CN117537108B - 快慢抽双流通高真空角阀 - Google Patents

Abstract

本发明公开了快慢抽双流通高真空角阀，属于真空阀门技术领域，该快慢抽双流通高真空角阀，包括主阀体，所述主阀体底部设有进气口，所述主阀体外壁一侧设有出气口；所述上阀座顶部安装有顶盖，所述主阀体与上阀座之间安装有可调节主进气阀芯，所述可调节主进气阀芯包括气密组件、主阀芯、阶梯密封垫和主阀杆。本发明通过设计可调节主进气阀芯，气密组件内可以存储压缩气体，以使得压缩气体能够推动主阀芯密封住进气口位置的第一阶梯槽，从而使阀门在正常情况下处于常闭状态，由于主壳体内壁顶部安装有两个矩形密封圈和多个均匀分布的O型密封圈，进而可以保证主壳体与限位管套之间的密封性，进而可以有效防止主壳体内的压缩气体发生泄漏。

Description

快慢抽双流通高真空角阀

技术领域

本发明属于真空阀门技术领域，具体涉及到快慢抽双流通高真空角阀。

背景技术

高真空角阀是管路流体输送系统中控制阀门部件，真空角阀其主要作用是用来改变通路断面和介质流动方向，具有导流、截止、调节、节流、止回、分流或溢流卸压等功能。

高真空角阀在半导体设备中应用十分广泛，相对于普通的高真空角阀，应用于半导体设备中的高真空角阀对密封性有着更高的要求，目前市场上有各种不同类型和型号的高真空角阀，并且都可以起到导流和截止作用，但大多数高真空角阀的结构设计仍然存在一定的缺陷，目前市场上现有的绝大多数高真空角阀的阀芯开合都是由内部弹簧来控制阀芯的开合压力，由于弹簧属于弹性元件，阀体内的弹簧在长时间持续使用后，其自身也会产生一定的弹性形变（弹性收缩），进而会导致阀芯的开合压力发生变化，在管道内压力过大时，容易导致阀芯自动打开，进而造成介质的渗透和泄漏，从而会影响整个真空系统的稳定性；与此同时，在行程有限的情况下，弹簧的弹性压力值也是相对固定的，在阀体内，主阀芯的开合压力一般无法通过弹簧来进行调节，进而使得一种类型或型号的高真空角阀一般只能运用在指定的压力管道中，无法运用在不同的压力管道中并进行适应性的调节。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于克服上述现有技术的缺点，提供快慢抽双流通高真空角阀。

解决上述技术问题所采用的技术方案是：快慢抽双流通高真空角阀，包括主阀体，所述主阀体底部设有进气口，所述主阀体外壁一侧设有出气口；

所述主阀体顶部安装有上阀座，所述主阀体与上阀座之间安装有中部密封垫，所述上阀座顶部安装有顶盖，所述顶盖、上阀座、中部密封垫和主阀体之间通过多个固定螺栓固定；

所述主阀体与上阀座之间安装有可调节主进气阀芯，所述可调节主进气阀芯包括气密组件、主阀芯、阶梯密封垫和主阀杆；

所述可调节主进气阀芯与顶盖之间安装有可调节辅助进气阀芯；

所述上阀座外壁一侧的安装有与可调节主进气阀芯相对应的充放气机构，所述主阀体与可调节主进气阀芯之间设有补气检测机构。

进一步的，所述主阀体为中空结构，且进气口与出气口相贯通，所述主阀体的底部中心开设有第一阶梯槽。

通过上述技术方案，可调节主进气阀芯能够与第一阶梯槽进行紧密贴合，进而实现对进气口与出气口之间的密封，从而实现流动介质的截止。

进一步的，所述上阀座包括安装于主阀体顶部的阀座主体，所述阀座主体底部中心固定连接有一体式的限位管套，所述限位管套内壁靠近底部位置分别安装有第一矩形密封圈和第一O型密封圈，所述限位管套内壁靠近顶部位置安装有第二矩形密封圈，所述阀座主体内壁的顶部安装有第三矩形密封圈。

通过上述技术方案，限位管套可以对可调节主进气阀芯的升降起到滑动限位作用，与此同时，限位管套内壁安装的第一矩形密封圈、第一O型密封圈和第二矩形密封圈可以进一步起到密封作用，从而可以防止气密组件的压缩气体产生泄漏，同时也可以防止阀座主体内输入的高压气体进入气密组件内。

进一步的，所述气密组件包括套设于限位管套外壁的主壳体，所述主壳体内壁顶部安装有两个第四矩形密封圈，两个所述第四矩形密封圈之间位置还安装有多个均匀分布的第二O型密封圈，所述主壳体底部周侧开设有第二阶梯槽。

通过上述技术方案，主壳体用于存储压缩气体，以使得压缩气体能够推动主阀芯密封住进气口位置的第一阶梯槽，从而使阀门在正常情况下处于常闭状态，由于主壳体内壁顶部安装有两个第四矩形密封圈和多个均匀分布的第二O型密封圈，进而可以保证主壳体与限位管套之间的密封性，进而可以有效防止主壳体内的压缩气体发生泄漏，使得气密组件内具有稳定的压力，从而可以防止主阀芯轻易发生泄漏或介质渗透的情况。

进一步的，所述主阀芯包括固定于主壳体底部的阀芯主体，所述阶梯密封垫安装于阀芯主体与主壳体之间，所述阀芯主体中部开设有导流腔，所述阀芯主体顶部中心开设有贯穿的圆孔，所述导流腔的底部安装有可拆卸的底部端盖，所述阀芯主体一侧开设有与导流腔相贯通的导流孔，所述阀芯主体的周侧阶梯部位还安装有两个第五矩形密封圈。

通过上述技术方案，阀芯主体用于进气口位置第一阶梯槽的开合控制，在正常状态下，由于气密组件内压缩气体的压力推动下，阀芯主体会封堵住第一阶梯槽，进而使管道内的流动的压力介质无法通过第一阶梯槽，从而实现阀门的截止功能。

进一步的，所述主阀杆包括固定于阀芯主体顶部的中空阀杆，且中空阀杆贯穿限位管套并延伸至阀座主体内部，所述中空阀杆的顶部安装有升降活塞，所述升降活塞通过固定卡箍与中空阀杆固定，所述升降活塞内壁靠近底部位置安装有第六矩形密封圈，所述中空阀杆内壁靠近顶部位置安装有第七矩形密封圈，所述升降活塞外壁还安装有两个第八矩形密封圈。

通过上述技术方案，主阀杆用于升降活塞与阀芯主体之间的连接和联动，可以通过控制升降活塞的升降来阀芯主体的开合。

进一步的，所述可调节辅助进气阀芯包括转动安装于阀芯主体、中空阀杆和顶盖之间的丝杠阀杆，所述丝杠阀杆的顶端固定连接有阀杆调节旋钮，所述丝杠阀杆的底端转动连接有辅助阀芯，所述辅助阀芯底部安装有多个呈阶梯分布的第九矩形密封圈，所述丝杠阀杆外壁底部套接有复位弹簧，所述丝杠阀杆外壁安装有用于挤压复位弹簧的滚珠螺母座，所述辅助阀芯顶部开设有用于定位复位弹簧底部的弹簧定位凹槽。

通过上述技术方案，当进气口位置的介质压力过大时，介质的压力会推动辅助阀芯向上挤压复位弹簧，与此同时，随着辅助阀芯的上升，顶起辅助阀芯的压力介质会进入导流腔，然后经导流孔进入出气口，从而可以在管道介质压力过大的情况下实现自动提前泄压，以防止因管道内压力过大而导致管道内的介质从其他连接位置发生泄漏，另外，辅助阀芯的开合压力大小可以通过旋拧阀杆调节旋钮来进行控制调节，阀杆调节旋钮旋转的同时可以同步带动丝杠阀杆进行旋转，进而可以带动丝杠阀杆上的滚珠螺母座进行升降，当滚珠螺母座上升，可以减小复位弹簧对辅助阀芯的压力，当滚珠螺母座向下移动时，可以进一步挤压复位弹簧，从而增大对辅助阀芯，在需要自动泄压的情况下，其泄压的压力值的大小可以由操作人员根据实际需求进行调节。

进一步的，所述充放气机构包括固定安装于阀座主体外壁的导气座，所述导气座上分别设有底部充放气接口和顶部充放气接口，所述阀座主体的外壁分别开设有两个与底部充放气接口和顶部充放气接口相贯通的导气孔。

通过上述技术方案，当需要控制主阀芯完全打开时，可以通过底部充放气接口接入高压气体，高压气体会快速进入阀座主体中心的底部，由于高压气体的气体压力值大于主壳体内部压缩气体的压力值，从而使得较大的气体压力会推动升降活塞向上移动，进而可以通过主阀杆带动主阀芯向上移动，从而使阀体完全打开，此时气密组件的主壳体内部压缩气体会进一步被压缩；当需要控制主阀芯闭合时，只需通过底部充放气接口进行泄压，并向顶部充放气接口内注入一定的空气，此时在主壳体内部压缩气体的推动下，会快速推动主阀芯封堵住进气口。

进一步的，所述补气检测机构包括固定于主壳体外壁一侧的连接部，所述连接部中心开设有与主壳体内部相贯通的充气孔，所述充气孔另一端的中心安装有充气单向阀，所述主阀体内壁的一侧设置有限位座，所述连接部滑动限位于限位座内，所述限位座一侧的端面上安装有第十矩形密封圈，所述连接部的外壁固定安装有气密滑盖，所述主阀体的外壁上开设有与限位座相贯通的通孔，所述通孔中螺纹连接有密封螺栓，通过在主阀体与可调节主进气阀芯之间设置补气检测机构。

通过上述技术方案，当密封螺栓打开后，可以将带有压力检测器的充气管道插入充气单向阀中，既可以方便、快速的进行压力检测，同时，当主壳体内的压缩气体压力低于标准范围时，也可以快速的向主壳体内补入压缩气体，以保证阀门可以更加方便的定期检修和检测，以保证阀门可以正常稳定的运行，也使得阀门的日常检修和维护更加方便快捷；另外，主壳体充入的压缩气体压力可以根据实际需求进行控制，以使得该阀门可以用于不同的压力管道中。

进一步的，所述气密滑盖远离主壳体的一侧与限位座的端面紧密贴合。

通过上述技术方案，通过安装气密滑盖，并使其与限位座的端面紧密贴合，使得连接部在跟随主壳体上下移动时，气密滑盖能够始终密封中限位座，当需要进行压力检测或充气时，也可以防止主阀体内残留的介质发生泄漏。

本发明的有益效果如下：（1）本发明通过设计可调节主进气阀芯，气密组件内可以存储压缩气体，以使得压缩气体能够推动主阀芯密封住进气口位置的第一阶梯槽，从而使阀门在正常情况下处于常闭状态，由于主壳体内壁顶部安装有两个矩形密封圈和多个均匀分布的O型密封圈，进而可以保证主壳体与限位管套之间的密封性，进而可以有效防止主壳体内的压缩气体发生泄漏，使得气密组件内具有稳定的压力，从而可以防止主阀芯轻易发生泄漏或介质渗透的情况；（2）本发明通过设计补气检测机构，既可以方便、快速的进行压力检测，同时，当主壳体内的压缩气体压力低于标准范围时，也可以快速的向主壳体内补入压缩气体，以保证阀门可以更加方便的定期检修和检测，以保证阀门可以正常稳定的运行；（3）本发明通过设计补气检测机构，使得主壳体充入的压缩气体压力可以根据实际需求进行控制，进而使得该阀门可以用于不同的压力管道中，使其整体的应用范围更加广泛。

附图说明

图1是本发明的第一视角结构图；

图2是本发明的第二视角结构图；

图3是本发明的主视图；

图4是本发明的左视图；

图5是图4的剖视图；

图6是本发明可调节主进气阀芯的结构示意图；

图7是图6中A-A向剖视图；

图8是图5中A处的局部放大图；

图9是图5中B处的局部放大图；

图10是图5中C处的局部放大图；

图11是图7中D处的局部放大图；

图12是本发明主阀芯的右视图；

图13是图12中B-B向剖视图；

图14是图13中E处的局部放大图；

图15是本发明可调节辅助进气阀芯的结构示意图；

图16是本发明气密组件的结构示意图；

图17是本发明气密组件和补气检测机构的剖视图。

附图标记：1、主阀体；101、第一阶梯槽；2、进气口；3、出气口；4、上阀座；401、阀座主体；402、限位管套；403、第一矩形密封圈；404、第一O型密封圈；405、第二矩形密封圈；406、第三矩形密封圈；5、中部密封垫；6、顶盖；7、固定螺栓；8、可调节主进气阀芯；801、气密组件；8011、主壳体；8012、第四矩形密封圈；8013、第二O型密封圈；8014、第二阶梯槽；802、主阀芯；8021、阀芯主体；8022、导流腔；8023、圆孔；8024、底部端盖；8025、导流孔；8026、第五矩形密封圈；803、阶梯密封垫；804、主阀杆；8041、中空阀杆；8042、升降活塞；8043、固定卡箍；8044、第六矩形密封圈；8045、第七矩形密封圈；8046、第八矩形密封圈；9、可调节辅助进气阀芯；901、丝杠阀杆；902、阀杆调节旋钮；903、辅助阀芯；904、第九矩形密封圈；905、复位弹簧；906、滚珠螺母座；907、弹簧定位凹槽；10、充放气机构；1001、导气座；1002、底部充放气接口；1003、顶部充放气接口；1004、导气孔；11、补气检测机构；1101、连接部；1102、充气孔；1103、充气单向阀；1104、限位座；1105、第十矩形密封圈；1106、气密滑盖；1107、通孔；1108、密封螺栓。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

如图1-图5所示，本实施例的快慢抽双流通高真空角阀，包括主阀体1，主阀体1底部设有进气口2，主阀体1外壁一侧设有出气口3；主阀体1为中空结构，且进气口2与出气口3相贯通，主阀体1的底部中心开设有第一阶梯槽101，可调节主进气阀芯8能够与第一阶梯槽101进行紧密贴合，进而实现对进气口2与出气口3之间的密封，从而实现流动介质的截止。

如图5-图11所示，主阀体1顶部安装有上阀座4，上阀座4包括安装于主阀体1顶部的阀座主体401，阀座主体401底部中心固定连接有一体式的限位管套402，限位管套402内壁靠近底部位置分别安装有第一矩形密封圈403和第一O型密封圈404，限位管套402内壁靠近顶部位置安装有第二矩形密封圈405，阀座主体401内壁的顶部安装有第三矩形密封圈406，限位管套402可以对可调节主进气阀芯8的升降起到滑动限位作用，与此同时，限位管套402内壁安装的第一矩形密封圈403、第一O型密封圈404和第二矩形密封圈405可以进一步起到密封作用，从而可以防止气密组件801的压缩气体产生泄漏，同时也可以防止阀座主体401内输入的高压气体进入气密组件801内。

如图7所示，主阀体1与上阀座4之间安装有中部密封垫5，上阀座4顶部安装有顶盖6，顶盖6、上阀座4、中部密封垫5和主阀体1之间通过多个固定螺栓7固定。

如图5-图17所示，主阀体1与上阀座4之间安装有可调节主进气阀芯8，可调节主进气阀芯8包括气密组件801、主阀芯802、阶梯密封垫803和主阀杆804；气密组件801包括套设于限位管套402外壁的主壳体8011，主壳体8011内壁顶部安装有两个第四矩形密封圈8012，两个第四矩形密封圈8012之间位置还安装有多个均匀分布的第二O型密封圈8013，主壳体8011底部周侧开设有第二阶梯槽8014，主壳体8011用于存储压缩气体（通常为惰性气体，也可以是空气），以使得压缩气体能够推动主阀芯802密封住进气口2位置的第一阶梯槽101，从而使阀门在正常情况下处于常闭状态，由于主壳体8011内壁顶部安装有两个第四矩形密封圈8012和多个均匀分布的第二O型密封圈8013，进而可以保证主壳体8011与限位管套402之间的密封性，进而可以有效防止主壳体8011内的压缩气体发生泄漏，使得气密组件801内具有稳定的压力，从而可以防止主阀芯802轻易发生泄漏或介质渗透的情况。

主阀芯802包括固定于主壳体8011底部的阀芯主体8021，阶梯密封垫803安装于阀芯主体8021与主壳体8011之间，阀芯主体8021中部开设有导流腔8022，阀芯主体8021顶部中心开设有贯穿的圆孔8023，导流腔8022的底部安装有可拆卸的底部端盖8024，阀芯主体8021一侧开设有与导流腔8022相贯通的导流孔8025，阀芯主体8021的周侧阶梯部位还安装有两个第五矩形密封圈8026，阀芯主体8021用于进气口2位置第一阶梯槽101的开合控制，在正常状态下，由于气密组件801内压缩气体的压力推动下，阀芯主体8021会封堵住第一阶梯槽101，进而使管道内的流动的压力介质无法通过第一阶梯槽101，从而实现阀门的截止功能。

主阀杆804包括固定于阀芯主体8021顶部的中空阀杆8041，且中空阀杆8041贯穿限位管套402并延伸至阀座主体401内部，中空阀杆8041的顶部安装有升降活塞8042，升降活塞8042通过固定卡箍8043与中空阀杆8041固定，升降活塞8042内壁靠近底部位置安装有第六矩形密封圈8044，中空阀杆8041内壁靠近顶部位置安装有第七矩形密封圈8045，升降活塞8042外壁还安装有两个第八矩形密封圈8046，主阀杆804用于升降活塞8042与阀芯主体8021之间的连接和联动，可以通过控制升降活塞8042的升降来阀芯主体8021的开合。

如图5-图15所示，可调节主进气阀芯8与顶盖6之间安装有可调节辅助进气阀芯9；可调节辅助进气阀芯9包括转动安装于阀芯主体8021、中空阀杆8041和顶盖6之间的丝杠阀杆901，丝杠阀杆901的顶端固定连接有阀杆调节旋钮902，丝杠阀杆901的底端转动连接有辅助阀芯903，辅助阀芯903底部安装有多个呈阶梯分布的第九矩形密封圈904，丝杠阀杆901外壁底部套接有复位弹簧905，丝杠阀杆901外壁安装有用于挤压复位弹簧905的滚珠螺母座906，辅助阀芯903顶部开设有用于定位复位弹簧905底部的弹簧定位凹槽907，当进气口2位置的介质压力过大时，介质的压力会推动辅助阀芯903向上挤压复位弹簧905，与此同时，随着辅助阀芯903的上升，顶起辅助阀芯903的压力介质会进入导流腔8022，然后经导流孔8025进入出气口3，从而可以在管道介质压力过大的情况下实现自动提前泄压，以防止因管道内压力过大而导致管道内的介质从其他连接位置发生泄漏，另外，辅助阀芯903的开合压力大小可以通过旋拧阀杆调节旋钮902来进行控制调节，阀杆调节旋钮902旋转的同时可以同步带动丝杠阀杆901进行旋转，进而可以带动丝杠阀杆901上的滚珠螺母座906进行升降，当滚珠螺母座906上升，可以减小复位弹簧905对辅助阀芯903的压力，当滚珠螺母座906向下移动时，可以进一步挤压复位弹簧905，从而增大对辅助阀芯903，在需要自动泄压的情况下，其泄压的压力值的大小可以由操作人员根据实际需求进行调节。

如图2和图8所示，上阀座4外壁一侧的安装有与可调节主进气阀芯8相对应的充放气机构10，充放气机构10包括固定安装于阀座主体401外壁的导气座1001，导气座1001上分别设有底部充放气接口1002和顶部充放气接口1003，阀座主体401的外壁分别开设有两个与底部充放气接口1002和顶部充放气接口1003相贯通的导气孔1004，当需要控制主阀芯802完全打开时，可以通过底部充放气接口1002接入高压气体，高压气体会快速进入阀座主体401中心的底部，由于高压气体的气体压力值大于主壳体8011内部压缩气体的压力值，从而使得较大的气体压力会推动升降活塞8042向上移动，进而可以通过主阀杆804带动主阀芯802向上移动，从而使阀体完全打开，此时气密组件801的主壳体8011内部压缩气体会进一步被压缩；当需要控制主阀芯802闭合时，只需通过底部充放气接口1002进行泄压，并向顶部充放气接口1003内注入一定的空气，此时在主壳体8011内部压缩气体的推动下，会快速推动主阀芯802封堵住进气口2。

如图5-图17所示，主阀体1与可调节主进气阀芯8之间设有补气检测机构11，补气检测机构11包括固定于主壳体8011外壁一侧的连接部1101，连接部1101中心开设有与主壳体8011内部相贯通的充气孔1102，充气孔1102另一端的中心安装有充气单向阀1103，主阀体1内壁的一侧设置有限位座1104，连接部1101滑动限位于限位座1104内，限位座1104一侧的端面上安装有第十矩形密封圈1105，连接部1101的外壁固定安装有气密滑盖1106，主阀体1的外壁上开设有与限位座1104相贯通的通孔1107，通孔1107中螺纹连接有密封螺栓1108，通过在主阀体1与可调节主进气阀芯8之间设置补气检测机构11，当密封螺栓1108打开后，可以将带有压力检测器的充气管道插入充气单向阀1103中，既可以方便、快速的进行压力检测，同时，当主壳体8011内的压缩气体压力低于标准范围时，也可以快速的向主壳体8011内补入压缩气体，以保证阀门可以更加方便的定期检修和检测，以保证阀门可以正常稳定的运行，也使得阀门的日常检修和维护更加方便快捷；另外，主壳体8011充入的压缩气体压力可以根据实际需求进行控制，以使得该阀门可以用于不同的压力管道中。

气密滑盖1106远离主壳体8011的一侧与限位座1104的端面紧密贴合，通过安装气密滑盖1106，并使其与限位座1104的端面紧密贴合，使得连接部1101在跟随主壳体8011上下移动时，气密滑盖1106能够始终密封中限位座1104，当需要进行压力检测或充气时，也可以防止主阀体1内残留的介质发生泄漏。

本实施例的工作原理如下，将阀门的进气口2与出气口3分别与对应的管道相连接，当需要控制主阀芯802开启时，可以通过底部充放气接口1002接入高压气体，高压气体会快速进入阀座主体401中心的底部，由于高压气体的气体压力值大于主壳体8011内部压缩气体的压力值，使得较大的气体压力会推动升降活塞8042向上移动，进而可以通过主阀杆804带动主阀芯802向上移动，从而使阀体完全打开，此时气密组件801的主壳体8011内部压缩气体会进一步被压缩，进气口2流入的压力介质可以经第一阶梯槽101流入出气口3；

当需要控制主阀芯802闭合时，只需通过底部充放气接口1002进行泄压，并向顶部充放气接口1003内注入一定的空气，此时在主壳体8011内部压缩气体的推动下，会快速推动主阀芯802封堵住进气口2；

当进气口2位置的介质压力过大时，介质的压力会推动辅助阀芯903向上挤压复位弹簧905，与此同时，随着辅助阀芯903的上升，顶起辅助阀芯903的压力介质会进入导流腔8022，然后经导流孔8025进入出气口3，从而可以在管道介质压力过大的情况下实现自动提前泄压，以防止因管道内压力过大而导致管道内的介质从其他连接位置发生泄漏，其泄压的压力值的大小可以由操作人员根据实际需求进行调节。

以上所述，仅为本发明的较佳实施例而已，并非用于限定本发明的保护范围。

Claims (6)

1.快慢抽双流通高真空角阀，包括主阀体（1），其特征在于：所述主阀体（1）底部设有进气口（2），所述主阀体（1）外壁一侧设有出气口（3）；

所述主阀体（1）顶部安装有上阀座（4），所述上阀座（4）包括安装于主阀体（1）顶部的阀座主体（401），所述阀座主体（401）底部中心固定连接有一体式的限位管套（402），所述主阀体（1）与上阀座（4）之间安装有中部密封垫（5），所述上阀座（4）顶部安装有顶盖（6），所述顶盖（6）、上阀座（4）、中部密封垫（5）和主阀体（1）之间通过多个固定螺栓（7）固定；

所述主阀体（1）与上阀座（4）之间安装有可调节主进气阀芯（8），所述可调节主进气阀芯（8）包括气密组件（801）、主阀芯（802）、阶梯密封垫（803）和主阀杆（804）；

所述气密组件（801）包括套设于限位管套（402）外壁的主壳体（8011），所述主壳体（8011）内壁顶部安装有两个第四矩形密封圈（8012），两个所述第四矩形密封圈（8012）之间位置还安装有多个均匀分布的第二O型密封圈（8013），所述主壳体（8011）底部周侧开设有第二阶梯槽（8014）；

所述可调节主进气阀芯（8）与顶盖（6）之间安装有可调节辅助进气阀芯（9）；

所述上阀座（4）外壁一侧的安装有与可调节主进气阀芯（8）相对应的充放气机构（10），所述主阀体（1）与可调节主进气阀芯（8）之间设有补气检测机构（11）；

所述充放气机构（10）包括固定安装于阀座主体（401）外壁的导气座（1001），所述导气座（1001）上分别设有底部充放气接口（1002）和顶部充放气接口（1003），所述阀座主体（401）的外壁分别开设有两个与底部充放气接口（1002）和顶部充放气接口（1003）相贯通的导气孔（1004）；

所述补气检测机构（11）包括固定于主壳体（8011）外壁一侧的连接部（1101），所述连接部（1101）中心开设有与主壳体（8011）内部相贯通的充气孔（1102），所述充气孔（1102）另一端的中心安装有充气单向阀（1103），所述主阀体（1）内壁的一侧设置有限位座（1104），所述连接部（1101）滑动限位于限位座（1104）内，所述限位座（1104）一侧的端面上安装有第十矩形密封圈（1105），所述连接部（1101）的外壁固定安装有气密滑盖（1106），所述主阀体（1）的外壁上开设有与限位座（1104）相贯通的通孔（1107），所述通孔（1107）中螺纹连接有密封螺栓（1108）；

所述气密滑盖（1106）远离主壳体（8011）的一侧与限位座（1104）的端面紧密贴合。

2.根据权利要求1所述的快慢抽双流通高真空角阀，其特征在于，所述主阀体（1）为中空结构，且进气口（2）与出气口（3）相贯通，所述主阀体（1）的底部中心开设有第一阶梯槽（101）。

3.根据权利要求1所述的快慢抽双流通高真空角阀，其特征在于，所述限位管套（402）内壁靠近底部位置分别安装有第一矩形密封圈（403）和第一O型密封圈（404），所述限位管套（402）内壁靠近顶部位置安装有第二矩形密封圈（405），所述阀座主体（401）内壁的顶部安装有第三矩形密封圈（406）。

4.根据权利要求3所述的快慢抽双流通高真空角阀，其特征在于，所述主阀芯（802）包括固定于主壳体（8011）底部的阀芯主体（8021），所述阶梯密封垫（803）安装于阀芯主体（8021）与主壳体（8011）之间，所述阀芯主体（8021）中部开设有导流腔（8022），所述阀芯主体（8021）顶部中心开设有贯穿的圆孔（8023），所述导流腔（8022）的底部安装有可拆卸的底部端盖（8024），所述阀芯主体（8021）一侧开设有与导流腔（8022）相贯通的导流孔（8025），所述阀芯主体（8021）的周侧阶梯部位还安装有两个第五矩形密封圈（8026）。

5.根据权利要求4所述的快慢抽双流通高真空角阀，其特征在于，所述主阀杆（804）包括固定于阀芯主体（8021）顶部的中空阀杆（8041），且中空阀杆（8041）贯穿限位管套（402）并延伸至阀座主体（401）内部，所述中空阀杆（8041）的顶部安装有升降活塞（8042），所述升降活塞（8042）通过固定卡箍（8043）与中空阀杆（8041）固定，所述升降活塞（8042）内壁靠近底部位置安装有第六矩形密封圈（8044），所述中空阀杆（8041）内壁靠近顶部位置安装有第七矩形密封圈（8045），所述升降活塞（8042）外壁还安装有两个第八矩形密封圈（8046）。

6.根据权利要求5所述的快慢抽双流通高真空角阀，其特征在于，所述可调节辅助进气阀芯（9）包括转动安装于阀芯主体（8021）、中空阀杆（8041）和顶盖（6）之间的丝杠阀杆（901），所述丝杠阀杆（901）的顶端固定连接有阀杆调节旋钮（902），所述丝杠阀杆（901）的底端转动连接有辅助阀芯（903），所述辅助阀芯（903）底部安装有多个呈阶梯分布的第九矩形密封圈（904），所述丝杠阀杆（901）外壁底部套接有复位弹簧（905），所述丝杠阀杆（901）外壁安装有用于挤压复位弹簧（905）的滚珠螺母座（906），所述辅助阀芯（903）顶部开设有用于定位复位弹簧（905）底部的弹簧定位凹槽（907）。