CN117943332A - 晶圆水平清洗装置 - Google Patents

Abstract

本申请实施例提供了一种晶圆水平清洗装置，包括夹持盘、动力组件和背喷组件，夹持盘用于水平夹持晶圆，夹持盘的中心区域开设有清洗孔；动力组件位于夹持盘的下方，动力组件的输出轴的端部穿设于清洗孔，输出轴为中空管件且与清洗孔连通；背喷组件设置于输出轴的内部，背喷组件朝向晶圆的背面中心区域喷洒清洁液，背喷组件的外周面与输出轴的内壁面之间具有第一间隙，第一间隙与清洗孔连通，以将清洗废液经由第一间隙排出。根据本发明实施例的一种晶圆水平清洗装置，可以将废液通过第一间隙及时排出，有效的防止废液腐蚀其它结构件，并且可以防止废液堆积导致晶圆背面有液珠凝聚，影响工艺效果。

Description

晶圆水平清洗装置

技术领域

本申请实施例涉及晶圆处理技术领域，尤其涉及一种晶圆水平清洗装置。

背景技术

目前，对于晶圆湿法处理工艺(如单片晶圆清洗)，高阶工艺制程中，晶圆的水平清洗、双面清洗工艺的占比越来越多。此清洗工艺通常使用晶圆水平清洗装置，其具体运行方式为：通过动力组件(如电机)来驱动晶圆旋转，在晶圆的旋转过程中通过对晶圆正面喷淋化学药液完成晶圆正面的清洗过程。对于背面清洗工艺，需要从晶圆背面喷射化学药液，为提高机台产能，加速晶圆的甩干过程，通常还会辅以提供高纯氮气的吹扫功能。

背面清洗药液的输送由背喷组件来完成，由于背喷组件需要输送清洗药液，这种背喷组件通常为固定状态，即非旋转状态。鉴于背喷组件的机械结构的特殊性(电机需要带动晶圆高速旋转而背喷组件需为固定状态)，通常晶圆背面清洗通过中空轴电机来驱动夹持晶圆的夹持盘转动，同时中空轴电机的中空轴内部嵌入固定状态的背喷组件(亦称喷淋管路)来完成对晶圆背面的清洗工艺过程。

针对晶圆的背面清洗，由于动力组件在旋转过程中存在虹吸效应(腔室动静隔离区域存在外部气体向腔室内部流入)，会使得晶圆腔室内存在引入外部污染物的风险。并且对于部分高渗透性的化学药液(如臭氧水)会渗透到晶圆的动力组件处的间隙处，尤其是驱动电机的轴系间隙部分，这会使得晶圆的动力组件受到化学腐蚀。此外，晶圆水平清洗装置的排液能力不足的情况下，虹吸效应会导致晶圆背面附近的液珠凝聚，导致晶背潮湿，影响工艺效果。

发明内容

有鉴于此，本申请实施例提供一种晶圆水平清洗装置，将背喷组件设置至动力组件的输出轴内部，并且输出轴的内壁与背喷组件之间具有第一间隙，因此可以在对晶圆的背面喷洒清洁液进行清洗后，清洗废液可以便于通过第一间隙及时排出，有效的防止废液流进其它结构的缝隙导致腐蚀其它结构件，并且可以防止废液堆积导致晶圆背面有液珠凝聚，影响工艺效果。

根据本申请实施例提供了一种晶圆水平清洗装置，包括夹持盘、动力组件和背喷组件。夹持盘用于水平夹持晶圆，其中心区域开设有清洗孔；动力组件位于所述夹持盘的下方，所述动力组件的输出轴的端部穿设于所述清洗孔，所述输出轴为中空管件且与所述清洗孔连通；背喷组件设置于所述输出轴的内部，所述背喷组件朝向晶圆的背面中心区域喷洒清洁液，所述背喷组件的外周面与所述输出轴的内壁面之间具有第一间隙，所述第一间隙与所述清洗孔连通，以将清洗废液经由所述第一间隙排出；其中，所述输出轴为耐腐蚀材料制成的输出轴。

可选地，所述晶圆水平清洗装置还包括排液组件，其顶部与所述动力组件的底部连接，所述排液组件内具有排液通道，所述排液通道与所述第一间隙连通，以将所述废液由所述第一间隙引导至所述排液通道并排出。

可选地，所述背喷组件包括喷射体，所述喷射体的第一端设有喷头，以对晶圆的背面喷射清洁液，所述喷射体的第二端的内部设有进液通道，以在所述进液通道中安装输送清洁液的进液管路；所述喷射体的内部设有输液管，所述输液管的两端分别与所述喷头和进液管路连通，所述进液通道的径向尺寸大于所述输液管的径向尺寸。

可选地，所述喷射体的长度大于所述输出轴的长度，所述喷射体的第二端的第二外径小于第一端的第一外径，所述喷射体的第二端伸入所述排液通道。

可选地，所述排液组件包括分隔壁，所述分隔壁设置于所述排液通道内，所述分隔壁的内壁与第二端的外壁形成与第一间隙连通的第一排液管路，所述分隔壁的外壁与所述排液组件的内壁形成第二排液管路。

可选地，所述第一外径与所述第二外径之间具有倾斜面，所述输出轴的下端具有引导件，所述引导件配置有倾斜引导部，所述倾斜引导部朝向第二端倾斜设置，以将清洗废液经由所述第一间隙引导至所述第一排液管路。

可选地，所述倾斜引导部的设置位置与第二排液管路的设置位置相匹配，使得第一排液管路中未及时排出的废液能够经由倾斜引导部与分隔壁之间的间隙进入第二排液管路。

可选地，所述第一外径与所述第二外径之间具有台阶面，所述输出轴的下端具有引导件，所述引导件配置有纵向引导部，所述纵向引导部伸入所述第二排液管路内，以将清洗废液经由所述第一间隙引导至第一排液管路和/或第二排液管路中。

可选地，晶圆水平清洗装置还包括转接件，其设于所述输出轴的外周面，所述转接件的顶部与所述夹持盘的背面抵接，所述转接件的底部与所述动力组件的顶部连接，所述转接件的外周面设有多个气封槽，多个所述气封槽沿着所述转接件的轴向依次设置且彼此平行。

可选地，所述晶圆水平清洗装置还包括气封件，其位于所述夹持盘和所述动力组件之间，且所述气封件外套于所述转接件，且与所述转接件间隙配合，所述气封件能够将气体朝向所述转接件和所述动力组件输送。

可选地，所述气封件包括：进气口，其与外部气源连通；气流通道，其设置于所述气封件内部，且与所述进气口连通；第一通气孔，其沿水平方向延伸，且与所述气流通道连通，所述第一通气孔与所述转接件的环形槽相对；第二通气孔，其沿竖直方向延伸，且与所述气流通道连通，所述第二通气孔与动力组件相对。

可选地，所述晶圆水平清洗装置还包括内防护件，其外覆于所述动力组件，所述内防护件的中部开设有第一开口，以使所述输出轴和至少部分转接件穿过，所述第一开口的内壁面开设有第二环形槽。

可选地，所述晶圆水平清洗装置还包括主体部，其具有安装腔；风机过滤组，其设置至所述主体部外部，以使所述安装腔内与外部进行气体交换；清洗组件，其设置于所述安装腔内，所述清洗组件具有喷嘴，以对所述晶圆的正面喷洒所述清洁液。

根据本申请实施例提供的一种晶圆水平清洗装置具有如下有益效果：

a、将背喷组件设置至动力组件的输出轴内部，并且输出轴的内壁与背喷组件之间具有第一间隙，因此可以在对晶圆的背面喷洒清洁液进行清洗后，清洗废液可以便于通过第一间隙及时排出，有效的防止废液流进其它结构的缝隙导致腐蚀其它结构件。

b、可以防止废液堆积导致晶圆背面有液珠凝聚，影响工艺效果。

c、输出轴的端部与清洗孔连接，使清洁液可以及时在第一间隙排出，也避免了高渗透性的化学药液例如臭氧水，由缝隙渗透到晶圆的动力组件处的间隙处，动力组件受到化学腐蚀。

d、动力组件的输出轴选用了耐腐蚀性材料制造，可以提升使用寿命。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请实施例中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为根据本申请实施例的晶圆水平清洗装置的整体主视图；

