CN117524948A - 一种晶圆上下料载台装置 - Google Patents

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CN117524948A CN202311460047.1A CN202311460047A CN117524948A CN 117524948 A CN117524948 A CN 117524948A CN 202311460047 A CN202311460047 A CN 202311460047A CN 117524948 A CN117524948 A CN 117524948A
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胡炜
张希雅
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Abstract

本发明提供了一种晶圆上下料载台装置，包括可开闭的上料料盒保护罩体、可开闭的下料料盒保护罩体和钣金连接件，上料料盒保护罩体和下料料盒保护罩体分别安装在钣金连接件上；在上料料盒保护罩体内安装有上料料盒载台，上料料盒载台上可拆卸的安装有上料料盒；在下料料盒保护罩体内安装有下料料盒载台，下料料盒载台上可拆卸的安装有下料料盒；在上料料盒载台和下料料盒载台上均设有适配多种型号晶圆料盒的晶圆料盒安装组件。本发明提供的晶圆上下料载台装置，不仅能够兼容适配多种型号的晶圆料盒，而且能够保护晶圆料盒不受外界因素损坏。

Description

一种晶圆上下料载台装置
技术领域
本发明涉及晶圆上下料技术领域，尤其是涉及一种晶圆上下料载台装置。
背景技术
晶圆是指制造半导体晶体管或集成电路的衬底(也叫基片)，由于是晶体材料，其形状为圆形，所以称为晶圆。晶圆加工制造出来后，如果需要对晶圆进行处理的话，通常需要将晶圆放置于载具内进行转运，从而实现批量上下料。然而现有技术中用于放置晶圆的载具，只能放置单一型号的晶圆料盒，而且在晶圆载具外部也没有设置保护结构，导致晶圆在上下料过程中容易受到外部环境损伤。
发明内容
本发明的目的在于提供一种晶圆上下料载台装置，不仅能够兼容适配多种型号的晶圆料盒，而且能够保护晶圆料盒内的晶圆在上下料过程中不受外界因素损坏。
本发明提供一种晶圆上下料载台装置，包括可开闭的上料料盒保护罩体、可开闭的下料料盒保护罩体和钣金连接件，所述上料料盒保护罩体和所述下料料盒保护罩体分别安装在所述钣金连接件上；在所述上料料盒保护罩体内安装有上料料盒载台，所述上料料盒载台上可拆卸的安装有上料料盒；在所述下料料盒保护罩体内安装有下料料盒载台，所述下料料盒载台上可拆卸的安装有下料料盒；在所述上料料盒载台和所述下料料盒载台上均设有适配多种型号晶圆料盒的晶圆料盒安装组件。
根据本发明提供的一种晶圆上下料载台装置，所述上料料盒载台和所述下料料盒载台的结构相同；
其中，所述下料料盒载台包括载台支撑，在所述载台支撑上设有料盒安放底板，在所述料盒安放底板上设有所述晶圆料盒安装组件，所述晶圆料盒安装组件包括4寸晶圆料盒安装组件、6寸晶圆料盒安装组件和8寸晶圆料盒安装组件；在所述料盒安放底板上靠近所述4寸晶圆料盒安装组件的位置处设有4寸晶圆料盒检测传感器触发按钮，在所述料盒安放底板上靠近所述6寸晶圆料盒安装组件的位置处设有6寸晶圆料盒检测传感器触发按钮，在所述料盒安放底板上靠近所述8寸晶圆料盒安装组件的位置处设有8寸晶圆料盒检测传感器触发按钮。
根据本发明提供的一种晶圆上下料载台装置，所述4寸晶圆料盒安装组件包括4寸晶圆料盒左定位块、4寸晶圆料盒右定位块和4寸晶圆料盒前定位块，所述4寸晶圆料盒左定位块与所述4寸晶圆料盒右定位块相互平行，所述4寸晶圆料盒前定位块垂直设置在所述4寸晶圆料盒左定位块和所述4寸晶圆料盒右定位块的前方；
所述6寸晶圆料盒安装组件包括6寸晶圆料盒左定位块、6寸晶圆料盒右定位块和6寸晶圆料盒前定位块，所述6寸晶圆料盒左定位块与所述6寸晶圆料盒右定位块相互平行，所述6寸晶圆料盒前定位块垂直设置在所述6寸晶圆料盒左定位块和所述6寸晶圆料盒右定位块的前方；
所述8寸晶圆料盒安装组件包括8寸晶圆料盒左定位块、8寸晶圆料盒右定位块和8寸晶圆料盒前定位块，所述8寸晶圆料盒左定位块与所述8寸晶圆料盒右定位块相互平行，所述8寸晶圆料盒前定位块垂直设置在所述8寸晶圆料盒左定位块和所述8寸晶圆料盒右定位块的前方。
根据本发明提供的一种晶圆上下料载台装置，所述载台支撑包括载台支撑前板、载台支撑后板和连接板，所述载台支撑前板和所述载台支撑后板从前至后间隔设置，所述连接板固定连接在所述载台支撑前板与所述载台支撑后板之间，所述载台支撑前板的上端和所述载台支撑后板的上端分别与所述料盒安放底板的下表面连接固定；在所述载台支撑前板的前侧底部还连接有载台底座限位块；
在所述料盒安放底板的上表面后端固定连接有料盒挡框，在所述料盒挡框的左右两端与料盒安放底板之间分别固定连接有支撑件；在所述料盒挡框上安装有晶圆滑片传感器。
根据本发明提供的一种晶圆上下料载台装置，所述上料料盒保护罩体和所述下料料盒保护罩体的结构相同；
其中，所述下料料盒保护罩体包括罩座和翻转盖，所述翻转盖与所述罩座之间铰接，以使所述翻转盖与所述罩座之间能够围合形成安装腔室；所述下料料盒载台安装于所述罩座中。
根据本发明提供的一种晶圆上下料载台装置，所述罩座由罩座底板、罩座前挡板、罩座左侧板、罩座右侧板和罩座顶板围合而成，在所述罩座前挡板、所述罩座顶板、所述罩座左侧板和所述罩座右侧板之间形成与所述翻转盖相配合的开口，所述翻转盖通过铰接件与所述罩座前挡板相铰接；在所述罩座底板、罩座左侧板、罩座右侧板和罩座顶板之间形成之间形成晶圆上下料口。
根据本发明提供的一种晶圆上下料载台装置，所述罩座与所述翻转盖之间连接有两个氮气弹簧，在所述罩座左侧板的内侧上部和所述罩座右侧板的内侧上部分别设有第一安装件，在所述翻转盖的内侧设有与各所述第一安装件相对应的两个第二安装件，两个所述氮气弹簧的一端分别与两个所述第一安装件对应转动连接，两个所述氮气弹簧的另一端分别与两个所述第二安装件对应转动连接。
根据本发明提供的一种晶圆上下料载台装置，在所述罩座顶板上朝向所述翻转盖的一侧设有多个磁铁，多个所述磁铁分别沿所述罩座顶板的长度方向依次间隔设置；所述翻转盖为能够与所述磁铁进行磁吸配合的金属翻转盖。
根据本发明提供的一种晶圆上下料载台装置，所述钣金连接件包括第一安装框体、第二安装框体、第三安装框体、安装顶板和安装底板，其中所述第一安装框体、所述第二安装框体和所述第三安装框体之间依次连接形成三角形框体结构，所述安装顶板与所述三角形框体结构的上端相连，所述安装底板与所述三角形框体结构的下端相连；所述上料料盒保护罩体固定安装于所述第一安装框体的外侧，所述下料料盒保护罩体固定安装于所述第二安装框体的外侧。
