CN117832144A - 转移模板及其制作方法和转移装置的制作方法 - Google Patents

Abstract

本申请公开了转移模板及其制作方法和转移装置的制作方法，其中，转移模板包括第一柔性层和第二柔性层，其中，所述第一柔性层可以弯曲变形，第二柔性层，所述第二柔性层设置于所述第一柔性层上，所述第二柔性层上间隔设置若干凹槽，所述凹槽的开口端背离所述第一柔性层，所述凹槽的形状与转移装置的转移柱相匹配。通过转移模板中第一柔性层和第二柔性层的应用，可以避免在制作转移装置时，造成转移模板或者转移装置的损伤，有效地提高了转移装置的制作良率。

Description

转移模板及其制作方法和转移装置的制作方法

技术领域

本申请涉及微器件转移技术领域，特别是涉及转移模板及其制作方法和转移装置的制作方法。

背景技术

LED由于自身具有自发光、高亮度、高发光效率、低功耗、高稳定性等优点，被广泛应用于各种场合。在此基础上，Micro-LED显示是一种由微米级LED发光像素组成阵列的新型显示技术，目前国内外各大相关厂商都已积极地投入到超高密度的Micro-LED显示开发中。

然而随着高端显示的需求不断增大，采用传统的印章转移的方式效率较低，产能低，已无法满足实际应用需求。因此亟需开发可实现高效率微器件转移的转移装置。

发明内容

本申请主要提供一种用于制作转移装置的转移模板及其制作方法和转移装置的制作方法，通过转移模板中第一柔性层和第二柔性层的应用，可以避免在制作转移装置时，造成转移模板或者转移装置的损伤，有效地提高了转移装置的制作良率。

为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种用于制作转移装置的转移模板，包括第一柔性层和第二柔性层；其中，第一柔性层可以弯曲变形；第二柔性层设置于第一柔性层上，第二柔性层上间隔设置若干凹槽，凹槽的开口端背离第一柔性层，凹槽的形状与转移装置的转移柱相匹配。

其中，凹槽的厚度小于等于第二柔性层的厚度。

其中，凹槽的开口端的横截面积大于凹槽的底端的横截面积，其中，凹槽的底端靠近第一柔性层。

其中，第一柔性层的厚度方向的压入硬度大于预设值，以使得第一柔性层在厚度方向上形变小于转移精度误差。

其中，第一柔性层包括柔性玻璃层和/或硅胶层。

为解决上述技术问题，本申请采用的另一个技术方案是：提供一种用于制作转移装置的转移模板的制作方法，包括：提供第一柔性层，第一柔性层可以弯曲变形；在第一柔性层的一面制作第二柔性层，使得第二柔性层位于第一柔性层上；在第二柔性层背离第一柔性层的一侧制作若干凹槽，凹槽的形状与转移装置的转移柱相匹配。

其中，在第二柔性层背离第一柔性层的一侧制作若干凹槽，包括：提供模板，模板具有模板本体和若干凸起，若干凸起间隔设置于模板本体上，凸起与凹槽一一对应；将模板与第二柔性层压合，并使得凸起嵌入于第二柔性层中，模板本体与第二柔性层背离第一柔性层的一面贴合；将模板与第二柔性层分离，获得转移模板；

其中，在第二柔性层背离第一柔性层的一侧制作若干凹槽，包括：采用掩膜版遮挡第二柔性层，并图案化第二柔性层，使得第二柔性层上形成间隔设置的凹槽，其中，第二柔性层包括光刻胶。

其中，在第一柔性层的一面制作第二柔性层，包括：在第一柔性层的一面的周侧设置挡墙，挡墙与第一柔性层围设成第一凹坑，在第一凹坑中填充第一液体材料，并固化处理，形成第二柔性层。

为解决上述技术问题，本申请采用的另一个技术方案是：提供一种转移装置的制作方法，包括：采用本申请任一实施例中的转移模板，在转移模板的凹槽中填充第二液体材料；将硬质基板与转移模板具有凹槽的一面进行压合，并固化第二液体材料，使得第二液体材料形成转移柱，并与硬质基板连接；分离转移模板和硬质基板，使得转移模板翘曲脱离硬质基板，获得转移装置，转移装置包括硬质基板和转移柱，转移柱与硬质基板连接，转移柱用于与待转移微器件对应。

其中，在转移模板的凹槽中填充第二液体材料之前包括：在转移模板具有凹槽的一侧涂覆离型剂，并使得离型剂涂覆于凹槽中和转移模板的表面。

其中，在转移模板的凹槽中填充第二液体材料包括：在转移模板具有凹槽的一侧的四周制作挡板，使得挡板与转移模板表面围设成第二凹坑；填充第二液体材料，并使得第二液体材料填充于凹槽和第二凹坑中；

其中，使得第二液体材料形成转移柱，并与硬质基板连接，包括：使得第二液体材料形成转移柱和转移基板，转移柱和转移基板为一体结构，转移基板与硬质基板贴合，转移柱位于转移基板背离硬质基板一侧；

其中，转移装置包括硬质基板和转移柱，转移柱与硬质基板连接，包括：转移装置包括硬质基板、转移基板和转移柱，转移基板位于转移柱和硬质基板之间，转移基板和转移柱为一体结构。

本申请的有益效果是：区别于现有技术的情况，在本申请中，用于制作转移装置的转移模板包括第一柔性层和第二柔性层；其中，第一柔性层可以弯曲变形，第二柔性层设置于第一柔性层上，第二柔性层上间隔设置若干凹槽，该凹槽的开口端背离第一柔性层，凹槽的形状与转移装置的转移柱相匹配。当使用本申请实施例中的转移模板制作转移装置时，第二柔性层上的凹槽与转移装置的转移柱相匹配，用于使转移柱成型，第一柔性层可弯曲变形，在转移装置制作完成分离转移装置与转移模板时，第一柔性层可以发生形变，进而减小分离时转移模板与转移装置之间的应力，起到对转移装置和转移模板的保护作用。通过转移模板中第一柔性层和第二柔性层的应用，可以避免在制作转移装置时，造成转移模板或者转移装置的损伤，有效地提高了转移装置的制作良率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施方式中的技术方案，下面将对实施方式描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。其中：

图1为本申请中用于制作转移装置的转移模板一实施例的结构示意图；

图2为本申请中用于制作转移装置的转移模板的制作方法的一实施例的流程示意图；

图3为本申请图2中步骤S3对应的一实施例的流程示意图；

图4为本申请图3中步骤S31对应的一实施例的结构示意图；

图5为本申请图3中步骤S33对应的一实施例的结构示意图；

图6为本申请图3中步骤S34对应的一实施例的结构示意图；

图7为本申请图2中步骤S2对应的一实施例的流程示意图；

图8为本申请图7中步骤S21对应的一实施例的流程示意图；

图9为本申请图7中步骤S22对应的一实施例的流程示意图；

图10为本申请中转移装置的制作方法的一实施例的流程示意图；

图11为本申请图10中步骤S01对应的一实施例的结构示意图；

图12为本申请图10中步骤S02对应的一实施例的结构示意图；

图13为本申请图10中步骤S03对应的一实施例的结构示意图；

图14为本申请中转移装置一实施例的结构示意图；

图15为本申请图10中S01对应的一实施例的流程示意图；

图16为本申请图15中步骤S012对应的一实施例的结构示意图；

图17为本申请中转移装置另一实施例的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施方式中的附图，对本申请实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本申请一部分实施方式，而不是全部实施方式。基于本申请中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性的劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本申请保护的范围。

请参阅图1，图1为本申请中用于制作转移装置的转移模板一实施例的结构示意图。本申请公开了一种用于制作转移装置3的转移模板1，其包括第一柔性层11和第二柔性层12，其中第一柔性层11可以弯曲变形；第二柔性层12设置于第一柔性层11上，第二柔性层12上间隔设置若干凹槽13，凹槽13的开口端背离第一柔性层11，凹槽13的形状与转移装置3的转移柱32相匹配。当使用本申请实施例中的转移模板1制作转移装置3时，第二柔性层12上的凹槽13与转移装置3的转移柱32相匹配，用于使转移柱32成型，第一柔性层11可弯曲变形，在转移装置3制作完成分离转移装置3与转移模板1时，第一柔性层11可以发生形变，进而减小分离时转移模板1与转移装置3之间的应力，起到对转移装置3和转移模板1的保护作用。通过转移模板1中第一柔性层11和第二柔性层12的应用，可以避免在制作转移装置3时，造成转移模板1或者转移装置3的损伤，有效地提高了转移装置3的制作良率。

在本申请的一实施例中，凹槽13的厚度小于等于第二柔性层12的厚度。凹槽13间隔设置在第二柔性层12上，且凹槽13设置在第二柔性层12背离第一柔性层11一侧，同时凹槽13的形状与转移装置3的转移柱32相匹配，凹槽13的主要功能是便于后续进行转移装置3的转移柱32制作。当凹槽13的厚度小于第二柔性层12的厚度时，便于凹槽13的制备。另一方面，当凹槽13用于制作转移装置3的转移柱32时，凹槽13的结构会更为稳定，当然，凹槽13的深度在一定条件下可以大于第二柔性层12的厚度，在这种情况下，凹槽13位于第一柔性层11和第二柔性层12中，此时，凹槽13会贯穿第一柔性层11与第二柔性层12之间的结合面，在某些情况下，当凹槽13用于制作转移装置3的转移柱32时，凹槽13的结构可能会不稳定，影响转移装置3中转移柱32的制作精度。因此，当凹槽13的厚度小于等于第二柔性层12的厚度时，使得转移装置3中转移柱32的制作精度更高，提升转移柱32的质量。

请继续参阅图1，凹槽13开口端的横截面积大于凹槽13底端的横截面积，其中，凹槽13的底端靠近第一柔性层11。在一实施例中，凹槽13的剖面形状可以为半圆形，弧形，等腰梯形，直角梯形或普通梯形等多种形状，在一实施例中，凹槽13的侧边可以呈阶梯状，并在凹槽13靠近第一柔性层11的底端位置处具有一定的横截面积。当凹槽13用于制作转移装置3的转移柱32时，凹槽13底端的横截面积可以使得转移柱32与凹槽13底端接触的位置具有一定的横截面积，凹槽13侧边呈阶梯状，可以增大转移柱32的侧边与第二柔性层12的接触面积，使得转移柱32制作完成脱模时，可以降低转移柱32与第二柔性层12之间的应力，保证转移柱32的制作精度。同时阶梯状凹槽13的设计，可以减小转移柱32的用料，可以提升转移柱32的紧密度。

第一柔性层11的厚度方向的压入硬度大于预设值，以使得第一柔性层11在厚度方向上形变小于转移精度误差；压入硬度可以为外力对第一柔性层11在厚度方向上施加的外力所对应的硬度值，预设值为第一柔性层11本身具有的抗外力能力所体现的具体能力。通过第一柔性层11的厚度方向的压入硬度大于预设值，以使得第一柔性层11在厚度方向上形变小于转移精度误差。由于第一柔性层11可弯曲变形，在图示中第一柔性层11的厚度方向上，不会发生形变。当第一柔性层11在厚度方向不发生形变时，使得第一柔性层11与第二柔性层12之间结合紧密，使得凹槽13的厚度不改变，凹槽13用于后续制作转移柱32，保证了凹槽13和转移柱32的精度。优选地，第一柔性层11包括柔性玻璃层和/或硅胶层。在一实施例中，第一柔性层11的材质为柔性玻璃；在另一实施例中，第一柔性层11的材质为硅胶；在另一实施例中，第一柔性层11包括柔性玻璃层和硅胶层，其中柔性玻璃层和硅胶层叠层放置，一实施例中，第一柔性层11通过柔性玻璃层与第二柔性层12接触；另一实施例中，第一柔性层11通过硅胶层与第二柔性层12接触。当然，第一柔性层11也可以包含若干硅胶层和若干柔性玻璃层的组合。其中，柔性玻璃层的材质可以为超薄柔性玻璃(UTG)，硅胶层的材质可以为有机硅胶，初始状态时呈液态，在经过加热或者UV照射后，硅胶固化，形成硅胶层。当第一柔性层11包括柔性玻璃层和硅胶层时，在制备过程中，可以在柔性玻璃的表面滴加硅胶，然后通过UV或者加热使硅胶固化，使得在柔性玻璃层表面制备硅胶层，完成第一柔性层11的制备。在使用过程中，由于柔性玻璃层和硅胶层都具有韧性，其组成的第一柔性层11整体是软质的，可以弯曲变形，便于后续使用第一柔性层11制得的转移模板1可以弯曲而与模板2分离，在转移模板1的制备中，不会对模板2造成损害。另外，使用第一柔性层11制得的转移模板1制备转移装置3时，通过第一柔性层11弯曲而与转移装置3分离，有效地保证了转移装置3的制作精度。

请参阅图2，图2为本申请中用于制作转移装置的转移模板的制作方法的一实施例的流程示意图；本申请公开了一种用于制作转移装置的转移模板的制作方法，其包括：

S1:提供第一柔性层，第一柔性层可以弯曲变形。

选用可以发生形变的材质制作第一柔性层11，在一实施例中，第一柔性层11的材质可以为聚酰亚胺(PI)。由于第一柔性层11较柔软，且在所在平面可以发生变形，可以将第一柔性层11附着在有一定硬度的衬底上，已对第一柔性层11起到固定和支撑的作用，在一实施例中，可以采用玻璃等材质组成的衬底，在转移模板1制作完成后，可以将硬性的衬底去除。

S2:在第一柔性层的一面制作第二柔性层，使得第二柔性层位于第一柔性层上。

第一柔性层11和第二柔性层12叠层放置，其中，第二柔性层12位于第一柔性层11上。

S3:在第二柔性层背离第一柔性层的一侧制作若干凹槽，凹槽的形状与转移装置的转移柱相匹配。

凹槽13位于第二柔性层12背离第一柔性层11的一侧，凹槽13用于制备转移装置3的转移柱32。

请参阅图3，图3为本申请图2中步骤S3对应的一实施例的流程示意图；步骤S3在第二柔性层背离第一柔性层的一侧制作若干凹槽，包括：

S31:提供模板，模板具有模板本体和若干凸起，若干凸起间隔设置于模板本体上，凸起与凹槽一一对应。

请参阅图4，图4为本申请图3中步骤S31对应的一实施例的结构示意图；模板2包括模板本体21和若干凸起，使用该模板2制作转移模板1的凹槽13，其中模板2上的凸起与转移模板1的凹槽13对应，且模板2上凸起的间隔位置与转移模板1上凹槽13的间隔位置相同。

在完成步骤S31之后，可以在模板具有凸起一侧涂覆离型剂。

在模板2具有凸起的一侧，即模板2与转移模板1接触的一面。当在模板2具有凸起一侧涂覆离型剂时，离型剂仅需要在模板2具有凸起一侧覆盖一层即可，不会影响凹槽13制备的精度。另外离型剂可以使得凹槽13制备完成后，模板2与转移模板1之间脱离快速，提升作业效率。

S32:将模板与第二柔性层压合，并使得凸起嵌入于第二柔性层中，模板本体与第二柔性层背离第一柔性层的一面贴合。

请参阅图5，图5为本申请图3中步骤S32对应的一实施例的结构示意图；将模板2与第二柔性层12压合，并使得凸起嵌入于第二柔性层12中，模板本体21与第二柔性层12背离第一柔性层11的一面贴合，使得在第二柔性层12上形成与凸起形状相同的凹槽13。

S33:将模板与第二柔性层分离，获得转移模板。

请参阅图6，图6为本申请图3中步骤S33对应的一实施例的结构示意图；当模板2与第二柔性层12压合后，对第二柔性层12进行固化，待第二柔性层12中的凹槽13成型固定后，将模板2与第二柔性层12分离，获得转移模板1。在一实施例中，第二柔性层12的材质可以为硅胶，硅胶可以滴加在第一柔性层11的一侧，然后可以使用UV或加热方式固化，完成第二柔性层12的制备。

当然，也可以采用其他方式实现步骤S3中：在第二柔性层12背离第一柔性层11的一侧制作若干凹槽13，该方式可以为采用掩膜版遮挡第二柔性层12，并图案化第二柔性层12，使得第二柔性层12上形成间隔设置的凹槽13，其中，第二柔性层12包括光刻胶。使用光刻胶在第一柔性层11一侧制作第二柔性层12，然后在第二柔性层12背离第一柔性层11的一侧制作凹槽13。采用掩膜版遮挡第二柔性层12，并对第二柔性层12进行图案化，对第二柔性层12中的特定区域进行刻蚀，各个区域刻蚀的深度相同，使得第二柔性层12上形成间隔设置的凹槽13。

请参阅图7，图7为本申请图2中步骤S2对应的一实施例的流程示意图；在用于制作转移装置的转移模板的制作方法中，步骤S2:在第一柔性层的一面制作第二柔性层，包括：

S21:在第一柔性层的一面的周侧设置挡墙，挡墙与第一柔性层围设成第一凹坑。

请参阅图8，图8为本申请图7中步骤S21对应的一实施例的流程示意图；在第一柔性层11的一面的周侧设置挡墙14后，挡墙14与第一柔性层11围设成第一凹坑15。该凹坑的深度与挡墙14的高度相同。

S22:在第一凹坑中填充第一液体材料，并固化处理，形成第二柔性层。

请参阅图9，图9为本申请图7中步骤S22对应的一实施例的流程示意图；在第一凹坑15中填充第一液体材料16，并固化处理，形成第二柔性层12。该固化处理可以为半固化，即不对第一液体材料16进行完全固化，通过该固化处理方式形成的第二柔性层，可以不具备流动性，并具备一定的可塑性，在接下来的压合工艺中，可以改变第二柔性层12的形状。

请参阅图10，图10为本申请中转移装置的制作方法的一实施例的流程示意图；一种转移装置的制作方法，包括：

S01:采用上述实施例中的转移模板，在转移模板的凹槽中填充第二液体材料。

请参阅图11，图11为本申请图10中步骤S01对应的一实施例的结构示意图；在转移模板1的凹槽13中填充第二液体材料31，此时，第二液体材料31填充满凹槽13。待第二液体材料31固化后可以形成转移柱32。

S02:将硬质基板与转移模板具有凹槽的一面进行压合，并固化第二液体材料，使得第二液体材料形成转移柱，并与硬质基板连接。

请参阅图12，图12为本申请图10中步骤S02对应的一实施例的结构示意图；在转移模板1具有凹槽13的一面覆盖硬质基板34，并进行压合，使得硬质基板34与转移模板1具有凹槽13的一面紧密贴合，然后对第二液体材料31进行固化，使得第二液体材料31和硬质基板34结合紧密而连接，同时固化后的第二液体材料31固化后形成转移柱32。

S03:分离转移模板和硬质基板，使得转移模板翘曲脱离硬质基板。获得转移装置，转移装置包括硬质基板和转移柱，转移柱与硬质基板连接，转移柱用于与待转移微器件对应。

请参阅图13，图13为本申请图10中步骤S03对应的一实施例的结构示意图；将转移模板1和硬质基板34分离，使得转移模板1翘曲脱离硬质基板34，获得转移装置3，转移模板1中的第一柔性层11可形变，使得转移模板1在于硬质基板34平行的方向上可以发生形变，以与硬质基板34脱离。通过转移模板1制得的转移装置3包括硬质基板34和转移柱32，其中转移柱32与硬质基板34连接，并且转移柱32在硬质基板34上阵列排布，转移柱32用于与待转移微器件对应。在对待转移微器件进行批量转移时，转移柱32用于吸附或粘取待转移微器件。

在转移装置3的制作方法中，在转移模板1的凹槽13中填充第二液体材料31之前包括：在转移模板1具有凹槽13的一侧涂覆离型剂，并使得离型剂涂覆于凹槽13中和转移模板1的表面。离型剂的涂覆使得在通过转移模板1制备转移装置3时，在第二液体材料31和凹槽13的接触面会形成有一层离型剂，在一实施方式中，在硬质基板34和转移模板1具有凹槽13一侧的接触表面也涂覆离型剂，使得第二液体固化后转移装置3更易于与转移模板1分离。当然在实际应用中，可以仅在凹槽13的侧壁和底壁涂覆离型剂。

请参阅图14，图14为本申请中转移装置一实施例的结构示意图；转移装置3包括硬质基板34和转移柱32，转移柱32与硬质基板34连接，本实施方式的转移装置3结构简单，便于制备。

图15为本申请图10中S01对应的一实施例的流程示意图；在转移装置的制作方法的S01步骤中，在转移模板的凹槽中填充第二液体材料包括：

S011:在转移模板具有凹槽的一侧的四周制作挡板，使得挡板与转移模板表面围设成第二凹坑。

当第二液体材料31涂覆的厚度大于凹槽13的厚度时，同时第二液体材料31具有一定的流动性，为了制备该结构形式的转移装置3，此时通过在转移模板1具有凹槽13的一侧的四周制作挡板36，使得挡板36与转移模板1表面围设成第二凹坑35。第二凹坑35起到对第二液体材料31的固定作用。

S012:填充第二液体材料，并使得第二液体材料填充于凹槽和第二凹坑中。

请参阅图16，图16为本申请图15中步骤S012对应的一实施例的结构示意图；在凹槽13和第二凹坑35中填充第二液体材料31，此时，位于凹槽13中的第二液体材料31固化后形成转移柱32，位于第二凹坑35中的第二液体材料31固化后形成转移基板33，其中，转移基板33和转移柱32一体成型，增大了转移柱32和转移基板33之间的结合强度。

请参阅图17，图17为本申请中转移装置另一实施例的结构示意图；使得第二液体材料31形成转移柱32，并与硬质基板34连接，如图16所示的转移装置3，其中，使得第二液体材料31形成转移柱32和转移基板33，转移柱32和转移基板33为一体结构，转移基板33与硬质基板34贴合，转移柱32位于转移基板33背离硬质基板34一侧。本实施方式中，转移基板33和转移柱32一体成型，增大了转移柱32和转移基板33之间的结合强度。

请继续参阅图17，转移装置3包括硬质基板34、转移基板33和转移柱32，转移基板33位于转移柱32和硬质基板34之间，转移基板33和转移柱32为一体结构。本实施方式中，转移基板33和转移柱32一体成型，增大了转移柱32和转移基板33之间的结合强度。

在本申请中，用于制作转移装置3的转移模板1包括第一柔性层11和第二柔性层12；其中，第一柔性层11可以弯曲变形，第二柔性层12设置于第一柔性层11上，第二柔性层12上间隔设置若干凹槽13，该凹槽13的开口端背离第一柔性层11，凹槽13的形状与转移装置3的转移柱32相匹配。当使用本申请实施例中的转移模板1制作转移装置3时，第二柔性层12上的凹槽13与转移装置3的转移柱32相匹配，用于使转移柱32成型，第一柔性层11可弯曲变形，在转移装置3制作完成分离转移装置3与转移模板1时，第一柔性层11可以发生形变，进而减小分离时转移模板1与转移装置3之间的应力，起到对转移装置3和转移模板1的保护作用。通过转移模板1中第一柔性层11和第二柔性层12的应用，可以避免在制作转移装置3时，造成转移模板1或者转移装置3的损伤，有效地提高了转移装置3的制作良率。

以上所述仅为本申请的实施方式，并非因此限制本申请的专利范围，凡是利用本申请说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本申请的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种用于制作转移装置的转移模板，其特征在于，包括：

第一柔性层，所述第一柔性层可以弯曲变形；

第二柔性层，所述第二柔性层设置于所述第一柔性层上，所述第二柔性层上间隔设置若干凹槽，所述凹槽的开口端背离所述第一柔性层，所述凹槽的形状与转移装置的转移柱相匹配。

2.根据权利要求1所述的用于制作转移装置的转移模板，其特征在于，

所述凹槽的厚度小于等于所述第二柔性层的厚度。

3.根据权利要求1所述的用于制作转移装置的转移模板，其特征在于，

所述凹槽的开口端的横截面积大于所述凹槽的底端的横截面积，其中，所述凹槽的底端靠近所述第一柔性层。

4.根据权利要求1所述的用于制作转移装置的转移模板，其特征在于，

所述第一柔性层的厚度方向的压入硬度大于预设值，以使得所述第一柔性层在厚度方向上形变小于转移精度误差；

优选地，所述第一柔性层包括柔性玻璃层和/或硅胶层。

5.一种用于制作转移装置的转移模板的制作方法，其特征在于，包括：

提供第一柔性层，所述第一柔性层可以弯曲变形；

在第一柔性层的一面制作第二柔性层，使得所述第二柔性层位于所述第一柔性层上；

在第二柔性层背离所述第一柔性层的一侧制作若干凹槽，所述凹槽的形状与转移装置的转移柱相匹配。

6.根据权利要求5所述的用于制作转移装置的转移模板的制作方法，其特征在于，

所述在第二柔性层背离所述第一柔性层的一侧制作若干凹槽，包括：

提供模板，所述模板具有模板本体和若干凸起，所述若干凸起间隔设置于所述模板本体上，所述凸起与所述凹槽一一对应；

将所述模板与所述第二柔性层压合，并使得所述凸起嵌入于所述第二柔性层中，所述模板本体与所述第二柔性层背离所述第一柔性层的一面贴合；

将所述模板与所述第二柔性层分离，获得转移模板；

或，所述在第二柔性层背离所述第一柔性层的一侧制作若干凹槽，包括：

采用掩膜版遮挡所述第二柔性层，并图案化所述第二柔性层，使得所述第二柔性层上形成间隔设置的凹槽，其中，所述第二柔性层包括光刻胶。

7.根据权利要求5所述的用于制作转移装置的转移模板的制作方法，其特征在于，

所述在第一柔性层的一面制作第二柔性层，包括：

在所述第一柔性层的一面的周侧设置挡墙，所述挡墙与所述第一柔性层围设成第一凹坑，

在所述第一凹坑中填充第一液体材料，并固化处理，形成第二柔性层。

8.一种转移装置的制作方法，其特征在于，包括：

采用权利要求1-4任意一项所述的转移模板，在所述转移模板的凹槽中填充第二液体材料；

将硬质基板与所述转移模板具有凹槽的一面进行压合，并固化所述第二液体材料，使得所述第二液体材料形成转移柱，并与所述硬质基板连接；

分离所述转移模板和所述硬质基板，使得所述转移模板翘曲脱离所述硬质基板，获得转移装置，所述转移装置包括硬质基板和转移柱，所述转移柱与所述硬质基板连接，所述转移柱用于与待转移微器件对应。

9.根据权利要求8所述的转移装置的制作方法，其特征在于，

所述在所述转移模板的凹槽中填充第二液体材料之前包括：

在所述转移模板具有所述凹槽的一侧涂覆离型剂，并使得所述离型剂涂覆于所述凹槽中和所述转移模板的表面。

10.根据权利要求8所述的转移装置的制作方法，其特征在于，

所述在所述转移模板的凹槽中填充第二液体材料包括：

在所述转移模板具有所述凹槽的一侧的四周制作挡板，使得所述挡板与所述转移模板表面围设成第二凹坑；

填充第二液体材料，并使得第二液体材料填充于所述凹槽和所述第二凹坑中；

所述使得所述第二液体材料形成转移柱，并与所述硬质基板连接，包括：

使得所述第二液体材料形成转移柱和转移基板，所述转移柱和所述转移基板为一体结构，所述转移基板与所述硬质基板贴合，所述转移柱位于所述转移基板背离所述硬质基板一侧；

所述转移装置包括硬质基板和转移柱，所述转移柱与所述硬质基板连接，包括：

所述转移装置包括硬质基板、转移基板和转移柱，所述转移基板位于所述转移柱和所述硬质基板之间，所述转移基板和所述转移柱为一体结构。