图2为根据本申请实施例的晶圆水平清洗装置的局部主视图；

图3为根据本申请实施例的晶圆水平清洗装置的动力组件的输出轴、背喷组件、转接件和排液组件的主视图；

图4为图2中的A处的局部放大图；

图5为图2中的B处的局部放大图；

图6为根据本申请实施例的晶圆水平清洗装置的引导件和排液组件的另一种实施方式的主视图；

图7为根据本申请实施例的晶圆水平清洗装置的背喷组件的立体结构示意图；

图8为根据本申请实施例的晶圆水平清洗装置的气封件的立体剖面图。

附图标记说明：

晶圆水平清洗装置100；晶圆200；

主体部1；出风口11；风机过滤组2；清洗组件3；

夹持盘10；基板101；夹持件102；清洗孔103；

动力组件20；输出轴201；引导件202；倾斜引导部2021；水平引导部2022；纵向引导部2023；

背喷组件30；第一端301；第二端302；喷射体303；喷头304；进液通道305；输液管306；倾斜面307；台阶面308；长凹槽309；

第一间隙40；

排液组件50；排液通道501；分隔壁502；第一排液管路503；第二排液管路504；

转接件60；气封槽601；

气封件70；进气口701；气流通道702；第一通气孔703；第二通气孔704；

内防护件80；第一开口801；第二环形槽802；

外防护组件90；容纳腔901；活动基板902；外防护壳903；活动气缸904。

具体实施方式

为了使本领域的人员更好地理解本申请实施例中的技术方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请实施例一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请实施例中的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请实施例保护的范围。

下面结合说明书附图1-图8详细描述本申请实施例的晶圆水平清洗装置100。

如图1-图2所示，晶圆水平清洗装置100包括夹持盘10、动力组件20和背喷组件30。夹持盘10可以作为固定晶圆200的结构，用于水平夹持晶圆200。其具有基板101和夹持件102，可以将晶圆200通过夹持件102固定在夹持盘10上。可以通过夹持件102的夹持和开合动作，完成晶圆200的取片和放片。动力组件20与夹持盘10连接，从而带动夹持盘10转动，也由此带动晶圆200的转动。动力组件20也可以便于在不同工艺条件下配置不同。背喷组件30可以对晶圆200的背面喷射清洁液，配合晶圆200的转动，可以使清洁液通过离心运动覆盖到晶圆200的表面。

具体地，如图1和图2所示，夹持盘10能够夹持晶圆200，以使晶圆200处于水平状态，夹持盘10的中心区域开设有清洗孔103，清洗孔103可以便于背喷组件30将清洁液通过清洗孔103喷洒到晶圆200的背面。在此处需要进行说明，由于本发明实施例的晶圆水平清洗装置100在使用时基本以水平面为基础放置面，因此以水平面为基准面进行说明。由此可知，本发明实施例的晶圆水平清洗装置100的上下方向为固定的。从而将晶圆200水平放置时，其朝向上方的一面定义为正面，其朝向下方的一面定义为背面。并且，中心区域可以理解为晶圆200和夹持盘10的圆心位置。

如图1和图2所示，动力组件20位于夹持盘10的下方，动力组件20的输出轴201的端部穿设于清洗孔103。因此可以了解，动力组件20的输出轴201为沿着竖直方向设置，并且输出轴201的输出端朝向上方以与夹持盘10连接，从而带动夹持盘10转动。输出轴201为中空管件且与清洗孔103连通，由此可以使输出轴201的内部与清洗孔103形成连通的通道，以便于清洗晶圆200的背面的清洗废液通过清洗孔103排出。

如图2所示，背喷组件30设置于输出轴201的内部，背喷组件30朝向晶圆200的背面中心区域喷洒清洁液。从而实现对晶圆200的背面的清洗。同时，背喷组件30的外周面与输出轴201的内壁面之间具有第一间隙40，第一间隙40与清洗孔103连通，以将清洗废液经由第一间隙40排出。

换言之，结合说明书附图4可以了解，动力组件20的输出轴201内部为中空状态，背喷组件30设置在输出轴201的内部中空处，由此可以通过清洗孔103对晶圆200的背面喷洒清洁液。同时，背喷组件30与输出轴201的内壁之间的具有第一间隙40，即两者之间具有一定的空间，由此可以使清洗晶圆200的清洗废液由清洗孔103流入第一间隙40内，进一步可以便于废液的排出。

相对于背喷组件30和输出轴201之间紧密连接的形式，本发明实施例的第一间隙40可以快速使废液流转至下部，进而远离晶圆200的下表面，避免虹吸效应带来的晶圆200背面无法干燥的问题。从而有效的避免了废液的堆积，也避免了废液由缝隙接触动力组件20或其它结构件，造成其它结构件的损坏。

在本发明的一些实施例中，输出轴201为耐腐蚀材料制成的输出轴201。因此废液与输出轴201的内壁接触，避免了输出轴201腐蚀损坏，提升了使用寿命。也保证了晶圆水平清洗装置100的使用稳定性。其中耐腐蚀材料可以为耐腐蚀树脂材料。

根据本申请实施例提供的一种晶圆水平清洗装置100，将背喷组件30设置至动力组件20的输出轴201内部，并且输出轴201的内壁与背喷组件30之间具有第一间隙40，因此可以在对晶圆200的背面喷洒清洁液进行清洗后，清洗废液可以便于通过第一间隙40及时排出，有效的防止废液流进其它结构的缝隙导致腐蚀其它结构件，并且可以防止废液堆积导致晶圆200背面有液珠凝聚，影响工艺效果。输出轴201的端部与清洗孔103连接，使清洁液可以及时在第一间隙40排出，也避免了高渗透性的化学药液例如臭氧水，由缝隙渗透到晶圆200的动力组件20处的间隙处，致使动力组件20受到化学腐蚀。同时，动力组件20的输出轴201选用了耐腐蚀性材料制造，可以提升使用寿命。

在本发明的一些实施例中，如图2和图3所示，晶圆水平清洗装置100还包括排液组件50，排液组件50的顶部与动力组件20的底部连接。因此可以了解，排液组件50位于动力组件20的下方位置。排液组件50内具有排液通道501，排液通道501与第一间隙40连通，以将废液由第一间隙40引导至排液通道501并排出。

由此可知，在整体的结构布局上，由上向下的布置依次为夹持盘10、动力组件20和排液组件50，因此可以了解，废液可以经过第一间隙40向下排出并进入排液组件50，最终及时的排出晶圆水平清洗装置100，以避免废液堆积和腐蚀其它结构件的问题。

如图3和图7所示，背喷组件30包括喷射体303，喷射体303作为背喷组件30的主体结构，设置在输出轴201的内部空间内，并且喷射体303的整体结构为一个长圆柱体，因此可以方便拆装到输出轴201的内部。

其中，如图3和图7所示，喷射体303的第一端301设有喷头304，以对晶圆200的背面喷射清洁液，喷射体303的第二端302的内部设有进液通道305，以在进液通道305中安装输送清洁液的进液管路。此处需要说明，喷射体303为沿着竖直方向放置的长圆柱体结构，因此定义喷射体303朝向上方的一端为第一端301，喷射体303朝向下方的一端为第二端302。因此，喷射体303的第一端301，即上端设有喷头304，可以对晶圆200的背面喷射清洁液。喷射体303的第二端302，即下端为进液通道305，可以便于对喷射体303内部输送清洁液。

进一步地，如图3所示，喷射体303的内部设有输液管306，输液管306的两端分别与喷头304和进液通道305连通，具体为输液管306的两端分别与喷头304和进液通道305内的进液管路连通。由此可以将进液通道305输入喷射体303内部的清洁液通过输液管306输送到喷头304处，实现清洗功能。并且进液通道305的径向尺寸大于输液管306的径向尺寸，以便在进液通道305的内部安装多个进液管路，输送不同种类的化学液。

