CN117565246A - 一种带有接触测高装置的划片机 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种带有接触测高装置的划片机，涉及划片机测高技术领域，包括切割装置和轨道支架组，切割装置的下方设置有工作盘，轨道支架组轨道内侧传动连接有检测装置，还包括平整度检测机构以及用于检测切割装置刀片磨损程度的磨损程度检测机构；平整度检测机构包括与检测装置限位滑动连接的检测块。本发明中，通过检测块的移动对工件表面的平整度进行检测，可以对工件表面各处区域实现实时检测，通过第一传动腔的上细下粗设计对检测结果实现放大，可以提升区分度和提升检测的精准度，直接检测出存在缺陷的工件，同时可以通过第二检测腔对不平整区域进行记录和统计，实现对工件整体表面质量的评估。

Description

一种带有接触测高装置的划片机

技术领域

本发明涉及划片机测高技术领域，尤其涉及一种带有接触测高装置的划片机。

背景技术

划片机是半导体封装加工技术领域内重要的加工设备，划片机工作时高速旋转的刀片在使用过程中会不断磨损，而且针对不同的加工工件，需要调节划片刀高度，从而保证和满足对工件的切割深度。

现有技术对划片机进行测高时，主要对工件表面和刀具的距离进行检测，从而计算和安排后续进刀量，但是现有技术具有一定的局限性，针对一些表面平整性不足的工件，由于其表面存在凹凸不平区域，在精细加工时，容易因为表面缺陷导致切割深度不均匀、切割定位偏差导致的切割质量下降，严重时还会导致切割过程中的振动和摆动加剧，导致出现裂纹影响切割的质量，严重时甚至会使刀片碎片引发安全事故，因此，仅对固定点位进行测高仍具有一定的局限性。

发明内容

本发明的目的在于：为了解决上述问题，而提出的一种带有接触测高装置的划片机。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种带有接触测高装置的划片机，包括切割装置和轨道支架组，切割装置的下方设置有工作盘，轨道支架组轨道内侧传动连接有检测装置，还包括平整度检测机构以及用于检测切割装置刀片磨损程度的磨损程度检测机构；

平整度检测机构包括与检测装置限位滑动连接的检测块，检测装置的侧壁设置有驱动马达，驱动马达的端部连接有与检测块保持螺纹传动的螺纹杆，检测块的内部开设有上细下粗的第一传动腔，第一传动腔的底部密封滑动连接有密封滑块，密封滑块的底部设置有滚珠，检测装置的底部设置有与密封滑块平齐的检测探头，第一传动腔的上部细端密封滑动连接有第一活塞滑块，第一传动腔的外侧滑动连接有一组与第一活塞滑块相匹配的第一磁环，第一传动腔内部填充有液压油，检测块的内部开设有第一检测腔和第二检测腔，第一检测腔和第二检测腔内部填充有液压油，第一检测腔和第二检测腔的内部分别密封滑动连接有第二活塞滑块和第三活塞滑块，第一检测腔和第二检测腔与第一传动腔之间均通过带单向阀的管道相连通，检测块内部设置有一组控制第一检测腔和第二检测腔连通的电磁阀，检测块之间设置有用于对检测工件表面进行多级清理的清洗机构。

优选地，检测块的内部设置有与密封滑块相匹配的电磁铁，密封滑块的内部设置有与电磁铁相匹配的磁极。

优选地，清洗机构包括设置于检测块间隙的驱动块，检测装置的侧壁设置有储液箱，驱动块的内部转动连接有传动杆，传动杆的外侧壁固定安装有驱动齿轮，检测装置的底部设置有与驱动齿轮相啮合的齿条，检测块的内部对称开设有第一压缩腔和第二压缩腔，第一压缩腔和第二压缩腔的内部分别设置有第一活塞块和第二活塞块，传动杆的外侧壁设置有与第一活塞块和第二活塞块相匹配的驱动凸块，储液箱与第一压缩腔、第二压缩腔之间设置有供液管，驱动块的侧壁和底部分别设置有前喷液管和后喷液管，需要说明的是，供液管与第一压缩腔和第二压缩腔连接部分设置有用于对第一压缩腔和第二压缩腔内部供液防止倒流的单向阀，而前喷液管和后喷液管的内部设置有朝向外部用于喷液的单向阀。

优选地，储液箱的内部设置有多组密封隔断区间盛装有不同的液体，储液箱内部盛装有有机溶剂的区间通过供液管与第一压缩腔相连通，储液箱内部盛装有清水的区间通过供液管与第二压缩腔内部相连通。

优选地，磨损程度检测机构包括开设于检测装置表面的检测槽，检测装置的顶部设置有定位块，定位块的顶部为与切割装置刀片转轴外部套筒相贴合的弧形设计，检测槽与切割装置刀片轮廓相匹配，检测槽的底部开设有上粗下细的第二传动腔，第二传动腔的顶部粗端密封滑动连接有刃尖检测轴，第二传动腔的底部细端内部密封滑动连接有第四活塞滑块，检测装置的内部位于第二传动腔的外侧限位滑动连接有一组与第四活塞滑块相匹配的第二磁环，检测槽的内侧设置有垂直于工作盘刀刃的刃端检测轴和垂直于工作盘刀片的刀侧检测轴，检测装置的内部开设有汇集检测腔，汇集检测腔的内侧密封滑动连接有第五活塞滑块，检测装置的内部位于汇集检测腔的外侧限位滑动套接油一组与第五活塞滑块相配合的第三磁环，检测装置的内部设置有一组用于将各组第二传动腔相连通的连通管，第二传动腔、连通管的内部和第五活塞滑块之间填充有液压油。

优选地，刃尖检测轴在检测槽内部沿环形设计有多组。

优选地，第一活塞滑块、第二活塞滑块、第三活塞滑块、第四活塞滑块、第五活塞滑块内部为永磁体设计，第一磁环、第二磁环、第三磁环为磁性导体设计。

综上，由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果是：

1、实现了在对工件进行测高时，可以通过检测块的移动对工件表面的平整度进行检测，不仅可以对工件表面各处区域实现实时检测，并且通过第一传动腔的上细下粗设计对检测结果实现放大，提升区分度和检测的精准度，直接检测出存在较大缺陷的工件，同时可以通过第二检测腔对不平整区域进行记录和统计，可以通过第二检测腔记录的液位高度得出工件表面的整体不平整度，实现对工件整体表面质量的评估，从而根据评估结果选择合适的刀具和调节切削给进速度，保证划片切割工作的稳定进行。

2、实现了对工件加工和表面平整度检测前，在测高时对工件进行自动清洗，而且通过前喷液管和后喷液管的错位设计，可以对工件表面进行分级清洗，有效去除溶解工件表面的油渍和污渍，消除半导体加工过程中表面残余硅油和矿物油产生的油膜，不仅便于后续划片加工，而且可以使得装置可以直接与工件表面接触，提升了对工件表面检测的精准度。

3、实现了在对划片机刀具进行测高定位的同时，对划片机刀具的磨损程度进行自动检测，通过第二传动腔的放大效果和连通管的汇聚聚集效果，对检测结果进行放大，提高区分度和检测精准度，同时还可以对刀具的不同部位磨损和整体磨损进行同步检测，有效保证了划片切割工作的安全稳定进行。

附图说明

图1示出了根据本发明实施例提供的整体结构示意图。

图2示出了根据本发明实施例提供的整体结构示意图。

图3示出了根据本发明实施例提供的检测装置整体结构示意图。

图4示出了根据本发明实施例提供的检测装置内部结构示意图。

图5示出了根据本发明实施例提供的检测块整体结构示意图。

图6示出了根据本发明实施例提供的检测块内部结构示意图。

图7示出了根据本发明实施例提供的驱动块内部结构示意图。

图8示出了根据本发明实施例提供的驱动块内部结构示意图。

图9示出了根据本发明实施例提供的驱动块内部结构示意图。

图10示出了根据本发明实施例提供的检测槽整体结构示意图。

图11示出了根据本发明实施例图10的A处放大示意图。

图12示出了根据本发明实施例提供的切割装置刀片进入检测槽时的结构示意图。

图13示出了根据本发明实施例图12的B处放大示意图。

图例说明：

100、切割装置；101、工作盘；200、轨道支架组；201、检测装置；202、检测槽；203、定位块；204、储液箱；205、驱动马达；206、检测探头；207、检测块；208、螺纹杆；209、电磁铁；210、第一传动腔；211、密封滑块；212、第一活塞滑块；213、第一磁环；214、第二活塞滑块；215、第三活塞滑块；216、第一检测腔；217、第二检测腔；218、电磁阀；219、驱动块；220、第一压缩腔；221、第一活塞块；222、前喷液管；223、第二压缩腔；224、第二活塞块；225、后喷液管；226、供液管；227、传动杆；228、驱动凸块；229、驱动齿轮；230、刃尖检测轴；231、汇集检测腔；232、第二传动腔；233、第四活塞滑块；234、第二磁环；235、连通管；236、刃端检测轴；237、第五活塞滑块；238、第三磁环；239、刀侧检测轴。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1至图13，一种带有接触测高装置的划片机，包括切割装置100和轨道支架组200，切割装置100的下方设置有工作盘101，轨道支架组200轨道内侧传动连接有检测装置201，还包括平整度检测机构以及用于检测切割装置100刀片磨损程度的磨损程度检测机构，平整度检测机构包括与检测装置201限位滑动连接的检测块207，检测装置201的侧壁设置有驱动马达205，驱动马达205的端部连接有与检测块207保持螺纹传动的螺纹杆208，检测块207的内部开设有上细下粗的第一传动腔210，第一传动腔210的底部密封滑动连接有密封滑块211，密封滑块211的底部设置有滚珠，检测装置201的底部设置有与密封滑块211平齐的检测探头206，在电磁铁209对密封滑块211进行限位吸附使密封滑块211位置固定，同时密封滑块211底部滚珠与工件表面接触时，检测探头206的底部与密封滑块211底部滚珠地面平齐，实现在密封滑块211底部滚珠与工件表面相接触并进行平整度检测时，检测探头206可以对工件表面位置进行检测定位和数据记录，实现对工件的测高，第一传动腔210的上部细端密封滑动连接有第一活塞滑块212，第一传动腔210的外侧滑动连接有一组与第一活塞滑块212相匹配的第一磁环213，第一传动腔210内部填充有液压油，检测块207的内部开设有第一检测腔216和第二检测腔217，第一检测腔216和第二检测腔217内部填充有液压油，第一检测腔216和第二检测腔217的内部分别密封滑动连接有第二活塞滑块214和第三活塞滑块215，第一检测腔216和第二检测腔217与第一传动腔210之间均通过带单向阀的管道相连通，需要说明的是，第一检测腔216与第一传动腔210相连通的管道开设有流通方向朝向第一传动腔210内部的用于吸液的单向阀，而第二检测腔217与第一传动腔210相连通的管道开设有流通方向朝向第二检测腔217内部用于排液的单向阀，密封滑块211与第一传动腔210之间通过弹簧保持弹性连接，第二活塞滑块214、第三活塞滑块215与检测块207之间也通过弹簧保持弹性连接，检测块207内部设置有一组控制第一检测腔216和第二检测腔217连通的电磁阀218，需要对装置复位时只需开启电磁阀218，使第一检测腔216和第二检测腔217相连通，在弹簧的弹力作用下，第一检测腔216和第二检测腔217内部液位高度即可以在电磁阀218的连通作用下保持平齐从而实现复位，检测块207之间设置有用于对检测工件表面进行多级清理的清洗机构。

需要说明的是，检测块207的内部设置有与密封滑块211相匹配的电磁铁209，密封滑块211的内部设置有与电磁铁209相匹配的磁极，当电磁铁209通电时可以通过密封滑块211内部对应的磁极对密封滑块211起到较强的定位吸附效果，对密封滑块211实现固定，可以使定位块203、检测装置201、检测块207和密封滑块211及底部滚珠整体高度距离保持一致，在后续计算刀刃与工件表面高度距离时只需将固定的整体高度加上位移行程即可对工件和刀刃进行距离测算，避免密封滑块211工作过程中出现伸缩导致的高度不一致，保证检测的精准度，同时此时密封滑块211与第一传动腔210之间的弹簧处于一定压缩状态，因此保持此高度在后续检测块207移动检测时，密封滑块211可以在弹簧作用下伸出或者继续被推入，可以对工件表面的凹陷和凸起进行检测。

参照图7至图9，清洗机构包括设置于检测块207间隙的驱动块219，检测装置201的侧壁设置有储液箱204，驱动块219的内部转动连接有传动杆227，传动杆227的外侧壁固定安装有驱动齿轮229，检测装置201的底部设置有与驱动齿轮229相啮合的齿条，检测块207的内部对称开设有第一压缩腔220和第二压缩腔223，第一压缩腔220和第二压缩腔223的内部分别设置有第一活塞块221和第二活塞块224，传动杆227的外侧壁设置有与第一活塞块221和第二活塞块224相匹配的驱动凸块228，储液箱204与第一压缩腔220、第二压缩腔223之间设置有供液管226，驱动块219的侧壁和底部分别设置有前喷液管222和后喷液管225，需要说明的是，供液管226与第一压缩腔220和第二压缩腔223连接部分设置有用于对第一压缩腔220和第二压缩腔223内部供液防止倒流的单向阀，而前喷液管222和后喷液管225的内部设置有朝向外部用于喷液的单向阀。

需要说明的是，储液箱204的内部设置有多组密封隔断区间盛装有不同的液体，储液箱204内部盛装有有机溶剂的区间通过供液管226与第一压缩腔220相连通，储液箱204内部盛装有清水的区间通过供液管226与第二压缩腔223内部相连通，需要说明的是，前喷液管222开设于侧壁，在检测块207行进的前方，在检测块207行进时，驱动齿轮229通过齿条驱动转动带动传动杆227和驱动凸块228转动，进而通过对第一活塞块221和第二活塞块224循环压缩使第一活塞块221和第二活塞块224分别对第一压缩腔220和第二压缩腔223内部做活塞运动，通过前喷液管222将储液箱204内部有机溶剂喷出，对工件表面的硅油和矿物油等油膜污渍进行溶解，进一步随着检测块207的前进，后喷液管225移动至有机溶剂喷淋区域，通过第二压缩腔223内部的活塞运动将储液箱204内部水溶液通过后喷液管225泵出，对溶解的油渍和污渍进行冲洗去除，实现了对工件加工和表面平整度检测前，对工件实现自动清洗，而且通过前喷液管222和后喷液管225的错位设计，可以对工件表面进行分级清洗，有效去除溶解工件表面的油渍和污渍，不仅便于后续划片加工，而且可以使得装置可以直接与工件表面接触，提升了对工件表面检测的精准度。

参照图10至图13，磨损程度检测机构包括开设于检测装置201表面的检测槽202，检测装置201的顶部设置有定位块203，定位块203的顶部为与切割装置100刀片转轴外部套筒相贴合的弧形设计，检测槽202与切割装置100刀片轮廓相匹配，检测槽202的底部开设有上粗下细的第二传动腔232，第二传动腔232的顶部粗端密封滑动连接有刃尖检测轴230，第二传动腔232的底部细端内部密封滑动连接有第四活塞滑块233，检测装置201的内部位于第二传动腔232的外侧限位滑动连接有一组与第四活塞滑块233相匹配的第二磁环234，检测槽202的内侧设置有垂直于工作盘101刀刃的刃端检测轴236和垂直于工作盘101刀片的刀侧检测轴239，检测装置201的内部开设有汇集检测腔231，汇集检测腔231的内侧密封滑动连接有第五活塞滑块237，检测装置201的内部位于汇集检测腔231的外侧限位滑动套接油一组与第五活塞滑块237相配合的第三磁环238，检测装置201的内部设置有一组用于将各组第二传动腔232相连通的连通管235，第二传动腔232、连通管235的内部和第五活塞滑块237之间填充有液压油，需要说明的是，各组第二传动腔232与连通管235相连通部分设置有流通方向朝向连通管235内部的单向阀，连通管235和汇集检测腔231连通部分设置有流通方向朝向汇集检测腔231内部的单向阀。

需要说明的是，刃尖检测轴230在检测槽202内部沿环形设计有多组，刃端检测轴236和刀侧检测轴239与检测装置201连接处和与连通管235连通处，做刃尖检测轴230和检测装置201连接处相同设计，具体来说，刃端检测轴236和刀侧检测轴239与检测装置201连接处也设计有第二传动腔232和与之相匹配的第四活塞滑块233和第二磁环234，需要说明的是，通过第二传动腔232上粗下细的设计，刃尖检测轴230朝第四活塞滑块233方向移动时，移动同等距离挤压的液压油量进入第二传动腔232较细端时，体积不变，横截面积变小时，可以推动第四活塞滑块233移动更多距离，实现了对检测结果行程变化的放大效果，同时配合多组刃尖检测轴230设计，可以对检测结果实现进一步放大。

进一步地，第一活塞滑块212、第二活塞滑块214、第三活塞滑块215、第四活塞滑块233、第五活塞滑块237内部为永磁体设计，第一磁环213、第二磁环234、第三磁环238为磁性导体设计，需要说明的是，参照图形，第二活塞滑块214、第三活塞滑块215的外侧也设置有相匹配的磁性导环，第一磁环213、第二磁环234、第三磁环238等滑动时具体工作原理可以参考滑动变阻器原理，通过液位变化带动第一活塞滑块212、第二活塞滑块214、第三活塞滑块215、第四活塞滑块233、第五活塞滑块237滑动进一步通过磁性带动第一磁环213、第二磁环234、第三磁环238等滑动，从而通过电流变化得出检测结果，需要说明的是，例如针对第一活塞滑块212等，可以在读数基础上设置一组阈值，当第一活塞滑块212移动至阈值区域时说明检测处的凸起或凹陷超过设定值，表面平整度存在较大差异可以直接触发报警对工件进行重新加工。

本申请技术方案的具体工作流程如下：

将待加工工件通过工作盘101进行固定并输送至切割装置100下方后，通过直线电机控制检测装置201移动至切割装置100下方并使检测槽202位置与切割装置100刀片位置相对应，首先控制检测装置201上移，参照图12，使得定位块203与切割装置100转轴外部套筒贴合，直至两组通过弹簧弹性连接的定位块203贴合抵紧，定位块203内部的两组极片贴合通电，通过定位块203对检测装置201实现限位和定位，此时检测装置201和切割装置100刀片转轴距离实现固定，即完成了通过转轴对刀片位置的校准和定位，在检测装置201上升与切割装置100刀片贴近过程中，切割装置100刀片深入检测槽202内部，参照图10至图13，检测装置201上升过程中，可以通过刀片推动刃尖检测轴230、刃端检测轴236和刀侧检测轴239，通过刃尖检测轴230对第四活塞滑块233的压缩推动第四活塞滑块233移动，同时由于第二传动腔232上粗下细的设计和刃尖检测轴230多组设计，可以实现对行程反馈的放大效果，刃尖检测轴230的移动可以将第二传动腔232内部液压油通过连通管235汇集泵入汇集检测腔231的内部，同理刀片对刃端检测轴236和刀侧检测轴239的挤压可以将液压油泵入汇集检测腔231的内部，并推动第五活塞滑块237带动第三磁环238移动，当切割装置100刀片磨损度较低时，完整的刀片可以将刃尖检测轴230、刃端检测轴236和刀侧检测轴239推动足够距离，使得进入汇集检测腔231内部的液压油达到指定刻度，而当刀片磨损程度较大时，刀刃刃尖磨损缩短，推动刃尖检测轴230运动距离变短，刀刃变薄，推动刃端检测轴236和刀侧检测轴239移动距离变短，由于第二传动腔232的放大效果和连通管235的汇聚聚集效果，可以使第五活塞滑块237在汇集检测腔231内部移动距离与指定刻度存在较大差距，从而提高区分度，不仅可以在刃尖检测轴230、刃端检测轴236和刀侧检测轴239等单独检测时添加单独阈值，在刀刃刃尖、刃侧或刀片厚度等不同单体数据设置警报阈值，在其中一组出现磨损较大时可以直接进行报警更换，同时可以通过对汇集检测腔231添加阈值刻度在刀具整体达到磨损阈值后及时进行更换，实现了在对划片机刀具进行测高定位的同时，对划片机刀具的磨损程度进行自动检测，通过第二传动腔232的放大效果和连通管235的汇聚聚集效果，对检测结果进行放大，提高区分度和检测精准度，同时还可以对刀具的不同部位磨损和整体磨损进行同步检测，有效保证了划片切割工作的安全稳定进行，同时可以根据刀具磨损情况综合测高结果在划片切割时合理调整刀片的进刀量。

需要说明的是，划片机刀片的磨损对其工作效率和质量有着不同程度的影响，具体来说：刀刃尖端磨损，将影响切割的精度和效果，可能导致切割线条粗糙、不平整或无法达到预期的切割深度；刀刃侧面磨损可能会改变刀片的几何形状和刃口角度，进而影响切割效果和切割速度，特别是在高转速条件下，刀片的外径和线速度都会对切割性能产生影响；刀片侧面磨损同样会影响切割效果和质量，侧面磨损可能会导致刀片振动增加，从而降低产品品质，同时，由于切割面积减小，阻力增大，进给速度可能会减慢，甚至可能出现刀片断裂的风险，存在较大安全隐患。

