CN117772462A - 精密喷淋模组 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种精密喷淋模组,其包括喷淋管、供药装置以及若干个喷嘴,所述喷淋管沿工件的输送通道方向曲折延伸;所述供药装置与喷淋管的液体入口连通,所述供药装置用于将药液输送至喷淋管内;若干所述喷嘴对称分布于喷淋管各弯折点的两侧以及喷淋管端部的两侧,以穿过所述喷嘴的喷雾覆盖面中心且与工件输送通道长度方向平行的直线作为分割线,若干喷嘴对应的分割线将工件的输送通道切分为若干等分,在工件穿过输送通道的过程中,若干喷嘴的喷雾覆盖面在工件表面上进行多次重叠。本申请具有改善喷淋模组喷覆在工件表面的药液流量分布不均衡的问题的效果。
Description
技术领域
本申请涉及湿法工艺的领域,尤其是涉及一种精密喷淋模组。
背景技术
湿法工艺一般采用溶液、固液混合物、气液混合物等原料进行反应,制备目标物质的过程,包括有浸泡和喷淋两种方式,如线路板等精密工件常采用喷淋方式进行蚀刻,即通过将工件放置输送机构上,工件的输送通道朝一个方向延伸,在工件移动过程中通过喷淋模组对工件的表面进行药液喷淋,药液通过喷嘴喷出,喷嘴的喷淋范围覆盖工件整个表面,药液与工件表面发生反应,完成线路板蚀刻工序。
相关技术中,喷淋模组的喷嘴一般采用扇形喷嘴,配合多喷嘴的喷淋管使用,使得扇形部分重叠,理论上形成整体的均等分布,而在实际应用中,由于扇形喷嘴的结构特性,喷出的药液的喷雾范围轮廓呈椭圆状,喷嘴覆盖面的中间位置处流量大,周边位置流量小,整体呈正态分布,而且多个喷嘴所喷出的喷雾覆盖面的重叠面积大部分是集中在喷雾覆盖面的中间位置,会出现工件表面的中部位置持续在大流量的喷雾冲击下进行,周边重叠部分少,且流量小,因此,覆盖在工件表面的药液流量存在分布不均衡的问题,而且,传统的喷淋管与喷嘴的连接方式是,将多个喷嘴沿喷淋管的长度方向间隔分布在喷淋管下方且居中设置,喷淋管的端部位置内部形成的反流(涌流)也会影响到喷管端部的喷嘴流量和喷压,也是造成流量分布不均衡的原因,因此仍有改进空间。
发明内容
为了改善喷淋模组喷覆在工件表面的药液流量分布不均衡的问题,本申请提供一种精密喷淋模组。
本申请提供的一种精密喷淋模组采用如下的技术方案:
一种精密喷淋模组,包括:
喷淋管,所述喷淋管沿工件的输送通道方向曲折延伸;
供药装置,所述供药装置与喷淋管的液体入口连通,所述供药装置用于将药液输送至喷淋管内;
若干个喷嘴,若干所述喷嘴对称分布于喷淋管各弯折点的两侧以及喷淋管端部的两侧,以穿过所述喷嘴的喷雾覆盖面中心且与工件输送通道长度方向平行的直线作为分割线,若干喷嘴对应的分割线将工件的输送通道切分为若干等分,在工件穿过输送通道的过程中,若干喷嘴的喷雾覆盖面在工件表面上进行多次重叠。
通过采用上述技术方案,将喷嘴对称分布在喷淋管各弯折点的两侧,从而能够通过喷淋管的多次拐弯,来改变喷嘴在工件输送通道宽度方向上的相对位置,其中,喷嘴的喷雾覆盖面的中心位置为喷嘴流量最大的区域,以穿过喷嘴的喷雾覆盖面中心且与工件输送通道长度方向平行的直线作为分割线,将工件的输送通道细分若干等分,在工件穿过输送通道的过程中,若干喷嘴的喷雾覆盖面的中间位置在工件表面上错开且进行多次重叠,均匀覆盖到工件表面,有利于改善喷淋模组喷覆在工件表面的药液流量分布不均衡的问题;另外,将喷嘴对称分布在喷淋管端部,代替了喷嘴居中设置的方式,能够减少喷淋管端部的内部反流影响,改善管损问题,进而提高喷嘴流量与喷压的稳定性。
优选的,所述喷淋管不少于2根,若干所述喷淋管并排分布,位于喷淋管同一侧的若干喷嘴形成纵列喷淋组;在同一根所述喷淋管中,所述喷淋管两侧的纵列喷淋组的若干喷嘴对应一条输送通道;在相邻两根所述喷淋管之间,相邻两条所述纵列喷淋组的若干喷嘴对应一条输送通道。
通过采用上述技术方案,将喷淋管同一侧的若干喷嘴作为输送通道的一条纵列喷淋组,结合喷淋管弯折延伸的几何特点,以及流量均匀性叠加需求,喷管两侧的部分喷嘴的喷雾覆盖面的中心会偏出工件的输送通道所在范围,以中心周边小流量的喷雾覆盖面去叠加其他喷嘴中心大流量的喷雾覆盖面,达到流量平衡,另外,通过在增加喷淋管的情况下,除了每根喷淋管两侧的纵列喷淋组可以对应一条输送通道之外,相邻喷淋管之间的相邻纵列喷淋组也可对应一条输送通道,从而在增加适量喷淋管的情况下,成倍增加工件的输送通道,有利于充分提高药液使用效率以及工件加工效率。
优选的,所述精密喷淋模组还包括喷盘,并排分布的若干所述喷淋管以及若干喷嘴安装定位于所述喷盘内并组成喷淋模块。
通过采用上述技术方案,采用喷盘对喷淋管以及喷嘴进行各自定位,使得喷嘴以及喷淋管定位准确,有利于提高喷嘴以及喷淋管的稳固性,改善低喷嘴位置出现错位的情况,进一步排除流量不均衡的因素。
优选的,所述喷淋模块不少于2个,若干喷淋模块沿工件的输送通道方向分布;在单个所述喷淋模块中,若干喷淋管的液体入口沿喷盘的对角线分布;在相邻两个喷淋模块中,不同喷淋模块的若干喷淋管的液体入口分别沿喷盘两条相反的对角线方向分布。
对于单对一个喷淋管而言,靠近液体入口的喷嘴流量及喷压均大于远离液体入口的喷嘴流量及喷压,是影响最终覆盖在工件表面的药液流量不均衡的原因之一,通过采用上述技术方案,将同一个喷淋模块中的若干喷淋管的液体入口呈对角线分布,以平衡单个喷淋模块中的流量及喷压分布,并通过增加喷淋模块,并采用相反的对角线分布方式排布喷淋管的液体入口,使得工件在依次经过多个喷淋模块时,输送通道内的若干喷嘴的喷雾覆盖面经过数次强弱叠加后最终实现流量以及喷压整体平衡目的,有利于进一步改善喷淋模组喷覆在工件表面的药液流量分布不均衡的问题。
优选的,所述精密喷淋模组还包括若干个独立的喷淋仓,若干所述喷淋仓并排分布且相互连通,若干所述喷淋模块分置于若干喷淋仓中,工件的输送通道依次穿过若干喷淋仓。
通过采用上述技术方案,将若干喷淋模块分别布置在多个喷淋仓中,从而在相对封闭的喷淋空间进行喷淋工作,并且喷淋仓相互独立,便于根据工件的加工需求进行增减,有利于提高精密喷淋模组的适应性。
优选的,所述喷淋仓内的喷淋模块不少于2个,若干所述喷淋模块分置于工件的输送通道的上方和下方,若干所述喷淋模块对工件的上下表面进行喷淋。
通过采用上述技术方案,将若干喷淋模块上下分布于工件的输送通道处,从而对工件的上下表面同时进行喷淋工作,有利于提高工件的加工效率。
优选的,所述喷淋仓内设置有若干个间隔分布的限位板,相邻输送通道之间通过限位板隔开。
通过采用上述技术方案,限位板对工件起到导向作用,有利于减少工件在喷头冲击下发生偏移的情况,减少相邻输送通道的工件移动相互干涉的情况。
优选的,所述喷淋仓内水平转动连接有若干偏心轮,若干所述偏心轮位于工件的输送通道的上方并沿输送通道的延伸方向间隔分布,当工件移动至偏心轮下方时,所述偏心轮通过自重力抵至工件的上表面。
通过采用上述技术方案,偏心轮对工件进行下压,当工件在喷嘴的喷雾冲击下,偏心轮将工件稳定在输送通道的原位置,减少工件偏移或跳动的情况,有利于紧密喷淋模组对工件表面稳定地进行药液喷覆步骤。
综上所述,本申请包括以下至少一种有益技术效果:
1.将喷嘴对称分布在喷淋管各弯折点的两侧,从而能够通过喷淋管的多次拐弯,来改变喷嘴在工件输送通道宽度方向上的相对位置,并将工件的输送通道细分若干等分,在工件穿过输送通道的过程中,若干喷嘴的喷雾覆盖面的中间位置在工件表面上错开且进行多次重叠,均匀覆盖到工件表面,有利于改善喷淋模组喷覆在工件表面的药液流量分布不均衡的问题;
2.通过将喷嘴对称分布在喷淋管端部,代替了喷嘴居中设置的方式,能够减少喷淋管端部的内部反流影响,改善管损问题,进而提高喷嘴流量与喷压的稳定性;
3.将同一个喷淋模块中的若干喷淋管的液体入口呈对角线分布,相邻的两个喷淋模块,采用相反的对角线分布方式排布喷淋管的液体入口,使得工件在依次经过多个喷淋模块时,输送通道内的若干喷嘴的喷雾覆盖面经过数次强弱叠加后最终实现流量以及喷压整体平衡目的,有利于进一步改善喷淋模组喷覆在工件表面的药液流量分布不均衡的问题。
附图说明
图1是本申请实施例一种精密喷淋模组中喷淋模块的视图一。
图2是本申请实施例一种精密喷淋模组中喷淋模块与喷嘴对应的分割线之间的关系示意图。
图3是本申请实施例一种精密喷淋模组中喷嘴的喷雾覆盖面的结构示意图。
图4是本申请实施例一种精密喷淋模组中若干喷嘴的喷雾覆盖面在工件横向跨度处的重叠形态示意图。
图5是本申请实施例一种精密喷淋模组中喷淋模块中液体入口的分布视图一。
图6是本申请实施例一种精密喷淋模组中喷淋模块的视图二。
图7是本申请实施例一种精密喷淋模组中喷淋模块中液体入口的分布视图二。
图8是本申请实施例一种精密喷淋模组中喷淋模块与输送通道的位置关系示意图。
图9是图8中A处的放大示意图。
附图标记说明:1、工件;2、喷雾覆盖面;3、喷淋管;4、喷嘴;5、纵列喷淋组;6、喷淋模块;7、分割线;8、输送通道;9、喷盘;10、输送辊;11、液体入口;12、供药装置;121、管体;122、泵体;13、喷淋仓;14、偏心轮。
具体实施方式
以下结合附图1-9对本申请作进一步详细说明。
本申请实施例公开一种精密喷淋模组,包括:
参照图1和图2,喷淋管3,喷淋管3沿工件1的输送通道8方向曲折延伸。在本实施例中,工件1的输送通道8由若干个间隔分布的输送辊10构成,通过若干输送辊10(如图9所示)的同步转动,以摩擦传动的方式对工件1进行水平输送。其中,工件1的输送通道8纵向延伸且横向拓宽。
参照图1和图2,若干个喷嘴4,喷嘴4与喷淋管3连通。其中,若干喷嘴4对称分布在喷淋管3各弯折点的两侧以及喷淋管3端部的两侧。喷嘴4朝输送通道8方向进行药液的喷涂。在本实施例中,以穿过喷嘴4的喷雾覆盖面2中心且与工件1输送通道8长度方向平行的直线作为分割线7,同一根喷淋管3两侧的部分喷嘴4对应的分割线7将工件1的输送通道8切分为若干等分,在工件1穿过输送通道8的过程中,若干喷嘴4的喷雾覆盖面2在工件1表面的横向跨度方向进行多次重叠(如图4所示),有利于改善喷淋模组喷覆在工件1表面的药液流量分布不均衡的问题。
参照图3和图4,在本实施例中,选用扇形喷嘴4进行药液喷覆。另外,工件1的长度方向为工件1的输送方向,喷嘴4的喷雾覆盖面2的轮廓呈椭圆形,喷雾喷覆在工件1表面时,喷雾覆盖面2椭圆轮廓中的长轴方向与工件1的宽度方向之间的夹角为15º。
参照图5,供药装置12,供药装置12包括供药箱、与供药箱连通的泵体122以及与泵体122输出端连接的管体121,管体121远离泵体122的一端与喷淋管3的液体入口11连通,供药箱内储存有药液,通过泵体122将药液泵送至管体121,然后通过喷淋管3以及喷嘴4将药液喷出。
参照图1和图2,为提高药液使用效率以及工件1加工效率,本申请实施例中的喷淋管3不少于2根。且若干喷淋管3沿输送通道8的宽度方向并排分布。位于喷淋管3同一侧的若干喷嘴4形成纵列喷淋组5。在本实施例中,共有多条输送通道8进行工件1的同时运输。
在本实施例中,喷淋管3相邻两个弯折点的弯折角度相反,由于喷淋管3弯曲延伸的结构特点,喷嘴4的具体位置由两个因素决定,一个是喷淋管3在弯折点处的弯折角度,另一个是喷淋管3中相邻弯折点之间的距离。在同一根喷淋管3中,由喷淋管3两侧的纵列喷淋组5的部分喷嘴4对应一条输送通道8,及该喷嘴4的喷雾覆盖面2的中心落入该输送通道8内。
另外,喷管两侧剩余部分的喷嘴4的喷雾覆盖面2的中心会偏出工件1的输送通道8所在范围,以中心周边小流量的喷雾覆盖面2去叠加其他喷嘴4中心大流量的喷雾覆盖面2,达到流量平衡的目的。另外,在相邻两根喷淋管3之间,相邻两条纵列喷淋组5的部分喷嘴4对应一条输送通道8。从而在增加适量喷淋管3的情况下,成倍增加工件1的输送通道8,有利于充分提高药液使用效率以及工件1加工效率。
参照图2和图6,喷盘9,在本实施例中,喷盘9通过一体式铣削加工,若干喷淋管3并排间隔固定在喷盘9处,若干喷嘴4嵌装固定于喷盘9中对应的槽位处,以实现若干喷嘴4的定位,使得喷嘴4以及喷淋管3定位准确,有利于提高喷嘴4以及喷淋管3的稳固性,改善低喷嘴4位置出现错位的情况,进一步排除流量不均衡的因素。喷盘9、若干喷嘴4以及若干喷淋管3组成喷淋模块6,可进行整体安装。
参照图5和图7,在本实施例中,喷淋模块6不少于2个,若干喷淋模块6沿工件1的输送通道8方向分布。其中,在单个喷淋模块6中,若干喷淋管3的液体入口11沿定位架的对角线分布。在相邻两个喷淋模块6中,不同喷淋模块6的若干喷淋管3的液体入口11分别沿定位架两条相反的对角线方向分布。采用相反的对角线分布方式排布相邻两个喷淋模块6的喷淋管3的液体入口11,使得工件1在依次经过多个喷淋模块6时,输送通道8内的若干喷嘴4的喷雾覆盖面2经过数次强弱叠加后最终实现流量以及喷压整体平衡目的,有利于进一步改善喷淋模组喷覆在工件1表面的药液流量分布不均衡的问题。
参照图8和图9,喷淋仓13,在本实施例中,喷淋仓13设置有若干,若干所述喷淋仓13并排分布且相互连通,若干所述喷淋模块6分置于若干喷淋仓13中,工件1的输送通道8依次穿过若干喷淋仓13。将若干喷淋模块6分别布置在多个喷淋仓13中,从而在相对封闭的喷淋空间进行喷淋工作,并且喷淋仓13相互独立,便于根据工件1的加工需求进行增减,有利于提高精密喷淋模组的适应性。
另外,每个喷淋仓13内的喷淋模块6不少于2个,若干喷淋模块6分置于工件1的输送通道8的上方和下方,若干喷淋模块6对工件1的上下表面进行喷淋。
喷淋仓13内设置有若干个间隔分布的限位板,相邻输送通道8之间通过限位板隔开,以对工件1起到导向作用,有利于减少工件1在喷头冲击下发生偏移的情况,减少相邻输送通道8的工件1移动相互干涉的情况。
为进一步提高工件1移动的稳定性,喷淋仓13内水平转动连接有若干偏心轮14,若干所述偏心轮14位于工件1的输送通道8的上方并沿输送通道8的延伸方向间隔分布。偏心轮14的转轴横向设置。当工件1移动至偏心轮14下方时,偏心轮14通过自重力抵至工件1的上表面。从而工件1能够在喷嘴4的喷雾冲击下仍能稳定在输送通道8的原位置,进而减少工件1偏移或跳动的情况,有利于紧密喷淋模组对工件1表面稳定地进行药液喷覆步骤。
本申请实施例一种精密喷淋模组的实施原理为:
当工件1通过输送通道8送入喷淋仓13内时,喷淋仓13内上下分布的喷淋模块6对工件1的上下表面进行喷复,若干喷嘴4的喷雾覆盖面2的中间位置在工件1表面上错开且进行多次重叠,在工件1穿过多个喷淋仓13时,输送通道8内的若干喷嘴4的喷雾覆盖面2经过数次强弱叠加后最终实现流量以及喷压整体平衡目的,有利于进一步改善喷淋模组喷覆在工件1表面的药液流量分布不均衡的问题。
以上均为本申请的较佳实施例,并非依此限制本申请的保护范围,故:凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化,均应涵盖于本申请的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种精密喷淋模组,其特征在于:包括:
喷淋管(3),所述喷淋管(3)沿工件(1)的输送通道(8)方向曲折延伸;
供药装置(12),所述供药装置(12)与喷淋管(3)的液体入口(11)连通,所述供药装置(12)用于将药液输送至喷淋管(3)内;
若干个喷嘴(4),若干所述喷嘴(4)对称分布于喷淋管(3)各弯折点的两侧以及喷淋管(3)端部的两侧,以穿过所述喷嘴(4)的喷雾覆盖面(2)中心且与工件(1)输送通道(8)长度方向平行的直线作为分割线(7),若干喷嘴(4)对应的分割线(7)将工件(1)的输送通道(8)切分为若干等分,在工件(1)穿过输送通道(8)的过程中,若干喷嘴(4)的喷雾覆盖面(2)在工件(1)表面上进行多次重叠。
2.根据权利要求1所述的精密喷淋模组,其特征在于:所述喷淋管(3)不少于2根,若干所述喷淋管(3)并排分布,位于喷淋管(3)同一侧的若干喷嘴(4)形成纵列喷淋组(5);在同一根所述喷淋管(3)中,所述喷淋管(3)两侧的纵列喷淋组(5)的若干喷嘴(4)对应一条输送通道(8);在相邻两根所述喷淋管(3)之间,相邻两条所述纵列喷淋组(5)的若干喷嘴(4)对应一条输送通道(8)。
3.根据权利要求1所述的精密喷淋模组,其特征在于:所述精密喷淋模组还包括喷盘(9),并排分布的若干所述喷淋管(3)以及若干喷嘴(4)安装定位于所述喷盘(9)内并组成喷淋模块(6)。
4.根据权利要求3所述的精密喷淋模组,其特征在于:所述喷淋模块(6)不少于2个,若干喷淋模块(6)沿工件(1)的输送通道(8)方向分布;在单个所述喷淋模块(6)中,若干喷淋管(3)的液体入口(11)沿喷盘(9)的对角线分布;在相邻两个喷淋模块(6)中,不同喷淋模块(6)的若干喷淋管(3)的液体入口(11)分别沿喷盘(9)两条相反的对角线方向分布。
5.根据权利要求4所述的精密喷淋模组,其特征在于:所述精密喷淋模组还包括若干个独立的喷淋仓(13),若干所述喷淋仓(13)并排分布且相互连通,若干所述喷淋模块(6)分置于若干喷淋仓(13)中,工件(1)的输送通道(8)依次穿过若干喷淋仓(13)。
6.根据权利要求5所述的精密喷淋模组,其特征在于:所述喷淋仓(13)内的喷淋模块(6)不少于2个,若干所述喷淋模块(6)分置于工件(1)的输送通道(8)的上方和下方,若干所述喷淋模块(6)对工件(1)的上下表面进行喷淋。
7.根据权利要求5所述的精密喷淋模组,其特征在于:所述喷淋仓(13)内设置有若干个间隔分布的限位板,相邻输送通道(8)之间通过限位板隔开。
8.根据权利要求5所述的精密喷淋模组,其特征在于:所述喷淋仓(13)内水平转动连接有若干偏心轮(14),若干所述偏心轮(14)位于工件(1)的输送通道(8)的上方并沿输送通道(8)的延伸方向间隔分布,当工件(1)移动至偏心轮(14)下方时,所述偏心轮(14)通过自重力抵至工件(1)的上表面。
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Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH081050A (ja) * | 1994-06-16 | 1996-01-09 | Tokyo Kakoki Kk | スプレーノズル |
JP3123551U (ja) * | 2006-05-09 | 2006-07-20 | 揚博科技股▲分▼有限公司(台北化工廠) | 回路板のエッチング装置 |
CN205657922U (zh) * | 2016-04-15 | 2016-10-19 | 深圳市科路迪机械设备有限公司 | 一种用于pcb制作的新型喷淋架系统 |
CN208960204U (zh) * | 2018-08-20 | 2019-06-11 | 东莞宇宙电路板设备有限公司 | 易清洗喷淋架 |
CN111447751A (zh) * | 2020-04-25 | 2020-07-24 | 深圳市科路迪机械设备有限公司 | 一种精密蚀刻装置及其蚀刻喷淋架 |
CN211210059U (zh) * | 2020-01-07 | 2020-08-07 | 深圳市华兴四海机械设备有限公司 | 一种板式喷淋架 |
CN217517025U (zh) * | 2021-12-23 | 2022-09-30 | 昆山市广程机械设备有限公司 | 一种蚀刻机上的喷嘴安装结构 |
-
2023
- 2023-12-26 CN CN202311811512.1A patent/CN117772462A/zh active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH081050A (ja) * | 1994-06-16 | 1996-01-09 | Tokyo Kakoki Kk | スプレーノズル |
JP3123551U (ja) * | 2006-05-09 | 2006-07-20 | 揚博科技股▲分▼有限公司(台北化工廠) | 回路板のエッチング装置 |
CN205657922U (zh) * | 2016-04-15 | 2016-10-19 | 深圳市科路迪机械设备有限公司 | 一种用于pcb制作的新型喷淋架系统 |
CN208960204U (zh) * | 2018-08-20 | 2019-06-11 | 东莞宇宙电路板设备有限公司 | 易清洗喷淋架 |
CN211210059U (zh) * | 2020-01-07 | 2020-08-07 | 深圳市华兴四海机械设备有限公司 | 一种板式喷淋架 |
CN111447751A (zh) * | 2020-04-25 | 2020-07-24 | 深圳市科路迪机械设备有限公司 | 一种精密蚀刻装置及其蚀刻喷淋架 |
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