，d为第一光Lg1与第二光Lg2之间的光路差，θ1为朝向端部ES的成像单元100相对于法线PL的成像角，并且n1为检查层IL的折射率。光路差d为与由检查层IL的折射率n1引起的从参考标记SMK传播的第一光Lg1与第二光Lg2之间的光路差相对应的大小。光路差d可以是第一光Lg1与第二光Lg2之间的光路差，其对应于从由成像单元100拍摄的检查图像数据IMD获得的第一坐标值(X1，Y1)(参见图8B)与第二坐标值(X2，Y2)(参见图8B)之间的差。这将参考图8A和图8B详细地描述。
在实施方式中，图案PT可以包括与检查层IL重叠的第一图案部分PT1以及与检查层IL不重叠的第二图案部分PT2。根据实施方式，第一图案部分PT1和第二图案部分PT2可以被形成为单个主体而不彼此分离。然而，实施方式不限于此，并且第一图案部分PT1和第二图案部分PT2可以被布置成彼此分开。参考标记SMK可以形成在第一图案部分PT1上。基于形成在第一图案部分PT1上的参考标记SMK，公式1可以用于计算具有第二光Lg2穿过的端部ES的检查层IL的厚度t。
图8A是图示根据实施方式的比较图像数据的平面视图。图8B是图示根据实施方式的检查图像数据的平面视图。在下文中，将参考图6至图8B描述实施方式。
在实施方式中，图8A中图示的比较图像数据CMD是基于检查层IL未被布置在衬底SUB上的假设与检查衬底ISB(参见图6)相对应的图像。参考图8A，图案PT可以被布置成与衬底SUB重叠，其中图案PT可以被形成为具有矩形形状的条的形式，并且不变形，如图5A中图示。
在实施方式中，图8B中图示的检查图像数据IMD是当检查层IL被布置在衬底SUB上时与检查衬底ISB相对应的图像。参考图8B，图案PTa可以在检查图像数据IMD中被图示，并且可以包括与检查层IL重叠的第一图案部分PT1a和与检查层IL不重叠的第二图案部分PT2。比较图案CPT是在未布置检查层IL时其中形成有第一图案部分PT1a的图像，如图8A中图示。不存在检查层IL时的第一坐标值(X1，Y1)可以被限定在比较图案CPT中。具体地，第一坐标值(X1，Y1)可以被限定为与比较图案CPT的中心部分相对应的坐标值。存在检查层IL时的第二坐标值(X2，Y2)可以被限定在第一图案部分PT1a中。具体地，第二坐标值(X2，Y2)可以被限定为与第一图案部分PT1a的中心部分相对应的坐标值。参考坐标值(Xr，Yr)可以被限定在第二图案部分PT2中。具体地，参考坐标值(Xr，Yr)可以被限定为与第二图案部分PT2的中心部分相对应的坐标值。
在实施方式中，可以确认，当基于检查层IL未被布置在衬底SUB上的假设与比较图案CPT相比时，检查图像数据IMD中图示的第一图案部分PT1a在第三方向DR3上变形地形成。具体地，第一图案部分PT1a可以被形成为与图6中图示的端部ES相对应，并且在第三方向DR3上弯曲。如上所述，这是因为空气折射率n和检查层IL的折射率n1彼此不同。即，由于根据检查层IL的端部ES的高度和检查层IL的折射率n1，可以像第一图案部分PT1a在第三方向DR3上弯曲一样生成图像，如图8B中图示。根据该图示，第一图案部分PT1a和第二图案部分PT2被连接为单个主体而不彼此分离。然而，根据检查层IL的端部ES的高度和/或检查层IL的折射率n1与空气折射率n之间的差，可以看起来像彼此分离的第一图案部分PT1a和第二图案部分PT2一样生成图像。
根据实施方式，可以根据参考坐标值(Xr，Yr)计算第一坐标值(X1，Y1)。参考图6，图案PT具有在第一方向DR1上延伸的条形状。数据计算单元200可以根据从成像单元100获得的检查图像数据IMD来推断第二图案部分PT2的形状以及基于未布置检查层IL的假设根据第二图案部分PT2的参考坐标值(Xr，Yr)推断图案PT的形状，并且计算比较图案CPT的第一坐标值(X1，Y1)。即，数据计算单元200可以获得第一坐标值(X1，Y1)和第二坐标值(X2，Y2)，并且使用下面的公式2测量图7中图示的检查层IL的厚度t：
