CN117795234A - 压电式阀 - Google Patents

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CN117795234A CN202280053573.3A CN202280053573A CN117795234A CN 117795234 A CN117795234 A CN 117795234A CN 202280053573 A CN202280053573 A CN 202280053573A CN 117795234 A CN117795234 A CN 117795234A
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伊藤隆文
松下忠史
徐世杰
王征力
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Satake Corp
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Abstract

压电式阀具备:驱动器,其具有阀芯,并驱动该阀芯;阀座板,其具有与阀芯接触或分离的阀座及排出路,并固定驱动器;以及主体外壳,其容纳阀座板,驱动器具备:压电元件,其将阀芯的动作所需的驱动力作为位移而产生;以及位移放大机构,其放大压电元件的位移并使其作用于阀芯,主体外壳具备:气体供给口,其被供给压缩气体;以及气体排出口,其将从气体供给口所供给的压缩气体通过阀芯与阀座的分离而经由阀座板的排出路排出,阀座板在具有排出路的侧即前方部、以及固定驱动器的侧即后方部固定于主体外壳。

Description

压电式阀
技术领域
本发明涉及利用压电元件的位移进行阀的开闭的压电式阀。
背景技术
一直以来,利用压电元件的位移进行阀的开闭而喷出压缩气体的压电式阀如例如专利文献1、2所记载地众所周知。
下记专利文献1、2所公开的压电式阀具备利用高速响应性能优异的压电元件的特性的驱动器。所公开的压电式阀还在驱动器具备基于杠杆原理将压电元件的小的位移放大的位移放大机构。
公开的压电式阀响应性优异,因此在用于以米粒等粒状物为对象的光学式筛选机的顶出阀去除不良品的情况下,很少卷入良品而去除,而且不论是从试验还是经验,都可以知道被去除的不良品侧的不良品混入率比电磁阀高。
另外,记载于专利文献1、2的压电式阀中,固定有驱动器的阀座板以固定于阀主体的前表面的状态容纳于外壳内。
然而,压电式阀采取了从阀主体的前表面垂吊阀座板的构造。因此,有时阀座板摆动而与阀主体的外壳内表面接触。当由于这样的接触而产生强烈的冲击时,存在压电式阀的构成要素破损的担忧,或者,当在阀座板与外壳内表面接触的状态下直接动作时,存在压电式阀无法进行标准的动作的担忧。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本专利第5764049号公报
专利文献2:日本特开2021-8892号公报
发明内容
发明所要解决的课题
因此,本发明的目的在于提供一种压电式阀,不会使阀座板摆动而与主体外壳的内表面接触,而且能够防止接触时的冲击所导致的破损、接触所导致的动作不良。
用于解决课题的方案
为了实现上述目的,本发明的压电式阀具备:驱动器,其具有阀芯,并驱动该阀芯;阀座板,其具有与阀芯接触或分离的阀座及排出路,并固定驱动器;以及主体外壳,其容纳阀座板,驱动器还具备:压电元件,其将阀芯的动作所需的驱动力作为位移而产生;以及位移放大机构,其放大压电元件的位移并使其作用于阀芯,主体外壳具备:气体供给口,其被供给压缩气体;以及气体排出口,其将从气体供给口所供给的压缩气体通过阀芯与阀座的分离而经由阀座板的排出路排出,阀座板在具有排出路的侧即前方部、以及固定驱动器的侧即后方部固定于主体外壳。
另外,为了实现上述目的,本发明的压电式阀优选的方案具备多个驱动器,多个驱动器分别具备多个阀芯,且将多个阀芯分别个别地在平行的面内驱动,阀座板具有与多个阀芯分别个别地接触或分离的多个阀座以及多个排出路,且能够固定多个驱动器,主体外壳还具备多个气体排出口,该多个气体排出口将从气体供给所供给的压缩气体通过多个阀芯与多个阀座的分离而经由阀座板的多个排出路分别个别地排出。
本发明的压电式阀优选的方案中,主体外壳是后表面开口的外壳,且在前表面具有气体排出口,在阀座板设有盖件,该盖件封闭主体外壳的后表面的开口,阀座板在具有排出路的侧即前方部将排出路开口的前表面从前方通过螺纹件在主体外壳内固定于主体外壳,使排出路与主体外壳的气体排出口连通,另一方面,在固定驱动器的侧即后方部,将盖件从后方通过螺纹件固定于主体外壳,封闭主体外壳的后表面的开口。这样的方案的压电式中,将两侧面从两侧方通过螺纹件固定于主体外壳。
或者,本发明的压电式阀的优选的方案中,阀座板在具有排出路的侧即前方部将排出路开口的前表面通过嵌合在主体外壳内固定于主体外壳,使排出路与主体外壳的气体排出口连通,另一方面,在固定驱动器的侧即后方部,将盖件通过嵌合固定于主体外壳,封闭主体外壳的后表面的开口。
本发明的压电式阀优选的方案中,驱动器还具备:基部,其固定于阀座板;支撑部,其一体地设于基部;以及作用部,其随着压电元件的伸缩而位移,压电元件将一端部连接于基部的安装面,且在第一长边方向上延伸,阀芯设于作用部的位移的方向的侧,且通过作用部的位移而被驱动,支撑部与压电元件并排,且在与第一长边方向交叉的第二长边方向上延伸,作用部与压电元件的另一端部及支撑部的末端部连接,而随着压电元件的伸缩,在与第一长边方向及第二长边方向分别不同的位移方向上位移,位移放大机构包括支撑部以及作用部。
本发明的压电式阀的优选的方案中,在阀座板设有连接压电元件的导线的电极,另一方面,模制有对压电元件供电的配线引脚,配线引脚的一端连接于电极,另一端从盖件的后表面向后方伸出。
本发明的压电式阀的优选的方案中,电极在与压电元件的导线及配线引脚连接的状态下,与配线引脚的一端侧一起被绝缘性材料包覆。
本发明的压电式阀的优选的方案中,绝缘性材料使用硅树脂等绝缘性树脂材料。
本发明的压电式阀的优选的方案中,在阀座板的盖件固定罩部件,该罩部件于从盖件的后表面向后方伸出的配线引脚的另一端一起构成配线接头。
本发明的压电式阀的优选的方案中,通过螺纹件或嵌合将罩部件固定于阀座板的盖件。或者,于本发明的压电式阀的较佳态样,系藉由螺丝或嵌合,而将罩体部件固定于阀座板的盖件。或者,作为本发明的压电式阀的另一优选的方案,也能够通过螺纹件及嵌合双方将罩部件固定于阀座板的盖件。
本发明的压电式阀的优选的方案中,将通过螺纹件相对于主体外壳固定阀座板的螺母、电极以及配线引脚与阀座板一起嵌入成形。
本发明的压电式阀的优选的方案中,通过衬垫密封阀座板的前表面固定于主体外壳的前方侧内表面的部分且阀座板的排出路和主体外壳的气体排出口连通的部分,且通过O形环密封阀座板的盖件封闭主体外壳的后表面的开口的部分。
发明效果
根据本发明的压电式阀,不会产生阀座板摆动而接触主体外壳的内表面的情况,能够防止阀座板与主体外壳的内表面接触时的冲击所造成的破损、接触所造成的动作不良。
根据本发明的压电式阀的优选方案,能够通过螺纹件的拆卸将压电式阀分解,能够进行故障时的原因调查或修理。
根据本发明的压电式阀的优选方案,能够通过螺纹件的拆卸将压电式阀分解,可以进行故障时的原因调查或修理,并且将主体外壳的宽度方向上的膨胀抑制得较小,从而也可以防止将该压电式阀用于光学式筛选机的顶出阀等并排设置多个的情况下的故障。
根据本发明的压电式阀的优选方案,能够将配线接头设于主体外壳的后方部,因此相比将配线接头设于主体外壳的侧方部的现有的压电式阀,能够使压电式阀小型化。
根据本发明的压电式阀的优选方案,与将配线引脚模制于阀座板相辅相成,能够防止由于水滴等所造成的短路。
根据本发明的压电式阀的优选方案,压电式阀的组装变得容易。
本发明的压电式阀采用如下方案,即,将阀座板的前表面固定于主体外壳的前方侧内表面的部分且阀座板的排出路和主体外壳的气体排出口连通的部分通过衬垫密封,且将阀座板的盖件封闭主体外壳的后表面的开口的部分通过O形环密封,由此,能够防止气体从主体外壳泄漏。
附图说明
图1是本发明的一实施方式的压电式阀的立体图。
图2是图1的压电式阀的主视图。
图3是本发明的压电式阀所具备的阀主体的一实施方式的立体图。
图4是本发明的压电式阀所具备的驱动器的一实施方式的立体图。
图5是本发明的压电式阀所具备的阀座板的一实施方式的立体图。
图6是图5的阀座板的主视图。
图7是图5的阀座板的侧视图。
图8是固定有图4的驱动器的状态下的图5~图7所示的阀座板的立体图。
图9是图8的状态的阀座板的主视图。
图10是图8的状态的阀座板的侧视图。
图11是图8的状态的阀座板的仰视图。
图12是图1所示的压电式阀的组装分解图。
具体实施方式
基于附图对本发明的实施方式进行说明。图1表示本发明的一实施方式的压电式阀的立体图。图2表示图1的压电式阀的主视图。图3表示阀主体的一实施方式的立体图。
在本发明的实施方式中,压电式阀1具备:阀主体2、后述的驱动器3、以及在固定有驱动器3的状态下配设于阀主体2的内部的后述的阀座板4。
阀主体2是后表面(在图1~图3中,相当于底面)开口的外壳。阀主体2在其内部具备从外部的压缩气体供给源(未图示)接收压缩气体的供给的气体压力室。
另外,在阀主体2的前表面(在图1~图3中,相当于顶面)设有能够装配歧管(未图示)的接头部(未图示),该歧管在内部具有从压缩气体源被供给压缩气体的空间。
在接头部的前表面开设有气体吸入口以及多个气体排出口,该气体吸入口将压缩气体吸入阀主体2内,该气体排出口将压缩气体排出。另外,在阀主体2的前表面开设有气体供给口21以及多个气体排出口22,该气体供给口21与接头部的气体吸入口连通,上述多个气体排出口22与接头部的各气体排出口分别连通。
如图1及图2所示,在阀主体2的后表面装配有罩体6。在罩体6的后表面形成有用于对后述的压电元件32供电的配线接头。
图4表示驱动器的一实施方式的立体图。驱动器3具备:基部31,其固定于后述的阀座板4;以及压电元件32,其一端部连接于基部31的安装面,且沿第一长边方向延伸。驱动器3还具备支撑部33,该支撑部33与基部31一体形成,并且以与压电元件32并排的方式配设。支撑部33沿与第一长边方向交叉的第二长边方向延伸。
驱动器3具备作用部34,该作用部34与压电元件32的另一端部以及支撑部33的末端部连接。作用部34随着压电元件32的伸缩在与第一长边方向及第二长边方向分别不同的方向上位移。驱动器3还具备阀芯35,该阀芯35设于作用部34的末端侧且位移的方向的一侧面。阀芯35通过作用部34的位移而被驱动。
基部31具有至少一个安装孔381,安装孔381的至少一个在第二长边方向上配置于一体地设有支撑部33的侧。基部31至少利用配置于一体地设有支撑部33的侧的安装孔381通过螺纹件固定于阀座板4。
支撑部33在沿第二长边方向延伸的中间部分具有缩径部331。支撑部33还在比缩径部331靠基部31的侧具有安装孔382。支撑部33利用安装孔382通过螺纹件固定于阀座板4。
驱动器3的支撑部33及作用部34能够理解为构成位移放大机构的要素,该位移放大机构将压电元件32的位移放大而作用于阀芯35。即,随着压电元件32的伸缩,作用部34在与包含第一长边方向及第二长边方向的平面大致平行的面内,在与第一长边方向及第二长边方向分别不同的位移方向上位移。此时,由于在支撑部33的沿第二长边方向延伸的中间部分设置有缩径部331,驱动器3能够将伴随着压电元件32的伸缩的作用部34的位移放大。
在此,基部31及支撑部33能够通过对金属材料进行冲孔而成形为一体化的部件。作为将基部31及支撑部33一体化的部件的材料,优选的金属材料例如是含有不变钢材料的不锈钢材料。若通过对金属材料进行冲孔将基部31及支撑部33一体成形,则零件个数减少,驱动器3的组装变得容易。
另外,基部31和支撑部33也可以由不同的部件形成。该情况下,通过在基部31安装不同部件的支撑部33,能够与基部31一体地设置支撑部33。
在基部31所具有的与压电元件32的安装面能够安装由铝块等构成的连结部件(未图标)。这样,形成连结部件的材料优选由线膨胀系数比支撑部33的线膨胀系数大的材料构成。若将压电元件32利用由线膨胀系数比支撑部33的线膨胀系数大的材料所形成的连结部件安装于基部31,则能够减轻或消除温度变化所导致的压电元件32的热膨胀或热收缩的影响。连结部件也能够安装于压电元件32与作用部34之间而基部31的安装面。
作用部34能够由铝材料等轻量材料形成。若由轻量材料形成作用部34,则在使作用部34位移的方面是优选的。另外,阀芯35能够由橡胶形成,优选由润滑性橡胶形成。
驱动器3能够通过压缩部件36将基部31和作用部34之间连结。通常,压电元件容易被拉伸方向的载荷损伤。然而,若通过压缩部件36将基部31和作用部34之间连结,则能够将压电元件32在第一长边方向上压缩,因此能够防止压电元件32的损伤。
图5表示阀座板的一实施方式的立体图。图6表示图5的阀座板的主视图。图7表示图5的阀座板的侧视图。图5所示的阀座板4是可以安装四个驱动器的阀座板的一例。阀座板4在中央部分具有阀座部41。在阀座部41的相向的两面(在图示的实施方式的情况下为阀座板4的正面侧及背面侧)分别各设有两个阀座42,该阀座42供驱动器3的阀芯35抵接。在本实施方式中,各阀座42以在主视下的宽度方向上局部重合的方式在阀座部41的两面成对地对置设置。
在阀座板4的一方的侧面形成有驱动器3的安装部43、43。更具体而言,安装部43、43分别在阀座板4的一方的侧面上形成于与阀座部41的两面、即阀座部41的正面侧及背面侧对置的位置。另外,在阀座板4的另一方的侧面上也同样地在与阀座部41的两面对置的位置分别形成有驱动器3的安装部44。
如图7所示,在阀座部41形成有多个排出路45,各排出路45的一端在各阀座42的阀座面开口。此外,各排出路45的另一端在阀座板4的前表面(在图5~图7中,相当于顶面)开口。另外,在阀座板4,与阀座板4一体地设有将阀主体2的后表面的开口封闭的盖件46。
图8表示固定有驱动器3的状态下的阀座板4的立体图。图9表示图8的阀座板4的主视图。图10表示图8的阀座板4的侧视图。图11表示图8的阀座板4的仰视图。在本实施方式中,对于阀座板4的各安装部43、44,以与各阀座42对置的方式配设有四个驱动器3的各阀芯35。在本实施方式中,各驱动器3通过螺纹件相对于阀座板4固定。
在阀座板4的后方(在图8~图10中,下方)位置,设有用于连接驱动器3中的压电元件32的导线(未图标)的电极47。另外,在阀座板4的后方位置,模制有用于对压电元件32供电的配线引脚48。
在阀座板4的后方端部,与阀座板4一体地设有封闭阀主体2的外壳后表面的开口的盖件46。配线引脚48的一端连接于电极47,另一端从盖件46的后表面(在图8~图10,底面)向后方伸出。
在此,电极47能够在与压电元件32的导线及配线引脚48连接的状态下,与配线引脚48的一端侧一起由绝缘性材料包覆。作为用于该包覆的优选的绝缘性材料的例,可列举硅树脂等绝缘性树脂材料。若进行这样的包覆,则与在阀座板4模制配线引脚48的操作相辅相成,可以防止水滴等引起的短路。
图12表示本发明的压电式阀的一实施方式的组装分解图。在本实施方式,压电式阀1的组装通过以下的工序进行。首先,将固定有驱动器3的阀座板4从阀主体2的后表面的开口插入外壳内。接着,利用设于阀座板4的盖件46封闭阀主体2的后表面的开口。最后,将罩体6固定于盖件46的后表面。经过这样的工序,能够组装压电式阀1。
在阀主体2的外壳内,阀座板4在具有排出路45的侧即前方部通过螺纹件71、71从前方将排出路45开口的前表面固定于阀主体2。固定后的排出路45与阀主体2的气体排出口22连通。
另外,阀座板4在固定驱动器3的侧即后方部通过螺纹件72、72从后方将盖件46固定于阀主体2。由此,阀主体2的后表面的开口被封闭。
此时,能够将阀座板4的前表面固定于阀主体2的前方侧内表面的部分且阀座板4的排出路45和阀主体2的气体排出口22连通的部分通过衬垫75密封。进一步地,也能够将阀座板4的盖件46封闭阀主体2的后表面的开口的部分通过O形环76密封。通过这样的使用了衬垫75或O形环76的密封,本实施方式的压电式阀1能够防止气体从阀主体2泄漏。
然后,将包围从盖件46的后表面向后方伸出的配线引脚48的另一端且与配线引脚48的另一端一起构成配线接头的罩体6通过螺纹件74等固定于阀座板4的盖件46的后表面。
上述本发明的实施方式的压电式阀1当在闭阀状态下对驱动器3的压电元件32通电时,压电元件32伸长。随着压电元件32的伸长,作用部34位移,阀芯35从阀座42分离而开阀。由此,压电式阀1将从气体供给口供给至阀主体2的压缩气体经由形成于阀座板4的阀座部41的排出路45从在阀主体2的前表面开口的气体排出口22排出。另一方面,压电式阀1当对驱动器3的压电元件32的通电被解除时,压电元件32收缩,作用部34向相反方向位移,阀芯35落座于阀座42而闭阀。
在本发明的实施方式的压电式阀1中,阀座板4在具有排出路45的侧即前方部、以及固定驱动器3的侧即后方部这两个部分固定于阀主体2。因此,不会使阀座板4摆动而与阀主体2的内表面解除。因此,根据本发明的实施方式的压电式阀1,能够防止阀座板4与阀主体2的内表面接触时的冲击所造成的破损、接触所导致的动作不良。
另外,在本发明的实施方式的压电式阀1中,阀座板4在具有排出路45的侧即前方部通过螺纹件71、71从前方将排出路45开口的前表面在阀主体2的外壳内相对于阀主体2固定,另一方面,在固定驱动器的侧即后方部,通过螺纹件72、72从后方将盖件46相对于阀主体2固定。因此,压电式阀1可以通过螺纹件的卸除而分解,能够进行故障时的原因调査、修理。
在本发明的实施方式的压电式阀1在阀座板4的盖件46的后表面固定与配线引脚48的另一端一起构成配线接头的罩体6,从而能将配线接头设于阀主体2的后方部。因此,相比将配线接头设于阀主体2的侧方部的现有的压电式阀,压电式阀1能够小型化。
在本发明的实施方式的压电式阀1中,如图1及图12所示,阀座板4在固定驱动器3的侧即后方部,将两侧面从两侧方利用螺纹件73、73相对于阀主体2固定。若果这样将阀座板4的两侧面通过螺纹件73、73固定于阀主体2,则能够将阀主体2的外壳的宽度方向上的膨胀抑制得较小。因此,能够防止将压电式阀1用于光学式筛选机的顶出阀等而并排设置多个的情况下的故障。
在此,在本发明的实施方式中,能够使用于将阀座板4相对于阀主体2螺纹固定的螺母、电极47以及配线引脚48与阀座板4一起嵌入成形。若进行这样的嵌入成形,则能够使压电式阀的组装容易。
在上述本发明的实施方式中,阀座板4在阀主体2的外壳内使排出路45开口的前表面从前方通过螺纹件71、71固定于阀主体2的外壳,且使盖件46从后方通过螺纹件72、72固定于阀主体2的外壳。但是,并不限定于利用螺纹件的固定方式,例如,也能够使阀座板4的前表面和阀主体2的外壳、或者盖件46和阀主体2的外壳分别通过嵌合而固定,从而可以分解,能够进行故障时的原因调查或修理。
此外,在图1所示的实施方式中,在阀主体2的前表面开口的多个气体排出口22并非在阀主体2的厚度方向上沿一列开口。但是,例如,也可以利用在内部具有在一面与各气体排出口22的开口连通且在另一面沿一列开口的多条流路的中间部件,从而使在接头部(未图示)的前表面开口的多个气体排出口横—列对齐。
在上述的实施方式中,压电式阀1在未对压电元件32施加电压的状态下使阀芯35落座于阀座42。但是,并不限定于这样的结构,压电式阀1也能够是通过变更从驱动部供给的电压等的极性,而在未对压电元件32施加电压的状态下,使阀芯35为从阀座42离开的状态。
在上述的实施方式中,压电式阀1在阀主体2的内部配设固定有四个驱动器3的阀座板4,在阀主体2的前表面开设有四个气体排出口22。然而,并不限定于这样的结构,压电式阀1也能够在阀主体2配设固定一个以上的驱动器的阀座板。
在上述的实施方式中,以可以在两面各安装两个、合计四个驱动器3的阀座板4为例进行了说明,但是并不限定于这样的结构,例如,也能够在压电式阀1中使用可以仅在一面侧安装两个驱动器的阀座板。
以上对本发明的实施方式进行了说明,但本发明并不限于上述的实施方式,只要不脱离发明的范围,能够将其结构适当变更来实施本发明。
生产上的可利用性
本发明的压电式阀能够用于具备驱动器、阀座板以及阀主体即主体外壳的压电式阀,其中,上述驱动器具有阀芯,并对其进行驱动,上述阀座板具有与阀芯接触或分离的阀座及排出路,且固定驱动器,上述阀主体收纳阀座板。
符号说明
1—压电式阀,2—阀主体(主体外壳),21—气体供给口,22—气体排出口,3—驱动器,31—基部,32—压电元件,33—支撑部(位移放大机构),331—缩径部,34—作用部(位移放大机构,35—阀芯,36—压缩部件,381—安装孔,382—安装孔,4—阀座板,41—阀座部,42—阀座,43—安装部,44—安装部,45—排出路,46—盖件,47—电极,48—配线引脚,6—罩体(罩部件),71—螺丝,72—螺丝,73—螺丝,74—螺丝,75—衬垫,76—O形环。

Claims (9)

1.一种压电式阀,其具备:
驱动器,其具有阀芯,并驱动该阀芯;
阀座板,其具有与上述阀芯接触或分离的阀座及排出路,并固定上述驱动器;以及
主体外壳,其容纳上述阀座板,
上述压电式阀的特征在于,
上述驱动器还具备:
压电元件,其将上述阀芯的动作所需的驱动力作为位移而产生;以及
位移放大机构,其放大上述压电元件的位移并使其作用于上述阀芯,
上述主体外壳具备:
气体供给口,其被供给压缩气体;以及
气体排出口,其将从上述气体供给口所供给的压缩气体通过上述阀芯与上述阀座的分离而经由上述阀座板的上述排出路排出,
上述阀座板在具有上述排出路的侧即前方部、以及固定上述驱动器的侧即后方部固定于上述主体外壳。
2.根据权利要求1所述的压电式阀,其特征在于,
具备多个具有上述阀芯的上述驱动器,
该多个驱动器将该多个驱动器各自所具有的多个阀芯个别地在平行的面内驱动,
上述阀座板具有与上述多个阀芯分别个别地接触或分离的多个阀座以及多个排出路,且能够固定上述多个驱动器,
上述主体外壳还具备多个气体排出口,该多个气体排出口将从上述气体供给所供给的压缩气体通过上述多个阀芯与上述多个阀座的分离而经由上述阀座板的上述多个排出路分别个别地排出。
3.根据权利要求1或2所述的压电式阀,其特征在于,
上述主体外壳是后表面开口的外壳,且在前表面具有上述气体排出口,
在上述阀座板设有盖件,该盖件封闭上述主体外壳的上述后表面的开口,
上述阀座板在具有上述排出路的侧即前方部将上述排出路开口的前表面从前方通过螺纹件在上述主体外壳内固定于上述主体外壳,使上述排出路与上述主体外壳的上述气体排出口连通,另一方面,在固定上述驱动器的侧即后方部,将上述盖件从后方通过螺纹件固定于上述主体外壳,封闭上述主体外壳的上述后表面的开口。
4.根据权利要求3所述的压电式阀,其特征在于,
上述阀座板还将两侧面从两侧方通过螺纹件固定于上述主体外壳。
5.根据权利要求3或4所述的压电式阀,其特征在于,
在上述阀座板设有连接上述压电元件的导线的电极,另一方面,模制有对上述压电元件供电的配线引脚,
上述配线引脚的一端连接于上述电极,另一端从上述盖件的后表面向后方伸出。
6.根据权利要求5所述的压电式阀,其特征在于,
上述电极在与上述压电元件的导线及上述配线引脚连接的状态下,与上述配线引脚的一端侧一起被绝缘性材料包覆。
7.根据权利要求5或6所述的压电式阀,其特征在于,
在上述阀座板的上述盖件固定罩部件,该罩部件于从上述盖件的后表面向后方伸出的上述配线引脚的另一端一起构成配线接头。
8.根据权利要求5~7中任一项所述的压电式阀,其特征在于,
将通过螺纹件相对于上述主体外壳固定上述阀座板的螺母、上述电极以及上述配线引脚与上述阀座板一起嵌入成形。
9.根据权利要求1~8中任一项所述的压电式阀,其特征在于,
上述驱动器还具备:
基部,其固定于上述阀座板;
支撑部,其一体地设于上述基部;以及
作用部,其随着上述压电元件的伸缩而位移,
上述压电元件将一端部连接于上述基部的安装面,且在第一长边方向上延伸,
上述阀芯设于上述作用部的上述位移的方向的侧,且通过上述作用部的位移而被驱动,
上述支撑部与上述压电元件并排,且在与上述第一长边方向交叉的第二长边方向上延伸,
上述作用部与上述压电元件的另一端部及上述支撑部的末端部连接,而随着上述压电元件的伸缩,在与上述第一长边方向及上述第二长边方向分别不同的位移方向上位移,
上述位移放大机构包括上述支撑部以及上述作用部。
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