CN216476110U - 综合型高架地板 - Google Patents

Abstract

一种综合型高架地板，包含有天板及肋骨结构，该肋骨结构于该天板上形成多个高度均至少为25毫米的主肋骨，以提升该综合型高架地板的结构强度，故当该综合型高架地板承受半导体工艺中较重的机台设备，可避免该综合型高架地板发生碎裂的问题。

Description

综合型高架地板

技术领域

本实用新型涉及一种地板，尤其涉及一种具有肋骨结构的综合型高架地板。

背景技术

目前半导体厂房中，均会配置具有多个微型穿孔的高架地板，以清净环境的空气品质，确保无尘室的规格。

目前高架地板采用模铸方式制作。于模铸成型工艺中，常借由模具制作所需的产品，且于进行模铸成型作业前，会先涂布离形层于该模具中，以利于后续脱模作业。

然而，现有高架地板的结构强度往往不足，故当该高架地板上承载半导体工艺中较重的机台设备时，该高架地板容易发生碎裂的问题。另一方面，亦有高架地板过重的问题，不仅浪费材料，且增加制造的成本。

因此，如何克服上述现有技术的问题，实已成为目前业界亟待克服的难题。

实用新型内容

鉴于上述现有技术的种种缺陷，本实用新型的目的在于提供一种综合型高架地板，可避免该综合型高架地板发生碎裂的问题。

本实用新型的综合型高架地板，包括：天板，其具有相对的地面侧与蜂巢侧；以及肋骨结构，其设于该天板的蜂巢侧上以形成多个凹部，其中，该肋骨结构由该天板边缘向中间处依序定义有第一肋骨、第二肋骨、第三肋骨、第四肋骨、第五肋骨、第六肋骨及第七肋骨，且该第一、第三、第五及第七肋骨作为主肋骨，其相对于该蜂巢侧的高度至少为25毫米，而该第二、第四及第六肋骨作为中肋骨，其相对于该蜂巢侧的高度低于25毫米。

前述的综合型高架地板中，该多个凹部为阵列排设，以于该蜂巢侧上形成蜂巢结构。

前述的综合型高架地板中，该第一肋骨形成于该天板边缘而成为该综合型高架地板的边肋骨，以作为该综合型高架地板的边框，供固接脚座。

前述的综合型高架地板中，该第一肋骨相对于该蜂巢侧的高度均高于第二至第七肋骨相对于该蜂巢侧的高度，且该第一肋骨与该天板的高度和为47至58毫米，而该天板的厚度为2.5至3.2毫米。

前述的综合型高架地板中，该第一肋骨的宽度为7至8毫米。

前述的综合型高架地板中，该第三肋骨相对于该蜂巢侧的高度为25至38毫米、该第五肋骨相对于该蜂巢侧的高度为32至38毫米及该第七肋骨相对于该蜂巢侧的高度为34.5至45毫米。

前述的综合型高架地板中，该第三肋骨的宽度为2.5至3毫米、该第五肋骨的宽度为2.5至3毫米及该第七肋骨的宽度为4至6毫米。

前述的综合型高架地板中，该第二、第四及第六肋骨相对于该蜂巢侧的高度为8至20毫米。

前述的综合型高架地板中，该第二、第四及第六肋骨的宽度为2.5至3.2毫米。

前述的综合型高架地板中，该肋骨结构复包含多个高度低于该中肋骨的辅助肋，且该多个辅助肋对应形成于各该凹部中，以令单一该凹部中配置多个该辅助肋。例如，该多个辅助肋沿多方向延伸而相互交错。或者，该多个辅助肋沿单一方向延伸而未相互交错。进一步，该辅助肋相对于该蜂巢侧的高度为2至6毫米，且其宽度为2.5至3毫米。

前述的综合型高架地板中，该天板上形成有连通该地面侧与蜂巢侧的多个穿孔，且该多个穿孔的位置对应该多个凹部。

前述的综合型高架地板中，该肋骨结构于纵向及横向上以两条该第七肋骨形成一井字型肋骨，以将该综合型高架地板分成四个区域，该四个区域中相邻的第二肋骨、第三肋骨、第四肋骨、第五肋骨及第六肋骨之间形成25个子区域，各该子区域均具有一凹部，该第一肋骨至第六肋骨以该井字型肋骨为基准对称分布，并于该第七肋骨所形成的井字型肋骨的中央部位形成的另一凹部，其内配置有十字形肋骨，且于该天板的四周形成一翼板，使该十字形肋骨的高度及该翼板的厚度均大于该天板的厚度，以提高该综合型高架地板在中间处的强度。例如，该井字型肋骨内借由该第二肋骨、第三肋骨、第四肋骨、第五肋骨及第六肋骨间隔出21个另一子区域，且各该子区域中均具有九个穿孔，但于该井字型肋骨的中央部位的子区域不形成该穿孔。

