CN117621657B - 液体喷出头 - Google Patents

Abstract

本申请提供能够防止电极部腐蚀的液体喷出头。实施方式的液体喷出头具备基板、喷嘴板、致动器、电极部、歧管以及遮蔽部件。基板形成有第一液体流过的孔。喷嘴板形成有在一方向上配置的多个喷嘴。致动器设置于所述基板的一主面，并具有通过驱动而使所述第一液体从所述喷嘴喷出的多个压力室。电极部形成于所述基板的两主面，用于驱动所述致动器。歧管形成有流过所述第一液体的第一液体用孔和流过与所述第一液体不同的第二液体的第二液体用孔，所述第一液体用孔与所述孔对置，所述第二液体用孔与所述基板的所述电极部对置。遮蔽部件设置于所述基板与所述歧管之间，并覆盖所述第二液体用孔。

Description

液体喷出头

技术领域

本发明的实施方式涉及液体喷出头。

背景技术

喷出油墨等液体的液体喷出头由于驱动频率上升，PZT的发热量增大。为了高效地进行PZT的温度调节，在PZT附近设置调温液流路是有效的。

另外，液体喷出头在基板的共用电极的电阻值变大时，产生驱动器IC的闩锁效应，导致故障。由于为了减小共用电极的电阻值而扩大共用电极的面积是有效的，因此考虑在基板的两面设置电极。

然而，有可能由于调温液流过设置于基板的背面的共用电极之上而腐蚀共用电极。需要指出，除了调温液以外，在使用与共用电极接触时会腐蚀共用电极的液体的情况下将产生同样的问题。另外，即便是共用电极以外的电极部设置于基板的背面的液体喷出头，也同样地在液体与电极部接触时有可能导致腐蚀。

发明内容

本发明要解决的技术问题在于提供能够防止电极部的腐蚀的液体喷出头。

实施方式的液体喷出头具备基板、喷嘴板、致动器、电极部、歧管以及遮蔽部件。基板形成有第一液体流过的孔。喷嘴板形成有在一方向上配置的多个喷嘴。致动器设置于所述基板的一主面，并具有通过驱动而使所述第一液体从所述喷嘴喷出的多个压力室。电极部形成于所述基板的两主面，用于驱动所述致动器。歧管形成有流过所述第一液体的第一液体用孔和流过与所述第一液体不同的第二液体的第二液体用孔，所述第一液体用孔与所述孔对置，所述第二液体用孔与所述基板的所述电极部对置。遮蔽部件设置于所述基板与所述歧管之间，并覆盖所述第二液体用孔。

附图说明

图1是示出实施方式涉及的液体喷出头的构成的立体图。

图2是示出实施方式涉及的液体喷出头的构成的仰视图。

图3是示出实施方式涉及的液体喷出头的构成的分解立体图。

图4是示出实施方式涉及的头主体的构成的剖视图。

图5是示出实施方式涉及的头主体的构成的仰视图。

图6是示出实施方式涉及的头主体的局部构成的剖视图。

图7是示出实施方式涉及的头主体的局部构成的立体图。

图8是示出实施方式涉及的头主体的局部构成的立体图。

图9是示出实施方式涉及的头主体的局部构成的仰视图。

图10是示出实施方式涉及的头主体的局部构成的俯视图。

图11是示出实施方式涉及的头主体的局部构成的剖视图。

图12是示出实施方式涉及的头主体的局部构成的剖视图。

图13是示出实施方式涉及的歧管的构成的仰视图。

图14是示出实施方式涉及的遮蔽部件的局部构成的俯视图。

图15是示出实施方式涉及的液体喷出装置的构成的说明图。

附图标记说明

1…液体喷出头、2…液体喷出装置、11…头主体、12…歧管单元、13…调温流路单元、14…电路基板、15…罩盖、111…基板、112…框体、113…致动器、114…喷嘴板、115…表面、116…共用液室、117…背面、118…单独电极、119…共用电极、121…歧管、122…顶板、123…油墨供给管、124…油墨排出管、125…第一调温液供给管、126…第一调温液排出管、127…遮蔽部件、133…第二调温液供给管、134…第二调温液排出管、142…驱动器IC、143…印刷布线基板、151…外廓体、191…Ni溅射膜、192…非电解Ni镀敷膜、193…电解Au镀敷膜、1111…供给口、1112…排出口、1116…连接部、1131…压力室、1132…空气室、1133…压电体、1134…倾斜面、1135…防液壁、1141…喷嘴、1142…喷嘴列、1161…第一共用液室、1162…第二共用液室、1181…第一电极部、1182…第二电极部、1183…第三电极部、1191…第一电极部、1192…第二电极部、1193…第三电极部、1194…第四电极部、1195…第五电极部、1211…供给流路、1212…排出流路、1213…第一调温流路、1271…第一贯通孔、1272…第二贯通孔、1312…第二调温流路、1314…开口、2001…输送通道、2111…壳体、2112…介质供给部、2113…图像形成部、2114…介质排出部、2115…输送装置、2116…调温装置、2117…维护装置、2118…控制部、2120…支承部、2130…头单元、2132…供给罐、2134…泵、2135…连接流路、12131…开口、21121…供纸盒、21141…排纸托盘、21161…调温液罐、21162…调温用回路、21181…CPU、21201…输送带、21202…支承板、21203…带辊、21211～21218…引导板对、21221～21228…输送用辊。

具体实施方式

以下，参照图1至图15对实施方式涉及的液体喷出头1以及使用了液体喷出头1的液体喷出装置2进行说明。图1是示出实施方式涉及的液体喷出头1的构成的立体图，图2是示出液体喷出头1的构成的仰视图。图3是液体喷出头1的分解立体图，图4是示出头主体11的构成的剖视图。图5是液体喷出头的仰视图，图6是示出头主体的局部的剖视图。图9是省略喷嘴板114而示出液体喷出头1的构成的仰视图。图10是示出基板111的背侧的构成的俯视图。图11以及图12是示出头主体11的局部构成的剖视图。图13是示出歧管121的构成的仰视图，图14是示出遮蔽部件127的构成的俯视图。图15是示出液体喷出装置2的构成的说明图。在各图中，X、Y、Z分别表示相互正交的三个方向。需要指出，在各图中为了便于说明而适当将构成放大、缩小或省略来示出。

液体喷出头1例如是设置于图15所示的喷墨记录装置等液体喷出装置2中的共享模式的喷墨头。液体喷出头1例如是交替地具备压力室1131与空气室1132的独立驱动结构。液体喷出头1设置于头单元2130，该头单元2130设置于液体喷出装置2，并包括作为液体容纳部的供给罐2132。

液体喷出头1被供给贮存于供给罐2132中的作为液体(第一液体)的油墨。需要指出，液体喷出头1可以是不使油墨循环的非循环式的头，另外也可以是使油墨循环的循环式的头。在本实施方式中，使用非循环式的头的例子来说明液体喷出头1。另外，液体喷出头1与设置于液体喷出装置2的调温装置2116连接，并被供给进行发热部以及油墨的温度控制的调温液(第二液体)。液体喷出头1与调温装置2116一同构成水冷循环结构。

如图1至图5所示，液体喷出头1具备头主体11、歧管单元12、调温流路单元13、电路基板14以及罩盖15。例如，液体喷出头1是具有两组具备一对致动器113的头主体11的侧喷型的四列一体结构头。

头主体11喷出液体。头主体11具备基板111、框体112、具有多个压力室1131和多个空气室1132的致动器113以及喷嘴板114。

头主体11具有与致动器113的多个压力室1131连通的共用液室116。多个压力室1131的一次侧是指液体的流动方向上的多个压力室1131的上游侧。多个压力室1131的二次侧是指液体的流动方向上的多个压力室1131的下游侧。

另外，头主体11具有由形成于基板111以及致动器113的电极膜构成的电极部。具体而言，头主体11具有：多个单独电极118，分别驱动致动器113的多个压力室1131；以及单个或多个共用电极119，同时驱动多个压力室1131，来作为电极部。

在本实施方式的例子中，使用头主体11具有两个致动器113、共用液室116具有一个第一共用液室1161和两个第二共用液室1162的例子来进行说明。共用液室116例如具有：第一共用液室1161，与致动器113的多个压力室1131的一次侧的开口(压力室1131的入口)连通；以及第二共用液室1162，与致动器113的多个压力室1131的二次侧的开口(压力室1131的出口)连通。

基板111例如通过氧化铝等陶瓷材料形成为矩形板状。基板111具有构成研磨面的作为一主面的表面115以及作为另一主面的背面117。基板111例如形成为在一方向(X方向)上长的矩形状。在作为基板111的一方侧的主面的构成研磨面的表面115上形成有作为多个单独电极118的一部分的第三电极部1183以及作为单个共用电极119的一部分的第三电极部1193。在基板111的表面115上，在基板111的短边方向(Y方向)上排列设置有一对致动器113。基板111具有作为第一液体的油墨流过的孔即单个供给口1111以及作为第一液体的油墨流过的孔即多个排出口1112。供给口1111以及排出口1112是贯通基板111的两主面间的贯通孔。

供给口1111是将油墨供给到第一共用液室1161的入口。供给口1111是形成于基板111的短边方向的中央的贯通孔。供给口1111沿着基板111的长边方向延伸。换言之，供给口1111例如是沿着致动器113的长边方向以及第一共用液室1161的长边方向在一方向上长的长孔。供给口1111设置于一对致动器113之间，并在与第一共用液室1161对置的位置上开口。

在供给口1111的内壁面形成有作为共用电极119的一部分的第四电极部1194。

排出口1112是从第一共用液室1161、压力室1131以及第二共用液室1162排出油墨的出口。排出口1112设置有多个例如四个。各排出口1112例如位于第一共用液室1161与各第二共用液室1162之间、且与一对致动器113的长边方向的两端部各自相邻。需要指出，多个排出口1112也可以设置于第二共用液室1162。

在基板111上设置有致动器113以及框体112。基板111中的框体112的内侧为配置油墨的液体接触区域，框体112的外侧为可连接各种电子部件的安装区域。

框体112通过粘接剂等而固定于基板111的一主面。框体112包围设置于基板111的供给口1111、多个排出口1112以及致动器113。

例如，框体112通过形成为矩形框状，从而形成沿着框体112的长边方向在一方向上长的开口。框体112也可以具有表面的一部分凹陷的阶差结构。在框体112的开口中配置一对致动器113、供给口1111以及四个排出口1112。框体112在喷嘴板114与基板111之间包围致动器113的周围，并构成为能够在内部保持液体。

一对致动器113粘接于基板111的表面115。一对致动器113隔着供给口1111排列为两列地设置于基板111。致动器113形成为在一方向上长的板状。致动器113配置于框体112的开口内，粘接于基板111的表面115。

致动器113在长边方向的中央侧具有：多个压力室1131，在长边方向上等间隔地配置；以及空气室1132，在长边方向上等间隔地配置，并配置于相邻的压力室1131之间。换言之，在致动器113中，多个压力室1131以及空气室1132沿着长边方向交替地配置。多个压力室1131以及多个空气室1132在与排列方向交叉的方向、例如在致动器113的短边方向上延伸。

致动器113的与基板111相反一侧的面即顶面部粘接于喷嘴板114。致动器113形成有在长边方向上等间隔地排列配置并沿着与长边方向正交的方向的多个槽。多个槽形成多个压力室1131以及多个空气室1132。换言之，致动器113具有在长边方向上等间隔地排列配置的作为驱动元件的多个压电体1133，多个压电体1133构成在彼此之间形成槽的壁。多个压电体1133在相邻的压电体1133之间形成多个压力室1131以及多个空气室1132，通过被施加驱动电压而使压力室1131的容积发生变化。

致动器113例如短边方向的宽度从顶部侧朝向基板111侧逐渐增大。致动器113的沿着与长边方向正交的方向(短边方向)的截面的截面形状形成为梯形状。即、致动器113在短边方向的侧面部具有倾斜的倾斜面1134。侧面部(倾斜面1134)与第一共用液室1161以及第二共用液室1162对置配置。在倾斜面1134上形成有作为多个单独电极118的一部分的第二电极部1182以及作为单个或多个共用电极119的一部分的第二电极部1192。

作为具体例，致动器113通过以彼此的极化方向相反的方式将在一方向上长的矩形板状的两片压电材料对置粘接而得到的层叠压电部件而形成。这里，压电材料例如是PZT(锆钛酸铅)。致动器113例如通过具有热固化性的环氧系粘接剂粘接于基板111的表面115。然后，致动器113例如通过切削加工等构成倾斜面1134。另外，一并地，基板111以及致动器113例如通过研磨加工来研磨多个单独电极118以及单个或多个共用电极119被进行图案形成的表面115，形成研磨面。另外，致动器113例如通过切削加工形成多个槽，并形成作为隔开相邻的槽之间的侧壁的压电体(驱动元件)1133，其中，多个槽形成多个压力室1131以及多个空气室1132。

另外，在致动器113上形成作为多个单独电极118的一部分的后述的第一电极部1181与第二电极部1182、以及作为单个或多个共用电极119的一部分的后述的第一电极部1191与第二电极部1192。

当液体喷出头1进行印字等动作时，压力室1131通过变形而从喷嘴1141喷射油墨。压力室1131的入口向第一共用液室1161开口，压力室1131的出口向第二共用液室1162开口。从入口向压力室1131流入油墨，油墨从出口流出。需要指出，压力室1131也可以是油墨从作为入口以及出口说明的两开口流入的构成。在构成压力室1131的槽内分别形成有作为多个单独电极118的一部分的第一电极部1181。

如图11以及图12所示，空气室1132通过用由感光性树脂等形成的防液壁(树脂壁)1135堵塞入口侧以及出口侧而与第一共用液室1161以及第二共用液室1162隔开。在空气室1132内形成有作为单个或多个共用电极119的一部分的第一电极部1191。作为具体例，空气室1132的防液壁1135是通过在形成空气室1132的槽内向第一电极部1191上注入紫外线固化树脂之后，使用曝光掩模等对曝光的区域、例如作为槽的入口侧以及出口侧的两端部照射紫外线而形成的。这样的防液壁1135防止油墨进入空气室1132。另外，空气室1132被喷嘴板114堵塞，未配置喷嘴1141。因此，油墨不流入空气室1132。

喷嘴板114形成为板状。喷嘴板114通过粘接剂等而固定于框体112的与基板111相反一侧的主面。喷嘴板114具有形成于与多个压力室1131对置的位置的多个喷嘴1141。在本实施方式中，喷嘴板114具有两列多个喷嘴1141在一方向上排列的喷嘴列1142。

第一共用液室1161形成于一对致动器113的除两端部以外的中央侧之间，构成从供给口1111到各致动器113的多个压力室1131的一次侧的开口(入口)的油墨的流路。第一共用液室1161沿着致动器113的长边方向延伸。第一共用液室1161构成作为第二流路的油墨的流路的一部分。

第二共用液室1162分别形成于各致动器113与框体112之间。第二共用液室1162形成从多个压力室1131的二次侧的开口(出口)到排出口1112的油墨的流路。第二共用液室1162沿着致动器113的长边方向延伸。第二共用液室1162构成作为第二流路的油墨的流路的一部分。

多个单独电极118单独地向作为压电体的多个压电体1133施加驱动电压。多个单独电极118使各压力室1131单独地变形。单独电极118由形成于基板111的布线图案以及形成于致动器113的布线图案而形成。多个单独电极118从多个压力室1131分别沿着致动器113的短边方向延伸，并被引出到一对致动器113的外侧的区域。

作为具体例，如图9以及图11所示，多个单独电极118在各压力室1131的内表面、致动器113的倾斜面1134以及基板111上成膜。形成于压力室1131的内表面的单独电极118的一部分形成于形成压力室1131的压电体1133的侧面、以及形成压力室1131的槽的底面。另外，单独电极118例如形成于倾斜面1134以及基板111的表面115的一部分。单独电极118从压力室1131内向基板111的短边方向的端部延伸，单独电极118的端部配置于基板111的与电路基板14连接的连接部1116。即、单独电极118分别具有：第一电极部1181，形成于构成致动器113的压力室1131的槽内；第二电极部1182，形成于致动器113的倾斜面1134；以及第三电极部1183，形成于基板111的表面115。单独电极118设置为与形成压力室1131的槽的底面以及形成压力室1131的压电体1133的侧面贴紧。单独电极118例如通过层叠Ni溅射膜191、非电解Ni镀敷膜192以及电解Au镀敷膜193而形成。单独电极118的厚度例如为0.5μm～5μm。

具体而言，第一电极部1181、第二电极部1182以及第三电极部1183由Ni溅射膜191、非电解Ni镀敷膜192以及电解Au镀敷膜193的三层层叠结构构成。需要指出，单独电极118也可以局部地未形成有电解Au镀敷膜193。例如，形成致动器113的压力室1131的槽的内部的第一电极部1181也可以为Ni溅射膜191与非电解Ni镀敷膜192的两层结构。

共用电极119是跨基板111的两主面而形成的电极部。共用电极119向多个压电体1133中的全部施加相同的驱动电压。共用电极119使多个压力室1131同时变形。共用电极119通过形成于基板111的布线图案以及形成于致动器113的布线图案而形成。共用电极119是从基板111的供给口1111的内周面设置到形成多个空气室1132的压电体1133的布线图案。共用电极119与电路基板14连接。共用电极119从空气室1132被引出到一对致动器113之间的中央部的区域。即、多个空气室1132的电极在基板中央侧一体连接而形成共用电极119。

