CN117532384A - 一种适用于精密搬运的快速调整xyz轴的机构 - Google Patents
一种适用于精密搬运的快速调整xyz轴的机构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN117532384A CN117532384A CN202311758332.1A CN202311758332A CN117532384A CN 117532384 A CN117532384 A CN 117532384A CN 202311758332 A CN202311758332 A CN 202311758332A CN 117532384 A CN117532384 A CN 117532384A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- bottom plate
- mounting panel
- bush
- xyz axes
- jack bolt
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 125000003003 spiro group Chemical group 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 6
- 230000000712 assembly Effects 0.000 abstract 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q7/00—Arrangements for handling work specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools, e.g. for conveying, loading, positioning, discharging, sorting
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本发明属于精密机床设备部件技术领域，特别提供了一种适用于精密搬运的快速调整XYZ轴的机构，包括安装板和底板，安装板的表面开设有四个衬套装配孔和四个顶紧螺栓装配孔，四个衬套装配孔分别位于安装板的四角处，四个顶紧螺栓装配孔对称设置，衬套装配孔内均固定安装有衬套，衬套内插接有铰链销，铰链销的下端嵌入底板表面与其固定连接，顶紧螺栓装配孔内均螺接有顶紧螺栓，顶紧螺栓贯穿安装板，且顶紧螺栓的下端与底板的表面相抵接，安装板和底板之间均匀的固定安装有多个弹性组件。以衬套和铰链销为导向机构，通过四个顶紧螺栓进行四点调平，调平操作可在搬运流程的任意环节实施，操作简单便捷，且稳定良好，能够有效保持调整精度。
Description
技术领域
本发明属于精密机床设备部件技术领域，特别提供了一种适用于精密搬运的快速调整XYZ轴的机构。
背景技术
数控机床的搬运机构一般是通过控制X轴、Y轴、Z轴的自由度来实现定位搬运，其控制精度与搬运精度直接相关，各数控机床的精度需求根据其加工对象而定，其中，用于半导体元器件加工领域的数控机床对搬运精度的要求较高。
搬运机构搬运的工件大小在2mm左右，搬运所用吸盘的吸取槽工件等长，切割道在0.025mm左右，一旦搬运位置不正常，吸盘与工件贴合位置出现偏差，真空很有可能会在错位偏出的吸孔泄露，会导致整个工作盘上所有工件全部废弃掉搬运失败。因此，搬运机构的搬运精度很重要，尤其是使用过程中的重复定位精度，搬运机构与工作盘销钉配合保证重复定位0.024mm～0.044mm，平面精度在±0.02mm。
现有技术中，通常采用高精度丝杠来配合搬运机构X轴、Y轴、Z轴，以解决搬运精度问题，此方案不仅成本高，搬运设备装配过程中，难以避免的存在误差，精度提升不明显；
目前，已知的结构简单且成本可控方案为专利号202210424717.3的发明专利中所公开的《一种适用于精密搬运机构的XYZ轴三向精度补偿结构》，参照图4，该方案采用锥套结构，实现了精度补偿效果，但考虑到搬运过程中，两板件在下压配合过程中，XY向的位置偏移量过大，反而会影响定位精度，导致定位不准确。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种适用于精密搬运的快速调整XYZ轴的机构，包括安装板和底板，安装板的表面开设有四个衬套装配孔和四个顶紧螺栓装配孔，四个衬套装配孔分别位于安装板的四角处，四个顶紧螺栓装配孔对称设置，衬套装配孔内均固定安装有衬套，衬套内插接有铰链销，铰链销的下端嵌入底板表面与其固定连接，顶紧螺栓装配孔内均螺接有顶紧螺栓，顶紧螺栓贯穿安装板，且顶紧螺栓的下端与底板的表面相抵接，安装板和底板之间均匀的固定安装有多个弹性组件。
进一步地，所述底板的下方设置有真空套件，底板的侧壁固定安装有多个搭扣，底板与真空套件之间通过搭扣固定连接。
进一步地，所述衬套的内径制作标准为φ12G6（+0.017/+0.006），铰链销的外径制作标准为φ12G6（-0.006/-0.017）。
进一步地，所述安装板的上表面固定安装有连接板，连接板与外部机械臂设备固定连接。
进一步地，所述连接板呈“L”型，安装板的表面水平固定安装有转接板，两个连接板分别固定安装于转接板的两侧。
使用本发明的有益效果是：
