CN117990130A - 一种磁场探针检测装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种磁场探针检测装置，包括励磁组件、第一探针组件、承载组件、驱动组件、支架，所述驱动组件、承载组件安装于所述支架；励磁组件用于在预设区域产生延伸的磁路，驱动组件的移动端能够与所述励磁组件搭接或分离，第一探针组件的探针卡设置有向被测物伸出的探针，第一探针组件的靠近被测物一侧被支架限位，励磁组件、第一探针组件的相对一侧设置有至少两组定位机构，定位机构包括相互匹配的锥台、锥槽。

Description

一种磁场探针检测装置

技术领域

本发明属于检测设备技术领域，具体涉及一种磁场探针检测装置。

背景技术

探针台测试设备是一种应用广泛的非破坏性测试手段，在物理及半导体领域中的应用十分丰富。在测试过程中，需要使探针与被测物的预设位置或触点接触，并借助探针向被测物输入信号，和/或借助探针接收被测物的信号，进而根据探针输入和/或输出的信号，对被测物的性能进行分析。其中，需要按检测需求调整探针的位置，以使得探针能够达到相应的位置。

部分情形下，需要对被测物在磁场环境下的性能进行检测，需要使用相应的励磁组件产生磁场，并将被测物设置于磁场环境下。由于磁场在空间中的分布一般并不均匀，一般需要对预设位置的磁场进行标定，并使被测物的被测区域处于预设位置，当被测物的被测区域与预设位置不匹配时，将无法确定被测区域的磁场状况，进而导致检测失败或引起巨大误差。因此，确定被测物在磁场中的位置，对于检测效果十分重要。

在背景技术部分中公开的上述信息仅仅用于增强对本发明背景的理解，因此可能包含不构成本领域普通技术人员公知的现有技术的信息。

发明内容

为了对磁场探针台中的被测物在磁场中的位置进行定位，本发明提供了一种磁场探针检测装置，包括励磁组件、第一探针组件、承载组件、驱动组件、支架，所述驱动组件、承载组件安装于所述支架；

所述励磁组件设置有励磁线圈，所述励磁线圈被配置为其磁路至少部分地在预设区域延伸的形式；所述第一探针组件设置有探针卡，所述探针卡上设置有探针，所述探针向所述承载组件的承托被测物的一侧伸出，所述第一探针组件的靠近所述承载组件的一侧被所述支架限位；所述驱动组件设置有移动端，所述移动端能够在所述驱动组件的驱动下，与所述励磁组件搭接或分离；

所述移动端与所述励磁组件搭接时，所述励磁组件能够在所述驱动组件的驱动下在靠近与远离所述承载组件的方向上移动；所述励磁组件、第一探针组件的相对一侧设置有至少两组定位机构，所述定位机构包括相互匹配的锥台、锥槽。

优选地，所述支架设置有导向机构，所述导向机构与所述励磁组件限位连接，所述导向机构对所述励磁组件在垂直于所述移动端的移动方向上限位。

优选地，所述励磁装置设置有极头，所述磁路至少部分地在所述极头中行进，所述极头的磁场延伸端靠近所述预设位置。

进一步优选地，所述第一探针组件设置有容纳所述极头的镂空部，所述极头至少部分地穿过所述镂空部。

进一步优选地，所述极头包括面内极头、垂直极头的其中至少之一。

优选地，所述承载组件设置有位移台，所述位移台被构造成能够带动所述承载组件所承托的被测物移动的形式。

优选地，至少两组所述定位机构之间设置有预设距离。

优选地，所述磁场探针检测装置还包括第二探针组件，所述第二探针组件包括探针座、安装于所述探针座并向所述承载组件的承托被测物的一侧伸出的探针，所述第二探针组件安装于所述励磁组件、支架的其中至少之一。

本发明还提供了另一种形式的磁场探针检测装置，包括励磁组件、探针组件、承载组件、驱动组件、支架，所述驱动组件、承载组件安装于所述支架；

所述励磁组件设置有励磁线圈，所述励磁线圈被配置为其磁路至少部分地在预设区域延伸的形式；所述探针组件包括探针、探针座，所述探针安装于所述探针座，所述探针座安装于所述励磁组件，所述探针向所述承载组件的承托被测物的一侧伸出；所述驱动组件设置有移动端，所述移动端能够在所述驱动组件的驱动下，与所述励磁组件搭接或分离；