根据本发明提供的一种晶圆上下料载台装置，在所述第一安装框体和所述第二安装框体上分别安装有护线板，在各所述护线板上分别设有与各所述料盒挡框分别对应的开口，在各所述护线板上分别设有走线孔。
本发明提供的晶圆上下料载台装置，通过在钣金连接件上分别安装可开闭的上料料盒保护罩体和可开闭的下料料盒保护罩体，在上料料盒保护罩体内安装上料料盒载台，在料料盒载台上可拆卸的安装上料料盒，在下料料盒保护罩体内安装下料料盒载台，在下料料盒载台上可拆卸的安装下料料盒；其中上料料盒用于进行晶圆上料装载，下料料盒用于进行晶圆下料装载，通过设置可开闭的上料料盒保护罩体能够对上料料盒进行有效防护，通过设置可开闭的下料料盒保护罩体能够对下料料盒进行有效防护，进而能够保护上料料盒以及下料料盒内的晶圆在上下料过程中不受外界因素损坏，安全性更高。此外，通过在上料料盒载台和下料料盒载台上分别设置适配多种型号晶圆料盒的晶圆料盒安装组件，能够兼容适配多种型号的晶圆料盒，进而适应多种型号的晶圆料盒装载需求，适用范围更广。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明晶圆上下料载台装置的结构示意图；
图2为本发明晶圆上下料载台装置中第一护线板和第二护线板的装配示意图；
图3为本发明晶圆上下料载台装置中下料料盒保护罩体的结构示意图；
图4为本发明晶圆上下料载台装置中下料料盒载台的结构示意图；
图5为本发明晶圆上下料载台装置中钣金连接件的结构示意图。
附图标记说明：
1、上料料盒保护罩体；
2、下料料盒保护罩体；201、罩座；202、翻转盖；203、晶圆上下料口；
3、钣金连接件；301、第一安装框体；302、第二安装框体；303、第三安装框体；304、安装顶板；305、安装底板；
4、上料料盒载台；5、上料料盒；
6、下料料盒载台；61、料盒安放底板；62、4寸晶圆料盒检测传感器触发按钮；63、6寸晶圆料盒检测传感器触发按钮；64、8寸晶圆料盒检测传感器触发按钮；65、载台支撑前板；66、载台支撑后板；67、连接板；68、载台底座限位块；69、料盒挡框；601、4寸晶圆料盒左定位块；602、4寸晶圆料盒右定位块；603、4寸晶圆料盒前定位块；604、6寸晶圆料盒左定位块；605、6寸晶圆料盒右定位块；606、6寸晶圆料盒前定位块；607、8寸晶圆料盒左定位块；608、8寸晶圆料盒右定位块；609、8寸晶圆料盒前定位块；
7、下料料盒；8、晶圆滑片传感器；9、铰接件；10、氮气弹簧；11、磁铁；12、拉手；13、护线板。
具体实施方式
下面将结合实施例对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语"中心"、"纵向"、"横向"、"长度"、"宽度"、"厚度"、"上"、"下"、"前"、"后"、"左"、"右"、"竖直"、"水平"、"顶"、"底"、"内"、"外"、"顺时针"、"逆时针"等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
此外，术语"第一"、"第二"仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有"第一"、"第二"的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本发明的描述中，"多个"的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。此外，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
如图1至图5所示，本发明实施例的晶圆上下料载台装置，包括可开闭的上料料盒保护罩体1、可开闭的下料料盒保护罩体2和钣金连接件3，上料料盒保护罩体1和下料料盒保护罩体2分别安装在钣金连接件3上。其中钣金连接件3用于与设备固定。
其中，在上料料盒保护罩体1内安装有上料料盒载台4，在上料料盒载台4上可拆卸的安装有上料料盒5，从而能够根据实际使用需求，在上料料盒载台上装卸上料料盒。
其中，在下料料盒保护罩体2内安装有下料料盒载台6，在下料料盒载台6上安装有可拆卸的下料料盒7，从而能够根据实际使用需求，在下料料盒载台上装卸下料料盒。
其中，在上料料盒载台4和下料料盒载台6上均设有适配多种型号晶圆料盒的晶圆料盒安装组件。
也即，上料料盒5用于进行晶圆上料装载，下料料盒7用于进行晶圆下料装载，通过设置可开闭的上料料盒保护罩体1能够对上料料盒5进行有效防护，通过设置可开闭的下料料盒保护罩体2能够对下料料盒7进行有效防护，进而能够保护上料料盒5以及下料料盒7内的晶圆在上下料过程中不受外界因素损坏，安全性更高。此外，通过在上料料盒载台4和下料料盒载台6上分别设置适配多种型号晶圆料盒的晶圆料盒安装组件，能够兼容适配多种型号的晶圆料盒，进而适应多种型号的晶圆料盒的装载需求，适用范围更广。
在本发明的一些实施例中，上料料盒载台4和下料料盒载台6的结构相同。下面对下料料盒载台6的结构进行具体说明。
下料料盒载台6包括载台支撑，在载台支撑上设有料盒安放底板61，在料盒安放底板61上设有晶圆料盒安装组件，晶圆料盒安装组件包括4寸晶圆料盒安装组件、6寸晶圆料盒安装组件和8寸晶圆料盒安装组件，在4寸晶圆料盒安装组件上能够可拆卸的安装4寸晶圆料盒，在6寸晶圆料盒安装组件能够可拆卸的安装6寸晶圆料盒，在8寸晶圆料盒安装组件上能够可拆卸的安装8寸晶圆料盒。
其中，在料盒安放底板61上靠近4寸晶圆料盒安装组件的位置处设有两个4寸晶圆料盒检测传感器触发按钮62，用于检测4寸晶圆料盒是否安装到位。在料盒安放底板61上靠近6寸晶圆料盒安装组件的位置处设有两个6寸晶圆料盒检测传感器触发按钮63，用于检测6寸晶圆料盒是否安装到位。在料盒安放底板61上靠近8寸晶圆料盒安装组件的位置处设有两个8寸晶圆料盒检测传感器触发按钮64，用于检测8寸晶圆料盒是否安装到位。
也即，下料料盒7可以为与4寸晶圆料盒安装组件适配安装的4寸晶圆料盒，或与6寸晶圆料盒安装组件适配安装的6寸晶圆料盒，或与8寸晶圆料盒安装组件适配安装的8寸晶圆料盒。
同理，上料料盒5也可以为与4寸晶圆料盒安装组件适配安装的4寸晶圆料盒，或与6寸晶圆料盒安装组件适配安装的6寸晶圆料盒，或与8寸晶圆料盒安装组件适配安装的8寸晶圆料盒。
进一步地，各4寸晶圆料盒检测传感器触发按钮62、各6寸晶圆料盒检测传感器触发按钮63和各8寸晶圆料盒检测传感器触发按钮64的下方均装有槽型光电。以4寸晶圆料盒检测传感器触发按钮62为例，当4寸晶圆料盒放置在4寸晶圆料盒安装组件上时，4寸晶圆料盒检测传感器触发按钮62将被压下，触发槽型广电，而且只两个4寸晶圆料盒检测传感器触发按钮62均被压下时，才能确定4寸晶圆料盒已经安放到位。同理，6寸晶圆料盒检测传感器触发按钮63和8寸晶圆料盒检测传感器触发按钮64的工作原理与4寸晶圆料盒检测传感器触发按钮62的工作原理相似，在此不再进行赘述。
具体来说，4寸晶圆料盒安装组件包括4寸晶圆料盒左定位块601、4寸晶圆料盒右定位块602和4寸晶圆料盒前定位块603，4寸晶圆料盒左定位块601与4寸晶圆料盒右定位块602相互平行，4寸晶圆料盒前定位块603垂直设置在4寸晶圆料盒左定位块601和4寸晶圆料盒右定位块602的前方，以使4寸晶圆料盒左定位块601、4寸晶圆料盒右定位块602和4寸晶圆料盒前定位块603之间形成用于放置4寸晶圆料盒的安装结构。
其中，在4寸晶圆料盒左定位块601、4寸晶圆料盒右定位块602和4寸晶圆料盒前定位块603上分别设有腰型孔，便于实现4寸晶圆料盒在4寸晶圆料盒安装组件上的可拆卸安装固定，并可兼容不同厂家生产的4寸晶圆料盒的尺寸误差。
具体来说，6寸晶圆料盒安装组件包括6寸晶圆料盒左定位块604、6寸晶圆料盒右定位块605和6寸晶圆料盒前定位块606，6寸晶圆料盒左定位块604与6寸晶圆料盒右定位块605相互平行，6寸晶圆料盒前定位块606垂直设置在6寸晶圆料盒左定位块604和6寸晶圆料盒右定位块605的前方，以使6寸晶圆料盒左定位块604、6寸晶圆料盒右定位块605和6寸晶圆料盒前定位块606之间形成用于放置6寸晶圆料盒的安装结构。其中，6寸晶圆料盒安装组件布置在4寸晶圆料盒安装组件的外围。
其中，6寸晶圆料盒左定位块604、6寸晶圆料盒右定位块605和6寸晶圆料盒前定位块606上分别设有腰型孔，便于实现6寸晶圆料盒在6寸晶圆料盒安装组件上的可拆卸安装固定，并可兼容不同厂家生产的6寸晶圆料盒的尺寸误差。
具体来说，8寸晶圆料盒安装组件包括8寸晶圆料盒左定位块607、8寸晶圆料盒右定位块608和8寸晶圆料盒前定位块609，8寸晶圆料盒左定位块607与8寸晶圆料盒右定位块608相互平行，8寸晶圆料盒前定位块609垂直设置在8寸晶圆料盒左定位块607和8寸晶圆料盒右定位块608的前方，以使8寸晶圆料盒左定位块607、8寸晶圆料盒右定位块608和8寸晶圆料盒前定位块609之间形成用于放置8寸晶圆料盒的安装结构。其中，8寸晶圆料盒安装组件布置在6寸晶圆料盒安装组件的外围。
其中，8寸晶圆料盒左定位块607、8寸晶圆料盒右定位块608和8寸晶圆料盒前定位块609上分别设有腰型孔，便于实现8寸晶圆料盒在8寸晶圆料盒安装组件上的可拆卸安装固定，并可兼容不同厂家生产的8寸晶圆料盒的尺寸误差。
当下料料盒7采用4寸晶圆料盒时，将该4寸晶圆料盒安装在4寸晶圆料盒安装组件上即可。当下料料盒7采用6寸晶圆料盒时，将该6寸晶圆料盒安装在6寸晶圆料盒安装组件上即可。当下料料盒7采用8寸晶圆料盒时，将该8寸晶圆料盒安装在8寸晶圆料盒安装组件上即可。
当然，根据实际使用需求，下料料盒7也可以采用其他型号尺寸，只要在料盒安放底板61上设置对应型号尺寸的晶圆料盒安装组件即可。
在本发明的一些实施例中，载台支撑包括载台支撑前板65、载台支撑后板66和连接板67，载台支撑前板65和载台支撑后板66从前至后间隔设置，连接板67固定连接在载台支撑前板65与载台支撑后板66之间，载台支撑前板65的上端和载台支撑后板66的上端分别与料盒安放底板61的下表面连接固定，从而形成对料盒安放底板61稳定、可靠支撑。