进一步对工件进行测高，通过电机控制检测装置201下降，参照图3至图6，直至检测探头206与工件表面相接触，即可实现对工件与刀具间的测高，此时密封滑块211底部滚珠与工件表面相接触，此时电磁铁209断电停止对密封滑块211的限位和吸附，同时同步启动驱动马达205，通过驱动马达205连接的螺纹杆208与检测块207的螺纹传动，带动检测块207在工件表面移动，在此过程中，检测块207带动密封滑块211经过工件表面不平整区域如凸起区域时，密封滑块211上移对密封滑块211与第一活塞滑块212之间液压油实现加压，密封滑块211经过凸起上移小段距离，通过第一传动腔210上细下粗的设计被放大，使得第一活塞滑块212上移距离增加，而此次移动超过设定的阈值时，则可以直接报警说明此处存在较大缺陷，可以直接对工件进行处理，而未超过阈值时，第一活塞滑块212则可以通过上移将第一活塞滑块212与第一传动腔210内侧顶部之间的液压油通过管道和单向阀泵入第二检测腔217的内部，实现对工件表面不平整的记录，经过凸起后，密封滑块211带动第一活塞滑块212复位，此时可以通过单向阀和管路从第一检测腔216内部吸取液压油储存在第一活塞滑块212上方供后续压泵，同样的，当经过凹陷区域时，第一活塞滑块212首先下移吸取液压油，在经过后复位时再将液压油泵入第二检测腔217内部，实现了在对工件进行测高时，可以通过检测块207的移动对工件表面的平整度进行检测，不仅可以对工件表面各处区域实现实时检测，并且通过第一传动腔210的上细下粗设计对检测结果实现放大，提升区分度和检测的精准度，直接检测出存在较大缺陷的工件，同时可以通过第二检测腔217对不平整区域进行记录和统计，可以通过第二检测腔217记录的液位高度得出工件表面的整体不平整度，实现对工件整体表面质量的评估，从而根据评估结果选择合适的刀具和调节切削给进速度，保证划片切割工作的稳定进行。

在测高和表面平整度检测过程中，随着检测块207的移动，驱动齿轮229通过齿条驱动转动带动传动杆227和驱动凸块228转动，进而通过对第一活塞块221和第二活塞块224循环压缩使第一活塞块221和第二活塞块224分别对第一压缩腔220和第二压缩腔223内部做活塞运动，通过前喷液管222将储液箱204内部有机溶剂喷出，对工件表面的硅油和矿物油等油膜污渍进行溶解，进一步随着检测块207的前进，后喷液管225移动至有机溶剂喷淋区域，通过第二压缩腔223内部的活塞运动将储液箱204内部水溶液通过后喷液管225泵出，对溶解的油渍和污渍进行冲洗去除，实现了对工件加工和表面平整度检测前，对工件实现自动清洗，而且通过前喷液管222和后喷液管225的错位设计，可以对工件表面进行分级清洗，有效去除溶解工件表面的油渍和污渍，消除半导体加工过程中表面残余硅油和矿物油产生的油膜，不仅便于后续划片加工，而且可以使得装置可以直接与工件表面接触，提升了对工件表面检测的精准度。

实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (7)

1.一种带有接触测高装置的划片机，包括切割装置（100）和轨道支架组（200），所述切割装置（100）的下方设置有工作盘（101），所述轨道支架组（200）轨道内侧传动连接有检测装置（201），其特征在于，还包括平整度检测机构以及用于检测切割装置（100）刀片磨损程度的磨损程度检测机构；

所述平整度检测机构包括与检测装置（201）限位滑动连接的检测块（207），所述检测装置（201）上设置有驱动马达（205），所述驱动马达（205）的端部连接有与检测块（207）螺纹连接的螺纹杆（208），所述检测块（207）的内部开设有上细下粗的第一传动腔（210），所述第一传动腔（210）的底部滑动连接有密封滑块（211），所述密封滑块（211）的底部设置有滚珠，所述检测装置（201）的底部设置有与密封滑块（211）平齐的检测探头（206），所述第一传动腔（210）的上部细端滑动连接有第一活塞滑块（212），所述第一传动腔（210）的外侧滑动连接有一组与第一活塞滑块（212）相匹配的第一磁环（213），所述检测块（207）的内部开设有第一检测腔（216）和第二检测腔（217），所述第一传动腔（210）、第一检测腔（216）和第二检测腔（217）内部填充有液压油，所述第一检测腔（216）内部滑动连接有第二活塞滑块（214），第二检测腔（217）的内部滑动连接有第三活塞滑块（215），所述第一检测腔（216）和第二检测腔（217）与第一传动腔（210）之间均通过带单向阀的管道相连通，所述检测块（207）内部设置有一组控制第一检测腔（216）和第二检测腔（217）连通的电磁阀（218），所述检测块（207）之间设置有用于对检测工件表面进行多级清理的清洗机构。