所述移动端与所述励磁组件搭接时，所述励磁组件能够在所述驱动组件的驱动下在靠近与远离所述承载组件的方向上移动。

优选地，所述支架设置有导向机构，所述导向机构与所述励磁组件限位连接，所述导向机构对所述励磁组件在垂直于所述移动端的移动方向上限位。

本发明至少具有以下有益效果：通过励磁组件、第一探针组件之间的定位方式，将难以确定被测物所处磁场环境的问题，转换为了被测物与探针的对准问题，并利用能够直观地观察探针与被测物的接触位置的特点解决该对准问题，从而使被测物能够快速调整至预设的位置和磁场环境下，进而提高检测效果；无需使用其他装置即可确定被测物所处磁场环境，极大地便利了磁场探针测试设备的使用。

附图说明

图1为本发明所提供的一种磁场探针检测装置的一种整体结构示意图。

图2为图1所示实施方式的另一视角的视图。

图3为图1所示实施方式的另一状态下的示意图。

图4为图3所示实施方式的另一视角的视图。

图5为本发明所涉及的第一探针组件的结构示意图。

图6为本发明所提供的一种磁场探针检测装置的另一种整体结构示意图。

图7为本发明所涉及的第一探针组件的另一种结构示意图。

图8为被发明所提供的一种磁场探针检测装置的又一种整体结构示意图。

具体实施方式

为使本发明的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步的说明。需要说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用于方便、清晰地辅助说明本发明实施例的目的。可以理解的是，为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本发明由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，本领域技术人员能够在本发明的指导下，选择合适的细节方案。

请参阅图1至图4，示出了本发明所提供的一种磁场探针检测装置的一种实施方式的示意图。包括励磁组件100、第一探针组件200、承载组件300、驱动组件400、支架500。驱动组件400、承载组件300安装于所述支架500，用于带动相应的元件与支架500产生相对运动。

更具体地，请参阅图3，所述励磁组件100设置有励磁线圈，所述励磁线圈被配置为其磁路至少部分地在预设区域延伸的形式。磁路，指的是磁场的延伸路径，且无关方向，例如，励磁线圈111的磁路，可以是励磁线圈111产生的磁场的延伸路径，也可以是延伸至励磁线圈111的磁场的路径。励磁组件100还可以根据需要，设置相应的组件以对磁路进行调整。对于预设区域，在对被测物进行检测时，被测物处于该预设区域内，并处于预设的磁场环境当中。由于磁场主要是由励磁组件100产生、经磁路延伸至该预设区域的，因此，当励磁组件100移动时，相应的磁路也会产生相应的移动，也就是说，该预设区域也会一同移动。因而，在本实施方式中，预设区域可以被认为是与励磁组件具有一定位置关系的区域。需要注意的是，该预设区域是为了便于说明而描述的一个区域。第一探针组件200设置有探针卡220，探针卡220上设置有探针，探针向承载组件300的承托被测物的一侧伸出，以使得第一探针组件200与承载组件300在一定的相对位置下，探针能够与被测物接触。第一探针组件200的靠近所述承载组件300的一侧被所述支架500限位，具体地说，通过支架500限制第一探针组件200的位置，以使第一探针组件200无法进一步靠近承载组件300。驱动组件400设置有移动端420，移动端420能够在驱动组件400的驱动下，与励磁组件100搭接或分离。当移动端420与励磁组件100分离时，驱动组件400与励磁组件100之间无传动关系，二者相互独立互不影响。当移动端420与励磁组件100搭接时，驱动组件400经移动端420与励磁组件100相接触，并带动励磁组件100运动。移动端420与励磁组件100搭接时，励磁组件100能够在驱动组件400的驱动下，在靠近与远离承载组件300的方向上移动。对于移动端420与励磁组件100之间连接的具体形式，本领域技术人员可以根据需要进行选择，例如，将移动端420配置为承托励磁组件100的形式、与励磁组件100的部分位置接触并传动的形式、在励磁组件100上设置可容纳移动端420的相应部件移动一定距离的卡槽，以及其他形式。具体地，请参阅图4，作为一种可选的方式，移动端420的凸起部421可以搭接于励磁组件100的固定板160的下侧的边沿，当驱动组件400驱动移动端420上升时，即驱动移动端420向远离承载组件300的方向移动时，凸起部421搭接于励磁组件100的下边沿并为励磁组件100提供向远离承载组件300的方向移动的驱动力，从而带动励磁组件100的移动。请参阅图2，移动端420的凸起部421可以与励磁组件100的固定板160的下侧边沿分离，此时，励磁组件100与驱动组件400相分离，二者之间无传动关系。

励磁组件100、第一探针组件200的相对一侧设置有至少两组定位机构150、212，定位机构150、212包括相互匹配的锥台、锥槽。对于励磁组件100、第一探针组件200的其中哪一个设置锥台150、哪一个设置锥槽212，可以根据实际需要进行选择，图4、图5示出了一种设置方式，其中，励磁组件100设置有锥台150，第一探针组件200设置有锥槽212，此外，还可以在励磁组件100设置锥槽212，第一探针组件200设置锥台150，或者，励磁组件100、第一探针组件200均设置锥台150、锥槽212。

使用时，通过驱动组件400带动移动端420上升，移动端420与励磁组件100接触并带动励磁组件100一同上升，励磁组件100与第一探针组件200相互分离并逐渐远离。上升至一定高度时，请参考图2，励磁组件100与第一探针组件200之间出现了一定的空间，此时，可以较为便捷地将第一探针组件200取出。通过驱动组件400引起移动端420下降时，移动端420与励磁组件100接触并逐渐下降，使得励磁组件100逐渐靠近第一探针组件200。当励磁组件100靠近第一探针组件200并与第一探针组件200接触时，励磁组件100、第一探针组件200之间通过定位机构相互接触，并借助锥台、锥槽的定位作用，使二者逐渐达到一个相对位置。移动端420继续向下移动，并与励磁组件100分离，励磁组件100凭借自身重力压向第一探针组件200，由于第一探针组件200的靠近承载组件300一侧被支架500限位，因而，第一探针组件200将被励磁组件100、支架500夹紧，并使得第一探针组件200、励磁组件100所设置的定位机构相互配合。由于定位机构设置有至少两组，因而能够对励磁组件100、第一探针组件200之间的相对位置、角度同时完成定位。由于定位机构在励磁组件100、第一探针组件200上是固定设置，因此，即使励磁组件100、第一探针组件200多次分离、接触，在励磁组件100、第一探针组件200完成定位时的相对位置大体相同，更进一步地，使第一探针组件200上的探针与励磁组件100上的存在磁路延伸的预设区域之间的相对位置大体相同，也就是说，即使励磁组件100、第一探针组件200多次分离、接触，第一探针组件200的探针将位于励磁组件100产生的磁场的相同位置，实现了探针与磁场的定位。相应地，在对被测物进行检测时，需要使探针与被测物的被测位置接触，当被测物的被测位置与探针相接触时，将完成被测物的被测位置与探针位置间的定位；由于探针与磁场间已完成了定位，因而使得被测位置与磁场实现了定位。也就是说，即使励磁组件100、第一探针组件200、被测物之间多次分离、接触，励磁组件100产生的磁场、第一探针组件200的探针、被测物的被测位置将处于相同的相对位置，使得被测物的被测位置处于磁场的固定位置，无需对磁场进行多次标定，且便于调整被测物的位置。本发明利用励磁组件100、第一探针组件200之间的定位方式，将难以确定被测物所处磁场环境的问题，转换为了被测物与探针的对准问题，并利用能够直观地观察探针与被测物的接触位置的特点解决该对准问题，从而使被测物能够快速调整至预设的位置和磁场环境下，进而提高检测效果；无需使用其他装置即可确定被测物所处磁场环境，极大地便利了磁场探针测试设备的使用。

请参阅图5、图7，为了进一步方便第一探针组件200的取出与安放，可以在第一探针组件200上设置握把230，以使得励磁组件100与第一探针组件200相互分离时，能够借助握把230，将第一探针组件200从支架500中取出或放入。

请参阅图3、图4，在部分情形下，励磁组件100与第一探针组件200之间可以留有一定间距，以容纳励磁线圈111、121以及其他相应组件。例如，励磁组件100设置有安装板160以固定相应的励磁线圈111、121或极头112、122，安装版160设置有支撑柱140，定位组件设置于支撑柱的端部，从而使得励磁组件100与第一探针组件200之间完成定位时，励磁组件100的安装版160与第一探针组件200之间留有一定间距，以容纳相应组件。此外，当第一探针组件200设置有握把230时，该间距还可以容纳该握把230。

请参阅图1至图4，示出了一种励磁组件100与支架组件500的形式，其中，作为一种可选的方式，可以通过在支架500中设置有导向机构，使导向机构与励磁组件100限位连接，并使得导向机构对励磁组件100在垂直于移动端420的移动方向上限位，以对励磁组件100的位置进行限制，以使得在多次使用时，励磁组件100与第一探针组件200接触时，励磁组件100在垂直于移动端420移动方向上的位置大体相同，进而使得第一探针组件200与励磁组件100的相对位置、第一探针组件200与被测物的相对位置大体相同。具体地，作为一种可行的方式，导向机构可以为导向柱510，并使得励磁组件100与导向柱510滑动连接，使励磁组件100在靠近或远离被测物的方向上的移动方向或路径相对固定。当移动端420的凸起部421仅搭接于励磁组件100的边缘时，移动端420还可以与导向柱510共同作用以使得励磁组件100出现位移。请参阅图8，凸起部421也可以独立支持励磁组件100上升或下降，本领域技术人员可以在本发明的指导下进行相应的设置。更具体地，支架500设置有安装台520，安装台520固定于支架500的上板530上，导向柱510、驱动组件400安装于安装台520；支架500还设置有下板540，下板540、上板530之间留有间隔，承载组件300设置于上板530、下板540之间的区域，上板530、下板540之间通过立柱550连接。此外，还可以根据实际需要，选择其他形式的导向机构，例如，导轨、滑道等形式，在此不再赘述。

请参阅图1至图4，为了产生沿磁路在预设区域延伸的磁场，在一些情形下，可以仅使用励磁线圈，并配置励磁组件的位置以满足检测磁场的要求。此外，在一些情形下，为了便于对磁路进行调整，励磁装置100可以设置有极头112、122，使得磁路至少部分地在相应的极头112、122中行进，使极头112、122的磁场延伸端靠近预设位置。其中，当预设区域所需的磁场包括垂直磁场时，可以设置垂直极头112；当预设区域所需的磁场包括面内磁场时，可以设置面内极头122。垂直磁场、面内磁场，可以是相对于被测物的所在平面而言的，也可以是相对于被测物的被测位置所在平面而言的。对于励磁线圈111、121与极头112、122之间的位置关系，可以根据需要进行调整。图4中示出了一种每个极头112、122均套有相匹配的励磁线圈111、121的形式。此外，还可以根据需要，在磁路中配置能够满足检测需求的线圈，对于线圈的具体数量、与极头的位置关系，则根据需要进行配置和调整。

当励磁组件100设置有极头时，相应地，请参阅图5，第一探针组件200可以设置有容纳极头的镂空部211，极头至少部分地穿过镂空部211并靠近被测物。需要注意的是，镂空部211并非必要的，当探针组件200的整体构成材料，对励磁组件100产生的磁场和磁路不具有显著影响时，可以在励磁组件100中设置极头但不在第一探针组件200中设置镂空部。镂空部211的目的在于，使极头更加接近被测物，以实现更好的检测结果。对于具体的镂空形式，则可以根据需要进行选择。

请参阅图2、图4，为了便于调整被测物的位置，承载组件300设置有位移台320，所述位移台320被构造成能够带动所述承载组件300所承托的被测物移动的形式。例如，被测物被承托于载盘310，位移台320设置于载盘310、支架500之间，从而通过位移台320调整载盘310的位置，仅为对被测物的位置进行调整。其中，位移台320可以为可沿X轴、Y轴、Z轴的其中至少之一移动的位移台。

请参阅图5，至少两组所述定位机构之间设置有预设距离，以进一步加强励磁组件100、第一探针组件200之间的角度的定位效果。请参阅图5，示出了一种设置有四组定位机构的形式，其中，第一探针组件200包括探针固定板210、探针卡220，探针卡220固定于探针固定板210的靠近被测物一侧。四组定位机构设置于第一探针组件200四角，以使定位过程、定位后、励磁组件100与第一探针组件200分离时的第一探针组件200更加平衡和稳定，更具体地，定位机构设置于探针固定板210的四角，或者，设置探针固定板210的形状，使定位机构在探针组件200上形成较大的连线区域。

请参阅图6，除了第一探针组件200外，还可以根据需要，进一步设置第二探针组件700，所述第二探针组件700安装于所述励磁组件100，并与励磁组件100共同升降、移动；第二探针组件700包括探针座710、安装于所述探针座710并向所述承载组件300的承托被测物的一侧伸出的探针720，请参阅图7，示出了一种可用于图6所示的检测装置的第一探针组件200的结构示意图。其中，第一探针组件200设置有能够使所述第二探针组件700中的所述探针720穿过的镂空部214。通过第二探针组件700，进一步增加了可与被测物接触的探针720，进一步满足相应的测试需求，尤其是，在已完成被测物与第一探针组件200的定位和连接后，需要进一步增加检测位置的情况下，可以通过第二探针组件700满足相应的测试需求。此外，所述第二探针组件700还可以安装于支架500，并且不随励磁组件100的移动而移动，以使得相应探针能够在有励磁组件100施加磁场、无励磁组件100施加磁场时，均能够实现对被测物的检测。

检测装置还可以根据需要，设置观察组件600，例如，设置显微镜610，以观察探针与被测物之间的接触，或观察被测物与探针之间的相对位置等。具体地，请参阅图1至图5，观察组件600设置于励磁组件100上侧，并在励磁组件100、第一探针组件200设置相应的通孔，以使得观察组件600能够观察到探针与被测物的接触位置。具体地，作为一种可行的方式，励磁组件100设置有观察孔113，第一探针组件200设置有观察孔213，当励磁组件100、第一探针组件200完成定位时，观察孔113、213在观察组件600的视野中大体同轴。更具体地，观察组件600可以安装于励磁组件100，以便于随励磁组件100一同移动。此外，还可以在观察组件600中设置相应的位置调整装置620并对如显微镜610等观察装置进行位置调整，以进一步便于使用。请参阅图1、图3，示出了一种励磁组件100包括垂直励磁组件110的情形，其中，观察孔113可以贯穿垂直励磁组件110。此外，当垂直励磁组件110仅采用励磁线圈111、未设置极头112时，可以在励磁线圈111的安装板160上设置相应的通孔作为观察孔113。

在部分情形下，励磁组件100需要与外部的供电装置连接，因而需要在励磁组件100上设置相应的电连接位置。作为一种可行的方式，请参阅图6，励磁组件100上还设置有接线箱170，励磁线圈111、121的接线端延伸至接线箱170并形成预设接口，通过该预设接口，与外部供电装置连接。对于具体的连接方式、接口形式，本领域技术人员可以在本发明的启示的基础上进行相应设置。

在前述技术方案的基础上，本发明还提供了另一种形式的磁场探针检测装置，包括励磁组件100、探针组件700、承载组件300、驱动组件400、支架500，驱动组件400、承载组件300安装于所述支架500；励磁组件100设置有励磁线圈，所述励磁线圈被配置为其磁路至少部分地在预设区域延伸的形式；所述探针组件700包括探针720、探针座710，所述探针720安装于所述探针座710，所述探针座720安装于所述励磁组件100，所述探针720向所述承载组件300的承托被测物的一侧伸出；所述驱动组件400设置有移动端420，所述移动端420能够在所述驱动组件400的驱动下，与所述励磁组件100搭接或分离；所述移动端420与所述励磁组件100搭接时，所述励磁组件100能够在所述驱动组件400的驱动下在靠近与远离所述承载组件300的方向上移动。由于探针组件700安装于励磁组件100，因此探针组件700及其探针720与励磁组件100的相对位置固定，进而使得探针720在预设区域中的位置固定，也就是说，探针720在励磁组件100所产生的磁场中的位置固定。在此情形下，当探针720与被测物的被测位置接触时，探针组件700与被测物的相对位置固定，进一步地，由于探针组件700与励磁组件100的相对位置固定，因此，被测物与励磁组件100的相对位置固定。也就是说，只要使探针组件700的探针与被测物的被测位置相接触，即可使得被测物的被测位置处于励磁组件100的磁场中的预设位置，无需对磁场进行多次标定，且便于调整被测物的位置。利用励磁组件100、探针组件700之间的定位方式，将难以确定被测物所处磁场环境的问题，转换为了被测物与探针的对准问题，并利用能够直观地观察探针与被测物的接触位置的特点解决该对准问题，从而使被测物能够快速调整至预设的位置和磁场环境下，进而提高检测效果；无需使用其他装置即可确定被测物所处磁场环境，极大地便利了磁场探针测试设备的使用。