其中，在载台支撑前板65的前侧底部还连接有载台底座限位块68，载台底座限位块68上设有顶丝孔，可通过顶丝调节载台支撑上的料盒安放底板61的水平度，可操作性强、稳定性强。
其中，在料盒安放底板61的上表面后端固定连接有料盒挡框69，料盒挡框69的左右两端分别与料盒安放底板61之间固定连接有支撑件，用于增强下料料盒载台6的结构强度。当下料料盒7装在下料料盒载台6上时，机械手可以将晶圆通过料盒挡框69放入下料料盒7中，从而完成下料操作。
其中，在料盒挡框69上还安装有晶圆滑片传感器8，晶圆滑片传感器8为两组对射式传感器。通过设置晶圆滑片传感器8，用于在晶圆上下料过程中检测晶圆是否出现滑片问题，安全性高。
在本发明的一些实施例中，上料料盒保护罩体1和下料料盒保护罩体2的结构相同。下面对下料料盒保护罩体2的结构进行具体说明。
下料料盒保护罩体2包括罩座201和翻转盖202，翻转盖202与罩座201之间铰接，以实现罩座201和翻转盖202之间的可开闭连接。翻转盖202与罩座201之间能够围合形成安装腔室，下料料盒载台6安装于罩座中。通过下料料盒保护罩体2的结构设置，能够对下料料盒载台6上放置的下料料盒7进行保护。
可以理解的是，上料时，由工人打开上料料盒保护罩体1，将装有晶圆的上料料盒5安装在上料料盒载台4上对应的晶圆料盒安装组件上，然后关闭上料料盒保护罩体1，然后机械手通过上料料盒载台4的料盒挡框将晶圆从上料料盒5中取出。
同理，下料时，由工人打开下料料盒保护罩体2，将空的下料料盒7安安装在下料料盒载台6上对应的晶圆料盒安装组件上，再关闭下料料盒保护罩体2，然后机械手将从上料料盒5中取出的晶圆，通过下料料盒载台6的料盒挡框69放入下料料盒7中。待下料料盒7装满后，重新打开下料料盒保护罩体2，将装满晶圆的下料料盒7取下并重新换上空的下料料盒即可。
具体来说，罩座201由罩座底板、罩座前挡板、罩座左侧板、罩座右侧板和罩座顶板围合而成，在罩座前挡板、罩座顶板、罩座左侧板和罩座右侧板之间形成能够与翻转盖202相配合的开口，翻转盖202通过铰接件9与罩座前挡板相铰接，从而实现罩座201与翻转盖202之间的翻转开闭。
其中，在罩座底板、罩座左侧板、罩座右侧板和罩座顶板之间能够形成晶圆上下料口203，该晶圆上下料口203与料盒挡框69相对应，在下料料盒保护罩体2关闭后，便于机械手通过该晶圆上下料口203伸入下料料盒保护罩体2进行晶圆上下料操作。
具体来说，罩座201与翻转盖202之间连接有两个氮气弹簧10，在罩座左侧板的内侧上部和罩座右侧板的内侧上部分别设有第一安装件，在翻转盖202的内侧设有与各第一安装件相对应的两个第二安装件，两个氮气弹簧10的一端分别与两个第一安装件对应转动连接，两个氮气弹簧10的另一端分别与两个第二安装件对应转动连接。
其中，在罩座顶板上朝向翻转盖202的一侧设有多个磁铁11，多个磁铁11分别沿罩座顶板的长度方向依次间隔设置，翻转盖202为能够与磁铁11进行磁吸配合的金属翻转盖。
此外，在翻转盖202的外侧还设有拉手12，用于拉动翻转盖202进行翻转开闭操作。
当需要打开下料料盒保护罩体2时，通过拉手12将翻转盖202往外拉，使翻转盖202与罩座201上的磁铁11相脱离。在此过程中，两个氮气弹簧10由压缩状态回伸，将翻转盖202顶出至与罩座201之间呈90°夹角的打开状态。
当需要关闭下料料盒保护罩体2时，通过拉手12将翻转盖202往上拉，直至磁铁11吸住翻转盖202，此时两个氮气弹簧10呈压缩状态，罩座201与翻转盖202之间呈闭合状态。
同理，上料料盒保护罩体1的开闭方式与下料料盒保护罩体2相同，在此不再进行赘述。
在本发明的一些实施例中，钣金连接件3包括第一安装框体301、第二安装框体302、第三安装框体303、安装顶板304和安装底板305，其中第一安装框体301、第二安装框体302、第三安装框体303分别呈竖向设置，并且第一安装框体301、第二安装框体302、第三安装框体303之间依次连接形成三角形框体结构，安装顶板304与三角形框体结构的上端相连，安装底板305与三角形框体结构的下端相连，以使钣金连接件3的整体结构更加稳定。
其中，上料料盒保护罩体1的固定安装于第一安装框体301的外侧，下料料盒保护罩体2固定安装于第二安装框体302的外侧。也即，上料料盒保护罩体1的晶圆上下料口与第一安装框体301连接固定，下料料盒保护罩体2的晶圆上下料口与第二安装框体302连接固定，从而能够使机械手穿过钣金连接件3分别伸入至上料料盒保护罩体1和下料料盒保护罩体2进行上下料操作。
其中，在第一安装框体301和第二安装框体302上还分别安装有护线板13，在各护线板13上分别设有与各料盒挡框分别对应的开口，从而便于机械手进行晶圆上下料操作。其中，在各护线板13上分别设有走线孔，以使设置在上料料盒载台4和下料料盒载台6上的传感器的线缆能够穿过对应的走线孔接入设备，从而保护线缆。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种晶圆上下料载台装置，其特征在于，包括可开闭的上料料盒保护罩体、可开闭的下料料盒保护罩体和钣金连接件，所述上料料盒保护罩体和所述下料料盒保护罩体分别安装在所述钣金连接件上；在所述上料料盒保护罩体内安装有上料料盒载台，所述上料料盒载台上可拆卸的安装有上料料盒；在所述下料料盒保护罩体内安装有下料料盒载台，所述下料料盒载台上可拆卸的安装有下料料盒；在所述上料料盒载台和所述下料料盒载台上均设有适配多种型号晶圆料盒的晶圆料盒安装组件。
2.根据权利要求1所述的晶圆上下料载台装置，其特征在于，所述上料料盒载台和所述下料料盒载台的结构相同；
其中，所述下料料盒载台包括载台支撑，在所述载台支撑上设有料盒安放底板，在所述料盒安放底板上设有所述晶圆料盒安装组件，所述晶圆料盒安装组件包括4寸晶圆料盒安装组件、6寸晶圆料盒安装组件和8寸晶圆料盒安装组件；在所述料盒安放底板上靠近所述4寸晶圆料盒安装组件的位置处设有4寸晶圆料盒检测传感器触发按钮，在所述料盒安放底板上靠近所述6寸晶圆料盒安装组件的位置处设有6寸晶圆料盒检测传感器触发按钮，在所述料盒安放底板上靠近所述8寸晶圆料盒安装组件的位置处设有8寸晶圆料盒检测传感器触发按钮。
3.根据权利要求2所述的晶圆上下料载台装置，其特征在于，所述4寸晶圆料盒安装组件包括4寸晶圆料盒左定位块、4寸晶圆料盒右定位块和4寸晶圆料盒前定位块，所述4寸晶圆料盒左定位块与所述4寸晶圆料盒右定位块相互平行，所述4寸晶圆料盒前定位块垂直设置在所述4寸晶圆料盒左定位块和所述4寸晶圆料盒右定位块的前方；
所述6寸晶圆料盒安装组件包括6寸晶圆料盒左定位块、6寸晶圆料盒右定位块和6寸晶圆料盒前定位块，所述6寸晶圆料盒左定位块与所述6寸晶圆料盒右定位块相互平行，所述6寸晶圆料盒前定位块垂直设置在所述6寸晶圆料盒左定位块和所述6寸晶圆料盒右定位块的前方；
所述8寸晶圆料盒安装组件包括8寸晶圆料盒左定位块、8寸晶圆料盒右定位块和8寸晶圆料盒前定位块，所述8寸晶圆料盒左定位块与所述8寸晶圆料盒右定位块相互平行，所述8寸晶圆料盒前定位块垂直设置在所述8寸晶圆料盒左定位块和所述8寸晶圆料盒右定位块的前方。
4.根据权利要求2所述的晶圆上下料载台装置，其特征在于，所述载台支撑包括载台支撑前板、载台支撑后板和连接板，所述载台支撑前板和所述载台支撑后板从前至后间隔设置，所述连接板固定连接在所述载台支撑前板与所述载台支撑后板之间，所述载台支撑前板的上端和所述载台支撑后板的上端分别与所述料盒安放底板的下表面连接固定；在所述载台支撑前板的前侧底部还连接有载台底座限位块；
在所述料盒安放底板的上表面后端固定连接有料盒挡框，在所述料盒挡框的左右两端与料盒安放底板之间分别固定连接有支撑件；在所述料盒挡框上安装有晶圆滑片传感器。
5.根据权利要求1所述的晶圆上下料载台装置，其特征在于，所述上料料盒保护罩体和所述下料料盒保护罩体的结构相同；
其中，所述下料料盒保护罩体包括罩座和翻转盖，所述翻转盖与所述罩座之间铰接，以使所述翻转盖与所述罩座之间能够围合形成安装腔室；所述下料料盒载台安装于所述罩座中。
6.根据权利要求5所述的晶圆上下料载台装置，其特征在于，所述罩座由罩座底板、罩座前挡板、罩座左侧板、罩座右侧板和罩座顶板围合而成，在所述罩座前挡板、所述罩座顶板、所述罩座左侧板和所述罩座右侧板之间形成与所述翻转盖相配合的开口，所述翻转盖通过铰接件与所述罩座前挡板相铰接；在所述罩座底板、罩座左侧板、罩座右侧板和罩座顶板之间形成之间形成晶圆上下料口。
7.根据权利要求6所述的晶圆上下料载台装置，其特征在于，所述罩座与所述翻转盖之间连接有两个氮气弹簧，在所述罩座左侧板的内侧上部和所述罩座右侧板的内侧上部分别设有第一安装件，在所述翻转盖的内侧设有与各所述第一安装件相对应的两个第二安装件，两个所述氮气弹簧的一端分别与两个所述第一安装件对应转动连接，两个所述氮气弹簧的另一端分别与两个所述第二安装件对应转动连接。
8.根据权利要求6所述的晶圆上下料载台装置，其特征在于，在所述罩座顶板上朝向所述翻转盖的一侧设有多个磁铁，多个所述磁铁分别沿所述罩座顶板的长度方向依次间隔设置；所述翻转盖为能够与所述磁铁进行磁吸配合的金属翻转盖。
9.根据权利要求4所述的晶圆上下料载台装置，其特征在于，所述钣金连接件包括第一安装框体、第二安装框体、第三安装框体、安装顶板和安装底板，其中所述第一安装框体、所述第二安装框体和所述第三安装框体之间依次连接形成三角形框体结构，所述安装顶板与所述三角形框体结构的上端相连，所述安装底板与所述三角形框体结构的下端相连；所述上料料盒保护罩体固定安装于所述第一安装框体处，所述下料料盒保护罩体固定安装于所述第二安装框体处。
10.根据权利要求9所述的晶圆上下料载台装置，其特征在于，在所述第一安装框体和所述第二安装框体上分别安装有护线板，在各所述护线板上分别设有与各所述料盒挡框分别对应的开口，在各所述护线板上分别设有走线孔。
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