作为具体例，共用电极119在各空气室1132的内表面、致动器113的倾斜面1134以及基板111上的表面115的避开单独电极118的区域、基板111的背面以及供给口1111的内表面成膜。形成于各空气室1132的内表面的共用电极119的一部分形成于形成各空气室1132的压电体1133的侧面、以及形成各空气室1132的槽的底面。

作为具体例，共用电极119从各空气室1132内朝向基板111的中央部而设置于倾斜面1134上，并形成于一对致动器113之间的基板111的表面115上以及供给口1111的内周面。另外，共用电极119也形成于基板111的与表面115相反一侧的主面即背面117。例如，共用电极119向基板111的短边方向的端部延伸，共用电极119的端部配置于基板111的与电路基板14连接的连接部1116。

换言之，共用电极119从形成于基板111的短边方向的端部的连接部1116设置到位于一对致动器113之间的基板111的短边方向中央侧。然后，设置于基板111的短边方向的中央侧的共用电极119的一部分在基板111的短边方向中央侧，于供给口1111的内周面在基板111的厚度方向上延伸。另外，共用电极119的一部分从基板111的短边方向中央侧设置到形成各空气室1132的压电部件的表面。进而，共用电极119的一部分设置于基板111的背面117。

即、共用电极119具有：多个第一电极部1191，形成于构成致动器113的多个空气室1132的各槽内；单个或多个第二电极部1192，形成于致动器113的倾斜面1134；第三电极部1193，形成于基板111的表面115；第四电极部1194，形成于供给口1111以及/或者排出口1112的内周面；以及第五电极部1195，形成于基板111的背面117。共用电极119的多个第一电极部1191、单个或多个第二电极部1192、第三电极部1193、第四电极部1194以及第五电极部1195连续地形成。需要指出，共用电极119也可以是第一电极部1191在基板111的表面115向长边方向的端部延伸，除了第四电极部1194之外，或者，代替第四电极部1194，在基板111的长边方向的端面形成电极部，并通过该端面的电极部而与背面117的第五电极部1195连续。共用电极119的各电极部1191～1195避开单独电极118而形成。另外，共用电极119的各电极部1191～1195也可以在基板111、致动器113的表面局部地形成。

例如，第五电极部1195在基板111的背面至少形成于与歧管121的后述的调温用液体(第二液体)即调温液流过的第一调温流路1213的开口(第二液体用孔)对置的位置。第五电极部1195例如形成于基板111的背面的整面。需要指出，第五电极部1195如果经由第四电极部1194等与第三电极部1193连续，并且形成于与基板111的背面的至少第一调温流路1213的开口对置的位置，则也可以形成于基板111的背面的一部分。需要指出，从确保共用电极119的面积的角度出发，共用电极119的第五电极部1195优选形成于基板111的背面的整面、或者基板111的背面的大范围内。

在共用电极119中，基板111的表面115的第三电极部1193与背面117的第五电极部1195通过供给口1111内的第四电极部1194连接。需要指出，共用电极119也可以在基板111的表面115向长边方向的端部延伸，并通过基板111的长边方向的端面而连续到背面。

共用电极119设置为与空气室1132的底部以及形成压电体1133的压电部件的表面贴紧。共用电极119例如是层叠Ni溅射膜191、非电解Ni镀敷膜192以及电解Au镀敷膜193而形成的多层结构。例如，关于构成共用电极119的电极膜，表侧是Ni溅射膜191、非电解Ni镀敷膜192以及电解Au镀敷膜193的三层层叠结构，背侧是Ni溅射膜191以及电解Au镀敷膜193的两层层叠结构。

具体而言，第一电极部1191、第二电极部1192以及第三电极部1193是具有Ni溅射膜191、非电解Ni镀敷膜192以及电解Au镀敷膜193的三层层叠结构。需要指出，共用电极119例如也可以是槽的内部的第一电极部1191是Ni溅射膜191以及非电解Ni镀敷膜192的两层结构。

另一方面，第四电极部1194以及第五电极部1195是具有Ni溅射膜191以及电解Au镀敷膜193的两层层叠结构。需要指出，第四电极部1194以及第五电极部1195也可以与第一电极部1191、第二电极部1192以及第三电极部1193同样地是具有Ni溅射膜191、非电解Ni镀敷膜192以及电解Au镀敷膜193的三层层叠结构。

共用电极119的厚度例如为0.5μm～5μm。需要指出，共用电极119的厚度例如构成为比单独电极118的厚度厚。另外，共用电极119构成为电阻比单独电极118低。换言之，单独电极118的厚度例如构成为比共用电极119的厚度薄。另外，单独电极118的电阻值比共用电极119的电阻值高。

如图1、图3、图4以及图8所示，歧管单元12具备歧管121、顶板122、油墨供给管123、油墨排出管124、第一调温液供给管125、第一调温液排出管126以及遮蔽部件127。需要指出，油墨供给管123、油墨排出管124、第一调温液供给管125以及第一调温液排出管126的数量能够适当设定。

歧管121形成为板状或块状。歧管121具备：供给流路1211，与基板111的供给口1111连续，形成作为第二流路的一部分的液体供给流路；排出流路1212，与基板111的排出口1112连续，形成作为第二流路的一部分的液体排出流路；以及第一调温流路1213，形成调温用的流体的流路。需要指出，歧管121由于与一对头主体11连接，因此具有一对供给流路1211以及一对排出流路1212。

歧管121例如通过将多个歧管部件组装为一体而形成，并形成供给流路1211、排出流路1212以及第一调温流路1213。

歧管121的一主面经由遮蔽部件127固定于基板111的另一侧的主面即背面117侧。另外，顶板122固定于歧管121的与固定于基板111的主面相反的主面。另外，例如油墨供给管123、油墨排出管124、第一调温液供给管125以及第一调温液排出管126经由顶板122固定于歧管121。

供给流路1211是通过孔、槽而形成于歧管121的油墨的流路。供给流路1211包括在歧管121的与基板111对置的主面开口的孔(第一液体用孔)。例如，供给流路1211是沿着致动器113的长边方向以及供给口1111的长边方向延伸的方体状的液室。供给流路1211与油墨供给管123以及基板111的供给口1111流体连接。

排出流路1212是通过孔、槽而形成于歧管121的油墨的流路。排出流路1212包括在歧管121的与基板111对置的主面开口的孔(第一液体用孔)。排出流路1212与油墨排出管124以及基板111的排出口1112流体连接。

第一调温流路1213是通过孔、槽而形成于歧管121的调温液的流路。第一调温流路1213具有形成于歧管121的与基板111的背面对置的主面的槽，通过遮蔽部件127覆盖该槽的开口而形成规定的流路。作为一例，第一调温流路1213针对各致动器113各形成一个开口(第二液体用孔)12131。例如，第一调温流路1213的两个开口12131配置于致动器113的压力室1131的排出侧的侧部，并沿着致动器113的长边方向延伸。例如，第一调温流路1213的两个开口12131分别形成于与基板111上比形成有供给口1111的中央侧在基板111的短边方向(Y方向)上更靠基板111的侧面侧的背面117对置的位置。第一调温流路1213将调温液供给管125与调温液排出管126流体连接。

第一调温流路1213的两端是与设置于歧管121的一主面的调温液供给管125以及调温液排出管126连接的开口。另外，第一调温流路1213形成为能够通过在第一调温流路1213中流动的调温液而隔着遮蔽部件127与固定于歧管121的基板111热交换。

顶板122设置于歧管121的与设置基板111的面相反的面。另外，顶板122连接各管123、124、125，具有使各管123、124、125以及各流路1211、1213连通的开口。

油墨供给管123与供给流路1211连接。油墨排出管124与排出流路连接。调温液供给管125以及调温液排出管126与第一调温流路1213的一次侧以及二次侧连接。

在本实施方式中，在歧管121的长边方向上的一端侧配置有一对油墨供给管123及第一调温液排出管126，在歧管121的长边方向上的另一端侧配置有一对油墨排出管124及第一调温液供给管125。需要指出，油墨供给管123、油墨排出管124、第一调温液供给管125以及第一调温液排出管126的配置、数量并不限定于此。

遮蔽部件127至少覆盖形成于歧管121的与基板111对置的面的第一调温流路1213的两个开口12131。遮蔽部件127通过覆盖第一调温流路1213的两个开口12131，防止在第一调温流路1213中流动的调温液与基板111的共用电极119产生液体接触。遮蔽部件127由对调温液具有耐腐蚀性的材料形成。遮蔽部件127形成为薄膜状或片材状。

遮蔽部件127设置有一个，或者设置有与第一调温流路1213的形成于歧管121的主面的开口12131的数量相同的数量。在设置一个遮蔽部件127的情况下，遮蔽部件127设置于歧管121的主面的包括第一调温流路1213的两个开口12131的局部区域或者歧管121的主面的整个区域。需要指出，在设置与开口12131相同数量的遮蔽部件127的情况下，各遮蔽部件127构成为分别覆盖形成于歧管121的主面的各开口12131即可。

在图8所示的具体例中，遮蔽部件127例如设置有一个，在与形成于歧管121的基板111侧的第一调温流路1213的两个开口12131对置的区域未形成贯通孔而覆盖第一调温流路1213的两个开口12131。另外，遮蔽部件127例如形成为和歧管121的与基板111对置的主面的外缘形状或者基板111的背面117的外缘形状相同的形状，覆盖歧管121的与基板111的共用电极119的第五电极部1195对置的主面的区域。

另外，在遮蔽部件127上例如形成有第一贯通孔1271以及第二贯通孔1272。第一贯通孔1271使基板111的流过油墨的供给口1111与形成于歧管121的流过油墨的供给流路1211连通。第一贯通孔1271形成于遮蔽部件127的与供给口1111以及供给流路1211对置的区域。第一贯通孔1271例如是形成为与供给口1111的开口以及/或者供给流路1211的开口相同形状的长孔。

第二贯通孔1272使基板111的流过油墨的排出口1112与形成于歧管121的流过油墨的排出流路1212连通。第二贯通孔1272形成于遮蔽部件127的与排出口1112以及排出流路1212对置的区域。第二贯通孔1272例如是在遮蔽部件127的长边方向(X方向)的一端侧形成有一个、并与形成于基板111的四个排出口1112中形成于基板111的长边方向(X方向)的一端侧的两个排出口1112对置的在基板111(遮蔽部件127)的短边方向(Y方向)上延伸的长孔。这里，未与第二贯通孔1272对置的两个排出口1112例如被遮蔽部件127覆盖而封闭。

需要指出，第二贯通孔1272也可以构成为分别形成于遮蔽部件127的长边方向的两端侧。另外，第二贯通孔1272也可以不是长孔，而是构成为，形成为与排出口1112相同的形状，并以能够与各排出口1112对置的方式形成有多个。

遮蔽部件127例如通过粘接剂而贴附于基板111以及歧管121。遮蔽部件127例如由线膨胀系数与基板111以及歧管121相近的材料形成。作为具体例，遮蔽部件127的线膨胀系数与基板111的线膨胀系数之差、以及遮蔽部件127与歧管121的线膨胀系数之差为25×10^-6(/K)以下。

遮蔽部件127由热导率高的材料、例如热导率为0.15W/(m·K)以上的材料形成。另外，遮蔽部件127例如由非导电性材料形成。

作为具体例，遮蔽部件127例如由聚酰亚胺制薄膜形成。从热传导的角度出发，形成遮蔽部件127的聚酰亚胺制薄膜例如优选热导率为0.15W/(m·K)以上且厚度为0.1mm以下。

需要指出，遮蔽部件127例如也可以不由聚酰亚胺制薄膜而由其他材料形成。例如，在基板111以及歧管121为陶瓷制的情况下，也可以使其为陶瓷制，构成为线膨胀系数与基板111以及歧管121接近。从热传导的角度出发，形成遮蔽部件127的陶瓷例如优选热导率为25W/(m·K)以上且厚度为0.5mm以下。

作为具体例，基板111以及歧管121为氧化铝、遮蔽部件127为聚酰亚胺制薄膜的情况下的、遮蔽部件127的线膨胀系数与基板111的线膨胀系数之差以及遮蔽部件127与歧管121的线膨胀系数之差为25×10^-6(/K)以下。另外，在基板111以及歧管121为氧化铝、遮蔽部件127为陶瓷制的情况下，遮蔽部件127的线膨胀系数与基板111的线膨胀系数之差以及遮蔽部件127与歧管121的线膨胀系数之差为5×10^-6(/K)以下。形成遮蔽部件127的陶瓷例如是氧化铝。

需要指出，这些遮蔽部件127的材料为一例，并不限定于此。然而，从粘接性的角度出发，基板111及歧管121与遮蔽部件127的线膨胀系数之差优选设定为上述范围内，另外，从调温的角度出发，遮蔽部件127的传热率以及厚度优选为能够有效地在调温液与基板111之间进行热传导的数值范围。

调温流路单元13具有多个第二调温流路1312、第二调温液供给管133以及第二调温液排出管134。在调温流路单元13中，在多个第二调温流路1312之间形成有多个开口1314。调温流路单元13与液体喷出装置2的调温装置2116连接。第二调温流路1312在一方向(X方向)上长，并在与第二调温流路1312的长边方向正交的方向(Y方向)上排列配置。

作为具体例，在本实施方式中，由于设置有一对头主体11，因此设置有四列喷嘴列1142、四个(四列)致动器113、四个(四列)驱动器IC142。为此，调温流路单元13具有三个第二调温流路1312，并在第二调温流路1312之间形成有两个开口1314。

多个第二调温流路1312与第二调温液供给管133以及第二调温液排出管134连接。

调温流路单元13通过在多个开口1314处配置电路基板14的后述的驱动器IC142的一部分以及印刷布线基板143，并将多个第二调温流路1312与作为发热体的驱动器IC142对置配置，从而例如将驱动器IC142冷却。

如图3以及图4所示，电路基板14具备一端与基板111的连接部1116连接的驱动器IC142以及印刷布线基板143。

电路基板14通过驱动器IC142将驱动电压施加于致动器113的布线图案来驱动致动器113，使压力室1131的容积增减而使液滴从喷嘴1141喷出。

驱动器IC142经由通过热压接而固定于基板111的连接部的ACF(各向异性导电膜)与多个单独电极118以及共用电极119连接。驱动器IC142是进行发热的发热部。需要指出，驱动器IC142也可以通过ACP(各向异性导电胶)、NCF(非导电性薄膜)以及NCP(非导电性胶)那样的其他方式与多个单独电极118以及共用电极119连接。被连接的驱动器IC142例如针对一个头主体11设置有多个。在本实施方式中，两个驱动器IC142与一个致动器113连结。驱动器IC142例如是驱动器IC芯片安装于薄膜的COF(Chip on Film：覆晶薄膜)。驱动器IC142的表面与第二调温流路1312的外表面接触。

印刷布线基板143是搭载有各种电子部件、连接器的PWA(Printing WiringAssembly：印刷线路组件)。

罩盖15例如具备：外廓体151，覆盖一对头主体11的侧面、歧管单元12以及电路基板14；以及罩板，覆盖一对头主体11的喷嘴板114侧的一部分。

外廓体151例如使歧管单元12中的油墨供给管123、油墨排出管124、调温液供给管125和调温液排出管以及电路基板14的端部露出于外部。

罩板覆盖一对头主体11中除了多个喷嘴1141以及喷嘴板114的多个喷嘴1141周围以外的部位。

这样构成的液体喷出头1在头主体11中具有：多个单独电极118，能够分别单独地向各压电体1133施加驱动电压；以及共用电极119，能够向所有的压电体1133施加驱动电压。

因此，液体喷出头1能够选择性地单独或者共同地驱动多个压力室1131。于是，当驱动压力室1131时，压力室1131进行共享模式变形，供给到压力室1131内的油墨被加压。因此，液体喷出头1能够选择性地从与压力室1131对置的喷嘴1141喷出经加压的油墨。

另外，除了基板111的致动器113的表面115、致动器113的倾斜面1134以及空气室1132的内表面以外，共用电极119还形成于在基板111上形成的供给口1111的内周面。

液体喷出头1通过歧管单元12以及调温流路单元13而具有对作为液体喷出部的头主体11进行温度调整的第一调温流路1213以及对作为发热部的驱动器IC142进行冷却的第二调温流路1312。从第二调温液供给管133供给的调温液通过第一调温流路1213以及第二调温流路1312而从第二调温液排出管134排出。于是，在第一调温流路1213中流动的调温液对头主体11进行温度调整，隔着遮蔽部件127对基板111进行冷却，在第二调温流路1312中流动的调温液对驱动器IC142进行冷却。

以下，参照图15对具有液体喷出头1的液体喷出装置2进行说明。液体喷出装置2具备壳体2111、介质供给部2112、图像形成部2113、介质排出部2114、作为支承装置的输送装置2115、维护装置2117以及控制部2118。另外，液体喷出装置2具备调整向液体喷出头1供给的油墨的温度的调温装置。

液体喷出装置2是一边沿着从介质供给部2112通过图像形成部2113到达介质排出部2114的规定的输送通道2001输送作为喷出对象物即记录介质的例如纸张P、一边喷出油墨等液体而对纸张P进行图像形成处理的喷墨打印机。

介质供给部2112具备多个供纸盒21121。图像形成部2113具备：支承部2120，支承纸张；以及多个头单元2130，对置地配置于支承部2120的上方。介质排出部2114具备排纸托盘21141。

支承部2120具备：输送带21201，在进行图像形成的规定区域配置为环状；支承板21202，从背侧支承输送带21201；以及多个带辊21203，配置于输送带21201的背侧。

头单元2130具备：液体喷出头1，为多个喷墨头；作为液体罐的多个供给罐2132，分别搭载于各液体喷出头1上；泵2134，供给油墨；以及连接流路2135，连接液体喷出头1与供给罐2132。

在本实施方式中，具备作为液体喷出头1的青色、品红色、黄色、黑色这四种颜色的液体喷出头1以及分别容纳这些各色的油墨的四种颜色的供给罐2132。供给罐2132通过连接流路2135与液体喷出头1连接。

泵2134例如是由压电泵构成的送液泵。泵2134与控制部2118连接，由控制部2118控制驱动。

连接流路2135具备与液体喷出头1的油墨供给管123连接的供给流路。另外，连接流路2135具备与液体喷出头1的油墨排出管124连接的回收流路。例如，在液体喷出头1为非循环式的情况下，回收流路与维护装置2117连接，在液体喷出头1为循环式的情况下，回收流路与供给罐2132连接。

输送装置2115沿着从介质供给部2112的供纸盒21121通过图像形成部2113到达介质排出部2114的排纸托盘21141的输送通道2001输送纸张P。输送装置2115具备沿着输送通道2001配置的多个引导板对21211～21218以及多个输送用辊21221～21228。输送装置2115将纸张P支承为能够相对于液体喷出头1移动。

调温装置2116具有调温液罐21161、供给调温液的配管、管道等调温用回路21162、供给调温液的泵、以及调整调温液的温度的冷却器、加热器等。调温装置2116将通过冷却器、加热器等调整为规定温度的调温液罐21161的调温液通过泵的输液而经由调温用回路21162供给到第二调温液供给管133。另外，调温装置2116将通过第一调温流路1213以及第二调温流路1312而从第二调温液排出管134排出的调温液经由调温用回路21162回收到调温液罐21161。

维护装置2117例如在维护时抽吸、回收残留于喷嘴板114的外表面的油墨。另外，在液体喷出头1为非循环式的情况下，维护装置2117在维护时回收头主体11内的油墨。这样的维护装置2117具有贮存回收到的油墨的托盘、罐等。

控制部2118具备作为处理器的一例的CPU21181、存储各种程序等的ROM(ReadOnly memory：只读存储器)、暂时地存储各种可变数据、图像数据等的RAM(Random AccessMemory：随机存取存储器)等存储器、以及进行来自外部的数据的输入以及向外部的数据的输出的接口部。

根据这样构成的液体喷出头1以及液体喷出装置2，形成于歧管121的与基板111的背面117对置的面的第一调温流路1213的开口12131被遮蔽部件127覆盖。另外，形成于与第一调温流路1213的开口12131对置的位置的共用电极119被遮蔽部件127覆盖。因此，由于共用电极119不与有可能腐蚀其的调温液进行液体接触，所以液体喷出头1能够边维持调温液的冷却性能，边确保共用电极119的面积。因而，液体喷出头1能够防止由于在与调温液进行液体接触的状态下通电而电解腐蚀共用电极119，并且将共用电极119的电阻抑制得低。因此，液体喷出头1能够防止驱动器IC142由于闩锁效应等而受损。另外，液体喷出头1能够抑制在喷出了油墨时列内的端部与中央部之间产生驱动波形的差异，能够良好地保持点径、直线性等印字质量。

另外，通过使遮蔽部件127与基板111的线膨胀系数之差以及遮蔽部件127与歧管121的线膨胀系数之差为上述范围内，从而遮蔽部件127不易从基板111以及歧管121剥离，因而具有高粘接性。

另外，遮蔽部件127通过与歧管121的和基板111对置的主面的外缘形状或者基板111的背面117的外缘形状为相同的形状，能够覆盖第一调温流路1213的形成于歧管121的主面的两个开口。另外，通过使遮蔽部件127与歧管121的和基板111对置的主面的外缘形状或者基板111的背面117的外缘形状为相同的形状，从而在将遮蔽部件127贴附于基板111以及歧管121时容易进行对位。因此，液体喷出头1具有高的生产率。

根据以上说明的实施方式，液体喷出头1以及液体喷出装置2通过遮蔽部件127覆盖调温液流过的第一调温流路1213的开口以及与第一调温流路1213的开口对置的共用电极119，从而能够防止腐蚀共用电极119。

需要指出，本发明的实施方式并不限定于上述构成。例如，虽然在上述例子中说明了设置一个遮蔽部件127、并使其与歧管121的和基板111对置的主面的外缘形状或者基板111的背面117的外缘形状为相同形状的例子，但不限定于此。例如，在使遮蔽部件127为一个的情况下，若能够将形成于歧管121的第一调温流路1213的开口12131全部覆盖，则遮蔽部件127的形状也可以与歧管121的和基板111对置的主面的外缘形状或者基板111的背面117的外缘形状为不同的形状。另外，遮蔽部件127也可以设置与形成于歧管121的和基板111对置的主面的第一调温流路1213的开口数量相同的数量，各个遮蔽部件127构成为覆盖第一调温流路1213的各开口。另外，虽然在上述例子中说明了第一调温流路1213的开口12131设置有两个的构成，但不限定于此，开口12131只要是与共用电极119的一部分对置的一个以上，则能够适当设定。

另外，虽然在上述例子中说明了遮蔽部件127防止调温液与共用电极119进行液体接触的例子，但不限定于此。即、遮蔽部件127所遮蔽的液体并不限定于调温液，只要是与共用电极119进行液体接触时有可能腐蚀共用电极119的液体则能够适当设定。需要指出，形成遮蔽部件127的材料是对所遮蔽的液体具有耐腐蚀性的材料。

即、只要是遮蔽部件127覆盖共用电极119的一部分以及当与共用电极119进行液体接触时腐蚀共用电极119的液体的流路的开口的构成，则遮蔽部件127、共用电极119以及液体的流路的开口(例如第一调温流路1213的开口12131)的形状及数量能够适当设定。

