CN117445552B - 液体喷吐头 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够降低共有电极的电阻的液体喷吐头。实施方式的液体喷吐头具备基板、岐管、致动器以及电极部。基板上形成供液体通过的开口。岐管具有供用于温度调节的流体流过的第一流道。致动器设于所述基板的一侧的主面，同时具有多个压力室。电极部配置于所述基板的另一侧，形成于所述致动器的表面、所述基板的一侧的主面、所述开口的内壁、以及与所述第一流道不同的区域内的所述基板的另一侧的主面。

Description

液体喷吐头

技术领域

本发明的实施方式涉及一种液体喷吐头。

背景技术

作为液体喷吐头，已知有具备致动器的液体喷吐头，该致动器按照规定的间隔形成多个隔壁，并在各隔壁之间形成压力室。作为液体喷吐头，还已知有为了提高液体的喷吐速度，使用具有从喷头中喷吐液体的压力室和不喷出液体的空气室的独立驱动结构的液体喷吐头。

在独立驱动结构的液体喷吐头中，有些喷头将压力室的电极导出至驱动器IC侧，将空气室的电极捆扎在基板中央形成共有电极。

在这样的液体喷吐头中，若共有电极电阻较大，则驱动器IC可能会因锁定而破坏，因此，优选使共有电极为低电阻。另外，提高油墨喷吐速度后，头基板的发热较大，因此，有时需要设置用于温度调节的流道，但是在为了降低共有电极的电阻而在基板背面形成有电极膜的情况下，若基板背面的电极与用于温度调节的流道在接液状态下通电，则电极会因电解而腐蚀。

发明内容

本发明想要解决的课题在于提供一种能够降低共有电极的电阻的液体喷吐头。

实施方式的液体喷吐头具备基板、岐管、致动器以及电极部。基板上形成供液体通过的开口。岐管具有供用于温度调节的流体流过的第一流道。致动器设于所述基板的一侧的主面，同时具有多个压力室。电极部配置于所述基板的另一侧，并形成于所述致动器的表面、所述基板的一侧的主面、所述开口的内壁、以及与所述第一流道不同的区域内的所述基板的另一侧的主面。

附图说明

图1是示出第一实施方式所涉及的液体喷吐头的构成的立体图。

图2是示出第一实施方式所涉及的液体喷吐头的构成的仰视图。

图3是示出第一实施方式所涉及的液体喷吐头的构成的分解立体图。

图4是示出第一实施方式所涉及的头主体的构成的剖视图。

图5是示出第一实施方式所涉及的头主体的构成的正视图。

图6是示出第一实施方式所涉及的头主体的部分构成的剖视图。

图7是示出第一实施方式所涉及的头主体的部分构成的正视图。

图8是示出第一实施方式所涉及的头主体的部分构成的仰视图。

图9示出第一实施方式所涉及的头主体的部分构成的剖视图。

图10是示出第一实施方式所涉及的头主体的部分构成的剖视图。

图11是示出第一实施方式所涉及的头主体的部分构成的剖视图。

图12是示出第一实施方式所涉及的液体喷吐头的制造方法的说明图。

图13是示出实施方式所涉及的液体喷吐装置的构成的说明图。

符号说明

1…液体喷吐头(喷墨头)、2…液体喷吐装置(喷墨记录装置)、11…头主体、12…岐管单元、13…冷却流道单元、14…电路基板、15…盖体、111…基板、112…架体、113…致动器、114…喷头板、115…表面、116…共有液室、117…背面、118…单独电极、1181…第一电极部、1182…第二电极部、1183…第三电极部、119…共有电极、1191…第一电极部、1192…第二电极部、1193…第三电极部、1194…第四电极部、1195…第五电极部、121…岐管、1213…第一冷却流道、122…顶板、123…油墨供给管、124…油墨排出管、125…冷却水供给管、126…冷却水排出管、142…驱动器IC、143…印制线路板、151…外轮廓体、1111…供给口、1112…排出口、1131…压力室、1132…空气室、1133…压电体(驱动元件)、1134…斜面、1135…防液壁、1141…喷头、1142…喷头列、1161…第一共有液室、1162…第二共有液室、1211…供给流道、1312…第二冷却流道、133…第二冷却水供给管、134…第二冷却水排出管、2001…输送路径、2111…壳体、2112…介质供给部、2113…图像形成部、2114…介质排出部、2115…输送装置、2116…冷却装置、2117…维护装置、2118…控制部、2120…支撑部、2130…头单元、2132…供给槽、2134…泵、2135…连接流道、21121…进纸盒、21141…排纸盘、21181…CPU、21201…输送带、21202…支撑板、21203…带辊、21211～21218…引导板对、21221～21228…输送辊、P…用纸。