根据实施方式的厚度测量装置TMD可以使用相对于检查衬底ISB以固定角度倾斜的成像单元100以在横向方向上以固定角度对检查衬底ISB的端部ES进行成像，并且根据与成像的检查衬底ISB相对应的检查图像数据IMD获得可能因检查层IL的折射率n1而变形的第一图案部分PT1的第二坐标值(X2，Y2)。另外，可以通过公式2来测量检查层IL的厚度t。由于能够通过使用一次成像来测量检查层IL的厚度t，因此可以简化用于测量检查层IL的厚度t的处理，并且可以降低测量检查层IL的厚度t所需的成本。
图9A是图示根据实施方式的厚度测量装置和检查衬底的截面视图。图9B是图9A中图示的区BB的放大视图。在下文中，上述事项的描述将被省略以避免冗余。
在实施方式中并且参考图9A，厚度测量装置TMDa可以包括成像单元100和数据计算单元200a。成像单元100可以被布置成相对于检查衬底ISBa以固定角度倾斜。具体地，成像单元100可以被布置在检查衬底ISBa上方并且在第一方向DR1上以固定角度倾斜，以便在横向方向上以固定角度对检查衬底ISBa的中心部分进行成像。
图案PTb可以与检查层IL的中心部分重叠。即，由于图案PTb被布置成与检查层IL的中心部分重叠，厚度测量装置TMDa可以测量检查层IL的其处形成有图案PTb的中心部分的厚度。
在实施方式中并且参考图9B，从参考标记SMKa反射的光入射到成像单元100中以在成像单元100上形成图像。第一光Lg1a为当检查层IL未被布置在衬底SUB上时从参考标记SMKa朝向成像单元100传播的光，并且第二光Lg2a为当检查层IL被布置在衬底SUB上时从参考标记SMKa朝向成像单元100传播的光。即，第一光Lg1a和第二光Lg2a可以基于参考标记SMKa沿不同的路径传播。
在实施方式中，第二光Lg2a根据下面的斯涅尔定律的公式3传播：
其中ta为检查层IL的厚度，da为第一光Lg1a与第二光Lg2a之间的光路差，θ1为朝向顶表面US的成像单元100相对于法线PL的成像角，并且n1为检查层IL的折射率。光路差da为与由检查层IL的折射率n1引起的从参考标记SMKa传播的第一光Lg1a与第二光Lg2a之间的光路差相对应的大小。光路差da可以是第一光Lg1a与第二光Lg2a之间的光路差，其对应于从由成像单元100拍摄的检查图像数据IMD获得的第一坐标值(X1a，Y1a)(参见图10B)与第二坐标值(X2a，Y2a)(参见图10B)之间的差。这将参考图10A和图10B详细地描述。
图10A是图示根据实施方式的比较图像数据的平面视图。图10B是图示根据实施方式的检查图像数据的平面视图。在下文中，将参考图9A至图10B描述实施方式。
根据实施方式，基于检查层IL未被布置在衬底SUB上的假设，图10A中图示的比较图像数据CMDa是与检查衬底ISBa(参见图9A)相对应的图像。参考图10A，图案PTb可以被布置成与衬底SUB的中心部分重叠。如图10A中图示，图案PTb被形成为具有矩形形状的条的形式，并且不变形。
在实施方式中，图10B中图示的检查图像数据IMDa是当检查层IL被布置在衬底SUB上时与检查衬底ISBa相对应的图像。参考图10B，图示了图案PTc和比较图案CPTa。如图10A中图示，比较图案CPTa是当不布置检查层IL时其中形成有图案PTc的图像。不存在检查层IL时的第一坐标值(X1a，Y1a)可以被限定在比较图案CPTa中。具体地，第一坐标值(X1a，Y1a)可以被限定为与比较图案CPTa的中心部分相对应的坐标值。存在检查层IL时的第二坐标值(X2a，Y2a)可以被限定在图案PTc中。具体地，第二坐标值(X2a，Y2a)可以被限定为与图案PTc的中心部分相对应的坐标值。
在实施方式中，当基于检查层IL未被布置在衬底SUB上的假设与比较图案CPTa相比时，检查图像数据IMDa中图示的图案PTc可以在第三方向DR3上变形。这是因为空气折射率n和检查层IL的折射率n1彼此不同。即，由于在横向方向上以固定角度执行成像，如图10B中图示的在第三方向DR3上移动并且尺寸不同的图案PTc的图像可以因检查层IL的折射率n1而生成。