请参阅图6，支架500设置有导向柱510，励磁组件100与导向柱510滑动连接。对于具体的工作方式，请参阅前述相应内容，在此不再赘述。

需要注意的是，本发明提供了两种形式的磁场探针检测装置，对于部分细节方案，二者可以共用，本领域技术人员能够在本发明的启示下，对方案进行合理的组合。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点，因此以上所述仅为本发明的实施例。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还包括各种等效变化和改进，这些变化和改进都将落入要求保护的本发明范围内。

Claims (10)

1.一种磁场探针检测装置，其特征在于：包括励磁组件、第一探针组件、承载组件、驱动组件、支架，所述驱动组件、承载组件安装于所述支架；

所述励磁组件设置有励磁线圈，所述励磁线圈被配置为其磁路至少部分地在预设区域延伸的形式；所述第一探针组件设置有探针卡，所述探针卡上设置有探针，所述探针向所述承载组件的承托被测物的一侧伸出，所述第一探针组件的靠近所述承载组件的一侧被所述支架限位；所述驱动组件设置有移动端，所述移动端能够在所述驱动组件的驱动下，与所述励磁组件搭接或分离；

所述移动端与所述励磁组件搭接时，所述励磁组件能够在所述驱动组件的驱动下在靠近与远离所述承载组件的方向上移动；所述励磁组件、第一探针组件的相对一侧设置有至少两组定位机构，所述定位机构包括相互匹配的锥台、锥槽。

2.如权利要求1所述的一种磁场探针检测装置，其特征在于：所述支架设置有导向机构，所述导向机构与所述励磁组件限位连接，所述导向机构对所述励磁组件在垂直于所述移动端的移动方向上限位。

3.如权利要求1所述的一种磁场探针检测装置，其特征在于：所述励磁装置设置有极头，所述磁路至少部分地在所述极头中行进，所述极头的磁场延伸端靠近所述预设位置。

4.如权利要求3所述的一种磁场探针检测装置，其特征在于：所述第一探针组件设置有容纳所述极头的镂空部，所述极头至少部分地穿过所述镂空部。

5.如权利要求3所述的一种磁场探针检测装置，其特征在于：所述极头包括面内极头、垂直极头的其中至少之一。

6.如权利要求1所述的一种磁场探针检测装置，其特征在于：所述承载组件设置有位移台，所述位移台被构造成能够带动所述承载组件所承托的被测物移动的形式。

7.如权利要求1所述的一种磁场探针检测装置，其特征在于：至少两组所述定位机构之间设置有预设距离。

8.如权利要求1所述的一种磁场探针检测装置，其特征在于：所述磁场探针检测装置还包括第二探针组件，所述第二探针组件包括探针座、安装于所述探针座并向所述承载组件的承托被测物的一侧伸出的探针，所述第二探针组件安装于所述励磁组件、支架的其中至少之一。

9.一种磁场探针检测装置，其特征在于：包括励磁组件、探针组件、承载组件、驱动组件、支架，所述驱动组件、承载组件安装于所述支架；

所述励磁组件设置有励磁线圈，所述励磁线圈被配置为其磁路至少部分地在预设区域延伸的形式；所述探针组件包括探针、探针座，所述探针安装于所述探针座，所述探针座安装于所述励磁组件，所述探针向所述承载组件的承托被测物的一侧伸出；所述驱动组件设置有移动端，所述移动端能够在所述驱动组件的驱动下，与所述励磁组件搭接或分离；

所述移动端与所述励磁组件搭接时，所述励磁组件能够在所述驱动组件的驱动下在靠近与远离所述承载组件的方向上移动。

10.如权利要求9所述的一种磁场探针检测装置，其特征在于：所述支架设置有导向机构，所述导向机构与所述励磁组件限位连接，所述导向机构对所述励磁组件在垂直于所述移动端的移动方向上限位。