具体实施方式

以下，参考图1至图11，对第一实施方式所涉及的液体喷吐头1及使用液体喷吐头1的液体喷吐装置2进行说明。图1是示出第一实施方式所涉及的液体喷吐头1的构成的立体图，图2是示出液体喷吐头1的构成的仰视图。图3是液体喷吐头1的分解立体图，图4是示出头主体11的构成的剖视图。图5是液体喷吐头的仰视图，图6是示出头主体的一部分的剖视图。图7是示出省略喷头板114的液体喷吐头1的构成的仰视图。图8是示出基板的背侧的构成的正视图。图9至图11是示出液体喷吐头1的头主体11的部分构成的剖视图。图中，X、Y、Z分别表示彼此正交的三个方向。需要说明的是，在各图中，为了进行说明，将构成适当放大、缩小或省略后显示。

液体喷吐头1是例如设于图13所示的喷墨记录装置等液体喷吐装置2的共享模式的喷墨头。液体喷吐头1是例如交替具备压力室1131和空气室1132的独立驱动结构。液体喷吐头1设于头单元2130，该头单元2130包括作为设于液体喷吐装置2的液体收容部的供给槽2132。

向液体喷吐头1供给作为供给槽2132中贮存的液体的油墨。需要说明的是，液体喷吐头1可以为不使油墨循环的非循环式的头，另外，也可以为使油墨循环的循环式的头。在本实施方式中，液体喷吐头1使用非循环式的头的示例进行说明。另外，液体喷吐头1与设于液体喷吐装置2的冷却装置2116连接，向液体喷吐头1供给控制发热部及油墨的温度的冷却液体(冷却水)。液体喷吐头1与冷却装置2116一同构成水冷循环结构。

如图1至图11所示，液体喷吐头1具备头主体11、岐管单元12、冷却流道单元13、电路基板14、以及盖体15。例如，液体喷吐头1是侧射型的四列一体结构头，该结构头具有两组具有一对致动器113的头主体11。

头主体11喷吐液体。头主体11具备基板111、架体112、具有多个压力室1131及多个空气室1132的致动器113、以及喷头板114。

头主体11具有与致动器113的多个压力室1131连通的共有液室116。多个压力室1131的一次侧是指液体流动方向上的多个压力室1131的上游侧。多个压力室1131的二次侧是指液体流动方向上的多个压力室1131的下游侧。

另外，头主体11具有由形成于基板111及致动器113的电极膜构成的电极部。具体而言，作为电极部，头主体11具有分别驱动致动器113的多个压力室1131的多个单独电极118和同时驱动多个压力室1131的单个或多个共有电极119。

在本实施方式的示例中，使用头主体11具有两个致动器113，共有液室116具有一个第一共有液室1161及两个第二共有液室1162的示例进行说明。共有液室116例如具有与致动器113的多个压力室1131的一次侧的开口(压力室1131的入口)连通的第一共有液室1161和与致动器113的多个压力室1131的二次侧的开口(压力室1131的出口)连通的第二共有液室1162。

基板111由例如氧化铝等陶瓷材料形成为矩形板状。基板111具有构成研磨面的作为一个主面的表面115和作为另一个主面的背面117。基板111形成为例如在一个方向(X方向)上较长的矩形。在作为基板111的一侧的主面且构成研磨面的表面115上，形成作为多个单独电极118的一部分的第三电极部1183、以及作为单个共有电极119的一部分的第三电极部1193。在基板111的表面115上，沿基板111的宽度方向(Y方向)并列设有一对致动器113。基板111具有作为供液体通过的开口的单个供给口1111和多个排出口1112。供给口1111及排出口1112是贯穿基板111的两个主面之间的通孔。

需要说明的是，基板111的背面与岐管121对置，覆盖形成于岐管121的对置面且构成供冷却水流过的第一冷却流道1213的凹槽。即，基板111与岐管121一同形成第一冷却流道1213。因此，基板111的背面的一部分形成与冷却水接液的接液区域RA。接液区域RA是指例如和供给口1111形成于的中央侧相反的一侧的外侧的侧部中沿着致动器113的长度方向的区域。

供给口1111是将油墨供给至第一共有液室1161的入口。供给口1111是形成于基板111的宽度方向的中央的通孔。供给口1111沿基板111的长度方向延伸。换而言之，供给口1111是例如沿致动器113的长度方向及第一共有液室1161的长度方向在一个方向上较长的长孔。供给口1111设于一对致动器113之间，向与第一共有液室1161对置的位置开口。

在供给口1111的内壁面上，形成作为共有电极119的一部分的第四电极部1194。

排出口1112是将油墨从第一共有液室1161、压力室1131及第二共有液室1162中排出的出口。排出口1112设有多个，例如四个。各排出口1112位于例如第一共有液室1161和各第二共有液室1162之间，并且分别与一对致动器113的长度方向上的两个端部相邻。需要说明的是，多个排出口1112也可以设于第二共有液室1162。

基板111上设置致动器113及架体112。基板111上的架体112的内侧形成供配置油墨的接液区域，架体112的外侧形成可供各种电子部件连接的安装区域。

架体112通过粘接剂等固定于基板111的一个主面。架体112包含设于基板111的供给口1111、多个排出口1112及致动器113。

例如，通过将架体112形成为矩形架形，沿架体112的长度方向，形成在一个方向上较长的开口。架体112可以具有表面的一部分凹陷的台阶结构。在架体112的开口上，配置一对致动器113、供给口1111及四个排出口1112。架体112在喷头板114和基板111之间围绕在致动器113的周围，并配置为可以将液体保持于内部。

一对致动器113粘接于基板111的表面115。一对致动器113夹着供给口1111排列为两列而设于基板111。致动器113形成为在一个方向上较长的板形。致动器113配置在架体112的开口内，并粘接于基板111的表面115。

致动器113在长度方向上的中央侧具有沿长度方向等间隔配置的多个压力室1131、和沿长度方向等间隔配置，同时配置在相邻的压力室1131之间的空气室1132。换而言之，在致动器113上，沿着长度方向交替配置多个压力室1131及空气室1132。多个压力室1131及多个空气室1132沿与排列方向交叉的方向、例如沿致动器113的宽度方向伸出。

致动器113的与基板111相反侧的面即顶面部粘接于喷头板114。在致动器113上，形成沿长度方向等间隔并列配置，并沿着与长度方向正交的方向的多个凹槽。多个凹槽形成多个压力室1131和多个空气室1132。换而言之，致动器113具有沿长度方向等间隔并列配置的多个作为驱动元件的压电体1133，该压电体1133之间构成形成凹槽的壁。多个压电体1133在相邻的压电体1133之间形成多个压力室1131及多个空气室1132，通过施加驱动电压来改变压力室1131的容积。

在致动器113中，例如，宽度方向上的宽度从顶部侧朝向基板111侧逐渐增大。致动器113的沿与长度方向正交的方向(宽度方向)的剖面的剖面形状形成为梯形。即，致动器113具有向宽度方向的侧面部倾斜的斜面1134。侧面部(斜面1134)对置地配置于第一共有液室1161及第二共有液室1162。在斜面1134上，形成作为多个单独电极118的一部分的第二电极部1182和作为单个或多个共有电极119的一部分的第二电极部1192。

作为具体例，致动器113由层叠压电部件形成，该层叠压电部件是将在一个方向上较长的矩形板状的两片压电材料按照彼此的极化方向相反的方式对置粘接而成的。其中，压电材料是例如PZT(锆钛酸铅)。致动器113通过例如具有热固化性的环氧系粘接剂粘接于基板111的表面115。并且，致动器113通过例如切削加工等构成斜面1134。此外，在基板111及致动器113中，例如，通过研磨加工对供图案化形成多个单独电极118及共有电极119的表面115进行研磨，从而形成研磨面。另外，在致动器113中，例如，通过切削加工形成用于形成多个压力室1131及多个空气室1132的多个凹槽，并形成作为分隔相邻的凹槽彼此之间的侧壁的压电体(驱动元件)1133。

另外，在致动器113上，形成作为多个单独电极118的一部分的第一电极部1181、第二电极部1182、形成单个或多个共有电极119的一部分的第一电极部1191及第二电极部1192。

压力室1131在液体喷吐头1进行印字等动作时产生变形，从而使油墨从喷头1141中喷射。压力室1131的入口向第一共有液室1161开口，出口向第二共有液室1162开口。在压力室1131中，油墨从入口流入，从出口流出。需要说明的是，压力室1131也可以配置为油墨从描述作入口及出口的两个开口流入。在构成压力室1131的凹槽内，分别形成作为多个单独电极118的一部分的第一电极部1181。

如图9等所示，空气室1132的入口侧及出口侧被由感光性树脂等形成的防液壁1135封堵，从而使空气室1132与第一共有液室1161及第二共有液室1162隔开。在空气室1132内，形成作为单个或多个共有电极119的一部分的第一电极部1191。作为具体例，空气室1132的防液壁1135是通过在形成空气室1132的凹槽内向第一电极部1191上浇注紫外线固化树脂之后，使用曝光掩膜等进行曝光的区域、例如作为凹槽的入口侧及出口侧的两端部照射紫外线而形成的。这样的防液壁1135防止油墨进入空气室1132。另外，空气室1132被喷头板114封堵，不配置喷头1141。由此，油墨不会流入空气室1132。

喷头板114形成为板形。喷头板114通过粘接剂等固定于架体112的和基板111相反的一侧的主面。喷头板114具有形成于和多个压力室1131对置的位置的多个喷头1141。在本实施方式中，喷头板114具有两列喷头列1142，其中，多个喷头1141沿一个方向排列。