根据实施方式，可以在布置检查层IL之前根据由成像单元100对比较图案CPTa进行预备成像来计算第一坐标值(X1a，Y1a)。通过在布置检查层IL之前对比较图案CPTa进行成像，可以根据图像计算第一坐标值(X1a，Y1a)，并且然后可以执行检查层IL的布置。其后，数据计算单元200a可以根据通过由成像单元100对检查衬底ISBa进行成像而获得的检查图像数据IMDa计算第二坐标值(X2a，Y2a)，并且然后根据第一坐标值(X1a，Y1a)和第二坐标值(X2a，Y2a)计算检查层IL的厚度ta。数据计算单元200a可以通过下面的公式4测量图9B中图示的检查层IL的厚度ta：
根据实施方式的厚度测量装置TMDa可以在布置检查层IL之前使用相对于检查衬底ISBa以固定角度倾斜的成像单元100在横向方向上以固定角度对检查衬底ISBa的中心部分进行预备成像，并且根据成像的比较图像数据CMDa计算第一坐标值(X1a，Y1a)。其后，可以根据通过布置检查层IL并且在横向方向上以固定角度对检查衬底ISBa的中心部分进行成像而计算出的第二坐标值(X2a，Y2a)使用公式4测量检查层IL的厚度ta。由于能够通过预备成像和成像来测量作为整体的检查层IL的厚度ta，因此可以简化用于测量检查层IL的厚度ta的处理，并且可以降低测量检查层IL的厚度ta所需的成本。
图11是根据实施方式的检查衬底的平面视图。
在实施方式中，参考图11，检查衬底ISBb可以包括检查层IL、衬底SUB和图案PTd。图案PTd可以被提供为多个。根据实施方式，多个图案PTd可以具有不同的形状。如图示，多个图案PTd可以具有矩形的条形状、网格形状和/或圆形形状。然而，多个图案PTd的形状不限于此。多个图案PTd可以被形成为与检查层IL部分地重叠。然而，实施方式不限于此，并且多个图案PTd中的一些可以被形成为与检查层IL完全地重叠。
检查层IL可以分别包括第一侧表面BIS1、第二侧表面BIS2、第三侧表面BIS3和第四侧表面BIS4。第一侧表面BIS1在与第一方向DR1平行的方向上形成，并且第三侧表面BIS3在与第一方向DR1平行的方向上形成。第三侧表面BIS3在与第一方向DR1交叉的第二方向DR2上与第一侧表面BIS1间隔开。第二侧表面BIS2在与第二方向DR2平行的方向上形成，并且第四侧表面BIS4在与第二方向DR2平行的方向上形成。第四侧表面BIS4在第一方向DR1上与第二侧表面BIS2间隔开。
根据实施方式，第一侧表面BIS1、第二侧表面BIS2、第三侧表面BIS3和第四侧表面BIS4中的至少一个分别可以具有在远离检查层IL的中心的方向上倾斜的倾斜表面。两个相对的侧表面可以分别具有倾斜表面，如图6中图示。然而，实施方式不限于此，并且第一侧表面BIS1、第二侧表面BIS2、第三侧表面BIS3和第四侧表面BIS4中的全部或一些分别可以具有倾斜表面。
在实施方式中，多个图案PTd可以分别与第一侧表面BIS1、第二侧表面BIS2、第三侧表面BIS3和第四侧表面BIS4中的至少一个重叠。由于多个图案PTd被形成为分别与第一侧表面BIS1、第二侧表面BIS2、第三侧表面BIS3或第四侧表面BIS4重叠，如图示，可以包括与检查层IL重叠的部分和与检查层IL不重叠的部分。与检查层IL重叠的部分和与检查层IL不重叠的部分可以分别与图7中图示的第一图案部分PT1和第二图案部分PT2相对应。
在实施方式中，检查层IL还分别可以包括第一拐角部分C1、第二拐角部分C2、第三拐角部分C3和第四拐角部分C4。第一拐角部分C1可以形成在第一侧表面BIS1与第二侧表面BIS2之间，第二拐角部分C2可以形成在第二侧表面BIS2与第三侧表面BIS3之间，第三拐角部分C3可以形成在第三侧表面BIS3与第四侧表面BIS4之间，并且第四拐角部分C4可以形成在第四侧表面BIS4与第一侧表面BIS1之间。第一拐角部分C1、第二拐角部分C2、第三拐角部分C3和第四拐角部分C4可以各自具有预定曲率。由于第一拐角部分C1、第二拐角部分C2、第三拐角部分C3和第四拐角部分C4各自具有预定曲率，因此第一拐角部分C1、第二拐角部分C2、第三拐角部分C3和第四拐角部分C4可以各自具有弯折形状。
根据实施方式，第一拐角部分C1、第二拐角部分C2、第三拐角部分C3和第四拐角部分C4中的至少一个分别可以具有在远离检查层IL的中心的方向上倾斜的倾斜表面。然而，实施方式不限于此，并且第一拐角部分C1、第二拐角部分C2、第三拐角部分C3和第四拐角部分C4中的全部可以具有倾斜表面。