在本发明的一些实施例中，如图7所示，喷射体303的外周面设有沿着喷射体303的长度方向开设的长凹槽309。因此当喷射体303放置在输出轴201内部后，长凹槽309的设置会增加与输出轴201的内壁形成的第一间隙40的宽度，因此可以允许更多的废液流通，并且也可以便于废液更快的向下排出到排液组件50。换言之，增大了用于排出废液的第一间隙40的宽度，避免废液在晶圆200下方位置积液，防止晶圆200的背面不容易吹干。

在本发明的一些实施例中，喷射体303内开设有多个输液管306，喷射体303的第一端301设有多个喷头304，多个输液管306与多个喷头304一一连通。因此可以增加喷洒清洁液的流量，便于实现对晶圆200背面的更快清洗。

如图2所示，喷射体303的长度大于输出轴201的长度，喷射体303的第二端302的第二外径小于第一端301的第一外径，喷射体303的第二端302伸入排液通道501。也就是说，喷射体303的第二端302会由动力组件20的底部深出，并且伸入动力组件20的下方的排液组件50内。也可以了解，喷射体303的长度大于输出轴201的长度，因此可以在电机的长度部分，保证废液完全沿着第一间隙40排出带排液组件50内，不会漏到动力组件20的内部。

在本发明的一些实施例中，如图5和图6所示。排液组件50包括分隔壁502，分隔壁502设置于排液通道501内，分隔壁502的内壁与第二端302的外壁形成与第一间隙40连通的第一排液管路503，分隔壁502的外壁与排液组件50的内壁形成第二排液管路504。

具体地，分隔壁502将排液通道501分隔为两个管路，即第一排液管路503和第二排液管路504，第一排液管路503与第一间隙40连通后，可以使废液由第一排液管路503排出，而第二排液管路504可以作为备用应急管路。当第一排液管路503排放废液的速率较低，废液会堆积在第一排液管路503处，若废液堆积较多，可以通过第二排液管路504排出。

在本发明的一些实施例中，如图5所示，第一外径与第二外径之间具有倾斜面307。由前文可知，喷射体303的第一外径大于第二外径。并且两者的过渡处形成倾斜面307，配合输出轴201的下端具有的引导件202，可以更好的将废液由第一间隙40引导至第一排液管路503中。

其中，引导件202配置倾斜引导部2021，倾斜引导部2021朝向第二端302倾斜设置，由此可以在清洗废液流动至倾斜引导件202处时，通过倾斜引导部2021将废液引导至第一排液管路503中。

如图5所示，倾斜引导部2021的设置位置与第二排液管路504的设置位置相匹配，使得第一排液管路503中未及时排出的废液能够经由倾斜引导部2021与分隔壁502之间的间隙进入第二排液管路504。

具体地，当第一排液管路503中的清洗废液未及时排出后，废液会堆积并经由倾斜引导部2021与分隔壁502的引导，溢出带第二排液管路504中排出，从而可以防止废液堆积。

在本发明的一些实施例中，如图5所示，引导件202还配置有水平引导部2022。第二排液管路504与倾斜引导部2021的位置对应，排液组件50的管壁与水平引导部2022的位置对应。因此在第一排液管路503中的废液堆积后，废液会向上溢出，通过倾斜引导件202可以将废液引导至第二排液管路504中，防止废液溢出到其它位置导致其它结构收到腐蚀而损坏。

在本发明的一些实施例中，如图6所示，第一外径与第二外径之间具有台阶面308，由前文可知，喷射体303的第一外径大于第二外径。并且两者的过渡处形成台阶面308，配合输出轴201的下端具有的引导件202，可以更好的将废液由第一间隙40引导至第一排液管路503/或第二排液管路504中。

其中，引导件202配置纵向引导部2023，纵向引导部2023伸入第二排液管路504内，由此可以在废液流动至纵向引导部2023处时，通过纵向引导部2023将废液引导至第一排液管路503中排出，也可以通过纵向引导部2023将废液引导至第二排液管路504中排出，还可以将废液同时引导至第一排液管路503和第二排液管路504中同时向外排放，从而提升废液排出效率。