由上可知，本实用新型的综合型高架地板中，主要借由该肋骨结构的主肋骨相对于该蜂巢侧的高度均至少为25毫米，且该中肋骨的宽度及高度也不会低于25毫米太多，以提升该综合型高架地板的结构强度(如至少可承载700公斤重的机台设备)，故相较于现有技术，该综合型高架地板可承受半导体工艺中较重的机台设备，以避免该综合型高架地板于使用中发生碎裂的问题。

附图说明

图1A为本实用新型的综合型高架地板的第一实施例的立体示意图。

图1B为图1A的主视平面图。

图1C为图1B沿其中一方向的C-C剖线的剖面图。

图1D为图1B沿另一方向的D-D剖线的剖面图。

图1E为图1A的另一视角的立体示意图。

图2A为本实用新型的综合型高架地板的第二实施例的立体示意图。

图2B为图2A沿其中一方向的X-X剖线的剖面图。

图3A为本实用新型的综合型高架地板的第三实施例的立体示意图。

图3B为图3A的主视平面图。

图3C为图3B沿其中一方向的C-C剖线的剖面图。

图3D为图3B沿另一方向的D-D剖线的剖面图。

图4A为本实用新型的综合型高架地板的第四实施例的立体示意图。

图4B为图4A的主视平面图。

图4C为图4B沿其中一方向的C-C剖线的剖面图。

图5A为本实用新型的综合型高架地板的第五实施例的立体示意图。

图5B为图5A沿其中一方向的X-X剖线的剖面图。

图6A为本实用新型的综合型高架地板的第六实施例的立体示意图。

图6B为图6A沿其中一方向的X-X剖线的剖面图。

图7A为本实用新型的综合型高架地板的第七实施例的立体示意图。

图7B为图7A沿其中一方向的X-X剖线的剖面图。

图8A为本实用新型的综合型高架地板的第八实施例的主视平面图。图8B及图8C为图8A的其它实施例的主视平面图。

图8D为图8A的另一视角的立体示意图。

附图标记如下：

1,2,3,4,5,6,7,8:综合型高架地板

1a,2a,3a,4a,5a,6a,7a:肋骨结构

1b,2b,3b,4b,5b,6b,7b:脚座

1c:顶针位

1d,2d,3d,4d,5d,6d,7d:翼板

10,20,30,40,50,60,70:天板

10a,20a,30a,40a,50a,60a,70a:地面侧

10b,20b,30b,40b,50b,60b,70b:蜂巢侧

11,21,31,41,51,61,71:第一肋骨

12,22,32,42,52,62,72:第二肋骨

13,23,33,43,53,63,73:第三肋骨

14,14a,24,34,34a,44,44a,54,64,74:第四肋骨

15,25,35,35a,45,55,65,75:第五肋骨

16,16a,26,36,36a,46,46a,56,66,76:第六肋骨

17,27,37,47,57,67,77:第七肋骨

17a,27a,37a,47a,57a,67a,77a:十字形肋骨

38,48,58,68,78:辅助肋

80:穿孔

d1～d8:宽度

H:总高度

h0～h8:高度

L:长度

R,S:凹部

T:高度和

t0,t1:厚度

w:间隔距离

具体实施方式

以下借由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。

须知，本说明书所附附图所示出的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所公开的内容，以供本领域技术人员的了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所公开的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

图1A、图1B、图1C、图1D及图1E为本实用新型的综合型高架地板1的第一实施例的示意图。本实施例的综合型高架地板1为标准型，其用于承载较重负荷，如承载负荷约1000公斤。

所述的综合型高架地板1具有一天板10、以及设于该天板10上的肋骨结构1a。

所述的天板10具有相对的地面侧10a与蜂巢侧10b，且该蜂巢侧10b于纵向及横向上分别设有该肋骨结构1a，以于纵向及横向肋骨结构1a之间形成多个凹部S，其中，图1C显示纵向的肋骨结构1a，图1D显示横向的肋骨结构1a。

于本实施例中，该天板10大致呈矩形体，如正方形板，其长度L为600㎜及厚度t0为3.2㎜，并于该天板10的四周形成一翼板1d(其厚度t1为6㎜，大于该天板10的厚度t0)，且于该天板10的四个角落上形成有脚座1b，该脚座1b底部呈L型凸状(亦可呈L型凹状)，以供固定一支撑脚架(图略)。例如，该脚座1b用于调整该综合型高架地板1的总高度H，使得多个综合型高架地板1位于同一水平面。

再者，该地面侧10a为一平整表面，且多个凹部S为阵列排设，以于该蜂巢侧10b上形成一具有多个顶针位1c(约于每四个凹部S所组成的正方形区域的角落处上)的蜂巢结构。