另外，在上述例子中，示出了在一对致动器113之间配置有作为长孔的供给口1111、并在一对致动器113的长边方向的两端分别配置有排出口1112的例子，但不限于此，供给口1111以及排出口1112的形状、数量以及配置能够适当设定。

例如，共用电极119也可以除了形成于供给口1111内的第四电极部1194以外，或者，代替第四电极部1194，在排出口1112内的内壁形成构成共用电极119的一部分电极部的电极膜。另外，虽然在上面已进行描述，但也可以在基板111的端面形成构成共用电极119的电极部。进而，也可以在基板111上形成在内表面形成有构成共用电极119的一部分的电极膜的通孔。例如，能够通过形成于这些排出口1112、端面或通孔的电极膜来确保共用电极119的面积，能够使电阻值更低。不过，在与通电时腐蚀共用电极119的电极部的液体(第二液体)流过的流路对置的情况下，遮蔽部件127构成为覆盖该流路以及与该流路对置的共用电极119。

例如，在上述例子中，示出了在压力室1131中形成单独电极118、在空气室1132中形成共用电极119的例子，但不限于此。例如，也可以构成为在压力室1131中形成共用电极119、在空气室1132中形成单独电极118。

另外，在上述例子中，说明了使液体喷出头1为独立驱动方式的头、并通过遮蔽部件127覆盖跨基板111的正反的主面形成的电极部即共用电极119中基板111的背面的共用电极119的例子，但不限定于此。例如，作为电极部，也可以构成为将共用电极以外的电极设置于基板111的至少背面117，并通过遮蔽部件127覆盖该电极。即、液体喷出头1通过用遮蔽部件127覆盖设置于基板111的背面117的电极部，从而能够防止电极部的腐蚀。如果形成为这样的构成，例如即便在使液体喷出头1为分割驱动方式的头的情况下，也能够防止设置于基板111的背面117的电极部的腐蚀。

例如，在上述例子中，说明了液体喷出头1设置有一对头主体11的构成，但不限定于此，也可以是具有一个头主体11的构成。另外，虽然说明了头主体11设置有一对致动器113的构成，但不限定于此。例如，头主体11也可以是具有一个致动器113的构成。

另外，在上述例子中，说明了液体喷出头1为非循环式的例子，但液体喷出头1也可以是循环式。

另外，在上述实施方式中，作为一例，例示了压力室1131的一侧为供给侧、另一侧为排出侧、且油墨从压力室1131的一侧流入而从另一侧流出的喷墨头，但不限于此。例如，也可以构成为压力室1131的两侧的共用室为供给侧，从两侧流入油墨。另外，供给侧与排出侧也可以相反，或者构成为能够切换。

另外，在上述实施方式中，例示了侧喷型的喷墨头，但不限定于此，也可以是端喷型。

另外，例如，喷出的液体并不限于印字用的油墨，例如也可以是喷出包含用于形成印刷布线基板的布线图案的导电性粒子的液体的装置等。

另外，在上述实施方式中，示出了喷墨头用于喷墨打印机等液体喷出装置的例子，但不限于此，喷墨头例如也能够用于3D打印机、工业用的制造机械、医疗用途，并能够小型轻量化以及低成本化。

根据以上说明的至少一个实施方式，液体喷出头以及液体喷出装置通过用遮蔽部件覆盖第二液体流过的流路以及与该流路对置的共用电极而能够防止共用电极的腐蚀。

虽然说明了几个实施方式，但这些实施方式只是作为示例而提出的，并非旨在限定发明的范围。这些实施方式能够以其他各种方式进行实施，能够在不脱离发明的宗旨的范围内进行各种省略、替换、变更。这些实施方式及其变形被包括在发明的范围和宗旨中，同样地被包括在权利要求书所记载的发明及其均等的范围内。

Claims (9)

1.一种液体喷出头，具备：

基板，形成有第一液体流过的孔；

喷嘴板，形成有在一方向上配置的多个喷嘴；

致动器，设置于所述基板的一主面，并具有通过驱动而使所述第一液体从所述喷嘴喷出的多个压力室；

电极部，形成于所述基板的两主面，所述电极部驱动所述致动器；

歧管，形成有第一液体用孔和第二液体用孔，所述第一液体用孔与所述孔对置，所述第一液体流过所述第一液体用孔，所述第二液体用孔与所述基板的所述电极部对置，与所述第一液体不同的第二液体流过所述第二液体用孔；以及

遮蔽部件，设置于所述基板与所述歧管之间，并覆盖所述第二液体用孔，

所述基板在供所述遮蔽部件设置的主面的整面形成有所述电极部，

所述遮蔽部件覆盖所述歧管的与所述电极部对置的区域，

所述遮蔽部件覆盖形成于与所述第二液体用孔对置的位置的所述电极部。

2.根据权利要求1所述的液体喷出头，其中，

所述遮蔽部件包括使所述孔与所述第一液体用孔连通的贯通孔。

3.根据权利要求1所述的液体喷出头，其中，

所述遮蔽部件形成为薄膜状或片材状。

4.根据权利要求1所述的液体喷出头，其中，

所述遮蔽部件的线膨胀系数与所述基板的线膨胀系数之差以及所述遮蔽部件的线膨胀系数与所述歧管的线膨胀系数之差为25×10^-6/K以下。

5.根据权利要求4所述的液体喷出头，其中，

所述基板、所述歧管以及所述遮蔽部件均为陶瓷制。

6.根据权利要求5所述的液体喷出头，其中，

形成所述遮蔽部件的陶瓷为氧化铝。

7.根据权利要求1所述的液体喷出头，其中，

所述遮蔽部件由非导电性材料形成。

8.根据权利要求1所述的液体喷出头，其中，

所述致动器还具有与所述压力室交替地配置的空气室。

9.根据权利要求8所述的液体喷出头，其中，

在所述空气室内形成有所述电极部的一部分。