CN117672953B - 晶圆翻转机构及探针台 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种晶圆翻转机构及探针台。晶圆翻转机构包括：翻转件，翻转件用于固定并翻转晶圆，翻转件具有相背的第一端侧及第二端侧；驱动件，驱动件邻近翻转件的第一端侧设置，驱动件连接于翻转件，并能够驱动翻转件沿第一方向及第一方向的反方向转动，第一方向垂直于第一端侧及第二端侧的排布方向；及辅助件，辅助件包括辅助环及支撑件，辅助环套设于翻转件的第二端侧并固定连接于翻转件，辅助环能够相对支撑件沿第一方向及第一方向的反方向转动，辅助环具有旋转轴，旋转轴穿设于翻转件，支撑件承载辅助环并对辅助环限位。辅助环的设置能够使得翻转件的转动过程更加平稳，从而有效地提升晶圆翻转机构的精准度与可靠性。

Description

晶圆翻转机构及探针台

技术领域

本申请涉及晶圆检测的技术领域，尤其涉及一种晶圆翻转机构及探针台。

背景技术

探针台可以将电探针、光学探针或射频探针放置在晶圆上，从而可以与测试仪器及半导体测试系统配合来检测晶圆表面缺陷。当晶圆的双面都需测试时，探针台需要利用翻转机构对晶圆进行翻转。

然而，常规翻转机构对大尺寸晶圆的翻转过程很费劲，且在翻转过程中很容易出现不平稳的现象，并导致翻转机构的翻转精度降低。

发明内容

鉴于此，本申请提供一种晶圆翻转机构及探针台，使得晶圆翻转机构能够进行平稳地翻转。

第一方面，本申请提供一种晶圆翻转机构，所述晶圆翻转机构包括：

翻转件，所述翻转件用于固定并翻转晶圆，所述翻转件具有相背的第一端侧及第二端侧；

驱动件，所述驱动件邻近所述翻转件的第一端侧设置，所述驱动件连接于所述翻转件，并能够驱动所述翻转件沿第一方向及第一方向的反方向转动，所述第一方向垂直于所述第一端侧及所述第二端侧的排布方向；及

辅助件，所述辅助件包括辅助环及支撑件，所述辅助环套设于所述翻转件的第二端侧并固定连接于所述翻转件，所述辅助环能够相对所述支撑件沿所述第一方向及第一方向的反方向转动，所述辅助环具有旋转轴，所述旋转轴穿设于所述翻转件，所述支撑件承载所述辅助环并对所述辅助环限位。

其中，所述辅助环包括主动盘，所述主动盘固定连接于所述翻转件，所述主动盘包括圆环部及定位部，所述圆环部关于所述旋转轴对称设置，所述圆环部的直径大于所述翻转件的第二端侧的最大宽度，所述定位部连接于所述圆环部的内周缘，所述定位部沿第二方向延伸，所述第二方向为所述第二端侧的宽度方向，且所述定位部套设于所述翻转件的第二端侧。

其中，所述支撑件包括支撑脚座及第一滚轮，所述支撑脚座限位所述第一滚轮，且所述第一滚轮能够沿所述第一方向及第一方向的反方向转动；

所述辅助环还包括转轮，所述转轮连接于所述圆环部背离所述翻转件的一侧，所述转轮关于所述旋转轴对称设置，且所述转轮抵接于所述第一滚轮，并能够带动所述第一滚轮沿所述第一方向及第一方向的反方向转动。

其中，所述支撑件还包括限位件，所述限位件包括轮轴压板、第二滚轮及调节板，所述轮轴压板一端连接于所述支撑脚座，所述轮轴压板的另一端通过所述第二滚轮抵接至所述转轮，所述第二滚轮设置于所述转轮背离所述第一滚轮的一侧，且所述第二滚轮能够沿所述第一方向及第一方向的反方向转动，所述调节板连接于所述轮轴压板邻近所述支撑脚座的一侧，并用于调节所述轮轴压板相对所述转轮的位置。

其中，所述翻转件包括翻转主体及侧板，所述翻转主体用于固定并翻转晶圆，所述侧板固定连接于所述翻转主体，且所述侧板沿第三方向延伸，所述第三方向为所述第一端侧与所述第二端侧的排布方向；

所述主动盘还具有加强部，所述加强部的一端连接于所述定位部，所述加强部的另一端连接于所述圆环部，所述辅助件还包括定位板、连接板及加强筋，所述定位板围设于所述第二端侧的周侧，并固定连接于所述侧板，所述连接板的一端连接于所述定位板，所述连接板的另一端连接于所述加强筋，所述加强筋固定于所述加强部。

其中，所述辅助件包括至少两个支撑件，且所述两个支撑件关于所述辅助环对称设置；

所述主动盘具有多个加强部，且所述多个加强部关于所述旋转轴对称设置，所述辅助件还包括多个加强筋，单个所述加强筋固定于单个加强部，且不同的加强筋固定于不同的加强部。

其中，所述翻转件还包括面板组件及旋转板，所述面板组件包括真空面板及压合板，所述真空面板与所述压合板为相对设置，所述真空面板与所述压合板用于共同夹设晶圆，且所述真空面板固定连接于所述侧板，所述旋转板的一侧连接于所述驱动件，所述旋转板的另一侧连接于所述真空面板、所述压合板及所述侧板。

其中，所述面板组件包括间隔设置的第一面板部、第二面板部及第三面板部，所述第一面板部及所述第三面板部关于所述第二面板部对称设置；

所述翻转件还包括横板，所述横板同时抵接于所述第一面板部、所述第二面板部及所述第三面板部，并对所述第一面板部、所述第二面板部及所述第三面板部限位。

其中，所述晶圆翻转机构还包括线束及拖链组件，所述线束连接于所述翻转件，所述拖链组件邻近于所述翻转件的第一端侧设置，所述拖链组件包括第一拖链、第二拖链及托板，所述托板具有相对设置的第一弧形部及第二弧形部，所述第一弧形部承载所述第一拖链，所述第二弧形部承载第二拖链，所述第二拖链用于固定所述线束，且所述第二拖链能够沿所述第一弧形部及所述第二弧形部滑动。

第二方面，本申请还提供一种探针台，所述探针台包括机械手臂及所述晶圆翻转机构，所述机械手臂能够穿设于所述辅助环，并用于运输晶圆。

本实施方式提供的晶圆翻转机构，在所述翻转件的第二端侧设置有所述辅助件，使得所述翻转件的第一端侧及第二端侧能保持在同一水平高度上，来避免所述第一端侧与所述第二端侧之间产生高度差而造成晶圆固定不稳的情形，并且能够有效地提升所述翻转件的旋转精度，防止因第二端侧位置发生偏移而导致机械手无法正常运送晶圆至所述晶圆翻转机构、或无法经晶圆自所述晶圆翻转机构顺利取出，以及能够避免因第二端侧位置发生偏移而导致机械手误触晶圆导致晶圆受损的情形。所述辅助件的设置还可以有效减轻所述驱动件对所述翻转件的承载作用力，使得所述驱动件的功率消耗降低，来提升所述晶圆翻转机构的工作效率，并且能够避免所述驱动件的转轴在长期受力作用下产生断裂的情形，从而有效地提升所述驱动件的耐用性。在本实施方式中，所述翻转件在所述驱动件、所述辅助环及所述支撑件的共同支撑作用下进行转动，尤其是在所述翻转件需要对大尺寸超薄晶圆进行翻转时，所述辅助环和所述支撑件的设置能够使得所述翻转件的转动过程更加平稳，从而有效地提升所述晶圆翻转机构及探针台的精准度与可靠性。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本申请实施例的晶圆翻转机构及机械手臂的结构示意图；

图2是本申请实施例一的晶圆翻转机构在承载晶圆状态下的结构示意图；

图3是本申请实施例二的晶圆翻转机构在承载晶圆状态下的结构示意图；

图4是本申请实施例一的辅助件的结构示意图；

图5是图4中提供的辅助件在a处的局部放大结构示意图；

图6是图4中提供的辅助件在a处的又一局部放大结构示意图；

图7是本申请实施例的辅助件在不同视角下的结构示意图；

图8是图7中提供的辅助件在b处的局部放大结构示意图；

图9是本申请实施例三的晶圆翻转机构在承载晶圆状态下的结构示意图；

图10是本申请实施例二的辅助件的结构示意图；

图11是本申请实施例的晶圆翻转机构在未承载晶圆状态下的结构示意图；

图12是本申请实施例一的面板组件的结构示意图；

图13是本申请实施例二的面板组件的结构示意图；

图14是本申请实施例四的晶圆翻转机构在承载晶圆状态下的结构示意图；

图15是本申请实施例五的晶圆翻转机构在承载晶圆状态下的结构示意图；

图16是本申请实施例的探针台的结构示意图。

附图标记说明：

1-探针台，10-晶圆翻转机构，20-机械手臂，30-晶圆，11-翻转件，12-驱动件，13-辅助件，15-拖链组件，111-第一端侧，112-第二端侧，113-翻转主体，114-侧板，115-面板组件，116-旋转板，117-横板，131-辅助环，132-支撑件，133-定位板，134-连接板，135-加强筋，151-第一拖链，152-第二拖链，153-托板，1151-真空面板，1152-压合板，1153-第一面板部，1154-第二面板部，1155-第三面板部，1156-导向轴件，1157-对射光电传感器，1311-旋转轴，1312-主动盘，1313-转轮，1314-内周面，1315-第一侧面，1316-外周面，1317-第二侧面，1321-支撑脚座，1322-第一滚轮，1323-限位件，1511-第一链部，1512-第二链部，1521-第三链部，1522-第四链部，1523-第五链部，1531-第一弧形部，1532-第二弧形部，131a-圆环部，131b-定位部，131c-加强部，132a-轮轴压板，132b-第二滚轮，132c-调节板，132d-滚轮本体，132e-转动芯轴。

具体实施方式

下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。

本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。

在本文中提及“实施例”或“实施方式”意味着，结合实施例或实施方式描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。

在介绍本申请的技术方案之前，再详细介绍下相关技术中的技术问题。

晶圆是制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。半导体工业对于晶圆表面缺陷检测的要求，一般是要求高效准确，能够捕捉有效缺陷，实现实时检测。

晶圆探针台可以将电探针、光学探针或射频探针放置在晶圆上，从而可以与测试仪器及半导体测试系统配合来检测晶圆表面缺陷。当晶圆的双面都需测试时，探针台需要利用翻转机构对晶圆进行翻转。

然而，常规翻转机构对大尺寸晶圆的翻转过程很费劲，且在翻转过程中很容易出现不平稳的现象，并导致翻转机构的翻转精度降低。

鉴于此，为解决上述问题，本申请提供了一种晶圆翻转机构10及探针台1。所述探针台1包括但不仅限于集成有电学、光波、微波等测试功能。且所述探针台1可以为但不仅限于为半自动探针台或全自动探针台。

可选地，所述探针台1包括控制/测试软件、载物台（Chuck）控制系统、探针测试系统、视/光学组件、屏蔽组件及隔震系统等部分。可选地，所述探针台1可对晶圆30（Wafer）或其他元器件进行I-V、C-V、光信号、RF、1/F噪声等特性分析。

具体地，所述探针台1在工作过程中，可以通过探针或探针卡点测晶圆30样品的引脚（pad），通过连接测试仪器加载和测量电学信号，并在软件端对电学信号进行控制、判断与存储，并将判断信息反馈至喷墨系统，对晶圆30上的次品晶粒（die）进行打点标记。在一个次品晶粒（die）测试完成后，通过软件控制系统将载物台（Chuck）机械平台移动至下一个待测晶粒（die），依次进行循环测试。

所述探针台1可以为但不仅限于为对尺寸规格为12寸、或8寸、或6寸、或其他尺寸的晶圆进行检测。可选地，所述探针台1还可以为硅（Si）、氮化镓（GaN）、碳化硅（SiC）等各类材质构成的芯片进行性能测试。

所述探针台1可以为但不仅限于为适用于晶圆30、或微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System，MEMS）、或生物结构、或光电器件、或发光二极管（Light EmittingDiode，LED）、或液晶显示屏幕（Liquid Crystal Display，LCD）、或太阳能电池的探测。

可选地，所述探针台1的工作温度为-60℃~300℃。进一步可选地，所述探针台1还可以加载温控系统，来满足于高低温环境下的性能测试要求。

请参阅图1及图2。本申请提供一种晶圆翻转机构10，所述晶圆翻转机构10包括翻转件11、驱动件12及辅助件13。所述翻转件11用于固定并翻转晶圆30，所述翻转件11具有相背的第一端侧111及第二端侧112。所述驱动件12邻近所述翻转件11的第一端侧111设置，所述驱动件12连接于所述翻转件11，并能够驱动所述翻转件11沿第一方向D1及第一方向D1的反方向转动，所述第一方向D1垂直于所述第一端侧111及所述第二端侧112的排布方向。所述辅助件13包括辅助环131及支撑件132，所述辅助环131套设于所述翻转件11的第二端侧112并固定连接于所述翻转件11，所述辅助环131能够相对所述支撑件132沿所述第一方向D1及第一方向D1的反方向转动，所述辅助环131具有旋转轴1311，所述旋转轴1311穿设于所述翻转件11，所述支撑件132承载所述辅助环131并对所述辅助环131限位。

所述晶圆翻转机构10可以为但不仅限于为应用于探针台1中，并用于翻转待测试的晶圆30。所述探针台1设置有所述晶圆翻转机构10，所述探针台1还可以设置有机械手臂20、卡盘、探针及其他零部件等，可以理解地，所述探针台1的其他零部件不应当成为对所述探针台1的限定。

其中，在本申请一种可选的实施方式中，当探针台1需要对双面的晶圆30进行测试时，双面的晶圆30具有第一样品面及第二样品面，即双面的晶圆30的相背两个表面均有待测试的晶粒，双面的晶圆30承载于卡盘并被探针接触以进行缺陷检测。当探针台1对双面的晶圆30的第一样品面进行测试后，机械手臂20将晶圆30从卡盘取走，并将晶圆30运送至晶圆翻转机构10，所述晶圆翻转机构10将晶圆30翻转180°，机械手臂20再取走翻转后的晶圆30，并将翻转后的晶圆30运送至卡盘，以进行晶圆30的第二样品面的测试。

可选地，所述翻转件11包括真空面板1151，所述真空面板1151能够吸附和固定晶圆30。所述翻转件11具有相背设置的第一端侧111及第二端侧112，所述驱动件12邻近所述翻转件11的第一端侧111设置，并能够驱动所述翻转件11转动，所述翻转件11的旋转角度范围为0°~180°。

可选地，所述第一方向D1为顺时针方向或逆时针方向。所述翻转件11能够沿第一方向D1及第一方向D1的反方向转动，可以理解为，所述翻转件11的第一端侧111能够在垂直于所述第一方向D1的预设平面内沿顺时针方向或逆时针方向转动。

进一步地，所述第一方向D1垂直于所述第一端侧111及所述第二端侧112的排布方向，可以理解为，所述第一方向D1所在的平面垂直于所述翻转件11的第一端侧111及第二端侧112的排布延伸方向。

可选地，所述驱动件12包括电机、同步带、转轴及其他零部件等，所述电机能够驱动同步带转动，所述同步带能够带动所述转轴转动，且所述转轴连接于所述翻转件11，并带动所述翻转件11进行转动。

优选地，所述转轴的延伸方向为所述第一端侧111及所述第二端侧112的排布方向，且所述转轴穿设于所述翻转件11的中心轴，所述中心轴的延伸方向为所述第一端侧111及所述第二端侧112的排布方向。换言之，所述驱动件12的转轴设置于所述第一端侧111的中心点所在的位置。

可选地，所述辅助件13邻近所述翻转件11的第二端侧112设置，换言之，所述驱动件12及所述辅助件13设置于所述翻转件11的相背的两侧，从而使得所述翻转件11的两个端侧均可以受到支撑。

可选地，所述翻转件11具有长度方向及宽度方向，在本实施方式中，所述第一端侧111及所述第二端侧112的排布方向平行于所述翻转件11的长度方向。可以理解地，所述翻转件11在第一端侧111与第二端侧112之间的中间部分为悬空设置，所述辅助件13和所述驱动件12设置于所述翻转件11长度方向的相背两侧，从而能够防止所述翻转件11的第一端侧111及第二端侧112之间具有较大的水平高度差。

可选地，所述辅助环131套设于所述翻转件11的第二端侧112，且所述第二端侧112沿背离所述第一端侧111的方向凸出于所述辅助环131设置，换言之，所述辅助环131设置于所述翻转件11自身在旋转过程中所需的旋转空间内，因此不会占用额外的空间，从而提升所述晶圆翻转机构10的空间利用效率。

可选地，所述辅助环131的形状为圆环或近似于圆环，且所述辅助环131的直径大于等于所述翻转件11的宽度值。其中，所述翻转件11的宽度值，指沿着垂直于所述第一端侧111与所述第二端侧112的排布方向的方向上，所述翻转件11的最大宽度。

可选地，所述辅助环131固定连接于所述翻转件11，并能够跟随所述翻转件11一起转动。所述辅助环131还具有旋转轴1311，所述辅助环131以所述旋转轴1311为中心进行转动，所述旋转轴1311穿设于所述翻转件11，换言之，所述翻转件11的旋转轴1311与所述辅助环131的旋转轴1311相互重合。在所述翻转件11翻转的过程中，所述翻转件11的第一端侧111在所述驱动件12的固定与支撑下进行转动，所述辅助环131的设置能够保证所述翻转件11的第二端侧112与所述第一端侧111保持水平，且在所述翻转件11的转动过程中，所述第一端侧111及所述第二端侧112也能一直保持在同一水平高度上，来避免所述第一端侧111与所述第二端侧112之间产生高度差而造成晶圆30固定不稳的情形，且能够有效地提升所述翻转件11的旋转精度，防止因第二端侧112位置发生偏移而导致机械手臂20无法正常运送晶圆30至所述晶圆翻转机构10、或无法经晶圆30自所述晶圆翻转机构10顺利取出，且能够避免因第二端侧112位置发生偏移而导致机械手臂20误触晶圆30导致晶圆30受损的情形。

可选地，所述支撑件132承载所述辅助环131，可以理解为，所述支撑件132沿所述辅助环131的重力方向设置于所述辅助环131的一侧，并能够支撑承载所述辅助环131。还可以理解为，所述支撑件132沿所述辅助环131的轴向方向设置于所述辅助环131背离所述旋转轴1311的一侧，并能够支撑承载所述辅助环131。

可选地，所述辅助环131能够相对所述支撑件132沿所述第一方向D1及所述第一方向D1的反方向转动，所述支撑件132还对所述辅助环131进行限位，使得所述辅助环131所在的平面可以保持垂直于所述第一端侧111及所述第二端侧112的排布方向。

综上所述，本实施方式提供的晶圆翻转机构10，在所述翻转件11的第二端侧112设置有所述辅助件13，使得所述翻转件11的第一端侧111及第二端侧112能保持在同一水平高度上，来避免所述第一端侧111与所述第二端侧112之间产生高度差而造成晶圆30固定不稳的情形，并且能够有效地提升所述翻转件11的旋转精度，防止因第二端侧112位置发生偏移而导致机械手臂20无法正常运送晶圆30至所述晶圆翻转机构10、或无法经晶圆30自所述晶圆翻转机构10顺利取出，以及能够避免因第二端侧112位置发生偏移而导致机械手臂20误触晶圆30导致晶圆30受损的情形。所述辅助件13的设置还可以有效减轻所述驱动件12对所述翻转件11的承载作用力，使得所述驱动件12的功率消耗降低，来提升所述晶圆翻转机构10的工作效率，并且能够避免所述驱动件12的转轴在长期受力作用下产生断裂的情形，从而有效地提升所述驱动件12的耐用性。在本实施方式中，所述翻转件11在所述驱动件12、所述辅助环131及所述支撑件132的共同支撑作用下进行转动，尤其是在所述翻转件11需要对大尺寸超薄晶圆30进行翻转时，所述辅助环131和所述支撑件132的设置能够使得所述翻转件11的转动过程更加平稳，从而有效地提升所述晶圆翻转机构10的精准度与可靠性。

请参阅图3及图4。所述辅助环131包括主动盘1312，所述主动盘1312固定连接于所述翻转件11，所述主动盘1312包括圆环部131a及定位部131b，所述圆环部131a关于所述旋转轴1311对称设置，所述圆环部131a的直径大于所述翻转件11的第二端侧112的最大宽度，所述定位部131b连接于所述圆环部131a的内周缘，所述定位部131b沿第二方向D2延伸，所述第二方向D2为所述第二端侧112的宽度方向，且所述定位部131b套设于所述翻转件11的第二端侧112。

可选地，所述主动盘1312固定连接于所述翻转件11，并能够跟随所述翻转件11的转动而转动。

可选地，所述圆环部131a与所述定位部131b为一体成型而成，可以理解地，所述圆环部131a与所述定位部131b也可以通过焊锡、或粘结、或其他方式进行连接固定，本申请对此不做限定。

可选地，所述圆环部131a环绕于所述翻转件11的第二端侧112设置，并关于所述旋转轴1311对称设置。换言之，所述圆环部131a的中心轴重合于所述辅助环131的旋转轴1311。

可选地，所述圆环部131a的形状为圆环或近似于圆环，且所述圆环部131a的直径大于所述翻转件11的第二端侧112的最大宽度，从而便于所述圆环部131a套设于所述翻转件11的第二端侧112。

可选地，所述主动盘1312通过所述定位部131b固定连接于所述翻转件11，从而对翻转件11进行固定和结构加强。

可选地，所述定位部131b围设于第二端侧112并形成具有中空部，在探针台1中，所述机械手臂20还能够通过所述定位部131b所在的位置向所述第二端侧112内运送晶圆30，即晶圆30经过所述中空部运送至所述第二端侧112内、或从第二端侧112内取出。

可选地，所述翻转件11具相对设置的真空面板1151和压合板1152，所述真空面板1151和所述压合板1152沿所述晶圆翻转机构10的高度方向排布。其中，所述晶圆翻转机构10的高度方向垂直于所述第二方向D2。在探针台1中，机械手臂20将晶圆30运送至所述真空面板1151和所述压合板1152之间，使得所述真空面板1151和所述压合板1152能够夹设并固定晶圆30。

在本实施方式中，所述定位部131b连接于所述圆环部131a的内周缘，并套设于所述翻转件11的第二端侧112，且所述定位部131b的轮廓近似等于所述第二端侧112在横截面上的轮廓，且所述横截面垂直于所述第一端侧111与所述第二端侧112的排布方向，从而在所述晶圆30辅助机构的组装过程中，可以通过所述定位部131b将所述辅助件13快速安装至所述翻转件11的第二端侧112。且所述定位部131b还能够沿所述晶圆翻转机构10的高度方向，对所述翻转件11的真空面板1151和压合板1152进行限位，从而避免真空面板1151和压合板1152产生错位，进而使得所述翻转件11能够更加精准地接收机械手臂20运送的晶圆30、或能够便于机械手臂20精准地取走晶圆30。

请参阅图3、图4及图5。所述支撑件132包括支撑脚座1321及第一滚轮1322，所述支撑脚座1321限位所述第一滚轮1322，且所述第一滚轮1322能够沿所述第一方向D1及第一方向D1的反方向转动。所述辅助环131还包括转轮1313，所述转轮1313连接于所述圆环部131a背离所述翻转件11的一侧，所述转轮1313关于所述旋转轴1311对称设置，且所述转轮1313抵接于所述第一滚轮1322，并能够带动所述第一滚轮1322沿所述第一方向D1及第一方向D1的反方向转动。

可选地，所述支撑脚座1321用于支撑和限位所述第一滚轮1322，换言之，所述第一滚轮1322还包括滚轮本体132d及转动芯轴132e，所述第一滚轮1322的转动芯轴132e固定于所述支撑脚座1321。进一步地，所述第一滚轮1322的转动芯轴132e的延伸方向平行于所述旋转轴1311的延伸方向，使得所述滚轮本体132d围绕于所述转动芯轴132e能够沿所述第一方向D1及第一方向D1的反方向进行转动。

可选地，所述转轮1313的形状为圆环状或近似于圆环状，且所述转轮1313的直径大于所述主动盘1312的直径。

可选地，所述转轮1313关于所述旋转轴1311对称设置，换言之，所述转轮1313的中心轴重合于所述旋转轴1311。

可选地，所述转轮1313连接于所述主动盘1312的圆环部131a背离所述翻转件11的一侧，且所述转轮1313与所述主动盘1312为固定连接。

在本实施方式中，所述转轮1313的一端连接于所述主动盘1312，所述转轮1313的另一端抵接于所述第一滚轮1322。当所述驱动件12驱动所述翻转件11进行转动时，所述翻转件11带动所述主动盘1312进行转动，由于所述转轮1313固定连接于所述主动盘1312，所述转轮1313能够跟随所述主动盘1312一起转动。且所述转轮1313还抵接于所述第一滚轮1322，从而能够带动所述第一滚轮1322进行转动。在本实施方式中，所述第一滚轮1322能够对所述转轮1313进行导向和限位，能够避免转轮1313及所述主动盘1312产生位置的偏移，从而进一步保障所述翻转件11的旋转精度。且第一滚轮1322在转轮1313滚动的过程中也产生转动而不是固定不变，能够有效地减小所述转轮1313和第一滚轮1322之间在转动过程中的摩擦力，使得所述转轮1313能够实现快速转动。

请参阅图6、图7及图8。所述支撑件132还包括限位件1323，所述限位件1323包括轮轴压板132a、第二滚轮132b及调节板132c，所述轮轴压板132a一端连接于所述支撑脚座1321，所述轮轴压板132a的另一端通过所述第二滚轮132b抵接至所述转轮1313，所述第二滚轮132b设置于所述转轮1313背离所述第一滚轮1322的一侧，且所述第二滚轮132b能够沿所述第一方向D1及第一方向D1的反方向转动，所述调节板132c连接于所述轮轴压板132a邻近所述支撑脚座1321的一侧，并用于调节所述轮轴压板132a相对所述转轮1313的位置。

可选地，所述转轮1313具有依次弯折相连的内周面1314、第一侧面1315、外周面1316及第二侧面1317。所述转轮1313的第一侧面1315固定连接于所述主动盘1312，所述转轮1313的外周面1316抵接于所述第一滚轮1322。

可选地，所述轮轴压板132a的通过第二滚轮132b抵接至所述转轮1313的内周面1314，换言之，所述轮轴压板132a连接于所述第二滚轮132b，所述第二滚轮132b抵接于所述转轮1313的内周面1314设置。

可选地，所述轮轴压板132a背离所述第二滚轮132b的一端还通过所述调节板132c连接于所述支撑脚座1321，所述调节板132c固定连接于所述支撑脚座1321，且所述调节板132c能够调节所述轮轴压板132a相对所述转轮1313的位置。其中，所述调节板132c能够调节所述轮轴压板132a相对所述转轮1313的位置，可以理解为，所述调节板132c能够调节所述轮轴压板132a与所述转轮1313在沿着所述转轮1313的轴向方向上的平均距离值。

在本实施方式中，所述限位件1323通过在转轮1313的一侧设置轮轴压板132a，第一滚轮1322和连接有第二滚轮132b的轮轴压板132a将转轮1313夹持住，来对转轮1313的中心轴位置进行限位，从而使得所述转轮1313在转动过程中可以保持稳定的位置，并进而保障所述翻转件11在旋转过程中的稳定性。以及，所述限位件1323还通过调节板132c来调整所述轮轴压板132a相对所述转轮1313的位置，一方面会便于所述轮轴压板132a对所述转轮1313的固定，和所述轮轴压板132a与所述转轮1313的拆装，另一方面还可以便于对所述转轮1313位置的误差调节，从而进一步保障所述转轮1313及所述翻转件11的旋转精度。

可以理解地，由于所述主动盘1312设置有和圆环部131a相连的定位部131b，所述轮轴压板132a不能对主动盘1312的圆环部131a进行直接限位，因此通过所述转轮1313及轮轴压板132a的配合设置，使得在能够实现所述辅助环131的顺利旋转的同时，还可以通过对所述转轮1313的限位来实现对所述辅助环131的良好限位。

优选地，所述第二滚轮132b能够沿所述第一方向D1及第一方向D1的反方向转动，从而在所述转轮1313转动的过程中，所述第二滚轮132b对所述转轮1313具有较小的摩擦力，使得所述转轮1313的转速不会受到影响。

优选地，所述调节板132c和所述轮轴压板132a均设置于所述转轮1313背离所述主动盘1312的一侧，相较于轮轴压板132a设置于邻近主动盘1312的一侧的实施方式而言，本实施方式在不会影响所述主动盘1312正常转动的同时，所述转轮1313无需在邻近所述主动盘1312一侧设置于所述轮轴压板132a配合的结构部，从而使得所述转轮1313的外周缘与所述转动盘的外周缘之间的间隙能够满足所述第一滚轮1322的转动即可，从而使得所述转轮1313能够设置更小的直径范围，从而减小所述晶圆翻转机构10的占用空间。

优选地，所述滚轮本体132d具有相连的第一凸出部、滚轮部及第二凸出部，所述第一凸出部与所述第二凸出部为相对设置，所述滚轮部抵接于所述转轮1313的外周面1316，所述第一凸出部至少部分正对于所述第一侧面1315，所述第二凸出部至少部分正对于所述第二侧面1317，从而沿所述第一端侧111及所述第二端侧112的排布方向上对所述转轮1313进行限位。

优选地，所述支撑件132的数量为至少两个，在本实施方式中，以所述支撑件132的数量为两个为例进行示意，且两个支撑件132对称设置于所述辅助件13的相背两侧。所述两个支撑件132在增强对所述辅助件13及所述翻转件11的支撑作用下，还能够在所述转轮1313的两侧对其轮轴进行限位，从而进一步保障所述转轮1313的位置精准度。

请参阅图9及图10。所述翻转件11包括翻转主体113及侧板114，所述翻转主体113用于固定并翻转晶圆30，所述侧板114固定连接于所述翻转主体113，且所述侧板114沿第三方向D3延伸，所述第三方向D3为所述第一端侧111与所述第二端侧112的排布方向。所述主动盘1312还具有加强部131c，所述加强部131c的一端连接于所述定位部131b，所述加强部131c的另一端连接于所述圆环部131a，所述辅助件13还包括定位板133、连接板134及加强筋135，所述定位板133围设于所述第二端侧112的周侧，并固定连接于所述侧板114，所述连接板134的一端连接于所述定位板133，所述连接板134的另一端连接于所述加强筋135，所述加强筋135固定于所述加强部131c。

可选地，所述翻转主体113用于固定并翻转晶圆30，所述翻转主体113包括相对设置的真空面板1151和压合板1152，并用于固定且翻转晶圆30。

可选地，所述侧板114与所述翻转主体113为弯折相连，所述侧板114固定连接于所述翻转主体113，且所述侧板114还固定连接于所述辅助件13。

可选地，所述侧板114的数量至少为两个，在本实施方式的示意图中，以所述侧板114的数量为两个为例进行示意，且两个侧板114相背设置于所述翻转主体113的两侧，并用于固定连接所述翻转主体113。

可选地，所述加强部131c、所述定位部131b及所述圆环部131a为一体成型而成。所述加强部131c的一端连接于所述定位部131b，所述加强部131c的另一端连接于所述圆环部131a，并能够增强所述主动盘1312的结构强度。

可选地，所述定位板133围设于所述第二端侧112的周侧，且所述定位板133在所述主动盘1312的正投影落入所述定位部131b的范围内。所述定位板133的一侧固定连接于所述侧板114，且所述定位板133的另一侧固定连接于所述主动盘1312，从而将所述主动盘1312、所述转轮1313固定至所述翻转件11。

在本实施方式中，所述主动盘1312通过所述加强部131c的设置来提升所述主动盘1312的结构强度。所述辅助件13还设置加强筋135固定连接于所述加强部131c，从而进一步地提升所述主动盘1312的结构强度。所述辅助件13还设置有连接板134，所述连接板134的一端固定连接于定位板133，所述连接板134的另一端连接于所述加强筋135，从而进一步提升所述辅助件13的结构强度。且所述加强部131c及所述加强筋135通过所述连接板134及所述定位板133连接固定至所述翻转件11的侧板114，使得所述辅助件13与所述翻转件11之间的位置关系更加稳固。在所述翻转件11不需要旋转时，或者所述翻转件11在停止旋转时，所述辅助件13不会因为惯性而继续转动，并避免所述辅助件13因惯性带动翻转件11的第二端侧112转动的情形，从而确保所述翻转件11在所述第二端侧112的旋转精度。

请再次参阅图10。所述辅助件13包括至少两个支撑件132，且所述两个支撑件132关于所述辅助环131对称设置。所述主动盘1312具有多个加强部131c，且所述多个加强部131c关于所述旋转轴1311对称设置，所述辅助件13还包括多个加强筋135，单个所述加强筋135固定于单个加强部131c，且不同的加强筋135固定于不同的加强部131c。

可选地，所述支撑件132的数量为两个、或三个、或四个或其他数量等，在本实施方式的示意图中，以所述支撑件132的数量为两个为例进行示意。

优选地，两个支撑件132关于所述辅助环131对称设置，所述两个支撑件132的设置能够增强对所述辅助件13及所述翻转件11的支撑作用，且能够在所述转轮1313的两侧对其轮轴进行限位，从而进一步保障所述转轮1313的位置精准度。

可选地，所述加强部131c的数量为两个、或三个、或四个或其他数量等，在本实施方式的示意图中，以所述加强部131c的数量为四个为例进行示意。可以理解地，在本申请其他实施方式中，所述加强部131c也可以为其他数量，本申请对此不做限定。当所述加强部131c的数量为四个时，四个加强部131c关于所述旋转轴1311对称设置，且两个加强部131c设置于所述定位部131b的一侧，另外两个加强部131c设置于所述定位部131b的另一侧。

可选地，所述加强筋135的数量为两个、或三个、或四个或其他数量等，所述加强筋135的数量等同于所述加强部131c的数量，且所述加强筋135与所述加强部131c为一一对应设置。

在本实施方式中，所述主动盘1312的多个加强部131c关于所述旋转轴1311对称设置，所述多个加强部131c在进一步增强所述主动盘1312的结构强度时，所述主动盘1312整体的受力也会较均匀，从而使得所述翻转件11的第二端侧112能够保持水平，使得所述翻转件11可以保持平稳地转动。且所述主动盘1312与所述翻转件11之间的位置关系会更加稳固，从而进一步避免所述辅助件13因惯性带动翻转件11的第二端侧112转动的情形，从而进一步确保所述翻转件11在所述第二端侧112的旋转精度。

请参阅图2、图11及图12。所述翻转件11还包括面板组件115及旋转板116，所述面板组件115包括真空面板1151及压合板1152，所述真空面板1151与所述压合板1152为相对设置，所述真空面板1151与所述压合板1152用于共同夹设晶圆30，且所述真空面板1151固定连接于所述侧板114，所述旋转板116的一侧连接于所述驱动件12，所述旋转板116的另一侧连接于所述真空面板1151、所述压合板1152及所述侧板114。

在本实施方式中，所述真空面板1151能通过真空吸附晶圆30。所述压合板1152相对设置于所述真空面板1151，并能够配合所述真空面板1151压合晶圆30。具体地，当晶圆30需要运送至所述翻转件11的时候，所述真空面板1151与所述压合板1152为间隔设置，即所述真空面板1151与所述压合板1152之间存在间隙，机械手臂20将晶圆30通过所述翻转件11的第二端侧112运送进所述翻转件11，所述压合板1152向所述真空面板1151移动，并辅助所述真空面板1151将晶圆30压合。尤其是当晶圆30为超薄大尺寸晶圆30时，晶圆30很容易不平整，所述真空面板1151与所述压合板1152的配合，能够防止真空面板1151无法有效地吸附晶圆30的情形。

可选地，所述真空面板1151与所述压合板1152之间通过导向轴件1156连接，从而使得所述真空面板1151与所述压合板1152之间具有精准的位置关系。

可选地，所述真空面板1151在邻近所述压合板1152的一侧还设置有油压缓冲器，并能够防止所述真空面板1151与所述压合板1152发生强烈的碰撞而导致零部件或晶圆30损坏。

可选地，所述面板组件115还设置有对射光电传感器1157，所述对射光电传感器1157设置于所述真空面板1151及所述压合板1152，并能够检测超薄晶圆30是否运送至翻转件11。

所述主动盘1312的定位部131b还能够对所述真空面板1151及所述压合板1152进行限位，来避免所述真空面板1151及所述压合板1152在移动的过程中产生错位，从而进一步提升所述翻转件11的位置精度。

请参阅图2及图13。所述面板组件115包括间隔设置的第一面板部1153、第二面板部1154及第三面板部1155，所述第一面板部1153及所述第三面板部1155关于所述第二面板部1154对称设置。所述翻转件11还包括横板117，所述横板117同时抵接于所述第一面板部1153、所述第二面板部1154及所述第三面板部1155，并对所述第一面板部1153、所述第二面板部1154及所述第三面板部1155限位。

可选地，所述第一面板部1153固定连接至侧板114，所述第三面板部1155固定连接至另一侧板114，所述第二面板部1154设置于所述第一面板部1153及所述第三面板部1155之间。

可选地，所述横板117沿所述第二方向D2延伸，且所述横板117抵接于所述第一面板部1153、第二面板部1154及所述第三面板部1155，并使所述第一面板部1153、所述第二面板部1154及所述第三面板部1155保持水平。

在本实施方式中，所述面板组件115分为多个面板部来对晶圆30压合，使得晶圆30能够被有效地固定和压合的同时，相较于设置整面的面板的实施方式而言，所述面板组件115能够具有更轻的重量，从而便于所述驱动件12驱动所述面板组件115进行转动。且所述第二面板部1154设置于所述第一面板部1153及所述第三面板部1155邻近所述驱动件12的一侧，从而能够有效地减少所述第二端侧112的重量，并减小所述第二端侧112的旋转精度误差。进一步地，所述翻转件11还通过所述横板117的设置，来保持所述第一面板部1153、所述第二面板部1154及所述第三面板部1155在水平高度的一致，从而确保所述面板组件115能够对晶圆30具有良好地固定效果，且能够提升所述翻转件11的位置精度。

优选地，所述横板117的数量为多个，即所述横板117的数量为大于等于两个，从而进一步保障所述第一面板部1153、所述第二面板部1154及所述第三面板部1155的平整度。

请参阅图14及图15。所述晶圆翻转机构10还包括线束（图未示）及拖链组件15，所述线束连接于所述翻转件11，所述拖链组件15邻近于所述翻转件11的第一端侧111设置，所述拖链组件15包括第一拖链151、第二拖链152及托板153，所述托板153具有相对设置的第一弧形部1531及第二弧形部1532，所述第一弧形部1531承载所述第一拖链151，所述第二弧形部1532承载第二拖链152，所述第二拖链152用于固定所述线束，且所述第二拖链152能够沿所述第一弧形部1531及所述第二弧形部1532滑动。

可选地，所述线束为所述晶圆翻转机构10的电气线束。所述线束连接于所述翻转件11，并用于电连接所述翻转件11的电气零部件。所述拖链组件15用于固定所述线束。

可选地，所述第一弧形部1531的形状近似于半圆状。所述第二弧形部1532与所述第一弧形部1531为相对设置，所述第二弧形部1532设置于所述第一弧形部1531背离所述驱动件12的一侧，且所述第二弧形部1532的弧度与所述第一弧形部1531的弧度相等或近似相等。

可选地，所述第一弧形部1531背离所述驱动件12的表面用于承载所述第一拖链151及所述第二拖链152，所述第二弧形部1532背离所述第一弧形部1531的表面用于承载所述第二拖链152。

可选地，所述第一拖链151具有相连的第一链部1511及第二链部1512，所述第一链部1511贴合于所述第一弧形部1531设置，所述第二链部1512设置于所述第一弧形部1531的一侧，且所述第二链部1512为半圆状。所述第二拖链152具有相连的第三链部1521、第四链部1522及第五链部1523，所述第三链部1521贴合承载于所述第二弧形部1532背离所述第一弧形部1531的表面，且所述第三链部1521的一端连接于所述翻转件11，所述第四链部1522的一端连接于所述第三链部1521的另一端，所述第四链部1522的另一端连接于所述第五链部1523，所述第五链部1523贴合并承载于所述第一弧形部1531。

进一步可选地，当所述驱动件12驱动所述翻转件11转动时，所述第二拖链152跟随所述翻转件11一起转动。具体地，所述第三链部1521的一端跟随所述翻转件11转动，所述第三链部1521沿着所述第二弧形部1532的延伸方向滑动，所述第四链部1522逐渐承载于所述第一拖链151的第二链部1512，并逐渐沿所述第二弧形部1532的延伸方向滑动，直至承载于所述第二链部1512。

在本实施方式中，在所述翻转件11的转动过程中，所述第二拖链152能够沿所述第一弧形部1531及所述第二弧形部1532滑动，使得所述第二拖链152能够实现平滑地滑动，从而使得所述线束能够平稳地移动，并避免所述线束发生大幅度摇晃而导致所述翻转件11跟随所述线束出现位置偏移，进而保障所述翻转件11在转动过程中能够保持位置的平稳，而避免发生晃动导致晶圆30偏移的情形，从而进一步提升所述晶圆翻转机构10的安全性及可靠性。

请参阅图1及图16。本申请还提供一种探针台1，所述探针台1包括机械手臂20及所述晶圆翻转机构10，所述机械手臂20能够穿设于所述辅助环131，并用于运输晶圆30。

可选地，所述探针台1为全自动探针台1或半自动探针台1，并能够对晶圆30进行测试。当探针台1需要对双面的晶圆30进行测试时，机械手臂20能够在探针台1的卡盘与晶圆翻转机构10之间运输晶圆30。

本实施方式提供的晶圆翻转机构10，在所述翻转件11的第二端侧112设置有所述辅助件13，能够避免所述第一端侧111与所述第二端侧112之间产生高度差而造成晶圆30固定不稳的情形，并且能够有效地提升所述翻转件11的旋转精度，从而有效地提升所述探针台1的精准度与可靠性。

在本申请中提及“实施例”“实施方式”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现所述短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本申请所描述的实施例可以与其它实施例相结合。此外，还应该理解的是，本申请各实施例所描述的特征、结构或特性，在相互之间不存在矛盾的情况下，可以任意组合，形成又一未脱离本申请技术方案的精神和范围的实施例。

最后应说明的是，以上实施方式仅用以说明本申请的技术方案而非限制，尽管参照以上较佳实施方式对本申请进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本申请的技术方案进行修改或等同替换都不应脱离本申请技术方案的精神和范围。

Claims (7)

1.一种晶圆翻转机构，其特征在于，所述晶圆翻转机构包括：

翻转件，所述翻转件用于固定并翻转晶圆，所述翻转件具有相背的第一端侧及第二端侧；

驱动件，所述驱动件邻近所述翻转件的第一端侧设置，所述驱动件连接于所述翻转件，并能够驱动所述翻转件沿第一方向及第一方向的反方向转动，所述第一方向垂直于所述第一端侧及所述第二端侧的排布方向；及

辅助件，所述辅助件包括辅助环及支撑件，所述辅助环套设于所述翻转件的第二端侧并固定连接于所述翻转件，所述辅助环能够相对所述支撑件沿所述第一方向及第一方向的反方向转动，所述辅助环具有旋转轴，所述旋转轴穿设于所述翻转件，所述支撑件承载所述辅助环并对所述辅助环限位；

其中，所述辅助环包括主动盘，所述主动盘固定连接于所述翻转件，所述主动盘包括圆环部及定位部，所述圆环部关于所述旋转轴对称设置，所述圆环部的直径大于所述翻转件的第二端侧的最大宽度，所述定位部连接于所述圆环部的内周缘，所述定位部沿第二方向延伸，所述第二方向为所述第二端侧的宽度方向，且所述定位部套设于所述翻转件的第二端侧；

所述支撑件包括支撑脚座及第一滚轮，所述支撑脚座限位所述第一滚轮，且所述第一滚轮能够沿所述第一方向及第一方向的反方向转动；

所述辅助环还包括转轮，所述转轮连接于所述圆环部背离所述翻转件的一侧，所述转轮关于所述旋转轴对称设置，且所述转轮抵接于所述第一滚轮，并能够带动所述第一滚轮沿所述第一方向及第一方向的反方向转动；

所述支撑件还包括限位件，所述限位件包括轮轴压板、第二滚轮及调节板，所述轮轴压板一端连接于所述支撑脚座，所述轮轴压板的另一端通过所述第二滚轮抵接至所述转轮，所述第二滚轮设置于所述转轮背离所述第一滚轮的一侧，且所述第二滚轮能够沿所述第一方向及第一方向的反方向转动，所述调节板连接于所述轮轴压板邻近所述支撑脚座的一侧，并用于调节所述轮轴压板相对所述转轮的位置。

2.如权利要求1所述的晶圆翻转机构，其特征在于，所述翻转件包括翻转主体及侧板，所述翻转主体用于固定并翻转晶圆，所述侧板固定连接于所述翻转主体，且所述侧板沿第三方向延伸，所述第三方向为所述第一端侧与所述第二端侧的排布方向；

所述主动盘还具有加强部，所述加强部的一端连接于所述定位部，所述加强部的另一端连接于所述圆环部，所述辅助件还包括定位板、连接板及加强筋，所述定位板围设于所述第二端侧的周侧，并固定连接于所述侧板，所述连接板的一端连接于所述定位板，所述连接板的另一端连接于所述加强筋，所述加强筋固定于所述加强部。

3.如权利要求2所述的晶圆翻转机构，其特征在于，所述辅助件包括至少两个支撑件，且所述两个支撑件关于所述辅助环对称设置；

所述主动盘具有多个加强部，且所述多个加强部关于所述旋转轴对称设置，所述辅助件还包括多个加强筋，单个所述加强筋固定于单个加强部，且不同的加强筋固定于不同的加强部。

4.如权利要求2所述的晶圆翻转机构，其特征在于，所述翻转件还包括面板组件及旋转板，所述面板组件包括真空面板及压合板，所述真空面板与所述压合板为相对设置，所述真空面板与所述压合板用于共同夹设晶圆，且所述真空面板固定连接于所述侧板，所述旋转板的一侧连接于所述驱动件，所述旋转板的另一侧连接于所述真空面板、所述压合板及所述侧板。

5.如权利要求4所述的晶圆翻转机构，其特征在于，所述面板组件包括间隔设置的第一面板部、第二面板部及第三面板部，所述第一面板部及所述第三面板部关于所述第二面板部对称设置；

所述翻转件还包括横板，所述横板同时抵接于所述第一面板部、所述第二面板部及所述第三面板部，并对所述第一面板部、所述第二面板部及所述第三面板部限位。

6.如权利要求1所述的晶圆翻转机构，其特征在于，所述晶圆翻转机构还包括线束及拖链组件，所述线束连接于所述翻转件，所述拖链组件邻近于所述翻转件的第一端侧设置，所述拖链组件包括第一拖链、第二拖链及托板，所述托板具有相对设置的第一弧形部及第二弧形部，所述第一弧形部承载所述第一拖链，所述第二弧形部承载第二拖链，所述第二拖链用于固定所述线束，且所述第二拖链能够沿所述第一弧形部及所述第二弧形部滑动。

7.一种探针台，其特征在于，所述探针台包括机械手臂及如权利要求1~6任意一项所述的晶圆翻转机构，所述机械手臂能够穿设于所述辅助环，并用于运输晶圆。