在实施方式中，多个图案PTd可以分别与第一拐角部分C1、第二拐角部分C2、第三拐角部分C3和第四拐角部分C4中的至少一个重叠。由于多个图案PTd被形成为分别与第一拐角部分C1、第二拐角部分C2、第三拐角部分C3或第四拐角部分C4重叠，如图示，可以包括与检查层IL重叠的部分和与检查层IL不重叠的部分。与检查层IL重叠的部分和与检查层IL不重叠的部分可以分别与图7中图示的第一图案部分PT1和第二图案部分PT2相对应。
图12A至图12C是根据实施方式的厚度测量方法的流程图。
在实施方式中并且参考图5A和图12A，衬底SUB可以被提供(S100)，并且图案PT可以形成在衬底SUB上(S200)。图案PT可以形成在衬底SUB上以与衬底SUB重叠，并且被形成为根据该图示的矩形的条形状。然而，实施方式不限于此。图案PT可以具有预定颜色以便稍后容易地成像，并且可以使用喷墨技术来形成。参考图5B和图12A，检查层IL可以被布置在衬底SUB上以与图案PT部分地重叠(S300)。检查层IL可以被布置在衬底SUB上以与衬底SUB的一部分重叠。
在实施方式中并且参考图6和图12A，成像单元100可以对检查衬底ISB进行成像并且输出检查图像数据IMD。具体地，成像单元100可以对包含在检查衬底ISB中的图案PT进行成像，并且将检查图像数据IMD输出到数据计算单元200(S400)。如图示，成像单元100可以被布置成相对于检查衬底ISB以固定角度倾斜。因此，成像单元100可以在横向方向上以固定角度对检查衬底ISB进行成像。
在实施方式中并且参考图6和图12A，数据计算单元200可以接收检查图像数据IMD并且根据检查图像数据IMD计算检查层IL的厚度值(S500)。可以使用来自检查图像数据IMD的、可以包含在检查衬底ISB中的图案PT的坐标值来计算检查层IL的厚度值。
具体地，在实施方式中并且参考图8A、图8B和图12B，计算检查层IL的厚度值可以包括：从检查图像数据IMD提取当不存在检查层IL时的图案PT的第一坐标值(X1，Y1)和当存在检查层IL时的图案PT的第二坐标值(X2，Y2)(S510)，并且由数据计算单元200根据第一坐标值(X1，Y1)和第二坐标值(X2，Y2)计算检查层IL的厚度值(S520)。
在实施方式中，数据计算单元200可以根据从成像单元100获得的检查图像数据IMD基于未布置检查层IL的假设来推断图案PT的形状，并且可以计算图案PT的第一坐标值(X1，Y1)。数据计算单元200可以使用公式2以及来自检查图像数据IMD的图案PT的第二坐标值(X2，Y2)计算检查层IL的厚度。
在实施方式中并且参考图9A、图10B和图12C，在布置检查层IL之前，还可以包括对图案PTb进行预备成像(S210)。通过在布置检查层IL之前对图案PTb进行成像，可以根据成像的图像计算第一坐标值(X1a，Y1a)，并且然后可以执行检查层IL的布置。其后，数据计算单元200可以通过比较从预备成像接收的预备检查图像数据(例如，图10A中所示的比较图像数据CMDa)和在布置检查层IL之后成像的检查图像数据IMDa来计算检查层IL的厚度值(S530)。具体地，可以根据通过由数据成像单元100对检查衬底ISBa成像而获得的检查图像数据IMDa来计算第二坐标值(X2a，Y2a)，并且可以通过对第一坐标值(X1a，Y1a)和第二坐标值(X2a，Y2a)进行比较通过公式4来计算检查层IL的厚度ta。
根据实施方式，厚度测量装置可以根据通过拍摄包含在检查衬底中的图案而获得的图像来测量检查层的厚度。具体地，相对于检查衬底以固定角度倾斜的成像单元可以用于拍摄在平面视图上与检查层重叠的图案，并且可以使用因检查层的折射率而变形的图案的坐标值来测量检查层的厚度。因此，可以简化用于测量厚度的处理，并且可以降低测量厚度所需的成本。
尽管已经描述了本发明的实施方式，但是应理解，本发明不应局限于这些实施方式，而是本领域的普通技术人员能够在下文中要求保护的本发明的精神和范围内进行各种变化和修改。此外，实施方式或实施方式的部分可以全部或部分地组合，而不背离本发明的范围。
因此，本发明构思的技术范围不限于说明书的具体实施方式中描述的内容，而应由权利要求确定。

Claims (20)

1.一种厚度测量装置，包括：