在本发明的一些实施例中，如图6所示，引导件202还配置有水平引导部2022。排液组件50的管壁与水平引导部2022的位置对应。因此在第一排液管路503中的废液堆积后，废液会向上溢出，通过倾斜引导件202可以将废液引导至第二排液管路504中，防止废液溢出到其它位置导致其它结构收到腐蚀而损坏。

在本发明的一些实施例中，如图6所示，晶圆水平清洗装置100还可以在第一排液管路503的下部设置排液口并连接VAC真空泵，提升废液的排出效率。

在本发明的一些实施例中，如图3和图4所示，晶圆水平清洗装置100还包括转接件60。转接件60套设于输出轴201的外周面，转接件60的顶部与夹持盘10的背面抵接，转接件60的底部与动力组件20的顶部连接。因此可以了解，转接件60外套于输出轴201的外周面，并且位于夹持盘10和动力组件20之间的位置。其中，转接件60的内壁与输出轴201的外壁之间紧密连接，从而避免了废液在经过第一间隙40的时候，通过缝隙渗出到转接件60上，造成转接件60的腐蚀和损坏。

如图3和图4所示，转接件60的外周面设有多个气封槽601，多个气封槽601沿着转接件60的轴向依次设置且彼此平行。因此可以通过图4和图5了解，在转接件60的外周面形成了多个凹槽面，由此可以形成迷宫结构。当输出轴201转动时，可以带动转接件60同步转动，以此防止外部的灰尘进入。转接件60可以使用金属材料，以保证其强度以及使用寿命。

在本发明的一些实施例中，如图4和图8所示，晶圆水平清洗装置100还包括气封件70，气封件70位于夹持盘10和动力组件20之间，且气封件70外套于转接件60。且气封件70与转接件60间隙配合，也就是说，气封件70的内壁与转接件60的外壁之间一定的间隙空间。因此，气封件70能够将气体朝向转接件60和动力组件20输送。以在两者之间的间隙处形成气封结构，有效的防止颗粒物进入该间隙。

进一步地，如图8所示，气封件70包括进气口701、气流通道702、第一通气孔703和第二通气孔704。

具体地，如图8所示，进气口701能够与外部气源连通，气流通道702设置于气封件70内部，且与进气口701连通。第一通气孔703沿着与水平方向延伸，且与气流通道702连通，第一通气孔703与转接件60的环形槽相对。第二通气孔704沿着与竖直方向延伸，且与气流通道702连通，第二通气孔704与动力组件20相对。

由此可知，进气口701可以将外部气体输送到气封件70的内部，气封件70的内部的气流通道702可以将气体输送到第一通气孔703和第二通气孔704。进而输送到气封件70和转接件60之间的间隙处。第一通气孔703为水平方向的通气孔，因此输送的气流会在转接件60的外部气封槽601处形成气体密封。并且当动力组件20转动时，会达到更好的密封效果。并且通过气封可以实现与外界气流隔绝的作用，避免外部气体的引入，也避免了虹吸效应带来的负面作用。

在本发明的一些实施例中，如图1和图2所示，晶圆水平清洗装置100还包括内防护件80，内防护件80外覆于动力组件20，内防护件80的中部开设有第一开口801，以使输出轴201和至少部分转接件60穿过，第一开口801的内壁面开设有第二环形槽802。

具体地，内防护件80的顶部为外罩型结构，因此可以外罩于输出轴201和转接件60的外部，其顶部具有第一开口801，可以便于输出轴201穿过。从而可以实现动力组件20带动夹持盘10转动的同时，还可以对动力组件20等结构进行防护，防止外部灰尘会废液于动力组件20等接触，提升整体的使用寿命和工艺稳定性。由于正面喷液组件会朝向晶圆200的正面中心位置喷洒清洁液，并且通过晶圆200的转动，产生的离心运动使清洁液覆盖到晶圆200的整个表面。同时由于离心运动，会导致清洁液向外甩出，因此有可能会溅射到动力组件20等结构上，内防护罩即可以对动力组件20进行保护。

参见图4，未示出的外部气源与进气口701连通，以朝向气封件70的内部通入气体，气体经由气流通道702自第一通气孔703和第二通气孔704排放至气封件70与转接件60之间的间隙，再由内防护件80与夹持盘10之间的间隙排出，进而在转动构件与固定构件之间形成气封结构，防止外部的废液进入动力组件20的内部，同时，也避免动力组件20的颗粒物流向晶圆200所在的腔室而影响晶圆200清洗效果。

在本发明的一些实施例中，如图1和图2所示，晶圆水平清洗装置100还包括外防护组件90，外防护组件90外覆于内防护组件的外部，外防护组件90内具有容纳腔901，夹持盘10、动力组件20和背喷组件30均位于容纳腔901内，外防护组件90能够沿着上下方向在第一位置和第二位置之间运动。

也就是说，外防护罩的覆盖范围大于内防护罩，由上文可知，为了防止清洁液四处溅射，因此可以通过外防护罩对溅射的废液或清洁液进行阻挡。

进一步地，如图2所示，外防护组件90包括活动基板902、外防护壳903和活动气缸904。活动基板902位于动力组件20的下方。外防护壳903设置至活动基板902，外防护壳903内形成容纳腔901，动力组件20、内防护件80、输出轴201等结构均位于容纳腔901内。外防护壳903的顶部开设有第二开口，第二开口的直径大于夹持盘10的直径。活动气缸904设置至活动基板902与外部基座之间，以使外防护组件90在第一位置和第二位置之间运动。

当外防护组件90位于第一位置时，第二开口与夹持盘10位于同一水平面，当外防护组件90位于第二位置时，第二开口所在的平面低于夹持盘10所在的面。

具体地，外防护壳903位于第一位置时，可以防止喷洒到晶圆200正面的清洁液甩出产生溅射，因此通过外防护壳903对清洁液的溅射范围进行限制。晶圆200在清洗结束后，为了便于晶圆200快速甩干的过程，可以通过调整外防护壳903的位置，使更多气体吹扫到晶圆200的背面，实现晶圆200的快速甩干。

本发明并不限于此，在本发明的一些实施例中，如图1所示，晶圆水平清洗装置100还包括主体部1、风机过滤组2和清洗组件3。

具体地，主体部1内具有安装腔。主体部1可以外内部结构提供稳定的安装基础，从而可以对内部设置的结构进行保护。风机过滤组2设置至主体部1外部，以使安装腔内与外部进行气体交换。

风机过滤组2英文缩写为FFU(Fan Filter Unit)，可以用于保持安装腔内的洁净微环境，避免外部污染物的引入。同时可以在主体部1开设有出风口11，以使风机过滤组2吹出气体由出风口11引出。清洗组件3设置于安装腔内，清洗组件3具有喷嘴，以对晶圆200的正面喷洒清洁液。其中，正面清洗的清洗组件3具有旋转和升降作用，而背面清洗由于受到晶圆200动力组件20的限制，背喷组件30一般为静止状态的杆件。

以上实施方式仅用于说明本申请实施例，而并非对本申请实施例的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本申请实施例的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本申请实施例的范畴，本申请实施例的专利保护范围应由权利要求限定。

Claims (13)

1.一种晶圆水平清洗装置，其特征在于，包括：

夹持盘，用于水平夹持晶圆，其中心区域开设有清洗孔；

动力组件，位于所述夹持盘的下方，所述动力组件的输出轴的端部穿设于所述清洗孔，所述输出轴为中空管件且与所述清洗孔连通；

背喷组件，设置于所述输出轴的内部，所述背喷组件朝向晶圆的背面中心区域喷洒清洁液，所述背喷组件的外周面与所述输出轴的内壁面之间具有第一间隙，所述第一间隙与所述清洗孔连通，以将清洗废液经由所述第一间隙排出；

其中，所述输出轴为耐腐蚀材料制成的输出轴。

2.根据权利要求1所述的晶圆水平清洗装置，其特征在于，还包括：

排液组件，其顶部与所述动力组件的底部连接，所述排液组件内具有排液通道，所述排液通道与所述第一间隙连通，以将清洗废液由所述第一间隙引导至所述排液通道并排出。

3.根据权利要求2所述的晶圆水平清洗装置，其特征在于，所述背喷组件包括喷射体，所述喷射体的第一端设有喷头，以对晶圆的背面喷射清洁液，所述喷射体的第二端的内部设有进液通道，以在所述进液通道中安装输送清洁液的进液管路；所述喷射体的内部设有输液管，所述输液管的两端分别与所述喷头和进液管路连通，所述进液通道的径向尺寸大于所述输液管的径向尺寸。

4.根据权利要求3所述的晶圆水平清洗装置，其特征在于，所述喷射体的长度大于所述输出轴的长度，所述喷射体的第二端的第二外径小于第一端的第一外径，所述喷射体的第二端伸入所述排液通道。

5.根据权利要求4所述的晶圆水平清洗装置，其特征在于，所述排液组件包括分隔壁，所述分隔壁设置于所述排液通道内，所述分隔壁的内壁与第二端的外壁形成与第一间隙连通的第一排液管路，所述分隔壁的外壁与所述排液组件的内壁形成第二排液管路。

6.根据权利要求5所述的晶圆水平清洗装置，其特征在于，所述第一外径与所述第二外径之间具有倾斜面，所述输出轴的下端具有引导件，所述引导件配置有倾斜引导部，所述倾斜引导部朝向第二端倾斜设置，以将清洗废液经由所述第一间隙引导至所述第一排液管路。

7.根据权利要求6所述的晶圆水平清洗装置，其特征在于，所述倾斜引导部的设置位置与第二排液管路的设置位置相匹配，使得第一排液管路中未及时排出的废液能够经由倾斜引导部与分隔壁之间的间隙进入第二排液管路。

8.根据权利要求5所述的晶圆水平清洗装置，其特征在于，所述第一外径与所述第二外径之间具有台阶面，所述输出轴的下端具有引导件，所述引导件配置有纵向引导部，所述纵向引导部伸入所述第二排液管路内，以将清洗废液经由所述第一间隙引导至第一排液管路和/或第二排液管路中。

9.根据权利要求1所述的晶圆水平清洗装置，其特征在于，还包括：

转接件，其套设于所述输出轴的外周面，所述转接件的顶部与所述夹持盘的背面抵接，所述转接件的底部与所述动力组件的顶部连接，所述转接件的外周面设有多个气封槽，多个所述气封槽沿着所述转接件的轴向依次设置且彼此平行。

10.根据权利要求9所述的晶圆水平清洗装置，其特征在于，还包括：

气封件，其位于所述夹持盘和所述动力组件之间，且所述气封件外套于所述转接件，且与所述转接件间隙配合，所述气封件能够将气体朝向所述转接件和所述动力组件输送。

11.根据权利要求10所述的晶圆水平清洗装置，其特征在于，所述气封件包括：

进气口，其与外部气源连通；

气流通道，其设置于所述气封件内部，且与所述进气口连通；

第一通气孔，其沿水平方向延伸，且与所述气流通道连通，所述第一通气孔与所述转接件的环形槽相对；

第二通气孔，其沿竖直方向延伸，且与所述气流通道连通，所述第二通气孔与动力组件相对。

12.根据权利要求1所述的晶圆水平清洗装置，其特征在于，还包括：

内防护件，其外覆于所述动力组件，所述内防护件的中部开设有第一开口，以使所述输出轴和至少部分转接件穿过，所述第一开口的内壁面开设有第二环形槽。

13.根据权利要求1所述的晶圆水平清洗装置，其特征在于，还包括：

主体部，其内具有安装腔；

风机过滤组，其设置至所述主体部外部，以使所述安装腔内与外部进行气体交换；

清洗组件，其设置于所述安装腔内，所述清洗组件具有喷嘴，以对所述晶圆的正面喷洒所述清洁液。