CN116357040A - 重型高架地板 - Google Patents

Abstract

一种重型高架地板，包含有天板及肋骨结构，其中，该肋骨结构于该天板上形成多个高度均至少为25毫米的主肋骨，以提升该重型高架地板的结构强度，故当该重型高架地板承受半导体工艺中较重的机台设备，可避免该重型高架地板发生碎裂的问题。

Description

重型高架地板

技术领域

本发明涉及一种地板，尤其涉及一种具有肋骨结构的重型高架地板。

背景技术

目前半导体厂房中，均会配置具有多个微型穿孔的高架地板，以清净环 境的空气品质，确保无尘室的规格。

目前高架地板采用模铸方式制作。于模铸成型工艺中，常借由模具制作 所需的产品，且于进行模铸成型作业前，会先涂布离形层于该模具中，以利 于后续脱模作业。

然而，现有高架地板的结构强度往往不足，故当该高架地板上承载半导 体工艺中较重的机台设备时，该高架地板容易发生碎裂的问题。另一方面， 亦有高架地板过重的问题，不仅浪费材料，且增加制造的成本。

因此，如何克服上述现有技术的问题，实已成为目前业界亟待克服的难 题。

发明内容

鉴于上述现有技术的种种缺陷，本发明的目的在于提供一种重型高架地 板，可避免该重型高架地板发生碎裂的问题。

本发明的重型高架地板，包括：天板，其具有相对的地面侧与蜂巢侧； 以及肋骨结构，其设于该天板的蜂巢侧上以形成多个凹部，其中，该肋骨结 构由该天板边缘向中间处依序定义有第一肋骨、第二肋骨、第三肋骨、第四 肋骨、第五肋骨、第六肋骨及第七肋骨，且该第一至第七肋骨作为主肋骨， 其相对于该蜂巢侧的高度至少为25毫米。

前述的重型高架地板中，该多个凹部为阵列排设，以于该蜂巢侧上形成 蜂巢结构。

前述的重型高架地板中，该第一肋骨形成于该天板边缘而成为该重型高 架地板的边肋骨，以作为该重型高架地板的边框，供固接脚座。

前述的重型高架地板中，该第一肋骨与该天板的高度和为51毫米至62 毫米，而该天板的厚度为2.7毫米至4.8毫米。

前述的重型高架地板中，该第一肋骨的宽度为8.3至9.8毫米。

前述的重型高架地板中，该第二肋骨至第七肋骨相对于该蜂巢侧的高度 为25毫米至56.5毫米。

前述的重型高架地板中，该第二肋骨至第七肋骨的宽度为3.0毫米至9.4 毫米。

前述的重型高架地板中，该肋骨结构还包含高度低于25毫米的多个辅 助肋，且该多个辅助肋对应形成于各该凹部中，以令单一该凹部中配置该多 个辅助肋。例如，该多个辅助肋沿单一方向延伸而未相互交错。或者，该辅 助肋相对于该蜂巢侧的高度至少为6毫米，且其宽度至少为2.5毫米。

前述的重型高架地板中，该天板上形成有连通该地面侧与蜂巢侧的多个 穿孔，且该多个穿孔的位置对应该多个凹部，及相邻三个该穿孔之间设有单 方向的该辅助肋。

前述的重型高架地板中，该肋骨结构于纵向及横向上以两条该第七肋骨 形成一井字型肋骨，以将该重型高架地板分成四个区域，该四个区域中相邻 的第二肋骨、第三肋骨、第四肋骨、第五肋骨及第六肋骨之间形成25个子 区域，各该子区域均具有一凹部，该第一肋骨至第六肋骨以该井字型肋骨为 基准对称分布，并于该第七肋骨所形成的井字型肋骨的中央部位形成的另一 凹部，于该凹部处的厚度增厚大于该天板的厚度，其内配置有十字形肋骨， 且于该天板的四周形成一翼板，使该十字形肋骨的高度及该翼板的厚度均大于该天板的厚度，以提高该重型高架地板在中间处的强度。例如，该井字型 肋骨内借由该第二肋骨、第三肋骨、第四肋骨、第五肋骨及第六肋骨间隔出 21个另一子区域，且各该子区域中均具有九个穿孔，但于该井字型肋骨的中 央部位的子区域不形成该穿孔。

由上可知，本发明的重型高架地板中，主要借由该肋骨结构的主肋骨相 对于该蜂巢侧的高度均至少为25毫米，以提升该重型高架地板的结构强度 (如至少可承载1500公斤重的机台设备)，故相较于现有技术，该重型高架 地板可承受半导体工艺中较重的机台设备，以避免该重型高架地板于使用中 发生碎裂的问题。

附图说明

图1A为本发明的重型高架地板的第一实施例的立体示意图。 图1B为图1A的主视平面图。

图1C为图1B沿其中一方向的C-C剖线的剖面图。

图1D为图1A的另一视角的立体示意图。

图2A为本发明的重型高架地板的第二实施例的立体示意图。 图2B为图2A的主视平面图。

图2C为图2B沿其中一方向的C-C剖线的剖面图。

图3A为本发明的重型高架地板的第三实施例的立体示意图。 图3B为图3A的主视平面图。

图3C为图3B沿其中一方向的C-C剖线的剖面图。

图4A为本发明的重型高架地板的第四实施例的立体示意图。 图4B为图4A的主视平面图。

图4C为图4B沿其中一方向的C-C剖线的剖面图。

图4D为图4A的另一视角的立体示意图。

附图标记如下：

1,2,3,4:重型高架地板

1a,2a,3a:肋骨结构

1b,2b,3b:脚座

1c:顶针位

1d,2d,3d:翼板

10,20,30:天板

10a,20a,30a:地面侧

10b,20b,30b:蜂巢侧

11,21,31:第一肋骨

12,22,32:第二肋骨

13,23,33:第三肋骨

14,24,34:第四肋骨

15,25,35:第五肋骨

16,26,36:第六肋骨

17,27,37:第七肋骨

17a,27a,37a:十字形肋骨

18,28,38:辅助肋

40:穿孔

d1～d8:宽度

H:总高度

h0～h8:高度

L:长度

R,S:凹部

T:高度和

t0,t1:厚度

w:间隔距离

具体实施方式

以下借由特定的具体实施例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可 由本说明书所公开的内容轻易地了解本发明的其他优点及功效。

须知，本说明书所附附图所示出的结构、比例、大小等，均仅用以配合 说明书所公开的内容，以供本领域技术人员的了解与阅读，并非用以限定本 发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例 关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目 的下，均应仍落在本发明所公开的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说 明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”及“一”等的用语，亦仅为便 于叙述的明了，而非用以限定本发明可实施的范围，其相对关系的改变或调 整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本发明可实施的范畴。

图1A、图1B、图1C及图1D为本发明的重型高架地板1的第一实施例 的示意图。本实施例的重型高架地板1用于承载较重负荷，其承载负荷约 1500公斤。

所述的重型高架地板1具有一天板10、以及设于该天板10上的肋骨结 构1a。

所述的天板10具有相对的地面侧10a与蜂巢侧10b，且该蜂巢侧10b 于纵向及横向上分别设有该肋骨结构1a，以于该纵向及横向的肋骨结构1a 之间形成多个凹部S，其中，图1C仅显示纵向的肋骨结构1a，而横向的肋 骨结构1a与纵向肋骨结构1a相同，故省略横向的肋骨结构1a的剖面。

于本实施例中，该天板10大致呈矩形体，如正方形板，其长度L为600 ㎜及厚度t0为3㎜，并于该天板10的四周形成一翼板1d(其厚度t1为6 ㎜，大于该天板10的厚度t0)，且于该天板10的四个角落上形成有脚座1b， 其底部呈口型凸状(亦可呈口型凹状)，以供固定一支撑脚架(图略)。例如， 该脚座1b用于调整该重型高架地板1的总高度H，使得多个重型高架地板1 位于同一水平面。

再者，该地面侧10a为一平整表面，且多个凹部S为阵列排设，以于该 蜂巢侧10b上形成一具有多个顶针位1c(约于每四个凹部S所组成的正方形 区域的角落处上)的蜂巢结构。

所述的肋骨结构1a由该天板10边缘向中间处(或如图1B及图1C所示 的左右侧向中间方向)依序定义有第一肋骨11、第二肋骨12、第三肋骨13、 第四肋骨14、第五肋骨15、第六肋骨16及第七肋骨17，且该第一至第七肋 骨11～17相对于该蜂巢侧10b的高度h1～h7均至少为25毫米(㎜)，故该第一 至第七肋骨11～17作为主肋骨，其中，该第一至第六肋骨11～16以第七肋骨 17(井字型肋骨)为基准而左右对称(或如图1B所示的上下对称)分布， 以令该第二肋骨12、第三肋骨13、第四肋骨14、第五肋骨15、第六肋骨16 及第七肋骨17间的间隔距离w为48㎜。

于本实施例中，该第一肋骨11形成于该天板10边缘而成为该重型高架 地板1的边肋骨，以作为该重型高架地板1的边框，供固接该脚座1b。例如， 该第一肋骨11相对于该蜂巢侧10b的高度h1为50㎜(等于该第二及第七 肋骨12,17相对于该蜂巢侧10b的高度h2,h7)大于第三至第六肋骨13～16 相对于该蜂巢侧10b的高度h3～h7，且该第一肋骨11与该天板10的高度和 T(即该第一肋骨11相对于该地面侧10a的高度)为53㎜(即T＝h1+t0)， 而该脚座1b、该第一肋骨11与该天板10的总高度H(即重型高架地板1 的脚高)为55㎜。

再者，该肋骨结构1a的第二至第七肋骨的高度h2～h7可依需求相同或 不相同，且该第一肋骨11与中间处的该凹部S之间的主肋骨(即第二至第 七肋骨12～17)的排列方式依据高度采用对称方式排列，如图1C所示。例 如，第二肋骨12相对于该蜂巢侧10b的高度h2为50㎜、第三肋骨13相对 于该蜂巢侧10b的高度h3为25㎜、第四肋骨14相对于该蜂巢侧10b的高 度h4为38㎜、第五肋骨15相对于该蜂巢侧10b的高度h5为38㎜、第六 肋骨16相对于该蜂巢侧10b的高度h6为25㎜及第七肋骨17相对于该蜂巢 侧10b的高度h7为50㎜，其中，该纵向及横向的两条第七肋骨17形成一 井字型肋骨，以将该重型高架地板1分成四个区域，每个区域相邻的第二肋 骨12、第三肋骨13、第四肋骨14、第五肋骨15及第六肋骨16之间形成25 个子区域，每个子区域具有一凹部S，并于该井字型肋骨的中央部位形成另 一种方式的凹部R。进一步，该天板10于该凹部R的厚度可依需求大于该 天板20于其它处的厚度t0(即该天板20于该凹部R处的厚度增厚为6㎜) 或与该天板10的厚度t0相同，且该凹部R内配置有十字形肋骨17a，其相 对于该蜂巢侧10b的高度h0为14㎜(大于该天板10的厚度t0)，以提高该 重型高架地板1在中间处的抗压强度。

另外，各该肋骨的宽度d1～d7可依需求相同或不相同，如图1C所示， 且该第一肋骨11与中间凹部R之间的肋骨的宽度d2～d7采用对称方式设计。 例如，第一肋骨11的宽度d1为8.5㎜、第二肋骨12的宽度d2为5㎜、第 三肋骨13的宽度d3为3.5㎜、第四肋骨14的宽度d4为3.2㎜、第五肋骨 15的宽度d5为3.2㎜、第六肋骨16的宽度d6为3.5㎜及第七肋骨17的宽 度d7为5㎜。

另外，该肋骨结构1a可依需求增设多个体积远小于该主肋骨的辅助肋 18，如图1C所示，其相对于该蜂巢侧10b的高度h8(如至少8㎜)低于该 主肋骨相对于该蜂巢侧20b的高度h1～h7，且其宽度d8至少为2.5㎜。例如， 多个所述辅助肋18对应形成于各该凹部S中，且沿单一方向延伸而未相互 交错，如图1C所示的单一凹部S配置两条平行的辅助肋18。

由上可知，该重型高架地板1的天板10的厚度t0较小，以利于节省材 料及减轻重量。

图2A、图2B及图2C为本发明的重型高架地板2的第二实施例的示意 图。本实施例的重型高架地板2亦用于承载较重负荷，其承载负荷超过3000 公斤，且其与第一实施例的差异在于该肋骨结构2a的局部高度的改变，故 以下不再赘述相同处。

于本实施例中，该天板20的厚度t0为4.5㎜，该第一肋骨21相对于该 蜂巢侧20b的高度h1至少为48.5㎜，且该第一肋骨21与该天板20的高度 和T(即该第一肋骨21相对于该地面侧20a的高度)至少为53㎜，而该脚 座2b、该第一肋骨21与该天板20的总高度H至少为55㎜，其中，该翼板 2d的厚度t1至少为6㎜，该第一肋骨21形成于该天板20边缘而成为该重型高架地板2的边肋骨，以作为该重型高架地板2的边框，且该第一至第六 肋骨21～26以第七肋骨27为基准而左右对称(或如图2B所示的上下对称) 分布。

再者，第二至第七肋骨22～27相对于该蜂巢侧20b的高度h2～h7均至少 为48.5㎜，即该第一至第七肋骨21～27等高。另一方面，该天板20于该凹 部R处的厚度增厚至少为7.5㎜(即大于该天板20于其它处的厚度t0)，且 该凹部R内配置有十字形肋骨27a，其相对于该蜂巢侧20b的高度h0至少 为15㎜(大于该天板20的厚度t0)，以提高该重型高架地板2在中间处的 抗压强度。

另外，各该肋骨的宽度d1～d7可依需求相同或不相同，如图2C所示。 例如，第一肋骨21的宽度d1为9.5㎜、第二肋骨22的宽度d2为8.5㎜、 第三至第六肋骨23～26的宽度d3～d6均为4㎜及第七肋骨27的宽度d7为6 ㎜。

另外，该辅助肋28相对于该蜂巢侧20b的高度h8至少为6㎜，且其宽 度d8至少为2.5㎜。

由上可知，该肋骨结构2a的高度h1～h7大致相等，以利于平衡重量分 布。

图3A、图3B及图3C为本发明的重型高架地板3的第三实施例的示意 图。本实施例的重型高架地板3亦用于承载较重负荷，其承载负荷超过3000 公斤，且其与第二实施例的差异在于肋骨结构3a的局部高度的改变，故以 下不再赘述相同处。

于本实施例中，该天板30的厚度t0为4.5㎜，该第一肋骨31相对于该 蜂巢侧30b的高度h1为55.5㎜，且该第一肋骨31与该天板30的高度和T (即该第一肋骨31相对于该地面侧30a的高度)为60㎜，而该脚座3b、该 第一肋骨31与该天板30的总高度H为62㎜，其中，该翼板3d的厚度t1 为6㎜，该第一肋骨31形成于该天板30边缘而成为该重型高架地板3的边肋骨，以作为该重型高架地板3的边框，且该第一至第六肋骨31～36以第七 肋骨37为基准而左右对称(或如图3B所示的上下对称)分布。

再者，于肋骨结构3a中，如图3C所示，第二肋骨32相对于该蜂巢侧 30b的高度h2为55.5㎜、第三至第七肋骨33～37相对于该蜂巢侧30b的高 度h3～h7均为51㎜。另一方面，该天板30于该凹部R处的厚度增厚为7.5 ㎜(即大于该天板30于其它处的厚度t0)，且该凹部R内配置有十字形肋骨 37a，其相对于该蜂巢侧30b的高度h0为15㎜(大于该天板30的厚度t0)， 以提高该重型高架地板3在中间处的抗压强度。

另外，各该肋骨的宽度d1～d7可依需求相同或不相同，如图3C所示。 例如，第一肋骨31的宽度d1为9.5㎜、第二肋骨32的宽度d2为9㎜、第 三至第六肋骨33～36的宽度d3～d6均为3.5㎜及第七肋骨37的宽度d7为5 ㎜。

另外，该辅助肋38相对于该蜂巢侧10b的高度h8至少为6㎜，且其宽 度d8为2.5㎜。

由上可知，该肋骨结构3a的部分高度h3～h7大致相等，以利于平衡重 量分布。

图4A、图4B、图4C及图4D为本发明的重型高架地板4的第四实施例 的示意图。本实施例与上述实施例的差异在于新增穿孔，故以下不再赘述相 同处。

如图4A、图4B、图4C及图4D所示，基于第一实施例，该重型高架地 板4于该天板10上形成多个连通该地面侧10a与蜂巢侧10b的穿孔40，并 以该第七肋骨17(井字型肋骨)将该蜂巢侧10b分成四个区域，每个区域又 形成25个子区域(该凹部S)，该井字型肋骨内借由多个所述肋骨(该第二 肋骨12、第三肋骨13、第四肋骨14、第五肋骨15及第六肋骨16)可间隔 出21个另一子区域(该凹部R,S)，以令每个子区域均具有九个穿孔40，且 在每个子区域内相邻三个穿孔40之间设有单方向的辅助肋18，以加强穿孔 40之间的该天板10的强度，且在压铸过程中较容易制作凹孔，但于该井字 型肋骨的中央部位的子区域(该凹部R)不形成该穿孔40。

于本实施例中，多个所述穿孔40的位置对应多个所述凹部S配置。例 如，每一凹部S上形成有九个穿孔40，且该九个穿孔40为阵列排设，使每 排具有三个穿孔40。

因此，该第七肋骨17(井字型肋骨)的中央部位的凹部R可不设置该 穿孔40，且其内十字形肋骨17a相对于该蜂巢侧10b的高度h0大于该天板 10的厚度t0，以提高该重型高架地板4的强度。

应可理解地，第二及第三实施例的重型高架地板2,3亦可于其凹部S中 形成多个穿孔40。

综上所述，本发明的重型高架地板1,2,3,4主要借由该肋骨结构1a,2a,3a 的肋骨相对于该蜂巢侧10b,20b,30b的高度h1～h7均至少为25毫米，以提升 该重型高架地板1,2,3,4的结构强度，故该重型高架地板1,2,3,4能承受半导 体工艺中较重的机台设备，以避免该重型高架地板1,2,3,4于使用中发生碎裂 的问题。进一步，依该重型高架地板1,2,3,4的承载负荷大小以调整肋骨的高 度h1～h7与宽度d1～d7大小，进而节省该重型高架地板1,2,3,4的材料及减 轻重量。

再者，借由该辅助肋18,28,38的设计，可进一步提升该重型高架地板 1,2,3,4的结构强度。

上述实施例仅用以例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本 发明。任何熟习此项技艺的人士均可在不违背本发明的精神及范畴下，对上 述实施例进行修改。因此本发明的权利保护范围，应如权利要求书所列。

Claims (13)

1.一种重型高架地板，包括：

天板，其具有相对的地面侧与蜂巢侧；以及

肋骨结构，其设于该天板的蜂巢侧上以形成多个凹部，其中，该肋骨结构由该天板边缘向中间处依序定义有第一肋骨、第二肋骨、第三肋骨、第四肋骨、第五肋骨、第六肋骨及第七肋骨，且该第一至第七肋骨作为主肋骨，其相对于该蜂巢侧的高度至少为25毫米。

2.如权利要求1所述的重型高架地板，其中，该多个凹部为阵列排设，以于该蜂巢侧上形成蜂巢结构。

3.如权利要求1所述的重型高架地板，其中，该第一肋骨形成于该天板边缘而成为该重型高架地板的边肋骨，以作为该重型高架地板的边框，供固接脚座。

4.如权利要求1所述的重型高架地板，其中，该第一肋骨与该天板的高度和为51毫米至62毫米，而该天板的厚度为2.7毫米至4.8毫米。

5.如权利要求1所述的重型高架地板，其中，该第一肋骨的宽度为8.3至9.8毫米。

6.如权利要求1所述的重型高架地板，其中，该第二肋骨至第七肋骨相对于该蜂巢侧的高度为25毫米至56.5毫米。

7.如权利要求1所述的重型高架地板，其中，该第二肋骨至第七肋骨的宽度为3.0毫米至9.4毫米。

8.如权利要求1所述的重型高架地板，其中，该肋骨结构还包含高度低于25毫米的多个辅助肋，且该多个辅助肋对应形成于各该凹部中，以令单一该凹部中配置该多个辅助肋。

9.如权利要求8所述的重型高架地板，其中，该多个辅助肋沿单一方向延伸而未相互交错。

10.如权利要求8所述的重型高架地板，其中，该辅助肋相对于该蜂巢侧的高度至少为6毫米，且其宽度至少为2.5毫米。

11.如权利要求1所述的重型高架地板，其中，该天板上形成有连通该地面侧与蜂巢侧的多个穿孔，且该多个穿孔的位置对应该多个凹部，及相邻三个该穿孔之间设有单方向的该辅助肋。

12.如权利要求1所述的重型高架地板，其中，该肋骨结构于纵向及横向上以两条该第七肋骨形成一井字型肋骨，以将该重型高架地板分成四个区域，该四个区域中相邻的第二肋骨、第三肋骨、第四肋骨、第五肋骨及第六肋骨之间形成25个子区域，各该子区域均具有一凹部，该第一肋骨至第六肋骨以该井字型肋骨为基准对称分布，并于该第七肋骨所形成的井字型肋骨的中央部位形成的另一凹部，于该凹部处的厚度增厚大于该天板的厚度，其内配置有十字形肋骨，且于该天板的四周形成一翼板，使该十字形肋骨的高度及该翼板的厚度均大于该天板的厚度，以提高该重型高架地板在中间处的强度。

13.如权利要求12所述的重型高架地板，其中，该井字型肋骨内借由该第二肋骨、第三肋骨、第四肋骨、第五肋骨及第六肋骨间隔出21个另一子区域，且各该子区域中均具有九个穿孔，但于该井字型肋骨的中央部位的子区域不形成该穿孔。

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