以衬套和铰链销为导向机构，通过四个顶紧螺栓进行四点调平，调平操作可在搬运流程的任意环节实施，操作简单便捷，且稳定良好，能够有效保持调整精度。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明的爆炸图；
图3为本发明底板的截面图；
图4为现有技术示意图；
附图标记包括：1-安装板；2-底板；3-连接板；4-衬套；5-铰链销；6-顶紧螺栓；7-弹性组件；8-真空套件；9-搭扣；10-转接板；
具体实施方式
以下结合附图对本发明进行详细的描述。
参照图1-图3，一种适用于精密搬运的快速调整XYZ轴的机构，包括安装板1和底板2，安装板1的表面开设有四个衬套装配孔和四个顶紧螺栓装配孔，四个衬套装配孔分别位于安装板1的四角处，四个顶紧螺栓装配孔对称设置，衬套装配孔内均固定安装有衬套4，衬套4内插接有铰链销5，铰链销5的下端嵌入底板2表面与其固定连接，顶紧螺栓装配孔内均螺接有顶紧螺栓6，顶紧螺栓6贯穿安装板1，且顶紧螺栓6的下端与底板2的表面相抵接，安装板1和底板2之间均匀设置有多个弹性组件7。
优选地，铰链销5的下端面上设置有螺孔，铰链销5的下端嵌入底板2上表面后，通过从底板2下表面安装螺栓实现铰链销5与底板2的固定；
衬套装配孔与衬套4之间为过盈配合关系。
初始状态下，安装板1和底板2间的间距小于铰链销5的长度，安装板1的上方与外部搬运组件连接，底板2在弹性组件7的作用下悬停在安装板1下方，弹性组件7处于轻微拉伸的状态，当底板2发生Z轴位移时，铰链销5能够在衬套4内滑动，通过转动顶紧螺栓6可对底板2进行调平。
底板2的下方设置有真空套件8，底板2的侧壁固定安装有多个搭扣9，底板2与真空套件8之间通过搭扣9固定连接。
衬套4的内径制作标准为φ12G6（+0.017/+0.006），铰链销5的外径制作标准为φ12G6（-0.006/-0.017）。
安装板1的上表面固定安装有连接板3，连接板3与外部机械臂设备固定连接。
连接板3呈“L”型，安装板1的表面水平固定安装有转接板10，两个连接板3分别固定安装于转接板10的两侧。
以上内容仅为本发明的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上可以作出许多变化，只要这些变化未脱离本发明的构思，均属于本发明的保护范围。
Claims (5)
1.一种适用于精密搬运的快速调整XYZ轴的机构，其特征在于：包括安装板和底板，安装板的表面开设有四个衬套装配孔和四个顶紧螺栓装配孔，四个衬套装配孔分别位于安装板的四角处，四个顶紧螺栓装配孔对称设置，衬套装配孔内均固定安装有衬套，衬套内插接有铰链销，铰链销的下端嵌入底板表面与其固定连接，顶紧螺栓装配孔内均螺接有顶紧螺栓，顶紧螺栓贯穿安装板，且顶紧螺栓的下端与底板的表面相抵接，安装板和底板之间均匀的固定安装有多个弹性组件。
2.根据权利要求1中所述的一种适用于精密搬运的快速调整XYZ轴的机构，其特征在于：所述底板的下方设置有真空套件，底板的侧壁固定安装有多个搭扣，底板与真空套件之间通过搭扣固定连接。
3.根据权利要求1中所述的一种适用于精密搬运的快速调整XYZ轴的机构，其特征在于：所述衬套的内径制作标准为φ12G6（+0.017/+0.006），铰链销的外径制作标准为φ12G6（-0.006/-0.017）。
4.根据权利要求1中所述的一种适用于精密搬运的快速调整XYZ轴的机构，其特征在于：所述安装板的上表面固定安装有连接板，连接板与外部机械臂设备固定连接。
5.根据权利要求4中所述的一种适用于精密搬运的快速调整XYZ轴的机构，其特征在于：所述连接板呈“L”型，安装板的表面水平固定安装有转接板，两个连接板分别固定安装于转接板的两侧。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311758332.1A CN117532384A (zh) | 2023-12-20 | 2023-12-20 | 一种适用于精密搬运的快速调整xyz轴的机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311758332.1A CN117532384A (zh) | 2023-12-20 | 2023-12-20 | 一种适用于精密搬运的快速调整xyz轴的机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN117532384A true CN117532384A (zh) | 2024-02-09 |
Family
ID=89792104
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202311758332.1A Pending CN117532384A (zh) | 2023-12-20 | 2023-12-20 | 一种适用于精密搬运的快速调整xyz轴的机构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN117532384A (zh) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2557701A1 (de) * | 1975-12-20 | 1977-09-08 | Rudi Bluemle | Vorrichtung zur passgenauen lagerung von zu bearbeitenden werkstuecken und verfahren zu ihrer herstellung |
