CN117871595A - 一种固体材料热膨胀系数测试装置 - Google Patents
一种固体材料热膨胀系数测试装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN117871595A CN117871595A CN202311683740.5A CN202311683740A CN117871595A CN 117871595 A CN117871595 A CN 117871595A CN 202311683740 A CN202311683740 A CN 202311683740A CN 117871595 A CN117871595 A CN 117871595A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- sample
- fabry
- expansion coefficient
- thermal expansion
- perot interference
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 31
- 239000011343 solid material Substances 0.000 title claims abstract description 19
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 45
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 12
- 239000004519 grease Substances 0.000 claims description 3
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 claims description 3
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000004556 laser interferometry Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002076 thermal analysis method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
Abstract
本发明公开了一种固体材料热膨胀系数测试装置,其包括激光器、分光镜、真空室、法布里‑玻罗干涉腔、待测样品、热电偶、探测器;法布里‑玻罗干涉腔布置在真空室内,待测样品放置在法布里‑玻罗干涉腔内,热电偶固定在待测样品侧面;激光器出光侧布置分光镜,分光镜的出射光射向法布里‑玻罗干涉腔,经由法布里‑玻罗干涉腔的反射光进一步经分光镜反射,由布置在分光镜一侧的探测器接收。本发明的干涉光程差仅与试样长度有关,无零漂效应,具有结构简单,可靠性高,测试精度高的突出优势。
Description
技术领域
本发明属于热分析测试技术领域,涉及一种基于激光干涉原理的固体材料热膨胀系数测试装置,用于测试固体材料的线热膨胀系数。
背景技术
固体材料的热膨胀系数在结构设计、光学设计等工程应用中是必不可少的基本物理参数,通常量级在10-5~10-6量级,有些低膨胀材料在10-7~10-8量级。目前最常用的热膨胀系数测量方法有两种:推杆法和激光干涉法。推杆法采用所谓的“零膨胀”材料,如低膨胀石英等,作为推杆将被测样品的变形量传递给位移传感器,从而测量样品的膨胀系数,这种方法为商用热膨胀系数测量仪器所广泛采用。该方法的优点是使用方便、仪器成本低,缺点是该方法本身是相对法,它是基于假设所谓“零膨胀”材料对测量没有影响的前提下测量材料线膨胀系数的,然而现实中不存在零膨胀材料,所谓的“零膨胀材料”只是说该材料的线膨胀系数很低。如果被测样品的线膨胀系数与推杆材料的线膨胀系数相近,推杆本身的热膨胀对测量的影响将很明显,因此基于这种方法的装置无法实现材料线膨胀系数的绝对测量,这类装置不能用作标准装置。第二种方法是基于激光干涉仪测量样品绝对变形量的方法,这个方法的特点是测量结果不依赖于任何其它材料的物性,而且能达到推杆法所不能达到的分辨率。
激光干涉法主要基于菲索型、法布里玻罗标准具、迈克尔逊型、马赫曾德尔型等干涉光路,其原理是利用干涉光路将试样长度的变化转化为光程差的变化,从而测量得到热膨胀系数。然而这些光路普遍存在一个问题:零漂效应。由于热膨胀系数测量需要在较大的温度范围内进行测量,整个过程温度控制需要较长时间,通常为数个甚至十几个小时,在此期间,干涉光路中的光程差会发生非样品因素导致的漂移,这是由于机械稳定性、机械部件和镜片温度的变化、气流扰动等因素引起的,这将给测量结果带来难以消除的测量误差。
发明内容
(一)发明目的
本发明的目的是:提供一种固体材料热膨胀系数测试装置,避免测量过程受零漂效应影响,降低测量误差。
(二)技术方案
为了解决上述技术问题,本发明提供一种固体材料热膨胀系数测试装置,其包括激光器、分光镜、真空室、法布里-玻罗干涉腔、待测样品、热电偶、探测器;法布里-玻罗干涉腔布置在真空室内,待测样品放置在法布里-玻罗干涉腔内,热电偶固定在待测样品侧面;激光器出光侧布置分光镜,分光镜的出射光射向法布里-玻罗干涉腔,经由法布里-玻罗干涉腔的反射光进一步经分光镜反射,由布置在分光镜一侧的探测器接收。
其中,所述激光器、分光镜和探测器位于真空室内或外部。
其中,所述法布里-玻罗干涉腔布置在样品夹槽里,样品夹槽位于真空室内,所述法布里-玻罗干涉腔由两片锲形镜片形成,锲形镜片材料在测试波长下透明,锲角1~2°。
其中,两片锲形镜片和样品夹槽之间布置弹簧。
其中,所述测试样品为长方体块状,端面抛光,平行度优于20”。
其中,所述热电偶探头固定于样品侧面,用于测量样品的真实温度,热电偶探头用压线方式固定或者焊头涂抹导热硅脂与样品表面粘接。
其中,所述激光器作为干涉光源,用于产生可见光范围波长光束。
其中,所述分光镜和探测器之间布置扩束镜和光阑。
其中,所述扩束镜选用一片凹透镜。
其中,所述光阑用于在干涉波形中截取小片区域,选取范围小于一个明/暗条纹宽度。
(三)有益效果
上述技术方案所提供的固体材料热膨胀系数测试装置,测试样品两端面紧密贴合的两锲形镜片形成法布里-玻罗干涉腔,该光路的干涉光程差仅与试样长度有关,无零漂效应,具有结构简单,可靠性高,测试精度高的突出优势。
附图说明
图1为热膨胀系数测试装置核心部分。
图2为热膨胀系数干涉测试装置外围部分。
具体实施方式
为使本发明的目的、内容和优点更加清楚,下面结合附图和实施例,对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。
参照图1和图2所示,本实施例固体材料热膨胀系数测试装置包括激光器、分光镜、真空室、法布里-玻罗干涉腔、待测样品、热电偶、探测器;法布里-玻罗干涉腔布置在真空室内,待测样品放置在法布里-玻罗干涉腔内,热电偶固定在待测样品侧面;激光器出光侧布置分光镜,分光镜的出射光射向法布里-玻罗干涉腔,经由法布里-玻罗干涉腔的反射光进一步经分光镜反射,由布置在分光镜一侧的探测器接收。
激光器、分光镜和探测器位于真空室内或外部。
所述法布里-玻罗干涉腔布置在样品夹槽里,所述法布里-玻罗干涉腔由两片锲形镜片形成,锲形镜片材料在测试波长下透明即可,锲角1~2°。两片锲形镜片和样品夹槽之间布置弹簧,所述弹簧用于确保锲形镜片始终紧密贴合待测样品端面,弹力不可太大,起到固定夹持作用即可。所述样品夹槽用于固定安装待测样品、锲形镜片和弹簧。
所述测试样品加工为长方体块状,端面抛光,平行度优于20”。
所述热电偶探头固定于样品侧面,用于测量样品的真实温度,可用压线等方式固定,焊头涂抹导热硅脂等材料使之与样品表面粘接。
所述激光器作为干涉光源,用于产生波长稳定、相干性好的激光光束,波长通常选取可见光范围,比如632.8nm。
分光镜和探测器之间布置扩束镜和光阑。
所述分光镜用于透射测试光束,测试光束进入真空室中,在两片锲形镜片之间发生法布里-玻罗干涉,干涉结果光束反射至分光镜,然后反射至扩束镜、光阑和探测器。
所述扩束镜用于将光束直径扩大,可选用一片凹透镜。
所述光阑用于在干涉波形中截取小片区域,选取范围小于一个明/暗条纹宽度。
所述探测器用于探测干涉光强,监测波形移动情况。
以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明技术原理的前提下,还可以做出若干改进和变形,这些改进和变形也应视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种固体材料热膨胀系数测试装置,其特征在于,包括激光器、分光镜、真空室、法布里-玻罗干涉腔、待测样品、热电偶、探测器;法布里-玻罗干涉腔布置在真空室内,待测样品放置在法布里-玻罗干涉腔内,热电偶固定在待测样品侧面;激光器出光侧布置分光镜,分光镜的出射光射向法布里-玻罗干涉腔,经由法布里-玻罗干涉腔的反射光进一步经分光镜反射,由布置在分光镜一侧的探测器接收。
2.如权利要求1所述的固体材料热膨胀系数测试装置,其特征在于,所述激光器、分光镜和探测器位于真空室内或外部。
3.如权利要求2所述的固体材料热膨胀系数测试装置,其特征在于,所述法布里-玻罗干涉腔布置在样品夹槽里,样品夹槽位于真空室内,所述法布里-玻罗干涉腔由两片锲形镜片形成,锲形镜片材料在测试波长下透明,锲角1~2°。
4.如权利要求3所述的固体材料热膨胀系数测试装置,其特征在于,两片锲形镜片和样品夹槽之间布置弹簧。
5.如权利要求4所述的固体材料热膨胀系数测试装置,其特征在于,所述测试样品为长方体块状,端面抛光,平行度优于20”。
6.如权利要求5所述的固体材料热膨胀系数测试装置,其特征在于,所述热电偶探头固定于样品侧面,用于测量样品的真实温度,热电偶探头用压线方式固定或者焊头涂抹导热硅脂与样品表面粘接。
7.如权利要求6所述的固体材料热膨胀系数测试装置,其特征在于,所述激光器作为干涉光源,用于产生可见光范围波长光束。
8.如权利要求7所述的固体材料热膨胀系数测试装置,其特征在于,所述分光镜和探测器之间布置扩束镜和光阑。
9.如权利要求8所述的固体材料热膨胀系数测试装置,其特征在于,所述扩束镜选用一片凹透镜。
10.如权利要求9所述的固体材料热膨胀系数测试装置,其特征在于,所述光阑用于在干涉波形中截取小片区域,选取范围小于一个明/暗条纹宽度。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202311683740.5A CN117871595A (zh) | 2023-12-10 | 2023-12-10 | 一种固体材料热膨胀系数测试装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202311683740.5A CN117871595A (zh) | 2023-12-10 | 2023-12-10 | 一种固体材料热膨胀系数测试装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN117871595A true CN117871595A (zh) | 2024-04-12 |
Family
ID=90592431
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202311683740.5A Pending CN117871595A (zh) | 2023-12-10 | 2023-12-10 | 一种固体材料热膨胀系数测试装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN117871595A (zh) |
-
2023
- 2023-12-10 CN CN202311683740.5A patent/CN117871595A/zh active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Yang et al. | A review of recent developed and applications of plastic fiber optic displacement sensors | |
JP6157240B2 (ja) | 屈折率計測方法、屈折率計測装置および光学素子の製造方法 | |
CN104215176B (zh) | 高精度光学间隔测量装置和测量方法 | |
US6894788B2 (en) | Interferometric system for automated radius of curvature measurements | |
US20200326520A1 (en) | Systems and methods for conducting contact-free thickness and refractive-index measurements of intraocular lenses using a self-calibrating dual confocal microscopy system | |
JP2017003434A (ja) | 屈折率の計測方法、計測装置、光学素子の製造方法 | |
WO2007130158A2 (en) | Interferometers for the measurement of large diameter thin wafers | |
RU155509U1 (ru) | Лазерно-интерференционный гидрофон с системой термостабилизации | |
US4989980A (en) | Method and apparatus for measuring coefficient of thermal expansion | |
US5121987A (en) | Method and apparatus for measuring coefficient of thermal expansion | |
JP2015105850A (ja) | 屈折率計測方法、屈折率計測装置および光学素子の製造方法 | |
US6718281B2 (en) | Apparatus and method for volumetric dilatometry | |
JP6207383B2 (ja) | 屈折率分布計測方法、屈折率分布計測装置、及び光学素子の製造方法 | |
Dib et al. | A broadband amplitude-modulated fibre optic vibrometer with nanometric accuracy | |
JP6157241B2 (ja) | 屈折率計測方法、屈折率計測装置および光学素子の製造方法 | |
Ishii et al. | New method for interferometric measurement of gauge blocks without wringing onto a platen | |
WO2020135891A1 (zh) | 激光平行度检测仪 | |
CN117871595A (zh) | 一种固体材料热膨胀系数测试装置 | |
CN204043623U (zh) | 薄膜厚度测量装置 | |
CN208984284U (zh) | 一种基于光纤的微小力传感器的标定装置 | |
JPS62212507A (ja) | レ−ザ干渉計で校正を不要とした触針式表面形状検出器 | |
CN213843029U (zh) | 基于光相干图像的折射率测量装置 | |
JP2010014536A (ja) | 加工装置に搭載される被測定物の計測方法および計測装置 | |
JP3851952B2 (ja) | 球形圧子の押し込み深さ測定方法及びその装置 | |
Lu et al. | Simultaneous Measurement of Thickness and Group Refractive Index Based on Differential White Light Interferometry |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination |