CN117594505A - 一种移位装置及工件处理方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种移位装置及工件处理方法，包括：主支撑框架、第一运动部、第二运动部、运动单元及转运支架，其中主支撑框架包括运动平面；第一运动部设置于运动平面上，第一运动部至少包括第一固定单元、负载第一固定单元进行平面运动的第一平面运动台；第二运动部与第一运动部间隔预设距离，第二运动部至少包括第二固定单元、负载第二固定单元进行平面运动的第二平面运动台，第一运动部与第二运动部在同一运动平面上运动；运动单元位于第一运动部上方和/或位于第二运动部上方；转运支架设置于第一运动部与第二运动部之间的运动平面的正上方，用于转运运动单元至第一固定单元以及第二固定单元上。本发明的移位装置及工件处理方法工件流转效率高。

Description

一种移位装置及工件处理方法

技术领域

本发明涉及集成电路制造技术领域，特别是涉及一种移位装置及工件处理方法。

背景技术

在集成电路制造领域，精密运动台技术是装备制造系统的核心技术，一直受到行业内的高度重视。为了满足高效的生产要求，同时又将生产成本控制在一个合理的范围，装备制造系统需要具备相应的品质和产率，这就对精密运动系统提出了严格的要求。用于工件处理的装备制造系统结构越来越复杂，具备的功能也越来越多，为了实现多个装备制造系统之间组成一条产线进行自动化生产的产率要求，工件需要进行高效地流转。常规多轴运动的移位装置中的微动台结构只能作为一个整体进行工作，微动台带着工件在各个功能区域进行相应的动作，工件跟随微动台整体进行流转或单独流转，这种流转方式需要微动台带着工件轮流在各个功能区域之间往返运动，导致负载微动台的宏动台运动覆盖区域较大，流转效率较低；而且，微动台作为一个整体，其维护较为不便，尤其微动台承载单元所置功能组件，更是日常维护和检查的重点，需要移机拆机操作，占线工作量较大、时间较久。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种移位装置及工件处理方法，用于解决现有技术中工件流转效率低、日常更换检查困难的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种移位装置，包括：

主支撑框架，包括运动平面；

第一运动部，设置于所述运动平面上，所述第一运动部至少包括第一固定单元、第一平面运动台，所述第一平面运动台用于负载所述第一固定单元进行平面运动；

第二运动部，设置于所述运动平面上且与所述第一运动部间隔预设距离，所述第二运动部至少包括第二固定单元、第二平面运动台，所述第二平面运动台用于负载所述第二固定单元进行平面运动，所述第一运动部与所述第二运动部在同一所述运动平面上运动；

运动单元，位于所述第一运动部上方和/或位于所述第二运动部上方

转运支架，设置于所述第一运动部与所述第二运动部之间的所述运动平面的正上方，所述转运支架用于转运所述运动单元至所述第一固定单元以及所述第二固定单元上。

可选地，所述第一平面运动台包括第一平面运动主板以及第一平面驱动单元，所述第一平面驱动单元包括设置在第一平面运动主板上的第一动子线圈阵列以及第一定子磁钢阵列；所述第二平面运动台包括第二平面运动主板以及第二平面驱动单元，所述第二平面驱动单元包括设置在第二平面运动主板上的第二动子线圈阵列以及第二定子磁钢阵列，所述第一定子磁钢阵列和所述第二定子磁钢阵列均设置在所述运动平面上。

可选地，所述第一运动部中还设有用于供所述第一平面运动主板进行运动的第一线缆台组件，所述第一线缆台组件包括相连接的第一线缆、第二线缆以及第一横梁组件；所述第二运动部中还设有供所述第二平面运动主板运动的第二线缆台组件，所述第二线缆台组件包括相连接的第三线缆、第四线缆以及第二横梁组件。

可选地，所述转运支架用于将所述运动单元从所述第一固定单元转运至所述第二固定单元上以及将所述运动单元从所述第二固定单元转运至所述第一固定单元上。

可选地，所述第一固定单元中包括第一夹持结构，所述第二固定单元中包括第二夹持结构，所述运动单元中包括引线机构，所述运动单元位于所述第一运动部上方，所述引线机构与所述第一夹持机构相对应并卡合；所述运动单元位于所述第二运动部上方，所述引线机构与所述第二夹持机构相对应并卡合。

可选地，所述第一固定单元和所述第二固定单元包括竖直升降机构，所述运动单元包括水平运动机构；所述运动单元通过所述第一夹持机构与所述引线机构卡合固定于所述第一固定单元上，以构成微动台；所述运动单元通过所述第二夹持机构与所述引线机构卡合固定于所述第二固定单元上，以构成微动台。

可选地，所述运动单元包括多个，多个所述运动单元至少位于所述第一固定单元、所述第二固定单元以及所述转运支架中的两个上方。

可选地，所述运动单元中还包括依次层叠设置的运动件以及承件单元，所述承件单元用于承载工件，所述引线机构位于所述运动件侧壁。

可选地，所述转运支架包括连接架以及分别固定于所述连接架底部且相对设置的第一支座与第二支座。

可选地，所述第一支座的上表面还设有用于提供电源的接线通道的第三引线板以及用于提供电信号的引线通道的第四引线板；所述第二支座的上表面还设有用于提供电源的接线通道的第五引线板以及用于提供电信号的引线通道的第六引线板；所述运动单元中还包括第一引线板以及第二引线板，所述第一引线板用于提供电源的接线通道，所述第二引线板用于提供电信号的引线通道。

可选地，所述转运支架悬空设置于所述运动平面上方并与所述运动平面间隔预设距离。

本发明还提供一种工件处理方法，包括以下步骤：

提供一如上述所述的移位装置及至少一工件；

将所述运动单元置于所述第一固定单元上方，并将所述工件置于所述运动单元上方；

利用所述运动单元与所述第一固定单元构成的微动台对所述工件进行第一加工；

利用所述转运支架将所述运动单元转运至所述第二固定单元上；

利用所述运动单元与所述第二固定单元构成的微动台对所述工件进行第二加工；

并对第二加工后的所述工件进行下件。

可选地，所述移位装置中设有三个运动单元，三个所述运动单元分别位于所述第一固定单元、所述第二固定单元以及所述转运支架的上方，所述运动单元与所述第二固定单元构成的微动台与所述运动单元与所述第一固定单元构成的微动台可同时工作且互不影响。

如上所述，本发明的移位装置及工件处理方法，具有以下有益效果：通过设置所述运动单元分别与所述第一固定单元和所述第二固定单元组合成微动台，当所述运动单元上承载所述工件时，所述工件可以分别在所述第一固定单元或所述第二固定单元上进行加工，实现了同一所述运动平台上的不同的加工作业；此外，通过转运支架可将所述运动单元转运至第一固定单元及第二固定单元上，使所述移位装置可同时处理多个所述工件，并且保证每个所述工件上的处理流程和处理时间，增加了所述移位装置在单位时间内可处理的所述工件的数量，提高了所述移位装置的利用效率，此外，仅需进行所述运动单元的转运及替换即可完成所述工件的处理过程，减少了运转空间的占用率和运转重量，提高了所述工件的运转效率，并且便于所述移位装置的维护和检查。

附图说明

图1显示为本发明的移位装置的结构示意图。

图2显示为本发明的移位装置的部分结构示意图。

图3显示为本发明的移位装置的运动单元与第一固定单元构成的微动台的结构示意图。

图4显示为本发明的移位装置的运动单元的结构示意图。

图5显示为本发明的移位装置的转运支架的结构示意图。

图6显示为本发明的移位装置的运动单元与转运支架贴合的结构示意图。

图7显示为本发明的移位装置的第一工位区、第二工位区及第三工位区的布局示意图。

图8显示为本发明的移位装置的第一固定单元及第二固定单元的于第一工位区、第二工位区及第三工位区的分布示意图。

图9-图14显示为本发明的实施例二的移位装置的工件处理流程俯视图。图15-图20显示为本发明的实施例三的移位装置的工件处理流程俯视图。

元件标号说明

1 主支撑框架

11 运动平面

2 第一运动部

21 第一固定单元

211 第一夹持机构

22 第一平面运动台

221 第一平面运动主板

222 第一平面驱动单元

222a 第一动子线圈阵列

222b 第一定子磁钢阵列

23 第一线缆台组件

231 第一线缆

232 第二线缆

233 第一横梁组件

3 第二运动部

31 第二固定单元

311 第二夹持机构

32 第二平面运动台

321 第二平面运动主板

322 第二平面驱动单元

322a 第二动子线圈阵列

322b 第二定子磁钢阵列

33 第二线缆台组件

331 第三线缆

332 第四线缆

333 第二横梁组件

4、4a、4b、4c 运动单元

41 引线机构

42 运动件

43 承件单元

44 第一引线板

45 第二引线板

5 转运支架

51 连接架

52 第一支座

521 第三引线板

522 第四引线板

53 第二支座

531 第五引线板

532 第六引线板

6 第一工位区

7 第二工位区

8 第三工位区

9 工件

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本发明的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点及功效。

请参阅图1至图20。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本发明可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本发明可实施的范畴。

实施例一

本实施例提供一种移位装置，如图1-图2所示，分别为移位装置的结构示意图以及移位装置的部分结构示意图，包括：主支撑框架1、第一运动部2、第三运动部3、运动单元4以及转运支架5，其中，主支撑框架1包括运动平面11；第一运动部2设置于运动平面11上，第一运动部2至少包括第一固定单元21、第一平面运动台22，第一平面运动台22用于负载第一固定单元21进行平面运动；第二运动部3设置于运动平面11上且与第一运动部2间隔预设距离，第二运动部3至少包括第二固定单元31、第二平面运动台32，第二平面运动台32用于负载第二固定单元31进行平面运动，第一运动部2与第二运动部3在同一所运动平面11上运动；运动单元4位于第一运动部2上方和/或位于第二运动部3上方；转运支架5设置于第一运动部2与第二运动部3之间的运动平面11的正上方，转运支架5用于转运运动单元4至第一固定单元21以及第二固定单元31上。

具体的，在满足移位装置的性能的情况下，主支撑框架1的尺寸及形状可根据实际情况进行选择，在此不作限制。

具体的，主支撑框架1用于提供第一平面运动台22、第二平面运动台32、第一线缆台组件23和第二双线缆台组件33的安装和支撑。

作为示例，第一平面运动台22包括第一平面运动主板221以及第一平面驱动单元222，第一平面驱动单元222包括设置在第一平面运动主板221上的第一动子线圈阵列222a以及第一定子磁钢阵列222b；第二平面运动台32包括第二平面运动主板321以及第二平面驱动单元322，第二平面驱动单元322包括设置在第二平面运动主板321上的第二动子线圈阵列322a以及第二定子磁钢阵列322b，第一定子磁钢阵列222b和第二定子磁钢阵列322b均设置在所述运动平面上11。在本实施例中，第一平面驱动单元222与第二平面驱动单元322共用一个定子磁钢阵列，即在本实施例中第一定子磁钢阵列222b与第二定子磁钢阵列322b为同一定子磁钢阵列。

具体的，第一平面驱动单元222采用磁浮平面驱动作驱动；第二平面驱动单元322采用磁浮平面驱动作驱动。

作为示例，第一运动部2中还设有用于供第一平面运动主板221进行运动的第一线缆台组件23，第一线缆台组件23包括相连接的第一线缆231、第二线缆232以及第一横梁组件233；第二运动部3中还设有供第二平面运动主板321运动的第二线缆台组件33，第二线缆台组件33包括相连接的第三线缆331、第四线缆332以及第二横梁组件333。具体的，在满足移位装置的性能的情况下，第一线缆台组件23的数量可根据实际情况进行选择，在此不作限制；第二线缆台组件33的数量可根据实际情况进行选择，在此不作限制。

作为示例，第一固定单元21中包括第一夹持结构211，第二固定单元31中包括第二夹持结构311，运动单元4中包括引线机构41，运动单元4位于第一运动部2上方，引线机构41与第一夹持机构211相对应并卡合；运动单元4位于第二运动部3上方，引线机构41与第二夹持机构311相对应并卡合。

具体的，第一夹持机构211和第二夹持机构311内设置有引线板，引线机构41内设置有引线,第一夹持机构211或第二夹持机构311与引线机构41相对应并卡合后，引线与引线板相接触，运动单元4通电，即能使运动单元4上的工件9进行通电作业。

作为示例，如图3所示，为运动单元4与第一固定单元21构成的微动台的结构示意图，第一固定单元21和第二固定单元31包括竖直升降机构，运动单元4包括水平运动机构；运动单元4通过第一夹持机构211与引线机构41卡合固定于第一固定单元21上，以构成微动台；运动单元4通过第二夹持机构311与引线机构41卡合固定于第二固定单元31上，以构成微动台。

具体的，第一固定单元21和第二固定单元31包括竖直升降机构，运动单元4包括水平运动机构，即在运动单元4承载工件9进行运动的过程中，第一固定单元21和第二固定单元31可负载运动单元4进行竖直方向的升降，运动单元4可进行水平方向的运动，以方便运动单元4负载工件9进行转运。

具体的，竖直升降机构包括压电电机，水平运动机构包括压电陶瓷叠堆。其中压电陶瓷叠堆结构简单，更利于运动单元4与第一固定单元21或第二固定单元31的组合并实现水平方向运动的功能。

作为示例，运动单元4中还包括依次层叠设置的运动件42以及承件单元43，承件单元43用于承载工件9，引线机构41位于运动件42侧壁。

作为示例，转运支架5悬空设置于运动平面11上方并与运动平面11间隔预设距离。

具体的，当载有运动单元4的第一固定单元21运动到转运支架5下方时，转运支架5至少部分伸入第一固定单元21和运动单元4之间，通过第一固定单元21的下降使运动单元4留在转运支架5上；然后当未载有运动单元4的第二固定单元31运动到转运支架5下方且运动到运动单元4的正下方时，通过第二固定单元31的上升使第二固定单元31承载运动单元4，从而完成运动单元4的转运。运动单元4从第二固定单元31转运至第一固定单元21上同理，故不再赘述。

需要说明的，第一固定单元21和第二固定单元31可以不升降，通过运转支架5的升降也可实现运动单元4的转运，此处不做限制。

作为示例，转运支架5包括连接架51以及分别固定于连接架51底部且相对设置的第一支座52与第二支座53。

具体的，转运支架5通过整机框架(未示出)悬空设置于运动平面11上方，连接架51连接固定在整机框架上。

具体的，当载有转运支架5的第一支座52上已承载运动单元4时，载有另一个运动单元4的第一固定单元21运动到转运支架5的第二支座53下方，并将另一个运动单元4留在第二支座53上，然后继续运动到转运支架5的第一支座52下方，承载运动单元4后完成运动单元4的转运。运动单元4在第二固定单元31的转运同理，故不再赘述。

需要说明的，转运中的运动单元4可位于第一支座52上，也可位于第二支座53上，这里不做限制。

具体的，利用转运支架5和运动单元4能有效的完成运动单元4在不同平台上的转运，这样无需对整个微动台进行转运，大大提高运转效率。此外，通过使运转支架5悬空设置，第一固定单元21和第二固定单元31在运转支架5下方的运动为直线路径，且通过程序控制不会有来回运动的多余路径，进一步提高了运转效率。

作为示例，如图4及图5所示，分别为运动单元4的结构示意图以及转运支架5的结构示意图，第一支座52的上表面还设有用于提供电源的接线通道的第三引线板521以及用于提供电信号的引线通道的第四引线板522；第二支座53的上表面还设有用于提供电源的接线通道的第五引线板531以及用于提供电信号的引线通道的第六引线板532；运动单元4中还包括第一引线板44以及第二引线板45，第一引线板44用于提供电源的接线通道，第二引线板45用于提供电信号的引线通道。

具体的，在满足移位装置的性能的情况下，运动单元4位于转运支架5上的位置可根据实际情况进行选择，在此不作限制，即运动单元可位于第一支座52上，也可位于第二支座53上，视具体情况而定。

具体的，如图6所示，为运动单元4与转运支架5贴合的结构示意图，运动单元4位于第一支座52上方时，第一引线板44与第三引线板521之间的引线触点贴合导通，提供电动势输入；第二引线板45与第四引线板522之间的引线触点贴合导通，提供信号的输入输出。

具体的，第一引线板44与第三引线板521之间的引线触点贴合导通、第二引线板45与第四引线板522之间的引线触点贴合导通，依赖于运动单元4位于第一支座52上方时的重力作用。

具体的，运动单元4位于第二支座53上方时，第一引线板44与第五引线板531之间的引线触点贴合导通，提供电动势输入；第二引线板45与第六引线板532之间的引线触点贴合导通，提供信号的输入输出。

具体的，第一引线板44与第五引线板531之间的引线触点贴合导通、第二引线板45与第六引线板532之间的引线触点贴合导通，依赖于运动单元4位于第二支座53上方时的重力作用。

具体的，于第一支座52上方设置与第三引线板521以及第四引线板522，第一引线板44与第三引线板521之间的引线触点贴合导通、第二引线板45与第四引线板522之间的引线触点贴合导通，为运动单元4提供电源的接线通道；于第二支座53上方设置与第五引线板531以及第六引线板532，第一引线板44与第五引线板531之间的引线触点贴合导通、第二引线板45与第六引线板532之间的引线触点贴合导通，为运动单元4提供电信号的引线通道，保证了运动单元4在后续交换过程中的正常供电和信号通讯，为移位装置系统的持续和稳定作用提供了保障。

需要说明的，通过设置引线机构41、第一引线板44和第二引线板45可以使运动单元4上的工件9始终保持通电模式，即无论工件9在不同区域加工时还是在转运支架5上转运时，工件9通过运动单元4始终保持通电。

作为示例，如图6所示，转运支架5用于将运动单元4从第一固定单元21转运至第二固定单元31上以及将运动单元4从第二固定单元31转运至第一固定单元21上。作为示例，运动单元4包括多个，多个运动单元4至少位于第一固定单元21、第二固定单元31以及转运支架5中的两个上方。

具体的，当运动单元4位于第一固定单元21上方，通过第一夹持机构211夹持引线单元41以构成微动台，第一平面运动台22负载微动台用以完成工件9的一种加工。

具体的，当运动单元4位于第二固定单元31上方，通过第二夹持机构311夹持引线单元41以构成微动台，第二平面运动台32负载微动台用以完成工件9的另一种加工。

具体的，第二平面运动台32可负载微动台至转运支架5处，通过第二夹持机构311松开引线机构41，将运动单元4放置于转运支架5上，进行运动单元4及工件9的卸载及替换；第一平面运动台22可负载微动台至转运支架5处，通过第一夹持机构211松开引线机构41进行运动单元4及工件9的卸载及替换，即通过转运支架5可将运动单元4转运至第一固定单元21上及第二固定单元31上。

具体的，于移位装置中设置多个运动单元4，运动单元4分别与第一固定单元21或第二固定单元31构成的微动台可以同时工作，即保证同时有两个工件9在工作中，一个工件9在流转等待中，移位装置能够同时处理两个工件9，并且保证每个工件9上的处理流程和处理时间，增加了移位装置在单位时间内可处理的工件9的数量，提高了移位装置的利用效率。

本实施例的移位装置通过于运动单元4上设置引线机构41，于第一固定单元21上设置第一夹持机构211，于所述第二固定单元上设置第二夹持机构311，通过第一夹持机构211夹持引线机构41可构成微动台用以完成工件9的一种加工工作，通过第二夹持机构311夹持引线机构41可构成微动台用以完成工件9的另一种加工工作，即运动单元4能够分别与第一固定单元21和第二固定单元31组合成微动台，当运动单元4上承载工件9时，工件9可以分别在第一固定单元21或第二固定单元31上进行加工，实现了同一运动平台11上的不同的加工作业且通过转运支架5可将运动单元4转运至第一固定单元21及第二固定单元31上，使移位装置可同时处理多个工件9，并且保证每个工件9上的处理流程和处理时间，增加了移位装置在单位时间内可处理的工件9的数量，提高了移位装置的利用效率，此外，仅需进行运动单元4的转运及替换即可完成工件9的处理过程，减少了运转空间的占用率和运转重量，提高了工件9的运转效率，并且便于移位装置的维护和检查。

实施例二

本实施例提供一种工件的处理方法，包括以下步骤：

S1：提供一如实施例一所述的移位装置及至少一工件9；

S2：将运动单元4置于第一固定单元21上方，并将工件9置于运动单元4上方；

S3：利用运动单元4与第一固定单元21构成的微动台对工件9进行第一加工；

S4：利用转运支架5将运动单元4转运至第二固定单元31上；

S5：利用运动单元4与第二固定单元31构成的微动台对工件9进行第二加工；

S6：对第二加工后的工件9进行下件。

具体的，如图7-8所示，分别为移位装置的第一工位区6、第二工位区7及第三工位区8的布局示意图及第一固定单元21及第二固定单元31的于第一工位区6、第二工位区7及第三工位区8的分布示意图，移位装置的运动平面11上还设有间隔预设距离的第一工位区6、第二工位区7以及第三工位区8，工件9于第一工位区6处进行第一加工工作；工件9于第二工位区7处进行第二加工工作；工件9于第三工位区8处进行上件和下件。

具体的，第一加工为对工件9进行测量对准工作，第二加工为对工件9进行扫描工作。

具体的，第一固定单元21位于第三工位区8处，第一固定单元21上设置有运动单元4，第二固定单元31位于第二工位区7处。

具体的，如图9所示，执行步骤S1-S2，提供一如实施例一所述的移位装置及至少一工件9；将运动单元4置于第一固定单元21上方，并将工件9置于运动单元4上方。

具体的，第一固定单元21位于第三工位区8处，在运动单元4上装载工件9。

具体的，如图10所示，执行步骤S3，利用运动单元4与第一固定单元21构成的微动台对工件9进行第一加工。

具体的，运动单元4位于第一固定单元21上方，通过第一夹持机构211夹持引线单元41以构成微动台，第一固定单元21运动至第一工位区6处，并对运动单元4上的工件9进行测量对准工作。

具体的，如图11-12所示，执行步骤S4-S5，利用转运支架5将运动单元4转运至第二固定单元31上；利用运动单元4与第二固定单元31构成的微动台对工件9进行第二加工。

具体的，第一固定单元21运动至转运支架5处，卸载运动单元4并回到第一工位区6处，然后第二固定单元31运动至转运支架5处装载运动单元4。

具体的，运动单元4位于第二固定单元31上方，通过第二夹持机构311夹持引线单元41以构成微动台，第二固定单元31运动至第二工位区7处，并对运动单元4上的工件9进行扫描工作。

具体的，如图13-14所示，执行步骤S6，对第二加工后的工件9进行下件。

具体的，如图13所示，第二固定单元31运动至转运支架5处卸载运动单元4，并回到第二工位区7；如图14所示，第一固定单元21运动至转运支架5处加载运动单元4，并运动至第三工位区8处，对工件9进行下件。

本实施例的工件的处理方法通过设置运动单元4分别与第一固定单元21和第二固定单元31组合成微动台，当运动单元4上承载工件9时，工件9可以分别在第一固定单元21或第二固定单元31上进行加工，实现了同一运动平台11上的不同的加工作业。

实施例三

本实施例提供另一种工件的处理方法，本实施例与实施例二的区别在于，移位装置中设有三个运动单元4，三个运动单元4分别位于第一固定单元21、第二固定单元31以及转运支架5的上方，运动单元4与第二固定单元31构成的微动台与运动单元4与第一固定单元21构成的微动台可同时工作且互不影响。

具体的，如图15所示，运动单元4有3个：运动单元4a、运动单元4b、运动单元4c分别位于第一固定单元21、转运支架5以及第二固定单元31上方。

具体的，第二运动单元4b位于第一支座52的上方。

具体的，如图16所示，执行步骤S1-S2，提供一如实施例一所述的移位装置及至少一工件9；将运动单元4a置于第一固定单元21上方，并将工件9置于运动单元4a上方。

具体的，工件9置于运动单元4a上方的同时，还可利用运动单元4c与第二固定单元31构成的微动台对工件9进行第二加工。

具体的，如图17所示，执行步骤S3，利用运动单元4a与第一固定单元21构成的微动台对工件9进行第一加工。

具体的，利用运动单元4a与第一固定单元21构成的微动台对工件9进行第一加工的同时，也可利用运动单元4c与第二固定单元31构成的微动台对工件9进行第二加工。

具体的，如图18-20所示，执行步骤S4-S6，利用转运支架5将运动单元4a转运至第二固定单元31上；利用运动单元4a与第二固定单元31构成的微动台对工件9进行第二加工；对第二加工后的工件9进行下件。

具体的，步骤S4-S6具体还包括以下步骤：利用转运支架5将运动单元4c转运至转运支架5上、将运动单元4b转运至第二固定单元31上，同时利用运动单元4a与第一固定单元21构成的微动台对工件9进行第一加工；在利用运动单元4b与第二固定单元31构成的微动台对工件9进行第二加工的同时，利用转运支架5将运动单元4a转运至转运支架5上、将运动单元4c转运至第一固定单元21上，再利用运动单元4a与第二固定单元31构成的微动台对工件9进行第二加工，同时，第一固定单元21运动至第三工位区8处，对第三运动单元4c上的工件9下件。

具体的，在运动单元4c转运至第一固定单元21上时运动单元4c转运至第二支座53上，运动单元4a转运至第一支座52上。

具体的，运动单元4c下件后重新上件工件9并重复上述步骤。

需要说明的，运动单元4a、运动单元4b、运动单元4c仅为方便理解而进行区分，在上述工件9的处理过程中没有本质上的不同，既当一个循环结束时，处于第二工位区7上的运动单元4可重新视为运动单元4c，转运支架5上的运动单元4可重新视为运动单元4b，第三工位区8上的运动单元4可重新视为运动单元4a，然后重新开始循环工作。

需要说明的，在移位装置刚开始工作和将结束工作时，部分运动单元4上可能没有工件9，此时，运动单元4a、运动单元4b和运动跟单元4c中任意位于第一工位区6或第二工位区7上的运动单元4不进行加工或进行空载的加工作业。也就是说，当第一工位区6和第二工位区7中没有工件9时，不进行加工作业或进行空载的加工作业，但第一固定单元21、第二固定单元31和运转支架5带动运动单元4的运转步骤没有变化。

本实施例的工件处理方法可同时进行多个工件9的处理，提高了工件9的运转及处理效率；仅通过运动单元4的转运及替换即可完成工件9的处理过程，减少了运转空间的占用率和运转重量，提高了工件9的运转效率，并且便于移位装置的维护和检查。

综上所述，本发明的移位装置及工件处理方法，通过设置运动单元分别与第一固定单元和第二固定单元组合成微动台，当运动单元上承载工件时，工件可以分别在第一固定单元或第二固定单元上进行加工，实现了同一运动平台上的不同的加工作业；此外，通过转运支架可将运动单元转运至第一固定单元及第二固定单元上，使移位装置可同时处理多个工件，并且保证每个工件上的处理流程和处理时间，增加了移位装置在单位时间内可处理的工件的数量，提高了移位装置的利用效率，此外，仅通过运动单元的转运及替换即可完成工件的处理过程，减少了运转空间的占用率和运转重量，提高了工件的运转效率，并且便于移位装置的维护和检查。所以，本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。

Claims (13)

1.一种移位装置，其特征在于，包括：

主支撑框架(1)，包括运动平面(11)；

第一运动部(2)，设置于所述运动平面(11)上，所述第一运动部(2)至少包括第一固定单元(21)、第一平面运动台(22)，所述第一平面运动台(22)用于负载所述第一固定单元(21)进行平面运动；

第二运动部(3)，设置于所述运动平面(11)上且与所述第一运动部(2)间隔预设距离，所述第二运动部(3)至少包括第二固定单元(31)、第二平面运动台(32)，所述第二平面运动台(32)用于负载所述第二固定单元(31)进行平面运动，所述第一运动部(2)与所述第二运动部(3)在同一所述运动平面(11)上运动；

运动单元(4)，位于所述第一运动部(2)上方和/或位于所述第二运动部(3)上方转运支架(5)，设置于所述第一运动部(2)与所述第二运动部(3)之间的所述运动平面(11)的正上方，所述转运支架(5)用于转运所述运动单元(4)至所述第一固定单元(21)以及所述第二固定单元(31)上。

2.根据权利要求1所述的移位装置，其特征在于：所述第一平面运动台(22)包括第一平面运动主板(221)以及第一平面驱动单元(222)，所述第一平面驱动单元(222)包括设置在第一平面运动主板(221)上的第一动子线圈阵列(222a)以及第一定子磁钢阵列(222b)；所述第二平面运动台(32)包括第二平面运动主板(321)以及第二平面驱动单元(322)，所述第二平面驱动单元(322)包括设置在第二平面运动主板(321)上的第二动子线圈阵列(322a)以及第二定子磁钢阵列(322b)，所述第一定子磁钢阵列(222b)和所述第二定子磁钢阵列(322b)均设置在所述运动平面上(11)。

3.根据权利要求2所述的移位装置，其特征在于：所述第一运动部(2)中还设有用于供所述第一平面运动主板(221)进行运动的第一线缆台组件(23)，所述第一线缆台组件(23)包括相连接的第一线缆(231)、第二线缆(232)以及第一横梁组件(233)；所述第二运动部(3)中还设有供所述第二平面运动主板(321)运动的第二线缆台组件(33)，所述第二线缆台组件(33)包括相连接的第三线缆(331)、第四线缆(332)以及第二横梁组件(333)。

4.根据权利要求1所述的移位装置，其特征在于：所述转运支架(5)用于将所述运动单元(4)从所述第一固定单元(21)转运至所述第二固定单元(31)上以及将所述运动单元(4)从所述第二固定单元(31)转运至所述第一固定单元(21)上。

5.根据权利要求1所述的移位装置，其特征在于：所述第一固定单元(21)中包括第一夹持结构(211)，所述第二固定单元(31)中包括第二夹持结构(311)，所述运动单元(4)中包括引线机构(41)，所述运动单元(4)位于所述第一运动部(2)上方，所述引线机构(41)与所述第一夹持机构(211)相对应并卡合；所述运动单元(4)位于所述第二运动部(3)上方，所述引线机构(41)与所述第二夹持机构(311)相对应并卡合。

6.根据权利要求5所述的移位装置，其特征在于：所述第一固定单元(21)和所述第二固定单元(31)包括竖直升降机构，所述运动单元(4)包括水平运动机构；所述运动单元(4)通过所述第一夹持机构(211)与所述引线机构(41)卡合固定于所述第一固定单元(21)上，以构成微动台；所述运动单元(4)通过所述第二夹持机构(311)与所述引线机构(41)卡合固定于所述第二固定单元(31)上，以构成微动台。

7.根据权利要求1所述的移位装置，其特征在于：所述运动单元(4)包括多个，多个所述运动单元(4)至少位于所述第一固定单元(21)、所述第二固定单元(31)以及所述转运支架(5)中的两个上方。

8.根据权利要求5所述的移位装置，其特征在于：所述运动单元(4)中还包括依次层叠设置的运动件(42)以及承件单元(43)，所述承件单元(43)用于承载工件(9)，所述引线机构(41)位于所述运动件(42)侧壁。

9.根据权利要求1所述的移位装置，其特征在于：所述转运支架(5)包括连接架(51)以及分别固定于所述连接架(51)底部且相对设置的第一支座(52)与第二支座(53)。

10.根据权利要求9所述的移位装置，其特征在于：所述第一支座(52)的上表面还设有用于提供电源的接线通道的第三引线板(521)以及用于提供电信号的引线通道的第四引线板(522)；所述第二支座(53)的上表面还设有用于提供电源的接线通道的第五引线板(531)以及用于提供电信号的引线通道的第六引线板(532)；所述运动单元(4)中还包括第一引线板(44)以及第二引线板(45)，所述第一引线板(44)用于提供电源的接线通道，所述第二引线板(45)用于提供电信号的引线通道。

11.根据权利要求1所述的移位装置，其特征在于：所述转运支架(5)悬空设置于所述运动平面(11)上方并与所述运动平面(11)间隔预设距离。

12.一种工件处理方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供一如权利要求1～11任意一项所述的移位装置及至少一工件(9)；

将所述运动单元(4)置于所述第一固定单元(21)上方，并将所述工件(9)置于所述运动单元(4)上方；

利用所述运动单元(4)与所述第一固定单元(21)构成的微动台对所述工件(9)进行第一加工；

利用所述转运支架(5)将所述运动单元(4)转运至所述第二固定单元(31)上；

利用所述运动单元(4)与所述第二固定单元(31)构成的微动台对所述工件(9)进行第二加工；

并对第二加工后的所述工件(9)进行下件。

13.根据权利要求12所述的工件处理方法，其特征在于：所述移位装置中设有三个运动单元(4)，三个所述运动单元(4)分别位于所述第一固定单元(21)、所述第二固定单元(31)以及所述转运支架(5)的上方，所述运动单元(4)与所述第二固定单元(31)构成的微动台与所述运动单元(4)与所述第一固定单元(21)构成的微动台可同时工作且互不影响。