所述的肋骨结构1a由该天板10边缘向中间处(或如图1B及图1C所示的左右方向)依序定义有第一肋骨11、第二肋骨12、第三肋骨13、第四肋骨14、第五肋骨15、第六肋骨16及第七肋骨17，且该第一、第三、第五及第七肋骨11,13,15,17相对于该蜂巢侧10b的高度h1,h3,h5,h7至少为25毫米(㎜)，而该第二、第四及第六肋骨12,14,16相对于该蜂巢侧10b的高度h2,h4,h6低于25毫米，故该第一、第三、第五及第七肋骨11,13,15,17作为主肋骨，而该第二、第四及第六肋骨12,14,16作为中肋骨，其中，该第一至第六肋骨11～16以第七肋骨17(井字型肋骨)为基准而左右对称(或如图1B所示的上下对称)分布，以令该第二肋骨12、第三肋骨13、第四肋骨14、第五肋骨15、第六肋骨16及第七肋骨17间的间隔距离w为48㎜。

于本实施例中，该第一肋骨11形成于该天板10边缘而成为该综合型高架地板1的边肋骨，以作为该综合型高架地板1的边框，供固接该脚座1b。例如，该第一肋骨11相对于该蜂巢侧10b的高度h1为49㎜，均大于第二至第七肋骨12～17相对于该蜂巢侧10b的高度h2～h7，且该第一肋骨11与该天板10的高度和T(即该第一肋骨11相对于该地面侧10a的高度)为52.2㎜(即T＝h1+t0)，而该脚座1b、该第一肋骨11与该天板10的总高度H(即综合型高架地板1的脚高)为55㎜。

再者，该肋骨结构1a的第二至第七肋骨12～17的高度h2～h7可依需求相同或不相同，如图1C所示。例如，第三肋骨13相对于该蜂巢侧10b的高度h3为36㎜、第五肋骨15相对于该蜂巢侧10b的高度h5为36㎜、第七肋骨17相对于该蜂巢侧10b的高度h7为36㎜、第二肋骨12相对于该蜂巢侧10b的高度h2为20㎜、第四肋骨14相对于该蜂巢侧10b的高度h4为20㎜及第六肋骨16相对于该蜂巢侧10b的高度h6为20㎜，其中，该纵向及横向的两条第七肋骨17形成一井字型肋骨，以将该综合型高架地板1分成四个区域，每个区域相邻的第二肋骨12、第三肋骨13、第四肋骨14、第五肋骨15及第六肋骨16之间形成25个子区域，每个子区域具有一凹部S，并于该井字型肋骨的中央部位形成另一种实施例的凹部R。进一步，该天板10于该凹部R的厚度为5.2㎜(大于该天板10的厚度t0)，且该凹部R内配置有十字形肋骨17a，其相对于该蜂巢侧10b的高度h0为12㎜(大于该天板10的厚度t0)，该天板10于该凹部R的厚度可依需求大于该天板10的厚度2㎜，以提高该综合型高架地板1在中间处的抗压强度。应可理解地，该天板10于该凹部R的厚度可依需求与该天板10的厚度t0相同，且该第二至第六肋骨12～16的高度h2～h6呈规律性设计。

另外，各该肋骨的宽度d1～d7可依需求相同或不相同，如图1C所示。例如，第一肋骨11的宽度d1为8㎜，第二肋骨12的宽度d2为2.7㎜、第三肋骨13的宽度d3为2.7㎜、第四肋骨14的宽度d4为2.5㎜、第五肋骨15的宽度d5为2.7㎜、第六肋骨16的宽度d6为2.7㎜及第七肋骨17的宽度d7为4.8㎜。

另外，该肋骨结构1a于另一方向(如图1B所示的上下方向)的设计，如图1D所示，除了第四肋骨14a与第六肋骨16a不相同外，其余肋骨均为相同尺寸，故可调整第四及第六肋骨14a,16a相对于该蜂巢侧10b的高度h4,h6为10㎜，且第四肋骨14a的宽度d4为2.7㎜。

由上可知，该综合型高架地板1的天板10的厚度t0较小，且该肋骨结构1a的部分高度h2,h4,h6亦较小，即该中肋骨(该第二、第四及第六肋骨12,14,16)的高度h2,h4,h6较主肋骨(该第一、第三、第五及第七肋骨11,13,15,17)的高度h1,h3,h5,h7小很多，以利于节省材料及减轻重量。

图2A及图2B为本实用新型的综合型高架地板2的第二实施例的示意图。本实施例的综合型高架地板2为标准型，其用于承载较重负荷，如承载负荷约1000公斤，且其与第一实施例的差异在于肋骨结构2a的局部高度的改变，故以下不再赘述相同处。

于本实施例中，该天板20的厚度t0为2.5㎜，该第一肋骨21相对于该蜂巢侧20b的高度h1为50.5㎜，该第一肋骨21与该天板20的高度和T(即该第一肋骨21相对于该地面侧20a的高度)为53㎜(即T＝h1+t0)，且该脚座2b、该第一肋骨21与该天板20的总高度H(即综合型高架地板2的脚高)为55㎜，其中，该翼板2d的厚度t1为6㎜，该第一肋骨21形成于该天板20边缘而成为该综合型高架地板2的边肋骨，以作为该综合型高架地板2的边框，且该第一至第六肋骨21～26以第七肋骨27为基准而左右对称(或如图2A所示的上下对称)分布。

再者，于该肋骨结构2a中，如图2B所示，第三肋骨23相对于该蜂巢侧20b的高度h3为25㎜、第五肋骨25相对于该蜂巢侧20b的高度h5为32㎜、第七肋骨27相对于该蜂巢侧20b的高度h7为45㎜、第二肋骨22相对于该蜂巢侧20b的高度h2为8㎜、第四肋骨24相对于该蜂巢侧20b的高度h4为8㎜及第六肋骨26相对于该蜂巢侧20b的高度h6为8㎜。另一方面，该天板20于该凹部R处的厚度增厚为5.5㎜(即大于该天板20于其它处的厚度t0约3㎜)，且该凹部R内配置有十字形肋骨27a，其相对于该蜂巢侧20b的高度h0为10㎜(大于该天板20的厚度t0)，以提高该综合型高架地板2在中间处的抗压强度。

另外，各该肋骨的宽度d1～d7可依需求相同或不相同，如图2B所示。例如，第一肋骨21的宽度d1为7.5㎜，第二肋骨22的宽度d2为2.5㎜、第三肋骨23的宽度d3为2.5㎜、第四肋骨24的宽度d4为2.5㎜、第五肋骨25的宽度d5为2.5㎜、第六肋骨26的宽度d6为2.5㎜及第七肋骨27的宽度d7为4.5㎜。

另外，该肋骨结构2a于另一方向(如图2A所示的上下方向)的设计同于图2B所示。

由上可知，该综合型高架地板2的肋骨结构2a的部分高度h2,h4,h6较小，即该中肋骨(该第二、第四及第六肋骨22,24,26)的高度h2,h4,h6较主肋骨(该第一、第三、第五及第七肋骨21,23,25,27)的高度h1,h3,h5,h7小很多，甚至于该天板20的厚度t0(如2.5㎜)小于第一实施例，且该脚座2b的规格、该天板20的长度L为600㎜及翼板2d的厚度t1为6㎜，均与第一实施例相同，以利于节省材料及减轻重量。

图3A、图3B、图3C及图3D为本实用新型的综合型高架地板3的第三实施例的示意图。本实施例的综合型高架地板3为轻型，其用于承载较轻负荷，如承载负荷约700公斤，且其与第二实施例的差异在于因承载负荷减少约300公斤，使得大部分肋骨结构3a的高度降低，且该肋骨结构3a增设辅助肋38，故以下不再赘述相同处。

如图3A、图3B及图3C所示，该肋骨结构3a增设多个体积远小于其它肋骨的辅助肋38，其相对于该蜂巢侧30b的高度h8(如2㎜)低于该中肋骨相对于该蜂巢侧30b的高度h2,h4,h6，且其宽度d8为3㎜。例如，多个辅助肋38对应形成于各该凹部S中，且沿两方向延伸而相互交错，如图3B所示的单一凹部S配置两条交错而呈十字状的辅助肋38。

于本实施例中，该天板30的厚度t0为3㎜，该脚座3b底部呈口型凸状(亦可呈口型凹状)，该第一肋骨31相对于该蜂巢侧30b的高度h1为44㎜，该第一肋骨31与该天板30的高度和T(即该第一肋骨31相对于该地面侧30a的高度)为47㎜(即T＝h1+t0)，且该脚座3b、该第一肋骨31与该天板30的总高度H为55㎜，其中，该翼板3d的厚度t1为6.25㎜，该第一肋骨31形成于该天板30边缘而成为该综合型高架地板3的边肋骨，以作为该综合型高架地板3的边框，且该第一至第六肋骨31～36以第七肋骨37为基准而左右对称(或如图3B所示的上下对称)分布。

再者，于该肋骨结构3a中，如图3C所示，第三肋骨33相对于该蜂巢侧30b的高度h3为34.5㎜、第五肋骨35相对于该蜂巢侧30b的高度h5为34.5㎜、第七肋骨37相对于该蜂巢侧30b的高度h7为34.5㎜、第二肋骨32相对于该蜂巢侧30b的高度h2为19㎜、第四肋骨34相对于该蜂巢侧30b的高度h4为19㎜及第六肋骨36相对于该蜂巢侧30b的高度h6为19㎜。另一方面，该天板30于该凹部R处的厚度与其它处的厚度t0相同(或于该凹部R处可增厚，如大于该天板20于其它处的厚度t0约3㎜)，且该凹部R内配置有十字形肋骨37a，其相对于该蜂巢侧30b的高度h0为8㎜(大于该天板30的厚度t0)，以提高该综合型高架地板3在中间处的抗压强度。

另外，各该肋骨的宽度d1～d7可依需求相同或不相同，如图3C所示。例如，第一肋骨31的宽度d1为7㎜，第二肋骨32的宽度d2为3.2㎜、第三肋骨33的宽度d3为3㎜、第四肋骨34的宽度d4为3.2㎜、第五肋骨35的宽度d5为3㎜、第六肋骨36的宽度d6为3.2㎜及第七肋骨37的宽度d7为4㎜。

另外，该综合型高架地板3的第四至第六肋骨34,35,36的高度h4～h6依序为低/高/低，故该肋骨结构3a于另一方向的设计，如图3D所示，可调整该第四至第六肋骨34a,35a,36a的高度h4～h6。例如，第四肋骨34a相对于该蜂巢侧30b的高度h4为6㎜、第五肋骨35a相对于该蜂巢侧30b的高度h5为19㎜及第六肋骨36a相对于该蜂巢侧30b的高度h6为6㎜，使第四至第六肋骨34a,35a,36a的高度h4～h6依序仍为低/高/低排设，但第五肋骨35a变成中肋骨，且该第五肋骨35的宽度d5变为3.2㎜。

由上可知，该综合型高架地板3的肋骨结构3a的部分高度h2,h4,h6较小，即该中肋骨(该第二、第四及第六肋骨32,34,36)的高度h2,h4,h6较主肋骨(该第一、第三、第五及第七肋骨31,33,35,37)的高度h1,h3,h5,h7小很多，且该天板30的长度L为600㎜与第一实施例相同，以利于节省材料及减轻重量。

图4A、图4B及图4C为本实用新型的综合型高架地板4的第四实施例的示意图。本实施例的综合型高架地板4为轻型，其用于承载较轻负荷，如承载负荷约700公斤，且其与第三实施例的差异在于辅助肋48的设计，故以下不再赘述相同处。

如图4A、图4B及图4C所示，该肋骨结构4a的辅助肋48对应形成于各该凹部S中，且沿单一方向延伸而未相互交错，以于单一凹部S配置两条平行的辅助肋48。

于本实施例中，该天板40的厚度t0为3㎜，该脚座4b底部呈口型凸状(亦可呈口型凹状)，该第一肋骨41相对于该蜂巢侧40b的高度h1为44㎜，该第一肋骨41与该天板40的高度和T(即该第一肋骨41相对于该地面侧40a的高度)为47㎜，且该脚座4b、该第一肋骨41与该天板40的总高度H为55㎜，其中，该翼板4d的厚度t1为6㎜，该第一肋骨41形成于该天板40边缘而成为该综合型高架地板4的边肋骨，以作为该综合型高架地板4的边框，且该第一至第六肋骨41～46以第七肋骨47为基准而左右对称(或如图4B所示的上下对称)分布。

再者，于该肋骨结构4a中，如图4C所示，第三肋骨43相对于该蜂巢侧40b的高度h3为38㎜、第五肋骨45相对于该蜂巢侧40b的高度h5为38㎜、第七肋骨47相对于该蜂巢侧40b的高度h7为38㎜、第二肋骨42相对于该蜂巢侧40b的高度h2为18㎜、第四肋骨44相对于该蜂巢侧40b的高度h4为18㎜及第六肋骨46相对于该蜂巢侧40b的高度h6为18㎜。另一方面，该天板40于该凹部R处的厚度为5㎜(大于其它处的厚度t0约3㎜)，且该凹部R内配置有十字形肋骨47a，其相对于该蜂巢侧40b的高度h0为12㎜(大于该天板40的厚度t0)，以提高该综合型高架地板4在中间处的抗压强度。

另外，各该肋骨的宽度d1～d7可依需求相同或不相同，如图4C所示。例如，第一肋骨41的宽度d1为7.5㎜，第二肋骨42的宽度d2为3㎜、第三肋骨43的宽度d3为3㎜、第四肋骨44的宽度d4为3㎜、第五肋骨45的宽度d5为3㎜、第六肋骨46的宽度d6为3㎜及第七肋骨47的宽度d7为5㎜。进一步，该肋骨结构4a于另一方向(如图4B所示的上下方向)的设计，除了第四肋骨44a及第六肋骨46a不相同外，其余肋骨均为相同尺寸，故可调整该第四及第六肋骨44a,46a相对于该蜂巢侧40b的高度h4,h6为8㎜，并调整该第四及第六肋骨44a,46a的宽度d4,d6为3.5㎜。

另外，该辅助肋48相对于该蜂巢侧40b的高度h8为6㎜，且其宽度d8变为2.5㎜。

由上可知，该综合型高架地板4的肋骨结构4a的部分高度h2,h4,h6亦较小，即该中肋骨(该第二、第四及第六肋骨42,44,46)的高度h2,h4,h6较主肋骨(该第一、第三、第五及第七肋骨41,43,45,47)的高度h1,h3,h5,h7小很多，且该天板40的长度L为600㎜与第一实施例相同，以利于节省材料及减轻重量。

图5A及图5B为本实用新型的综合型高架地板5的第五实施例的示意图。本实施例的综合型高架地板5为标准型，其用于承载较重负荷，如承载负荷约1000～1200公斤，且其与第一实施例的差异在于因承载负荷增加约200公斤，使得肋骨结构5a的局部高度的改变，故以下不再赘述相同处。

于本实施例中，该天板50的厚度t0为2.5㎜，该第一肋骨51相对于该蜂巢侧50b的高度h1为50.5㎜，该第一肋骨51与该天板50的高度和T(即该第一肋骨51相对于该地面侧50a的高度)为53㎜，且该脚座5b、该第一肋骨51与该天板50的总高度H为55㎜，其中，该翼板2d的厚度t1为6㎜，该第一肋骨51形成于该天板50边缘而成为该综合型高架地板5的边肋骨，以作为该综合型高架地板5的边框，且该第一至第六肋骨51～56以第七肋骨57为基准而左右对称(或如图5A所示的上下对称)分布。

再者，于该肋骨结构5a中，如图5B所示，第三肋骨53相对于该蜂巢侧50b的高度h3为25㎜、第五肋骨55相对于该蜂巢侧50b的高度h5为32㎜、第七肋骨57相对于该蜂巢侧50b的高度h7为45㎜、第二肋骨52相对于该蜂巢侧50b的高度h2为8㎜、第四肋骨54相对于该蜂巢侧50b的高度h4为8㎜及第六肋骨56相对于该蜂巢侧50b的高度h6为8㎜。另一方面，该天板50于该凹部R处的厚度增厚为5.5㎜(即大于该天板50于其它处的厚度t0约3㎜)，且该凹部R内配置有十字形肋骨57a，其相对于该蜂巢侧50b的高度h0为10㎜(大于该天板50的厚度t0)，以提高该综合型高架地板5在中间处的抗压强度。

另外，各该肋骨的宽度d1～d7可依需求相同或不相同，如图5B所示。例如，第一肋骨51的宽度d1为7.5㎜，第二肋骨52的宽度d2为2.5㎜、第三肋骨53的宽度d3为2.5㎜、第四肋骨54的宽度d4为2.5㎜、第五肋骨55的宽度d5为2.5㎜、第六肋骨56的宽度d6为2.5㎜及第七肋骨57的宽度d7为6㎜。进一步，该肋骨结构5a于另一方向(如图5A所示的上下方向)的设计同于图5B所示。

另外，该辅助肋58相对于该蜂巢侧50b的高度h8为3㎜，且其宽度d8为2.5㎜。

由上可知，该综合型高架地板5的肋骨结构5a的部分高度h2,h4,h6较小，即该中肋骨(该第二、第四及第六肋骨52,54,56)的高度h2,h4,h6较主肋骨(该第一、第三、第五及第七肋骨51,53,55,57)的高度h1,h3,h5,h7小很多，且该天板50的厚度t0为2.5㎜与长度L为600㎜及翼板5d的厚度t1为6㎜，甚至于该脚座5b的规格与第一实施例相同，以利于节省材料及减轻重量。

图6A及图6B为本实用新型的综合型高架地板6的第六实施例的示意图。本实施例的综合型高架地板6为标准型，其用于承载较重负荷，如承载负荷约1000～1200公斤，且其与第五实施例的差异在于肋骨结构6a的局部高度的改变，故以下不再赘述相同处。

如图6B所示，该辅助肋68相对于该蜂巢侧60b的高度h8为2.5㎜，且其宽度d8仍为2.5㎜。

于本实施例中，该天板60的厚度t0为2.5㎜，该第一肋骨61相对于该蜂巢侧60b的高度h1为50.5㎜，该第一肋骨61与该天板60的高度和T(即该第一肋骨61相对于该地面侧60a的高度)仍为53㎜，且该脚座6b、该第一肋骨61与该天板60的总高度H仍为55㎜，其中，该翼板6d的厚度t1为6㎜，该第一肋骨61形成于该天板60边缘而成为该综合型高架地板6的边肋骨，以作为该综合型高架地板6的边框，且该第一至第六肋骨61～66以第七肋骨67为基准而左右对称(或如图6A所示的上下对称)分布。

再者，于该肋骨结构6a中，第一至第七肋骨61～67相对于该蜂巢侧60b的高度h1～h7均同于第五实施例，且其宽度d1～d7亦同于第五实施例。另一方面，该天板60于该凹部R处的厚度同于第五实施例(即大于该天板60于其它处的厚度t0)，且该凹部R内配置有十字形肋骨67a，其相对于该蜂巢侧60b的高度h0为10㎜(大于该天板60的厚度t0)，以提高该综合型高架地板6在中间处的抗压强度。

由上可知，该综合型高架地板6的肋骨结构6a的部分高度h2,h4,h6较小，即该中肋骨(该第二、第四及第六肋骨62,64,66)的高度h2,h4,h6较主肋骨(该第一、第三、第五及第七肋骨61,63,65,67)的高度h1,h3,h5,h7小很多，且该天板60的厚度t0为2.5㎜与长度L为600㎜及翼板6d的厚度t1为6㎜，甚至于该脚座6b的规格，均与第五实施例相同，以利于节省材料及减轻重量。

图7A及图7B为本实用新型的综合型高架地板7的第七实施例的示意图。本实施例的综合型高架地板7为标准型，其用于承载较重负荷，如承载负荷约1000～1200公斤，且其与第五实施例的差异在于肋骨结构7a的局部高度的改变，故以下不再赘述相同处。

如图7B所示，该辅助肋78相对于该蜂巢侧70b的高度h8为2.5㎜，且其宽度d8为3㎜。

于本实施例中，该天板70的厚度t0为2.5㎜，该第一肋骨71相对于该蜂巢侧70b的高度h1为55.5㎜，该第一肋骨71与该天板70的高度和T(即该第一肋骨71相对于该地面侧70a的高度)为58㎜，且该脚座7b、该第一肋骨71与该天板70的总高度H为60㎜，其中，该翼板4d的厚度t1为6㎜，该第一肋骨71形成于该天板70边缘而成为该综合型高架地板7的边肋骨，以作为该综合型高架地板7的边框，且该第一至第六肋骨71～76以第七肋骨77为基准而左右对称(或如图7A所示的上下对称)分布。

再者，于该肋骨结构7a中，如图7B所示，第一至第七肋骨71～77相对于该蜂巢侧70b的高度h1～h7均同于第五实施例，且第一至第六肋骨71～76的宽度d1～d6亦均同于第五实施例，而第七肋骨77的宽度d7为5.3㎜。另一方面，该天板70于该凹部R处的厚度同于第五实施例(即大于该天板70于其它处的厚度t0)，且该凹部R内配置有十字形肋骨77a，其相对于该蜂巢侧70b的高度h0为10㎜(大于该天板70的厚度t0)，以提高该综合型高架地板7在中间处的抗压强度。

由上可知，该综合型高架地板7的肋骨结构7a的部分高度h2,h4,h6较小，即该中肋骨(该第二、第四及第六肋骨72,74,76)的高度h2,h4,h6较主肋骨(该第一、第三、第五及第七肋骨71,73,75,77)的高度h1,h3,h5,h7小很多，且该天板70的厚度t0为2.5㎜与长度L为600㎜及翼板7d的厚度t1为6㎜，甚至于该脚座7b的规格，均与第五实施例相同，以利于节省材料及减轻重量。

图8A、图8B、图8C及图8D为本实用新型的综合型高架地板8的第八实施例的示意图。本实施例与上述实施例的差异在于新增穿孔，故以下不再赘述相同处。

如图8A及图8D所示，基于第一实施例，该综合型高架地板8于该天板10上形成多个连通该地面侧10a与蜂巢侧10b的穿孔80，并以该第七肋骨17(井字型肋骨)将该蜂巢侧10b分成四个区域，每个区域又形成25个子区域(该凹部S)，该井字型肋骨内借由多个肋骨(该第二肋骨12、第三肋骨13、第四肋骨14、第五肋骨15及第六肋骨16)可间隔出21个子区域(该凹部R,S)，以令每个子区域均具有九个穿孔80，但于该井字型肋骨的中央部位的子区域(该凹部R)不形成该穿孔80。

于本实施例中，多个穿孔80的位置对应多个凹部S配置。例如，每一凹部S上形成有九个穿孔80，且该九个穿孔80为阵列排设。

因此，该第七肋骨17(井字型肋骨)的中央部位的凹部R可不设置该穿孔80，且其内十字形肋骨17a相对于该蜂巢侧10b的高度h0大于该天板10的厚度t0，以提高该综合型高架地板8的强度。

应可理解地，第二至第七实施例的综合型高架地板2～7亦可于其凹部S中形成多个穿孔80。例如，基于第三实施例，各排穿孔80相对十字形辅助肋38对称排列，如图8B所示；或者，基于第四实施例，以该辅助肋48隔开各排穿孔80，使每排具有三个穿孔80，如图8C所示。

综上所述，本实用新型的综合型高架地板1～8主要借由该肋骨结构1a～7a的主肋骨相对于该蜂巢侧10b～70b的高度h1,h3,h5,h7均至少为25毫米，以提升该综合型高架地板1～8的结构强度，故该综合型高架地板1～8能承受半导体工艺中较重的机台设备，以避免该综合型高架地板1～8于使用中发生碎裂的问题。进一步，依该综合型高架地板1～8的承载负荷大小以调整肋骨的高度h1～h7与宽度d1～d7大小，亦即承载负荷小的，则其肋骨的高度h1～h7与宽度d1～d7亦较小，以节省综合型高架地板1～8的材料及减轻重量。

再者，借由该辅助肋38～78的设计，可进一步提升该综合型高架地板3～7的结构强度。

上述实施例仅用以例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。本领域技术人员均可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修改。因此本实用新型的权利保护范围，应如权利要求书所列。

Claims (15)

1.一种综合型高架地板，其特征在于，包括：

天板，其具有相对的地面侧与蜂巢侧；以及

肋骨结构，其设于该天板的蜂巢侧上以形成多个凹部，其中，该肋骨结构由该天板边缘向中间处依序定义有第一肋骨、第二肋骨、第三肋骨、第四肋骨、第五肋骨、第六肋骨及第七肋骨，且该第一肋骨、第三肋骨、第五及第七肋骨相对于该蜂巢侧的高度至少为25毫米，以作为主肋骨，而该第二肋骨、第四肋骨及第六肋骨相对于该蜂巢侧的高度低于25毫米，以作为中肋骨。

2.如权利要求1所述的综合型高架地板，其特征在于，该多个凹部阵列排设，以于该蜂巢侧上形成蜂巢结构。

3.如权利要求1所述的综合型高架地板，其特征在于，该第一肋骨形成于该天板边缘而成为该综合型高架地板的边肋骨，以作为该综合型高架地板的边框，供固接脚座。

4.如权利要求1所述的综合型高架地板，其特征在于，该第一肋骨相对于该蜂巢侧的高度均高于第二肋骨至第七肋骨相对于该蜂巢侧的高度，且该第一肋骨与该天板的高度和为47至58毫米，而该天板的厚度为2.5至3.2毫米。

5.如权利要求1所述的综合型高架地板，其特征在于，该第一肋骨的宽度为7至8毫米。

6.如权利要求1所述的综合型高架地板，其特征在于，该第三肋骨相对于该蜂巢侧的高度为25至38毫米、该第五肋骨相对于该蜂巢侧的高度为32至38毫米及该第七肋骨相对于该蜂巢侧的高度为34.5至45毫米。

7.如权利要求1所述的综合型高架地板，其特征在于，该第三肋骨的宽度为2.5至3毫米、该第五肋骨的宽度为2.5至3毫米及该第七肋骨的宽度为4至6毫米。

8.如权利要求1所述的综合型高架地板，其特征在于，该第二肋骨、第四肋骨及第六肋骨相对于该蜂巢侧的高度为8至20毫米。

9.如权利要求1所述的综合型高架地板，其特征在于，该第二肋骨、第四肋骨及第六肋骨的宽度为2.5至3.2毫米。

10.如权利要求1所述的综合型高架地板，其特征在于，该肋骨结构复包含多个高度低于该中肋骨的辅助肋，且多个该辅助肋对应形成于各该凹部中，以令单一该凹部中配置多个该辅助肋。

11.如权利要求10所述的综合型高架地板，其特征在于，该多个辅助肋沿多方向延伸而相互交错。

12.如权利要求10所述的综合型高架地板，其特征在于，该辅助肋相对于该蜂巢侧的高度为2至6毫米，且其宽度为2.5至3毫米。

13.如权利要求1所述的综合型高架地板，其特征在于，该天板上形成有连通该地面侧与蜂巢侧的多个穿孔，且该多个穿孔的位置对应该多个凹部。

14.如权利要求1所述的综合型高架地板，其特征在于，该肋骨结构于纵向及横向上以两条该第七肋骨形成一井字型肋骨，以将该综合型高架地板分成四个区域，该四个区域中相邻的第二肋骨、第三肋骨、第四肋骨、第五肋骨及第六肋骨之间形成25个子区域，各该子区域均具有一凹部，该第一肋骨至第六肋骨以该井字型肋骨为基准对称分布，并于该第七肋骨所形成的井字型肋骨的中央部位形成的另一凹部，其内配置有十字形肋骨，且于该天板的四周形成一翼板，使该十字形肋骨的高度及该翼板的厚度均大于该天板的厚度，以提高该综合型高架地板在中间处的强度。

15.如权利要求14所述的综合型高架地板，其特征在于，该井字型肋骨内借由该第二肋骨、第三肋骨、第四肋骨、第五肋骨及第六肋骨间隔出21个另一子区域，且各该子区域中均具有九个穿孔，但于该井字型肋骨的中央部位的子区域不形成该穿孔。

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