2.根据权利要求1所述的一种带有接触测高装置的划片机，其特征在于，所述检测块（207）的内部设置有与密封滑块（211）相匹配的电磁铁（209），所述密封滑块（211）的内部设置有与电磁铁（209）相匹配的磁极。

3.根据权利要求2所述的一种带有接触测高装置的划片机，其特征在于，所述清洗机构包括设置于检测块（207）间隙的驱动块（219），所述检测装置（201）的侧壁设置有储液箱（204），所述驱动块（219）的内部转动连接有传动杆（227），所述传动杆（227）的外侧壁固定安装有驱动齿轮（229），所述检测装置（201）的底部设置有与驱动齿轮（229）相啮合的齿条，所述检测块（207）的内部对称开设有第一压缩腔（220）和第二压缩腔（223），所述第一压缩腔（220）和第二压缩腔（223）的内部分别设置有第一活塞块（221）和第二活塞块（224），所述传动杆（227）的外侧壁设置有与第一活塞块（221）和第二活塞块（224）相匹配的驱动凸块（228），所述储液箱（204）与第一压缩腔（220）、第二压缩腔（223）之间设置有供液管（226），所述驱动块（219）的侧壁和底部分别设置有前喷液管（222）和后喷液管（225）。

4.根据权利要求3所述的一种带有接触测高装置的划片机，其特征在于，所述储液箱（204）的内部设置有多组密封隔断区间盛装有不同的液体，所述储液箱（204）内部盛装有有机溶剂的区间通过供液管（226）与所述第一压缩腔（220）相连通，所述储液箱（204）内部盛装有清水的区间通过供液管（226）与第二压缩腔（223）内部相连通。

5.根据权利要求4所述的一种带有接触测高装置的划片机，其特征在于，所述磨损程度检测机构包括开设于检测装置（201）表面的检测槽（202），所述检测装置（201）的顶部设置有定位块（203），所述定位块（203）的顶部为与切割装置（100）刀片转轴外部套筒相贴合的弧形设计，所述检测槽（202）与切割装置（100）刀片轮廓相匹配，所述检测槽（202）的底部开设有上粗下细的第二传动腔（232），所述第二传动腔（232）的顶部粗端密封滑动连接有刃尖检测轴（230），所述第二传动腔（232）的底部细端内部密封滑动连接有第四活塞滑块（233），所述检测装置（201）的内部位于第二传动腔（232）的外侧限位滑动连接有一组与第四活塞滑块（233）相匹配的第二磁环（234），所述检测槽（202）的内侧设置有垂直于工作盘（101）刀刃的刃端检测轴（236）和垂直于工作盘（101）刀片的刀侧检测轴（239），所述检测装置（201）的内部开设有汇集检测腔（231），所述汇集检测腔（231）的内侧密封滑动连接有第五活塞滑块（237），所述检测装置（201）的内部位于汇集检测腔（231）的外侧限位滑动套接油一组与第五活塞滑块（237）相配合的第三磁环（238），所述检测装置（201）的内部设置有一组用于将各组第二传动腔（232）相连通的连通管（235），所述第二传动腔（232）、连通管（235）的内部和第五活塞滑块（237）之间填充有液压油。

6.根据权利要求5所述的一种带有接触测高装置的划片机，其特征在于，所述刃尖检测轴（230）在检测槽（202）内部沿环形设计有多组。

7.根据权利要求5所述的一种带有接触测高装置的划片机，其特征在于，所述第一活塞滑块（212）、第二活塞滑块（214）、第三活塞滑块（215）、第四活塞滑块（233）、第五活塞滑块（237）内部为永磁体设计，所述第一磁环（213）、第二磁环（234）、第三磁环（238）为磁性导体设计。