| CN208736392U (zh) * | 2018-09-17 | 2019-04-12 | 昆山日松机电有限公司 | 一种测量汽车零件表面粗糙度的检具 |
| CN110202499A (zh) * | 2019-05-29 | 2019-09-06 | 东莞市华茂电子集团有限公司 | 一种五金手机中框贴辅料治具 |
| CN114536034A (zh) * | 2022-04-22 | 2022-05-27 | 沈阳和研科技有限公司 | 一种适用于精密搬运机构的xyz轴三向精度补偿结构 |
| CN116219409A (zh) * | 2023-03-09 | 2023-06-06 | 大连皓宇电子科技有限公司 | 半导体镀膜喷淋头平面性调节器 |
| CN116275979A (zh) * | 2023-01-05 | 2023-06-23 | 南阳威奥斯图车辆减振器有限公司 | 衬套自动压装机 |
-
2023
- 2023-12-20 CN CN202311758332.1A patent/CN117532384A/zh active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2557701A1 (de) * | 1975-12-20 | 1977-09-08 | Rudi Bluemle | Vorrichtung zur passgenauen lagerung von zu bearbeitenden werkstuecken und verfahren zu ihrer herstellung |
| CN208736392U (zh) * | 2018-09-17 | 2019-04-12 | 昆山日松机电有限公司 | 一种测量汽车零件表面粗糙度的检具 |
| CN110202499A (zh) * | 2019-05-29 | 2019-09-06 | 东莞市华茂电子集团有限公司 | 一种五金手机中框贴辅料治具 |
| CN114536034A (zh) * | 2022-04-22 | 2022-05-27 | 沈阳和研科技有限公司 | 一种适用于精密搬运机构的xyz轴三向精度补偿结构 |
| CN116275979A (zh) * | 2023-01-05 | 2023-06-23 | 南阳威奥斯图车辆减振器有限公司 | 衬套自动压装机 |
| CN116219409A (zh) * | 2023-03-09 | 2023-06-06 | 大连皓宇电子科技有限公司 | 半导体镀膜喷淋头平面性调节器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN110936108B (zh) | 一种薄壁环形机匣类零件提高装配精度的加工方法 | |
| CN117532384A (zh) | 一种适用于精密搬运的快速调整xyz轴的机构 | |
| CN114536034B (zh) | 一种适用于精密搬运机构的xyz轴三向精度补偿结构 | |
| CN209774088U (zh) | 一种夹具定位销结构 | |
| CN111251227B (zh) | 超硬梁类零件多孔同轴装配工装及装配方法 | |
| CN208601402U (zh) | 一种装配夹具 | |
| CN219005393U (zh) | 一种一体式平衡肘加工定位装置 | |
| CN111283316A (zh) | 一种电子束焊接通用平台 | |
| CN108621054B (zh) | 立式加工中心螺母座的校正装置及校正方法 | |
| CN110561540A (zh) | 一种用于光学定心仪的调整装置 | |
| CN215393942U (zh) | 一种便携式机器人小臂随行工装 | |
| CN208276489U (zh) | 一种自动校正轴类件的插镶治具 | |
| CN219818302U (zh) | 一种球形零件的定位装置 | |
| CN216939289U (zh) | 一种工件压装工装 | |
| CN217800327U (zh) | 定位器精密表体卡箍式夹持机构 | |
| CN220783061U (zh) | 一种环件找正模块及装置 | |
| CN114102051B (zh) | 一种采棉打包一体机的箱体框架的加工方法 | |
| CN219404298U (zh) | 平移式端拾器快换装置 | |
| CN217223728U (zh) | 一种工装夹具 | |
| CN212371224U (zh) | 一种新型钻模 | |
| CN220313390U (zh) | 矫正装置 | |
| CN216706788U (zh) | 一种桥壳加工装置及机床 | |
| CN219541818U (zh) | 一种用于轴类零件的铣键槽角度定位装置 | |
| CN215431565U (zh) | 一种用于加工楔式闸阀阀体两端法兰的快速校准工具 | |
| CN219403329U (zh) | 一种行星架加工轴承孔的夹具 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination |