CN217812108U - 高架地板 - Google Patents

Abstract

一种高架地板，包含有天板及肋骨结构，其中，该肋骨结构于该天板上形成多个高度均至少为25毫米的主肋骨，以提升该高架地板的结构强度，故当该高架地板承受半导体工艺中较重的机台设备，可避免该高架地板发生碎裂的问题。

Description

高架地板

技术领域

本实用新型涉及一种地板结构，尤其涉及一种具有肋骨结构的高架地板。

背景技术

目前半导体厂房中，均会配置具有多个微型穿孔的高架地板，以清净环境的空气品质，确保无尘室的规格。

目前高架地板采用模铸方式制作。于模铸成型工艺中，常借由模具制作所需的产品，且于进行模铸成型作业前，会先涂布离形层于该模具中，以利于后续脱模作业。

然而，现有高架地板的结构强度往往不足，故当该高架地板上承载半导体工艺中较重的机台设备时，该高架地板容易发生碎裂的问题。另一方面，亦有高架地板过重的问题，不仅浪费材料，且增加制造的成本。

因此，如何克服上述现有技术的问题，实已成为目前业界亟待克服的难题。

实用新型内容

鉴于上述现有技术的种种缺陷，本实用新型的目的在于提供一种高架地板，可避免该高架地板发生碎裂的问题。

本实用新型的标准型地板包括：天板，其具有相对的地面侧与蜂巢侧；以及肋骨结构，其设于该天板的蜂巢侧上以形成多个凹部，其中，该肋骨结构由该天板边缘向中间处依序定义有第一肋骨、第二肋骨、第三肋骨、第四肋骨、第五肋骨、第六肋骨及第七肋骨，且该第一、第二、第五及第七肋骨相对于该蜂巢侧的高度至少为25毫米，以作为主肋骨，而该第三、第四及第六肋骨相对于该蜂巢侧的高度低于25毫米，以作为中肋骨。

前述的高架地板中，该多个凹部为阵列排设，以于该蜂巢侧上形成蜂巢结构。

前述的高架地板中，该第一肋骨形成于该天板边缘而成为该高架地板的边肋骨，以作为该高架地板的边框，供固接脚座。

前述的高架地板中，该第一肋骨相对于该蜂巢侧的高度均大于该第二肋骨至第七肋骨相对于该蜂巢侧的高度，且该第一肋骨与该天板的高度和至少为53毫米，而该天板的厚度至少为2.5毫米。

前述的高架地板中，该第一肋骨的宽度至少为7.5毫米。

前述的高架地板中，该第二肋骨、第五肋骨及第七肋骨相对于该蜂巢侧的高度为30至47毫米。

前述的高架地板中，该第二肋骨、第五肋骨及第七肋骨的宽度为2.3至 4.5毫米。

前述的高架地板中，该第三肋骨、第四肋骨及第六肋骨相对于该蜂巢侧的高度均至少为20毫米。

前述的高架地板中，该第三肋骨、第四肋骨及第六肋骨的宽度均至少为 2.5毫米。

前述的高架地板中，该肋骨结构复包含高度低于该中肋骨的多个辅助肋，且该多个辅助肋对应形成于各该凹部中，以令单一该凹部中配置该多个辅助肋。例如，该多个辅助肋沿单一方向延伸而未相互交错。或者，该辅助肋相对于该蜂巢侧的高度至少为7毫米，且其宽度至少为2.5毫米。

前述的高架地板中，该天板上形成有连通该地面侧与蜂巢侧的多个穿孔，且该多个穿孔的位置对应该多个凹部，及相邻三个该穿孔之间设有单方向的该辅助肋。

前述的高架地板中，该肋骨结构于纵向及横向上以两条该第七肋骨形成一井字型肋骨，以将该高架地板分成四个区域，该四个区域中相邻的第二肋骨、第三肋骨、第四肋骨、第五肋骨及第六肋骨之间形成25个子区域，各该子区域均具有一凹部，并于该第七肋骨所形成的井字型肋骨的中央部位形成的另一凹部，其内配置有辅助肋，且于该天板的四周形成一翼板，使该辅助肋的高度及该翼板的厚度均大于该天板的厚度，以提高该高架地板在中间处的强度。例如，该第一肋骨至第六肋骨以该井字型肋骨为基准对称分布，且该井字型肋骨于连接该第一肋骨之处形成斜面，以减轻该高架地板的重量。或者，该井字型肋骨内借由该第二肋骨、第三肋骨、第四肋骨、第五肋骨及第六肋骨间隔出21个另一子区域，且各该子区域中均具有九个穿孔，但于该井字型肋骨的中央部位的子区域不形成该穿孔。

由上可知，本实用新型的高架地板中，主要借由该肋骨结构的主肋骨相对于该蜂巢侧的高度均至少为25毫米，以提升该高架地板的结构强度(如至少可承载1000公斤重的机台设备)，故相较于现有技术，该高架地板可承受半导体工艺中较重的机台设备，以避免该高架地板于使用中发生碎裂的问题。

附图说明

图1A为本实用新型的高架地板的第一实施例的立体示意图。

图1B为图1A的主视平面图。

图1C为图1B沿其中一方向的C-C剖线的剖面图。

图1D为图1A的另一视角的立体示意图。

图2A为本实用新型的高架地板的第二实施例的立体示意图。

图2B为图2A的主视平面图。

图2C为图2B沿其中一方向的C-C剖线的剖面图。

图2D为图2A的另一视角的立体示意图。

附图标记如下：

符号说明

1,2:高架地板

1a:肋骨结构

1b:脚座

1c:顶针位

1d:翼板

10:天板

10a:地面侧

10b:蜂巢侧

11:第一肋骨

12:第二肋骨

13:第三肋骨

14:第四肋骨

15:第五肋骨

16:第六肋骨

17:第七肋骨

17a,18:辅助肋

20:穿孔

d1～d8:宽度

H:总高度

h0～h8:高度

L:长度

R,S:凹部

T:高度和

t0,t1:厚度

w:间隔距离

具体实施方式

以下借由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。

须知，本说明书所附附图所示出的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所公开的内容，以供本领域技术人员的了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所公开的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

图1A、图1B、图1C及图1D为本实用新型的高架地板1的第一实施例的示意图。本实施例的高架地板1用于承载较重负荷，其承载负荷约1200 公斤。

所述的天板10具有相对的地面侧10a与蜂巢侧10b，且该蜂巢侧10b 于纵向及横向上分别设有该肋骨结构1a，以于该纵向及横向的肋骨结构1a 之间形成多个凹部S，其中，图1C仅显示纵向的肋骨结构1a，而横向的肋骨结构1a与纵向肋骨结构1a相同，故省略横向的肋骨结构1a的剖面。

于本实施例中，该天板10大致呈矩形体，如正方形板，其长度L为600 ㎜及厚度t0为2.5㎜，并于该天板10的四周形成一翼板1d(其厚度t1为6 ㎜，大于该天板10的厚度t0)，且于该天板10的四个角落上形成有脚座1b，其底部呈L型凸状(亦可呈L型凹状)，以供固定一支撑脚架(图略)。例如，该脚座1b用于调整该高架地板1的总高度H，使得多个高架地板1位于同一水平面。

再者，该地面侧10a为一平整表面，且多个凹部S为阵列排设，以于该蜂巢侧10b上形成一具有多个顶针位1c(约于每四个凹部S所组成的正方形区域的角落处上)的蜂巢结构。

所述的肋骨结构1a由该天板10边缘向中间处(或如图1B所示的上下侧向中间方向)依序定义有第一肋骨11、第二肋骨12、第三肋骨13、第四肋骨14、第五肋骨15、第六肋骨16及第七肋骨17，且该第一、第二、第五及第七肋骨11,12,15,17相对于该蜂巢侧10b的高度h1,h2,h5,h7至少为25毫米(㎜)，而该第三、第四及第六肋骨13,14,16相对于该蜂巢侧10b的高度 h3,h4,h6低于25毫米，故该第一、第二、第五及第七肋骨11,12,15,17作为主肋骨，而该第三、第四及第六肋骨13,14,16作为中肋骨，其中，该第一至第六肋骨11～16以第七肋骨17(井字型肋骨)为基准而左右对称(或如图 1B所示的上下对称)分布，以令该第二肋骨12、第三肋骨13、第四肋骨14、第五肋骨15、第六肋骨16及第七肋骨17间的间隔距离w为48㎜。

于本实施例中，该第一肋骨11形成于该天板10边缘而成为该高架地板 1的边肋骨，以作为该高架地板1的边框，供固接该脚座1b。例如，该第一肋骨11相对于该蜂巢侧10b的高度h1至少为50.5㎜，均大于该第二至第七肋骨12～17相对于该蜂巢侧10b的高度h2～h7，且该第一肋骨11与该天板 10的高度和T(即该第一肋骨11相对于该地面侧10a的高度)至少为53㎜ (即T＝h1+t0)，而该脚座1b、该第一肋骨11与该天板10的总高度H(即高架地板1的脚高)至少为55㎜。

再者，该肋骨结构1a的第二至第七肋骨12～17的高度h2～h7可依需求相同或不相同，且该第一肋骨11与中间处的该凹部S之间的主肋骨(即第二肋骨12、第五肋骨15及第七肋骨17)的排列方式采用高度递增或递减方式排列，如图1C所示。例如，第二肋骨12相对于该蜂巢侧10b的高度h2 为32㎜、第五肋骨15相对于该蜂巢侧10b的高度h5为35㎜、第七肋骨17 相对于该蜂巢侧10b的高度h7为45㎜、该第三、第四及第六肋骨13,14,16 相对于该蜂巢侧10b的高度h3,h4,h6均为20㎜，其中，该纵向及横向的两条第七肋骨17形成一井字型肋骨，以将该高架地板1分成四个区域，每个区域相邻的第二肋骨12、第三肋骨13、第四肋骨14、第五肋骨15及第六肋骨16之间形成25个子区域，每个子区域具有一凹部S，并于第七肋骨17 的井字型肋骨的中央部位形成另一种实施例的凹部R。进一步，该天板10 于该凹部R处的厚度与其它处的厚度t0相同(或于该凹部R处可增厚)，且该凹部R内配置有两平行辅助肋17a，其内辅助肋17a相对于该蜂巢侧10b 的高度h0(如至少7㎜)大于该天板10的厚度t0，以提高该高架地板1在中间处的抗压强度。

另外，各该肋骨的宽度可依需求相同或不相同，如图1C所示。例如，第一肋骨11的宽度d1为7.5㎜、第二肋骨12的宽度d2为2.5㎜、第三肋骨13的宽度d3为2.5㎜、第四肋骨14的宽度d4为2.5㎜、第五肋骨15的宽度d5为3㎜、第六肋骨16的宽度d6为2.5㎜及第七肋骨17的宽度d7 为4.2㎜。

另外，该肋骨结构1a可依需求增设多个体积远小于其它肋骨的辅助肋 18，其相对于该蜂巢侧10b的高度h8(如8㎜)低于该中肋骨相对于该蜂巢侧10b的高度h3,h4,h6，且其宽度d8为3㎜。例如，多个辅助肋18对应形成于多个凹部S中，且沿单一方向延伸而未相互交错，如图1B所示的单一凹部S配置两条平行的辅助肋18。

由上可知，该高架地板1的天板10的厚度t0较小，且该肋骨结构1a 的大部分的高度h3,h4,h6亦较小，即该中肋骨(第三、第四及第六肋骨 13,14,16)的高度h3,h4,h6较主肋骨(该第一、第二、第五及第七肋骨 11,12,15,17)的高度h1,h2,h5,h7小很多，以利于节省材料及减轻重量。

再者，该第七肋骨17所形成的井字型肋骨于连接该第一肋骨11之处形成斜面，以减轻该高架地板1的重量。

图2A、图2B、图2C及图2D为本实用新型的高架地板2的第二实施例的示意图。本实施例与上述实施例的差异在于新增穿孔，故以下不再赘述相同处。

如图2A、图2B、图2C及图2D所示，该高架地板2于该天板10上形成多个连通该地面侧10a与蜂巢侧10b的穿孔20，并以该第七肋骨17(井字型肋骨)将该蜂巢侧10b分成四个区域，每个区域又形成25个子区域(该凹部S)，该井字型肋骨内借由多个肋骨(该第二肋骨12、第三肋骨13、第四肋骨14、第五肋骨15及第六肋骨16)可间隔出21个另一子区域(该凹部R,S)，以令每个子区域均具有九个穿孔20，且在每个子区域内相邻三个穿孔20之间设有单方向的辅助肋18，以加强该穿孔20之间的该天板10的强度，且在压铸过程中较容易制作凹孔，但于该井字型肋骨的中央部位的子区域(该凹部R)不形成该穿孔20。

于本实施例中，多个穿孔20的位置对应多个凹部S配置。例如，每一凹部S上形成有九个穿孔20，且该九个穿孔20为阵列排设，使每排具有三个穿孔20。

因此，该第七肋骨17(井字型肋骨)的中央部位的凹部R可不设置该穿孔20，且其内辅助肋17a相对于该蜂巢侧10b的高度h0(如至少7㎜) 大于该天板10的厚度t0，以提高该高架地板2的强度。

综上所述，本实用新型的高架地板1,2主要借由该肋骨结构1a的主肋骨相对于该蜂巢侧10b的高度h1,h2,h5,h7均至少为25毫米，以提升该高架地板1,2的结构强度，故该高架地板1,2能承受半导体工艺中较重的机台设备，以避免该高架地板1,2于使用中发生碎裂的问题。进一步，依该高架地板1,2 的承载负荷大小以调整肋骨的高度h1～h7与宽度d1～d7大小，亦即承载负荷小的，则其肋骨的高度h1～h7与宽度d1～d7亦较小，以节省高架地板1,2的材料及减轻重量。

再者，借由该辅助肋17a,18的设计，可进一步提升该高架地板1,2的结构强度。

上述实施例仅用以例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。本领域技术人员均可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修改。因此本实用新型的权利保护范围，应如权利要求书所列。

Claims (16)

1.一种高架地板，其特征在于，包括：

天板，其具有相对的地面侧与蜂巢侧；以及

肋骨结构，其设于该天板的蜂巢侧上以形成多个凹部，其中，该肋骨结构由该天板边缘向中间处依序定义有第一肋骨、第二肋骨、第三肋骨、第四肋骨、第五肋骨、第六肋骨及第七肋骨，且该第一肋骨、第二肋骨、第五肋骨及第七肋骨相对于该蜂巢侧的高度至少为25毫米，以作为主肋骨，而该第三肋骨、第四肋骨及第六肋骨相对于该蜂巢侧的高度低于25毫米，以作为中肋骨。

2.如权利要求1所述的高架地板，其特征在于，该多个凹部为阵列排设，以于该蜂巢侧上形成蜂巢结构。

3.如权利要求1所述的高架地板，其特征在于，该第一肋骨形成于该天板边缘而成为该高架地板的边肋骨，以作为该高架地板的边框，供固接脚座。

4.如权利要求1所述的高架地板，其特征在于，该第一肋骨相对于该蜂巢侧的高度均大于该第二肋骨至第七肋骨相对于该蜂巢侧的高度，且该第一肋骨与该天板的高度和至少为53毫米，而该天板的厚度至少为2.5毫米。

5.如权利要求1所述的高架地板，其特征在于，该第一肋骨的宽度至少为7.5毫米。

6.如权利要求1所述的高架地板，其特征在于，该第二肋骨、第五肋骨及第七肋骨相对于该蜂巢侧的高度为30毫米至47毫米。

7.如权利要求1所述的高架地板，其特征在于，该第二肋骨、第五肋骨及第七肋骨的宽度为2.3毫米至4.5毫米。

8.如权利要求1所述的高架地板，其特征在于，该第三肋骨、第四肋骨及第六肋骨相对于该蜂巢侧的高度均至少为20毫米。

9.如权利要求1所述的高架地板，其特征在于，该第三肋骨、第四肋骨及第六肋骨的宽度均至少为2.5毫米。

10.如权利要求1所述的高架地板，其特征在于，该肋骨结构复包含高度低于该中肋骨的多个辅助肋，且该多个辅助肋对应形成于各该凹部中，以令单一该凹部中配置该多个辅助肋。

11.如权利要求10所述的高架地板，其特征在于，该多个辅助肋沿单一方向延伸而未相互交错。

12.如权利要求10所述的高架地板，其特征在于，该辅助肋相对于该蜂巢侧的高度至少为7毫米，且其宽度至少为2.5毫米。

13.如权利要求10所述的高架地板，其特征在于，该天板上形成有连通该地面侧与蜂巢侧的多个穿孔，且该多个穿孔的位置对应该多个凹部，及相邻三个该穿孔之间设有单方向的该辅助肋。

14.如权利要求1所述的高架地板，其特征在于，该肋骨结构于纵向及横向上以两条该第七肋骨形成一井字型肋骨，以将该高架地板分成四个区域，该四个区域中相邻的第二肋骨、第三肋骨、第四肋骨、第五肋骨及第六肋骨之间形成25个子区域，各该子区域均具有一凹部，并于该第七肋骨所形成的井字型肋骨的中央部位形成的另一凹部，其内配置有辅助肋，且于该天板的四周形成一翼板，使该辅助肋的高度及该翼板的厚度均大于该天板的厚度，以提高该高架地板在中间处的强度。

15.如权利要求14所述的高架地板，其特征在于，该第一肋骨至第六肋骨以该井字型肋骨为基准对称分布，且该井字型肋骨于连接该第一肋骨之处形成斜面，以减轻该高架地板的重量。

16.如权利要求14所述的高架地板，其特征在于，该井字型肋骨内借由该第二肋骨、第三肋骨、第四肋骨、第五肋骨及第六肋骨间隔出21个另一子区域，且各该子区域中均具有九个穿孔，但于该井字型肋骨的中央部位的子区域不形成该穿孔。

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