成像单元，所述成像单元被布置在检查衬底上方，其中，所述检查衬底包括衬底、提供在所述衬底上的图案以及布置在所述图案上的检查层，其中，所述成像单元对所述检查衬底进行成像以输出检查图像数据；以及
数据计算单元，所述数据计算单元连接到所述成像单元以接收所述检查图像数据并且根据所述检查图像数据计算所述检查层的厚度值，
其中，所述成像单元被布置成相对于所述检查衬底以固定角度倾斜，并且
其中，所述数据计算单元使用来自所述检查图像数据的所述图案的坐标值来计算所述检查层的所述厚度值。
2.根据权利要求1所述的厚度测量装置，其中，所述检查层包括第一侧表面至第四侧表面，
其中，所述第一侧表面至所述第四侧表面中的至少一个具有在远离所述检查层的中心的方向上倾斜的倾斜表面。
3.根据权利要求2所述的厚度测量装置，其中，所述图案与所述第一侧表面至所述第四侧表面中的至少一个重叠。
4.根据权利要求1所述的厚度测量装置，其中，所述检查层包括第一拐角部分至第四拐角部分，
其中，所述第一拐角部分至所述第四拐角部分中的至少一个具有在远离所述检查层的中心的方向上倾斜的倾斜表面。
5.根据权利要求4所述的厚度测量装置，其中，所述图案与所述第一拐角部分至所述第四拐角部分中的至少一个重叠。
6.根据权利要求1所述的厚度测量装置，其中，所述检查层由透明材料构成。
7.根据权利要求1所述的厚度测量装置，其中，所述图案包括多个图案。
8.根据权利要求7所述的厚度测量装置，其中，所述多个图案具有不同的形状。
9.根据权利要求1所述的厚度测量装置，其中，所述图案与所述检查层的中心部分重叠。
10.根据权利要求1所述的厚度测量装置，其中，所述检查层与所述衬底的一部分重叠。
11.根据权利要求10所述的厚度测量装置，其中，所述图案包括：
与所述检查层重叠的第一图案部分；以及
与所述检查层不重叠的第二图案部分。
12.根据权利要求11所述的厚度测量装置，其中，所述第一图案部分从所述第二图案部分延伸。
13.根据权利要求1所述的厚度测量装置，其中，所述数据计算单元根据不存在所述检查层时的所述图案的第一坐标值和存在所述检查层时的所述图案的第二坐标值来计算所述检查层的所述厚度值。
14.根据权利要求13所述的厚度测量装置，其中，所述数据计算单元使用以下公式计算所述检查层的所述厚度值：
其中，t为所述检查层的所述厚度值，d为与所述第一坐标值与所述第二坐标值之间的差相对应的光路差，θ1为成像角，并且n1为所述检查层的折射率。
15.一种厚度测量方法，所述厚度测量方法包括：
提供衬底；
在所述衬底上形成图案；
在所述衬底上布置检查层以与所述图案部分地重叠；
通过成像单元对所述图案成像以输出检查图像数据；
通过数据计算单元接收所述检查图像数据；以及
通过所述数据计算单元根据所述检查图像数据计算所述检查层的厚度值，其中，所述成像单元被布置成相对于所述衬底以固定角度倾斜。
16.根据权利要求15所述的厚度测量方法，其中，计算所述厚度值包括：从所述检查图像数据，提取不存在所述检查层时的所述图案的第一坐标值，提取存在所述检查层时的所述图案的第二坐标值，以及通过所述数据计算单元根据所述第一坐标值和所述第二坐标值计算所述检查层的所述厚度值。
17.根据权利要求16所述的厚度测量方法，其中，提取所述第二坐标值包括：处理所述第一坐标值以从所述第一坐标值提取所述第二坐标值。
18.根据权利要求17所述的厚度测量方法，其中，计算所述厚度值包括：根据以下公式计算所述检查层的所述厚度值：
其中，t为所述检查层的所述厚度值，d为与所述第一坐标值与所述第二坐标值之间的差相对应的光路差，θ1为成像角，并且n1为所述检查层的折射率。
19.根据权利要求15所述的厚度测量方法，还包括：在布置所述检查层之前对所述图案进行预备成像。
20.根据权利要求19所述的厚度测量方法，其中，计算所述厚度值包括：将从所述预备成像获得的预备检查图像数据与在布置所述检查层之后成像的所述检查图像数据进行比较，以计算所述检查层的所述厚度值。
CN202311494539.2A 2022-11-16 2023-11-10 用于测量厚度的装置和方法 Pending CN118049923A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2022-0153956 2022-11-16
KR1020220153956A KR20240072445A (ko) 2022-11-16 2022-11-16 두께 측정 장치 및 두께 측정 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN118049923A true CN118049923A (zh) 2024-05-17

Family

ID=91029050

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202311494539.2A Pending CN118049923A (zh) 2022-11-16 2023-11-10 用于测量厚度的装置和方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US20240159515A1 (zh)
KR (1) KR20240072445A (zh)
CN (1) CN118049923A (zh)

Also Published As

Publication number Publication date
US20240159515A1 (en) 2024-05-16
KR20240072445A (ko) 2024-05-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10969832B2 (en) Display device
EP3664148B1 (en) Display device and electronic device having the same
TWI647607B (zh) 可攜式資料處理裝置及驅動該可攜式資料處理裝置的方法
CN109686257B (zh) 带有覆盖视窗的显示装置
KR102481443B1 (ko) 보호 필름 제조 방법 및 표시 장치 제조 방법
CN203397629U (zh) 显示装置
CN103309499A (zh) 触摸屏、其制造方法以及具有该触摸屏的移动终端
TW201947297A (zh) 顯示設備及攜帶式終端
CN102109933A (zh) 具有显示面板和光学传感框架的组件及使用其的显示系统
US10234903B2 (en) Display device and method for manufacturing same
US11927987B2 (en) Display device and method for manufacturing the same
EP3582064B1 (en) Display device and electronic device including the same
JP2024003112A (ja) 表示装置
KR20180138311A (ko) 전자 기기용 커버 윈도우 및 이를 포함하는 전자 기기
KR20190124352A (ko) 표시 장치
CN113126344A (zh) 电子装置
CN118049923A (zh) 用于测量厚度的装置和方法
KR20160083310A (ko) 휴대 전자 기기용 커버 윈도우 및 이를 포함하는 휴대 전자 기기
US20230262948A1 (en) Emissive display device
KR102677960B1 (ko) 보호 필름 제조 방법 및 표시 장치 제조 방법
CN217719605U (zh) 显示装置
US11579729B2 (en) Display device and method for operating the same
KR20230171080A (ko) 표시 장치 및 표시 장치의 제조 방법
CN115148092A (zh) 显示装置、制造窗的方法和制造显示装置的方法
KR20220158201A (ko) 표시장치 및 이를 포함하는 전자장치

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication