CN117738419A - 综合型格栅地板 - Google Patents

Abstract

一种综合型格栅地板，包含有天板及肋骨结构，以令该肋骨结构与该天板采用铝合金一体成型铸造，其中，该天板上形成有多个贯穿的穿孔，以形成48％以上或50％以上的通风量，故能满足半导体工艺清净度的需求。

Description

综合型格栅地板

技术领域

本发明涉及一种地板，尤其涉及一种具有高通风率的综合型格栅地板。

背景技术

现有高架地板，如TWM626914专利、TWM626915专利、TWM626017专利、TWM626032专利、TWM625241专利、TWM625242专利、TWM625267专利、TWM625270专利、TWM625289专利及TWM596253专利等，除了用于半导体工艺的厂区楼地板外，亦可用于工艺区的通风地板，但其通风率小于百分之二十，无法满足通风率的需求。

然而，目前用于水沟盖的格栅地板采用焊接方式制作，如TW536257专利，由于焊接成型工艺中，容易产生变形，且容易产生缺陷及断裂。

再者，现有格栅地板的通风量过小，使得回风量不够，致使无法满足半导体工艺清净度的需求。

另外，现有格栅地板的结构强度往往不足，故当该格栅地板上承载半导体工艺中较重的机台设备时，该格栅地板容易发生碎裂的问题。

另一方面，现有格栅地板亦有过重的问题，不仅浪费材料，且增加制造的成本。

因此，如何克服上述现有技术的种种问题，实已成为目前业界亟待克服的难题。

发明内容

鉴于上述现有技术的种种缺陷，本发明提供一种综合型格栅地板，可至少部分地解决现有技术中的问题。

本发明的综合型格栅地板，包括：天板，其具有相对的地面侧与蜂巢侧，其中，该天板上形成有多个连通该地面侧与蜂巢侧的穿孔，以形成48％以上或50％以上的通风量；以及多个肋骨结构，其设于该天板的蜂巢侧上以形成多个凹部，以令各该凹部中具有三个或四个该穿孔，其中，该肋骨结构由该天板边缘向中间处依序定义有第一肋骨、第二肋骨、第三肋骨、第四肋骨、第五肋骨、第六肋骨及第七肋骨，且该第一肋骨、第二肋骨、第四肋骨、第五肋骨及第七肋骨相对于该蜂巢侧的高度至少为25毫米，以作为主肋骨，而该第三肋骨及第六肋骨相对于该蜂巢侧的高度低于25毫米，以作为中肋骨。

前述的综合型格栅地板中，该多个凹部为阵列排设，以于该蜂巢侧上形成蜂巢结构。

前述的综合型格栅地板中，该第一肋骨形成于该天板边缘而成为该综合型格栅地板的边肋骨，以作为该综合型格栅地板的边框。

前述的综合型格栅地板中，该第一肋骨相对于该蜂巢侧的高度与该天板的厚度的总和为50至59.5毫米，而该天板的厚度为2至3毫米。

前述的综合型格栅地板中，该第二肋骨、第四肋骨、第五肋骨及第七肋骨相对于该蜂巢侧的高度为35至52.5毫米。

前述的综合型格栅地板中，该第三肋骨及第六肋骨相对于该蜂巢侧的高度为17至22毫米。

前述的综合型格栅地板中，该第一肋骨的宽度为4.8至8毫米。

前述的综合型格栅地板中，该第二肋骨、第四肋骨、第五肋骨及第七肋骨的宽度为3至5.5毫米。

前述的综合型格栅地板中，该第三肋骨及第六肋骨的宽度为3至3.5毫米。

前述的综合型格栅地板中，该肋骨结构于纵向及横向上以两条该第七肋骨形成一井字型肋骨，以将该综合型格栅地板分成四个区域，该四个区域中相邻的第二肋骨、第三肋骨、第四肋骨、第五肋骨及第六肋骨之间形成25个子区域，各该子区域均具有一凹部，并于该第七肋骨所形成的井字型肋骨的中央部位形成的另一凹部，并于每个子区域均具有三个长条形的该穿孔，以形成48％以上或50％以上的通风量，且于该天板的四周形成一翼板，使该翼板的厚度均大于该天板的厚度。

前述的综合型格栅地板中，该肋骨结构还包含高度低于该中肋骨的多个辅助肋，且该多个辅助肋对应形成于各该凹部中，以令单一该凹部中配置该多个辅助肋。例如，该辅助肋相对于该蜂巢侧的高度为10至15毫米，且其宽度为3至3.5毫米。

前述的综合型格栅地板中，该蜂巢侧的相对两侧部位的该第一肋骨、第二肋骨及该第七肋骨的宽度分别小于该蜂巢侧的中间部位的该第一肋骨、第二肋骨及该第七肋骨的宽度，以减低该综合型格栅地板的重量。

前述的综合型格栅地板中，该第一肋骨用于支撑该综合型格栅地板所固定的脚架。

前述的综合型格栅地板中，该第一与第二肋骨于该综合型格栅地板的四个角落上形成有脚座，该脚座固定于支撑脚架上。

由上可知，本发明的综合型格栅地板中，主要通过该天板与该多个肋骨结构采用铝合金一体成型铸造，以于制作该综合型格栅地板时不会产生变形，且不易产生缺陷及断裂等问题，故相较于现有技术，本发明的综合型格栅地板的可靠性极佳。

再者，通过多个穿孔的设计，以形成48％以上或50％以上的通风量，故能增加通风量，以满足半导体工艺清净度的需求。

另外，该肋骨结构的主肋骨相对于该蜂巢侧的高度均至少为25毫米，以提升该综合型格栅地板的结构强度，故相较于现有技术，该综合型格栅地板可承受半导体工艺中较重的机台设备，以避免该综合型格栅地板于使用中发生碎裂的问题。

附图说明

图1A为本发明的综合型格栅地板的第一实施例的立体示意图。

图1B为图1A的主视平面图。

图1C为图1B沿其中一方向的C-C剖线的剖面图。

图1D为图1B沿其中一方向的D-D剖线的剖面图。

图1E为图1A的另一视角的立体示意图。

图2A为本发明的综合型格栅地板的第二实施例的立体示意图。

图2B为图2A的主视平面图。

图2C为图2B沿其中一方向的C-C剖线的剖面图。

图2D为图2B沿其中一方向的D-D剖线的剖面图。

图2E为图2A的另一视角的立体示意图。

图3A为本发明的综合型格栅地板的第三实施例的立体示意图。

图3B为图3A的主视平面图。

图3C为图3B沿其中一方向的C-C剖线的剖面图。

图3D为图3B沿其中一方向的D-D剖线的剖面图。

图3E为图3A的另一视角的立体示意图。

图4A为本发明的综合型格栅地板的第四实施例的立体示意图。

图4B为图4A的主视平面图。

图4C为图4B沿其中一方向的C-C剖线的剖面图。

图4D为图4B沿其中一方向的D-D剖线的剖面图。

图4E为图4A的另一视角的立体示意图。

图5A为本发明的综合型格栅地板的第五实施例的立体示意图。

图5B为图5A的主视平面图。

图5C为图5B沿其中一方向的C-C剖线的剖面图。

图5D为图5B沿其中一方向的D-D剖线的剖面图。

图5E为图5A的另一视角的立体示意图。

图6A为本发明的综合型格栅地板的第六实施例的立体示意图。

图6B为图6A的主视平面图。

图6C为图6B沿其中一方向的C-C剖线的剖面图。

图6D为图6B沿其中一方向的D-D剖线的剖面图。

图6E为图6A的另一视角的立体示意图。

主要组件符号说明

1,2,3,4,5,6 综合型格栅地板

1a,2a,3a,4a,5a,6a 肋骨结构

1b,2b,3b,4b,5b,6b 脚座

1c 顶针位

1d,2d,3d,4d,5d,6d 翼板

10,20,30,40,50,60 天板

10a,20a,30a,40a,50a,60a 地面侧

10b,20b,30b,40b,50b,60b 蜂巢侧

100,200,300,400,500,600 穿孔

11,21,31,41,51,61 第一肋骨

12,22,32,42,52,62 第二肋骨

13,23,33,43,53,63 第三肋骨

14,24,34,44,54,64 第四肋骨

15,25,35,45,55,65 第五肋骨

16,26,36,46,56,66 第六肋骨

17,27,37,47,57,67 第七肋骨

17a,18,27a,28,37a,38,47a,48,57a,58,67a,68 辅助肋

d1～d8 宽度

H 总高度

h0～h8 高度

L 长度

R,S 凹部

T 总和

t0,t1 厚度

w 间隔距离

具体实施方式

以下通过特定的具体实施例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容轻易地了解本发明的其他优点及功效。

须知，本说明书所附附图所示出的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所公开的内容，以供本领域技术人员的了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所公开的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本发明可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本发明可实施的范畴。

图1A至图1E为本发明的综合型格栅地板1的第一实施例的示意图。本实施例的综合型格栅地板1用于承载较重负荷，其承载负荷约1000公斤。

所述的综合型格栅地板1具有一天板10、以及设于该天板10上的多个肋骨结构1a，以令该天板10与该多个肋骨结构1a采用铝合金一体成型铸造，以于制作该综合型格栅地板1时不会产生变形，且不易产生缺陷及断裂等问题。

所述的天板10具有相对的地面侧10a与蜂巢侧10b，且该蜂巢侧10b于纵向及横向上分别设有多个该肋骨结构1a，以于该纵向及横向的肋骨结构1a之间形成多个凹部S，其中，图1C及图1D仅显示纵向的肋骨结构1a，而横向的肋骨结构1a与纵向肋骨结构1a排列方式以呈对称式相同，故省略横向的肋骨结构1a的剖面。

于本实施例中，该天板10大致呈矩形体，如正方形板，其长度L为600㎜及厚度t0为2㎜，并于该天板10的四周形成一翼板1d(其厚度t1为8㎜，大于该天板10的厚度t0)，且于该综合型格栅地板1的四个角落上形成有脚座1b，其底部呈L型凸状(亦可呈L型凹状)，该脚座1b固定于支撑脚架(图略)上。例如，该脚座1b用于调整该综合型格栅地板1的总高度H，使得拼接多个综合型格栅地板1时得以位于同一水平面。

再者，该地面侧10a为一平整表面，且多个凹部S为阵列排设，以于该蜂巢侧10b上形成一具有多个顶针位1c(约于每四个凹部S所组成的正方形区域的角落处上)的蜂巢结构。

所述的肋骨结构1a由该天板10边缘向中间处(或如图1B及图1C所示的左右侧向中间方向)依序定义有第一肋骨11、第二肋骨12、第三肋骨13、第四肋骨14、第五肋骨15、第六肋骨16及第七肋骨17，且该第一至第二、第四至第五及第七肋骨11～12,14～15,17相对于该蜂巢侧10b的高度h1～h3,h5,h7至少为25毫米(㎜)，而该第三及第六肋骨13,16相对于该蜂巢侧10b的高度h4,h6低于25毫米，故该第一至第二、第四至第五及第七肋骨11～12,14～15,17作为主肋骨，而该第三及第六肋骨13,16作为中肋骨，其中，该第一至第六肋骨11～16以第七肋骨17为基准而左右对称(或如图1B所示的上下对称)分布，以令该第二肋骨12、第三肋骨13、第四肋骨14、第五肋骨15、第六肋骨16及第七肋骨17间的间隔距离w为48㎜。

于本实施例中，该第一肋骨11形成于该天板10边缘而成为该综合型格栅地板1的边肋骨，以作为该综合型格栅地板1的边框，供固接该脚座1b。例如，该第一肋骨11相对于该蜂巢侧10b的高度h1为48㎜(等于该第二肋骨12相对于该蜂巢侧10b的高度h2)，其均大于第三至第七肋骨13～17相对于该蜂巢侧10b的高度h3～h7，且本实施例的该第一肋骨11相对于该蜂巢侧10b的高度h1与该天板10的厚度的总和T为50㎜(即T＝h1+t0)，而该脚座1b的高度、该第一肋骨11相对于该蜂巢侧10b的高度h1与该天板10的厚度t0的总高度H为综合型格栅地板1的脚高，其为60㎜。

再者，该肋骨结构1a的第二至第七肋骨的高度h2～h7可依需求相同或不相同，且该第一肋骨11与中间处的该凹部R,S之间的主肋骨(即第二至第七肋骨12～17)的排列方式如图1C所示。例如，第二肋骨12相对于该蜂巢侧10b的高度h2为48㎜、第四肋骨14相对于该蜂巢侧10b的高度h4为35㎜、第五肋骨15相对于该蜂巢侧10b的高度h5为35㎜、第七肋骨17相对于该蜂巢侧10b的高度h7为45㎜、第三及第六肋骨13,16相对于该蜂巢侧10b的高度h3,h6均为18㎜，其中，该纵向及横向的两条第七肋骨17形成一井字型肋骨，以将该综合型格栅地板1分成四个区域，每个区域相邻的第二肋骨12、第三肋骨13、第四肋骨14、第五肋骨15及第六肋骨16之间形成25个子区域，每个子区域具有一凹部S，并于该井字型肋骨的中央部位形成另一种实施例的凹部R。进一步，该天板10于该凹部R的厚度可依需求大于该天板10于其它处的厚度t0或与该天板10的厚度t0相同，且该凹部R内配置有两平行的辅助肋17a，以提高该综合型格栅地板1在中间处的抗压强度。例如，因第二肋骨12相对于该蜂巢侧10b的高度h2等于第一肋骨11相对于该蜂巢侧10b的高度h1，故当该综合型格栅地板1固定于一高架地板用的脚架上时，该综合型格栅地板1的四个脚落处以第一肋骨11与第二肋骨12的底部作为支撑。

另外，各该肋骨的宽度d1～d7可依需求相同(如第二至第六肋骨12～16)或不相同，如图1C所示。例如，第一肋骨11的宽度d1为7㎜、第二肋骨12的宽度d2为4.42㎜、第三肋骨13的宽度d3为3.5㎜、第四肋骨14的宽度d4为3.5㎜、第五肋骨15的宽度d5为3.5㎜、第六肋骨16的宽度d6为3.5㎜及第七肋骨17的宽度d7为5㎜。

进一步，各该肋骨分别沿纵向或横向延伸，且同一肋骨在其延伸的不同位置上可以依需求具有不同的宽度。例如，可调整局部肋骨的宽度d1,d2,d7，如图1D所示的该蜂巢侧10b的相对两侧部位的该第一肋骨11、该第二肋骨12及该第七肋骨17的宽度d1,d2,d7较小，其中，该第一肋骨11的宽度d1为5mm、第二肋骨12的宽度d2为3.5mm及第七肋骨17的宽度d7为4mm，分别小于图1C所示的该蜂巢侧10b的中间部位的第一肋骨11、第二肋骨12及第七肋骨17的宽度d1,d2,d7，以减低综合型格栅地板1的重量，而该第三、第四、第五及第六肋骨13,14,15,16的宽度d3,d4,d5,d6则不变。

另外，该肋骨结构1a可依需求增设多个体积远小于其它肋骨的辅助肋17a,18，如图1C所示，其相对于该蜂巢侧10b的高度h0,h8(如10㎜)低于该中肋骨相对于该蜂巢侧10b的高度h3,h6，且其宽度d8为3㎜。例如，多个辅助肋17a,18对应形成于各该凹部R,S中，且沿单一方向延伸而未相互交错，如图1C所示的单一凹部R,S配置两条平行的辅助肋17a,18。

再者，该综合型格栅地板1于该天板10上形成多个连通该地面侧10a与蜂巢侧10b的穿孔100，并以该第七肋骨17(纵向及横向的两条第七肋骨17所形成井字型肋骨)将该蜂巢侧10b分成四个区域(四个角落区域)，每个区域又形成25个子区域(对应该凹部S位置)，另该井字型肋骨向外延伸处(十字区域)，通过多个肋骨(该第二肋骨12、第三肋骨13、第四肋骨14、第五肋骨15及第六肋骨16)可间隔出21个另一子区域(对应该凹部R,S位置)，以令每个子区域均具有三个长条形穿孔100，以形成50％以上的通风量。

于本实施例中，多个穿孔100的位置对应多个凹部R,S配置。例如，每一凹部R,S上形成有三个穿孔100，且该三个穿孔100间隔并排，并以该辅助肋17a,18隔开各排穿孔100；另外，该第一与第二肋骨11,12之间的凹部S仅具有一个穿孔100，即无配置辅助肋18。

因此，该综合型格栅地板1通过该穿孔100的设计，不仅可增加通风量，及利于节省材料及减轻重量，并可增加承载重量。

另外，该综合型格栅地板1的天板10的厚度t0较小，且该肋骨结构1a的部分高度h3,h6亦较小，即该中肋骨(第三及第六肋骨13,16)的高度h3,h6较主肋骨(该第一至第二、第四至第五及第七肋骨11～12,14～15,17)的高度h1,h2,h4,h5,h7小很多，以利于节省材料及减轻重量。

图2A至图2E为本发明的综合型格栅地板2的第二实施例的示意图。本实施例的综合型格栅地板2的承载负荷约1000公斤，且其与第一实施例的差异在于肋骨结构2a的局部高度的改变，故以下不再赘述相同处。

于本实施例中，该天板20的厚度t0为2㎜，该第一肋骨21相对于该蜂巢侧20b的高度h1为48㎜，且该第一肋骨21相对于该蜂巢侧20b的高度h1与该天板20的厚度t0的总和T为50㎜，而该脚座2b的高度、该第一肋骨21相对于该蜂巢侧20b的高度h1与该天板20的厚度t0的总高度H为55㎜，其中，该翼板2d的厚度t1为6㎜，该第一肋骨21形成于该天板20边缘而成为该综合型格栅地板2的边肋骨，以作为该综合型格栅地板2的边框，且该第一至第六肋骨21～26以第七肋骨27为基准而左右对称(或如图2B所示的上下对称)分布。

再者，于肋骨结构2a中，如图2C所示，第二肋骨22相对于该蜂巢侧20b的高度h2为48㎜、第四肋骨24相对于该蜂巢侧20b的高度h4为35㎜、第五肋骨25相对于该蜂巢侧20b的高度h5为35㎜、第七肋骨27相对于该蜂巢侧20b的高度h7为45㎜、第三及第六肋骨23,26相对于该蜂巢侧20b的高度h3,h6均为18㎜。例如，因第二肋骨22相对于该蜂巢侧20b的高度h2等于第一肋骨21相对于该蜂巢侧20b的高度h1，故当该综合型格栅地板2固定于一高架地板用的脚架上时，该综合型格栅地板2的四个脚落处以第一肋骨21与第二肋骨22的底部作为支撑。

另外，各该肋骨的宽度d1～d7可依需求相同或不相同，如图2C所示。例如，第一肋骨21的宽度d1为7㎜、第二肋骨22的宽度d2为4.42㎜、第三肋骨23的宽度d3为3.5㎜、第四肋骨24的宽度d4为3.5㎜、第五肋骨25的宽度d5为3.5㎜、第六肋骨26的宽度d6为3.5㎜及第七肋骨27的宽度d7为5㎜。

进一步，各该肋骨分别沿纵向或横向延伸，且同一肋骨在其延伸的不同位置上可以依需求具有不同的宽度。例如，可调整局部肋骨的宽度d1,d2,d7，如图2D所示的该蜂巢侧20b的相对两侧部位的该第一肋骨21、该第二肋骨22及该第七肋骨27的宽度d1,d2,d7较小，其中，该第一肋骨21的宽度d1为5mm、第二肋骨22的宽度d2为3.5mm及第七肋骨27的宽度d7为4mm，分别小于图2C所示的该蜂巢侧20b的中间部位的第一肋骨21、第二肋骨22及第七肋骨27的宽度d1,d2,d7，以减低综合型格栅地板2的重量，而该第三、第四、第五及第六肋骨23,24,25,26的宽度d3,d4,d5,d6则不变。

另外，该辅助肋27a,28相对于该蜂巢侧20b的高度h0,h8(如10㎜)低于中肋骨的高度，且其宽度d8为3㎜，且多个辅助肋27a,28对应形成于各该凹部R,S中，并沿单一方向延伸而未相互交错，如图2C所示的单一凹部R,S配置二条平行的辅助肋27a,28，以令每个子区域均具有三个长条形穿孔200，以形成50％以上的通风量。另外，该第一与第二肋骨21,22之间的凹部S仅具有一个穿孔200。

因此，该综合型格栅地板2通过该穿孔200的设计，不仅可增加通风量，及利于节省材料及减轻重量，并可增加承载重量。

另外，该肋骨结构2a的部分高度h3,h6亦较小，即该中肋骨(第三及第六肋骨23,26)的高度h3,h6较主肋骨(该第一至第二、第四至第五及第七肋骨21～22,24～25,27)的高度h1,h2,h4,h5,h7小很多，以利于节省材料及减轻重量。

图3A至图3E为本发明的综合型格栅地板3的第三实施例的示意图。本实施例的综合型格栅地板3的承载负荷较重，约1500公斤，且其与第一实施例的差异在于肋骨结构3a的局部高度的改变，故以下不再赘述相同处。

于本实施例中，该天板30的厚度t0为2㎜，该第一肋骨31相对于该蜂巢侧30b的高度h1为57.5㎜，且该第一肋骨31相对于该蜂巢侧30b的高度h1与该天板30的厚度t0的总和T为59.5㎜，而该脚座3b的高度、该第一肋骨31相对于该蜂巢侧30b的高度h1与该天板30的厚度t0的总高度H为60㎜，其中，该翼板3d的厚度t1为7㎜，该第一肋骨31形成于该天板30边缘而成为该综合型格栅地板3的边肋骨，以作为该综合型格栅地板3的边框，且该第一至第六肋骨31～36以第七肋骨37为基准而左右对称(或如图3B所示的上下对称)分布。

再者，于肋骨结构3a中，如图3C所示，第二肋骨32相对于该蜂巢侧30b的高度h2为52.5㎜、第四肋骨34相对于该蜂巢侧30b的高度h4为48㎜、第五肋骨35相对于该蜂巢侧30b的高度h5为48㎜、第七肋骨37相对于该蜂巢侧30b的高度h7为48㎜、第三及第六肋骨33,36相对于该蜂巢侧30b的高度h3,h6均为22㎜。例如，因第二肋骨32相对于该蜂巢侧30b的高度h2低于第一肋骨31相对于该蜂巢侧30b的高度h1，故当该综合型格栅地板3固定于一高架地板用的脚架上时，该综合型格栅地板3的四个脚落处以第一肋骨31的底部作为支撑。

另外，各该肋骨的宽度d1～d7可依需求相同或不相同，如图3C所示。例如，第一肋骨31的宽度d1为7.5㎜、第二肋骨32的宽度d2为4.5㎜、第三肋骨33的宽度d3为3.5㎜、第四肋骨34的宽度d4为3.5㎜、第五肋骨35的宽度d5为3.5㎜、第六肋骨36的宽度d6为3.5㎜及第七肋骨37的宽度d7为5.5㎜。

进一步，各该肋骨分别沿纵向或横向延伸，且同一肋骨在其延伸的不同位置上可以依需求具有不同的宽度。例如，可调整局部肋骨的宽度d1,d2,d7，如图3D所示的该蜂巢侧30b的相对两侧部位的该第一肋骨31、该第二肋骨32及该第七肋骨37的宽度d1,d2,d7较小，其中，该第一肋骨31的宽度d1为5mm、第二肋骨32的宽度d2为3.6mm及第七肋骨37的宽度d7为4mm，分别小于图3C所示的该蜂巢侧30b的中间部位的第一肋骨31、第二肋骨32及第七肋骨37的宽度d1,d2,d7，以减低综合型格栅地板3的重量，而该第三、第四、第五及第六肋骨33,34,35,36的宽度d3,d4,d5,d6则不变。

另外，该辅助肋37a,38相对于该蜂巢侧30b的高度h0,h8(如15㎜)低于中肋骨的高度，且其宽度d8为3.5㎜，且多个辅助肋37a,38对应形成于各该凹部R,S中，并沿单一方向延伸而未相互交错，如图3C所示的单一凹部R,S配置二条平行的辅助肋37a,38，以令每个子区域均具有三个长条形穿孔300，以形成50％以上的通风量。另外，该第一与第二肋骨31,32之间的凹部S仅具有一个穿孔300。

因此，该综合型格栅地板3通过该穿孔300的设计，不仅可增加通风量，及利于节省材料及减轻重量，并可增加承载重量。

另外，该肋骨结构3a的部分高度h3,h6亦较小，即该中肋骨(第三及第六肋骨33,36)的高度h3,h6较主肋骨(该第一至第二、第四至第五及第七肋骨31～32,34～35,37)的高度h1,h2,h4,h5,h7小很多，以利于节省材料及减轻重量。

图4A至图4E为本发明的综合型格栅地板4的第四实施例的示意图。本实施例的综合型格栅地板4的承载负荷较轻，约700公斤，且其与第一实施例的差异在于肋骨结构4a的局部高度的改变，故以下不再赘述相同处。

于本实施例中，该天板40的厚度t0为2㎜，该第一肋骨41相对于该蜂巢侧40b的高度h1为48㎜，且该第一肋骨41相对于该蜂巢侧40b的高度h1与该天板40的厚度t0的总和T为50㎜，而该脚座4b的高度、该第一肋骨41相对于该蜂巢侧40b的高度h1与该天板40的厚度t0的总高度H为55㎜，其中，该翼板4d的厚度t1为6㎜，该第一肋骨41形成于该天板40边缘而成为该综合型格栅地板4的边肋骨，以作为该综合型格栅地板4的边框，且该第一至第六肋骨41～46以第七肋骨47为基准而左右对称(或如图4B所示的上下对称)分布。

再者，于肋骨结构4a中，如图4C所示，第二肋骨42相对于该蜂巢侧40b的高度h2为48㎜、第四肋骨44相对于该蜂巢侧40b的高度h4为35㎜、第五肋骨45相对于该蜂巢侧40b的高度h5为35㎜、第七肋骨47相对于该蜂巢侧40b的高度h7为45㎜、第三肋骨43相对于该蜂巢侧40b的高度h3为22㎜及第六肋骨46相对于该蜂巢侧40b的高度h6均为18㎜。例如，因第二肋骨42相对于该蜂巢侧40b的高度h2等于第一肋骨41相对于该蜂巢侧40b的高度h1，故当该综合型格栅地板4固定于一高架地板用的脚架上时，该综合型格栅地板4的四个脚落处以第一肋骨41与第二肋骨42的底部作为支撑。

另外，各该肋骨的宽度d1～d7可依需求相同或不相同，如图4C所示。例如，第一肋骨41的宽度d1为8㎜、第二肋骨42的宽度d2为4.42㎜、第三肋骨43的宽度d3为3.5㎜、第四肋骨44的宽度d4为3.5㎜、第五肋骨45的宽度d5为3.5㎜、第六肋骨46的宽度d6为3.5㎜及第七肋骨47的宽度d7为5㎜。

进一步，各该肋骨分别沿纵向或横向延伸，且同一肋骨在其延伸的不同位置上可以依需求具有不同的宽度。例如，可调整局部肋骨的宽度d1,d2,d7，如图4D所示的该蜂巢侧40b的相对两侧部位的该第一肋骨41、该第二肋骨42及该第七肋骨47的宽度d1,d2,d7较小，其中，该第一肋骨41的宽度d1为5mm、第二肋骨42的宽度d2为3.5mm及第七肋骨47的宽度d7为4mm，分别小于图4C所示的该蜂巢侧40b的中间部位的第一肋骨41、第二肋骨42及第七肋骨47的宽度d1,d2,d7，以减低综合型格栅地板4的重量，而该第三、第四、第五及第六肋骨43,44,45,46的宽度d3,d4,d5,d6则不变。

另外，该辅助肋47a,48相对于该蜂巢侧40b的高度h0,h8(如10㎜)低于中肋骨的高度，且其宽度d8为3㎜，且多个辅助肋47a,48对应形成于各该凹部R,S中，并沿单一方向延伸而未相互交错，如图4C所示的单一凹部R,S配置二条平行的辅助肋47a,48，以令每个子区域均具有三个长条形穿孔400，以形成50％以上的通风量。另外，该第一与第二肋骨41,42之间的凹部S可仅具有一个穿孔400(如图4C所示)或两个穿孔400(如图4D所示)。

因此，该综合型格栅地板4通过该穿孔400的设计，不仅可增加通风量，及利于节省材料及减轻重量，并可增加承载重量。

另外，该肋骨结构4a的部分高度h3,h6亦较小，即该中肋骨(第三及第六肋骨43,46)的高度h3,h6较主肋骨(该第一至第二、第四至第五及第七肋骨41～42,44～45,47)的高度h1,h2,h4,h5,h7小很多，以利于节省材料及减轻重量。

图5A至图5E为本发明的综合型格栅地板5的第五实施例的示意图。本实施例的综合型格栅地板5的承载负荷约1000公斤，且其与第一实施例的差异在于肋骨结构5a的局部高度的改变，故以下不再赘述相同处。

于本实施例中，该天板50的厚度t0为2㎜，该第一肋骨51相对于该蜂巢侧50b的高度h1为48㎜，且该第一肋骨51相对于该蜂巢侧50b的高度h1与该天板50的厚度t0的总和T为50㎜，而该脚座5b的高度、该第一肋骨51相对于该蜂巢侧50b的高度h1与该天板50的厚度t0的总高度H为55㎜，其中，该翼板5d的厚度t1为6㎜，该第一肋骨51形成于该天板50边缘而成为该综合型格栅地板5的边肋骨，以作为该综合型格栅地板5的边框，且该第一至第六肋骨51～56以第七肋骨57为基准而左右对称(或如图5B所示的上下对称)分布。

再者，于肋骨结构5a中，如图5C所示，第二肋骨52相对于该蜂巢侧50b的高度h2为48㎜、第四肋骨54相对于该蜂巢侧50b的高度h4为35㎜、第五肋骨55相对于该蜂巢侧50b的高度h5为35㎜、第七肋骨57相对于该蜂巢侧50b的高度h7为45㎜、第三肋骨53相对于该蜂巢侧50b的高度h3为22㎜及第六肋骨56相对于该蜂巢侧50b的高度h6为18㎜。例如，因第二肋骨52相对于该蜂巢侧50b的高度h2等于第一肋骨51相对于该蜂巢侧50b的高度h1，故当该综合型格栅地板5固定于一高架地板用的脚架上时，该综合型格栅地板5的四个脚落处以第一肋骨51与第二肋骨52的底部作为支撑。

另外，各该肋骨的宽度d1～d7可依需求相同或不相同，如图5C所示。例如，第一肋骨51的宽度d1为8㎜、第二肋骨52的宽度d2为4.42㎜、第三肋骨53的宽度d3为3.5㎜、第四肋骨54的宽度d4为3.5㎜、第五肋骨55的宽度d5为3.5㎜、第六肋骨56的宽度d6为3.5㎜及第七肋骨57的宽度d7为5㎜。

进一步，各该肋骨分别沿纵向或横向延伸，且同一肋骨在其延伸的不同位置上可以依需求具有不同的宽度。例如，可调整局部肋骨的宽度d1,d2,d7，如图5D所示的该蜂巢侧50b的相对两侧部位的该第一肋骨51、该第二肋骨52及该第七肋骨57的宽度d1,d2,d7较小，其中，该第一肋骨51的宽度d1为5mm、第二肋骨52的宽度d2为3.5mm及第七肋骨57的宽度d7为4mm，分别小于图5C所示的该蜂巢侧50b的中间部位的第一肋骨51、第二肋骨52及第七肋骨57的宽度d1,d2,d7，以减低综合型格栅地板5的重量，而该第三、第四、第五及第六肋骨53,54,55,56的宽度d3,d4,d5,d6则不变。

另外，该辅助肋57a,58相对于该蜂巢侧50b的高度h0,h8(如10㎜)低于中肋骨的高度，且其宽度d8为3㎜，且多个辅助肋57a,58对应形成于各该凹部R,S中，并沿单一方向延伸而未相互交错，如图5C所示的单一凹部R,S配置二条平行的辅助肋57a,58，以令每个子区域均具有三个长条形穿孔500，以形成48％以上的通风量。另外，该第一与第二肋骨51,52之间的凹部S可仅具有一个穿孔500(如图5C所示)或两个穿孔500(如图5D所示)。

因此，该综合型格栅地板5通过该穿孔500的设计，不仅可增加通风量，及利于节省材料及减轻重量，并可增加承载重量。

另外，该肋骨结构5a的部分高度h3,h6亦较小，即该中肋骨(第三及第六肋骨53,56)的高度h3,h6较主肋骨(该第一至第二、第四至第五及第七肋骨51～52,54～55,57)的高度h1,h2,h4,h5,h7小很多，以利于节省材料及减轻重量。

图6A至图6E为本发明的综合型格栅地板6的第六实施例的示意图。本实施例的综合型格栅地板6的承载负荷约1000公斤，且其与第一实施例的差异在于肋骨结构6a的局部高度的改变，故以下不再赘述相同处。

于本实施例中，该天板60的厚度t0为3㎜，该第一肋骨61相对于该蜂巢侧60b的高度h1为48㎜，且该第一肋骨61相对于该蜂巢侧60b的高度h1与该天板60的厚度t0的总和T为51㎜，而该脚座6b的高度、该第一肋骨61相对于该蜂巢侧60b的高度h1与该天板60的厚度t0的总高度H为55㎜，其中，该翼板6d的厚度t1为7㎜，该第一肋骨61形成于该天板60边缘而成为该综合型格栅地板6的边肋骨，以作为该综合型格栅地板6的边框，且该第一至第六肋骨61～66以第七肋骨67为基准而左右对称(或如图6B所示的上下对称)分布。

再者，于肋骨结构6a中，如图6C所示，第二肋骨62相对于该蜂巢侧60b的高度h2为45㎜、第四肋骨64相对于该蜂巢侧60b的高度h4为35㎜、第五肋骨65相对于该蜂巢侧60b的高度h5为35㎜、第七肋骨67相对于该蜂巢侧60b的高度h7为45㎜、第三肋骨63相对于该蜂巢侧60b的高度h3为17㎜及第六肋骨66相对于该蜂巢侧60b的高度h6为17㎜。例如，因第二肋骨62相对于该蜂巢侧60b的高度h2低于第一肋骨61相对于该蜂巢侧60b的高度h1，故当该综合型格栅地板6固定于一高架地板用的脚架上时，该综合型格栅地板6的四个脚落处以第一肋骨61的底部作为支撑。

另外，各该肋骨的宽度d1～d7可依需求相同或不相同，如图6C所示。例如，第一肋骨61的宽度d1为7㎜、第二肋骨62的宽度d2为4㎜、第三肋骨63的宽度d3为3㎜、第四肋骨64的宽度d4为3㎜、第五肋骨65的宽度d5为3㎜、第六肋骨66的宽度d6为3㎜及第七肋骨67的宽度d7为5㎜。

进一步，各该肋骨分别沿纵向或横向延伸，且同一肋骨在其延伸的不同位置上可以依需求具有不同的宽度。例如，可调整局部肋骨的宽度d1,d2,d7，如图6D所示的该蜂巢侧60b的相对两侧部位的该第一肋骨61、该第二肋骨62及该第七肋骨67的宽度d1,d2,d7较小，其中，该第一肋骨61的宽度d1为6mm、第二肋骨62的宽度d2为2.74mm及第七肋骨67的宽度d7为4mm，分别小于图6C所示的该蜂巢侧60b的中间部位的第一肋骨61、第二肋骨62及第七肋骨67的宽度d1,d2,d7，以减低综合型格栅地板6的重量，而该第三、第四、第五及第六肋骨63,64,65,66的宽度d3,d4,d5,d6则不变。

另外，该辅助肋67a,68相对于该蜂巢侧60b的高度h0,h8(如13㎜)低于中肋骨的高度，且其宽度d8为3㎜，且多个辅助肋67a,68对应形成于各该凹部R,S中，并沿单一方向延伸而未相互交错，如图6C所示的单一凹部R,S配置三条平行的辅助肋67a,68，以令每个子区域均具有四个镂空面积较小的长条形穿孔600，以形成48％以上的通风量。另外，该第一与第二肋骨61,62之间的凹部S可仅具有一个穿孔600(如图6C所示)或两个穿孔600(如图6D所示)。

因此，该综合型格栅地板6通过该穿孔600的设计，不仅可增加通风量，及利于节省材料及减轻重量，并可增加承载重量。

另外，该肋骨结构6a的部分高度h3,h6亦较小，即该中肋骨(第三及第六肋骨63,66)的高度h3,h6较主肋骨(该第一至第二、第四至第五及第七肋骨61～62,64～65,67)的高度h1,h2,h4,h5,h7小很多，以利于节省材料及减轻重量。

综上所述，本发明的综合型格栅地板1,2,3,4,5,6主要通过该天板10,20,30,40,50,60与该多个肋骨结构1a,2a,3a,4a,5a,6a采用铝合金一体成型铸造，且横向肋骨与纵向肋骨的排列方式相同而呈对称式，以于制作该综合型格栅地板1,2,3,4,5,6时不会产生变形，且不易产生缺陷及断裂等问题，故相较于现有技术，本发明的综合型格栅地板1,2,3,4,5,6不仅可靠性极佳，且有利于提升良率而节省制作成本。

再者，通过该穿孔100,200,300,400,500,600的设计，以形成50％以上的通风量，故能增加通风量，可满足半导体工艺设备的四周及淋浴室需较高的回风量的需求，以提高半导体工艺的清净度。

另外，通过该肋骨结构1a,2a,3a,4a,5a,6a的主肋骨相对于该蜂巢侧10b,20b,30b,40b,50b,60b的高度h1,h2,h4,h5,h7均至少为25毫米，以提升该综合型格栅地板1,2,3,4,5,6的结构强度，故该综合型格栅地板1,2,3,4,5,6能承受半导体工艺中较重的机台设备，以避免该综合型格栅地板1,2,3,4,5,6于使用中发生碎裂的问题。进一步，依该综合型格栅地板1,2,3,4,5,6的承载负荷大小以调整肋骨的高度h1～h7与宽度d1～d7大小，进而节省该综合型格栅地板1,2,3,4,5,6的材料及减轻重量。

另外，通过该辅助肋17a,18,27a,28,37a,38,47a,48,57a,58,67a,68的设计，可进一步提升该综合型格栅地板1,2,3,4,5,6的结构强度。

上述实施例仅用以例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。本领域技术人员均可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修改。因此本发明的权利保护范围，应如权利要求书所列。

Claims (13)

1.一种综合型格栅地板，包括：

天板，其具有相对的地面侧与蜂巢侧，其中，该天板上形成有多个连通该地面侧与蜂巢侧的穿孔，以形成48％以上或50％以上的通风量；以及

多个肋骨结构，其与该天板采用铝合金一体成型铸造而成，并设于该天板的蜂巢侧上以形成多个凹部，以令各该凹部中具有三个或四个该穿孔，其中，该肋骨结构由该天板边缘向中间处依序定义有第一肋骨、第二肋骨、第三肋骨、第四肋骨、第五肋骨、第六肋骨及第七肋骨，且该第一肋骨、第二肋骨、第四肋骨、第五肋骨及第七肋骨相对于该蜂巢侧的高度至少为25毫米，以作为主肋骨，而该第三肋骨及第六肋骨相对于该蜂巢侧的高度低于25毫米，以作为中肋骨。

2.如权利要求1所述的综合型格栅地板，其中，该多个凹部为阵列排设，以于该蜂巢侧上形成蜂巢结构。

3.如权利要求1所述的综合型格栅地板，其中，该第一肋骨形成于该天板边缘而成为该综合型格栅地板的边肋骨，以作为该综合型格栅地板的边框。

4.如权利要求1所述的综合型格栅地板，其中，该第一肋骨相对于该蜂巢侧的高度与该天板的厚度的总和为50至59.5毫米，而该天板的厚度为2至3毫米。

5.如权利要求1所述的综合型格栅地板，其中，该第二肋骨、第四肋骨、第五肋骨及第七肋骨相对于该蜂巢侧的高度为35至52.5毫米，且该第二肋骨、第四肋骨、第五肋骨及第七肋骨的宽度为3至5.5毫米。

6.如权利要求1所述的综合型格栅地板，其中，该第三肋骨及第六肋骨相对于该蜂巢侧的高度为17至22毫米，且该第三肋骨及第六肋骨的宽度为3至3.5毫米。

7.如权利要求1所述的综合型格栅地板，其中，该第一肋骨的宽度为4.8至8毫米。

8.如权利要求1所述的综合型格栅地板，其中，该肋骨结构于纵向及横向上以两条该第七肋骨形成一井字型肋骨，以将该综合型格栅地板分成四个区域，该四个区域中相邻的第二肋骨、第三肋骨、第四肋骨、第五肋骨及第六肋骨之间形成25个子区域，各该子区域均具有一凹部，并于该第七肋骨所形成的井字型肋骨的中央部位形成的另一凹部，并于每个子区域均具有三个长条形的该穿孔，以形成48％以上或50％以上的通风量，且于该天板的四周形成一翼板，使该翼板的厚度均大于该天板的厚度。

9.如权利要求1所述的综合型格栅地板，其中，该肋骨结构还包含高度低于该中肋骨的多个辅助肋，且该多个辅助肋对应形成于各该凹部中，以令单一该凹部中配置该多个辅助肋。

10.如权利要求9所述的综合型格栅地板，其中，该辅助肋相对于该蜂巢侧的高度为10至15毫米，且其宽度为3至3.5毫米。

11.如权利要求1所述的综合型格栅地板，其中，该蜂巢侧的相对两侧部位的该第一肋骨、第二肋骨及该第七肋骨的宽度分别小于该蜂巢侧的中间部位的该第一肋骨、第二肋骨及该第七肋骨的宽度，以减低该综合型格栅地板的重量。

12.如权利要求1所述的综合型格栅地板，其中，该第一肋骨用于支撑该综合型格栅地板所固定的脚架。

13.如权利要求1所述的综合型格栅地板，其中，该第一肋骨与该第二肋骨于该综合型格栅地板的四个角落上形成有脚座，该脚座固定于支撑脚架上。