TWI824712B - 綜合型格柵地板 - Google Patents

Abstract

一種綜合型格柵地板，係包含有天板及肋骨結構，以令該肋骨結構與該天板採用鋁合金一體成型鑄造，其中，該天板上形成有複數貫穿之穿孔，以形成48％以上或50％以上之通風量，故能滿足半導體製程清淨度之需求。

Description

綜合型格柵地板

本發明係有關一種地板，尤指一種具有高通風率之綜合型格柵地板。

習知高架地板，如TWM626914專利、TWM626915專利、TWM626017專利、TWM626032專利、TWM625241專利、TWM625242專利、TWM625267專利、TWM625270專利、TWM625289專利及TWM596253專利等，除了用於半導體製程之廠區樓地板外，亦可用於製程區之通風地板，但其通風率小於百分之二十，無法滿足通風率之需求。

然而，目前用於水溝蓋之格柵地板係採用焊接方式製作，如TW536257專利，由於焊接成型製程中，容易產生變形，且容易產生缺陷及斷裂。

再者，現有格柵地板之通風量過小，使得回風量不夠，致使無法滿足半導體製程清淨度之需求。

又，習知格柵地板之結構強度往往不足，故當該格柵地板上承載半導體製程中較重之機台設備時，該格柵地板容易發生碎裂之問題。

另一方面，現有格柵地板亦有過重的問題，不僅浪費材料，且增加製造的成本。

因此，如何克服上述習知技術之種種問題，實已成為目前業界亟待克服之難題。

鑑於上述習知技術之種種缺失，本發明提供一種綜合型格柵地板，係包括：天板，係具有相對之地面側與蜂巢側，其中，該天板上形成有複數連通該地面側與蜂巢側之穿孔，以形成48％以上或50％以上之通風量；以及複數肋骨結構，係設於該天板之蜂巢側上以形成複數凹部，以令各該凹部中具有三個或四個該穿孔，其中，該肋骨結構係由該天板邊緣向中間處依序定義有第一肋骨、第二肋骨、第三肋骨、第四肋骨、第五肋骨、第六肋骨及第七肋骨，且該第一肋骨、第二肋骨、第四肋骨、第五肋骨及第七肋骨相對於該蜂巢側之高度係至少為25公厘，以作為主肋骨，而該第三肋骨及第六肋骨相對於該蜂巢側之高度係低於25公厘，以作為中肋骨。

前述之綜合型格柵地板中，該複數凹部係陣列排設，以於該蜂巢側上形成蜂巢結構。

前述之綜合型格柵地板中，該第一肋骨係形成於該天板邊緣而成為該綜合型格柵地板之邊肋骨，以作為該綜合型格柵地板之邊框。

前述之綜合型格柵地板中，該第一肋骨相對於該蜂巢側之高度與該天板之厚度之總和係為50至59.5公厘，而該天板之厚度為2至3公厘。

前述之綜合型格柵地板中，該第二肋骨、第四肋骨、第五肋骨及第七肋骨相對於該蜂巢側之高度為35至52.5公厘。

前述之綜合型格柵地板中，該第三肋骨及第六肋骨相對於該蜂巢側之高度為17至22公厘。

前述之綜合型格柵地板中，該第一肋骨之寬度為4.8至8公厘。

前述之綜合型格柵地板中，該第二肋骨、第四肋骨、第五肋骨及第七肋骨之寬度為3至5.5公厘。

前述之綜合型格柵地板中，該第三肋骨及第六肋骨之寬度係為3至3.5公厘。

前述之綜合型格柵地板中，該肋骨結構於縱向及橫向上係以兩條該第七肋骨形成一井字型肋骨，以將該綜合型格柵地板分成四個區域，該四個區域中相鄰之第二肋骨、第三肋骨、第四肋骨、第五肋骨及第六肋骨之間係形成25個子區域，各該子區域均具有一凹部，並於該第七肋骨所形成之井字型肋骨之中央部位形成之另一凹部，並於每個子區域均具有三個長條形之該穿孔，以形成48％以上或50％以上之通風量，且於該天板之四周形成一翼板，使該翼板之厚度均大於該天板之厚度。

前述之綜合型格柵地板中，該肋骨結構復包含高度低於該中肋骨之複數輔助肋，且該複數輔助肋係對應形成於各該凹部中，以令單一該凹部中係配置該複數輔助肋。例如，該輔助肋相對於該蜂巢側之高度係為10至15公厘，且其寬度為3至3.5公厘。

前述之綜合型格柵地板中，該蜂巢側之相對兩側部位之該第一肋骨、第二肋骨及該第七肋骨之寬度係分別小於該蜂巢側之中間部位之該第一肋骨、第二肋骨及該第七肋骨之寬度，以減低該綜合型格柵地板之重量。

前述之綜合型格柵地板中，該第一肋骨係用於支撐該綜合型格柵地板所固定之腳架。

前述之綜合型格柵地板中，該第一與第二肋骨係於該綜合型格柵地板之四個角落上形成有腳座，該腳座固定於支撐腳架上。

由上可知，本發明之綜合型格柵地板中，主要藉由該天板與該複數肋骨結構採用鋁合金一體成型鑄造，以於製作該綜合型格柵地板時不會產生變形，且不易產生缺陷及斷裂等問題，故相較於習知技術，本發明之綜合型格柵地板之可靠性極佳。

再者，藉由該些穿孔之設計，以形成48％以上或50％以上之通風量，故能增加通風量，以滿足半導體製程清淨度之需求。

又，該肋骨結構之主肋骨相對於該蜂巢側之高度均至少為25公厘，以提升該綜合型格柵地板之結構強度，故相較於習知技術，該綜合型格柵地板可承受半導體製程中較重之機台設備，以避免該綜合型格柵地板於使用中發生碎裂之問題。

以下藉由特定的具體實施例說明本發明之實施方式，熟悉此技藝之人士可由本說明書所揭示之內容輕易地瞭解本發明之其他優點及功效。

須知，本說明書所附圖式所繪示之結構、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示之內容，以供熟悉此技藝之人士之瞭解與閱讀，並非用以限定本發明可實施之限定條件，故不具技術上之實質意義，任何結構之修飾、比例關係之改變或大小之調整，在不影響本發明所能產生之功效及所能達成之目的下，均應仍落在本發明所揭示之技術內容得能涵蓋之範圍內。同時，本說明書中所引用之如「上」、「下」、「左」、「右」及「一」等之用語，亦僅為便於敘述之明瞭，而非用以限定本發明可實施之範圍，其相對關係之改變或調整，在無實質變更技術內容下，當亦視為本發明可實施之範疇。

圖1A至圖1E係為本發明之綜合型格柵地板1之第一實施例之示意圖。本實施例之綜合型格柵地板1係用於承載較重負荷，其承載負荷約1000公斤。

所述之綜合型格柵地板1係具有一天板10、以及設於該天板10上之複數肋骨結構1a，以令該天板10與該複數肋骨結構1a採用鋁合金一體成型鑄造，以於製作該綜合型格柵地板1時不會產生變形，且不易產生缺陷及斷裂等問題。

所述之天板10係具有相對之地面側10a與蜂巢側10b，且該蜂巢側10b於縱向及橫向上係分別設有複數該肋骨結構1a，以於該縱向及橫向之肋骨結構1a之間形成複數凹部S，其中，圖1C及圖1D僅顯示縱向之肋骨結構1a，而橫向之肋骨結構1a與縱向肋骨結構1a排列方式以呈對稱式相同，故省略橫向之肋骨結構1a之剖面。

於本實施例中，該天板10係大致呈矩形體，如正方形板，其長度L為600㎜及厚度t0為2㎜，並於該天板10之四周形成一翼板1d（其厚度t1為8㎜，係大於該天板10之厚度t0），且於該綜合型格柵地板1之四個角落上形成有腳座1b，其底部呈L型凸狀（亦可呈L型凹狀），該腳座1b固定於支撐腳架（圖略）上。例如，該腳座1b用於調整該綜合型格柵地板1之總高度H，使得拼接多個綜合型格柵地板1時得以位於同一水平面。

再者，該地面側10a係為一平整表面，且該些凹部S係陣列排設，以於該蜂巢側10b上形成一具有複數頂針位1c（約於每四個凹部S所組成之正方形區域之角落處上）之蜂巢結構。

所述之肋骨結構1a係由該天板10邊緣向中間處（或如圖1B及圖1C所示之左右側向中間方向）依序定義有第一肋骨11、第二肋骨12、第三肋骨13、第四肋骨14、第五肋骨15、第六肋骨16及第七肋骨17，且該第一至第二、第四至第五及第七肋骨11~12,14~15,17相對於該蜂巢側10b之高度h1~h3,h5,h7係至少為25公厘(㎜)，而該第三及第六肋骨13,16相對於該蜂巢側10b之高度h4,h6係低於25公厘，故該第一至第二、第四至第五及第七肋骨11~12,14~15,17係作為主肋骨，而該第三及第六肋骨13,16係作為中肋骨，其中，該第一至第六肋骨11~16係以第七肋骨17為基準而左右對稱（或如圖1B所示之上下對稱）分布，以令該第二肋骨12、第三肋骨13、第四肋骨14、第五肋骨15、第六肋骨16及第七肋骨17間之間隔距離w為48㎜。

於本實施例中，該第一肋骨11係形成於該天板10邊緣而成為該綜合型格柵地板1之邊肋骨，以作為該綜合型格柵地板1之邊框，供固接該腳座1b。例如，該第一肋骨11相對於該蜂巢側10b之高度h1為48㎜（等於該第二肋骨12相對於該蜂巢側10b之高度h2），其均大於第三至第七肋骨13~17相對於該蜂巢側10b之高度h3~h7，且本實施例之該第一肋骨11相對於該蜂巢側10b之高度h1與該天板10之厚度之總和T為50㎜（即T=h1+t0），而該腳座1b之高度、該第一肋骨11相對於該蜂巢側10b之高度h1與該天板10之厚度t0之總高度H為綜合型格柵地板1之腳高，其為60㎜。

再者，該肋骨結構1a的第二至第七肋骨之高度h2~h7可依需求相同或不相同，且該第一肋骨11與中間處之該凹部R,S之間的主肋骨（即第二至第七肋骨12~17）之排列方式係如圖1C所示。例如，第二肋骨12相對於該蜂巢側10b之高度h2為48㎜、第四肋骨14相對於該蜂巢側10b之高度h4為35㎜、第五肋骨15相對於該蜂巢側10b之高度h5為35㎜、第七肋骨17相對於該蜂巢側10b之高度h7為45㎜、第三及第六肋骨13,16相對於該蜂巢側10b之高度h3,h6均為18㎜，其中，該縱向及橫向之兩條第七肋骨17係形成一井字型肋骨，以將該綜合型格柵地板1分成四個區域，每個區域相鄰之第二肋骨12、第三肋骨13、第四肋骨14、第五肋骨15及第六肋骨16之間係形成25個子區域，每個子區域具有一凹部S，並於該井字型肋骨之中央部位形成另一種態樣之凹部R。進一步，該天板10於該凹部R之厚度可依需求大於該天板10於其它處之厚度t0或與該天板10之厚度t0相同，且該凹部R內配置有兩平行之輔助肋17a，以提高該綜合型格柵地板1在中間處之抗壓強度。例如，因第二肋骨12相對於該蜂巢側10b之高度h2等於第一肋骨11相對於該蜂巢側10b之高度h1，故當該綜合型格柵地板1固定於一高架地板用之腳架上時，該綜合型格柵地板1之四個腳落處係以第一肋骨11與第二肋骨12之底部作為支撐。

又，各該肋骨之寬度d1~d7可依需求相同（如第二至第六肋骨12~16）或不相同，如圖1C所示。例如，第一肋骨11之寬度d1為7㎜、第二肋骨12之寬度d2為4.42㎜、第三肋骨13之寬度d3為3.5㎜、第四肋骨14之寬度d4為3.5㎜、第五肋骨15之寬度d5為3.5㎜、第六肋骨16之寬度d6為3.5㎜、及第七肋骨17之寬度d7為5㎜。

進一步，各該肋骨分別沿縱向或橫向延伸，且同一肋骨在其延伸的不同位置上可以依需求具有不同的寬度。例如，可調整局部肋骨之寬度d1,d2,d7，如圖1D所示之該蜂巢側10b之相對兩側部位之該第一肋骨11、該第二肋骨12及該第七肋骨17之寬度d1,d2,d7係較小，其中，該第一肋骨11之寬度d1為5mm、第二肋骨12之寬度d2為3.5mm、及第七肋骨17之寬度d7為4mm，係分別小於圖1C所示之該蜂巢側10b之中間部位之第一肋骨11、第二肋骨12及第七肋骨17之寬度d1,d2,d7，以減低綜合型格柵地板1之重量，而該第三、第四、第五及第六肋骨13,14,15,16之寬度d3,d4,d5,d6則不變。

另外，該肋骨結構1a可依需求增設複數體積遠小於其它肋骨之輔助肋17a,18，如圖1C所示，其相對於該蜂巢側10b之高度h0,h8（如10㎜）係低於該中肋骨相對於該蜂巢側10b之高度h3,h6，且其寬度d8為3㎜。例如，該些輔助肋17a,18係對應形成於各該凹部R,S中，且沿單一方向延伸而未相互交錯，如圖1C所示之單一凹部R,S配置兩條平行之輔助肋17a,18。

再者，該綜合型格柵地板1係於該天板10上形成複數連通該地面側10a與蜂巢側10b之穿孔100，並以該第七肋骨17（縱向及橫向之兩條第七肋骨17所形成井字型肋骨）將該蜂巢側10b分成四個區域（四個角落區域），每個區域又形成25個子區域（對應該凹部S位置），另該井字型肋骨向外延伸處（十字區域），藉由該些肋骨（該第二肋骨12、第三肋骨13、第四肋骨14、第五肋骨15及第六肋骨16）可間隔出21個另一子區域（對應該凹部R,S位置），以令每個子區域均具有三個長條形穿孔100，以形成50％以上之通風量。

於本實施例中，該些穿孔100之位置係對應該些凹部R,S配置。例如，每一凹部R,S上形成有三個穿孔100，且該三個穿孔100係間隔併排，並以該輔助肋17a,18隔開各排穿孔100；另外，該第一與第二肋骨11,12之間的凹部S僅具有一個穿孔100，即無配置輔助肋18。

因此，該綜合型格柵地板1藉由該穿孔100之設計，不僅可增加通風量，及利於節省材料及減輕重量，並可增加承載重量。

又，該綜合型格柵地板1之天板10之厚度t0較小，且該肋骨結構1a之部分高度h3,h6亦較小，即該中肋骨（第三及第六肋骨13,16）之高度h3,h6較主肋骨（該第一至第二、第四至第五及第七肋骨11~12,14~15,17）之高度h1,h2,h4,h5,h7小很多，以利於節省材料及減輕重量。

圖2A至圖2E係為本發明之綜合型格柵地板2之第二實施例之示意圖。本實施例之綜合型格柵地板2之承載負荷約1000公斤，且其與第一實施例之差異在於肋骨結構2a之局部高度之改變，故以下不再贅述相同處。

於本實施例中，該天板20之厚度t0為2㎜，該第一肋骨21相對於該蜂巢側20b之高度h1為48㎜，且該第一肋骨21相對於該蜂巢側20b之高度h1與該天板20之厚度t0之總和T為50㎜，而該腳座2b之高度、該第一肋骨21相對於該蜂巢側20b之高度h1與該天板20之厚度t0之總高度H為55㎜，其中，該翼板2d之厚度t1為6㎜，該第一肋骨21係形成於該天板20邊緣而成為該綜合型格柵地板2之邊肋骨，以作為該綜合型格柵地板2之邊框，且該第一至第六肋骨21~26係以第七肋骨27為基準而左右對稱（或如圖2B所示之上下對稱）分布。

再者，於肋骨結構2a中，如圖2C所示，第二肋骨22相對於該蜂巢側20b之高度h2為48㎜、第四肋骨24相對於該蜂巢側20b之高度h4為35㎜、第五肋骨25相對於該蜂巢側20b之高度h5為35㎜、第七肋骨27相對於該蜂巢側20b之高度h7為45㎜、第三及第六肋骨23,26相對於該蜂巢側20b之高度h3,h6均為18㎜。例如，因第二肋骨22相對於該蜂巢側20b之高度h2等於第一肋骨21相對於該蜂巢側20b之高度h1，故當該綜合型格柵地板2固定於一高架地板用之腳架上時，該綜合型格柵地板2之四個腳落處係以第一肋骨21與第二肋骨22之底部作為支撐。

又，各該肋骨之寬度d1~d7可依需求相同或不相同，如圖2C所示。例如，第一肋骨21之寬度d1為7㎜、第二肋骨22之寬度d2為4.42㎜、第三肋骨23之寬度d3為3.5㎜、第四肋骨24之寬度d4為3.5㎜、第五肋骨25之寬度d5為3.5㎜、第六肋骨26之寬度d6為3.5㎜、及第七肋骨27之寬度d7為5㎜。

進一步，各該肋骨分別沿縱向或橫向延伸，且同一肋骨在其延伸的不同位置上可以依需求具有不同的寬度。例如，可調整局部肋骨之寬度d1,d2,d7，如圖2D所示之該蜂巢側20b之相對兩側部位之該第一肋骨21、該第二肋骨22及該第七肋骨27之寬度d1,d2,d7係較小，其中，該第一肋骨21之寬度d1為5mm、第二肋骨22之寬度d2為3.5mm、及第七肋骨27之寬度d7為4mm，係分別小於圖2C所示之該蜂巢側20b之中間部位之第一肋骨21、第二肋骨22及第七肋骨27之寬度d1,d2,d7，以減低綜合型格柵地板2之重量，而該第三、第四、第五及第六肋骨23,24,25,26之寬度d3,d4,d5,d6則不變。

另外，該輔助肋27a,28相對於該蜂巢側20b之高度h0,h8（如10㎜）係低於中肋骨之高度，且其寬度d8為3㎜，且該些輔助肋27a,28係對應形成於各該凹部R,S中，並沿單一方向延伸而未相互交錯，如圖2C所示之單一凹部R,S配置二條平行之輔助肋27a,28，以令每個子區域均具有三個長條形穿孔200，以形成50％以上之通風量。另外，該第一與第二肋骨21,22之間的凹部S僅具有一個穿孔200。

因此，該綜合型格柵地板2藉由該穿孔200之設計，不僅可增加通風量，及利於節省材料及減輕重量，並可增加承載重量。

又，該肋骨結構2a之部分高度h3,h6亦較小，即該中肋骨（第三及第六肋骨23,26）之高度h3,h6較主肋骨（該第一至第二、第四至第五及第七肋骨21~22,24~25,27）之高度h1,h2,h4,h5,h7小很多，以利於節省材料及減輕重量。

圖3A至圖3E係為本發明之綜合型格柵地板3之第三實施例之示意圖。本實施例之綜合型格柵地板3之承載負荷較重，約1500公斤，且其與第一實施例之差異在於肋骨結構3a之局部高度之改變，故以下不再贅述相同處。

於本實施例中，該天板30之厚度t0為2㎜，該第一肋骨31相對於該蜂巢側30b之高度h1為57.5㎜，且該第一肋骨31相對於該蜂巢側30b之高度h1與該天板30之厚度t0之總和T為59.5㎜，而該腳座3b之高度、該第一肋骨31相對於該蜂巢側30b之高度h1與該天板30之厚度t0之總高度H為60㎜，其中，該翼板3d之厚度t1為7㎜，該第一肋骨31係形成於該天板30邊緣而成為該綜合型格柵地板3之邊肋骨，以作為該綜合型格柵地板3之邊框，且該第一至第六肋骨31~36係以第七肋骨37為基準而左右對稱（或如圖3B所示之上下對稱）分布。

再者，於肋骨結構3a中，如圖3C所示，第二肋骨32相對於該蜂巢側30b之高度h2為52.5㎜、第四肋骨34相對於該蜂巢側30b之高度h4為48㎜、第五肋骨35相對於該蜂巢側30b之高度h5為48㎜、第七肋骨37相對於該蜂巢側30b之高度h7為48㎜、第三及第六肋骨33,36相對於該蜂巢側30b之高度h3,h6均為22㎜。例如，因第二肋骨32相對於該蜂巢側30b之高度h2低於第一肋骨31相對於該蜂巢側30b之高度h1，故當該綜合型格柵地板3固定於一高架地板用之腳架上時，該綜合型格柵地板3之四個腳落處係以第一肋骨31之底部作為支撐。

又，各該肋骨之寬度d1~d7可依需求相同或不相同，如圖3C所示。例如，第一肋骨31之寬度d1為7.5㎜、第二肋骨32之寬度d2為4.5㎜、第三肋骨33之寬度d3為3.5㎜、第四肋骨34之寬度d4為3.5㎜、第五肋骨35之寬度d5為3.5㎜、第六肋骨36之寬度d6為3.5㎜、及第七肋骨37之寬度d7為5.5㎜。

進一步，各該肋骨分別沿縱向或橫向延伸，且同一肋骨在其延伸的不同位置上可以依需求具有不同的寬度。例如，可調整局部肋骨之寬度d1,d2,d7，如圖3D所示之該蜂巢側30b之相對兩側部位之該第一肋骨31、該第二肋骨32及該第七肋骨37之寬度d1,d2,d7係較小，其中，該第一肋骨31之寬度d1為5mm、第二肋骨32之寬度d2為3.6mm、及第七肋骨37之寬度d7為4mm，係分別小於圖3C所示之該蜂巢側30b之中間部位之第一肋骨31、第二肋骨32及第七肋骨37之寬度d1,d2,d7，以減低綜合型格柵地板3之重量，而該第三、第四、第五及第六肋骨33,34,35,36之寬度d3,d4,d5,d6則不變。

另外，該輔助肋37a,38相對於該蜂巢側30b之高度h0,h8（如15㎜）係低於中肋骨之高度，且其寬度d8為3.5㎜，且該些輔助肋37a,38係對應形成於各該凹部R,S中，並沿單一方向延伸而未相互交錯，如圖3C所示之單一凹部R,S配置二條平行之輔助肋37a,38，以令每個子區域均具有三個長條形穿孔300，以形成50％以上之通風量。另外，該第一與第二肋骨31,32之間的凹部S僅具有一個穿孔300。

因此，該綜合型格柵地板3藉由該穿孔300之設計，不僅可增加通風量，及利於節省材料及減輕重量，並可增加承載重量。

又，該肋骨結構3a之部分高度h3,h6亦較小，即該中肋骨（第三及第六肋骨33,36）之高度h3,h6較主肋骨（該第一至第二、第四至第五及第七肋骨31~32,34~35,37）之高度h1,h2,h4,h5,h7小很多，以利於節省材料及減輕重量。

圖4A至圖4E係為本發明之綜合型格柵地板4之第四實施例之示意圖。本實施例之綜合型格柵地板4之承載負荷較輕，約700公斤，且其與第一實施例之差異在於肋骨結構4a之局部高度之改變，故以下不再贅述相同處。

於本實施例中，該天板40之厚度t0為2㎜，該第一肋骨41相對於該蜂巢側40b之高度h1為48㎜，且該第一肋骨41相對於該蜂巢側40b之高度h1與該天板40之厚度t0之總和T為50㎜，而該腳座4b之高度、該第一肋骨41相對於該蜂巢側40b之高度h1與該天板40之厚度t0之總高度H為55㎜，其中，該翼板4d之厚度t1為6㎜，該第一肋骨41係形成於該天板40邊緣而成為該綜合型格柵地板4之邊肋骨，以作為該綜合型格柵地板4之邊框，且該第一至第六肋骨41~46係以第七肋骨47為基準而左右對稱（或如圖4B所示之上下對稱）分布。

再者，於肋骨結構4a中，如圖4C所示，第二肋骨42相對於該蜂巢側40b之高度h2為48㎜、第四肋骨44相對於該蜂巢側40b之高度h4為35㎜、第五肋骨45相對於該蜂巢側40b之高度h5為35㎜、第七肋骨47相對於該蜂巢側40b之高度h7為45㎜、第三肋骨43相對於該蜂巢側40b之高度h3為22㎜、及第六肋骨46相對於該蜂巢側40b之高度h6均為18㎜。例如，因第二肋骨42相對於該蜂巢側40b之高度h2等於第一肋骨41相對於該蜂巢側40b之高度h1，故當該綜合型格柵地板4固定於一高架地板用之腳架上時，該綜合型格柵地板4之四個腳落處係以第一肋骨41與第二肋骨42之底部作為支撐。

又，各該肋骨之寬度d1~d7可依需求相同或不相同，如圖4C所示。例如，第一肋骨41之寬度d1為8㎜、第二肋骨42之寬度d2為4.42㎜、第三肋骨43之寬度d3為3.5㎜、第四肋骨44之寬度d4為3.5㎜、第五肋骨45之寬度d5為3.5㎜、第六肋骨46之寬度d6為3.5㎜、及第七肋骨47之寬度d7為5㎜。

進一步，各該肋骨分別沿縱向或橫向延伸，且同一肋骨在其延伸的不同位置上可以依需求具有不同的寬度。例如，可調整局部肋骨之寬度d1,d2,d7，如圖4D所示之該蜂巢側40b之相對兩側部位之該第一肋骨41、該第二肋骨42及該第七肋骨47之寬度d1,d2,d7係較小，其中，該第一肋骨41之寬度d1為5mm、第二肋骨42之寬度d2為3.5mm、及第七肋骨47之寬度d7為4mm，係分別小於圖4C所示之該蜂巢側40b之中間部位之第一肋骨41、第二肋骨42及第七肋骨47之寬度d1,d2,d7，以減低綜合型格柵地板4之重量，而該第三、第四、第五及第六肋骨43,44,45,46之寬度d3,d4,d5,d6則不變。

另外，該輔助肋47a,48相對於該蜂巢側40b之高度h0,h8（如10㎜）係低於中肋骨之高度，且其寬度d8為3㎜，且該些輔助肋47a,48係對應形成於各該凹部R,S中，並沿單一方向延伸而未相互交錯，如圖4C所示之單一凹部R,S配置二條平行之輔助肋47a,48，以令每個子區域均具有三個長條形穿孔400，以形成50％以上之通風量。另外，該第一與第二肋骨41,42之間的凹部S可僅具有一個穿孔400（如圖4C所示）或兩個穿孔400（如圖4D所示）。

因此，該綜合型格柵地板4藉由該穿孔400之設計，不僅可增加通風量，及利於節省材料及減輕重量，並可增加承載重量。

又，該肋骨結構4a之部分高度h3,h6亦較小，即該中肋骨（第三及第六肋骨43,46）之高度h3,h6較主肋骨（該第一至第二、第四至第五及第七肋骨41~42,44~45,47）之高度h1,h2,h4,h5,h7小很多，以利於節省材料及減輕重量。

圖5A至圖5E係為本發明之綜合型格柵地板5之第五實施例之示意圖。本實施例之綜合型格柵地板5之承載負荷約1000公斤，且其與第一實施例之差異在於肋骨結構5a之局部高度之改變，故以下不再贅述相同處。

於本實施例中，該天板50之厚度t0為2㎜，該第一肋骨51相對於該蜂巢側50b之高度h1為48㎜，且該第一肋骨51相對於該蜂巢側50b之高度h1與該天板50之厚度t0之總和T為50㎜，而該腳座5b之高度、該第一肋骨51相對於該蜂巢側50b之高度h1與該天板50之厚度t0之總高度H為55㎜，其中，該翼板5d之厚度t1為6㎜，該第一肋骨51係形成於該天板50邊緣而成為該綜合型格柵地板5之邊肋骨，以作為該綜合型格柵地板5之邊框，且該第一至第六肋骨51~56係以第七肋骨57為基準而左右對稱（或如圖5B所示之上下對稱）分布。

再者，於肋骨結構5a中，如圖5C所示，第二肋骨52相對於該蜂巢側50b之高度h2為48㎜、第四肋骨54相對於該蜂巢側50b之高度h4為35㎜、第五肋骨55相對於該蜂巢側50b之高度h5為35㎜、第七肋骨57相對於該蜂巢側50b之高度h7為45㎜、第三肋骨53相對於該蜂巢側50b之高度h3為22㎜、及第六肋骨56相對於該蜂巢側50b之高度h6為18㎜。例如，因第二肋骨52相對於該蜂巢側50b之高度h2等於第一肋骨51相對於該蜂巢側50b之高度h1，故當該綜合型格柵地板5固定於一高架地板用之腳架上時，該綜合型格柵地板5之四個腳落處係以第一肋骨51與第二肋骨52之底部作為支撐。

又，各該肋骨之寬度d1~d7可依需求相同或不相同，如圖5C所示。例如，第一肋骨51之寬度d1為8㎜、第二肋骨52之寬度d2為4.42㎜、第三肋骨53之寬度d3為3.5㎜、第四肋骨54之寬度d4為3.5㎜、第五肋骨55之寬度d5為3.5㎜、第六肋骨56之寬度d6為3.5㎜、及第七肋骨57之寬度d7為5㎜。

進一步，各該肋骨分別沿縱向或橫向延伸，且同一肋骨在其延伸的不同位置上可以依需求具有不同的寬度。例如，可調整局部肋骨之寬度d1,d2,d7，如圖5D所示之該蜂巢側50b之相對兩側部位之該第一肋骨51、該第二肋骨52及該第七肋骨57之寬度d1,d2,d7係較小，其中，該第一肋骨51之寬度d1為5mm、第二肋骨52之寬度d2為3.5mm、及第七肋骨57之寬度d7為4mm，係分別小於圖5C所示之該蜂巢側50b之中間部位之第一肋骨51、第二肋骨52及第七肋骨57之寬度d1,d2,d7，以減低綜合型格柵地板5之重量，而該第三、第四、第五及第六肋骨53,54,55,56之寬度d3,d4,d5,d6則不變。

另外，該輔助肋57a,58相對於該蜂巢側50b之高度h0,h8（如10㎜）係低於中肋骨之高度，且其寬度d8為3㎜，且該些輔助肋57a,58係對應形成於各該凹部R,S中，並沿單一方向延伸而未相互交錯，如圖5C所示之單一凹部R,S配置二條平行之輔助肋57a,58，以令每個子區域均具有三個長條形穿孔500，以形成48％以上之通風量。另外，該第一與第二肋骨51,52之間的凹部S可僅具有一個穿孔500（如圖5C所示）或兩個穿孔500（如圖5D所示）。

因此，該綜合型格柵地板5藉由該穿孔500之設計，不僅可增加通風量，及利於節省材料及減輕重量，並可增加承載重量。

又，該肋骨結構5a之部分高度h3,h6亦較小，即該中肋骨（第三及第六肋骨53,56）之高度h3,h6較主肋骨（該第一至第二、第四至第五及第七肋骨51~52,54~55,57）之高度h1,h2,h4,h5,h7小很多，以利於節省材料及減輕重量。

圖6A至圖6E係為本發明之綜合型格柵地板6之第六實施例之示意圖。本實施例之綜合型格柵地板6之承載負荷約1000公斤，且其與第一實施例之差異在於肋骨結構6a之局部高度之改變，故以下不再贅述相同處。

於本實施例中，該天板60之厚度t0為3㎜，該第一肋骨61相對於該蜂巢側60b之高度h1為48㎜，且該第一肋骨61相對於該蜂巢側60b之高度h1與該天板60之厚度t0之總和T為51㎜，而該腳座6b之高度、該第一肋骨61相對於該蜂巢側60b之高度h1與該天板60之厚度t0之總高度H為55㎜，其中，該翼板6d之厚度t1為7㎜，該第一肋骨61係形成於該天板60邊緣而成為該綜合型格柵地板6之邊肋骨，以作為該綜合型格柵地板6之邊框，且該第一至第六肋骨61~66係以第七肋骨67為基準而左右對稱（或如圖6B所示之上下對稱）分布。

再者，於肋骨結構6a中，如圖6C所示，第二肋骨62相對於該蜂巢側60b之高度h2為45㎜、第四肋骨64相對於該蜂巢側60b之高度h4為35㎜、第五肋骨65相對於該蜂巢側60b之高度h5為35㎜、第七肋骨67相對於該蜂巢側60b之高度h7為45㎜、第三肋骨63相對於該蜂巢側60b之高度h3為17㎜、及第六肋骨66相對於該蜂巢側60b之高度h6為17㎜。例如，因第二肋骨62相對於該蜂巢側60b之高度h2低於第一肋骨61相對於該蜂巢側60b之高度h1，故當該綜合型格柵地板6固定於一高架地板用之腳架上時，該綜合型格柵地板6之四個腳落處係以第一肋骨61之底部作為支撐。

又，各該肋骨之寬度d1~d7可依需求相同或不相同，如圖6C所示。例如，第一肋骨61之寬度d1為7㎜、第二肋骨62之寬度d2為4㎜、第三肋骨63之寬度d3為3㎜、第四肋骨64之寬度d4為3㎜、第五肋骨65之寬度d5為3㎜、第六肋骨66之寬度d6為3㎜、及第七肋骨67之寬度d7為5㎜。

進一步，各該肋骨分別沿縱向或橫向延伸，且同一肋骨在其延伸的不同位置上可以依需求具有不同的寬度。例如，可調整局部肋骨之寬度d1,d2,d7，如圖6D所示之該蜂巢側60b之相對兩側部位之該第一肋骨61、該第二肋骨62及該第七肋骨67之寬度d1,d2,d7係較小，其中，該第一肋骨61之寬度d1為6mm、第二肋骨62之寬度d2為2.74mm、及第七肋骨67之寬度d7為4mm，係分別小於圖6C所示之該蜂巢側60b之中間部位之第一肋骨61、第二肋骨62及第七肋骨67之寬度d1,d2,d7，以減低綜合型格柵地板6之重量，而該第三、第四、第五及第六肋骨63,64,65,66之寬度d3,d4,d5,d6則不變。

另外，該輔助肋67a,68相對於該蜂巢側60b之高度h0,h8（如13㎜）係低於中肋骨之高度，且其寬度d8為3㎜，且該些輔助肋67a,68係對應形成於各該凹部R,S中，並沿單一方向延伸而未相互交錯，如圖6C所示之單一凹部R,S配置三條平行之輔助肋67a,68，以令每個子區域均具有四個鏤空面積較小之長條形穿孔600，以形成48％以上之通風量。另外，該第一與第二肋骨61,62之間的凹部S可僅具有一個穿孔600（如圖6C所示）或兩個穿孔600（如圖6D所示）。

因此，該綜合型格柵地板6藉由該穿孔600之設計，不僅可增加通風量，及利於節省材料及減輕重量，並可增加承載重量。

又，該肋骨結構6a之部分高度h3,h6亦較小，即該中肋骨（第三及第六肋骨63,66）之高度h3,h6較主肋骨（該第一至第二、第四至第五及第七肋骨61~62,64~65,67）之高度h1,h2,h4,h5,h7小很多，以利於節省材料及減輕重量。

綜上所述，本發明之綜合型格柵地板1,2,3,4,5,6主要藉由該天板10,20,30,40,50,60與該複數肋骨結構1a,2a,3a,4a,5a,6a採用鋁合金一體成型鑄造，且橫向肋骨與縱向肋骨之排列方式相同而呈對稱式，以於製作該綜合型格柵地板1,2,3,4,5,6時不會產生變形，且不易產生缺陷及斷裂等問題，故相較於習知技術，本發明之綜合型格柵地板1,2,3,4,5,6不僅可靠性極佳，且有利於提升良率而節省製作成本。

再者，藉由該穿孔100,200,300,400,500,600之設計，以形成50％以上之通風量，故能增加通風量，可滿足半導體製程設備之四周及淋浴室需較高的回風量之需求，以提高半導體製程之清淨度。

又，藉由該肋骨結構1a,2a,3a,4a,5a,6a之主肋骨相對於該蜂巢側10b,20b,30b,40b,50b,60b之高度h1,h2,h4,h5,h7均至少為25公厘，以提升該綜合型格柵地板1,2,3,4,5,6之結構強度，故該綜合型格柵地板1,2,3,4,5,6能承受半導體製程中較重之機台設備，以避免該綜合型格柵地板1,2,3,4,5,6於使用中發生碎裂之問題。進一步，依該綜合型格柵地板1,2,3,4,5,6之承載負荷大小以調整肋骨之高度h1~h7與寬度d1~d7大小，進而節省該綜合型格柵地板1,2,3,4,5,6之材料及減輕重量。

另外，藉由該輔助肋17a,18,27a,28,37a,38,47a,48,57a,58, 67a,68之設計，可進一步提升該綜合型格柵地板1,2,3,4,5,6之結構強度。

上述實施例係用以例示性說明本發明之原理及其功效，而非用於限制本發明。任何熟習此項技藝之人士均可在不違背本發明之精神及範疇下，對上述實施例進行修改。因此本發明之權利保護範圍，應如後述之申請專利範圍所列。

1,2,3,4,5,6:綜合型格柵地板

1a,2a,3a,4a,5a,6a:肋骨結構

1b,2b,3b,4b,5b,6b:腳座

1c:頂針位

1d,2d,3d,4d,5d,6d:翼板

10,20,30,40,50,60:天板

10a,20a,30a,40a,50a,60a:地面側

10b,20b,30b,40b,50b,60b:蜂巢側

100,200,300,400,500,600:穿孔

11,21,31,41,51,61:第一肋骨

12,22,32,42,52,62:第二肋骨

13,23,33,43,53,63:第三肋骨

14,24,34,44,54,64:第四肋骨

15,25,35,45,55,65:第五肋骨

16,26,36,46,56,66:第六肋骨

17,27,37,47,57,67:第七肋骨

17a,18,27a,28,37a,38,47a,48,57a,58,67a,68:輔助肋

d1~d8:寬度

H:總高度

h0~h8:高度

L:長度

R,S:凹部

T:總和

t0,t1:厚度

w:間隔距離

圖1A係為本發明之綜合型格柵地板之第一實施例之立體示意圖。

圖1B係為圖1A之前視平面圖。

圖1C係為圖1B沿其中一方向之C-C剖線之剖面圖。

圖1D係為圖1B沿其中一方向之D-D剖線之剖面圖。

圖1E係為圖1A之另一視角之立體示意圖。

圖2A係為本發明之綜合型格柵地板之第二實施例之立體示意圖。

圖2B係為圖2A之前視平面圖。

圖2C係為圖2B沿其中一方向之C-C剖線之剖面圖。

圖2D係為圖2B沿其中一方向之D-D剖線之剖面圖。

圖2E係為圖2A之另一視角之立體示意圖。

圖3A係為本發明之綜合型格柵地板之第三實施例之立體示意圖。

圖3B係為圖3A之前視平面圖。

圖3C係為圖3B沿其中一方向之C-C剖線之剖面圖。

圖3D係為圖3B沿其中一方向之D-D剖線之剖面圖。

圖3E係為圖3A之另一視角之立體示意圖。

圖4A係為本發明之綜合型格柵地板之第四實施例之立體示意圖。

圖4B係為圖4A之前視平面圖。

圖4C係為圖4B沿其中一方向之C-C剖線之剖面圖。

圖4D係為圖4B沿其中一方向之D-D剖線之剖面圖。

圖4E係為圖4A之另一視角之立體示意圖。

圖5A係為本發明之綜合型格柵地板之第五實施例之立體示意圖。

圖5B係為圖5A之前視平面圖。

圖5C係為圖5B沿其中一方向之C-C剖線之剖面圖。

圖5D係為圖5B沿其中一方向之D-D剖線之剖面圖。

圖5E係為圖5A之另一視角之立體示意圖。

圖6A係為本發明之綜合型格柵地板之第六實施例之立體示意圖。

圖6B係為圖6A之前視平面圖。

圖6C係為圖6B沿其中一方向之C-C剖線之剖面圖。

圖6D係為圖6B沿其中一方向之D-D剖線之剖面圖。

圖6E係為圖6A之另一視角之立體示意圖。

1:綜合型格柵地板

1a:肋骨結構

1b:腳座

1d:翼板

10:天板

10a:地面側

10b:蜂巢側

100:穿孔

11:第一肋骨

12:第二肋骨

13:第三肋骨

14:第四肋骨

15:第五肋骨

16:第六肋骨

17:第七肋骨

17a,18:輔助肋

H:總高度

h0~h8:高度

d1~d8:寬度

T:總和

t0,t1:厚度

R,S:凹部

Claims (12)

1. 一種綜合型格柵地板，係包括：天板，係具有相對之地面側與蜂巢側，其中，該天板上形成有複數連通該地面側與蜂巢側之穿孔，以形成48%以上或50%以上之通風量；以及複數肋骨結構，係與該天板採用鋁合金一體成型鑄造而成，並設於該天板之蜂巢側上以形成複數凹部，以令各該凹部中具有複數個該穿孔，其中，該肋骨結構係由該天板邊緣向中間處依序定義有第一肋骨、第二肋骨、第三肋骨、第四肋骨、第五肋骨、第六肋骨及第七肋骨，且該第一肋骨、第二肋骨、第四肋骨、第五肋骨及第七肋骨相對於該蜂巢側之高度係至少為25公厘，以作為主肋骨，而該第三肋骨及第六肋骨相對於該蜂巢側之高度係低於25公厘，以作為中肋骨，其中，該肋骨結構復包含高度低於該中肋骨之複數輔助肋，且該複數輔助肋係對應形成於各該凹部中，以令單一該凹部中係配置該複數個輔助肋。
2. 如請求項1所述之綜合型格柵地板，其中，該複數凹部係陣列排設，以於該蜂巢側上形成蜂巢結構。
3. 如請求項1所述之綜合型格柵地板，其中，該第一肋骨係形成於該天板邊緣而成為該綜合型格柵地板之邊肋骨，以作為該綜合型格柵地板之邊框。
4. 如請求項1所述之綜合型格柵地板，其中，該第一肋骨相對於該蜂巢側之高度與該天板之厚度之總和係為50至59.5公厘，而該天板之厚度為2至3公厘。
5. 如請求項1所述之綜合型格柵地板，其中，該第二肋骨、第四肋骨、第五肋骨及第七肋骨相對於該蜂巢側之高度為35至52.5公厘，且該第二肋骨、第四肋骨、第五肋骨及第七肋骨之寬度為3至5.5公厘。
6. 如請求項1所述之綜合型格柵地板，其中，該第三肋骨及第六肋骨相對於該蜂巢側之高度為17至22公厘，且該第三肋骨及第六肋骨之寬度係為3至3.5公厘。
7. 如請求項1所述之綜合型格柵地板，其中，該第一肋骨之寬度為4.8至8公厘。
8. 如請求項1所述之綜合型格柵地板，其中，該肋骨結構於縱向及橫向上係以兩條該第七肋骨形成一井字型肋骨，以將該綜合型格柵地板分成四個區域，該四個區域中相鄰之第二肋骨、第三肋骨、第四肋骨、第五肋骨及第六肋骨之間係形成25個子區域，各該子區域均具有一凹部，並於該第七肋骨所形成之井字型肋骨之中央部位形成之另一凹部，並於每個子區域均具有三個長條形之該穿孔，以形成48%以上或50%以上之通風量，且於該天板之四周形成一翼板，使該翼板之厚度均大於該天板之厚度。
9. 如請求項1所述之綜合型格柵地板，其中，該輔助肋相對於該蜂巢側之高度係為10至15公厘，且其寬度為3至3.5公厘。
10. 如請求項1所述之綜合型格柵地板，其中，該蜂巢側之相對兩側部位之該第一肋骨、第二肋骨及該第七肋骨之寬度係分別小於該蜂巢側之中間部位之該第一肋骨、第二肋骨及該第七肋骨之寬度，以減低該綜合型格柵地板之重量。
11. 如請求項1所述之綜合型格柵地板，其中，該第一肋骨係用於支撐該綜合型格柵地板所固定之腳架。
12. 如請求項1所述之綜合型格柵地板，其中，該第一肋骨與該第二肋骨係於該綜合型格柵地板之四個角落上形成有腳座，該腳座固定於支撐腳架上。