第一共有液室1161形成于一对致动器113的除两端部之外的中央侧之间，构成从供给口1111向各致动器113的多个压力室1131的一次侧的开口(入口)的油墨的流道。第一共有液室1161沿致动器113的长度方向延伸。第一共有液室1161构成作为第二流道的油墨的流道的一部分。

第二共有液室1162分别形成在各致动器113和架体112之间。第二共有液室1162形成从多个压力室1131的二次侧的开口(出口)向排出口1112的油墨的流道。第二共有液室1162沿致动器113的长度方向延伸。第二共有液室1162构成作为第二流道的油墨的流道的一部分。

多个单独电极118单独向作为压电体的多个压电体1133施加驱动电压。多个单独电极118单独使各压力室1131变形。单独电极118由形成于基板111的布线图案及形成于致动器113的布线图案形成。多个单独电极118由多个压力室1131分别沿致动器113的宽度方向伸出，并导出至一对致动器113的外侧的区域。

作为具体例，如图7至图11所示，多个单独电极118成膜于各压力室1131的内表面、致动器113的斜面1134及基板111。具体而言，单独电极118形成于形成压力室1131的压电体1133的内侧面及压力室1131的底面。另外，单独电极118形成于例如斜面1134及基板111的表面115的一部分。单独电极118从压力室1131内向基板111的宽度方向上的端部延伸，在供基板111的电路基板14连接的连接部1116上，配置端部。即，单独电极118分别具有形成在构成致动器113的压力室1131的凹槽内的第一电极部1181、形成于致动器113的斜面1134的第二电极部1182、以及形成于基板111的表面115的第三电极部1183。单独电极118贴合设于压力室1131的底部及形成压电体1133的压电部件的表面。单独电极118由例如Ni溅射膜191、化学镀Ni膜192、以及电镀Au膜193层叠而形成。单独电极118的厚度为例如0.5μm～5μm。

具体而言，第一电极部1181、第二电极部1182及第三电极部1183由Ni溅射膜191、化学镀Ni膜192及电镀Au膜193这三层的层叠结构构成。需要说明的是，单独电极118也可以局部不形成有电镀Au膜193。例如形成致动器113的压力室1131的凹槽的内部的第一电极部1181可以为Ni溅射膜191和化学镀Ni膜192的两层结构。

共有电极119向多个压电体1133全部施加相同的驱动电压。共有电极119使多个压力室1131同时变形。共有电极119由形成于基板111的布线图案及形成于致动器113的布线图案形成。共有电极119是设于基板111的供给口1111的内周面至形成多个空气室1132的压电体1133的整个区域的布线图案。共有电极119连接于电路基板14。共有电极119从空气室1132导出至一对致动器113之间的中央部的区域。即，多个空气室1132的电极在基板中央侧连接为整体，从而形成共有电极119。

作为具体例，共有电极119成膜于各空气室1132的内表面、致动器113的斜面1134及基板111上的表面115中的避开单独电极118的区域、基板111的背面、以及供给口1111的内表面。即，共有电极119形成于形成各空气室1132的压电体1133的侧面、以及构成空气室1132的底部的压电部件的一部分。作为具体例，共有电极119从各空气室1132内朝向基板111的中央部地设置在斜面1134上，同时形成于一对致动器113之间的基板111的表面115上及供给口1111的内周面。另外，共有电极119还形成于作为基板111的与表面115相反的一侧的主面的背面117。例如共有电极119向基板111的宽度方向上的端部延伸，在供基板111的电路基板14连接的连接部1116上，配置端部。

换而言之，共有电极119从形成于基板111的宽度方向上的端部的连接部1116设置至作为一对致动器113之间部位的基板111的宽度方向上的中央侧。并且，基板111的宽度方向上的中央侧上设置的共有电极119的一部分在基板111的宽度方向上的中央侧，于供给口1111的内周面沿基板111的厚度方向延伸。另外，共有电极119的一部分从基板111的宽度方向上的中央侧设置至形成各空气室1132的压电部件的表面。并且，共有电极119的一部分设于基板111的背面117。

即，共有电极119具有形成于构成致动器113的空气室1132的凹槽内的第一电极部1191、形成于致动器113的斜面1134的第二电极部1192、形成于基板111的表面115的第三电极部1193、形成于供给口1111的内周面的第四电极部1194、以及形成于基板111的背面117的第五电极部1195。共有电极119的各电极部1191～1195避开单独电极118而形成。共有电极119的各电极部1191～1195可以部分形成于基板111及致动器113的表面。

例如第五电极部1195形成于基板111的背面上的与供作为用于温度调节的流体的冷却水流过的第一冷却流道1213不同的位置。即，在基板111的背面上，避开与构成第一冷却流道1213的凹槽对置的接液区域RA而形成第五电极部1195。例如第五电极部1195分别形成于一对致动器113之间的、仅包括供给口1111且沿着致动器113的长度方向的细长中央区域RB、和连接于中央区域RB的两端，相比供给口1111更靠近基板111的长度方向上的两端侧，且包含排出口1112的一对端部区域RC。第五电极部1195间隔规定的距离配置于相比夹着供给口1111而形成为两列的接液区域RA更靠近中央侧处。

在共有电极119中，基板111的表面115的第三电极部1193和背面117的第五电极部1195通过供给口1111内的第四电极部1194连接。需要说明的是，共有电极119也可以在基板111的表面115上向长度方向上的端部延伸，并贯穿基板111的长度方向上的端面而与背面连接。

共有电极119密合设于空气室1132的底部及形成压电体1133的压电部件的表面。共有电极119是由例如Ni溅射膜191、化学镀Ni膜192以及电镀Au膜193层叠而形成的多层结构。例如构成共有电极119的电极膜的表侧为Ni溅射膜191、化学镀Ni膜192及电镀Au膜193的三层层叠结构，背侧为Ni溅射膜191和电镀Au膜193的两层层叠结构。

具体而言，第一电极部1191、第二电极部1192及第三电极部1193是Ni溅射膜191、化学镀Ni膜192以及电镀Au膜193的三层层叠结构。需要说明的是，在共有电极119中，例如凹槽的内部的第一电极部1191也可以为Ni溅射膜191和化学镀Ni膜192的双层结构。

另一方面，第四电极部1194及第五电极部1195是Ni溅射膜191和电镀Au膜193的双层层叠结构。

共有电极119的厚度例如为0.5μm～5μm。需要说明的是，共有电极119的厚度配置为大于单独电极118的厚度。另外，共有电极119配置为电阻低于单独电极118。换言之，单独电极118的厚度配置为小于共有电极119的厚度。另外，单独电极118的电阻值高于共有电极119。

如图1、图3及图4所示，岐管单元12具备岐管121、顶板122、油墨供给管123、油墨排出管124、第一冷却水供给管125、以及第一冷却水排出管126。需要说明的是，油墨供给管123、油墨排出管124、第一冷却水供给管125以及第一冷却水排出管126的数量可以适当设置。

岐管121形成为板形或块形。岐管121具备与基板111的供给口1111连续、并形成作为第二流道的一部分的液体供给流道的供给流道1211；与基板111的排出口1112连续、并形成作为第二流道的一部分的液体排出流道的排出流道；以及形成用于温度调节的流体的流道的第一冷却流道1213。需要说明的是，岐管121连接于一对头主体11，因此具有一对供给路径1211及一对排出路径。

岐管121例如通过将多个岐管部件组装为整体而形成，其形成供给路径1211、排出路径、以及第一冷却流道1213。

岐管121的一个主面固定于作为基板111的另一个主面的背面117。另外，在岐管121中，顶板122固定于与供基板111固定的主面相反的主面。另外，例如油墨供给管123、油墨排出管124、第一冷却水供给管125以及第一冷却水排出管126经由顶板122固定于岐管121。

供给流道1211是通过孔及凹槽形成于岐管121的流道。例如，供给路径1211是沿致动器113的长度方向及供给口1111的长度方向延伸的立方体的液室。供给流道1211将油墨供给管123及基板111的供给口1111流体连接。

排出流道是通过孔及凹槽形成于岐管121的流道。排出流道将油墨排出管124及基板111的排出口1112流体连接。

第一冷却流道1213是通过孔及凹槽形成于岐管121的流道。第一冷却流道1213具有形成于岐管121的与基板111的背面对置的主面上的凹槽，该凹槽的开口被基板111覆盖，从而形成规定的流道。作为一例，针对各致动器113分别形成一个第一冷却流道1213。例如第一冷却流道1213配置于致动器113的压力室1131的排出侧的侧部，并沿致动器113的长度方向延伸。例如，第一冷却流道1213在基板111上的与供形成供给口1111的中央侧相反的一侧的外侧的侧部分别形成于对置的位置。第一冷却流道1213将冷却水供给管125及冷却水排出管126流体连接。

第一冷却流道1213的两端是与设于岐管121的一个主面的冷却水供给管125及冷却水排出管126连接的开口。另外，第一冷却流道1213形成为可以与固定于岐管121的基板111进行换热。

顶板122设于与岐管121的设有基板111的一面相反的面。另外，顶板122将各管123、124、125连接，并具有将各管123、124、125及各流道1211、1213连通的开口。

油墨供给管123连接于供给流道1211。油墨排出管124连接于排出流道。冷却水供给管125及冷却水排出管126连接于第一冷却流道1213的一次侧及二次侧。

在本实施方式中，在岐管121的长度方向上，一端侧配置一对油墨供给管123及第一冷却水排出管126，另一端侧配置一对油墨排出管124及第一冷却水供给管125。

冷却流道单元13具有多个第二冷却流道1312、第二冷却水供给管133以及第二冷却水排出管134。在冷却流道单元13中，在多个第二冷却流道1312之间形成多个开口1314。冷却流道单元13连接于液体喷吐装置2的冷却装置2116。第二冷却流道1312在一个方向(第一方向X)上较长，其沿与第二冷却流道1312的长度方向正交的方向(第二方向Y)并列配置。

作为具体例，在本实施方式中，由于设有一对头主体11，因此，喷头列1142设置四列，致动器113设置四个(四列)，驱动器IC142设置四个(四列)。因此，冷却流道单元13具有三个第二冷却流道1312，在第二冷却流道1312之间形成两个开口1314。

多个第二冷却流道1312连接于第二冷却水供给管133及第二冷却水排出管134。

在冷却流道单元13中，多个开口1314处配置电路基板14的后述的驱动器IC142的一部分及印制线路板143，多个第二冷却流道1312对置地配置于作为发热体的驱动器IC142，从而冷却驱动器IC142。

如图3及图4所示，电路基板14具备一端连接于基板111的连接部1116的驱动器IC142和印制线路板143。

电路基板14通过利用驱动器IC142向致动器113的布线图案施加驱动电压来驱动致动器113，使压力室1131的容积增减，以从喷头1141喷吐液滴。

驱动器IC142经由通过热压合固定于基板111的连接部ACF(各向异性导电膜)连接于多个单独电极118及共有电极119。驱动器IC142是发热的发热部。需要说明的是，驱动器IC142也可以通过ACP(各向异性导电糊)、NCF(非导电膜)及NCP(非导电糊)等其它方式连接于多个单独电极118及共有电极119。所连接的驱动器IC142例如多个设于一个头主体11。在本实施方式中，两个驱动器IC142与一个致动器113相连。驱动器IC142例如是驱动器IC芯片安装在膜上而成的COF(Chip on Film)。驱动器IC142的表面接触第二冷却流道1312的外表面。

印制线路板143是搭载有各种电子部件和连接器的PWA(Printing WiringAssembly)。

盖体15例如具备覆盖一对头主体11的侧面、岐管单元12及电路基板14的外轮廓体151和覆盖一对头主体11的喷头板114侧的一部分的掩膜板。

外轮廓体151例如使岐管单元12中的油墨供给管123、油墨排出管124、冷却水供给管125及冷却水排出管和电路基板14的端部露出至外部。

掩膜板覆盖一对头主体11中除多个喷头1141及喷头板114的多个喷头1141的周围之外的部位。

如上构成的液体喷吐头1在头主体11上具有能够分别单独向各压电体1133施加驱动电压的多个单独电极118、以及能够向全部压电体1133施加驱动电压的共有电极119。

因此，液体喷吐头1能够选择性地、单独地、或共同地驱动多个压力室1131。并且，压力室1131驱动之后，压力室1131产生共享模式变形，供给至压力室1131内的油墨被加压。由此，液体喷吐头1能够从与压力室1131对置的喷头1141中选择性地喷吐经加压的油墨。

另外，共有电极119除形成于基板111的致动器113的表面115、致动器113的斜面1134及空气室1132的内表面之外，还形成于基板111上形成的供给口1111的内周面。

液体喷吐头1具有通过岐管单元12及冷却流道单元13冷却作为液体喷吐部的头主体11的第一冷却流道1213及冷却作为发热部的驱动器IC142的第二冷却流道1312。由第二冷却水供给管133供给的冷却水通过第一冷却流道1213及第二冷却流道1312，并从第二冷却水排出管134排出。并且，流经第一冷却流道1213的冷却水冷却头主体11，流经第二冷却流道1312的冷却水冷却驱动器IC142。

接着，作为液体喷吐头1的制造方法的一例，参考图12，对电极形成的工序进行说明。图12是示出液体喷吐头1的制造方法中的电极形成工序的流程图。

首先，作为Act1，在基板111的表面侧，对基板111及致动器113的规定的区域进行溅射，形成Ni溅射膜191(表面Ni溅射)。具体而言，在包括研磨面的基板111的表面115上、致动器113的斜面1134和构成致动器113的多个压力室1131及多个空气室1132的凹槽的内表面、以及供给口1111的内壁上形成Ni溅射膜191。

接下来，作为Act2，在基板111的表面侧，使用化学镀方法，在Ni溅射膜191上形成化学镀Ni膜192(表面镀Ni)。例如，将Ni溅射膜191作为催化剂，形成化学镀Ni膜192。通过Act2，在包含研磨面的基板111的表面115上、致动器113的斜面1134和构成致动器113的多个压力室1131及多个空气室1132的凹槽的内表面、以及供给口1111的内壁处，在Ni溅射膜191上形成化学镀Ni膜192。

接着，作为Act3，通过例如PEP(Photoengraving process)处理等，对Act1及Act2中形成的Ni溅射膜191及化学镀Ni膜192的电极膜进行图案化(PEP)。

另外，作为Act4，在基板111的背面侧，遮掩包含接液区域RA的非形成区域，进行溅射，形成Ni溅射膜191(背面Ni溅射)。由此，在规定的待形成部位形成Ni溅射膜191，待形成部位包含与接液区域RA不同的区域即中央区域RB和端部区域RC。

接着，作为Act5，使用电镀法，在Act3及Act4中图案化后的表面及背面的电极膜上形成电镀Au膜193。通过采用这样的方法，能够在基板背面侧上避开冷却水区域形成电极。需要说明的是，压力室1131及空气室1132的内部可以形成或不形成电镀Au膜193。

以下，参考附图13，对具有液体喷吐头1的液体喷吐装置2进行说明。液体喷吐装置2具备壳体2111、介质供给部2112、图像形成部2113、介质排出部2114、作为支撑装置的输送装置2115、维护装置2117、以及控制部2118。另外，液体喷吐装置2具备对向液体喷吐头1供给的油墨的温度进行调节的冷却装置。

液体喷吐装置2是通过一边沿着规定的输送路径2001输送作为喷吐对象物的记录介质例如用纸P一边喷吐油墨等液体来对用纸P进行图像形成处理的喷墨打印机，其中，所述输送路径2001是从介质供给部2112经过图像形成部2113达到介质排出部2114。

介质供给部2112具备多个进纸盒21121。图像形成部2113具备支撑用纸的支撑部2120、和对置地配置在支撑部2120的上方的多个头单元2130。介质排出部2114具备排纸盘21141。

支撑部2120具备环形设于进行图像形成的规定区域内的输送带21201、从背侧支撑输送带21201的支撑板21202、以及输送带21201的背侧所具备的多个带辊21203。

头单元2130具备多个作为喷墨头的液体喷吐头1、分别搭载在各液体喷吐头1上的作为液体槽的多个供给槽2132、供给油墨的泵2134以及连接液体喷吐头1和供给槽2132的连接流道2135。

在本实施方式中，作为液体喷吐头1，具备青色、品红色、黄色和黑色这四种颜色的液体喷吐头1、以及分别收容以上各种颜色的油墨的四种颜色的供给槽2132。供给槽2132通过连接流道2135连接于液体喷吐头1。

泵2134是例如由压电泵构成的送液泵。泵2134连接于控制部2118，由控制部2118控制驱动。

连接流道2135具备连接于液体喷吐头1的油墨供给管123的供给流道。另外，连接流道2135具备连接于液体喷吐头1的油墨排出管124的回收流道。例如，在液体喷吐头1为非循环式的情况下，回收环路连接于维护装置2117，在液体喷吐头1为循环式的情况下，回收流道连接于供给槽2132。

输送装置2115沿输送路径2001输送用纸P，所述输送路径2001是从介质供给部2112的进纸盒21121通过图像形成部2113到达介质排出部2114的排纸盘21141。输送装置2115具备沿输送路径2001配置的多个引导板对21211～21218和多个输送辊21221～21228。输送装置2115将用纸P可移动地支撑于液体喷吐头1。

冷却装置2116具有冷却水槽21161、供给冷却水的配管及管路等冷却环路21162、供给冷却水的泵、以及调节冷却水的温度的冷却器等。冷却装置2116将由冷却器调节为规定的温度的冷却水槽21161的冷却水经由冷却环路21162泵送供给至第二冷却水供给管133。另外，冷却装置2116经由冷却环路21162将通过第一冷却流道1213及第二冷却流道1312并从第二冷却水排出管134排出的水回收至冷却水槽21161。需要说明的是，冷却器为例如冷藏器(cooler)。

维护装置2117在例如维护时吸收并回收喷头板114的外表面残存的油墨。另外，在液体喷吐头1为非循环式的情况下，维护装置2117在维护时回收头主体11内的油墨。这样的维护装置2117具有贮存所回收的油墨的托盘及槽等。

控制部2118具备作为处理器的一例的CPU21181、存储各种程序等的ROM(ReadOnly Memory)、暂时存储各种可变数据及图像数据等的RAM(Random Access Memory)等存储器、以及从外部输入数据和向外部输出数据的接口部。

根据如上构成的液体喷吐头1及液体喷吐装置2，其在基板111的背面，形成于和供作为用于温度调节的流体的冷却水流经的第一冷却流道1213不同的位置，从而不会与用于温度调节的流体接液，能够在保持冷却性能的同时，确保共有电极119的面积。因此，能够防止因在与用于温度调节的流体接液的状态下通电而导致电极电解腐食，同时还能够降低共有电极的电阻。因此，能够防止驱动器IC因锁定等产生损伤。另外，在喷吐液体之后，能够防止列内的端部和中央部的驱动波形产生差异，能把保证点直径及直线性等印字质量良好。另外，在上述实施方式中，能够减小压力室1131内的电极的膜厚，以确保电极膜的密合力。另一方面，即使空气室1132内的电极的膜厚较大且电极膜的密合力较低，也能够通过形成树脂壁材料的防液壁1135来防止电极的剥落。

需要说明的是，本发明的实施方式并不限定于上述构成。以下，将示出多个实施方式的示例。另外，在以下说明中叙述的实施方式中，与上述的第一实施方式相同的构成具有相同的符号，省略其的详细说明。

虽然在例如上述的示例中，示出了在一对致动器113的之间配置作为长孔的供给口1111，在一对致动器113的长度方向上的两端分别配置排出口1112的示例，但并不限定于此，可以适当设置供给口1111及排出口1112的形状、数量和配置。

例如，除供给口1111之外，排出口1112内的内壁上也可以形成有构成共有电极119的电极膜。或者，基板111的端面上也可以形成有构成共有电极119的电极膜。并且，在基板111上，可以形成有过孔，该过孔的内表面上形成有构成共有电极119的一部分的电极膜。例如通过这些形成于排出口1112、端面或者过孔的电极膜，能够确保共有电极119的面积，能够进一步降低电阻值。

虽然在例如上述的示例中，示出了压力室1131中形成单独电极118，空气室1132中形成共有电极119的示例，但并不限定于此。也可以是例如压力室1131中形成共有电极119，空气室1132中形成单独电极118的构成。

虽然在例如上述的示例中，叙述了液体喷吐头1设有一对头主体11的构成，但并不限定于此，也可以采用具有一个头主体11的构成。另外，虽然叙述了头主体11设有一对致动器113的构成，但并不限定于此。例如，也可以采用头主体11具有一个致动器113的构成。

另外，虽然在上述的示例中，叙述了液体喷吐头1为非循环式的示例，但其也可以为循环式。

另外，虽然在上述实施方式中，作为一例，示例了压力室1131的一侧为供给侧，另一侧为排出侧，油墨从压力室1131的一侧流入，并从另一侧流出的喷墨头，但并不限定于此。也可以为例如压力室1131的两侧的共有室为供给侧，油墨从两侧流入的构成。另外，供给侧和排出侧可以相反，或者也可以配置为可切换。

另外，虽然在上述实施方式中，示例了侧射型的喷墨头，但并不限定于此，也可以为端射型。

另外，例如，所喷吐的液体并不限定于用于印字的油墨，也可以为喷吐例如用于形成印制线路板的布线图案的包含导电性粒子的液体的装置等。

另外，虽然在上述实施方式中，示出了喷墨头用于喷墨打印机等液体喷吐装置的示例，但并不限定于此，也可以用于例如3D打印机、工业制造机械、医疗用途，可以实现小型轻量化及降低成本。

根据以上说明的至少一个实施方式，由于在基板的端面上形成有共有电极，因此，能够确保较高的印字质量。

虽然说明了几个实施方式，但这些实施方式只是作为示例而提出的，并非旨在限定发明的范围。这些实施方式能够以其他各种方式进行实施，能够在不脱离发明的宗旨的范围内进行各种省略、替换、变更。这些实施方式及其变形被包括在发明的范围和宗旨中，同样地被包括在权利要求书所记载的发明及其均等的范围内。

Claims (3)

1.一种液体喷吐头，其特征在于，具备：

基板，形成供液体通过的开口；

致动器，设于所述基板的一侧的主面，同时具有多个压力室；

岐管，配置于所述基板的另一侧，具有供用于温度调节的流体流过的第一流道；

电极部，形成于所述致动器的表面、所述基板的一侧的主面、所述开口的内壁、及与所述第一流道不同的区域内的所述基板的另一侧的主面，

所述致动器沿一个方向交替具有多个所述压力室和形成在多个压力室之间的多个空气室，

所述液体喷吐头具备喷头板，所述喷头板配置于所述致动器的一侧，同时具有与所述压力室连通的喷头，

所述岐管对置地配置于所述基板的另一侧，并与所述另一侧的主面之间形成所述第一流道，同时与所述开口连通，并形成供液体流过的第二流道，

所述电极部的至少一部上具有由Ni溅射膜、化学镀Ni膜以及电镀Au膜层叠而构成的共有电极。

2.根据权利要求1所述的液体喷吐头，其特征在于，进一步具备：

单独电极，形成于所述致动器的表面和所述基板的一侧的主面，同时膜厚小于所述共有电极，且电阻值高于所述共有电极。

3.根据权利要求2所述的液体喷吐头，其特征在于，

所述基板上设有一对所述致动器，

多个所述压力室及多个所述空气室沿一个方向交替排列，同时分别沿与排列方向交叉的伸出方向伸出，

在所述基板的一对所述致动器之间的区域内设置所述开口，

所述共有电极从一对所述致动器的所述压力室或所述空气室导出至一对所述致动器之间的区域，

所述单独电极从一对所述致动器的所述空气室或所述压力室引出至一对所述致动器的外侧的区域。